CN108137247A - 电子零件移动装置以及电子零件输送装置 - Google Patents

Abstract

电子零件移动装置具备转子，该转子具有两个使顶端朝向径向外方的吸附嘴。设置有使吸附嘴向转子的径向外方前进的进退驱动装置。吸附嘴具有突起部。进退驱动装置具备设置为能向转子的径向外方滑动且与突起部抵接而推出吸附嘴的滑动推件、以及滑动推件的旋转电机。滑动推件和旋转电机配置为：当吸附嘴在进退驱动装置的位置停止时，吸附嘴、滑动推件以及旋转电机沿着转子的旋转轴排列。

Description

电子零件移动装置以及电子零件输送装置

技术领域

本发明涉及一种使电子零件回转移动的电子零件移动装置，以及具备该电子零件移动装置、整列输送电子零件的同时实施各种处理的电子零件输送装置。

背景技术

通过后工序，对电子零件实施品质的确认以及包装等处理。例如，对于电子零件，通过电气特性测定以及外观检查来确认品质，利用激光打标进行刻印，按照品质分类，包装于各种容纳体。电子零件被以绕行处理单元的方式沿着输送路径输送，接受这些处理。此外，为了响应下一工序的设备所使用的容纳体的形式、或者为了响应客户的要求，更换容纳体而重新包装，因此，也有时电子零件被沿着输送路径输送，而不接受特别处理。

作为整列输送电子零件的同时进行品质确认以及包装等处理的装置，电子零件输送装置正在普及。电子零件输送装置具备：保持电子零件的保持部、绕旋转轴配置多个保持部并间歇旋转的转台、以及配置于转台的周围正下方的各种处理单元。保持部支承于具有与转台的旋转面正交的轴的套筒。隔着保持部在处理单元的相反侧配置有进退驱动装置。

进退驱动装置使通过转台到达了处理单元的正上方位置的保持部朝向处理单元下降。该进退驱动装置具备电机和滑动推件。滑动推件是能沿着导轨滑动的杆等推压构件，配置于保持部的上方。电机是对滑动推件赋予推力的动力源，配置于滑动推件的上方。即，保持部、电机以及滑动推件沿着保持部向处理单元移动的方向呈一条直线排列。滑动推件与保持部的后端抵接，直接将保持部推入，由此保持部下降。

近年来，具备旋转式拾取器的电子零件输送装置正在普及。旋转式拾取器在绕旋转轴配置保持部这一点与转台相同，但保持部的顶端以朝向径向外方的方式配置这一点不同。

可预期：该旋转式拾取器夹在电子零件的容纳单元与形成输送路径的转台之间，对电子零件的授受进行中继(例如参照专利文献1)。此外，由于旋转式拾取器的保持部的顶端朝向径向外方，因此，容易通过将多个连成一排来相互授受电子零件。因此，也可预期：连接多个旋转式拾取器，代替转台形成输送路径(例如参照专利文献2)。

由于以电子零件的中继为目的，或者以连接使用为前提，因此旋转式拾取器的直径明显比转台小。若举出一例，则转台具有400mm的直径，旋转式拾取器具有170mm的直径。因此，旋转式拾取器为轻量，具有相对小的转动惯量，由此能高速旋转。该旋转式拾取器应用于电子零件输送装置，由此电子零件的输送速度提高。

在旋转式拾取器中，为了在保持部朝向处理单元、容纳单元、转台的位置(position)授受电子零件，也需要使保持部朝向这些装置进退。因此，旋转式拾取器也常常具备进退驱动装置。

但是，以往的进退驱动装置使保持部、电机以及滑动推件沿着保持部朝向处理单元移动的方向呈一条直线排列而成。因此，当将进退驱动装置搭载于旋转式拾取器时，保持部、滑动推件以及电机以沿着旋转式拾取器的径向向中心侧延伸的方式排列。在直径小的旋转式拾取器中，进退驱动装置聚集在中心，相互引起物理干扰。因此，无法将许多进退驱动装置配置于旋转式拾取器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2009-154889号公报

专利文献2：日本国专利第5376386号公报

发明内容

发明所要解决的问题

随着电子零件输送装置的多功能化，存在想要在旋转式拾取器的周围也配置更多的处理单元这样的需求。以往，该需求与想要朝向旋转式拾取器的径向中心配置许多宽大的进退驱动装置的需求同义。对于该需求，可以通过将旋转式拾取器大型化来应对。但是，原来旋转式拾取器为小型，因此在能高速旋转的方面具有优点。大型化后的旋转式拾取器因大的转动惯量而会失去旋转速度的优势，会削弱在电子零件输送装置搭载旋转式拾取器的优点。此外，如果限定进退驱动装置的配置数量，则无法满足电子零件输送装置的多功能化的需求，本末倒置。

如此，在以保持部的顶端朝向径向外方的方式绕旋转轴配置保持部而成的旋转式拾取器中，存在如何增加需要使保持部进退的位置而不大型化这一问题。

本发明是为了解决上述的问题点而提出的，其目的在于提供一种电子品移动装置、以及具备该电子零件移动装置的电子零件输送装置，其中，所述电子零件移动装置能维持旋转式拾取器的小尺寸性，并且能在周围配置许多需要使保持部进退的位置。

用于解决问题的方案

根据本发明的某一实施方式，电子零件移动装置具备：保持部，在顶端保持电子零件；转子，使所述保持部的顶端朝向径向外方，并绕旋转轴配置该保持部，使该保持部以所述旋转轴为中心按照规定角度间歇旋转；进退驱动部，设置于所述保持部的至少一处停止位置，使所述保持部向所述转子的径向外方前进；以及突起部，从所述保持部突出。所述进退驱动部具备：滑动推件，设置为能向所述转子的径向外方滑动，与所述突起部抵接而推出所述保持部；以及进退驱动用电机，是所述滑动推件的动力源。所述滑动推件和所述进退驱动用电机配置为：当所述保持部在所述进退驱动部的位置停止时，所述保持部、所述滑动推件以及所述进退驱动用电机沿着与所述转子的旋转面大致正交的方向排列。

所述保持部也可以具备从主体侧部突出的突起部。所述滑动推件也可以配置为：在比所述突起部靠所述转子的中心侧具有径向外方的顶端，当所述保持部在所述进退驱动部的位置停止时，与所述保持部重叠。

所述滑动推件也可以设置为能与所述保持部的前进方向平行地移动。所述进退驱动用电机也可以具有与所述滑动推件的移动方向正交的电机轴。也可以具备凸轮机构，所述凸轮机构夹在所述滑动推件与所述进退驱动用电机之间，将所述进退驱动用电机的旋转推力转换为向所述滑动推件的移动方向的直线推力。

所述进退驱动部也可以具备各弹簧体，所述各弹簧体蓄积使所述保持部和所述滑动推件向所述转子的中心方向返回的作用力。所述滑动推件也可以克服所述各弹簧体的作用力而将所述保持部向所述转子的外方推出。

也可以具备：回转用电机，由电机轴来轴支承所述转子的中心，使所述转子间歇旋转；以及底板，夹在所述转子与所述回转用电机之间并扩展，所述进退驱动用电机固定于所述底板的所述回转用电机的装配面，所述滑动推件设置于所述底板的所述转子侧的面。

也可以是，所述滑动推件当所述保持部在所述进退驱动部的位置停止时，配置于所述吸附嘴的作为电机法兰侧的正背，或者在正背侧向所述转子的径向、切线方向、或者与转子的旋转面平行且与径向斜交的方向偏移地配置，所述进退驱动用电机配置于所述保持器的作为电机法兰侧的正背，或者在正背侧向所述转子的径向、切线方向、或者与转子的旋转面平行且与径向斜交的方向偏移地配置。

也可以是，所述转子具备多个所述保持部，使所述保持部停止于将该转子的整周按照所述保持部的个数分割的各角度位置，所述进退驱动部配置于所述保持部的全部停止位置。

也可以是，所述滑动推件具备使杆朝向所述突起部并设置于所述转子的径向外方的音圈电机，所述音圈电机通过所述滑动推件的滑动推出所述保持部，并且通过所述杆的推力调整施加于所述电子零件的载荷。

此外，根据本发明的某一实施方式，电子零件输送装置具备该电子零件移动装置，整列输送电子零件的同时实施各种处理。

该电子零件输送装置也可以具备：供给单元，容纳供接受所述各种处理的所述电子零件；搬运机，沿着圆环状的输送路径整列输送所述供给单元的所述电子零件；各种处理单元，沿着所述输送路径配置；以及容纳单元，容纳由所述搬运机完成输送的所述电子零件。所述电子零件移动装置也可以配置于所述供给单元与所述输送部之间，作为拾取所述供给单元的所述电子零件并交付给所述搬运机的中继单元。

此外，该电子零件输送装置也可以具备：供给单元，容纳供接受所述各种处理的所述电子零件；搬运机，沿着圆环状的输送路径整列输送所述供给单元的所述电子零件；各种处理单元，沿着所述输送路径配置；以及容纳单元，容纳由所述搬运机完成输送的所述电子零件。所述电子零件移动装置也可以以连接多个的方式配置为所述搬运机。

发明效果

根据本发明，由于进退驱动装置沿着转子的旋转轴延伸，因此，即使在转子的各角度设置进退驱动装置，这些进退驱动装置也不会物理干扰，能在维持转子的小尺寸性的状态下对转子配置许多需要使保持部进退的位置。

附图说明

图1是电子零件移动装置的主视图，表示吸附嘴未到达进退驱动装置的状态。

图2是电子零件移动装置的侧视图，表示吸附嘴到达了进退驱动装置的状态。

图3是第一应用例的电子零件输送装置的俯视图。

图4是第一应用例的电子零件输送装置的侧剖图。

图5是第一应用例的电子零件输送装置所具备的电子零件移动装置的主视图，表示吸附嘴未到达进退驱动装置的状态。

图6是第一应用例的电子零件输送装置所具备的电子零件移动装置的侧视图，表示吸附嘴到达了进退驱动装置的状态。

图7是表示吸附嘴不保持电子零件而通过零件检测传感器的位置的状态的示意图。

图8是表示吸附嘴保持电子零件的同时通过零件检测传感器的位置的状态的示意图。

图9是表示吸附嘴的其他例子的示意图。

图10是第二应用例的电子零件输送装置的侧视图。

图11是表示第二应用例的电子零件输送装置的搬运机所具备的转台的侧视图。

图12是其他实施方式的电子零件移动装置的侧视图，表示吸附嘴到达了进退驱动装置的状态。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的电子零件移动装置的实施方式及其应用例进行详细说明。

图1以及图2所示的电子零件移动装置1根据原本的使用目的也被称为旋转式拾取器(Rotary pickup)。该电子零件移动装置1使电子零件D以描绘圆环轨迹或者圆弧轨迹的方式回转移动。此外，电子零件移动装置1为了在移动轨迹中途或者移动轨迹的始端以及终端处理电子零件D而使其暂时停止。这样的电子零件移动装置1也可以具备吸附嘴2、转子(rotor)3以及电机4。

吸附嘴2是对电子零件D进行保持的保持部的一个例子。吸附嘴2具有顶端有吸附孔21的筒形状，通过将电子零件D吸附于吸附孔21来进行保持。转子3是具备吸附嘴2的进给台。转子3轴支承于电机4的旋转轴，在远离电机4的旋转轴的位置支承吸附嘴2，使吸附嘴2呈圆环或者圆弧状移动。电机4是伺服电机等，是使转子3旋转的动力源。

该电子零件移动装置1具备两个吸附嘴2。转子3是从电机4的旋转轴向对置180度的方向延伸的两条臂。电子零件移动装置1可以具备一个吸附嘴2，也可以具备三个以上吸附嘴2。在具备一个吸附嘴2的情况下，转子3是一端轴支承于电机4的旋转轴、另一端设置有吸附嘴2的一条臂。在具备三个以上吸附嘴2的情况下，转子3具有使臂在圆周等距位置呈放射状延伸的星形或者圆盘形状，放射中心轴支承于电机4的旋转轴，吸附嘴2在各臂的顶端或者圆盘外周具备圆周等距位置。

此外，在电子零件移动装置1具备两个吸附嘴2的情况下，电机4使转子3往复旋转180度，或者向一个方向呈圆状旋转并在0度位置以及180度位置使其暂时停止。在具备一个吸附嘴2的情况下，往复旋转180度，或者向一个方向呈圆状旋转并每隔180度使其停止。在电子零件移动装置1具备三个以上吸附嘴2的情况下，电机4使转子3向一个方向按与吸附嘴2的配置角度间隔等角度的间隔旋转，每隔吸附嘴2的配置角度间隔使其暂时停止。

吸附嘴2从外部接受负压的供给，由吸附孔21保持电子零件D。该吸附嘴2的筒轴沿着转子3的径向延伸，轴延长线穿过转子3的中心。吸附嘴2向转子3的径向外方突出，使吸附孔21朝向转子3的径向外方。在具备多个吸附嘴2的情况下，吸附嘴2配置于圆周等距位置，以距离转子3的中心等距离的位置为基端进行延伸，总长相同。即，多个吸附嘴2位于与转子3呈同心圆的相同轨迹上，在相同轨迹上移动，在相同位置暂时停止。

吸附嘴2经由套筒(sleeve)56配置于转子3。套筒56具有沿着转子3的径向的轴。吸附嘴2支承于套筒56，在套筒56内滑动，由此，向转子3的径向外方前进，此外，向转子3的径向中心侧后退。因此，电子零件移动装置1具备对吸附嘴2赋予沿着转子3的径向的推力的进退驱动装置5。

进退驱动装置5具备旋转电机51、圆筒凸轮52a、凸轮从动件(cam follower)52b以及滑动推件53。此外，突起部55从吸附嘴2的筒主体侧部突出。旋转电机51是使吸附嘴2前进的动力源。圆筒凸轮52a以及凸轮从动件52b将旋转电机51的旋转运动转换为直线运动。直线运动的方向为转子3的径向外方。滑动推件53具有凸轮从动件52b，接受向转子3的径向外方的推力，以吸附嘴2的突起部55为起点，将吸附嘴2向径向外方推出。

而且，进退驱动装置5具备随着吸附嘴2的前进而蓄积使吸附嘴2后退的作用力的压缩弹簧58a、以及随着滑动推件53的前进而蓄积使滑动推件53后退的作用力的拉伸弹簧58b，来使吸附嘴2后退。

电机法兰59夹在电机4与转子3之间。电机法兰59是与转子3平行扩展的底板。旋转电机51以在电机4的周围排列的方式，从面向电机4的背面装配于电机法兰59，使电机轴贯通至正面。圆筒凸轮52a的一部分外周缓慢隆起而具有卵型形状，轴支承于旋转电机51的电机轴。

在电机法兰59的正面上铺设有沿着转子3的径向外方的导轨54。滑动推件53与该导轨54可滑动地嵌合，在转子3的旋转轴的方向上设置于转子3与电机法兰59之间。当吸附嘴2到达了进退驱动装置5的设置位置时，该滑动推件53与吸附嘴2重叠，与吸附嘴2平行。

凸轮从动件52b是圆筒体，固定于滑动推件53。拉伸弹簧58b以使轴沿着导轨54的方式设置于电机法兰59上，在转子3的径向外侧的一端固定滑动推件53，被施力为朝向转子3的中心侧收缩。

突起部55从吸附嘴2的筒主体侧面越过转子3向电机法兰59的方向突出，向凸轮从动件52b的前方突出。即，当吸附嘴2到达了进退驱动装置5的位置时，该突起部55突出至将滑动推件53的抵接部的最后退位置与滑动推件53的抵接部的最前进位置连结的假想线段上。

需要说明的是，滑动推件53的抵接部是转子3的径向外端。最后退位置是凸轮从动件52b最接近圆筒凸轮52a的中心、滑动推件53被拉伸弹簧58b向转子3的中心侧拉入时的位置。最前进位置是凸轮从动件52b最远离圆筒凸轮52a的中心、滑动推件53克服拉伸弹簧58b的作用力而向转子3的径向外方前进时的位置。

压缩弹簧58a嵌入吸附嘴2。在吸附嘴2，从筒主体侧面延伸有凸缘57。凸缘57位于比套筒56靠转子3的中心侧。压缩弹簧58a将该凸缘57和套筒56设置为弹簧座面，向使凸缘57远离套筒56的方向施力。即，将吸附嘴2的凸缘57朝向转子3的中心推入。

根据该进退驱动装置5的构造，压缩弹簧58a搭载于转子3，旋转电机51、圆筒凸轮52a及凸轮从动件52b、以及滑动推件53设置于电机法兰59。因此，通过进退驱动装置5，不会失去转子3的轻量性。

此外，根据该进退驱动装置5的构造，滑动推件53和旋转电机51配置为：当吸附嘴2到达了进退驱动装置5的设置位置时，吸附嘴2、滑动推件53以及旋转电机51在与吸附嘴2的进退方向正交的方向排列。换言之，与吸附嘴2的进退方向正交的方向是指，与吸附嘴2向转子3的径向外方移动的其移动方向大致正交的方向，是大致沿着转子3的旋转轴的方向，或者是与转子3的旋转面大致正交的方向。

大致是指，无需在正交的方向、或者沿着的方向严格地呈一条直线排列，滑动推件53在吸附嘴2的正背侧即可，此外，旋转电机51在滑动推件53的正背侧即可。本实施方式中正背是指，吸附嘴2中电机法兰59的方向。正背侧是指，容许以下位置：正背、严格而言不是正背而是在正背侧向转子3的径向偏移的位置、严格而言不是正背侧而向转子3的切线方向偏移的位置、以及严格而言不是正背侧而向与转子3的旋转面平行且与径向斜交的方向偏移的位置。

即，使吸附嘴2向转子3的径向外方前进的各进退驱动装置5不沿着转子3的径向，而沿着转子3的旋转轴延伸，没有聚集在转子3的中心，由此不会相互物理干扰。因此，能在滑动推件53或者旋转电机51中的宽度较大一方容许的范围，对电子零件移动装置1配置许多进退驱动装置5。滑动推件53以及旋转电机51配置为：从与转子3的旋转面正交的方向观察时，在滑动推件53或者旋转电机51较大一方的区域，内包有另一方。

在这样的电子零件移动装置1中，当电机4驱动，转子3旋转180度，吸附嘴2在进退驱动装置5的设置部位停止时，在进退驱动装置5中，旋转电机51驱动，圆筒凸轮52a使凸轮从动件52b向远离中心的方向移动，滑动推件53克服拉伸弹簧58b的作用力而沿着导轨54向转子3的径向外方移动。滑动推件53将存在于前进方向的突起部55向转子3的径向外方推入，具备突起部55的吸附嘴2克服压缩弹簧58a的作用力而向转子3的径向外方前进。

此外，在进退驱动装置5中，当使吸附嘴2向转子3的径向中心侧后退时，旋转电机51驱动，圆筒凸轮52a使凸轮从动件52b接近中心。失去了圆筒凸轮52a以及凸轮从动件52b的推进力的滑动推件53通过拉伸弹簧58b的作用力而沿着导轨54向转子3的径向中心侧后退。通过滑动推件53的后退，突起部55与滑动推件53分离，吸附嘴2通过压缩弹簧58a的作用力而向转子3的径向中心侧后退。

如此，该电子零件移动装置1具备转子3，该转子3使在顶端保持电子零件D的吸附嘴2的顶端朝向径向外方，并绕旋转轴配置该吸附嘴2。此外，在电子零件移动装置1设置有进退驱动装置5，该进退驱动装置5设置于吸附嘴2的至少一处停止位置，使吸附嘴2向转子3的径向外方前进。此外，在吸附嘴2突出设置有突起部55。进退驱动装置5具备：滑动推件53，设置为能向转子3的径向外方滑动，与突起部55抵接而推出吸附嘴2；以及旋转电机51，作为滑动推件53的动力源。

然后，以当吸附嘴2在进退驱动装置5的位置停止时，吸附嘴2、滑动推件53以及旋转电机51沿着转子3的旋转轴排列的方式，配置有滑动推件53和旋转电机51。由此，使吸附嘴2向转子3的径向外方前进的各进退驱动装置5不沿着转子3的径向，而沿着转子3的旋转轴延伸，没有聚集在转子3的中心，不会相互物理干扰。

因此，能在滑动推件53或者旋转电机51中的宽度较大一方容许的范围，对电子零件移动装置配置许多进退驱动装置5。此外，即使像这样设置许多进退驱动装置5，也无需将转子3大型化，能在维持电子零件移动装置1的高速旋转的优点的状态下，使具备该电子零件移动装置1的电子零件输送装置多功能化。

需要说明的是，虽然作为电子零件D的保持部举例示出了吸附嘴2，但作为保持部也可以采用静电吸附方式、伯努利吸盘(Bernoulli chuck)方式、或者机械地夹持电子零件D的卡盘机构。

此外，突起部55从吸附嘴2的主体侧部突出，滑动推件53配置为：在比突起部55靠转子3的中心侧具有径向外方的顶端，当吸附嘴2在进退驱动装置5的位置停止时，与吸附嘴2重叠。由此，对于向转子3的径向外方前进的吸附嘴2，能以不伴有复杂的运动转换机构地沿着转子3的旋转轴的方式容易地配置滑动推件53。

作为相对于上述复杂的运动转换机构的简单机构，滑动推件53设置为能与吸附嘴2的前进方向平行地移动，旋转电机51具有与滑动推件53的移动方向正交的电机轴，由圆筒凸轮52a以及凸轮从动件52b构成的凸轮机构夹在滑动推件53与旋转电机51之间，将旋转电机51的旋转推力转换为向滑动推件53的移动方向的直线推力即可。

此外，具备：电机4，由电机轴来轴支承转子3的中心，使转子3间歇旋转；以及电机法兰59，夹在转子3与电机4之间并扩展而作为底板，旋转电机51固定于电机法兰59的电机4的装配面，滑动推件53设置于电机法兰59的转子3侧的面。

即，在转子3不搭载滑动推件53以及旋转电机51，即使在电子零件移动装置1搭载许多进退驱动装置5，也不会失去转子3的轻量性。因此，即使配置许多进退驱动装置5，也会维持电子零件移动装置1的高速旋转。

对该电子零件移动装置1的应用例进行示出。第一应用例的电子零件移动装置1搭载于图3以及图4所示的电子零件输送装置100。电子零件输送装置100将电子零件D载置于输送路径101，使电子零件D沿着输送路径101移动，在输送路径101上对电子零件D实施各种处理。该电子零件输送装置100具备：各种处理单元110，沿着输送路径101配置；搬运机(handler)120，形成输送路径101；中继单元130，向输送路径101供给电子零件D；供给单元140，供给未处理的电子零件D；以及容纳单元150，容纳接受各种处理并完成绕行输送路径101的电子零件D。该电子零件输送装置100具备电子零件移动装置1作为中继单元130。

搬运机120形成圆环状的输送路径101。即，搬运机120由作为旋转系统的基台的转塔工作台(turret table)121、作为转塔工作台121的旋转动力源的直接驱动电机122、装配于转塔工作台121并通过负压吸引保持电子零件D的吸附嘴123、以及隔着转塔工作台121装配于特定种类的处理单元110的正上方并使吸附嘴123向处理单元110侧移动的进退驱动装置124构成。

直接驱动电机122设置于基座102的上表面。转塔工作台121具有将臂呈放射状配置的星形或者圆盘形状，圆中心轴支承于直接驱动电机122的旋转轴，在比基座102的上表面高的位置水平延伸，通过直接驱动电机122在圆周方向按照一定的角度间歇旋转。

在距离转塔工作台121的圆中心等距离的外周缘，在圆周等距位置装配有多个吸附嘴123。在转塔工作台121的外周缘，设有使轴向与基座102的上表面正交的套筒，吸附嘴123可滑动地插嵌于套筒，使嘴顶端朝向基座102的上表面，在嘴顶端保持电子零件D。

进退驱动装置124具有电动机124a和杆124b，通过电动使杆124b向与基座102的上表面正交的方向前进，使杆124b与到达了处理单元110的吸附嘴123的嘴后端接触，进而通过杆124b将吸附嘴123朝向处理单元110推入。该进退驱动装置124在向与转塔工作台121的径向正交的方向进退的吸附嘴123的后端堆叠杆124b，在杆124b的后端堆叠电动机124a，当吸附嘴123在进退驱动装置124的位置停止时，吸附嘴123、杆124b以及电动机124a沿着吸附嘴123的进退方向呈一条直线排列。

根据该搬运机120，保持电子零件D的吸附嘴123遵循共同的轨迹移动，停止于共同的各停止位置。即，保持有电子零件D的吸附嘴123所移动的共同的轨迹成为圆环状的输送路径101。处理单元110配置于吸附嘴123所停止的各停止位置正下方。搬运机120通过进退驱动装置124，将保持有电子零件D的吸附嘴123朝向处理单元110推下，将电子零件D交接给处理单元110。

为了根据电子零件D实施所需的处理内容，配置有处理单元110。电子零件D是用于电气制品的零件，是晶体管、二极管、电容器、电阻等分立(discrete)半导体、集成电路等被封装的半导体元件等。对这样的电子零件D实施的处理内容为检查、加工、姿态校正、分类或者它们中的多个种类。检查内容是外观检查、电气特性检查或者光量检查等。加工内容是引线端子的弯折、激光打标以及焊料的涂布等。姿态校正是电子零件的位置、朝向或者这两方的校正。分类是良品和良品以外的分类、或者按良品的等级的分类。

作为执行这些处理内容的处理单元110，例如，配置有：检测电子零件D的姿态偏差的摄像机单元、校正电子零件D的姿态的XYθ移动单元、检查电子零件D的电气特性的电气测试单元、检查电子零件D的外观的摄像机单元、对检查的结果为良品的电子零件D进行标记的激光打标单元。

供给单元140和容纳单元150配置于隔着所有处理单元110的两端的停止位置。作为供给单元140和容纳单元150，可列举出晶片环保持器(Wafer ring holder)、包带单元(Taping unit)、托盘移位装置(Tray shift device)或者零件进给器(Parts feeder)。在作为处理内容包含分类的情况下，在电子零件输送装置100配置有良品用和良品以外用的两个容纳单元150，电子零件D容纳于与良品的等级对应的容纳单元150。

晶片环保持器以将晶片贴附于环而成的晶片环为容纳体，使该晶片环平面移动。包带单元以在长尺寸方向并排设置有袋(pocket)的载带为容纳体，将该载带向长尺寸方向输送。托盘移位装置以托盘为容纳体，使该托盘平面移动。零件进给器以研钵状的碗体(bowl)为容纳体，使碗体以及连接于碗体的直线导轨振动，由此使电子零件D从碗体向直线导轨的始端移动。

为了响应规定的制约，中继单元130配置于供给单元140、容纳单元150或者这两方与搬运机120之间。即，中继单元130在如下情况下配置：相对于供给单元140、容纳单元150或者这两方，吸附嘴123位于远方，供给单元140、容纳单元150或者这两方与搬运机120无法直接交接电子零件D。或者，中继单元130在如下情况下配置：吸附嘴123的朝向与供给单元140、容纳单元150或者这两方的朝向不同，如果不变更电子零件D的朝向，供给单元140、容纳单元150或者这两方与搬运机120无法交接电子零件D。

该中继单元130例如配置于作为晶片环的供给单元140与搬运机120之间，该晶片环使晶片环的面朝向吸附嘴123的吸引口侧横向放置。该中继单元130是也被称为旋转式拾取器的电子零件移动装置1，具备一对吸附嘴2、2、转子3、电机4、以及进退驱动装置5。

吸附嘴2、2从供给单元140接收电子零件D并交付给搬运机120。转子3具有呈180度正相反延伸的两条臂，在臂的延伸前端朝向180度正相反具备吸附嘴2、2。电机4在两条臂的基端部分轴支承转子3，使吸附嘴2、2与供给单元140和搬运机120依次对置。进退驱动装置5设置于与到达了供给单元140的吸附嘴2重叠的正下方位置、以及与到达了搬运机120的吸附嘴2重叠的正上方位置。

详细而言，吸附嘴2、2的轴延长线两方均穿过转子3的中心，吸附嘴2、2以距离转子3的中心等距离的位置为基端，向转子3的径向外方突出。吸附嘴2、2的总长相同。即，吸附嘴2、2的顶端位于与转子3呈同心圆的相同轨道上。

转子3以与工作台平面正交的工作台中心为轴，通过电机4按照180度间歇地重复正转和反转。该转子3具有相对于输送路径101以及作为晶片环保持器的供给单元140所扩展的平面正交的平面。即，包含吸附嘴2、2的转子3被纵向放置。

吸附嘴2、2间歇地更换位置，吸附嘴2、2在朝向正上方方向的第一停止点和朝向正下方方向的第二停止点停止。朝向正下方方向的吸附嘴2隔着晶片环的电子零件D与供给单元140的顶起销面对面，去迎接由顶起销顶起的电子零件D并保持。朝向正上方方向的吸附嘴2面向搬运机120所形成的输送路径101上的一点，去将从供给单元140接收的电子零件D交付给搬运机120。

去供给单元140迎接电子零件D时、以及去将电子零件D交付给搬运机120时，供给嘴2、2朝向转子3的径向外方前进。此外，从供给单元140接收电子零件D后、以及将电子零件D交付给搬运机120后，吸附嘴2、2朝向转子3的中心后退。因此，如图4以及图5所示，中继单元130具备使吸附嘴2、2沿着径向进退的进退驱动装置5。

滑动推件53设置为在中继单元130的0度的角度位置向正上方方向延伸，此外，设置为在中继单元130的180度的角度位置向正下方方向延伸。在向正上方方向延伸的滑动推件53的背侧，旋转电机51具有与滑动推件53的滑动方向正交的电机轴，呈正横向水平延伸。此外，在向正下方方向延伸的滑动推件53的背侧，旋转电机51具有与滑动推件53的滑动方向正交的电机轴，呈正横向水平延伸。

即，两组滑动推件53和旋转电机51沿着转子3的旋转轴排列，分散配置于电机4的正上方和正下方，因此没有物理干扰。

而且，该中继单元130具备零件检测传感器6，该零件检测传感器6在吸附嘴2通过而不停止的非停止区间7检测有无保持电子零件D。在上方配置有搬运机120、下方配置有供给单元140、搬运机120与供给单元140之间配置有中继单元130的情况下，吸附嘴2朝向正上方方向的0度位置和朝向正下方方向的180度位置以外为非停止区间7。

首先，预先对与该零件检测传感器6对应的吸附嘴2的构造进行说明。如图5以及图6所示，吸附嘴2以筒状且内部为中空的嘴部22为主体，转子3的径向外方的开口为吸附孔21，后端形成为有筒。在嘴部22的主体侧部形成有负压供给口23和侧部开口28。负压供给口23连通嘴部22的内外，与独立于电子零件移动装置1的真空泵、喷射器等负压产生装置连接，对嘴部22供给负压。

侧部开口28形成于距离吸附孔21比负压供给口23远的后端侧位置，使嘴部22的内外连通。在该侧部开口28与负压供给口23之间的嘴部22的内部嵌有玻璃板26。玻璃板26是透光体，该透光体具有通光但隔断空气的透光功能以及密封功能。此外，以面向侧部开口28的方式，在嘴部22的内部嵌有反射板27。反射板27是使与侧部开口28的开口面正交地射入的光以遵循沿着嘴部22的轴的光路的方式反射的导光体，设置为相对于侧部开口28呈45度倾斜。

设置于非停止区间7的零件检测传感器6例如为激光传感器、光纤传感器或者光断续器(photo interrupter)，具备半导体激光器、发光二极管等投光器61和光电晶体管等受光器62。受光器62设置于非停止区间7内，与通过非停止区间7的一点的吸附嘴2的吸附孔21正对。换言之，受光器62位于通过非停止区间7的一点的吸附嘴2的筒轴延长线上。投光器61在与形成于位于非停止区间7的一点的吸附嘴2的侧部开口28的开口面的假想正交线上，与侧部开口28正对配置，向该侧部开口28射出检测光。

如图7所示，在该零件检测传感器6中，如果正在非停止区间7的一点移动的吸附嘴2未保持电子零件D，则投光器61的检测光经由反射板27到达受光器62。另一方面，如图8所示，在该零件检测传感器6中，如果正在非停止区间7的一点移动的吸附嘴2保持有电子零件D，则从投光器61射出并由反射板27反射的检测光被堵住吸附孔21的电子零件D隔断，未到达受光器62，受光器62无法感知检测光。

零件检测传感器6在吸附嘴2通过非停止区间7的一点的定时(timing)，对受光器62的受光量进行采样，如果达到表示检测光的到达的受光量，则可以判定为电子零件D的脱落或者交接失败。

在这样的电子零件输送装置100中，在中继单元130中，电机驱动，转子3旋转180度，吸附嘴2之一朝向正下方停止。此时，向作为转子3的径向外方的正下方前进的吸附嘴2、滑动推件53以及旋转电机51在与该前进方向正交的正横向方向排列，吸附嘴2与滑动推件53重叠并平行地向正下方延伸。

在进退驱动装置5中，旋转电机51驱动，圆筒凸轮52a使凸轮从动件52b向远离中心的方向移动，滑动推件53克服拉伸弹簧58b的作用力而沿着导轨54向正下方方向移动。滑动推件53将存在于前进方向的突起部55向正下方方向推入，具备突起部55的吸附嘴2克服压缩弹簧58a的作用力而向正下方方向移动。

向正下方方向移动的吸附嘴2通过负压从供给单元140取出电子零件D，由吸附孔21进行保持。在进退驱动装置5中，当吸附嘴2保持电子零件D时，旋转电机51驱动，圆筒凸轮52a使凸轮从动件52b接近中心。失去了圆筒凸轮52a以及凸轮从动件52b的推进力的滑动推件53通过拉伸弹簧58b的作用力而沿着导轨54向正上方方向后退。通过滑动推件53的后退，突起部55与滑动推件53分离，保持有电子零件D的吸附嘴2通过压缩弹簧58a的作用力而向正上方方向返回。

当吸附嘴2保持电子零件D，并向转子3的中心侧返回时，中继单元130的电机4驱动，使转子3旋转180度。此时，转子3仅搭载有吸附嘴2和压缩弹簧58a，由此为轻量，加减速变得容易，随着轻量化，吸附嘴2高速移动。

在转子3旋转180度的中途，保持有电子零件D的吸附嘴2通过非停止区间7的一点。此时，零件检测传感器6的投光器61对侧部开口28照射检测光，侧部开口28内的反射板27使检测光向嘴部22的内部方向反射。向嘴部22的内部方向变更光路后的检测光透过玻璃板26穿过嘴部22的内部，如果吸附嘴2保持电子零件D，则被电子零件D遮光，吸附嘴2无法进行射出。因此，受光器62未接收到检测光，零件检测传感器6通过受光器62未接收到检测光，而判定为没有电子零件D的脱落。

另一方面，如果电子零件D从吸附嘴2脱落，则穿过嘴部22的内部的检测光能从吸附孔21射出，到达受光器62。受光器62接收到检测光，零件检测传感器6通过受光器62接收到检测光，而判定为有电子零件D的脱落。

当保持有电子零件D的吸附嘴2朝向正上方停止时，向作为转子3的径向外方的正上方前进的吸附嘴2、滑动推件53以及旋转电机51在与该前进方向正交的正横向方向排列，吸附嘴2与滑动推件53重叠并平行地向正上方延伸。

使朝向正上方的吸附嘴2进退的进退驱动装置5使保持有电子零件D的吸附嘴2向正上方方向移动。搬运机120的吸附嘴123从以保持有电子零件D的状态前进过来的吸附嘴2接收电子零件D。中继单元130的吸附嘴2交付电子零件D后，通过进退驱动装置5后退，向正下方方向移动，返回至从供给单元140接收电子零件D的常规状态(routine)。

从中继单元130接收了电子零件D的搬运机120使电子零件D沿着输送路径101间歇移动，各处理单元110对电子零件D进行处理。绕行各处理单元110后的电子零件D最后容纳于容纳单元150。

需要说明的是，在零件检测传感器6判定为有电子零件D的脱落的情况下，本应该接收电子零件D的搬运机120的吸附嘴123以未保持电子零件D的状态移动，因此，即使该吸附嘴123到达各处理单元110，电子零件输送装置100也将进退驱动装置124以及处理单元110设为保持不动。此外，例如，在容纳单元150为托盘移位装置的情况下，即使未保持电子零件D的吸附嘴123到达容纳单元150，容纳单元150也不进行使空袋面向吸附嘴123的托盘移位动作。此外，例如，对于有脱落的判定，使电子零件输送装置100停止。

如此，通过将电子零件移动装置1应用于电子零件输送装置100的中继单元130，能在将吸附嘴2向径向延伸设置的中继单元130配置许多进退驱动装置5。因此，对以中继电子零件D的作用为主的中继单元130，能赋予电子零件D的外观检查、位置偏移的校正等各种处理。即，对于电子零件移动装置1，能在维持电子零件移动装置1的高速输送性的状态下，有效地实现多功能化。

需要说明的是，在本应用例中，作为针对零件检测传感器6的导光口、透光体以及导光体，具备侧部开口28、玻璃板26以及反射板27，但如果具备透光功能、密封功能以及导光功能，则可以应用各种光学零件，而不限于玻璃板26以及反射板27。由于不削弱或者不阻碍对吸附孔21带来的负压即可，因此，导光口只要形成于距离吸附孔21比负压供给口23远的位置，则无需形成于嘴部22的后端。此外，导光体也只要在比负压供给口23靠导光口侧，则包含导光口的位置，也可以任意配置。

典型而言，如图9所示，可以在嘴部22形成后端开口25，即，使与吸附孔21相反侧的筒端部开口，设置三角棱镜24以堵塞该后端开口25。三角棱镜24设置为：由呈直角相交的一对四边形面中的一方的四边形面241堵塞后端开口25，当吸附嘴2到达了零件检测传感器6的位置时，另一方的四边形面242与投光器61正对。

投光器61所照射的检测光相对于四边形面242呈直角射入，由斜面243向嘴部22的内部方向反射，透过四边形面241，穿过嘴部22的内部。如此，三角棱镜24以一个光学零件，具备透光、密封以及导光功能，堵塞后端开口25的四边形面241成为透光体，斜面243成为导光体。

另外，既可以由玻璃板26堵塞侧部开口28，也可以将三角棱镜24以面向侧部开口28的方式设置于嘴部22的内部。此外，作为透光体，代替玻璃板26也可以为透明的亚克力板。

如图10所示，第二应用例的电子零件输送装置100具备处理单元110、搬运机120以及供给单元140。搬运机120为电子零件移动装置1，连接纵向放置的两个转子3而设置。供给单元140配置于一方的转子3的周围，容纳单元150配置于另一方的转子3的周围，各种处理单元110分散配置于两个转子3的周围。

如图11所示，各转子3具有将臂呈放射状配置的星形或者圆盘形状，圆中心轴支承于电机4的旋转轴，通过电机4在圆周方向间歇旋转。该转子3纵向放置配置为转子3所扩展的平面与基座102所扩展的平面正交。换言之，该转子3纵向放置配置为电机4的电机轴与基座102的平面平行延伸。

吸附嘴2在圆周等距位置设置于各臂的顶端或者圆盘外周。吸附嘴2使筒轴沿着转子3的径向，向转子3的径向外方突出，使吸附孔21朝向转子3的外方。各吸附嘴2的顶端位于与转子3呈同心圆的相同轨道上。此外，由电机4产生的转子3的每一间距的旋转角度与吸附嘴2的角度间隔相同，各吸附嘴2以将转子3的整周按照吸附嘴2的个数分割的各角度位置为共同停止位置进行停止。调整为各吸附嘴2在两个转子3的最接近位置停止。

在吸附嘴2的各停止位置配置有供给单元140、各种处理单元110以及容纳单元150，在相邻的转子3的最接近位置、供给单元140、处理单元110以及容纳单元150的配置位置设置有进退驱动装置5。当各吸附嘴2到达进退驱动装置5的设置位置时，吸附嘴2、滑动推件53以及旋转电机51沿着转子3的旋转轴呈一条直线排列。

在与供给单元140连接的转子3，在吸附嘴2所停止的全部停止位置设置有进退驱动装置5。不过，在吸附嘴2的停止位置中，对于设置有无需使吸附嘴2进退的处理单元110的部位，可以不设置进退驱动装置5。该处理单元110例如为对电子零件D进行摄像来检测位置偏移的摄像机单元。此外，在具备两个转子3的搬运机120中，在相邻的转子3的最接近点，为了使相对的吸附嘴2中的一方朝向另一方进退，不设置处理单元110，但设有进退驱动装置5。然而，在与供给单元140连接的转子3中，在作为与连接于容纳单元150的转子3的最接近点的停止位置设置有进退驱动装置5，在连接于容纳单元150的转子3中，在作为与连接于供给单元140的转子3的最接近点的停止位置未设置有进退驱动装置5。

吸附嘴2的各停止位置之间为非停止区间7，在非停止区间7的至少一个区间内的一点具备零件检测传感器6。在一方的转子3从供给单元140接收电子零件D、两个转子3交接电子零件D、以及另一方的转子3向容纳单元150交付电子零件D时，电子零件D脱落的可能性大。因此，在从供给单元140开始的最初的非停止区间7、从被交付电子零件D的转子3接收电子零件D后的最初的非停止区间7、以及在容纳单元150结束的最后的非停止区间7的各一点设置零件检测传感器6为好。

在第二应用例的电子零件输送装置100中，一方的转子3通过电机4进行旋转，一个吸附嘴2面向供给单元140。配置于该吸附嘴2的停止位置的进退驱动装置5使吸附嘴2向供给单元140前进，吸附嘴2从供给单元140接收电子零件D。

当吸附嘴2接收电子零件D时，以电机4为驱动源，转子3进行旋转，保持电子零件D的吸附嘴2在配置有零件检测传感器6的非停止区间7移动，通过非停止区间7的一点。此时，零件检测传感器6对电子零件D从吸附嘴2脱落或者接收失败进行判定。如果电子零件D脱落或者接收失败，则作为该吸附嘴2未保持电子零件D，来电子零件输送装置100进行动作。

当经过各处理单元110，保持有电子零件D的吸附嘴2位于两个转子3的最接近点时，面向两个转子3的吸附嘴2的一方通过进退驱动装置5朝向另一方的吸附嘴2前进，交接电子零件D。电子零件D向容纳单元150侧的转子3移动，在最初的非停止区间7的一点配置有零件检测传感器6。

从供给单元140侧的转子3接收了电子零件D的吸附嘴2通过非停止区间7的一点时，零件检测传感器6对电子零件D脱落或者接收失败进行判定。如果电子零件D脱落或者接收失败，则作为该吸附嘴2未保持电子零件D，来电子零件输送装置100进行动作。

而且，当经过各处理单元110，保持有电子零件D的吸附嘴2到达与容纳单元150相对的位置时，配置于该吸附嘴2的停止位置的进退驱动装置5使吸附嘴2向容纳单元150前进，吸附嘴2将电子零件D交付给容纳单元150。

需要说明的是，在这样的电子零件输送装置100中，搬运机120可以由一个以上转子3构成，各转子3可以纵向放置配置，也可以横向放置配置，一个搬运机120也可以将纵向放置的转子3与横向放置的转子3连接而设置。

(其他实施方式)

如上所述对本发明的各实施方式进行了说明，但在不脱离本发明的要旨的范围，可以进行各种省略、置换、变更。然后，这些实施方式及其变形包含于本发明的范围、要旨，并且包含于权利要求书所记载的发明及其均等的范围。

例如，如图12所示，也可以在滑动推件53配置有音圈电机8。音圈电机8具备在轴向前进或者后退的杆81。音圈电机8设置于滑动推件53的顶端，使杆81的端部朝向吸附嘴2的突起部55。在滑动推件53中，音圈电机8的杆81是与吸附嘴2的突起部55的抵接部分。

旋转电机51是经由滑动推件53使吸附嘴2移动的驱动源，另一方面，设置于与相邻的转子3的最接近点的进退驱动装置5的音圈电机8是对施加于夹在相对的吸附嘴2之间的电子零件D的载荷进行控制的驱动源。此外，设置为与处理单元110相对的进退驱动装置5的音圈电机8是对施加于夹在吸附嘴2与处理单元110之间的电子零件D的载荷进行控制的驱动源。

当旋转电机51驱动时，滑动推件53通过杆81与吸附嘴2的突起部55抵接。抵接后，在推件53前进而推出吸附嘴2的期间，音圈电机8产生与从吸附嘴2接受的阻力相等的相反推力，阻止杆81的后退。

理想的是，将电子零件D交接给其他吸附嘴2时，在夹在由滑动推件53推出的吸附嘴2与等待接收的吸附嘴2之间的电子零件D施加有接近零的载荷。音圈电机8以能吸收施加于电子零件D的载荷的方式使推力接近零，杆81能后退。

此外，理想的是，将电子零件D推向处理单元110时，在夹在由滑动推件53推出的吸附嘴2与等待接收的处理单元110之间的电子零件D施加有所需的载荷。音圈电机8对杆81施加与施加于电子零件D的载荷相等的推力。

由此，配置为：当吸附嘴2在进退驱动装置5的位置停止时，吸附嘴2、滑动推件53以及旋转电机51大致沿着转子3的旋转轴排列，并且能将施加于电子零件D的载荷调整为包含零的所需值。

本申请是基于2016年10月18日申请的日本专利申请(特愿第2016-204065)的申请，其内容在此作为参照被引入本文。

附图标记说明

1电子零件移动装置；2吸附嘴；21吸附孔；22嘴部；23负压供给口；24三角棱镜；241第一四边形面；242第二四边形面；243斜面；25后端开口；26玻璃板；27反射板；28侧部开口；3转子；4电机；5进退驱动装置；51旋转电机；52a圆筒凸轮；52b凸轮从动件；53滑动推件；54导轨；55突起部；56套筒；57凸缘；58a压缩弹簧；58b拉伸弹簧；59电机法兰；6零件检测传感器；61投光器；62受光器；7非停止区间；8音圈电机；81杆；100电子零件输送装置；101输送路径；102基座；110处理单元；120搬运机；121转塔工作台；122直接驱动电机；123吸附嘴；124进退驱动装置；124a电动机；124b杆；130中继单元；140供给单元；150容纳单元；D电子零件。

Claims (12)

1.一种电子零件移动装置，具备：

保持部，在顶端保持电子零件；

转子，使所述保持部的顶端朝向径向外方，并绕旋转轴配置该保持部，使该保持部以所述旋转轴为中心按照规定角度间歇旋转；

进退驱动部，设置于所述保持部的至少一处停止位置，使所述保持部向所述转子的径向外方前进；以及

突起部，从所述保持部突出，

所述进退驱动部具备：

滑动推件，设置为能向所述转子的径向外方滑动，与所述突起部抵接而推出所述保持部；以及

进退驱动用电机，是所述滑动推件的动力源，

所述滑动推件和所述进退驱动用电机配置为：当所述保持部在所述进退驱动部的位置停止时，所述保持部、所述滑动推件以及所述进退驱动用电机沿着与所述转子的旋转面大致正交的方向排列。

2.根据权利要求1所述的电子零件移动装置，其中，

所述保持部具备从主体侧部突出的所述突起部，

所述滑动推件配置为：在比所述突起部靠所述转子的中心侧具有径向外方的顶端，当所述保持部在所述进退驱动部的位置停止时，与所述保持部重叠。

3.根据权利要求1或2所述的电子零件移动装置，其中，

所述滑动推件设置为能与所述保持部的前进方向平行地移动，

所述进退驱动用电机具有与所述滑动推件的移动方向正交的电机轴，

所述电子零件移动装置具备凸轮机构，所述凸轮机构夹在所述滑动推件与所述进退驱动用电机之间，将所述进退驱动用电机的旋转推力转换为向所述滑动推件的移动方向的直线推力。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子零件移动装置，其中，

所述进退驱动部具备各弹簧体，所述各弹簧体蓄积使所述保持部和所述滑动推件向所述转子的中心方向返回的作用力，

所述滑动推件克服所述各弹簧体的作用力而将所述保持部向所述转子的外方推出。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子零件移动装置，具备：

回转用电机，由电机轴来轴支承所述转子的中心，使所述转子间歇旋转；以及

底板，夹在所述转子与所述回转用电机之间并扩展，

所述进退驱动用电机固定于所述底板的所述回转用电机的装配面，

所述滑动推件设置于所述底板的所述转子侧的面。

6.根据权利要求5所述的电子零件移动装置，其中，

所述滑动推件当所述保持部在所述进退驱动部的位置停止时，配置于所述保持部的作为电机法兰侧的正背，或者在正背侧向所述转子的径向、切线方向、或者与转子的旋转面平行且与径向斜交的方向偏移地配置，

所述进退驱动用电机配置于所述保持部的作为电机法兰侧的正背，或者在正背侧向所述转子的径向、切线方向、或者与转子的旋转面平行且与径向斜交的方向偏移地配置。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子零件移动装置，其中，

所述转子具备多个所述保持部，使所述保持部停止于将该转子的整周按照所述保持部的个数分割的各角度位置，

所述进退驱动部配置于所述保持部的全部停止位置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的电子零件移动装置，其中，

所述滑动推件具备使杆朝向所述突起部并设置于所述转子的径向外方的音圈电机，

所述音圈电机通过所述滑动推件的滑动推出所述保持部，并且通过所述杆的推力调整施加于所述电子零件的载荷。

9.一种电子零件输送装置，具备权利要求1至8中任一项所述的电子零件移动装置，整列输送电子零件的同时实施各种处理。

10.根据权利要求9所述的电子零件输送装置，具备：

供给单元，容纳供接受所述各种处理的所述电子零件；

搬运机，沿着圆环状的输送路径整列输送所述供给单元的所述电子零件；

各种处理单元，沿着所述输送路径配置；以及

容纳单元，容纳由所述搬运机完成输送的所述电子零件，

所述电子零件移动装置配置于所述供给单元与所述输送路径之间，作为拾取所述供给单元的所述电子零件并交付给所述搬运机的中继单元。

11.根据权利要求9所述的电子零件输送装置，具备：

供给单元，容纳供接受所述各种处理的所述电子零件；

搬运机，沿着圆环状的输送路径整列输送所述供给单元的所述电子零件；

各种处理单元，沿着所述输送路径配置；以及

容纳单元，容纳由所述搬运机完成输送的所述电子零件，

所述电子零件移动装置以连接多个的方式配置为所述搬运机。

12.根据权利要求1至7中任一项所述的电子零件移动装置，其中，

所述滑动推件以及所述进退驱动用电机配置为：从与所述转子的所述旋转面正交的方向观察时，在所述滑动推件或者所述进退驱动用电机的较大一方的区域，内包有另一方。