TWI478792B

TWI478792B - A method of moving the holding means, an electronic component holding means, and an electronic component handling means

Info

Publication number: TWI478792B
Application number: TW102148759A
Authority: TW
Inventors: Yoshiaki Hara; Hideo Minami
Original assignee: Ueno Seiki Co Ltd
Priority date: 2012-12-27
Filing date: 2013-12-27
Publication date: 2015-04-01
Also published as: TW201440976A

Description

保持手段的移動方法、電子零件保持裝置及電子零件搬運裝置

本發明，是有關於將電子零件交接的保持手段的移動方法、利用該方法的電子零件保持裝置及具備其的電子零件搬運裝置。

電子零件，是被使用在電氣製品的零件，包含半導體元件。半導體元件可舉例晶體管和LED和積體電路，電子零件可舉例電阻和電容器等。此電子零件，一般是在搬運路徑上被保持在保持手段地被搬運。在搬運路徑上，並列有施加流程處理的各種的流程處理裝置，保持手段，是各別下降至所具備的載台，將電子零件朝載台脫離，流程處理終了的話從載台將電子零件拾取，朝下一個過程處理搬運。流程處理，可舉例：方塊切割、裝配、結合(黏著)、及密封等的前過程的處理、裝置的電氣特性測量、分類、印記、外觀檢查、捆包等的後續過程的處理。且，這些各流程處理用的定位處理也被包含於流程處理。

各流程處理裝置，是具有將電子零件載置的載台。為了將流程處理對於電子零件施加，是有需要將保持手段的載台和對於被載置於載台的電子零件的下降位置精度佳地決定。

在例如專利文獻1中，將對於保持手段的電子零件的下降位置如下地測量。即，透過真空吸引電路一邊朝吸附噴嘴給與負壓一邊將該吸附噴嘴朝向測量載置台和基板降下，依據流動於該真空吸引電路內的空氣流量判別吸附噴嘴與載台和被載置於載台的電子零件抵接而求得高度位置資訊。

[習知技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利第3846262號公報

求得下降位置時，將實際噴嘴降下並確認噴嘴的先端及電子零件實際抵接的情況，藉由噴嘴的先端及電子零件的抵接，使壓力從噴嘴的先端部對於電子零件施加。另一方面，對於噴嘴的先端部，施加來自電子零件的反作用的力。容易受到外力影響的電子零件的情況，因為藉由從噴嘴的先端部施加大的外力，而具有變形和龜裂的發生等的問題點。

本發明，是為了解決如上述的習知技術的問題點而提案者，其目的是提供一種進行電子零件的交接的保持手段的到達地點資訊的測量方法、利用該方法的電子零件保持裝置、及具備其的電子零件搬運裝置。

為了解決如上述的課題，本發明，是將電子零件保持的電子零件保持裝置的保持手段的移動方法，其特徵為，包含：將前述保持手段的到達地點預先測量，將依據該到達地點的到達地點資訊記憶的測量步驟；及將前述電子零件保持裝置運轉，使用依據由前述測量步驟所測量的到達地點的到達地點資訊，進行前述保持手段的移動的移動控制步驟；在前述電子零件保持裝置中，設有：與音圈馬達連接的桿、及透過前述桿朝前述保持手段給與推進力使到達前述電子零件的進退驅動用馬達，在前述測量步驟中，在前述保持手段未達前述電子零件的狀態下，將藉由前述進退驅動用馬達朝前述保持手段給與推進力使前述桿沈入前述音圈馬達的力，以由前述音圈馬達所產生的對抗推力阻止，檢出藉由前述保持手段的朝前述電子零件的到達而發生之前述音圈馬達及前述桿的相對的浮起，以將前述相對的浮起檢出的地點作為到達地點，並將有關於到達地點的位置資訊作為到達地點資訊記憶，在前述移動控制步驟中，依據其到達地點資訊將前述保持手段移動。

前述電子零件保持裝置，是在與前述保持手段的電子零件抵接的部分更設有橡膠筒夾也可以。

藉由測量手段，將前述保持手段的現在位置測量，將有關於此現在位置的現在位置資訊及前述到達地點資訊逐次比較，使前述保持手段移動開始，前述現在位置資訊及前述到達地點資訊若一致的話，將前述保持手段停止也可以。

具備：將有關於前述進退驅動用馬達的當初的移動速度的當初速度資訊及有關於下一個的速度資訊的次速度資訊預先記憶的速度資訊記憶手段、依據前述到達地點資訊生成有關於直到變異點為止的移動距離的變異點資訊的生成手段，前述馬達控制部，是將前述保持手段依據由當初速度資訊的速度移動開始，另一方面，前述現在位置資訊及前述變異點資訊若一致的話藉由前述比較手段變更成依據前述次速度資訊的速度，前述現在位置資訊及前述到達地點資訊若一致的話藉由前述比較手段停止也可以。

具備：配置有一或複數前述保持手段的載置台、及將前述載置台每次預定角度間歇旋轉的搬運用馬達，前述保持手段，是停止在設有前述進退驅動用馬達的停止位置，前述到達地點資訊，是與將各保持手段識別的資訊相關連地記憶也可以。

在前述移動位置中，因為具有將電子零件交接的其他的裝置，所以保持手段是使與前述保持手段相面向的方式各一台地位置，前述到達地點資訊，是與：將成為相對面的保持手段及其他的保持手段的組合識別的資訊、及顯示前述移動位置的資訊，相關連地記憶也可以。

前述當初速度資訊及次速度資訊，是顯示進退驅動用馬達的旋轉數的旋轉速度資訊，前述到達地點資訊、前述現在位置資訊、及前述變異點資訊，是顯示進退驅動用馬達的旋轉量的旋轉量資訊也可以。

前述旋轉速度資訊，是朝進退驅動用馬達給與的脈衝頻率，前述旋轉量資訊，是朝進退驅動用馬達給與的脈衝數也可以。

且利用上述保持手段的移動方法的電子零件保持裝置、及具備其的電子零件搬運裝置也是本發明的一態樣。

依據本發明的話，對於容易受到外力影響的電子零件噴嘴抵接的情況時，也可以將保持手段的到達地點資訊測量，藉由依據該測量量進行保持手段的移動，就可以將電子零件的搬運正確地進行。

1‧‧‧電子零件搬運裝置

11‧‧‧搬運路徑

12‧‧‧旋轉台

13‧‧‧搬運用馬達

14‧‧‧流程處理單元

14a‧‧‧位置修正單元

15‧‧‧載台

2‧‧‧電子零件保持裝置

30‧‧‧吸附噴嘴

31‧‧‧臂

32‧‧‧軸承

33‧‧‧壓縮彈簧

34‧‧‧凸緣

35‧‧‧接頭

36‧‧‧橡膠筒夾

37‧‧‧框體部

38‧‧‧接觸部

39‧‧‧平坦部

4‧‧‧進退驅動部

40‧‧‧按壓體

41‧‧‧線性導軌

42‧‧‧桿

43‧‧‧框架

43a‧‧‧下腕

43b‧‧‧上腕

44‧‧‧凸輪從動件

45‧‧‧軸承

46‧‧‧壓縮彈簧

47‧‧‧音圈馬達

47a‧‧‧磁鐵

47b‧‧‧環狀線圈

48‧‧‧檢出部

48a‧‧‧空氣口

48b‧‧‧蓋部

48c‧‧‧配管

48d‧‧‧壓力計

48e‧‧‧空氣壓電路

48f‧‧‧流量計

49f‧‧‧限流孔

49‧‧‧光感測器

50‧‧‧進退驅動用馬達

51‧‧‧圓筒凸輪

52‧‧‧編碼器(扭矩感測器)

6‧‧‧控制部

60‧‧‧模式切換部

60a‧‧‧輸入部

61‧‧‧馬達控制部

62‧‧‧速度資訊記憶手段

63‧‧‧VCM控制部

64‧‧‧接觸判別部

65‧‧‧到達地點位置記憶手段

66‧‧‧生成手段

67‧‧‧變異點資訊記憶手段

68‧‧‧測量手段

69‧‧‧比較手段

70‧‧‧噴嘴識別部

80、81‧‧‧旋轉工作台

9‧‧‧載台裝置

91‧‧‧晶圓

92‧‧‧托盤

100‧‧‧攝影光學系

[第1圖]顯示本實施例的電子零件搬運裝置的整體構成的俯視圖。

[第2圖]顯示本實施例的電子零件搬運裝置的整體構成的側面圖。

[第3圖]顯示本實施例的電子零件保持裝置的整體構成的側面圖。

[第4圖]顯示保持裝置的先端部分的構成的剖面圖。

[第5圖]顯示音圈馬達的內部構成的側面圖。

[第6圖]顯示電子零件保持裝置所具備的檢出部的外部構成的擴大側面圖。

[第7圖]顯示檢出部的整體構成的圖。

[第8圖]顯示檢出部的整體構成的圖。

[第9圖]顯示電子零件保持裝置的控制部的方塊圖。

[第10圖]顯示電子零件保持裝置的控制部的控制動作的流程圖。

[第11圖]顯示通常時的施加在電子零件保持裝置的各部的力的側面圖。

[第12圖]顯示通常時的檢出部的狀態的側面圖。

[第13圖]顯示保持手段與電子零件接觸時的施加在電子零件保持裝置的各部的力的側面圖。

[第14圖]顯示保持手段與電子零件接觸時的檢出部的狀態的側面圖。

[第15圖]顯示電子零件保持裝置的控制部的控制動作的流程圖。

[第16圖]顯示第2實施例中的電子零件搬運裝置的整體構成的側面圖。

[第17圖]顯示電子零件搬運裝置的控制部的方塊圖。

[第18圖]顯示第3實施例中的電子零件搬運裝置的整體構成的側面圖。

[第1實施例]

以下，對於本發明的電子零件搬運裝置的實施例一邊參照圖面一邊詳細說明。

(電子零件搬運裝置1)

如第1、2圖所示，電子零件搬運裝置1，是形成電子零件D的搬運路徑11，對於沿著其搬運路徑11並列的各流程處理單元14依序將電子零件D搬運。此搬運路徑11，是由旋轉台12及電子零件保持裝置2形成。旋轉台12，其中心是由搬運用馬達13的旋轉軸被支撐，隨著搬運用馬達13的驅動而間歇地預定角度旋轉。搬運用馬達13，是例如直接驅動馬達。

電子零件保持裝置2，是將電子零件D朝流程處理單元14交接的裝置，具備將電子零件D保持的吸附噴嘴30。吸附噴嘴30，是在此旋轉台12的外周緣使成為圓周等距離位置的方式被複數設置。具體而言，被支撐在被固定於旋轉台12的外周緣上的臂31。吸附噴嘴30，是藉由使旋轉台12間歇旋轉，而沿著旋轉台12的外周平行移動。吸附噴嘴30的配置間隔，是與旋轉台12的1間距的旋轉角度等同。換言之，搬運用馬達13，是由與吸附噴嘴30的配置間隔相同的間距使旋轉台12間歇旋轉。

此吸附噴嘴30，是沿著旋轉台12的外周的平行移動以外，旋轉台12是與放大平面垂直的方式昇降。即，電子零件保持裝置2，是進一步具備對於吸附噴嘴30賦予昇降方向的推進力的進退驅動部4。其設置位置，是吸附噴嘴30的停止位置正上方，進退驅動部4是被設在不動的塊體。進退驅動部4，是具備：將吸附噴嘴30從正上方按壓的按壓體40、及將其按壓體40可滑動地支撐的線性導軌41。線性導軌41，是被固定於吸附噴嘴30的停止位置正上方。按壓體40，是藉由被支撐於線性導軌41，而位於旋轉台12的上方。

在這種電子零件搬運裝置1中，將電子零件D保持的吸附噴嘴30，是隨著旋轉台12的間歇旋轉，依序朝被設定於圓周等距離位置的停止位置移動。吸附噴嘴30是位於停止位置的話，存在於吸附噴嘴30的上方的進退驅動部4，是藉由由按壓塊體40將吸附噴嘴30按壓，將吸附噴嘴30下降至到達地點為止。在吸附噴嘴30的下降目地的中，存在流程處理單元14。流程處理單元14，是例如，位置修正單元14a。

(電子零件保持裝置2)

第3圖，是顯示設在這種電子零件搬運裝置1的電子零件保持裝置2的整體構成的側面圖。第3圖所示的電子零件保持裝置2，是將電子零件D朝流程處理單元14交接的裝置。在本實施例中，流程處理單元14，例示為位置修正單元14a。

此電子零件保持裝置2，是將吸附噴嘴30的下降動作由被預先決定的時間點終了。此下降動作終了的時間點，是對於被吸附噴嘴30及位置修正單元14a的載台15挾持的電子零件D可施加適切的負荷的時間點。適切的負荷，是例如概略零牛頓。為了不會對於電子零件D給與過度的壓力不會成為破壞的誘因，且，為了防止電子零件D的位置偏離。因此，此電子零件保持裝置2，是將顯示吸附噴嘴30朝到達地點到達的到達地點資訊預先測量，依據該到達地點資訊，由吸附噴嘴30到達到達地點的時間點使下降動作終了的方式驅動。

(吸附噴嘴30)

吸附噴嘴30，是藉由外力從進退開始位置至到達地點為止可滑動地構成。進退開始位置，是外力未施加的情況的吸附噴嘴30的位置。到達地點，是朝吸附噴嘴30的滑動方向加上一定的外力的情況的吸附噴嘴30的位置。

吸附噴嘴30，是被支撐於對於載台15上的電子零件D的載置位置的高度被固定的臂31，位於載台15 的上方的進退開始位置。臂31，是對於載台15朝大致平行延伸，在先端貫設有對於載台15垂直的軸承32。吸附噴嘴30，是將設有開口的先端朝向載台15插入軸承32，從進退開始位置至到達地點為止可滑動地臂31被支撐。

在臂31的軸承32上緣，設有壓縮彈簧33。壓縮彈簧33，是被插入吸附噴嘴30的突出部分。吸附噴嘴30的突出部分，是從軸承32的上緣突出的部分。在吸附噴嘴30的後端側中，設有凸緣34，壓縮彈簧33，是透過此凸緣34將吸附噴嘴30朝背離載台15的方向推迫。朝向對於吸附噴嘴30的載台15的外力若被解除的話，吸附噴嘴30，是從載台15背離，移動至進退開始位置為止。

吸附噴嘴30，是內部為中空的配管，在先端具有開口。透過與吸附噴嘴30的後端連接的接頭35使配管內部及空氣壓電路連通，藉由真空的發生由先端將電子零件D吸附，藉由真空破壞將電子零件D脫離。藉由大氣解放使電子零件D脫離也可以，將真空破壞及大氣解放依序切換使電子零件D脫離也可以。

在此吸附噴嘴30的先端部中，可以將第4圖的樣的橡膠筒夾36設在先端部分。此橡膠筒夾36，是藉由吸附噴嘴30的延伸方向的壓力使發生彎曲的方式具有彈力。橡膠筒夾36，是由此彈力吸收由與電子零件D接觸時的接觸所產生的力者。

如第4圖所示，橡膠筒夾36，是將：圓筒型的框體部37、及大致圓錐的接觸部38，一體地構成者。接觸部38，是設於框體部37的與電子零件D相面對的側。接觸部38的頂點部分，是設有平坦部39。吸附噴嘴30是將電子零件D保持的情況時，由寬面積與電子零件D接觸。

橡膠筒夾36內部，是與吸附噴嘴30的空氣壓電路連通，藉由真空的發生由先端將電子零件D吸附，藉由真空破壞將電子零件D脫離。橡膠筒夾36，是使空氣不會從接觸部分漏出的方式，與吸附噴嘴30密合地設置。例如，在橡膠筒夾36內部設有凹部。此凹部，是藉由與設在吸附噴嘴30的先端部分的凸部分組合，使橡膠筒夾36及吸附噴嘴30密合。為了使密合，吸附噴嘴30的凸部分的徑，是比橡膠筒夾36的凹部徑更若干大也可以。

(進退驅動部4)

進退驅動部4，是由按壓體40及進退驅動用馬達50所構成。按壓體40，主要是將進退驅動用馬達50所發生的推進力傳達至吸附噴嘴30。

按壓體40，是朝將吸附噴嘴30壓下的方向可滑動地被支撐在線性導軌41。線性導軌41的軌道部分，是朝與載台15垂直的方向延伸，高度為固定。在按壓體40的下端，延設有桿42。桿42，是與吸附噴嘴30的後端相對面地配置，吸附噴嘴30及軸線是共通。

此按壓體40，是具有大致的字形狀的框架43。按壓體40，是由框架43的背的部分被支撐於線性導軌41，在框架43的下腕43a具備桿42。框架43的下腕43a，是對於載台15的載置面呈水平延伸，在其先端及吸附噴嘴30的軸線交叉部分安裝有桿42。桿42，是與下腕43a的延伸方向垂直地安裝，使先端及後端從下腕43a的上下突出。

在框架43的上腕43b中，在其上面設有凸輪從動件44。此凸輪從動件44，是為了將進退驅動用馬達50的旋轉力傳達，將按壓體40壓下而設置。進退驅動用馬達50，是例如伺服馬達。在進退驅動用馬達50的旋轉軸中，固定有圓筒凸輪51。圓筒凸輪51及凸輪從動件44抵接，凸輪從動件44，是沿著圓筒凸輪51的凸輪面從動。

按壓體40，是進一步具備感知由吸附噴嘴30移動所產生的與電子零件D接觸用的檢出機構。此檢出機構，是檢出：桿42的滑動機構、朝桿42對於推進施加力的音圈馬達47、及桿42的音圈馬達47的相對的浮起用的檢出部48。且，對於音圈馬達47的相對的浮起，換言之是桿42朝音圈馬達47埋入。

具體而言，在框架43的下腕43a中，貫設有對於載台15的載置面垂直的軸承45。桿42，是被插入此軸承45，成為朝桿42的軸線方向可滑動。且，在框架43的下腕43a的下面中，設有具有將桿42從音圈馬達47進出的推迫力的壓縮彈簧46，輔助音圈馬達47的推進力。

音圈馬達47，是被固定於框架43的上腕43b的下面。此音圈馬達47，是將桿42的後端側支撐，使桿42進出及後退。音圈馬達47，是電流及推進力為比例關係的線性馬達，如第5圖所示，具有磁鐵47a及環狀線圈47b。

檢出部48，是藉由將配管48c內的空氣壓的變化直接檢出，來檢出桿42的浮起。如第6圖所示，蓋部48b是配管的一部分，桿42浮起前，是藉由被覆蓋來保持配管48c內的密閉狀態。例如，如第7圖所示，在此配管48c中，設有檢出內部的壓力壓力計48d，監視內部的壓力。桿42浮起的話，設在桿42的蓋部48b也浮起，配管48c內的密閉狀態被解放，內部的壓力會變化。在壓力計48d中，檢出此壓力的變化。

且檢出部48，不是只有藉由將配管48c內的壓力直接檢出，來檢出桿42的浮起，且藉由檢出空氣的流入或是流出，來檢出桿42的浮起也可以。例如，如第8圖所示，在配管48c內部中設有流量計48f。流量計48f，是例如，具有：在配管48c內突出限流孔48g、及檢出限流孔48g所分段的2個領域的差壓的差壓檢出部。

進退驅動用馬達50，是依據來自後述的控制部6、旋轉速度、旋轉量及扭矩的指示，使發生朝吸附噴嘴30的推進力，且控制吸附噴嘴30的進退終點及進退速度。

(控制部6)

第9圖，是顯示具有這種構成的電子零件保持裝置2的控制部6的構成的方塊圖。控制部6，是具備：模式切換部60、及馬達控制部61、及速度資訊記憶手段62、及VCM控制部63、及接觸判別部64、及到達地點資訊記憶手段65、及生成手段66、及變異點資訊記憶手段67、及測量手段68、及比較手段69、及速度記憶手段70。

模式切換部60，是依據來自輸入部60a的輸入，切換：將吸附噴嘴30的到達地點測量的到達地點測量模式、及依據有關於所測量的到達地點的位置的資訊也就是到達地點資訊進行吸附噴嘴30的移動的控制的移動控制模式。輸入部60a，是將來自使用者的輸入接受的介面，可利用：鍵盤、滑鼠、觸控面板、液晶末端(終端機)等各種的輸入裝置。

馬達控制部61，是控制：進退驅動用馬達50的旋轉速度、旋轉量及扭矩。旋轉速度是旋轉角的速度，旋轉量是旋轉角度。此時，比較：所指示的扭矩、旋轉速度、及旋轉量、及從進退驅動用馬達50的編碼器52或扭矩感測器52所檢出的旋轉速度、旋轉量及扭矩，進行反饋控制也可以。

速度資訊記憶手段62，是記憶：以馬達控制部61進行進退驅動用馬達50的驅動時的有關於當初的移動速度的當初速度資訊、及有關於下一個的速度資訊的次速度資訊。當初的移動速度，是吸附噴嘴30從進退開始位置移動時的進退驅動用馬達50的驅動速度。下一個的速度資訊，是吸附噴嘴30從進退開始位置預定量移動之後的進退驅動用馬達50的驅動速度。此速度資訊，是由馬達的旋轉速度，或是脈衝頻率所表示。

VCM控制部63，是將音圈馬達47的推力控制。接觸判別部64，是將來自檢出部48的訊號輸入，判別電子零件D及吸附噴嘴30的接觸。

到達地點資訊記憶手段65，是將有關於到達地點的位置資訊的到達地點資訊記憶。到達地點資訊記憶手段65，是使用不揮發性的記憶體等的記憶手段。到達地點資訊，是由進退驅動用馬達50的旋轉數表示。此旋轉量，是顯示：吸附噴嘴30從進退開始位置時移動，直到桿的浮起發生為止進退驅動用馬達50旋轉了幾圈的值。

生成手段66，是依據到達地點資訊，生成變異點資訊。變異點資訊，是使吸附噴嘴30的移動速度變化的變異點的位置資訊。變異點，是被設在進退開始位置、及到達地點之間。變異點，是直到吸附噴嘴30與電子零件D抵接之前，藉由使移動速度變慢，在對於吸附噴嘴30的移動時間的影響少的範圍，將抵接時的衝擊緩和。因此，變異點，是設在到達地點的附近較佳。此變異點的位置資訊，是由：從作為到達地點資訊記憶的旋轉量，將預定的旋轉量的差分取得的旋轉量表示。變異點資訊記憶手段67，是將由生成手段66所生成的變異點資訊記憶。

測量手段68，是測量前述吸附噴嘴30的現在位置資訊。現在位置資訊，是顯示吸附噴嘴30，現在存在於那一地點的位置資訊。現在位置資訊，是由顯示：為了使吸附噴嘴30從進退開始位置時移動至現在位置為止將驅動用馬達50旋轉了幾圈的值所表示。

比較手段69，是逐次比較：現在位置資訊、及到達地點資訊或是變異點資訊。現在位置資訊、及到達地點資訊或是變異點資訊的比較，是藉由取得：現在位置資訊及到達地點資訊的差分、現在位置資訊及變異點資訊的差分來進行。

且此控制部6，是作為電子零件搬運裝置1的控制部的一部分設置也可以，作為電子零件保持裝置2的構成的一部分設置也可以。

(作用)

將具備此樣的構成的電子零件保持裝置2的作用參照第10圖~第16圖進行說明。在電子零件保持裝置2中，進行：(1)吸附噴嘴30及電子零件D抵接的到達地點的測量、及(2)將吸附噴嘴30從進退開始位置移動至到達地點為止的控制。

(1)吸附噴嘴30及電子零件D抵接的到達地點的測量方法

第10圖，是顯示吸附噴嘴30及電子零件D抵接的到達地點的測量方法的流程圖，以下，與控制部6的控制動作一起說明電子零件保持裝置2的狀態。

在初始，模式切換部60，是依據來自輸入部60a的輸入，設定到達地點測量模式(步驟S01)。到達地點測量模式被設定的話，旋轉台12會旋轉，在停止位置配置有吸附噴嘴30。在位置修正單元14a的載台15中，載置著成為搬運對象的電子零件D。在到達地點測量模式中，將停止在停止位置的吸附噴嘴30，對於載置在載台15的電子零件D移動，將吸附噴嘴30及電子零件D抵接的到達地點測量。

接著，在吸附噴嘴30的移動階段中，在步驟S02中，馬達控制部61，是開始進退驅動用馬達50的驅動。馬達控制部61，是使吸附噴嘴30與桿42一起透過該桿42下降的力在進退驅動用馬達50發生。

藉由此進退驅動用馬達50的驅動，圓筒凸輪51會旋轉，使與圓筒凸輪51的凸輪面抵接的凸輪從動件44，受到朝向載台15的推進力。朝向載台15的推進力，是成為朝向吸附噴嘴30的按壓體40的推進力，按壓體40，是沿著線性導軌41下降。按壓體40若下降的話，桿42會與吸附噴嘴30的後端抵接。馬達控制部61是藉由進一步將進退驅動用馬達50驅動，使按壓體40將吸附噴嘴30壓下。吸附噴嘴30，是抵抗壓縮彈簧33的推舉推迫力開始下降。

此時，如第11圖所示，吸附噴嘴30是從桿42承受下降力Fr，桿42，是成為受到其反作用力Fcr。此反作用力Fcr，是設有將吸附噴嘴30推舉的壓縮彈簧33的情況時，等同對於朝延伸方向被推迫的壓縮彈簧33的彈力之抵抗力。且，設有將桿42壓下的壓縮彈簧46的情況時，桿42所承受的反作用力Fcr，是等同對於將此壓縮彈簧46的彈力從吸附噴嘴30的壓縮彈簧33的彈力減去的力之抵抗力。

且在吸附噴嘴30的下降階段中，在步驟S03中，VCM控制部62，是使音圈馬達47的驅動開始，在桿42使發生與反作用力Fcr同等的對抗推力Fopp。此音圈馬達47的驅動開始，是與進退驅動用馬達50的推力發生同時，或是桿42與吸附噴嘴30抵接之前。與反作用力Fcr同等的對抗推力Fopp，是反作用力Fcr及力的大小為相同，但是方向相反的推力。嚴格上，壓縮彈簧33是隨著被壓縮，反作用力Fcr增大，但是藉由VCM控制部62，將對抗推力Fopp與反作用力Fcr成比例地增大的方式控制也可以。

此時，如第12圖所示，因為桿42，雖是承受反作用力Fcr，但是從音圈馬達47承受對抗推力Fopp，所以作用於桿42的力是平衡，桿42是維持平衡狀態，不會對於音圈馬達47進退。且，如第12圖所示，在桿42的平衡狀態被維持的情況時，蓋部48b是覆蓋在空氣口 48a，從空氣口48a不會有空氣的流入或是流出。

接著，在接觸判別階段中，在步驟S04中，接觸判別部64，是判別檢出部48是否檢出到桿42的浮起。

在吸附噴嘴30未達電子零件D的情況，桿42是維持平衡狀態。即，因為沒有對於由桿42所產生的音圈馬達47的相對的浮起，蓋部48b是覆蓋於空氣口48a的狀態。因此，在壓力計48d的值沒有變化，檢出部48是將不變值朝接觸判別部64輸出。接觸判別部64，是藉由將預先記憶的門檻值及檢出部48的輸出值比較，確認該輸出值為不變值，以該確認作為桿42的浮起未被檢出。

另一方面，如第13圖所示，吸附噴嘴30下降，與被載置於載台15的電子零件D接觸的話，在桿42中透過吸附噴嘴30施加阻力Fd。阻力Fd，是與電子零件D接觸時，桿42所承受的吸附噴嘴30本身的重量和桿42動作時發生的摩擦等的力。即，此力，是吸附噴嘴30從桿42與下降力Fr相比較的話，非常弱的力。因此，藉由與電子零件D的接觸，可以防止過大的負荷施加在電子零件D。

如第14圖所示，桿42浮起的話，被覆空氣口48a的蓋部48b，是遠離空氣口48a。在從蓋部48b被開放的空氣口48a中，空氣會流入或是流出，壓力計48d的值會變化。接觸判別部64，是藉由比較門檻值及檢出部48的輸出值，確認該輸出值為變化值，以該確認作為桿42的浮起被檢出。

桿42的浮起是未被檢出的話(步驟S04、No)，馬達控制部61，是直到桿是浮起為止，持續吸附噴嘴30的下降。在吸附噴嘴30的降下中，桿42的浮起被檢出的話(步驟S04、Yes)，其是顯示吸附噴嘴30與電子零件D接觸。桿42的浮起被檢出的情況時，將進退驅動用馬達50的驅動停止(步驟S05)。由此，防止過度地朝電子零件D施加負荷。

且桿42的浮起被檢出的情況時，馬達控制部61，是將驅動用馬達的旋轉量對於到達地點資訊記憶手段65發訊。在到達地點資訊記憶手段65中，將收訊到的旋轉量作為到達地點資訊記憶。(步驟S06)。

(2)將吸附噴嘴30從進退開始位置至到達地點為止的移動的控制

第15圖，是顯示：參照有關於被記憶在到達地點資訊記憶手段65中的到達地點的到達地點資訊，將吸附噴嘴30移動至到達位置為止的移動控制模式的流程圖。

在移動控制模式中，在初始，模式切換部60，是依據來自輸入部60a的輸入，設定到達地點測量模式(步驟S11)。對於被配置於停止位置的吸附噴嘴30，加上進退驅動用馬達50的推進力，使吸附噴嘴30保持的電子零件D對於載台15降下。此時，馬達控制部，是依據當初速度資訊將進退驅動用馬達50驅動(步驟S12)。當初速度資訊，是被記憶在速度資訊記憶手段62，由馬達控制部參照速度資訊記憶手段62的形式叫出。

在步驟S13中，藉由比較手段69，判別吸附噴嘴30的現在位置資訊是否與到達地點資訊一致。將吸附噴嘴30的現在位置資訊，藉由測量手段84測量。比較手段69，是比較：吸附噴嘴30的現在位置資訊、及到達地點資訊，判別是否一致。不一致的情況時，將進退驅動用馬達50的驅動由當初速度持續(步驟S13的NO)。

吸附噴嘴30的現在位置資訊及到達地點資訊，是一致的情況時，將進退驅動用馬達50的驅動速度朝次速度變更(步驟S14)。次速度，是被記憶在速度資訊記憶手段62，由馬達控制部參照速度資訊記憶手段62的形式叫出。

在步驟S15中，藉由比較手段69，判別吸附噴嘴30的現在位置資訊是否與變異點位置資訊一致。吸附噴嘴30的現在位置資訊，是藉由測量手段84測量，朝比較手段69輸出。比較手段69，是比較：吸附噴嘴30 的現在位置資訊、及變異點位置資訊，判別是否一致。不一致的情況時，將進退驅動用馬達50的驅動由當初速度持續(步驟S15的NO)。

吸附噴嘴30的現在位置資訊及到達地點資訊，是一致的情況時，將進退驅動用馬達50停止(步驟S16)。

(效果)

以上，如以上說明，在本實施例中，在到達地點測量模式中，測量吸附噴嘴30及電子零件D抵接的到達地點，將到達地點資訊記憶。在移動控制模式中，依據其到達地點資訊，由吸附噴嘴30從進退開始位置至到達地點為止到達的時間點終了移動。由此，可以達成以下的效果。

(1)在到達地點測量模式中，將音圈馬達47作為吸附噴嘴30及電子零件D的接觸檢出的一構成的功能。藉由將與桿42所承受的反作用力Fcr同等的對抗推力Fopp施加在桿42，使施加在桿42的總合的負荷成為0牛頓。由此，感知吸附噴嘴30及電子零件D的接觸時發生的阻力Fd。

阻力Fd，是吸附噴嘴30從桿42與下降力Fr相比較的話，非常弱的力。藉由將施加在桿42的總合的負荷成為0牛頓，就可以感知此阻力Fd。因此，可以使桿42及電子零件D的接觸時的負荷成了低負荷，不會對於電子零件D給與過度的壓力且不會成為破壞的誘因。且，可以防止電子零件D的位置偏離。

將感知到此阻力Fd時的吸附噴嘴30的到達地點資訊記憶。吸附噴嘴30的到達地點資訊，因為可以由進退驅動用馬達50的旋轉量等的數值顯示，所以不依賴人類的感覺等，可以將噴嘴的移動量的測量簡易化。

且電子零件搬運裝置1是在旋轉台12具備複數吸附噴嘴30的情況等，是將各別的吸附噴嘴30的到達地點資訊記憶在到達地點資訊記憶手段62進行管理。由此，在各噴嘴的長度有誤差的情況等，由各別的吸附噴嘴30使移動量不同的情況時，也預先將其吸附噴嘴30的到達地點資訊記憶。依據其到達地點資訊，由吸附噴嘴30從進退開始位置至到達地點為止到達的時間點終了移動。由此，在電子零件搬運裝置1具有複數吸附噴嘴30情況時，也可以將各吸附噴嘴30的移動量個別地記憶、管理。

在各製品將吸附噴嘴30和挾盤的種類變更的情況時，測量交換後的各吸附噴嘴30和挾盤的到達地點資訊，作為新的到達地點資訊記憶。也可以對應吸附噴嘴30和挾盤的種類的變更。

(2)在移動控制模式中，依據到達地點資訊，由吸附噴嘴30從進退開始位置至到達地點為止到達的時間點終了移動。此時，在到達到達地點的吸附噴嘴30及電子零件D之間具有游隙的話，將電子零件D吸附時的衝擊會施加於吸附噴嘴30。此衝擊是成為將吸附噴嘴30的先端磨耗的原因。且，在已至到達地點的吸附噴嘴30及電子零件D之間游隙即使為0，在吸附噴嘴30及電子零件D之間大的力施加的話，也會藉由此力將吸附噴嘴30的先端磨耗。在吸附噴嘴30到達地點為止到達的時間點中，吸附噴嘴30及電子零件D的游隙是0，且，在吸附噴嘴30中，對於電子零件D只有施加極弱的力也就是阻力Fd的大小的力。因此，吸附噴嘴30的先端的磨耗成為不會產生。

(3)且為了減少吸附噴嘴30及電子零件D的抵接時的影響，在吸附噴嘴30的先端設有橡膠筒夾36的情況時，在抵接時對於橡膠筒夾36施加來自電子零件D的力，使橡膠筒夾36變形。因此，在吸附噴嘴的到達地點的測量中，藉由橡膠筒夾36的變形，正確地將吸附噴嘴的到達地點測量是困難的。

在本實施例中，在吸附噴嘴的先端設置橡膠筒夾36的情況時，可以將阻力Fd設成橡膠筒夾36會彎曲的力未滿的大小。因此，橡膠筒夾36不會彎曲，可測量到達地點，依據該到達地點的資訊將吸附噴嘴30的下降動作由預先決定的時間點終了。由此，也不需要考慮橡膠筒夾36的彎曲來調整噴嘴的移動量。習知的話，由目視確認橡膠筒夾36的變形狀況，測量噴嘴的移動量。但是，在本實施例中，不需要即使熟練的作業員也會在調整花費時間的由目視確認的人力所進行的調整，成為可正確地測量吸附噴嘴30的到達地點。

進一步，在多品種少量生產中，電子零件D的品種交換，是頻繁地進行。尤其是，小批次的品種的切換是頻發的話，在吸附噴嘴的調整很花費時間，電子零件保持裝置的運轉時間會下降。在本實施例中，即使使用橡膠筒夾36的情況，也成為可正確地測量到達地點。因此，電子零件D的品種的切換即使頻繁地發生，可以使其每次的調整短時間進行，可以抑制電子零件保持裝置的運轉時間的下降。

(4)將電子零件保持裝置長時間運用的話，吸附噴嘴30的先端會磨耗。由此，在至其為止的到達地點為止移動的時間點中，吸附噴嘴30、及電子零件D是無法抵接。此情況，在維修時，將到達地點的測量重新進行，將新的到達地點的位置資訊作為到達地點資訊更新。在移動控制模式中，依據新的到達地點，進行進退驅動用馬達50的控制，將吸附噴嘴30移動至新的到達地點為止。

且進行了成為搬運對象的電子零件D的種類的變更的情況時，有需要配合新的電子零件D進行到達地點的測量。此情況時，也將到達地點的測量重新進行。在移動控制模式中，依據新的到達地點資訊，進行進退驅動用馬達50的控制，將吸附噴嘴30配合新的電子零件D移動。由此，成為搬運對象的電子零件D的種類被變更的情況時，也可以藉由進行到達地點的測量，將吸附噴嘴30 正確地移動。

在本實施例中，因為可以將吸附噴嘴30的到達地點非常簡單且精度佳地檢出，所以即使進行了維修和電子零件D的種類的變更時，也可以由短時間決定吸附噴嘴的移動量。

(5)進一步，由吸附噴嘴30從進退開始位置至變異點為止移動的時間點，將移動速度變更也可以。即，由來自吸附噴嘴30的進退開始位置的當初速度移動，在變異點，朝次速度變更。

變異點的位置資訊，是每進行到達地點的測量，就被記憶於變異點資訊記憶手段67。此變異點，是從到達地點至預定的距離，設於吸附噴嘴30的接近進退開始位置側者。因此，每次到達地點被測量使到達地點資訊被更新時，變異點的位置資訊也被更新。

預先，將次速度設定成比當初速度低速。藉由從進退開始位置將吸附噴嘴30由高速移動，就可以短縮吸附噴嘴30接近電子零件D的時間。另一方面，在變異點中，藉由將吸附噴嘴30的移動速度朝低速變更，就可以減少與電子零件D接觸的影響。

(6)且在其他的流程處理單元14中的流程處理，可以轉用或是併用將適切的負荷朝電子零件D給與所利用的音圈馬達47，就不需要特別的機械的構成。

[第2實施例]

以下，對於本發明的第2實施例的電子零件搬運裝置一邊參照第16圖一邊詳細說明。本實施例，是在第1實施例的電子零件搬運裝置1配置有電子零件的交接手段也就是旋轉工作台80者。旋轉工作台80，是由拾取地點B從晶圓91將電子零件D取出。其後，由交接地點A朝電子零件搬運裝置1的旋轉台12的吸附噴嘴30將電子零件傳送。由此，電子零件D是成為流動在電子零件搬運裝置1的搬運路徑。即，旋轉工作台80，是從晶圓91朝電子零件搬運裝置1將電子零件D載置替換的交接手段。

在旋轉台12的吸附噴嘴30中，各別附加串列數。在旋轉台12設有8個吸附噴嘴的情況，在吸附噴嘴中賦予T001~T008的串列數。同樣地，在旋轉工作台80設有8個吸附噴嘴的情況，在吸附噴嘴中賦予R801~R808的串列數。

即，旋轉工作台80，是具備將電子零件D由先端保持及脫離的複數吸附噴嘴R801~R808。此吸附噴嘴R801~R808，是在同一圓周上由圓周等距離位置被設置，從其圓周中心沿著半徑方向延伸。吸附噴嘴R801~R808，是將先端朝向外方地配置。旋轉工作台80，是將保持了電子零件的吸附噴嘴R801~R808，通過其圓周中心將與該半徑方向垂直的軸作為旋轉中心每次預定角度旋轉。

此旋轉工作台80，是在垂直方向進行旋轉。即，旋轉工作台80的旋轉軸，是朝水平方向延伸。旋轉工作台80，是將被保持於吸附噴嘴R801~R808的電子零件D朝垂直方向移動。

吸附噴嘴R801~R808，是藉由旋轉工作台80的間歇旋轉，使至少在載置台的頂點停止的方式被調整。在此頂點中，吸附噴嘴R801~R808，是位於電子零件搬運裝置1的旋轉台12的吸附噴嘴T001~T008的停止位置的一處的正下方。在此停止位置中，吸附噴嘴T001~T008、及吸附噴嘴R801~R808是使先端彼此相面向地停止。由此停止位置，將吸附噴嘴R801~R808所保持的電子零件D朝吸附噴嘴T001~T008傳送。即，此停止位置，是成為交接地點A。

在交接地點A中，吸附噴嘴R801~R808，是由其先端將電子零件D的一面保持。即，將電子零件D的相反面，朝向在交接地點A相面對的吸附噴嘴T001~T008。收取側的吸附噴嘴T001~T008，是將其相反面由先端保持。其後，旋轉台12是藉由旋轉，直到旋轉台12的其他的停止位置為止將電子零件D保持並搬運。

晶圓91，是被配置於旋轉工作台80的下降點的一處。載台裝置9，是藉由在電子零件被取出的晶圓91一邊將電子零件D載置一邊與XY方向平行移動，將各電子零件D逐一地位置在拾取地點B。

拾取地點B，是吸附噴嘴R801~R808的最靠近晶圓91的停止位置。在本實施例中，旋轉台12及旋轉工作台80是被上下配置，旋轉工作台80的上部是成為交接位置A、正下方是成為拾取地點B。

(進退驅動部4)

由按壓體40及進退驅動用馬達50所構成的進退驅動部4，是被設在：旋轉台12的停止位置的交接地點A、及旋轉工作台80的停止位置的拾取地點B。

在交接地點A中，只有在旋轉台12側設有進退驅動部4。即，在交接地點A中，吸附噴嘴T001~T008，是朝向吸附噴嘴R801~R808成為為了迎接電子零件的交接的構成。

在拾取地點B中，在旋轉工作台80設有進退驅動部4。即，在拾取地點B中，吸附噴嘴R801~R808，是成為對於晶圓91將電子零件迎接的構成。

(控制部6)

在本實施例的控制部中，如第17圖所示，除了第1實施例的控制部6的構成以外，設有噴嘴識別部70。

噴嘴識別部70，是將停止於交接地點A的吸附噴嘴識別。分別在旋轉台12的吸附噴嘴T001~T008、及旋轉工作台80的吸附噴嘴R801~R808的各不同的位置，設置缺口部。噴嘴識別部70，是具備光感測器49，檢出吸附噴嘴T001~T008及吸附噴嘴R801~R808的缺口部分的有無，與預先記憶的缺口部分建立對應。

光感測器49，是從發光部將光照射，由受光部將其光承受取得的感測器。發光部，是利用LED，受光部，是利用光晶體管和光二極管。此光感測器49的發光部及受光部，是將吸附噴嘴T001~T008的停止位置挾持地配置。

此時，在發光部及受光部之間，配置有吸附噴嘴T001~T008的缺口部。噴嘴識別部70，是藉由光感測器49，檢出缺口部分的有無，與預先記憶的缺口部分建立對應。由此，吸附噴嘴識別部70，是識別停止於交接地點A的吸附噴嘴T001~T008。藉由將同樣的噴嘴識別部70設在旋轉工作台80，將吸附噴嘴R801~R808識別。

吸附噴嘴T001，是對於吸附噴嘴R801進行了到達地點的測量的情況時，作為T001-R801的組合中的到達地點，將到達地點資訊記憶在到達地點資訊記憶手段65。

變異點資訊記憶手段67，是將由生成手段66所生成的變異點資訊記憶。生成手段66，是依據到達地點資訊，生成有關於變異點的變異點資訊。變異點資訊的生成，是在各記憶於到達地點資訊記憶手段65的到達地點資訊進行。吸附噴嘴T001，是對於吸附噴嘴R801進行了到達地點的測量的情況時，生成吸附噴嘴的組合T001-R801的變異點資訊並記憶。

(1)吸附噴嘴及電子零件D抵接的到達地點的測量

在交接地點A中的吸附噴嘴T001~T008、及吸附噴嘴R801~R808保持的電子零件D抵接的到達地點的測量方法中，與第1實施例的電子零件搬運裝置1中的到達地點的測量同樣地進行。

設定模式被設定的話，被設在旋轉台12及旋轉工作台80的串列數較年輕的吸附噴嘴30是被配置於交接地點A(T001-R801)。此時吸附噴嘴R801，是將成為交接對象的電子零件D保持。且，將進退驅動用馬達50驅動並開始吸附噴嘴T001的移動。吸附噴嘴T001是藉由與吸附噴嘴R801所保持的電子零件D抵接，檢出桿的浮起。由此，進行對於吸附噴嘴T001的吸附噴嘴R801所保持的電子零件D的到達地點的測量。

接著，將旋轉台12旋轉，將吸附噴嘴T002配置於交接地點A。同樣地，將吸附噴嘴T002對於吸附噴嘴R801所保持的電子零件D移動，進行吸附噴嘴T002的到達地點的測量。如此，各到達地點的測量終了時，將旋轉台12旋轉，將吸附噴嘴T001~T008配置在交接地點A。對於吸附噴嘴T001~T008的吸附噴嘴R801的保持的電子零件D的測量終了之後，使旋轉工作台80旋轉，將R802配置在交接地點A。如此，進行對於吸附噴嘴T001~T008的吸附噴嘴R801~R808所保持的電子零件D的測量。其後，將測量結果記憶在到達地點資訊記憶手段65，使到達地點測量模式終了。

(2)將吸附噴嘴從進退開始位置至到達地點為止的移動的控制

在將吸附噴嘴T001~T008從進退開始位置至到達地點為止的移動的控制中，與第1實施例同樣，參照被記憶在到達地點資訊記憶手段65中的到達地點資訊的方式進行。

在交接地點A中，配置有吸附噴嘴T001及吸附噴嘴R801的情況，從到達地點資訊記憶手段65，將T001-R801的組合中的吸附噴嘴T001的到達地點資訊叫出。依據該到達地點資訊開始進退驅動用馬達50的驅動。比較手段69，是進行：T001-R801中的吸附噴嘴T001的到達地點資訊、及吸附噴嘴T001的現在位置資訊的比較。且，一致的情況時，將進退驅動用馬達停止。

(效果)

如以上說明，在本實施例中，尤其是，在電子零件搬運裝置1配置有電子零件的交接手段也就是旋轉工作台80的情況，在交接地點A中，將吸附噴嘴T001~T008的移動距離，與吸附噴嘴R801~R808的組合相關連地記憶。因此，在測量模式中，在吸附噴嘴T001~T008及吸附噴嘴R801~R808的各組合即使到達地點不同的情況時，也成為可在各組合適切地進行到達地點的測量。由此，除了第1實施例的效果以外，也可以達成以下的效果。

(1)在移動控制模式中，依據吸附噴嘴T001~T008及吸附噴嘴R801~R808的各組合的適切的到達地點，進行吸附噴嘴T001~T008的移動。因此，即使在交接地點A任何組合的吸附噴嘴被配置，也可以將吸附噴嘴T001~T008移動至適切的位置為止。由此，對於吸附噴嘴R801~R808所保持的電子零件D，不會施加大的負荷，可防止電子零件D的脫落。且，在本實施例中，在交接地點A中，雖在旋轉台12側設置進退驅動部4，但是在旋轉工作台80側設置進退驅動部4也可以。此情況，將保持電子零件D的R801~R808移動的構成也可以。

且在本實施例中，也可以在吸附噴嘴30的先端設置橡膠筒夾36。尤其是，在吸附噴嘴R801~R808的先端設置橡膠筒夾36的情況時，吸附噴嘴T001~T008的到達地點的測量時，吸附噴嘴R801~R808是將電子零件D保持。因此，如習知，如由目視確認的由人力所進行的調整中，橡膠筒夾的變形狀況，是由吸附噴嘴T001~T008的接觸所產生者，或由電子零件D的自重所產生者，並不易判斷。但是，在本實施例中，被保持於吸附噴嘴R801~R808的電子零件D、及吸附噴嘴T001~T008的接觸，可以藉由橡膠筒夾36可彎曲的力未滿的大小的阻力Fd檢出。成為可正確地測量吸附噴嘴T001~T008的到達地點。

在以上中，雖說明了收取位置A中的位置測量模式、及移動控制模式，但是在拾取地點B中的吸附噴嘴R801~R808的到達地點的測量也可應用。

(2)在本實施例也與前述第1實施例同樣，進行吸附噴嘴30的移動的控制也可以。

(3)將交接位置A或是拾取地點B中的吸附噴嘴30的移動的控制，參照被記憶在記憶部6的到達地點資訊來決定。在吸附噴嘴30的移動的控制中，將吸附噴嘴30的移動速度從進退開始位置移動開始時的話，在電子零件D的接觸前變更也可以。

由此，藉由從進退開始位置將吸附噴嘴30由高速移動，就可以短縮吸附噴嘴30接近電子零件D的時間。另一方面，由到達地點的前方，藉由將吸附噴嘴30由低速移動，就可以減少與電子零件D接觸的影響。

[第3實施例]

以下，對於本發明的第3實施例的電子零件搬運裝置1一邊參照圖面一邊詳細說明。本實施例，是將形成第1實施例的電子零件搬運裝置1的搬運路徑的旋轉台12，變更成2個旋轉工作台80、81者。

旋轉工作台80，是由拾取地點B從托盤92將電子零件D取出。其後，由交接地點A朝旋轉工作台81的吸附噴嘴30將電子零件D傳送。將電子零件D收取的旋轉工作台81，是由脫離地點C位在另一方的托盤92。由此，電子零件D是成為從托盤92至另一方的托盤92為止被搬運。且，2連的旋轉工作台80、81，是成為從一方的托盤92至另一方的托盤92為止的一連的搬運路，並且也成為電子零件D的表背反轉機構。

在旋轉工作台80、81的吸附噴嘴30中，各別被附加R801~R808、R811~R818的串列數。吸附噴嘴R801~R808、及吸附噴嘴R811~R818是將先端彼此相面向地停止，將吸附噴嘴R801~R808所保持的電子零件D朝吸附噴嘴R811~R818傳送。即，此停止位置，是成為交接地點A。

在交接地點A中，只有在旋轉工作台81側設有進退驅動部4。即，在交接地點A中，吸附噴嘴R811~R818，是朝向吸附噴嘴R801~R808成為為了迎接電子零件D的交接的構成。

在本實施例中，搬運路徑是設有2個旋轉工作台80、81的情況，在交接地點A中，將吸附噴嘴R811~R818的移動距離，與吸附噴嘴R801~R808的組合相關連地記憶。因此，在測量模式中，即使到達地點在吸附噴嘴R811~R818及吸附噴嘴R801~R808的各組合皆不同的情況時，也成為可在各組合適切地進行到達地點的測量。且，將吸附噴嘴R811~R818從進退開始位置至到達地點為止的移動的控制中，與第1、2的實施例同樣，參照被記憶在到達地點資訊記憶手段65中的到達地點資訊來進行。由此，在第1、2的實施例的效果以外，也可以達成以下的效果。

(1)在移動控制模式中，依據吸附噴嘴 R811~R818及吸附噴嘴R801~R808的各組合的適切的到達地點，進行吸附噴嘴R811~R818的移動。因此，即使在交接地點A任何吸附噴嘴被配置，也可以將吸附噴嘴R811~R818移動至適切的位置為止。由此，對於吸附噴嘴R801~R808所保持的電子零件D，不會施加大的負荷，可防止電子零件D的脫落。且，在本實施例中，在交接地點A中，只有在旋轉工作台81側設置進退驅動部4，但是在旋轉工作台80側設置進退驅動部也可以。此情況，將保持電子零件D的R801~R808移動的構成也可以。

(2)在本實施例中，由1個搬運路同時將複數品種搬運也可以。例如，藉由對於品種A使用偶數號的吸附噴嘴30，對於品種B使用奇數號的吸附噴嘴30，就可以同時將2種類的品種搬運。此情況，對於保持了品種A、B的吸附噴嘴，將另一方的吸附噴嘴移動，將各噴嘴的到達地點與各噴嘴的組合相關連地記憶。由此，可以將2個品種的電子零件D同時由1個搬運路搬運。

且只有將品種A搬運的情況時，使用只有偶數號的吸附噴嘴，將旋轉工作台每次移動2間距。另一方面，使用奇數號的吸附噴嘴，將旋轉工作台每次移動2間距。由此，藉由選擇將電子零件D吸附的吸附噴嘴，不需進行噴嘴的移動距離的調整，就可作為可將搬運的電子零件的品種切換的電子零件搬運裝置的功能。

[其他的實施例]

如以上雖說明了本發明的實施例，但是在不脫離發明的實質範圍內，可以進行各種的省略、置換、變更。且，此實施例和其變形，是被包含於發明的範圍和實質，並且被包含於申請專利範圍的發明及其均等的範圍。

(1)在各實施例中，在位置修正單元14a的載台15上載置電子零件D，在到達地點測量模式中，將吸附噴嘴30對於被載置在載台15的電子零件D移動，測量吸附噴嘴30及電子零件D抵接的到達地點。不是只有此，將電子零件D保持在吸附噴嘴30，將保持了電子零件D的吸附噴嘴30對於載台15移動，測量吸附噴嘴30所保持的電子零件D及載台15的抵接的到達地點也可以。

由此，不是只有對於載置在載台15的電子零件D的吸附噴嘴的到達地點，將保持了的電子零件D載置在載台15時，也可以將吸附噴嘴30的到達地點測量。

(2)且在各實施例中，進退驅動用馬達50雖是使用伺服馬達的情況為例說明，但是馬達，是步進馬達等公知的話其中任一也可適用。

(3)到達地點資訊，雖是顯示吸附噴嘴30從進退開始位置時移動直到桿的浮起發生為止進退驅動用馬達50旋轉了幾圈的旋轉量，但是到達地點資訊，是利用其他的資訊也可以。例如，由將吸附噴嘴30從進退開始位置時，直到桿的浮起發生為止的進退驅動用馬達50 的旋轉速度由驅動時間積分者，作為到達地點資訊也可以。

(4)雖說明了吸附噴嘴30採用吸附噴嘴的例，但是在吸附噴嘴以外，配置靜電吸附方式、柏努利挾盤方式、或是將電子零件D機械性地挾持的挾盤機構也可以。

(5)雖說明了在吸附噴嘴的先端設置橡膠筒夾36的例，但是橡膠筒夾36，是除了橡膠製的橡膠筒夾以外，只要使用彈性構件的話各種的筒夾也可以。

(6)具備壓縮彈簧33、36的雙方、具備其中任一方、不具備雙方者也可以，對應其態樣使發生與桿42所承受的反作用力Fcr同等的對抗推力Fopp即可。即，推進力Fr，是包含：只有將無壓縮彈簧33、36的吸附噴嘴30移動的力、只有抵抗壓縮彈簧33將吸附噴嘴30移動的力、或是只有抵抗壓縮彈簧33、36的彈力的差分將吸附噴嘴30移動的力，反作用力Fcr，是對應其推進力Fr的意思。

(7)雖說明了噴嘴識別部70是具備光感測器49的例，但是可以將停止在停止位置的吸附噴嘴30的串列數識別的方法的話，可替代成其他的方法。例如，各吸附噴嘴，是設置埋入了ID資訊的RF標籤，藉由無線通訊讀出來自停止在停止位置的吸附噴嘴30的RF標籤的資訊，將吸附噴嘴30的串列數識別也可以。且，在各吸附噴嘴30附加顯示串列數的條碼，將停止在停止位置的吸附噴嘴30的條碼讀出也可以。

進一步，噴嘴識別部70不是只有機械性地從外部將噴嘴識別者，使用程式由軟體識別也可以。例如，噴嘴識別部70，是將包含CPU的噴嘴位置及噴嘴的停止位置建立對應的資料庫更新者，在旋轉台12的每一旋轉將資料庫上的停止位置資訊，更新成下一個的位置資訊者。

(8)旋轉速度資訊雖舉例進退驅動用馬達40的旋轉數，旋轉量資訊雖舉例進退驅動用馬達40的旋轉量，但是其他，只要可以顯示進退驅動用馬達的旋轉速度資訊、旋轉量資訊的資訊的話，可以利用各種的參數。例如，旋轉量資訊，是朝進退驅動用馬達給與的脈衝數，前述旋轉速度資訊，是朝進退驅動用馬達給與的脈衝頻率。

(9)電子零件保持裝置2的檢出部48，是藉由檢出：配管內的空氣壓的變化、和通過空氣口48a的空氣的流入或是流出，來檢出桿42對於音圈馬達47相對地浮起，但是藉由其他的方法檢出桿42的浮起也可以。

(10)流程處理單元14，雖舉例位置修正單元14a的例，但是其他的流程處理單元14，可選擇：零件進給機、位置修正單元、測試接點裝置、印記單元、外觀檢查裝置、分類整理機構、不良品排出裝置等之中的一或複數種類。

(11)雖舉例在一個的旋轉台12配置各種的流程處理單元14的情況的例，但是搬運機構，是直線搬運方式也可以，且由複數旋轉台12構成一搬運路徑11也可以。各種的流程處理單元14，不限定於上述的種類，可與各種的流程處理單元14置換，配置順序也可適宜地變更。