JPH10294349A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH10294349A JPH10294349A JP10309597A JP10309597A JPH10294349A JP H10294349 A JPH10294349 A JP H10294349A JP 10309597 A JP10309597 A JP 10309597A JP 10309597 A JP10309597 A JP 10309597A JP H10294349 A JPH10294349 A JP H10294349A
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- Japan
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- wafer
- pulse
- wafers
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハ支持ボート、又はウエハキャリア内のウ
エハおよびフォークの相対位置を確認することができる
搬送装置を提供する。 【解決手段】フォーク１のウエハ２間挿入後の上昇量を
搬送装置内の、ロータリエンコーダパルス２５から読み
取りフォークの上面とウエハとの接触点における圧力変
化を真空センサの出力２６として取り込む。
エハおよびフォークの相対位置を確認することができる
搬送装置を提供する。 【解決手段】フォーク１のウエハ２間挿入後の上昇量を
搬送装置内の、ロータリエンコーダパルス２５から読み
取りフォークの上面とウエハとの接触点における圧力変
化を真空センサの出力２６として取り込む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送装置に係り、特
に、半導体ウエハ（以下、ウエハ、と称す）の製造装置
の真空ラインを有する搬送装置において、搬送装置の機
器とその搬送対象物との距離（隙間）を検出し、表示、
判定を行う搬送装置の位置監視装置に関する。
に、半導体ウエハ（以下、ウエハ、と称す）の製造装置
の真空ラインを有する搬送装置において、搬送装置の機
器とその搬送対象物との距離（隙間）を検出し、表示、
判定を行う搬送装置の位置監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】移載用フォークを有するウエハ搬送装置
は、ボート又はキャリアからのウエハ取り出し、収納の
工程を自動化する際のフォーク位置決め方法としてウエ
ハ間、キャリア溝間での教示を行いその情報を基に決め
られたピッチでフォークが上昇／加工しウエハの取り出
し、収納を行う方法がある。
は、ボート又はキャリアからのウエハ取り出し、収納の
工程を自動化する際のフォーク位置決め方法としてウエ
ハ間、キャリア溝間での教示を行いその情報を基に決め
られたピッチでフォークが上昇／加工しウエハの取り出
し、収納を行う方法がある。
【０００３】この方法を具体化した例としてのウエハ搬
送装置を図８に示し、また、ウエハ支持ボートにおける
詳細を図６及び図７に示す。
送装置を図８に示し、また、ウエハ支持ボートにおける
詳細を図６及び図７に示す。
【０００４】図８においてモータ１５と送りネジ１６及
びボートテーブル５は連結されており、モータ１５の回
転によって処理室１７からボートテーブル５上のウエハ
を支持したウエハ支持ボート４を降下させる。ボートテ
ーブル５は自身が持つセンサカット板６が光電センサ７
をさえぎる迄降下し、光電センサ７の出力にて停止す
る。
びボートテーブル５は連結されており、モータ１５の回
転によって処理室１７からボートテーブル５上のウエハ
を支持したウエハ支持ボート４を降下させる。ボートテ
ーブル５は自身が持つセンサカット板６が光電センサ７
をさえぎる迄降下し、光電センサ７の出力にて停止す
る。
【０００５】ウエハ支持ボート４内のウエハは、図６に
示すリング８ａ，８ｂ上にあるウエハ支持部９において
３点にて支持されている。上リング８ａはその上のウエ
ハの下リングとなり、下リング８ｂはその下のウエハの
上リングとなる。フォークの教示方法は図６に示すよう
に、ウエハ支持ボート４最下段（１段目）の下リング８
ｂとウエハ支持部上にあるウエハ２の中間点にフォーク
１を操作し目視にて合わせ込みを行いダウン位置データ
として入力する。その後、図７に示すように、ウエハ支
持部９上面と上リング８ａとの中間点にフォーク１を上
昇させ、上昇量１４をアップ位置データとして入力す
る。同作業を図８ウエハ支持ボート４の最上段（例えば
５０段目）でも行い箇々のピッチはデータの演算にて決
定され図示しない制御回路に入力されている。
示すリング８ａ，８ｂ上にあるウエハ支持部９において
３点にて支持されている。上リング８ａはその上のウエ
ハの下リングとなり、下リング８ｂはその下のウエハの
上リングとなる。フォークの教示方法は図６に示すよう
に、ウエハ支持ボート４最下段（１段目）の下リング８
ｂとウエハ支持部上にあるウエハ２の中間点にフォーク
１を操作し目視にて合わせ込みを行いダウン位置データ
として入力する。その後、図７に示すように、ウエハ支
持部９上面と上リング８ａとの中間点にフォーク１を上
昇させ、上昇量１４をアップ位置データとして入力す
る。同作業を図８ウエハ支持ボート４の最上段（例えば
５０段目）でも行い箇々のピッチはデータの演算にて決
定され図示しない制御回路に入力されている。
【０００６】上記のように構成されたウエハ搬送装置に
おけるウエハ２の搬送動作について以下に説明する。図
８においてウエハ支持ボート４からのウエハ２取り出し
は、教示ポイントダウン位置（図６の状態）にフォーク
１が上昇、矢印Ｘ方向（水平方向）に摺動、停止する。
続いてフォーク１先端の小孔と連結された、バキューム
ホース１８内が負圧になりウエハ吸着の準備が完了す
る。先述した条件成立後フォーク１はパルスモータ１３
にて教示されたアップ位置（図７の状態）迄上昇し停止
後、図８の反矢印Ｘ方向に摺動しウエハ取り出しを完了
する。
おけるウエハ２の搬送動作について以下に説明する。図
８においてウエハ支持ボート４からのウエハ２取り出し
は、教示ポイントダウン位置（図６の状態）にフォーク
１が上昇、矢印Ｘ方向（水平方向）に摺動、停止する。
続いてフォーク１先端の小孔と連結された、バキューム
ホース１８内が負圧になりウエハ吸着の準備が完了す
る。先述した条件成立後フォーク１はパルスモータ１３
にて教示されたアップ位置（図７の状態）迄上昇し停止
後、図８の反矢印Ｘ方向に摺動しウエハ取り出しを完了
する。
【０００７】また、ウエハ支持ボート４へウエハ２を収
納する場合は、フォーク１上に吸着されたウエハ２は教
示ポイントアップ位置（図７の状態）にフォーク１が上
昇、図８の矢印Ｘ方向に摺動し、停止後、バキュームホ
ース１８内が常圧となり吸着力が無くなる。先述した条
件成立後フォーク１はパルスモータ１３にてダウン位置
（図６の状態）迄下降し停止後、反矢印Ｘ方向に摺動し
ウエハ収納が完了する。
納する場合は、フォーク１上に吸着されたウエハ２は教
示ポイントアップ位置（図７の状態）にフォーク１が上
昇、図８の矢印Ｘ方向に摺動し、停止後、バキュームホ
ース１８内が常圧となり吸着力が無くなる。先述した条
件成立後フォーク１はパルスモータ１３にてダウン位置
（図６の状態）迄下降し停止後、反矢印Ｘ方向に摺動し
ウエハ収納が完了する。
【０００８】そして従来技術では、ロータリエンコーダ
１２と真空センサ１１から搬送装置の制御部に信号が入
力され、この制御部がフォークを上昇させたり（Ｚ軸方
向に駆動させたり）、水平の一方向に動かしたり（Ｘ軸
方向に駆動させたり）するが、この時、Ｚ軸の移動量
は、エンコーダの波形を一定量カウントして移動するだ
けである。すなわち従来技術は、真空センサはウエハが
吸着しているか否かを判断し、エンコーダはフォークが
どのくらい上昇したかを見るだけであり、両者は相互の
関係を有さないでそれぞれ独立に用いており、それらの
信号からウエハを吸着するためにフォークをどのくらい
動かさなければならないかを演算することはしていなか
った。
１２と真空センサ１１から搬送装置の制御部に信号が入
力され、この制御部がフォークを上昇させたり（Ｚ軸方
向に駆動させたり）、水平の一方向に動かしたり（Ｘ軸
方向に駆動させたり）するが、この時、Ｚ軸の移動量
は、エンコーダの波形を一定量カウントして移動するだ
けである。すなわち従来技術は、真空センサはウエハが
吸着しているか否かを判断し、エンコーダはフォークが
どのくらい上昇したかを見るだけであり、両者は相互の
関係を有さないでそれぞれ独立に用いており、それらの
信号からウエハを吸着するためにフォークをどのくらい
動かさなければならないかを演算することはしていなか
った。
【０００９】そこで従来は、ウエハ間を目視にて確認し
教示を行っているが、光学式センサにてウエハを検出し
ようとしても、ウエハの端面形状、色、面粗度により安
定した反射光が得られず出力にバラツキが発生するため
に正確な位置検出が出来ない。
教示を行っているが、光学式センサにてウエハを検出し
ようとしても、ウエハの端面形状、色、面粗度により安
定した反射光が得られず出力にバラツキが発生するため
に正確な位置検出が出来ない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図８において上記従来
の方法では、ウエハ２取り出し、収納時のフォーク１、
ウエハ２間の位置検出が出来ず、フォーク１がウエハ支
持ボート４内でどのような位置にあるのかを検知出来な
い。
の方法では、ウエハ２取り出し、収納時のフォーク１、
ウエハ２間の位置検出が出来ず、フォーク１がウエハ支
持ボート４内でどのような位置にあるのかを検知出来な
い。
【００１１】したがって、ウエハ移載の際のフォーク１
の位置ズレ、ウエハ支持ボート４停止位置ズレ、ウエハ
位置ズレ検出が出来ない。このためウエハ２の取り出
し、収納の際に先述した位置ズレによりウエハ２とフォ
ーク１が接触しキズ、又は正確な移載動作を行えない場
合があった。
の位置ズレ、ウエハ支持ボート４停止位置ズレ、ウエハ
位置ズレ検出が出来ない。このためウエハ２の取り出
し、収納の際に先述した位置ズレによりウエハ２とフォ
ーク１が接触しキズ、又は正確な移載動作を行えない場
合があった。
【００１２】また、従来例にあっては教示方法も人の目
による位置合わせにより行われているため、正確な教示
を行うには熟練した技術を必要とし、迅速な教示が出来
ない等の課題がある。また、光学式センサも不安定な出
力しか出せず、正確な位置検出ができない。
による位置合わせにより行われているため、正確な教示
を行うには熟練した技術を必要とし、迅速な教示が出来
ない等の課題がある。また、光学式センサも不安定な出
力しか出せず、正確な位置検出ができない。
【００１３】したがって本発明は、ウエハ支持ボート、
又はウエハキャリア内のウエハの位置を確認、監視する
ことでウエハ表面へのキズ、ゴミを防止し正しい搬送を
行うことを目的とする。
又はウエハキャリア内のウエハの位置を確認、監視する
ことでウエハ表面へのキズ、ゴミを防止し正しい搬送を
行うことを目的とする。
【００１４】また、フォーク位置を数値確認出来ること
で、適正位置への教示作業を実施することを目的とす
る。
で、適正位置への教示作業を実施することを目的とす
る。
【００１５】またこれにより、製品不良を防止する信頼
性向上、数値認識による教示作業の操作性、保守性向上
を目的とする。
性向上、数値認識による教示作業の操作性、保守性向上
を目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
ウエハを支持するボート又はウエハキャリアへ半導体ウ
エハを搬送する機能を備えた搬送装置において、その搬
送器具であるフォークの半導体ウエハ間挿入後の上昇量
を搬送装置内の、ロータリエンコーダパルスから読み取
り前記フォークの上面と前記半導体ウエハとの接触点に
おける圧力変化を真空センサの出力として取り込むこと
で、搬送装置の半導体ウエハ間挿入時の前記フォークの
上面と前記ウエハの裏面との相対位置（隙間）を検出す
る検出手段を有する位置監視装置を具備した搬送装置に
ある。
ウエハを支持するボート又はウエハキャリアへ半導体ウ
エハを搬送する機能を備えた搬送装置において、その搬
送器具であるフォークの半導体ウエハ間挿入後の上昇量
を搬送装置内の、ロータリエンコーダパルスから読み取
り前記フォークの上面と前記半導体ウエハとの接触点に
おける圧力変化を真空センサの出力として取り込むこと
で、搬送装置の半導体ウエハ間挿入時の前記フォークの
上面と前記ウエハの裏面との相対位置（隙間）を検出す
る検出手段を有する位置監視装置を具備した搬送装置に
ある。
【００１７】ここで、前記ロータリエンコーダのパルス
を前記真空センサの出力点で分離し、前記ウエハ間挿入
時の前記フォークの上面と前記ウエハの裏面との距離と
して表示する手段及び、前記出力点から前記フォークの
上昇端までの移動距離を表示する手段を有することが好
ましい。
を前記真空センサの出力点で分離し、前記ウエハ間挿入
時の前記フォークの上面と前記ウエハの裏面との距離と
して表示する手段及び、前記出力点から前記フォークの
上昇端までの移動距離を表示する手段を有することが好
ましい。
【００１８】具体的には、先の図８を参照して図１及び
図２を用いて説明すると、本発明の搬送装置位置監視装
置は、ウエハ２の取り出し時、フォーク１の前進後、上
昇時のロータリエンコーダ１２出力パルスＤを真空セン
サ１１作動時まで読み込みフォーク１とウエハ２の隙間
量検出する。このようにウエハ吸着時に大きく変化する
圧力を検出する真空センサ１１の差動信号を利用し位置
検出手段とした事を特徴とする。また、本発明の搬送装
置位置監視装置は、真空センサ１１作動後フォーク１上
昇完了迄のロータリエンコーダ１２出力パルスＥを読み
込みフォーク１のウエハ２吸着後の上昇量として検出し
上昇過多を検知する事を特徴とする。
図２を用いて説明すると、本発明の搬送装置位置監視装
置は、ウエハ２の取り出し時、フォーク１の前進後、上
昇時のロータリエンコーダ１２出力パルスＤを真空セン
サ１１作動時まで読み込みフォーク１とウエハ２の隙間
量検出する。このようにウエハ吸着時に大きく変化する
圧力を検出する真空センサ１１の差動信号を利用し位置
検出手段とした事を特徴とする。また、本発明の搬送装
置位置監視装置は、真空センサ１１作動後フォーク１上
昇完了迄のロータリエンコーダ１２出力パルスＥを読み
込みフォーク１のウエハ２吸着後の上昇量として検出し
上昇過多を検知する事を特徴とする。
【００１９】また、本発明の搬送装置位置監視装置は真
空センサ１１をアナログ出力式にする事で検知感度の微
調整を可能とした事を特徴とする。
空センサ１１をアナログ出力式にする事で検知感度の微
調整を可能とした事を特徴とする。
【００２０】さらに、本発明の搬送装置位置監視装置
は、検出したロータリエンコーダ１２のパルスを隙間量
カウンタ１９、上昇量カウンタ２０に取込み換算し数値
にて表示する事を特徴とする。
は、検出したロータリエンコーダ１２のパルスを隙間量
カウンタ１９、上昇量カウンタ２０に取込み換算し数値
にて表示する事を特徴とする。
【００２１】また、本発明の搬送装置位置監視装置は、
ロータリエンコーダ１２のパルスが任意に設定した値を
超えると警報を発する事を特徴とする。
ロータリエンコーダ１２のパルスが任意に設定した値を
超えると警報を発する事を特徴とする。
【００２２】このような本発明によれば、フォークの動
作量分出されるロータリエンコーダのパルス信号を読み
込みながら、ウエハ吸着信号を真空センサでとらえるこ
とにより、それまで読み込んだパルスをフォーク前進時
のフォーク上面とウエハ底面までの隙間量、信号入力後
のパルスをフォークとウエハの接触点からの上昇量とし
て検出される。
作量分出されるロータリエンコーダのパルス信号を読み
込みながら、ウエハ吸着信号を真空センサでとらえるこ
とにより、それまで読み込んだパルスをフォーク前進時
のフォーク上面とウエハ底面までの隙間量、信号入力後
のパルスをフォークとウエハの接触点からの上昇量とし
て検出される。
【００２３】上記の検出動作をウエハ支持ボート内、又
はウエハキャリア内全てのスロットルで行うことで、ウ
エハ支持ボート、又はウエハキャリアのウエハ支持部ピ
ッチの変化、あるいは突発的に発生したウエハ支持部の
位置変化、又は搬送装置の機械的な位置変化を検出する
ことができる。
はウエハキャリア内全てのスロットルで行うことで、ウ
エハ支持ボート、又はウエハキャリアのウエハ支持部ピ
ッチの変化、あるいは突発的に発生したウエハ支持部の
位置変化、又は搬送装置の機械的な位置変化を検出する
ことができる。
【００２４】また、本発明の搬送装置位置監視装置にお
いては、検出手段の真空スイッチをアナログ出力式にし
たことで、フォークのウエハ吸着タイミングの微調整を
可能にする。
いては、検出手段の真空スイッチをアナログ出力式にし
たことで、フォークのウエハ吸着タイミングの微調整を
可能にする。
【００２５】さらに、本発明の搬送装置位置監視装置
は、検出したロータリエンコーダの出力パルスをカウン
タに取込みｍｍ換算した値を表示することで、教示者に
数値的認識ができ決められた教示範囲への適切な補正数
値の入力を可能にする。
は、検出したロータリエンコーダの出力パルスをカウン
タに取込みｍｍ換算した値を表示することで、教示者に
数値的認識ができ決められた教示範囲への適切な補正数
値の入力を可能にする。
【００２６】また、本発明の搬送装置位置監視装置は、
検出したロータリエンコーダの出力パルスが任意に設定
した値に対し変化した場合、アラーム信号を発し搬送装
置を停止させ、被害の発生を未然に防ぎ、信頼性の向上
につながる。
検出したロータリエンコーダの出力パルスが任意に設定
した値に対し変化した場合、アラーム信号を発し搬送装
置を停止させ、被害の発生を未然に防ぎ、信頼性の向上
につながる。
【００２７】
【発明の実施の形態】次に図面を参照して本発明を詳細
に説明する。
に説明する。
【００２８】図１乃至図４は本発明の実施の形態を示す
図であり、図１はエンコーダ波形と真空センサの出力と
の関係を主に示す図、図２は位置監視装置（演算部）を
主に示す図であり、図３はフォークが挿入された状態と
エンコーダ波形を示す図であり、図４はフォークが上昇
した状態とエンコーダ波形を示す図である。
図であり、図１はエンコーダ波形と真空センサの出力と
の関係を主に示す図、図２は位置監視装置（演算部）を
主に示す図であり、図３はフォークが挿入された状態と
エンコーダ波形を示す図であり、図４はフォークが上昇
した状態とエンコーダ波形を示す図である。
【００２９】図１及び図２を参照すると、搬送装置内の
ロータリエンコーダ１２と真空センサ１１及び搬送装置
位置監視装置内のＮＰＮトランジスタ、データフリップ
フロップＴＴＬ２３、プログラマブルコントローラ２
２、カウンタ１９，２０を有して構成される。特にロー
タリエンコーダ１２はＡ相、Ｂ相を有し、真空センサ１
１はアナログ電圧出力を有する設定圧調整容易なセンサ
が望ましい。また、カウンタ１９，２０は入力信号に対
し設定値をもうけ外部出力を有するものである。また、
図１において○を付した部分Ｋは、真空センサで検出し
ている部分を示し、この部分でウエハ２とフォーク１と
の間の隙間を見ている。
ロータリエンコーダ１２と真空センサ１１及び搬送装置
位置監視装置内のＮＰＮトランジスタ、データフリップ
フロップＴＴＬ２３、プログラマブルコントローラ２
２、カウンタ１９，２０を有して構成される。特にロー
タリエンコーダ１２はＡ相、Ｂ相を有し、真空センサ１
１はアナログ電圧出力を有する設定圧調整容易なセンサ
が望ましい。また、カウンタ１９，２０は入力信号に対
し設定値をもうけ外部出力を有するものである。また、
図１において○を付した部分Ｋは、真空センサで検出し
ている部分を示し、この部分でウエハ２とフォーク１と
の間の隙間を見ている。
【００３０】次に、本発明の実施の形態の動作について
説明する。搬送装置のフォーク動作用パルスモータ１３
に連動されたロータリエンコーダ１２（１２ｂ）の出力
パルスはＺ軸エンコーダ出力２５として本発明の搬送装
置位置監視装置に取り込まれる。ＤＣ５ＶのＺ軸エンコ
ーダ出力をＮＰＮトランジスタ２１ｅ、２１ｆにてオー
プンコレクタ信号にしカウンタ１９，２０に入力する。
説明する。搬送装置のフォーク動作用パルスモータ１３
に連動されたロータリエンコーダ１２（１２ｂ）の出力
パルスはＺ軸エンコーダ出力２５として本発明の搬送装
置位置監視装置に取り込まれる。ＤＣ５ＶのＺ軸エンコ
ーダ出力をＮＰＮトランジスタ２１ｅ、２１ｆにてオー
プンコレクタ信号にしカウンタ１９，２０に入力する。
【００３１】真空センサ１１の出力２６は、本発明の搬
送装置位置監視装置に取り込まれＮＰＮトランジスタ２
１ｇにてオープンコレクタ信号となりプログラマブルコ
ントローラ２２に入力される。プログラマブルコントロ
ーラ２２はあらかじめ決められたプログラムにより、真
空センサ１１の出力２６の立ち上がり点Ｂを境に隙間量
カウンタ１９にはＢ−Ｃ間（Ｅ）のＺ軸エンコーダ出力
２５を取り込まないように入力禁止信号を発し、上昇量
カウンタ２０にはＢ−Ａ間（Ｄ）のＺ軸エンコーダ出力
２５を取り込まないように入力禁止信号を発する。
送装置位置監視装置に取り込まれＮＰＮトランジスタ２
１ｇにてオープンコレクタ信号となりプログラマブルコ
ントローラ２２に入力される。プログラマブルコントロ
ーラ２２はあらかじめ決められたプログラムにより、真
空センサ１１の出力２６の立ち上がり点Ｂを境に隙間量
カウンタ１９にはＢ−Ｃ間（Ｅ）のＺ軸エンコーダ出力
２５を取り込まないように入力禁止信号を発し、上昇量
カウンタ２０にはＢ−Ａ間（Ｄ）のＺ軸エンコーダ出力
２５を取り込まないように入力禁止信号を発する。
【００３２】Ｘ軸エンコーダパルス（図示省略）はＮＰ
Ｎトランジスタ２１ａ、２１ｃによって信号処理後、デ
ータフリップフロップＴＴＬにより優先化されＮＰＮト
ランジスタ２１ｂ、２１ｄよってオープンコレクタ信号
に変換後プログラマブルコントローラ２２に入力され、
カウンタ１９，２０の入力禁止条件の信号として処理さ
れる。
Ｎトランジスタ２１ａ、２１ｃによって信号処理後、デ
ータフリップフロップＴＴＬにより優先化されＮＰＮト
ランジスタ２１ｂ、２１ｄよってオープンコレクタ信号
に変換後プログラマブルコントローラ２２に入力され、
カウンタ１９，２０の入力禁止条件の信号として処理さ
れる。
【００３３】図２において、搬送装置の制御部（コント
ローラ）２８に、信号ＴＡと本発明の位置監視装置によ
る信号ＴＢが伝達される。信号ＴＡは従来技術によるも
ので、これに本発明による信号ＴＡが追加されている。
ローラ）２８に、信号ＴＡと本発明の位置監視装置によ
る信号ＴＢが伝達される。信号ＴＡは従来技術によるも
ので、これに本発明による信号ＴＡが追加されている。
【００３４】先に述べたように従来技術ではエンコーダ
の波形を一定量カウントして移動するだけであり、ＴＡ
は実際に「動け」という命令を出すときにどのくらい動
いたかということをコントローラが知るための信号であ
る。
の波形を一定量カウントして移動するだけであり、ＴＡ
は実際に「動け」という命令を出すときにどのくらい動
いたかということをコントローラが知るための信号であ
る。
【００３５】これに対してＴＢは、「位置監視装置」の
演算結果判明した隙間量と上昇量との計算結果を「動
け」という命令を出すコントローラに知らせるための信
号である。
演算結果判明した隙間量と上昇量との計算結果を「動
け」という命令を出すコントローラに知らせるための信
号である。
【００３６】したがって、ＴＡはコントローラがフォー
クをどのくらい動かしたか、ウエハを吸着したか否かを
知るための信号であり、ＴＢはＴＡの信号から演算され
た結果の信号で、隙間量カウンターの信号と上昇量カウ
ンターの信号とに基づいてコントローラは今の動作が正
しかったかどうかを判断し、補正する必要があれば補正
を行う。
クをどのくらい動かしたか、ウエハを吸着したか否かを
知るための信号であり、ＴＢはＴＡの信号から演算され
た結果の信号で、隙間量カウンターの信号と上昇量カウ
ンターの信号とに基づいてコントローラは今の動作が正
しかったかどうかを判断し、補正する必要があれば補正
を行う。
【００３７】次により具体的に実施の形態を説明する。
【００３８】搬送送装置の位置監視装置は搬送装置自身
が持つＸ軸ロータリエンコーダ１２ａ、及びＺ軸ロータ
リエンコーダ１２ｂ、そして真空センサ１１のコネクタ
部より信号を位置監視のためのデータとして取り込んで
いる。部品はＮＰＮトランジスタ２１ａ〜２１ｇ、デジ
タルフリップフロップ２３、プログラマブルコントロー
ラ２２、隙間量表示／判断用カウンタ１９、上昇量表示
／判断用カウンタ２０を有して構成されている。
が持つＸ軸ロータリエンコーダ１２ａ、及びＺ軸ロータ
リエンコーダ１２ｂ、そして真空センサ１１のコネクタ
部より信号を位置監視のためのデータとして取り込んで
いる。部品はＮＰＮトランジスタ２１ａ〜２１ｇ、デジ
タルフリップフロップ２３、プログラマブルコントロー
ラ２２、隙間量表示／判断用カウンタ１９、上昇量表示
／判断用カウンタ２０を有して構成されている。
【００３９】図８のフォーク１はＸ方向に摺動する。搬
送装置位置監視はこのＸ方向の摺動時に図２のＸ軸ロー
タリエンコーダ１２ａのＡ、Ｂ相のパルスをデータフリ
ップフロップ２３にて処理し摺動方向を判断する。ここ
でＸ方向への摺動と判断した場合、Ｘ軸ロータリエンコ
ーダ１２ａパルスをプログラマブルコントローラ２２に
取込カウンタ１９，２０の表示、出力をリセット／カウ
ンタ読み込み条件成立信号をプログラマブルコントロー
ラ２２から出力する。
送装置位置監視はこのＸ方向の摺動時に図２のＸ軸ロー
タリエンコーダ１２ａのＡ、Ｂ相のパルスをデータフリ
ップフロップ２３にて処理し摺動方向を判断する。ここ
でＸ方向への摺動と判断した場合、Ｘ軸ロータリエンコ
ーダ１２ａパルスをプログラマブルコントローラ２２に
取込カウンタ１９，２０の表示、出力をリセット／カウ
ンタ読み込み条件成立信号をプログラマブルコントロー
ラ２２から出力する。
【００４０】つぎにＸ方向摺動完了後、図８のフォーク
１はＺ方向に上昇をはじめる。この際のＺ軸ロータリエ
ンコーダ１２ｂパルスをカウンタ１９，２０に入力す
る。ただし、カウンタ１９は真空センサ１１の出力が出
た時点でプログラマブルコントローラより入力禁止信号
を受けるため、図１のＢ−Ｃ間（Ｅ）のＺ軸ロータリエ
ンコーダパルスの読み込みは行わない。よってカウンタ
１９には図１のＡ−Ｂ間（Ｄ）のパルスをカウントし取
り込むことで図３（Ａ）の上部隙間量１０がカウンタ自
体が有する換算機構にてｍｍ換算された値で表示され
る。すなわち図３（Ａ）（正面図）は図３（Ｂ）のＡの
部分を説明する図であり、これからパルスモータが回転
することにより、フォーク１が上昇し、Ｚ軸エンコーダ
の出力がＡ−Ｂ間のような出力波形２５となり、真空セ
ンサの出力２６はＤのようにグラフの下方を延在する状
態となる。
１はＺ方向に上昇をはじめる。この際のＺ軸ロータリエ
ンコーダ１２ｂパルスをカウンタ１９，２０に入力す
る。ただし、カウンタ１９は真空センサ１１の出力が出
た時点でプログラマブルコントローラより入力禁止信号
を受けるため、図１のＢ−Ｃ間（Ｅ）のＺ軸ロータリエ
ンコーダパルスの読み込みは行わない。よってカウンタ
１９には図１のＡ−Ｂ間（Ｄ）のパルスをカウントし取
り込むことで図３（Ａ）の上部隙間量１０がカウンタ自
体が有する換算機構にてｍｍ換算された値で表示され
る。すなわち図３（Ａ）（正面図）は図３（Ｂ）のＡの
部分を説明する図であり、これからパルスモータが回転
することにより、フォーク１が上昇し、Ｚ軸エンコーダ
の出力がＡ−Ｂ間のような出力波形２５となり、真空セ
ンサの出力２６はＤのようにグラフの下方を延在する状
態となる。
【００４１】また、カウンタ２０は入力禁止信号を真空
センサ１１の出力が出た時点で解除し、図１のＢ−Ｃ間
（Ｅ）のＺ軸ロータリエンコーダパルスを読み込む。こ
の動作によりカウンタ２０には図４の上昇量１４がカウ
ンタ自体の持つ換算機構にてｍｍ換算された値が表示さ
れる。すなわち図４（Ａ）（正面図）は図４（Ｂ）のＢ
−Ｃ間の部分を説明する図であり、先の図３の状態でフ
ォーク１が上昇すると、フォーク１とウエハ２が接触す
る。その状態がＢ点であり、この時に真空センサの出力
２６が下（ＯＦＦ状態）から上（ＯＮ状態）に上昇す
る。
センサ１１の出力が出た時点で解除し、図１のＢ−Ｃ間
（Ｅ）のＺ軸ロータリエンコーダパルスを読み込む。こ
の動作によりカウンタ２０には図４の上昇量１４がカウ
ンタ自体の持つ換算機構にてｍｍ換算された値が表示さ
れる。すなわち図４（Ａ）（正面図）は図４（Ｂ）のＢ
−Ｃ間の部分を説明する図であり、先の図３の状態でフ
ォーク１が上昇すると、フォーク１とウエハ２が接触す
る。その状態がＢ点であり、この時に真空センサの出力
２６が下（ＯＦＦ状態）から上（ＯＮ状態）に上昇す
る。
【００４２】フォーク１がさらに上昇量１４の量だけ上
昇し、Ｃ点になるとＺ軸のパルスモータを止めて、Ｘ方
向にフォーク１を引き抜く。
昇し、Ｃ点になるとＺ軸のパルスモータを止めて、Ｘ方
向にフォーク１を引き抜く。
【００４３】つぎにカウンタ１９，２０に読み込まれた
隙間量、上昇量がある設定範囲に入らない場合にカウン
タはアラーム信号を出力し搬送装置制御部２８に搬送禁
止信号として受け入れられ搬送を停止する。
隙間量、上昇量がある設定範囲に入らない場合にカウン
タはアラーム信号を出力し搬送装置制御部２８に搬送禁
止信号として受け入れられ搬送を停止する。
【００４４】このように、フォーク１のＸ方向摺動時の
フォーク１上面とウエハ２底面の隙間量またはウエハ２
の吸着後の上昇量が認識できることで、教示作業の正確
性、迅速化ができ、搬送作業中の突発的なフォーク１、
あるいはウエハ２位置に変化があっても装置は異常を検
出し停止することで、製品へ悪影響を与えることなく信
頼性も向上する。
フォーク１上面とウエハ２底面の隙間量またはウエハ２
の吸着後の上昇量が認識できることで、教示作業の正確
性、迅速化ができ、搬送作業中の突発的なフォーク１、
あるいはウエハ２位置に変化があっても装置は異常を検
出し停止することで、製品へ悪影響を与えることなく信
頼性も向上する。
【００４５】本発明の搬送装置位置監視装置は、ロータ
リエンコーダと吸着ラインを有するあらゆる装置におい
て、同様な構成でマニュホールド（本文でのフォーク）
とその対象物（本文でのウエハ）の隙間量を検出するこ
とができる。
リエンコーダと吸着ラインを有するあらゆる装置におい
て、同様な構成でマニュホールド（本文でのフォーク）
とその対象物（本文でのウエハ）の隙間量を検出するこ
とができる。
【００４６】図５は、本発明の効果の一つを示すグラフ
である。図５（Ａ）と図５（Ｂ）とで、ウエハ位置を
０．５ｍｍ上昇させた時の真空センサ出力ズレ３（位置
変化を表す真空センサ入力タイミングズレ）が、Ｚ軸エ
ンコーダ出力パルスで１０パルス（０．０５ｍｍ／パル
ス）であることを認識することができる。
である。図５（Ａ）と図５（Ｂ）とで、ウエハ位置を
０．５ｍｍ上昇させた時の真空センサ出力ズレ３（位置
変化を表す真空センサ入力タイミングズレ）が、Ｚ軸エ
ンコーダ出力パルスで１０パルス（０．０５ｍｍ／パル
ス）であることを認識することができる。
【００４７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、搬送装置
のフォーク位置、及び動作量を数値確認することができ
教示作業の正確性、効率向上による迅速化を可能とす
る。
のフォーク位置、及び動作量を数値確認することができ
教示作業の正確性、効率向上による迅速化を可能とす
る。
【００４８】また、本発明の搬送装置監視装置を用いれ
ば、搬送作業中の突発的なフォーク１、あるいはウエハ
２の位置変化があっても同装置は真空センサの入力が位
置変化量分遅れて入力（図５の３）されるためその異常
を検出し停止する事で、ウエハへ悪影響を与える事なく
正しい位置関係への修復、修正を行う事ができる。
ば、搬送作業中の突発的なフォーク１、あるいはウエハ
２の位置変化があっても同装置は真空センサの入力が位
置変化量分遅れて入力（図５の３）されるためその異常
を検出し停止する事で、ウエハへ悪影響を与える事なく
正しい位置関係への修復、修正を行う事ができる。
【００４９】さらに、本発明の搬送装置の位置監視装置
は、従来の光学式センサを用いたウエハ検出に比べ面粗
さ、角度、色等の影響を受けずに正確な検出を行うこと
ができる。
は、従来の光学式センサを用いたウエハ検出に比べ面粗
さ、角度、色等の影響を受けずに正確な検出を行うこと
ができる。
【００５０】また、本発明の搬送装置の位置監視装置
は、光学式センサ等の検知手段を追加することなく手軽
にそのままの状態で位置監視を行うことができ、従来の
技術には無い利点がある。
は、光学式センサ等の検知手段を追加することなく手軽
にそのままの状態で位置監視を行うことができ、従来の
技術には無い利点がある。
【図１】本発明の実施の形態におけるエンコーダ波形と
真空センサの出力との関係を主に示す図である。
真空センサの出力との関係を主に示す図である。
【図２】本発明の実施の形態の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態において、ウエハ支持ボー
ト内ウエハとフォークの位置関係（ダウン位置）および
エンコーダ波形と真空センサの出力を示す図である。
ト内ウエハとフォークの位置関係（ダウン位置）および
エンコーダ波形と真空センサの出力を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態において、ウエハ支持ボー
ト内フォーク上昇終了時（アップ位置）およびエンコー
ダ波形と真空センサの出力を示す図である。
ト内フォーク上昇終了時（アップ位置）およびエンコー
ダ波形と真空センサの出力を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態において、真空センサ入力
タイミングを示す図である。
タイミングを示す図である。
【図６】ウエハ支持ボート内ウエハとフォークの位置関
係（ダウン位置）を示す図である。
係（ダウン位置）を示す図である。
【図７】ウエハ支持ボート内フォーク上昇終了時（アッ
プ位置）を示す図である。
プ位置）を示す図である。
【図８】搬送装置の構成を示す図である。
１ フォーク ２ ウエハ ３ 位置変化を表す真空センサ入力タイミングズレ ４ ウエハ支持ボート ５ ボートテーブル ６ センサカット板 ７ 光電センサ ８ リング ８ａ 上リング ８ｂ 下リング ９ ウエハ支持部 １０ 上部隙間量 １１ 真空センサ １２ ロータリエンコーダ １２ａ Ｘ軸ロータリエンコーダ １２ｂ Ｚ軸ロータリエンコーダ １３ パルスモータ １４ 上昇量 １５ モータ １６ 送りネジ １７ 処理室 １８ バキュームホース １９ 隙間量カウンタ ２０ 上昇量カウンタ ２１ トランジスタ ２２ プログラマブルコントローラ ２３ データフリップフロップ ２４ 下部隙間量 ２５ Ｚ軸エンコーダ出力 ２６ 真空センサ出力 ２８ 搬送装置の制御部（コントローラ）
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウエハを支持するボート又はウエ
ハキャリアへ半導体ウエハを搬送する機能を備えた搬送
装置において、その搬送器具であるフォークの半導体ウ
エハ間挿入後の上昇量を搬送装置内の、ロータリエンコ
ーダパルスから読み取り前記フォークの上面と前記半導
体ウエハとの接触点における圧力変化を真空センサの出
力として取り込むことで、搬送装置の半導体ウエハ間挿
入時の前記フォークの上面と前記ウエハの裏面との相対
位置（隙間）を検出する検出手段を有する位置監視装置
を具備したことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記ロータリエンコーダのパルスを前記
真空センサの出力点で分離し、前記ウエハ間挿入時の前
記フォークの上面と前記ウエハの裏面との距離として表
示する手段及び、前記出力点から前記フォークの上昇端
までの移動距離を表示する手段を機構を有することを特
徴とする請求項１記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10309597A JP2978824B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10309597A JP2978824B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10294349A true JPH10294349A (ja) | 1998-11-04 |
| JP2978824B2 JP2978824B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=14345083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10309597A Expired - Fee Related JP2978824B2 (ja) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2978824B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013110444A (ja) * | 2013-03-13 | 2013-06-06 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置の位置調整方法 |
| JP2014036175A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体 |
| US8755935B2 (en) | 2011-03-02 | 2014-06-17 | Tokyo Electron Limited | Substrate holder positioning method and substrate processing system |
| JP2014165439A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板受渡位置確認方法及び基板処理システム |
| KR20170091512A (ko) * | 2016-02-01 | 2017-08-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 |
| JP2023136684A (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-29 | キヤノン株式会社 | 基板搬送システム、リソグラフィ装置および物品の製造方法 |
-
1997
- 1997-04-21 JP JP10309597A patent/JP2978824B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8755935B2 (en) | 2011-03-02 | 2014-06-17 | Tokyo Electron Limited | Substrate holder positioning method and substrate processing system |
| US9299599B2 (en) | 2011-03-02 | 2016-03-29 | Tokyo Electron Limited | Thermal processing apparatus for thermal processing substrate and positioning method of positioning substrate transfer position |
| JP2014036175A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体 |
| JP2014165439A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板受渡位置確認方法及び基板処理システム |
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| JP2017139261A (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
| JP2023136684A (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-29 | キヤノン株式会社 | 基板搬送システム、リソグラフィ装置および物品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2978824B2 (ja) | 1999-11-15 |
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