WO2014087491A1 - 移載装置 - Google Patents

Abstract

小型化と加工点の増加とを両立することのできる移載装置を提供することを目的とする。２連のロータリーテーブル（２）を搬送経路として備えるようにした。両ロータリーテーブル（２）は、保持部（２１）の先端が常にテーブル半径方向外方を向くように回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する。ロータリーテーブル（２）は、互いに重ならないように、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置される。そして、両ロータリーテーブル（２）は、双方が有する保持部（２１）の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点（Ａ）として、電子部品（Ｗ）を受け渡す。

Description

移載装置

　本発明は、一方の収容体から電子部品を取り出して他方の収容体に搭載する移載装置に関する。

　従来より、収容体から電子部品を取り出して搬送経路に載せつつ、搬送経路上に設定された各加工点で電子部品に加工を施し、最後に他の収容体に搭載する移載装置が提案され、電子部品の製造工程で実際に使用されている。

　電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれ、半導体素子としてはトランジスタやＬＥＤや集積回路、その他には抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。収容体は、例えば、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビン等の梱包容器である。各加工点における電子部品の加工としては、外観検査、接着剤塗布、姿勢確認、分類、不良品の強制排出、基板への実装、電気特性検査、加熱又は冷却といった温度調整、電子部品から延びる端子の形状加工、姿勢の矯正、マーキング等、様々である。

　特に、ウェハシート、トレイ、テープ、又はボールフィーダから半導体素子を取り出して、表裏を反転させ、リードフレーム又は実装基板に接着剤を介して接着する移載装置は、ダイボンダー装置と呼ばれている。

　このような移載装置としては、複数のロータリーテーブルを有し、ロータリーテーブルに設けられた保持部が一直線上に並ぶ位置で電子部品を受け渡すことで、１つの搬送経路を形成するタイプが知られている（例えば、特許文献１乃至３参照。）。

　特許文献１の移載装置は、ピックアップユニットとロータリーヘッドの大きさの異なる２種類のロータリーテーブルを有する。ピックアップユニットとロータリーヘッドは、それぞれ円周に沿って複数本のノズルを円周平面と直交する方向に延ばして配置している。これらピックアップユニットとロータリーヘッドは、外周の一部を重ねるように上下に配置し、重なり部分で電子部品を受け渡す。ピックアップユニットは、水平回転とともに、ノズルを１８０度反転させることができ、下方で電子部品を受け取って、上方のロータリーヘッドに電子部品を受け渡すことで反転処理が成立する。

　また、特許文献２の移載装置においては、大きさの異なる３以上のロータリーテーブルが水平に設置され、保持部が円周平面と直交する方向に延びている。この移載装置もロータリーピックアップが上下に配置され、外周の一部に重なり部分を有する。

　特許文献３の移載装置においては、大型のロータリーテーブルである保持装置が水平に配置される一方で、小型のロータリーテーブルである吸着装置が垂直に配置されている。但し、この移載装置も保持装置と吸着装置とを上下に配置し、外周の一部に重なり部分を有する。

特開２０００－３１５８５６公報 特許第２６６７７１２号公報 特開２０１１－６６２７７公報

　従来の移載装置において、複数のロータリーテーブルを有し、ロータリーテーブルに設けられた保持部が一直線上に並ぶ位置で電子部品を受け渡すことで、１つの搬送経路を形成するタイプは、互いのロータリーテーブルに重なりが発生してしまう。

　移載装置においては、多種の加工を施す必要があり、多くの加工点を搬送経路上に設置することを望む場合がある。しかしながら、ロータリーテーブルの重なり合った部分には、他のロータリーテーブルやモータ等が物理的な障害となり、加工点の設置は困難である。そこで、多くの加工点の設置を試みれば、ロータリーテーブルの大型化が避けられなかった。そうすると、移載装置を設置するために広いスペースが必要となる。

　ロータリーテーブルが大型化してしまうと、ロータリーテーブルの一定以上の回転速度を達成するには、大きなモータが必要となる。そのため、移載装置を設置するために必要なスペースは益々広がっていく。また、大きなモータを用いなければ、ロータリーテーブルの回転速度の低下は避けられない。

　以上のように、複数のロータリーテーブルを上下に重ねるように配置する移載装置では、小型化と加工点の増加とはトレードオフの関係にあった。本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、小型化と加工点の増加とを両立することのできる移載装置を提供することを目的とする。

　上記のような課題を解決するための移載装置は、一方の収容体から電子部品を取り出して他方の収容体に搭載する移載装置であって、前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持部と、前記保持部を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第１のロータリーテーブルと、前記保持部を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第２のロータリーテーブルと、を備え、前記第１及び第２のロータリーテーブルは、互いに重ならないように、前記回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置され、双方が有する前記保持部の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、前記電子部品を受け渡し、前記第１のロータリーテーブルは、前記一方の収容体から取り出した前記電子部品の一面を保持させて前記受け渡し地点まで搬送し、前記第２のロータリーテーブルは、前記受け渡し地点で前記電子部品の反対面を保持させて前記他方の収容体へ離脱させること、を特徴とする。

　前記第１及び第２のロータリーテーブルは、全て縦置きされて垂直な回転面を有するようにしてもよい。

　前記第１若しくは第２のロータリーテーブルの何れか一方には、前記受け渡し地点に該当する前記停止位置に、当該停止位置で停止した前記保持部を前記回転軸から離れる半径方向外方へ進出させる進退駆動部が更に配置され、前記受け渡し地点で向かい合わせになった前記保持部の何れか一方が、受け渡し対象の電子部品を送り又は迎えにいくようにしてもよい。

　前記進退駆動部は、前記保持部を進出させる推力を発生させるモータを備え、前記モータは、前記進出させる保持部の移動速度を、向かい合わせになった他方の保持部に近づくにしたがって減速させるようにしてもよい。

　前記進退駆動部は、受け渡し対象の前記電子部品に対して前記進出させる保持部が与える荷重を制御するボイスコイルモータを備えるようにしてもよい。

　前記ボイスコイルモータは、前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与え、前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との衝撃を吸収するようにしてもよい。

　前記進退駆動部は、前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与えるボイスコイルモータを備え、前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との接触によって生じる前記ボイスコイルモータの挙動変化に基づき、前記保持部を進出させるための前記モータの回転量を決定するようにしてもよい。

　前記第１及び第２のロータリーテーブルは、同一設計図をもとにした同一品であるようにしてもよい。

　前記第１及び第２のロータリーテーブルの回転軸の位置を規制する１枚の共通のブラケットを更に備えるようにしてもよい。

　前記第１及び第２のロータリーテーブルには、それぞれ電子部品の外観を撮影する撮影光学系が配置されているようにしてもよい。

　前記第１のロータリーテーブルに配置されている撮影光学系は、前記電子部品の前記反対面以外の５面を撮影し、前記第２のロータリーテーブルに配置されている撮影光学系は、前記電子部品の前記反対面を撮影するようにしてもよい。

　前記第２のロータリーテーブルには、電子部品の姿勢を撮影する撮影光学系が配置され、前記他方の収容体を、撮影された姿勢に位置及び回転を合わせるように二次元方向移動及び回転させるようにしてもよい。

　前記一方の収容体及び前記他方の収容体は、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビンの何れか又は二種類の組み合わせであるようにしてもよい。

　前記第２のロータリーテーブルには、前記電子部品の前記反対面に接着剤を塗布するペースト塗布装置が配置されているようにしてもよい。

　本発明によれば、ロータリーテーブルに加工点が設置できない重なり部分は存在せず、より多くの加工点を設置できるとともに、テーブル径を大型化する必要がなく、省スペース化を実現できる。しかも、ロータリーテーブルの小型化により、ロータリーテーブルの縦置きが実現するし、モータの小型化を図ることもできる。そのため、更なる省スペース化に繋がる。更に、ロータリーテーブルを小型化できれば、ロータリーテーブルの回転速度を速めることもでき、電子部品の搬送速度が向上する。

本実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。 ロータリーテーブルの正面図である。 ロータリーテーブルの側面図である。 ロータリーテーブルの上面図である。 進退駆動装置を示す斜視図である。 ブラケットを示す斜視図である。 移載装置の動作を示す説明図である。 電子部品を搭載している収容体の移動を示す斜視図である。 進退駆動装置の動作を示す模式図である。 電子部品が搭載される収容体の移動を示す上面図である。 移載装置の他の例を示す模式図である。

　（１．全体構成）
　以下、本発明に係る移載装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る移載装置１の全体構成を示す正面図である。移載装置１は、一方の収容体５ａから電子部品Ｗを取り出し、各種の加工点を経て他方の収容体５ｂに搭載する。

　電子部品Ｗは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、コンデンサ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。収容体５は、例えば、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビン等の梱包容器である。本実施形態では、トレイから電子部品Ｗを取り出して基板に実装する。

　この移載装置１は、設置面に対して垂直な回転面を有する２連のロータリーテーブル２ａ、２ｂを備えている。このロータリーテーブル２ａ、２ｂは間欠回転により電子部品Ｗを外周に沿って搬送する。２連のロータリーテーブル２ａ、２ｂは、電子部品Ｗの搬送経路前半及び後半を分担しており、電子部品Ｗの受け渡しにより、一連の搬送経路を形成している。

　すなわち、各ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、電子部品Ｗを先端で保持及び離脱させる複数の保持部２１を備えている。この保持部２１は、同一円周上に円周等配位置で設置され、その円周中心からの半径方向に沿って延びている。保持部２１は、先端を外方に向けて配置されている。ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、電子部品Ｗを保持した保持部２１を、その円周中心を通って該半径方向と直交する軸を回転中心として所定角度ずつ回転させる。

　両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、隣接配置されるが、保持部２１を回転させる回転軸が平行であり、且つ保持部２１の配置平面が同一となるように配置されている。換言すると、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂに重なりがない。そして、保持部２１が互いに先端を向き合わせた位置が電子部品Ｗの受け渡し地点Ａとなり、片方が保持していた電子部品Ｗを他方に渡すことで、搬送経路前半と搬送経路後半とが連続する。

　受け渡し地点Ａにおいて、渡し側の保持部２１（２１ａ）は、その先端で電子部品Ｗの一面を保持している。つまり、電子部品Ｗの反対面Ｒを、受け渡し地点Ａで対向する受け取り側の保持部２１（２１ｂ）に向けている。受け取り側の保持部２１（２１ｂ）は、その反対面Ｒを先端で保持し、ロータリーテーブル２ｂの回転に連れて、そのまま電子部品Ｗを他の収容体５ｂまで保持する。すなわち、２連のロータリーテーブル２ａ、２ｂは、一方の収容体５ａから他方の収容体５ｂまでの一連の搬送路であるとともに、電子部品Ｗの表裏反転機構ともなっている。

　また、保持部２１の受け渡し地点Ａ以外の全ての停止位置は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの重なりに起因する物理的障害がないため、それぞれ電子部品Ｗの加工点として設定可能となっている。

　例えば、各ロータリーテーブル２ａ、２ｂの一の加工点には、それぞれ一機ずつステージ装置４ａ、４ｂが配置されている。一方のステージ装置４ａは、電子部品Ｗが取り出される収容体５ａを載せながらＸＹ方向に平行移動することで、収容体５ａ内の各電子部品Ｗを一つずつピックアップ地点Ｂに位置させる。他方のステージ装置４ｂは、電子部品Ｗを搭載予定の収容体５ｂを載せながらＸＹ方向に移動することで、電子部品Ｗの各搭載箇所を一カ所ずつ電子部品Ｗの離脱地点Ｃに位置させる。

　ピックアップ地点Ｂは、搬送経路前半を担うロータリーテーブル２ａが備える保持部２１の収容体５ａからの最寄り停止位置であり、離脱地点Ｃは、搬送経路後半を担うロータリーテーブル２ｂが備える保持部２１の収容体５ｂからの最寄り停止位置である。本実施形態では、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは縦置きされ、保持部２１の回転軌跡が設置面に対して垂直となり、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂのそれぞれの直下がピックアップ地点Ｂ及び離脱地点Ｃとなっている。

　電子部品Ｗが搭載される収容体５ｂがリードフレーム或いは基板である場合、移載装置１は、はんだや樹脂ペースト等の接着剤を電子部品Ｗに塗布しておく。この移載装置１は、搬送経路後半のロータリーテーブル２ｂの一の加工点にペースト塗布装置３を備えている。

　また、移載装置１は、一方の収容体５ａから他方の収容体５ｂへ電子部品Ｗを移載する最中に、その移載中である電子部品Ｗの６面を外観検査する。この移載装置１は、各ロータリーテーブル２ａ、２ｂの一の加工点に、電子部品の外観を撮影する撮影光学系６が各々配置されている。

　一方のロータリーテーブル２ａに配置される撮影光学系６１は、電子部品Ｗの５面の像をカメラに導く。他の１面は、ロータリーテーブル２ａの保持部２１に保持されており、回転中心側に向いている。他方のロータリーテーブル２ｂに配置される撮影光学系６２は、表裏反転されることで、保持部２１から解放された他の１面の像をカメラに導く。

　更に、移載装置１は、他方の収容体５ｂへの搭載直前で電子部品Ｗの姿勢をチェックし、電子部品Ｗが適正な姿勢で其の収容体５ｂに搭載されるように、その収容体５ｂの姿勢を調整する。すなわち、電子部品Ｗを搭載予定の収容体５ｂをＸＹ方向に移動させるステージ装置４ｂは、ＸＹ平面内でθ回転も可能となっており、また、この収容体５ｂに電子部品Ｗを搭載するロータリーテーブル２ｂの一の加工点には、電子部品Ｗの姿勢を撮影する撮影光学系６３が配置されている。

　（２．詳細構成）
　（ロータリーテーブル）
　図２は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの正面図であり、図３は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの側面図である。図４は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの上面図である。図２乃至４に示すように、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、同一設計図をもとに同一部品で組み立てられた同一品であり、同じ形状、構造、大きさを有する。受け渡し地点Ａで保持部２１の先端を同一線上に精度よく並べるためである。このロータリーテーブル２ａ、２ｂは小型であるために縦置き可能となっており、その半径は約５ｃｍ～３０ｃｍである。

　このロータリーテーブル２ａ、２ｂは、保持部２１の先端が常に外方へ向くように軸フレーム２２の軸周りに円周等配位置で配置しており、モータ２３で軸フレーム２２を間欠的に軸回転させることで、保持部２１を一斉に各回転角度で停止させる。保持部２１は、可動機構２４を介して軸フレーム２２に設置されており、ロータリーテーブル２の半径方向に沿って外方、換言すると、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの中心から離れる方向に進出及び退入可能となっている。また、保持部２１の幾つかの停止箇所には、保持部２１に対して進出及び退入の推進力を与える進退駆動装置２５が配置されている。幾つかの停止箇所とは、ピックアップ地点Ｂ、受け渡し地点Ａ、及び離脱地点Ｃである。

　保持部２１は、例えば、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径方向に沿った軸を有する吸着ノズルである。吸着ノズルは、ノズル先端が開口した中空状の筒であり、ノズル先端をテーブル半径方向外方に向けており、またノズル内部は真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この吸着ノズルは、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品Ｗを吸着し、真空破壊又は正圧の発生によって電子部品Ｗを離脱させる。

　軸フレーム２２は、一端が略円盤状に拡がった円筒であり、保持部２１の支持体であるとともに、モータ２３と接続されて回転軸となる。軸フレーム２２の円筒部分がモータ２３の回転軸に同軸固定される。具体的には、モータ２３の回転軸が軸フレーム２２の円筒部分に嵌め込まれてボルト等で締結される。

　モータ２３は、回転軸を有する例えばサーボモータであり、一定角度の回転と一定時間の停止を交互に繰り返す。このモータ２３は、何れかの保持部２１を真下のピックアップ地点Ｂ及び離脱地点Ｃに位置させ、また何れかの保持部２１を真横の受け渡し地点Ａに位置させる。

　モータ２３の回転角度は、保持部２１の設置角度と等しい。保持部２１は例えば８本が円周等配位置に配置されており、保持部２１の設置角度には整数倍に９０度が含まれるように配設される。これにより、保持部２１は、真下のピックアップ地点Ｂ、離脱地点Ｃ、及び真横の受け渡し地点Ａに停止する。

　また、モータ２３の回転が停止する時間は、電子部品Ｗのピックアップ時間、接着剤の塗布時間、外観を撮影する時間、不良品を排出する時間、姿勢に合わせたステージの移動を含む搭載時間のうちの最長時間に対応する。

　可動機構２４は、軸フレーム２２の円盤部分の周囲に延設されたステイに固定されたスリーブ２４ａに、テーブル半径方向に摺動可能となるようにスライドシャフト２４ｂを貫通させ、そのスライドシャフト２４ｂのテーブル半径方向外方端にアーム２４ｃが固定されて成る。保持部２１は、このアーム２４ｃに固定されている。アーム２４ｃは、スライドシャフト２４ｂと直交して固定され、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの回転軸と平行に延びており、一端は軸フレーム２２の円盤表面から突び出して延び、他端は軸フレーム２２の円盤裏側に及んで延びている。保持部２１は、軸フレーム２２の円盤表面から突び出したアーム２４ｃの一端に、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径方向に沿って延設される。

　（進退駆動装置２５）
　進退駆動装置２５は、ピックアップ地点Ｂ、離脱地点Ｃ、及び受け渡し地点Ａに設置され、アーム２４ｃの円盤裏面に及ぶ箇所に推進力を与えるべく、軸フレーム２２の円盤裏側に配置されている。受け渡し地点Ａにおいては、進退駆動装置２５は、片方のロータリーテーブル２ｂにのみ設置される。すなわち、受け渡し地点Ａにおいて一方の保持部２１（２１ｂ）が他方の保持部２１（２１ａ）へ向かって電子部品Ｗの受け渡しのために一方的に迎えに行く構成となる。また、少なくとも受け渡し地点Ａにおいては、保持部２１（２１ｂ）の進出速度を電子部品Ｗに近づくにしたがって減速させ、更に電子部品Ｗに対する荷重をゼロに近づけるように低減する制御を行う。

　この進退駆動装置２５は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径方向外方へ保持部２１を進出させる推力、半径方向中心に向けて保持部２１を後退させるための推力を与える。より詳細には、保持部２１が固定されているアーム２４ｃを半径方向外方へ押し出すことで、そのアーム２４ｃに固定されている保持部２１を進出させる。また、アーム２４ｃに対する推力の付与を解除し、可動機構２４のスライドシャフト２４ｂを半径方向中心に戻す付勢力を発揮させることで、スライドシャフト２４ｂに固定されているアーム２４ｃ及び保持部２１を後退させる。

　具体的には、図５に示すように、進退駆動装置２５は、テーブル半径方向に移動可能なスライド部材２５０を備えている。このスライド部材２５０はＬ字状の板部材である。Ｌ字を形成する一方の平板は、その板面がテーブル半径方向に拡がる側面板２５１であり、他方の平板は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの回転軸方向に拡がる天井板２５２である。天井板２５２が側面板２５１よりもテーブル半径方向中心側に位置している。

　このスライド部材２５０は、テーブル半径方向に移動可能となっている。また、スライド部材２５０の天井板２５２には、バネ２５ｂを介して一枚の突起支持板２５３が互いの面を対向させるように接続されている。突起支持板２５３は天井板２５２よりもテーブル半径方向外方に位置し、テーブル半径方向外方の面には、突起部２５ｃが設けられている。この突起部２５ｃは、アーム２４ｃの軸フレーム２２の裏面まで延びた部分の直上に位置している。

　このような進退駆動装置２５において、スライド部材２５０がテーブル半径方向外方に移動することで、突起部２５ｃがアーム２４ｃに当接し、アーム２４ｃを介して保持部２１をテーブル半径方向外方に進出させることができる。また、突起支持板２５３をテーブル半径方向外方へ移動可能とすることで、保持部２１の先端が及ぼす電子部品Ｗへの荷重を調整することができる。

　スライド部材２５０を移動させるための推進発生源としてとしては、回転モータ２５ｄと円筒カム２５ｅとカムフォロア２５ｆを備えている。また、突起支持板２５３に荷重をかけるための推力発生源としては、ボイスコイルモータ２５ｇを備えている。

　カムフォロア２５ｆは、円筒部材であり、スライド部材２５０の側面板２５１に立設されることで、テーブル回転軸方向に延びている。円筒カム２５ｅは、テーブル回転軸方向に延びる軸を有し、この軸が位置固定の回転モータ２５ｄに軸支され、周面をカム面とし、テーブル半径方向中心側からカムフォロア２５ｆの周面にカム面を当接させている。カム面には、円筒カム２５ｅの径を拡大する膨出部分が一部に形成されている。

　従って、回転モータ２５ｄを駆動させると円筒カム２５ｅが回転し、カムフォロア２５ｆが円筒カム２５ｅの膨出部分を通過するころには、円筒カム２５ｅの回転中心とカムフォロア２５ｆとの距離が拡がる。円筒カム２５ｅはカムフォロア２５ｆに対してテーブル半径方向中心側から当接しているため、円筒カム２５ｅの回転中心とカムフォロア２５ｆとは、テーブル半径方向外方へ距離を拡げる。よって、カムフォロア２５ｆは、円筒カム２５ｅによってテーブル半径方向外方へ押し下げられる。カムフォロア２５ｆは、スライド部材２５０と固定関係にあるため、スライド部材２５０もテーブル半径方向外方に押し下げられる。やがて、突起部２５ｃは、アーム２４ｃと当接して保持部２１を進出させる。

　ボイスコイルモータ２５ｇは、電流と推力とが比例関係にあるリニアモータであり、磁石、環状コイル、及び環状コイルに接続されたロッドを有する。通電された環状コイルと磁石の電磁相互作用により環状コイルにローレンツ力を生じさせ、ロッドを筐体から進出させる。このボイスコイルモータ２５ｇは、天井板２５２に固定されており、天井板２５２と突起支持板２５３との間に配置される。ロッドは、テーブル半径方向外方側に延び、先端がテーブル半径方向中心側から突起支持板２５３に接続されている。

　ボイスコイルモータ２５ｇを駆動させ、バネ２５ｂの縮小力とアーム２４ｃから受ける反力との合計に抗する推力をロッドにかけると、その推力が突起支持板２５３、突起部２５ｃ、アーム２４ｃ、保持部２１の先端を経て電子部品Ｗに加わる。また、保持部２１が電子部品Ｗへ未到達の状態でロッドが受ける抗力と拮抗する推力をロッドにかけると、保持部２１の電子部品Ｗへの到達の際に発生する衝撃がロッドの埋没により吸収されるため、電子部品Ｗへゼロに近い荷重を加えることができる。

　次に、進退駆動装置２５は、保持部２１が後退するための推力発生源として、アーム２４ｃを介して保持部２１を固定しているスライドシャフト２４ｂを、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径方向中心に向けて付勢するバネ部２５ｈを備える。このバネ部２５ｈは、図２に示すように、可動機構２４が備えるスリーブ２４ａの縁を座面として一端が固定されている。バネ部２５ｈが固定されるスリーブ２４ａの縁は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径方向中心側の一端である。また、スライドシャフト２４ｂは、スリーブ２４ａから半径方向中心側にも突出しており、突出部分にフランジ２４ｄが形成されている。バネ部２５ｈの他端は、このフランジ２４ｄに固定されている。

　そのため、スライドシャフト２４ｂがロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径方向外方へ移動すると、バネ部２５ｈは、スリーブ２４ａの縁とスライドシャフト２４ｂのフランジ２４ｄとのギャップ縮小によって圧縮される。進出方向への推力が解除されると、バネ部２５ｈは、この圧縮により蓄積した付勢力を解放して、アーム２４ｃ及びスライドシャフト２４ｂを介してロータリーテーブル２ａ、２ｂのテーブル半径方向中心へ保持部２１を後退させる。

　（３．組み付け調整）
　（ブラケット）
　両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、設置面から垂直に延びる共通のブラケット７にモータ２３の回転軸が拘束されるように嵌め込まれることで、位置決めされながら組み付けられる。受け渡し地点Ａで保持部２１の先端を同一線上に精度よく並べるためである。

　図６は、ブラケット７を示す斜視図である。ブラケット７は、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂの位置関係を拘束する平板である。このブラケット７は、裏面に各ロータリーテーブル２ａ、２ｂのモータ２３の一面を面合わせにして締結する締結領域が形成されている。また、ブラケット７には表裏を貫く２つの貫通孔７１が形成されている。貫通孔７１は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂのモータ軸と概略同寸法を有する軸受けである。

　両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、モータ軸を対応の貫通孔７１に通し、締結領域にモータ２３を固定した上で、保持部２１が取り付けられる軸フレーム２２をブラケット７の表面側からモータ軸に嵌め込むことで、位置決め固定される。

　尚、貫通孔７１は、同一の高さに規定の間隔で穿設される。規定の間隔は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの半径の２倍に、保持部２１の予定される進出距離と電子部品Ｗの厚みを加えた長さである。これにより、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、真横で停止した保持部２１同士がノズル開口を精度よく突き合わせるように、位置決め支持される。

　（保持部進出量調整）
　回転モータ２５ｄによる保持部２１の進出量は、エンコーダで管理されるが、電子部品Ｗに保持部２１の先端が当接するポイント、すなわち保持部２１の停止ポイントは、ボイスコイルモータ２５ｇによるロッドが受ける抗力を検出することで予め設定される。この保持部２１の進出量調整により、保持部２１を高速で移動させることができるとともに、電子部品Ｗに過剰な荷重をかけずに済む。

　すなわち、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂを組み付けた後に、受け渡し地点Ａにおいて保持部２１ｂをテーブル半径方向外方へ進出させる。保持部２１ｂの進出時には、ロッドにバネ２５ｂの圧縮力とアーム２４ｃから受ける抗力の合計に拮抗する推力をロッドに与えておく。保持部２１ａと２１ｂで電子部品Ｗを挟み込むと、ロッドは電子部品Ｗから新たな抗力を受けて埋没方向に移動しようとする。新たな抗力とは、ロッドの重量及び埋没の摩擦力に対応する。この埋没方向の移動の瞬間を検出し、検出時の回転モータ２５ｄの回転量を、向き合う保持部２１ａと２１ｂの組み合わせ情報、又は受け渡し地点Ａ等の停止ポイント情報に紐付けて記憶しておく。尚、進出量調整においては、実際の電子部品Ｗを用いる必要はなく、その模擬体を用いて行ってもよい。

　（４．動作）
　この移送装置１の動作は次の通りである。まず、この動作例で示す移送装置１は、図７に示すように、各ロータリーテーブル２ａ、２ｂは８本の保持部２１を円周等配位置に配置し、搬送経路前半のロータリーテーブル２ａの直下に、電子部品Ｗを収容した収容体５ａを載せたステージ装置４ａが配置され、搬送経路後半のロータリーテーブル２ｂの直下に、電子部品Ｗを搭載予定の収容した収容体５ｂを載せたステージ装置４ｂが配置される。

　両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、反時計回りに回転する。すなわち、電子部品Ｗの搬送経路は、ピックアップ地点Ｂから反時計回りに受け渡し地点Ａまで延び、受け渡し位置から更に反時計回りに離脱地点Ｃまで延びる。

　ピックアップ地点Ｂを第１番目として、搬送経路順に各停止位置を数えて５番目には、電子部品Ｗの５面についての外観検査を行う撮影光学系６１が配置される。７番目が受け渡し地点Ａとなり、８番目には電子部品Ｗの他の１面についての外観検査を行う撮影光学系６２が配置される。搬送経路後半のロータリーテーブル２の頂点に位置する９番目には、電子部品Ｗに接着剤を塗布するペースト塗布装置３が配置される。１１番目には、電子部品Ｗの姿勢を撮影する撮影光学系６３が配置される。離脱地点Ｃの１つ手前に位置する１２番目には、不良品が排出される排出容器８が配置される。そして、１３番目が離脱地点Ｃとなる。

　第１番目のピックアップ地点Ｂでは、ステージ装置４ａが電子部品Ｗをピックアップ地点Ｂに運び、ロータリーテーブル２ａの第１番目に位置した保持部２１が其の電子部品Ｗを保持する。図８に示すように、ステージ装置４ａは、ステージをＸＹ方向に移動させる。電子部品Ｗをピックアップ地点Ｂに移動させる順番は、制御装置（不図示）に従う。

　例えば、収容体５ａに２次元状に電子部品Ｗが収容されている場合、Ｘ列に電子部品Ｗが残っている場合には、Ｘ方向移動機構はステージを一方方向に１ピッチ移動させ、Ｙ方向移動機構はステージを移動させない。Ｘ列の電子部品Ｗを全て取り切った場合には、次のＹ行について電子部品Ｗを順次移動させるべく、Ｘ方向移動機構はステージを逆方向に全列分移動させ、Ｙ方向移動機構はステージを一方向に１ピッチ移動させる。

　また、進退駆動装置２５は、保持部２１をロータリーテーブル２ａの半径方向に沿ってピックアップ地点Ｂに存在する電子部品Ｗに向けて降下させる。保持部２１は、可動機構２４によってテーブル半径方向に案内される。保持部２１が電子部品Ｗの一面に当接すると、真空発生装置によりノズル内に負圧が発生し、これにより保持部２１は電子部品の一面を保持する。保持部２１が電子部品Ｗを保持すると、進退駆動装置２５は、保持部２１を進出させる推進力を解除する。そして、バネ部２５ｈによって、電子部品Ｗを保持した保持部２１を上方に戻す。

　第５番目の外観検査地点Ｄでは、保持部２１で保持されている電子部品Ｗの１面を除いた５面について、その外観を撮影し、良品又は不良品に分別する。撮影光学系６１は、５面の像をカメラに導く各プリズムを、第５番目に停止している電子部品Ｗの周りに配置し、プリズムから出射した光学系の延長線上にＣＭＯＳ等の画像素子を有したカメラを配置している。また、撮影光学系６１は、電子部品Ｗに対する光源を有している。光源は、例えばＬＥＤを環状に配置しており、穴部を光線が通過する。カメラで撮像された電子部品Ｗの画像は、画像処理部（不図示）にて画像解析され、キズの有無等が判断され、判断結果に応じて良品又は不良品を示す情報が紐付けられる。

　第７番目の受け渡し地点Ａでは、搬送経路後半を担うロータリーテーブル２ｂの保持部２１ｂが電子部品Ｗを迎えに行く。電子部品Ｗを保持している保持部２１ａは、真空破壊又はブローにより電子部品Ｗを離脱させ、迎えに行った保持部２１ｂは、真空発生装置によりノズル内に負圧が発生し、電子部品Ｗのテーブル半径方向外方に向いている反対面Ｒを保持する。

　このとき、保持部２１ｂを進出させている進退駆動装置２５は、保持部２１ｂの進出速度と、保持部２１ｂが電子部品Ｗにかける荷重を制御する。すなわち、進退駆動装置２５の回転モータ２５ｄは、進出させている保持部２１ｂが、電子部品Ｗを保持している保持部２１ａに近づくにつれて回転数を落とし、保持部２１ｂの進出速度を減速し、電子部品Ｗに保持部２１ｂの先端が当接する際には進出速度をゼロにする。減速は直線的であっても、段階的であってもよい。また、進退駆動装置２５の回転モータ２５ｄは、保持部２１ｂが電子部品Ｗに当接すると、ボイスコイルモータ２５ｇの推力を調節して、電子部品Ｗにかける荷重をゼロに近づける。

　具体的には、図９に示すように、進退駆動装置２５は、回転モータ２５ｄの駆動により、円筒カム２５ｅを回転させる。カムフォロア２５ｆにカム面の膨出部分を通らせ、カムフォロア２５ｆが取り付けられたスライド部材２５０を半径方向外方へ押し出す。スライド部材２５０に接続されている突起支持板２５３の突起部２５ｃは、ある時点で、アーム２４ｃと当接し、保持部２１ｂをアーム２４ｃごと押し出す。保持部２１ｂは、可動機構２４によって案内されて、待ち受けている保持部２１ａが保持している電子部品Ｗに向けて進出する。

　このとき、進退駆動装置２５の回転モータ２５ｄは、保持部２１ｂの先端が電子部品Ｗの直前に到達するまでは、保持部２１ｂを高速移動させるように高回転数で回転し、直前に到達すると、保持部２１ｂを低速移動させるように低回転数で回転し、電子部品Ｗとの当接位置に達するころには速度をゼロにする。また、電子部品Ｗへの到達前後でトルク制限に違いを設ける。保持部２１ｂの先端が電子部品Ｗの直前に到達してからは、最大トルクを引き下げるように制限を厳しくする。この速度やトルク制御では、向き合う保持部２１ａと２１ｂの組み合わせ情報又は受け渡し地点Ａ等の停止ポイント情報に紐付けされた回転モータ２５ｄの回転量を参照する。これにより、電子部品Ｗに対して大きな荷重をかけてしまうことを未然に防止する。

　また、ボイスコイルモータ２５ｇは、電子部品Ｗへ未達の保持部２１ｂを進出させる際にロッド２５ｉが受ける抗力Ｆ１と突起支持板２５３を支持するバネ２５ｂの圧縮力Ｆ２との合計に拮抗させた推力Ｆをロッド２５ｉにかけておく。これにより、ロッド２５ｉは進出もしないし、ボイスコイルモータ２５ｇの筐体に埋没もしない。

　但し、保持部２１ｂの先端が電子部品Ｗに当接し、電子部品Ｗから新たな抗力Ｆ３を受けるとロッド２５ｉは、ボイスコイルモータ２５ｇに埋没する。すなわち、ボイスコイルモータ２５ｇは、ロッド２５ｉの筐体への没入によって保持部２１ｂと電子部品Ｗとの接触に伴う衝撃を吸収する。従って、保持部２１ｂが電子部品Ｗに対して与える荷重はかなり低減される。

　そのため、位置決め誤差によっては保持部２１ａ、２１ｂの位置が受け渡し地点Ａでズレてしまい、一点が支点、他点が力点となって、電子部品Ｗに回転モーメントを生じさせてしまうことがある。しかし、この進退駆動装置２５では、電子部品Ｗにかかる荷重がゼロに近づいているため、電子部品Ｗの姿勢がズレてしまったり、最悪の場合、電子部品Ｗが横転してしまったりすることは避けることができる。

　更に、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、同一品であり、また共通のブラケット７に組み付けられている。そのため、ブラケット７に両ロータリーテーブル２ａ、２ｂを組み付けるだけで、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂの位置合わせが完了し、受け渡し地点Ａにおいて、向かい合う保持部２１ａ、２１ｂが精度よく一直線上に並ぶようになっている。そのため、向かい合う保持部２１ａ、２１ｂの位置がズレてしまう事態でさえ極力防止されている。

　動作説明に戻り、保持部２１ｂが電子部品Ｗを保持すると、進退駆動装置２５は、回転モータ２５ｄの駆動により円筒カム２５ｅを逆回転させ、カムフォロア２５ｆがカム面の膨出部分から脱出していくと、アーム２４ｃへの推進力は解除される。バネ部２５ｈは、可動機構２４が有するスライドシャフト２４ｂの進出により圧縮されており、アーム２４ｃへの推進力が解除されると、元に戻ろうとする付勢力が発揮され、スライドシャフト２４ｂを半径方向中心に戻す。スライドシャフト２４ｂが半径方向中心に戻ると、アーム２４ｃを介してスライドシャフト２４ｂに固定されていた保持部２１ｂは、電子部品Ｗを保持したまま、ロータリーテーブル２ｂの中心方向に戻す。

　第８番目の外観検査地点Ｄでは、搬送経路前半で撮影することのできなかった電子部品Ｗの反対面Ｒについて、その外観を撮影し、良品又は不良品に分別する。搬送経路前半を担うロータリーテーブル２ａにおいては、一面が保持部２１によって保持され、またロータリーテーブル２ａの回転中心側を向いているため、外観撮影が困難であった。一方、搬送経路後半のロータリーテーブル２ｂでは、受け渡しによって電子部品Ｗが自動的に表裏反転されることになるため、撮影できなかった反対面Ｒが外方に向き、撮影可能となる。

　第９番目の塗布地点Ｅでは、電子部品Ｗの外方を向く面に接着剤を塗布する。ペースト塗布装置３は、第９番目の塗布地点Ｅの直上にスタンピングピン３１の先端を向けて待機している。スタンピングピン３１は、先端が先細りした棒状部材である。

　このペースト塗布装置３は、接着剤が貯留された受け皿３２を備えており、予め、スタンピングピン３１を受け皿内に移動させて、スタンピングピン３１の先端を接着剤に漬けておき、その後、第９番目の塗布地点Ｅに待機させる。塗布地点Ｅに電子部品Ｗが運ばれてくると、スタンピングピン３１を下降させ、塗布地点Ｅに停止している電子部品Ｗに接着剤を塗布する。

　第１１番目の姿勢確認地点Ｆでは、電子部品Ｗの姿勢を確認し、電子部品のＸＹθ方向のズレを検出する。この姿勢確認地点Ｆにも、第８番目の外観検査地点Ｄと同じ撮影光学系６３が配置され、電子部品Ｗの画像からズレを算出する。ズレは、画像の一点を基準にした電子部品の各点までの距離を測定することで算出される。ＸＹθ方向のズレ量の情報は、電子部品Ｗと紐付けて記憶しておく。

　第１２番目の排出地点Ｇでは、不良品と判断された電子部品を強制排出する。この第１２番目の排出地点Ｇでは、落下方向に開口をかまえた排出容器８が配置されている。外観検査において、不良品を示す情報と紐付けられた電子部品が排出地点Ｇに運ばれてくると、真空発生装置は、保持部２１のノズル内部に正圧を発生させて、保持していた電子部品を吹き飛ばし、排出容器８内に落下させる。

　第１３番目の離脱地点Ｃでは、ステージ装置４ｂが搭載箇所を離脱地点Ｃに運び、ロータリーテーブル２ｂの第１３番目に位置した保持部２１が電子部品を離脱させる。図１０に示すように、ステージ装置４ｂは、ステージをＸＹ方向に移動させ、またθ方向に回転させる。Ｘ方向への移動は、Ｘ列に空の搭載箇所が残存する場合には、一方向への１ピッチ分に、記憶されているＸ方向のズレ量を加えた分である。Ｙ方向への移動は、Ｘ列に空の搭載箇所がなくなっている場合には、一方向への１ピッチ分に、記憶されているＹ方向のズレ量を加えた分である。更に、θ回転は、記憶されているθ方向のズレ量に相当する。

　予め、ステージをＸＹ方向及びθ方向に移動させておき、その移動が終了すると、第１３番目の離脱地点Ｃに位置した保持部２１を進退駆動装置２５が下降させ、搭載箇所へ電子部品Ｗを離脱させる。ステージ装置４ｂに載せられている収容体５ｂが基板Ｐの場合には、接着剤が塗布されている面が基板Ｐに向き、接着剤を介して電子部品Ｗと基板Ｐとが接着される。このとき、進退駆動装置２５は、回転モータ２５ｄやボイスコイルモータ２５ｇを制御して電子部品Ｗに一定の荷重を付与し、電子部品Ｗと基板Ｐとの接着を促進させる。

　（５．作用効果）
　以上のように、本実施形態の移載装置１は、２連のロータリーテーブル２ａ、２ｂを搬送経路として備えるようにした。両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、保持部２１の先端が常にテーブル半径方向外方を向くように回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転する。ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、互いに重ならないように、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置される。そして、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、双方が有する保持部２１ａと２１ｂの先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点Ａとして、電子部品Ｗを受け渡ようにした。

　このように、ロータリーテーブル２ａ、２ｂが、互いに重ならないように、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置されることで、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの周囲に多くの加工点を設けることができる。加工点は、電子部品Ｗに外観検査や接着剤塗布や姿勢確認等の各種の加工を施す箇所である。

　すなわち、ロータリーテーブル２ａ、２ｂが一部重ねられている場合、その両ロータリーテーブル２ａ、２ｂの重なり部分とその近傍には、加工点を設置できない。一方のロータリーテーブル２ａ、２ｂやモータ２３等が物理的な障害となるためである。しかしながら、本実施形態の移載装置１は、そのような重なり部分がなく、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの受け渡し地点Ａを除く全てに加工点を設置することができる。

　また、この移載装置１では、多くの加工点を設けることができるので、テーブル径を大型化する必要がなく、省スペース化を実現できる。しかも、ロータリーテーブル２の小型化により、ロータリーテーブル２の縦置きが実現するし、モータ２３の小型化を図ることもできる。そのため、更なる省スペース化に繋がる。

　また、ロータリーテーブル２ａ、２ｂを小型化できれば、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの回転速度を速めることもできる。そのため、電子部品Ｗの搬送速度が向上する。２連のロータリーテーブル２ａ、２ｂでは、電子部品Ｗの受け渡し処理が電子部品Ｗの反転処理ともなるため、受け渡し処理に別途反転処理を加える必要がなく、電子部品Ｗを反転することができる。そのため、電子部品Ｗの搬送速度が更に向上する。

　このような２連のロータリーテーブル２ａ、２ｂは高度な位置合わせが必要となる。この点、本実施形態の移載装置１では、ロータリーテーブル２ａ、２ｂを同一設計図をもとにした同一品とし、ロータリーテーブル２ａ、２ｂの回転軸の位置を規制する１枚の共通のブラケット７を用いた。

　これにより、ロータリーテーブル２ａ、２ｂをブラケット７に嵌め込むだけで両ロータリーテーブル２ａ、２ｂの高精度な位置決めが完了し、簡便な位置決め作業で、受け渡し地点Ａで先端を向かい合わせにする保持部２１が精度よく同一直線上に並ぶ。そのため、このようなロータリーテーブル２ａ、２ｂ同士で電子部品Ｗを受け渡す構造を有していても、電子部品Ｗの歩留まりは良好であり、装置として実効性に富む。

　更に、この移載装置１では、受け渡し地点Ａで向かい合わせになった保持部２１の何れか一方が、受け渡し対象の電子部品Ｗを送り又は迎えにいくようにし、進退駆動装置２５は、進出させる保持部２１の移動速度を、向かい合わせになった他方の保持部２１に近づくにしたがって減速させ、更に、進出させる保持部２１における、受け渡し対象の電子部品Ｗにかける荷重を制御するようにした。

　これにより、万一、組み付け精度等によって受け渡し地点Ａで保持部２１の並びにズレが生じたとしても、電子部品Ｗの表裏において荷重のかかっているポイントがズレることにより発生する電子部品Ｗに対する回転モーメントは極めて小さくなり、受け渡しによって電子部品Ｗの姿勢が変わってしまったり、電子部品Ｗが横転して受け取りミスが発生してしまうことはない。従って、この点においても電子部品Ｗの歩留まりは良好となり、装置として実効性に富む。

　（６．他の実施形態）
　以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

　例えば、この移載装置１は、ロータリーテーブル２ａ、２ｂを互いに重ならないように、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置すれば、多くの加工点を設けることができ、ロータリーテーブル２ａ、２ｂを設置面と水平になるように横置きするようにしてもよい。

　加工点としては、本実施形態で挙げた外観検査、接着剤塗布、姿勢確認、不良品の強制排出、基板への実装の他、電気特性検査、加熱又は冷却といった温度調整、電子部品Ｗから延びる端子の形状加工、姿勢の矯正、マーキング、その他各種を設けることができる。

　保持部２１に関しては、真空の発生及び破壊又は正圧の発生により電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルの他、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｗを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。

　また、ロータリーテーブル２ａ、２ｂに設置する保持部２１は、１種類に限らず、２種類を配置することもできる。例えば、１つおきに同種の保持部２１が並ぶように、奇数番目と偶数番目で別種類の保持部２１を設置し、第１品種の電子部品Ｗが供給された場合には奇数番目の保持部２１で保持し、第２品種の電子部品Ｗが供給された場合には偶数番目の保持部２１で保持する。同一品種が連続して供給される場合にはロータリーテーブル２ａ、２ｂを２ピッチずつ回転させるようにし、異なる品種が供給された場合にはロータリーテーブル２ａ、２ｂを１ピッチ回転させて、その異なる品種を保持する。多品種少量生産において、品種交換が頻繁に発生する場合には、品種によって保持部２１を交換する手間が省けるため、また生産効率が向上する。

　更に、本実施形態では、受け渡し地点Ａにおいては、搬送経路後半を担うロータリーテーブル２ｂの保持部２１ｂが電子部品Ｗを迎えにいく方式を採用したが、搬送経路前半を担うロータリーテーブル２ａの保持部２１ａが電子部品Ｗを渡しにいく方式を採用することもできる。更に、双方が中間地点まで互いに移動する方式であってもよい。この場合、搬送経路前半を担うロータリーテーブル２ａに対して受け渡し地点Ａに進退駆動装置２５を配置してもよいし、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂに進退駆動装置２５を配置するようにしてもよい。

　一枚の共通のブラケット７を用いずとも、手作業等により位置決め作業を行うことも可能である。また、例えば、ペースト塗布装置３としては、スタンピングピンを用いたピン転写方式を採用したが、シリンジに封入された液体を空気圧又は機械圧力でノズルの先端から吐出させるディスペンサ方式を適用することもできる。

　また、本実施形態では、一方の収容体５ａをトレイとし、他方の収容体５ｂを実装基板としたが、これに限られることはなく、トレイ、基板、ウェハシート、ポケットが形成されたテープの何れか又は２種類の組み合わせの何れをも採用することができる。更には、外観検査の撮影光学系６の１つは、５面を一度に撮影する方式を採用したが、何面かに分割し、他の停止位置に配置することも可能である。

　例えば、図１１は、移載装置１の他の例を示す模式図である。この移載装置１において一方の収容体５はウェハシートである。搬送経路の前半を担うロータリーテーブル２ａの受け渡し位置とは反対の真横停止位置を第１番目とし、両ロータリーテーブル２ａ、２ｂは、第１番目から反時計回りに回転する。

　真横位置である第１番目の停止位置には、ステージの代わりにリングホルダ５０が配置される。第３番目には、搬送経路前半を担うロータリーテーブル２ａにおいて半径方向外方を向く電子部品Ｗの一面を撮影する撮影光学系６が配置される。第５番目が受け渡し地点Ａとなる。第１番目よりも時計回り方向に２つ離れた停止位置には、排出管８０が配置されている。この排出管８０には、第５番目の受け渡し地点Ａで受け渡しに失敗した電子部品Ｗが排出される。保持部２１が電子部品Ｗを保持したままであると、第１番目のピックアップ地点Ｂで電子部品Ｗを２枚重ねにしてしまうからである。

　第６番目には、第７番目に設置されるペースト塗布装置３による接着剤の塗布のために、電子部品Ｗの接着剤塗布面を撮影する撮影光学系６が配置される。この撮影光学系６で電子部品ＷのＸＹθ方向のズレ量を検出し、そのズレ量に合わせてスタンピングピン３１の位置を修正する。

　第８番目の停止位置には、接着剤塗布面に対する外観検査を行うための撮影光学系６が配置される。この撮影光学系６では、接着剤塗布面及び接着剤の塗布態様を検査する。第９番目の停止位置には、電子部品Ｗの側方４面に対する外観検査を行うための撮影光学系６が配置される。

　第１０番目の停止位置には、排出管の代わりに、分類管８２が設けられている。この分類管８２は、不良品とは言えないがグレードの高くない電子部品Ｗを収容する。各外観検査では、電子部品Ｗの良品の程度に応じたランク付けがなされ、規定のランクが紐付けられた電子部品Ｗは、保持部２１がブロアとなって分類管８２に排出する。

　第１１番目の停止位置は、リードフレーム等の実装基板を載せたステージが配置される。第１０番目の分類管８２及び第１１番目のステージで離脱させなかった不良品は、第１２番目に設けられた排出管８１に投棄される。隣が受け渡し地点Ａであり、保持部２１が電子部品Ｗを保持したままであると、受け渡し地点Ａで電子部品Ｗを２枚重ねにしてしまうからである。

１　移載装置
２　ロータリーテーブル
２ａ　ロータリーテーブル
２ｂ　ロータリーテーブル
２１　保持部
２２　軸フレーム
２３　モータ
２４　可動機構
２４ａ　スリーブ
２４ｂ　スライドシャフト
２４ｃ　アーム
２４ｄ　フランジ
２５　進退駆動装置
２５０　スライド部材
２５１　側面板
２５２　天井板
２５３　突起支持板
２５ｂ　バネ
２５ｃ　突起部
２５ｄ　回転モータ
２５ｅ　円筒カム
２５ｆ　カムフォロア
２５ｇ　ボイスコイルモータ
２５ｈ　バネ部
２５ｉ　ロッド
３　ペースト塗布装置
３１　スタンピングピン
３２　受け皿
４　ステージ装置
５　収容体
５０　リングホルダ
６　撮影光学系
６１　撮影光学系
６２　撮影光学系
６３　撮影光学系
７　ブラケット
７１　貫通孔
８、８０、８１　排出管
８２　分類管
Ａ　受け渡し地点
Ｂ　ピックアップ地点
Ｃ　離脱地点
Ｄ　外観検査地点
Ｅ　塗布地点
Ｆ　姿勢確認地点
Ｇ　排出地点
Ｗ　電子部品
Ｐ　基板
Ｆ　ボイスコイルモータの推力
Ｆ１　ロッドが受ける抗力
Ｆ２　圧縮力
Ｆ３　新たな抗力

Claims (14)

1. 　一方の収容体から電子部品を取り出して他方の収容体に搭載する移載装置であって、
   　前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持部と、
   　前記保持部を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第１のロータリーテーブルと、
   　前記保持部を回転軸周りに複数配置し、前記先端が常に外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる第２のロータリーテーブルと、
   　を備え、
   　前記第１及び第２のロータリーテーブルは、
   　互いに重ならないように、前記回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置され、
   　双方が有する前記保持部の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、前記電子部品を受け渡し、
   　前記第１のロータリーテーブルは、
   　前記一方の収容体から取り出した前記電子部品の一面を保持させて前記受け渡し地点まで搬送し、
   　前記第２のロータリーテーブルは、
   　前記受け渡し地点で前記電子部品の反対面を保持させて前記他方の収容体へ離脱させること、
   　を特徴とする移載装置。
2. 　前記第１及び第２のロータリーテーブルは、全て縦置きされて垂直な回転面を有すること、
   　を特徴とする請求項１記載の移載装置。
3. 　前記第１若しくは第２のロータリーテーブルの何れか一方には、
   　前記受け渡し地点に該当する前記停止位置に、当該停止位置で停止した前記保持部を前記回転軸から離れる半径方向外方へ進出させる進退駆動部が更に配置され、
   　前記受け渡し地点で向かい合わせになった前記保持部の何れか一方が、受け渡し対象の電子部品を送り又は迎えにいくこと、
   　を特徴とする請求項１又は２記載の移載装置。
4. 　前記進退駆動部は、
   　前記保持部を進出させる推力を発生させるモータを備え、
   　前記モータは、
   　前記進出させる保持部の移動速度を、向かい合わせになった他方の保持部に近づくにしたがって減速させること、
   　を特徴とする請求項３記載の移載装置。
5. 　前記進退駆動部は、
   　受け渡し対象の前記電子部品に対して前記進出させる保持部が与える荷重を制御するボイスコイルモータを備えること、
   　を特徴とする請求項３又は４記載の移載装置。
6. 　前記ボイスコイルモータは、
   　前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与え、
   　前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との衝撃を吸収すること、
   　を特徴とする請求項５記載の移載装置。
7. 　前記進退駆動部は、
   　前記受け渡し対象の電子部品へ未達の状態で前記保持部から受ける抗力との拮抗推力を当該保持部に与えるボイスコイルモータを備え、
   　前記受け渡し対象の電子部品と前記保持部との接触によって生じる前記ボイスコイルモータの挙動変化に基づき、前記保持部を進出させるための前記モータの回転量を決定すること、
   　を特徴とする請求項３又は４記載の移載装置。
8. 　前記第１及び第２のロータリーテーブルは、同一設計図をもとにした同一品であること、
   　を特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の移載装置。
9. 　前記第１及び第２のロータリーテーブルの回転軸の位置を規制する１枚の共通のブラケットを更に備えること、
   　を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の移載装置。
10. 　前記第１及び第２のロータリーテーブルには、それぞれ電子部品の外観を撮影する撮影光学系が配置されていること、
    　を特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の移載装置。
11. 　前記第１のロータリーテーブルに配置されている撮影光学系は、前記電子部品の前記反対面以外の５面を撮影し、
    　前記第２のロータリーテーブルに配置されている撮影光学系は、前記電子部品の前記反対面を撮影すること、
    　を特徴とする請求項９記載の移載装置。
12. 　前記第２のロータリーテーブルには、電子部品の姿勢を撮影する撮影光学系が配置され、
    　前記他方の収容体を、撮影された姿勢に位置及び回転を合わせるように二次元方向移動及び回転させること、
    　を特徴とする請求項１乃至１１の何れかに記載の移載装置。
13. 　前記一方の収容体及び前記他方の収容体は、ウェハシート、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、或いはポケットが形成されたテープ、トレイ、分類ビンの何れか又は二種類の組み合わせであること、
    　を特徴とする請求項１乃至１２の何れかに記載の移載装置。
14. 　前記第２のロータリーテーブルには、前記電子部品の前記反対面に接着剤を塗布するペースト塗布装置が配置されていること、
    　を特徴とする請求項１乃至１３記載の移載装置。

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