WO2018074034A1 - 電子部品移動装置及び電子部品搬送装置 - Google Patents

Abstract

電子部品移動装置は、先端を半径方向外方に向けた吸着ノズル２有するローターを備える。吸着ノズルをローターの半径方向外方に進出させる進退駆動装置が設置される。吸着ノズルは突起部を有する。進退駆動装置は、ローターの半径方向外方にスライド可能に設置され、突起部と当接して吸着ノズルを押し出すスライドプッシャと、スライドプッシャの回転モータと、を備える。スライドプッシャと回転モータとは、吸着ノズルが進退駆動装置の位置で停止したとき、吸着ノズルとスライドプッシャと回転モータとがローターの回転軸に沿って並ぶように配される。

Description

電子部品移動装置及び電子部品搬送装置

　本発明は、電子部品を旋回移動させる電子部品移動装置、及びその電子部品移動装置を備え、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す電子部品搬送装置に関する。

　電子部品には、後工程にて、品質の確認及び梱包等の処理が施される。例えば、電子部品は電気特性測定及び外観検査によって品質が確認され、レーザーマーキングで刻印され、品質別に分類されて各種収容体に梱包される。電子部品は、処理ユニットを巡るように搬送経路に沿って搬送され、これら処理を受ける。また、次工程の機器で使用される収容体の形式に対応すべく、または客先の要求に対応すべく、収容体を代えて梱包し直すために、電子部品は特段の処理を受けることなく、搬送経路に沿って搬送される場合もある。

　電子部品を整列搬送しながら品質確認及び梱包等の処理を行う装置として、電子部品搬送装置が普及している。電子部品搬送装置は、電子部品を保持する保持部、保持部を回転軸周りに複数配置して間欠回転するロータリーテーブル、及びロータリーテーブルの周囲直下に配置される各種処理ユニットを備えている。保持部は、ロータリーテーブルの回転面と直交した軸を有するスリーブに支持される。保持部を挟んで処理ユニットとは反対側には進退駆動装置が配置されている。

　進退駆動装置は、ロータリーテーブルによって処理ユニットの直上位置に到達した保持部を処理ユニットに向けて降ろす。この進退駆動装置は、モータとスライドプッシャとを備えている。スライドプッシャは、レールに沿って摺動可能なロッド等の押圧部材であり、保持部の上方に配置される。モータは、スライドプッシャに推力を与える動力源であり、スライドプッシャの上方に配置されている。即ち、保持部とモータとスライドプッシャとは、保持部が処理ユニットへ移動する方向に沿って、一直線に並ぶ。スライドプッシャが保持部の後端に当接し、そのまま保持部を押し込むことで、保持部は下降する。

　近年、ロータリーピックアップを備える電子部品搬送装置が普及しつつある。ロータリーピックアップは、回転軸周りに保持部を配置する点ではロータリーテーブルと同じであるが、保持部の先端が半径方向外方に向くように配置している点で相違する。

　このロータリーピックアップは、電子部品の収容ユニットと搬送経路を形成するロータリーテーブルとの間に介在し、電子部品の授受を中継することが予定される（例えば特許文献１参照）。また、ロータリーピックアップは、保持部の先端が半径方向外方に向いていることから、複数連ねられることで互いに電子部品を授受することが容易である。そのため、ロータリーピックアップを複数連接し、ロータリーテーブルに代替して搬送経路を形成させることも予定される（例えば特許文献２参照）。

　電子部品の中継が目的であり、または連接使用が前提であるため、ロータリーピックアップは、ロータリーテーブルに比べて明らかに小径である。一例を挙げると、ロータリーテーブルが４００ｍｍの直径を有し、ロータリーピックアップは１７０ｍｍの直径を有する。そのため、ロータリーピックアップは軽量であり、相対的に小慣性モーメントであるから高速回転が可能である。このロータリーピックアップが電子部品搬送装置に適用されることで、電子部品の搬送速度が向上する。

　ロータリーピックアップにおいても、保持部が処理ユニットや収容ユニットやロータリーテーブルに向くポジションでは、電子部品の授受のために、これら装置に向けて保持部を進退させる必要がある。そこで、ロータリーピックアップにも進退駆動装置を備えることが多い。

　しかしながら、従来の進退駆動装置は、保持部が処理ユニットに向けて移動する方向に沿って、保持部とモータとスライドプッシャとを一直線に並べて成る。そのため、進退駆動装置をロータリーピックアップに搭載すると、ロータリーピックアップの半径方向に沿って中心側に延びるように保持部、スライドプッシャ及びモータが並ぶことになる。小径のロータリーピックアップでは、進退駆動装置は中心で集合し、互いに物理的干渉を引き起こす。従って、多数の進退駆動装置をロータリーピックアップに配置できない。

日本国特開２００９－１５４８８９号公報 日本国特許第５３７６３８６号公報

　電子部品搬送装置の多機能化に伴って、ロータリーピックアップの周囲にもより多くの処理ユニットを配置したいという要請がある。従来、この要請は、ロータリーピックアップの半径方向中心に向けて長大な進退駆動装置を多数配置したいという要請と同義であった。この要請に対して、ロータリーピックアップを大型化することで対処可能ではある。しかしながら、元来、ロータリーピックアップは小型であるために高速回転できる点にメリットを有する。大型化したロータリーピックアップは、大きな慣性モーメントによって回転速度の優位性を失い、電子部品搬送装置にロータリーピックアップを搭載するメリットが減殺する。また、進退駆動装置の配置数を限定してしまうと、電子部品搬送装置の多機能化の要請に応えられず、本末転倒である。

　このように、保持部の先端が半径方向外方に向くように回転軸周りに保持部を配置して成るロータリーピックアップにおいて、大型化させずに、保持部の進退を必要とするポジションを如何に増加させるかという課題があった。

　本発明は、上記の問題点を解決するために提案されたもので、ロータリーピックアップの小サイズ性を維持しつつ、周囲に保持部の進退を必要とするポジションを多数配置できる電子品移動装置、及びこの電子部品移動装置を備える電子部品搬送装置を提供することを目的とする。

　本発明の或る実施形態によれば、電子部品移動装置は、電子部品を先端で保持する保持部と、前記保持部の先端を半径方向外方に向けて当該保持部を回転軸周りに配置し、当該保持部を前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるローターと、前記保持部の少なくとも一箇所の停止位置に設置され、前記保持部を前記ローターの半径方向外方に進出させる進退駆動部と、前記保持部から突出する突起部と、を備える。前記進退駆動部は、前記ローターの半径方向外方にスライド可能に設置され、前記突起部と当接して前記保持部を押し出すスライドプッシャと、前記スライドプッシャの動力源である進退駆動用モータと、を備える。前記スライドプッシャと前記進退駆動用モータは、前記保持部が前記進退駆動部の位置で停止したとき、前記保持部と前記スライドプッシャと前記進退駆動用モータとが前記ローターの回転面に概略直交する方向に沿って並ぶように配されている。

　前記保持部は、胴体側部から突出する突起部を備えてもよい。前記スライドプッシャは、前記突起部よりも前記ローターの中心側に半径方向外方の先端を有し、前記保持部が前記進退駆動部の位置で停止したとき、前記保持部と重なり合うように配置されてもよい。

　前記スライドプッシャは、前記保持部の進出方向と平行に移動可能に設置されてもよい。前記進退駆動用モータは、前記スライドプッシャの移動方向と直交するモータ軸を有してもよい。前記スライドプッシャと前記進退駆動用モータとの間に介在し、前記進退駆動用モータの回転推力を前記スライドプッシャの移動方向への直線推力に変換するカム機構を備えてもよい。

　前記進退駆動部は、前記保持部と前記スライドプッシャを前記ローターの中心方向に戻す付勢力を蓄勢する各バネ体を備えてもよい。前記スライドプッシャは、前記各バネ体の付勢力に抗して前記保持部を前記ローターの外方へ押し出してもよい。

　前記ローターの中心をモータ軸で軸支し、前記ローターを間欠回転させる旋回用モータと、前記ローターと前記旋回用モータとの間に介在して拡がるベース板と、を備え、前記進退駆動用モータは、前記ベース板の前記旋回用モータの取り付け面に固定され、前記スライドプッシャは、前記ベース板の前記ローター側の面に設置されているようにしてもよい。

　前記スライドプッシャは、前記保持部が前記進退駆動部の位置で停止したとき、前記吸着ノズルのモータフランジ側である真裏、または真裏側であって前記ローターの半径方向、接線方向、或いはローターの回転面と平行で半径方向と斜交わる方向にズレて配置され、前記進退駆動用モータは、前記保持器のモータフランジ側である真裏、または真裏側であって前記ローターの半径方向、接線方向、或いはローターの回転面と平行で半径方向と斜交わる方向にズレて配置されているようにしてもよい。

　前記ローターは、前記保持部を複数備え、当該ローターの全周を前記保持部の数で分割した各角度位置に前記保持部を停止させ、前記進退駆動部は、前記保持部の全停止位置に配置されるようにしてもよい。

　前記スライドプッシャは、ロッドを前記突起部に向けて、前記ローターの半径方向外方に設置されるボイスコイルモータを備え、前記ボイスコイルモータは、前記スライドプッシャのスライドによって前記保持部を押し出すとともに、前記ロッドの推力によって前記電子部品にかかる荷重を調整するようにしてもよい。

　また、本発明の或る実施形態によれば、電子部品搬送装置は、この電子部品移動装置を備え、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す。

　この電子部品搬送装置は、前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、を備えてもよい。前記電子部品移動装置は、前記供給ユニットの前記電子部品をピックアップして、前記ハンドラに渡す中継ユニットとして、前記供給ユニットと前記搬送手段との間に配置されるようにしてもよい。

　また、この電子部品搬送装置は、前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、を備えてもよい。前記電子部品移動装置は、前記ハンドラとして複数連接して配置されるようにしてもよい。

　本発明によれば、進退駆動装置はローターの回転軸に沿って延びるので、ローターの各角度に進退駆動装置を設置してもこれら進退駆動装置は物理的に干渉せず、ローターの小サイズ性を維持したまま、保持部の進退を必要とするポジションをローターに多数配置できる。

電子部品移動装置の正面図であり、吸着ノズルが進退駆動装置に未達の状態を示す。 電子部品移動装置の側面図であり、吸着ノズルが進退駆動装置に達した状態を示す。 第１の適用例に係る電子部品搬送装置の上面図である。 第１の適用例に係る電子部品搬送装置の側面断面図である。 第１の適用例に係る電子部品搬送装置が備える電子部品移動装置の正面図であり、吸着ノズルが進退駆動装置に未達の状態を示す。 第１の適用例に係る電子部品搬送装置が備える電子部品移動装置の側面図であり、吸着ノズルが進退駆動装置に達した状態を示す。 吸着ノズルが電子部品を保持せずに部品検出センサの位置を通過している状態を示す模式図である。 吸着ノズルが電子部品を保持しながら部品検出センサの位置を通過している状態を示す模式図である。 吸着ノズルの他の例を示す模式図である。 第２の適用例に係る電子部品搬送装置の側面図である。 第２の適用例に係る電子部品搬送装置のハンドラが備えるロータリーテーブルを示す側面図である。 他の実施形態に係る電子部品移動装置の側面図であり、吸着ノズルが進退駆動装置に達した状態を示す。

　以下、本発明に係る電子部品移動装置の実施形態とその適用例について図面を参照しつつ詳細に説明する。

　図１及び図２に示す電子部品移動装置１は、元もとの使用目的からロータリーピックアップとも呼ばれる。この電子部品移動装置１は、電子部品Ｄを円環軌跡又は円弧軌跡を描くように旋回移動させる。また、電子部品移動装置１は、移動軌跡途中又は移動軌跡の始端及び終端で電子部品Ｄを処理するために一時停止させる。このような電子部品移動装置１は、吸着ノズル２、ローター３及びモータ４を備えてもよい。

　吸着ノズル２は、電子部品Ｄを保持する保持部の一例である。吸着ノズル２は、先端に吸着孔２１を有する筒形状を有し、電子部品Ｄを吸着孔２１に吸い付けることで保持する。ローター３は、吸着ノズル２を備える送り台である。ローター３は、モータ４の回転軸に軸支され、吸着ノズル２をモータ４の回転軸から離間した位置で支持し、吸着ノズル２を円環又は円弧状に移動させる。モータ４は、サーボモータ等であり、ローター３を回転させる動力源である。

　この電子部品移動装置１は、２機の吸着ノズル２を備える。ローター３は、モータ４の回転軸から１８０度対向した方向に延びる２本のアームである。電子部品移動装置１は、１機の吸着ノズル２を備えても、３機以上を備えてもよい。１機の吸着ノズル２を備える場合、ローター３は、一端がモータ４の回転軸に軸支され、他端に吸着ノズル２が設置される１本のアームである。３機以上の吸着ノズル２を備える場合、ローター３は、アームを円周等配位置で放射状に延ばした星形又は円盤形状を有し、放射中心がモータ４の回転軸に軸支され、各アームの先端又は円盤外周に吸着ノズル２が円周等配位置を備える。

　また、電子部品移動装置１が２機の吸着ノズル２を備える場合、モータ４は、ローター３を１８０度往復回転又は一方向に円状に回転させ、０度位置及び１８０度位置で一時停止させる。１機の吸着ノズル２を備える場合は、１８０度往復回転又は一方向に円状に回転して１８０度ごとに停止させる。電子部品移動装置１が３機以上の吸着ノズル２を備える場合、モータ４は、一方向に、吸着ノズル２の配置角度間隔と等角度間隔ずつ、ローター３を回転させ、吸着ノズル２の配置角度間隔ごとに一時停止させる。

　吸着ノズル２は、外部から負圧の供給を受け、吸着孔２１で電子部品Ｄを保持する。この吸着ノズル２は、筒軸がローター３の半径方向に沿って延び、軸延長線がローター３の中心を通る。吸着ノズル２は、ローター３の半径方向外方に突き出ており、ローター３の半径方向外方に吸着孔２１を向ける。複数の吸着ノズル２を備える場合、吸着ノズル２は円周等配位置で配置され、ローター３の中心から等距離離間した位置を基端として延び、全長が同一である。即ち、複数の吸着ノズル２は、ローター３と同心円の同一軌跡上に位置し、同一軌跡上を移動し、同一ポジションで一時停止する。

　吸着ノズル２はスリーブ５６を介してローター３に配置される。スリーブ５６は、ローター３の半径方向に沿う軸を有する。吸着ノズル２は、スリーブ５６に支持され、スリーブ５６内を摺動することで、ローター３の半径方向外方に進出し、またローター３の半径方向中心側に後退する。そのため、電子部品移動装置１は、吸着ノズル２に対してローター３の半径方向に沿った推力を与える進退駆動装置５を備えている。

　進退駆動装置５は、回転モータ５１、円筒カム５２ａ、カムフォロア５２ｂ及びスライドプッシャ５３を備える。また、吸着ノズル２の筒胴体側部からは突起部５５が突出する。回転モータ５１は、吸着ノズル２を進出させる動力源である。円筒カム５２ａ及びカムフォロア５２ｂは、回転モータ５１の回転運動を直線運動に変換する。直線運動の方向は、ローター３の半径方向外方である。スライドプッシャ５３は、カムフォロア５２ｂを有し、ローター３の半径方向外方への推力を受け、吸着ノズル２の突起部５５を取っ掛かりにして吸着ノズル２を半径方向外方に押し出す。

　更に、進退駆動装置５は、吸着ノズル２の進出に伴って吸着ノズル２を後退させる付勢力を蓄勢する圧縮バネ５８ａ、及びスライドプッシャ５３の進出に伴ってスライドプッシャ５３を後退させる付勢力を蓄勢する引張バネ５８ｂを備え、吸着ノズル２を後退させる。

　モータ４とローター３との間にはモータフランジ５９が介在する。モータフランジ５９は、ローター３と平行に拡がるベース板である。回転モータ５１は、モータ４の周囲に並ぶように、モータ４を臨む裏面からモータフランジ５９に取り付けられ、モータ軸をおもて面に貫通させている。円筒カム５２ａは、一部外周が緩やかに膨出して卵型形状を有し、回転モータ５１のモータ軸に軸支される。

　モータフランジ５９のおもて面上には、ローター３の半径方向外方に沿ったレール５４が敷設されている。スライドプッシャ５３は、このレール５４に摺動可能に嵌合し、ローター３の回転軸の方向において、ローター３とモータフランジ５９の間に設置される。このスライドプッシャ５３は、吸着ノズル２が進退駆動装置５の設置位置に達したとき、吸着ノズル２と重なり合い、吸着ノズル２と平行になる。

　カムフォロア５２ｂは円筒体であり、スライドプッシャ５３に固定される。引張バネ５８ｂは、モータフランジ５９上に、軸をレール５４に沿わせて設置されており、ローター３の半径方向外方側の一端でスライドプッシャ５３を固定し、ローター３の中心側に向かって縮むように付勢されている。

　突起部５５は、吸着ノズル２の筒胴体側面からローター３を越えてモータフランジ５９の方向に突出し、カムフォロア５２ｂの前方に突出している。即ち、この突起部５５は、吸着ノズル２が進退駆動装置５の位置に達したとき、スライドプッシャ５３の当接部の最後退位置と、スライドプッシャ５３の当接部の最進出位置とを結ぶ仮想線分上に突出している。

　尚、スライドプッシャ５３の当接部は、ローター３の半径方向外方端である。最後退位置は、カムフォロア５２ｂが円筒カム５２ａの中心に最接近して、スライドプッシャ５３が引張バネ５８ｂによってローター３の中心側に引き込まれている際の位置である。最進出位置は、カムフォロア５２ｂが円筒カム５２ａの中心から最も離れ、スライドプッシャ５３が引張バネ５８ｂの付勢力に抗してローター３の半径方向外方に進出している際の位置である。

　圧縮バネ５８ａは、吸着ノズル２に嵌め込まれている。吸着ノズル２には、筒胴体側面からフランジ５７が延出している。フランジ５７は、スリーブ５６よりもローター３の中心側に位置する。圧縮バネ５８ａは、このフランジ５７とスリーブ５６とをバネ座面として設置されており、フランジ５７をスリーブ５６から離す方向に付勢されている。即ち、吸着ノズル２のフランジ５７をローター３の中心に向けて押し込んでいる。

　この進退駆動装置５の構造によれば、圧縮バネ５８ａはローター３に搭載され、回転モータ５１、円筒カム５２ａ及びカムフォロア５２ｂ、並びにスライドプッシャ５３は、モータフランジ５９に設置される。従って、進退駆動装置５によってはローター３の軽量性は失われない。

　また、この進退駆動装置５の構造によれば、スライドプッシャ５３と回転モータ５１は、吸着ノズル２が進退駆動装置５の設置位置に達したとき、吸着ノズル２の進退方向と直交する方向に、吸着ノズル２とスライドプッシャ５３と回転モータ５１が並ぶように配置されることとなる。吸着ノズル２の進退方向と直交する方向とは、換言すれば、吸着ノズル２がローター３の半径方向外方に移動する其の移動方向と概略直交する方向であり、ローター３の回転軸に概略沿った方向であり、或いはローター３の回転面と概略直交する方向である。

　概略とは、直交する方向、或いは沿った方向に厳密に一直線に整列する必要はなく、吸着ノズル２の真裏側にスライドプッシャ５３があればよく、またスライドプッシャ５３の真裏側に回転モータ５１があればよい。本実施形態において真裏とは、吸着ノズル２においてモータフランジ５９の方向である。真裏側とは、真裏、厳密に真裏でなくとも真裏側であってローター３の半径方向にズレた位置、厳密に真裏側でなくともローター３の接線方向にズレた位置、及び厳密に真裏側でなくともローター３の回転面と平行で半径方向と斜交わる方向にズレた位置を許容するという意味である。

　即ち、吸着ノズル２をローター３の半径方向外方に進出させる各進退駆動装置５は、ローター３の半径方向に沿わず、ローター３の中心で集合することはなく、ローター３の回転軸に沿って延在することで、互いに物理的に干渉しない。そのため、進退駆動装置５は、スライドプッシャ５３又は回転モータ５１のうちの幅が大きい方が許容する範囲で電子部品移動装置１に多数配置できる。スライドプッシャ５３及び回転モータ５１は、ローター３の回転面に直交する方向から見たとき、スライドプッシャ５３又は回転モータ５１の大きい方の領域に、他方が内包されるように配置されている。

　このような電子部品移動装置１において、モータ４が駆動し、ローター３が１８０度回転して、吸着ノズル２が進退駆動装置５の設置箇所で停止すると、進退駆動装置５では、回転モータ５１が駆動し、円筒カム５２ａがカムフォロア５２ｂを中心から離れた方向に移動させ、スライドプッシャ５３が引張バネ５８ｂの付勢力に抗してレール５４に沿ってローター３の半径方向外方へ移動する。スライドプッシャ５３は、進出方向に存在する突起部５５をローター３の半径方向外方に押し込み、突起部５５を備える吸着ノズル２は、圧縮バネ５８ａの付勢力に抗してローター３の半径方向外方へ進出する。

　また、進退駆動装置５では、吸着ノズル２をローター３の半径方向中心側に後退させるとき、回転モータ５１が駆動し、円筒カム５２ａがカムフォロア５２ｂを中心に近づける。円筒カム５２ａ及びカムフォロア５２ｂによる推進力を失ったスライドプッシャ５３は、引張バネ５８ｂの付勢力によって、レール５４に沿ってローター３の半径方向中心側に後退する。スライドプッシャ５３の後退により、突起部５５とスライドプッシャ５３とが離れ、吸着ノズル２は、圧縮バネ５８ａの付勢力によってローター３の半径方向中心側に後退する。

　このように、この電子部品移動装置１は、電子部品Ｄを先端で保持する吸着ノズル２の先端を半径方向外方に向けて、当該吸着ノズル２を回転軸周りに配置したローター３を備える。また、電子部品移動装置１には、吸着ノズル２の少なくとも一箇所の停止位置に設置され、吸着ノズル２をローター３の半径方向外方に進出させる進退駆動装置５が設置される。また、吸着ノズル２には突起部５５が突設する。進退駆動装置５は、ローター３の半径方向外方にスライド可能に設置され、突起部５５と当接して吸着ノズル２を押し出すスライドプッシャ５３と、スライドプッシャ５３の動力源である回転モータ５１と、を備える。

　そして、吸着ノズル２が進退駆動装置５の位置で停止したとき、吸着ノズル２とスライドプッシャ５３と回転モータ５１とがローター３の回転軸に沿って並ぶように、スライドプッシャ５３と回転モータ５１とが配置される。これにより、吸着ノズル２をローター３の半径方向外方に進出させる各進退駆動装置５は、ローター３の半径方向に沿わず、ローター３の中心で集合することはなく、ローター３の回転軸に沿って延在して互いに物理的に干渉しない。

　そのため、進退駆動装置５は、スライドプッシャ５３又は回転モータ５１の大きい方の幅が許容する範囲で電子部品移動装置１に多数配置できる。また、そのように進退駆動装置５を多数設置しても、ローター３を大型化する必要はなく、電子部品移動装置１の高速回転のメリットを維持したまま、この電子部品移動装置１を備える電子部品搬送装置を多機能化できる。

　尚、電子部品Ｄの保持部として吸着ノズル２を例示したが、保持部としては、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を採用してもよい。

　また、突起部５５は吸着ノズル２の胴体側部から突出させ、スライドプッシャ５３は、突起部５５よりもローター３の中心側に半径方向外方の先端を有し、吸着ノズル２が進退駆動装置５の位置で停止したとき、吸着ノズル２と重なり合うように配置した。これにより、ローター３の半径方向外方に進出する吸着ノズル２に対して、スライドプッシャ５３を複雑な運動変換機構を伴わずにローター３の回転軸に沿うように容易に配置できる。

　上記複雑な運動変換機構に対する単純な機構としては、スライドプッシャ５３は、吸着ノズル２の進出方向と平行に移動可能に設置され、回転モータ５１は、スライドプッシャ５３の移動方向と直交するモータ軸を有し、円筒カム５２ａ及びカムフォロア５２ｂにより成るカム機構は、スライドプッシャ５３と回転モータ５１との間に介在し、回転モータ５１の回転推力をスライドプッシャ５３の移動方向への直線推力に変換するようにすればよい。

　また、ローター３の中心をモータ軸で軸支し、ローター３を間欠回転させるモータ４と、ローター３とモータ４との間に介在して拡がってベース板となるモータフランジ５９を備えるようにし、回転モータ５１は、モータフランジ５９のモータ４の取り付け面に固定され、スライドプッシャ５３は、モータフランジ５９のローター３側の面に設置されているようにした。

　即ち、ローター３にはスライドプッシャ５３及び回転モータ５１は搭載されず、電子部品移動装置１に多数の進退駆動装置５を搭載しても、ローター３の軽量性が失われることがない。従って、進退駆動装置５を多数配置しても、電子部品移動装置１の高速回転は維持される。

　この電子部品移動装置１の適用例を示す。第１の適用例に係る電子部品移動装置１は、図３及び図４に示す電子部品搬送装置１００に搭載される。電子部品搬送装置１００は、電子部品Ｄを搬送経路１０１に載せ、電子部品Ｄを搬送経路１０１に沿って移動させ、搬送経路１０１上で電子部品Ｄに各種処理を施す。この電子部品搬送装置１００は、搬送経路１０１に沿って配置される各種の処理ユニット１１０と、搬送経路１０１を形成するハンドラ１２０と、搬送経路１０１に電子部品Ｄを供給する中継ユニット１３０と、未処理の電子部品Ｄを供給する供給ユニット１４０と、各種処理を受けて搬送経路１０１を巡り終えた電子部品Ｄを収容する収容ユニット１５０とを備える。この電子部品搬送装置１００は、中継ユニット１３０として電子部品移動装置１を備えている。

　ハンドラ１２０は、円環状の搬送経路１０１を形成する。即ち、ハンドラ１２０は、回転系の基台となるターレットテーブル１２１、ターレットテーブル１２１の回転動力源となるダイレクトドライブモータ１２２、ターレットテーブル１２１に取り付けられて電子部品Ｄを負圧により吸引保持する吸着ノズル１２３、及び特定種の処理ユニット１１０の直上にターレットテーブル１２１を挟んで取り付けられて吸着ノズル１２３を処理ユニット１１０側へ移動させる進退駆動装置１２４により構成される。

　ダイレクトドライブモータ１２２はベース１０２の上面に設置される。ターレットテーブル１２１は、アームを放射状に配した星形又は円盤形状を有し、円中心がダイレクトドライブモータ１２２の回転軸に軸支され、ベース１０２の上面よりも高い位置で水平に延び、ダイレクトドライブモータ１２２によって円周方向に一定の角度ずつ間欠回転する。

　吸着ノズル１２３は、ターレットテーブル１２１の円中心から等距離の外周縁に、円周等配位置で複数取り付けられている。ターレットテーブル１２１の外周縁には、軸方向をベース１０２の上面と直交させたスリーブが設けられており、吸着ノズル１２３はスリーブに摺動可能に挿嵌され、ノズル先端をベース１０２の上面に向け、ノズル先端で電子部品Ｄを保持する。

　進退駆動装置１２４は、電動機１２４ａとロッド１２４ｂを有し、ロッド１２４ｂを電動によりベース１０２の上面と直交する方向に進出させ、処理ユニット１１０に到達した吸着ノズル１２３のノズル後端にロッド１２４ｂを接触させ、更にロッド１２４ｂで吸着ノズル１２３を処理ユニット１１０に向けて押し込む。この進退駆動装置１２４は、ターレットテーブル１２１の半径方向と直交する方向に進退する吸着ノズル１２３の後端にロッド１２４ｂを積み上げ、ロッド１２４ｂの後端に電動機１２４ａを積み上げており、吸着ノズル１２３が進退駆動装置１２４の位置に停止したとき、吸着ノズル１２３とロッド１２４ｂと電動機１２４ａは、吸着ノズル１２３の進退方向に沿って一直線に並ぶ。

　このハンドラ１２０によれば、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１２３は、共通の軌跡を辿って移動し、共通の各停止位置に停止する。即ち、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１２３が移動する共通の軌跡が円環状の搬送経路１０１となる。処理ユニット１１０は、吸着ノズル１２３が停止する各停止位置直下に配置される。ハンドラ１２０は、進退駆動装置１２４により、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１２３を処理ユニット１１０に向けて押し下げ、電子部品Ｄを処理ユニット１１０に受け渡す。

　処理ユニット１１０は、電子部品Ｄに応じて必要な処理内容を施すために配置される。電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等のパッケージングされた半導体素子等である。このような電子部品Ｄに対して施す処理内容は、検査、加工、姿勢補正、分類又はこれらのうちの複数種類である。検査内容は、外観検査、電気特性検査又は光量検査等である。加工内容は、リード端子の折り曲げ、レーザーマーキング及び半田の塗布等である。姿勢補正は、電子部品の位置、向き又はこれらの両方の補正である。分類は、良品と良品以外、又は良品のランクごとの分類である。

　これら処理内容を実行する処理ユニット１１０としては、例えば、電子部品Ｄの姿勢ズレを検出するカメラユニット、電子部品Ｄの姿勢を補正するＸＹθ移動ユニット、電子部品Ｄの電気特性を検査する電気テストユニット、電子部品Ｄの外観を検査するカメラユニット、検査の結果が良品の電子部品Ｄにマーキングするレーザーマーキングユニットが配置される。

　供給ユニット１４０と収容ユニット１５０は、全ての処理ユニット１１０を挟む両端の停止位置に配置される。供給ユニット１４０と収容ユニット１５０としては、ウェハリングホルダ、テーピングユニット、トレイシフト装置又はパーツフィーダが挙げられる。処理内容として分類が含まれる場合、電子部品搬送装置１００には、良品用と良品以外用の２機の収容ユニット１５０が配置され、電子部品Ｄは良品のランクに応じた収容ユニット１５０に収容される。

　ウェハリングホルダは、ウェハをリングに貼着して成るウェハリングを収容体として、このウェハリングを平面移動させる。テーピングユニットは、長手方向にポケットを並設したキャリアテープを収容体として、このキャリアテープを長手方向に搬送する。トレイシフト装置は、トレイを収容体として、このトレイを平面移動させる。パーツフィーダは、擂鉢状のボウルを収容体として、ボウル及びボウルに接続された直線レールを振動させることで、ボウルから直線レールの先頭へ電子部品Ｄを移動させる。

　中継ユニット１３０は、所定の制約に対応すべく、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方とハンドラ１２０との間に配置される。即ち、中継ユニット１３０は、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方に対して吸着ノズル１２３が遠方にあり、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方とハンドラ１２０とが電子部品Ｄを直接受け渡しできない場合に配置される。或いは、中継ユニット１３０は、吸着ノズル１２３の向きと供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方の向きとが異なり、電子部品Ｄの向きを変更しなければ、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方とハンドラ１２０とが電子部品Ｄを受け渡しできない場合に配置される。

　この中継ユニット１３０は、例えば、ウェハリングの面を吸着ノズル１２３の吸引口側に向けて横置きされたウェハリングである供給ユニット１４０とハンドラ１２０との間に配置される。この中継ユニット１３０は、ロータリーピックアップとも呼ばれる電子部品移動装置１であり、一対の吸着ノズル２，２、ローター３、モータ４、及び進退駆動装置５を備える。

　吸着ノズル２，２は、電子部品Ｄを供給ユニット１４０から受け取ってハンドラ１２０に渡す。ローター３は、１８０度正反対に延びた２本のアームを有し、アームの延び先に吸着ノズル２、２を１８０度正反対に向けて備える。モータ４は、２本のアームの基端部分でローター３を軸支し、吸着ノズル２、２を供給ユニット１４０とハンドラ１２０とに順番に対向させる。進退駆動装置５は、供給ユニット１４０に到達した吸着ノズル２と重なる真下位置、及びハンドラ１２０に到達した吸着ノズル２と重なる真上位置に設置される。

　詳細には、吸着ノズル２、２の軸延長線は双方ともローター３の中心を通り、吸着ノズル２、２はローター３の中心から等距離離間した位置を基端として、ローター３の半径方向外方に突き出ている。吸着ノズル２、２の全長は同一である。すなわち、吸着ノズル２、２の先端は、ローター３と同心円の同一軌道上に位置する。

　ローター３は、テーブル平面と直交するテーブル中心を軸に、モータ４により間欠的に１８０度ずつ正転と逆転を繰り返す。このローター３は、搬送経路１０１及びウェハリングホルダである供給ユニット１４０の拡がる平面に対して直交した平面を有する。すなわち、吸着ノズル２、２を含むローター３は縦置きされている。

　吸着ノズル２、２は間欠的に位置が入れ替わり、吸着ノズル２、２は真上方向を向く第１の停止点と真下方向を向く第２の停止点で停止する。直下方向を向いた吸着ノズル２は、供給ユニット１４０の突き上げピンにウェハリングの電子部品Ｄを挟んで対面し、突き上げピンにより突き上げられた電子部品Ｄを迎えに行き、保持する。直上方向を向いた吸着ノズル２は、ハンドラ１２０が形成する搬送経路１０１上の一点を臨み、供給ユニット１４０から取り上げた電子部品Ｄをハンドラ１２０へ渡しに行く。

　電子部品Ｄを供給ユニット１４０に迎えに行く際、及び電子部品Ｄをハンドラ１２０へ渡しに行く際、供給ノズル２、２は、ローター３の半径方向外方に向けて進出する。また、電子部品Ｄを供給ユニット１４０から取り上げた後、及び電子部品Ｄをハンドラ１２０へ渡した後、吸着ノズル２、２は、ローター３の中心に向けて後退する。そのために、図４及び図５に示すように、中継ユニット１３０は、吸着ノズル２、２を半径方向に沿って進退させる進退駆動装置５を備えている。

　スライドプッシャ５３は、中継ユニット１３０の０度の角度位置に真上方向に延びて設置され、また中継ユニット１３０の１８０度の角度位置に真下方向に延びて設置されている。真上方向に延びるスライドプッシャ５３の裏側には、回転モータ５１が、スライドプッシャ５３の摺動方向と直交させたモータ軸を有して、真横に水平に延びている。また、真下方向に延びるスライドプッシャ５３の裏側には、回転モータ５１が、スライドプッシャ５３の摺動方向と直交させたモータ軸を有して、真横に水平に延びている。

　即ち、二組のスライドプッシャ５３と回転モータ５１は、ローター３の回転軸に沿って並び、モータ４の真上と真下に分散配置されているので、物理的干渉無く配置されている。

　更に、この中継ユニット１３０は、吸着ノズル２が停止せずに通過する非停止区間７において電子部品Ｄの保持有無を検出する部品検出センサ６を備えている。上方にハンドラ１２０が配置され、下方に供給ユニット１４０が配置され、ハンドラ１２０と供給ユニット１４０の間に中継ユニット１３０が配置されている場合、吸着ノズル２が真上方向を向く０度位置と真下方向を向く１８０度位置以外は非停止区間７となる。

　まず、この部品検出センサ６に対応する吸着ノズル２の構造について説明しておく。図５及び図６に示すように、吸着ノズル２は、筒状で内部が中空のノズル部２２を本体とし、ローター３の半径方向外方の開口が吸着孔２１であり、後端は有筒となっている。ノズル部２２の胴体側部には、負圧供給口２３と側部開口２８が形成されている。負圧供給口２３は、ノズル部２２の内外を連通し、電子部品移動装置１と別体の真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置と接続されており、ノズル部２２に負圧を供給する。

　側部開口２８は、負圧供給口２３よりも吸着孔２１から遠い後端側位置に形成されており、ノズル部２２の内外を連通させている。この側部開口２８と負圧供給口２３の間のノズル部２２の内部には、ガラス板２６が嵌っている。ガラス板２６は、光は通すが、空気は遮断する透光機能及び封止機能を有する透光体である。また、側部開口２８を臨むように、ノズル部２２の内部には反射板２７が嵌っている。反射板２７は、側部開口２８の開口面と直交して入射した光をノズル部２２の軸に沿った光路を辿るように反射させる導光体であり、側部開口２８に対して４５度傾斜して設置されている。

　非停止区間７に設置される部品検出センサ６は、例えばレーザーセンサ、ファイバーセンサ又はフォトインタラプタであり、半導体レーザや発光ダイオード等の投光器６１と、フォトトランジスタ等の受光器６２とを備える。受光器６２は、非停止区間７内に設置され、非停止区間７の一点を通過する吸着ノズル２の吸着孔２１と正対する。換言すると、受光器６２は、非停止区間７の一点を通過する吸着ノズル２の筒軸延長線上に位置する。投光器６１は、非停止区間７の一点に位置する吸着ノズル２に形成された側部開口２８の開口面との仮想直交線上に、側部開口２８と正対して配置され、この側部開口２８に検出光を出射する。

　図７に示すように、この部品検出センサ６において、非停止区間７の一点を移動中の吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していなければ、投光器６１の検出光が反射板２７を介して受光器６２に届く。一方、図８に示すように、この部品検出センサ６において、非停止区間７の一点を移動中の吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していれば、投光器６１から出射して反射板２７で反射した検出光が、吸着孔２１を塞ぐ電子部品Ｄに遮られて受光器６２に未達となり、受光器６２は検出光を感知できない。

　部品検出センサ６は、吸着ノズル２が非停止区間７の一点を通過するタイミングで、受光器６２の受光量をサンプリングし、検出光の到達を示す受光量に達していれば、電子部品Ｄの脱落又は受け渡し失敗と判定できる。

　このような電子部品搬送装置１００において、中継ユニット１３０では、モータが駆動し、ローター３が１８０度回転して、吸着ノズル２の１つが真下を向いて停止する。このとき、ローター３の半径方向外方である真下に進出する吸着ノズル２、スライドプッシャ５３及び回転モータ５１は、この進出方向と直交する真横方向に並び、吸着ノズル２とスライドプッシャ５３は重なり合って平行に真下へ延びる。

　進退駆動装置５では、回転モータ５１が駆動し、円筒カム５２ａがカムフォロア５２ｂを中心から離れた方向に移動させ、スライドプッシャ５３が引張バネ５８ｂの付勢力に抗してレール５４に沿って真下方向に移動する。スライドプッシャ５３は、進出方向に存在する突起部５５を真下方向に押し込み、突起部５５を備える吸着ノズル２は、圧縮バネ５８ａの付勢力に抗して真下方向に移動する。

　真下方向に移動した吸着ノズル２は、負圧によって供給ユニット１４０から電子部品Ｄを取り出し、吸着孔２１で保持する。進退駆動装置５では、吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持すると、回転モータ５１が駆動し、円筒カム５２ａがカムフォロア５２ｂを中心に近づける。円筒カム５２ａ及びカムフォロア５２ｂによる推進力を失ったスライドプッシャ５３は、引張バネ５８ｂの付勢力によって、レール５４に沿って真上方向に後退する。スライドプッシャ５３の後退により、突起部５５とスライドプッシャ５３とが離れ、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２は、圧縮バネ５８ａの付勢力によって真上方向に戻る。

　吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持して、ローター３の中心側に戻ると、中継ユニット１３０のモータ４が駆動し、ローター３を１８０度回転させる。このとき、ローター３は吸着ノズル２と圧縮バネ５８ａのみが搭載されていることにより軽量であり、加減速が容易となっており、軽量化分、吸着ノズル２は高速移動する。

　ローター３の１８０度回転途中、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２は、非停止区間７の一点を通過する。このとき、部品検出センサ６の投光器６１は、側部開口２８に検出光を照射しており、側部開口２８内の反射板２７は検出光をノズル部２２の内部方向に反射させる。ノズル部２２の内部方向へ光路変更された検出光はガラス板２６を透過してノズル部２２の内部を通り、吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していれば、電子部品Ｄにより遮光されて、吸着ノズル２が出射できない。そのため、受光器６２は検出光を受光せず、部品検出センサ６は、受光器６２が検出光を受光していないことにより、電子部品Ｄの脱落無しと判定する。

　一方、ノズル部２２の内部を通る検出光は、吸着ノズル２から電子部品Ｄが脱落していれば、吸着孔２１から出射でき、受光器６２に至る。受光器６２は検出光を受光し、部品検出センサ６は、受光器６２が検出光を受光していることにより、電子部品Ｄの脱落有りと判定する。

　電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２が真上を向いて停止すると、ローター３の半径方向外方である真上に進出する吸着ノズル２、スライドプッシャ５３及び回転モータ５１は、この進出方向と直交する真横方向に並び、吸着ノズル２とスライドプッシャ５３は重なり合って平行に真上へ延びる。

　真上を向く吸着ノズル２を進退させる進退駆動装置５は、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２を真上方向に移動させる。ハンドラ１２０の吸着ノズル１２３は、電子部品Ｄを保持したまま進出してきた吸着ノズル２から電子部品Ｄを取り上げる。中継ユニット１３０の吸着ノズル２は、電子部品Ｄを渡すと、進退駆動装置５によって後退させられ、真下方向に移動して電子部品Ｄを供給ユニット１４０から取り上げるルーチンに戻る。

　電子部品Ｄを中継ユニット１３０から受け取ったハンドラ１２０は、電子部品Ｄを搬送経路１０１に沿って間欠移動させ、各処理ユニット１１０は、電子部品Ｄを処理する。各処理ユニット１１０を巡った電子部品Ｄは、最後に収容ユニット１５０に収容される。

　尚、部品検出センサ６が電子部品Ｄの脱落有りと判定した場合には、電子部品Ｄを受け取るはずであったハンドラ１２０の吸着ノズル１２３が電子部品Ｄを未保持のまま移動しているため、電子部品搬送装置１００は、この吸着ノズル１２３が各処理ユニット１１０に達しても、進退駆動装置１２４及び処理ユニット１１０を不動のままとする。また、例えば、収容ユニット１５０がトレイシフト装置である場合、収容ユニット１５０は、電子部品Ｄを未保持の吸着ノズル１２３が収容ユニット１５０に到達しても、空のポケットを吸着ノズル１２３に向き合わせるトレイシフト動作を行わない。また、例えば、脱落有りの判定に対して、電子部品搬送装置１００を停止させる。

　このように、電子部品搬送装置１００の中継ユニット１３０に電子部品移動装置１を適用することで、吸着ノズル２を半径方向へ延設した中継ユニット１３０に多数の進退駆動装置５を配置することができる。そのため、電子部品Ｄを中継する役割が主であった中継ユニット１３０に、電子部品Ｄの外観検査や位置ズレの補正等の各種処理を付与することができる。即ち、電子部品移動装置１を電子部品移動装置１の高速搬送性を維持したまま、実効的に多機能化することができる。

　尚、本適用例では、部品検出センサ６に対する導光口、透光体及び導光体として、側部開口２８、ガラス板２６及び反射板２７を備えるようにしたが、透光機能、封止機能及び導光機能を備えるならば、ガラス板２６及び反射板２７に限らずに各種光学部品を適用することができる。導光口は、吸着孔２１に及ぶ負圧を減殺させず、または阻害しなければよいため、吸着孔２１から負圧供給口２３よりも遠い位置に形成されていれば、ノズル部２２の後端に形成される必要はない。また、導光体も負圧供給口２３よりも導光口側であれば、導光口の位置を含み、何れに配置されてもよい。

　典型的には、図９に示すように、ノズル部２２に後端開口２５を形成し、即ち吸着孔２１と反対側の筒端部を開口させ、この後端開口２５を塞ぐように三角プリズム２４を設置するようにしてもよい。三角プリズム２４は、直角に交わる一対の四角形面のうちの一方の四角形面２４１で後端開口２５を塞ぎ、吸着ノズル２が部品検出センサ６の位置に達したとき、他方の四角形面２４２が投光器６１と正対するように設置する。

　投光器６１が照射した検出光は四角形面２４２に対して直角に入射し、斜面２４３でノズル部２２の内部方向へ反射し、四角形面２４１を透過して、ノズル部２２の内部を通る。このように、三角プリズム２４は１つの光学部品で透光、封止及び導光機能を備え、後端開口２５を塞ぐ四角形面２４１が透光体となり、斜面２４３が導光体となる。

　その他、ガラス板２６で側部開口２８を塞いでもよいし、三角プリズム２４を側部開口２８に面するようにノズル部２２の内部に設置してもよい。また、透光体としては、ガラス板２６に代えて透明なアクリル板であってもよい。

　図１０に示すように、第２の適用例に係る電子部品搬送装置１００は、処理ユニット１１０、ハンドラ１２０及び供給ユニット１４０を備えている。ハンドラ１２０は、電子部品移動装置１であり、縦置きの２機のローター３を連接して備えている。供給ユニット１４０は一方のローター３の周囲に配置され、収容ユニット１５０は他方のローター３の周囲に配置され、各種の処理ユニット１１０は２機のローター３の周囲に分散配置されている。

　図１１に示すように、各ローター３は、アームを放射状に配した星形又は円盤形状を有し、円中心がモータ４の回転軸に軸支され、モータ４により円周方向に間欠回転する。このローター３は、ローター３が拡がる平面とベース１０２が拡がる平面とが直交するように縦置き配置されている。換言すると、このローター３は、モータ４のモータ軸とベース１０２の平面とが平行に延びるように縦置き配置されている。

　吸着ノズル２は、各アームの先端又は円盤外周に円周等配位置で設置されている。吸着ノズル２は、ローター３の半径方向に筒軸を沿わせ、ローター３の半径方向外方に突き出ており、ローター３の外方に吸着孔２１を向けている。各吸着ノズル２の先端は、ローター３と同心円の同一軌道上に位置する。また、モータ４によるローター３の１ピッチ当たりの回転角度は、吸着ノズル２の角度間隔と同じであり、各吸着ノズル２は、ローター３の全周を吸着ノズル２の数で分割した各角度位置を共通の停止位置にして停止する。両ローター３の最近接位置に各吸着ノズル２が停止するように調整されている。

　吸着ノズル２の各停止位置には、供給ユニット１４０、各種処理ユニット１１０及び収容ユニット１５０が配置され、隣合うローター３の最近接位置、供給ユニット１４０、処理ユニット１１０及び収容ユニット１５０の配置位置には、進退駆動装置５が設置されている。各吸着ノズル２が進退駆動装置５の設置位置に到達すると、吸着ノズル２、スライドプッシャ５３及び回転モータ５１がローター３の回転軸に沿って一直線に並ぶ。

　供給ユニット１４０と連接するローター３には、吸着ノズル２が停止する全停止位置に進退駆動装置５が設置されている。但し、吸着ノズル２の停止位置のうち、吸着ノズル２を進退不要とする処理ユニット１１０が設置されている箇所は、進退駆動装置５は非設置でよい。この処理ユニット１１０は例えば電子部品Ｄを撮像して位置ズレを検出するカメラユニットである。また、２連のローター３を備えるハンドラ１２０において、隣り合ったローター３の最近接点には、向かい合った吸着ノズル２のうちの一方を他方に向けて進退させるために、処理ユニット１１０は非設置であるが、進退駆動装置５が設けられる。もっとも、供給ユニット１４０に連接するローター３において、収容ユニット１５０と連接するローター３との最近接点となる停止位置には進退駆動装置５が設置され、収容ユニット１５０に連接するローター３において、供給ユニット１４０と連接するローター３との最近接点となる停止位置には進退駆動装置５が設置されない。

　吸着ノズル２の各停止位置の間は非停止区間７となっており、非停止区間７の少なくとも１区間内の一点に部品検出センサ６を備えている。一方のローター３による供給ユニット１４０からの電子部品Ｄの受け取り、両ローター３の電子部品Ｄの受け渡し、及び他方のローター３による収容ユニット１５０への電子部品Ｄの渡し時に、電子部品Ｄが脱落する虞が大きい。従って、供給ユニット１４０から始まる最初の非停止区間７、電子部品Ｄを渡されるローター３が電子部品Ｄを受け取ってから最初の非停止区間７、及び収容ユニット１５０で終わる最後の非停止区間７の各一点に部品検出センサ６を設置するとよい。

　第２の適用例に係る電子部品搬送装置１００において、一方のローター３はモータ４によって回転し、１機の吸着ノズル２は供給ユニット１４０に向き合う。この吸着ノズル２の停止位置に配置された進退駆動装置５は、吸着ノズル２を供給ユニット１４０へ進出させ、吸着ノズル２は電子部品Ｄを供給ユニット１４０から受け取る。

　吸着ノズル２が電子部品Ｄを受け取ると、モータ４を駆動源としてローター３は回転し、電子部品Ｄを保持する吸着ノズル２は、部品検出センサ６が配置された非停止区間７を移動し、非停止区間７の一点を通過する。このとき、部品検出センサ６は、吸着ノズル２からの電子部品Ｄの脱落又は受け取り失敗を判定する。電子部品Ｄが脱落又は受け取り失敗していれば、この吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していないものとして、電子部品搬送装置１００は動作する。

　各処理ユニット１１０を経由して、両ローター３の最近接点に電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２が位置すると、両ローター３の向かい合わせになった吸着ノズル２の一方は、進退駆動装置５により他方の吸着ノズル２に向けて進出し、電子部品Ｄが受け渡される。電子部品Ｄが収容ユニット１５０側のローター３に移って最初の非停止区間７の一点には部品検出センサ６が配置されている。

　供給ユニット１４０側のローター３から電子部品Ｄを受け取った吸着ノズル２が非停止区間７の一点を通過する際、部品検出センサ６は電子部品Ｄの脱落又は受け取り失敗を判定する。電子部品Ｄが脱落又は受け取り失敗していれば、この吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していないものとして、電子部品搬送装置１００は動作する。

　更に各処理ユニット１１０を経由して、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２が収容ユニット１５０と向かい合う位置に達すると、この吸着ノズル２の停止位置に配置された進退駆動装置５は、吸着ノズル２を収容ユニット１５０へ進出させ、吸着ノズル２は電子部品Ｄを収容ユニット１５０に渡す。

　尚、このような電子部品搬送装置１００において、ハンドラ１２０は、１機以上のローター３で構成することができ、各ローター３は縦置き配置されていても、横置き配置されていても、１つのハンドラ１２０が縦置きのローター３と横置きのローター３とを連接させて備えるようにしてもよい。

　（他の実施形態）
　以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

　例えば、図１２に示すように、スライドプッシャ５３にはボイスコイルモータ８が配置されてもよい。ボイスコイルモータ８は、軸方向に前進又は後退するロッド８１を備えている。ボイスコイルモータ８は、スライドプッシャ５３の先端に設置され、ロッド８１の端部を吸着ノズル２の突起部５５に向けている。スライドプッシャ５３において、ボイスコイルモータ８のロッド８１が吸着ノズル２の突起部５５との当接部分である。

　回転モータ５１は、スライドプッシャ５３を介して吸着ノズル２を移動させる駆動源であり、一方、隣のローター３との最近接点に設置される進退駆動装置５のボイスコイルモータ８は、向かい合う吸着ノズル２の間に挟まれた電子部品Ｄにかかる荷重を制御する駆動源である。また、処理ユニット１１０と向かい合わせにして設置される進退駆動装置５のボイスコイルモータ８は、吸着ノズル２と処理ユニット１１０との間に挟まれた電子部品Ｄにかかる荷重を制御する駆動源である。

　回転モータ５１が駆動すると、スライドプッシャ５３がロッド８１で吸着ノズル２の突起部５５と当接する。当接後、スライドプッシャ５３が前進して吸着ノズル２を押し出す間、ボイスコイルモータ８は、吸着ノズル２から受ける抗力に等しい反対推力を発生させ、ロッド８１の後退を阻止する。

　電子部品Ｄを他の吸着ノズル２に受け渡す際、スライドプッシャ５３で押し出された吸着ノズル２と、待ち受けている吸着ノズル２との間に挟まれた電子部品Ｄには、ゼロに近い荷重がかかることが望ましい。ボイスコイルモータ８は、電子部品Ｄにかかる荷重を吸収できるように、推力をゼロに近づけてロッド８１が後退可能とする。

　また、電子部品Ｄを処理ユニット１１０に押し付ける際、スライドプッシャ５３で押し出された吸着ノズル２と、待ち受けている処理ユニット１１０との間に挟まれた電子部品Ｄには、所望の荷重がかかることが望ましい。ボイスコイルモータ８は、電子部品Ｄにかける荷重に等しい推力をロッド８１にかける。

　これにより、吸着ノズル２が進退駆動装置５の位置で停止したとき、吸着ノズル２とスライドプッシャ５３と回転モータ５１とがローター３の回転軸に概略沿って並ぶように配置されつつ、電子部品Ｄにかかる荷重をゼロを含む所望値に調整できる。

　本出願は、２０１６年１０月１８日出願の日本特許出願（特願第２０１６－２０４０６５）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。　

１　電子部品移動装置
２　吸着ノズル
２１　吸着孔
２２　ノズル部
２３　負圧供給口
２４　三角プリズム
２４１　第１四角形面
２４２　第２四角形面
２４３　斜面
２５　後端開口
２６　ガラス板
２７　反射板
２８　側部開口
３　ローター
４　モータ
５　進退駆動装置
５１　回転モータ
５２ａ　円筒カム
５２ｂ　カムフォロア
５３　スライドプッシャ
５４　レール
５５　突起部
５６　スリーブ
５７　フランジ
５８ａ　圧縮バネ
５８ｂ　引張バネ
５９　モータフランジ
６　部品検出センサ
６１　投光器
６２　受光器
７　非停止区間
８　ボイスコイルモータ
８１　ロッド
１００　電子部品搬送装置
１０１　搬送経路
１０２　ベース
１１０　処理ユニット
１２０　ハンドラ
１２１　ターレットテーブル
１２２　ダイレクトドライブモータ
１２３　吸着ノズル
１２４　進退駆動装置
１２４ａ　電動機
１２４ｂ　ロッド
１３０　中継ユニット
１４０　供給ユニット
１５０　収容ユニット
Ｄ　電子部品

Claims (12)

1. 　電子部品を先端で保持する保持部と、
   　前記保持部の先端を半径方向外方に向けて当該保持部を回転軸周りに配置し、当該保持部を前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるローターと、
   　前記保持部の少なくとも一箇所の停止位置に設置され、前記保持部を前記ローターの半径方向外方に進出させる進退駆動部と、
   　前記保持部から突出する突起部と、
   　を備え、
   　前記進退駆動部は、
   　前記ローターの半径方向外方にスライド可能に設置され、前記突起部と当接して前記保持部を押し出すスライドプッシャと、
   　前記スライドプッシャの動力源である進退駆動用モータと、
   　を備え、
   　前記スライドプッシャと前記進退駆動用モータとは、前記保持部が前記進退駆動部の位置で停止したとき、前記保持部と前記スライドプッシャと前記進退駆動用モータとが前記ローターの回転面に概略直交する方向に沿って並ぶように配置されている、
   　電子部品移動装置。
2. 　前記保持部は、胴体側部から突出する前記突起部を備え、
   　前記スライドプッシャは、前記突起部よりも前記ローターの中心側に半径方向外方の先端を有し、前記保持部が前記進退駆動部の位置で停止したとき、前記保持部と重なり合うように配置される、
   　請求項１記載の電子部品移動装置。
3. 　前記スライドプッシャは、前記保持部の進出方向と平行に移動可能に設置され、
   　前記進退駆動用モータは、前記スライドプッシャの移動方向と直交するモータ軸を有し、
   　前記スライドプッシャと前記進退駆動用モータとの間に介在し、前記進退駆動用モータの回転推力を前記スライドプッシャの移動方向への直線推力に変換するカム機構を備える、
   　請求項１又は２記載の電子部品移動装置。
4. 　前記進退駆動部は、
   　前記保持部と前記スライドプッシャを前記ローターの中心方向に戻す付勢力を蓄勢する各バネ体を備え、
   　前記スライドプッシャは、前記各バネ体の付勢力に抗して前記保持部を前記ローターの外方へ押し出す、
   　請求項１乃至３の何れかに記載の電子部品移動装置。
5. 　前記ローターの中心をモータ軸で軸支し、前記ローターを間欠回転させる旋回用モータと、
   　前記ローターと前記旋回用モータとの間に介在して拡がるベース板と、
   　を備え、
   　前記進退駆動用モータは、前記ベース板の前記旋回用モータの取り付け面に固定され、
   　前記スライドプッシャは、前記ベース板の前記ローター側の面に設置されている、
   　請求項１乃至４の何れかに記載の電子部品移動装置。
6. 　前記スライドプッシャは、
   　前記保持部が前記進退駆動部の位置で停止したとき、前記保持部のモータフランジ側である真裏、または真裏側であって前記ローターの半径方向、接線方向、或いはローターの回転面と平行で半径方向と斜交わる方向にズレて配置され、
   　前記進退駆動用モータは、
   　前記保持部のモータフランジ側である真裏、または真裏側であって前記ローターの半径方向、接線方向、或いはローターの回転面と平行で半径方向と斜交わる方向にズレて配置されている、
   　請求項５記載の電子部品移動装置。
7. 　前記ローターは、前記保持部を複数備え、当該ローターの全周を前記保持部の数で分割した各角度位置に前記保持部を停止させ、
   　前記進退駆動部は、前記保持部の全停止位置に配置される、
   　請求項１乃至６の何れかに記載の電子部品移動装置。
8. 　前記スライドプッシャは、
   　ロッドを前記突起部に向けて、前記ローターの半径方向外方に設置されるボイスコイルモータを備え、
   　前記ボイスコイルモータは、前記スライドプッシャのスライドによって前記保持部を押し出すとともに、前記ロッドの推力によって前記電子部品にかかる荷重を調整する、
   　請求項１乃至７の何れかに記載の電子部品移動装置。
9. 　請求項１乃至８の何れかに記載の電子部品移動装置を備え、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す電子部品搬送装置。
10. 　前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、
    　前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、
    　前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、
    　前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、
    　を備え、
    　前記電子部品移動装置は、前記供給ユニットの前記電子部品をピックアップして、前記ハンドラに渡す中継ユニットとして、前記供給ユニットと前記搬送経路との間に配置される、
    　請求項９記載の電子部品搬送装置。
11. 　前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、
    　前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、
    　前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、
    　前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、
    　を備え、
    　前記電子部品移動装置は、前記ハンドラとして複数連接して配置される、
    　請求項９記載の電子部品搬送装置。
12. 　前記スライドプッシャ及び前記進退駆動用モータは、
    　前記ローターの前記回転面に直交する方向から見たとき、前記スライドプッシャ又は前記進退駆動用モータの大きい方の領域に、他方が内包されるように配置されている、
    　請求項１乃至７の何れかに記載の電子部品移動装置。
     

Images