JP2009044062A - ワーク供給方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワーク(電子部品)に外力を加えることなく、ワークをキャリアテープのポケットに安定して供給することがでるワーク供給方法を提供する。
【解決手段】キャリアテープ23のポケット24にワーク22を供給するワーク供給方法である。キャリアテープ23の上方位置に配置されてキャリアテープ23の移動時のガイドとして機能する蓋部材30を、ワーク22を吸着保持する吸着ヘッド26が干渉しない距離に離間させた状態とする。この状態で、吸着ヘッド26を下降させてワーク22をポケット24に挿入する。その後、吸着ヘッド26に蓋部材30が近接接近するように、キャリアテープ23及び蓋部材30を一体として移動させる。吸着ヘッド26のワーク22の吸着保持を解除して、キャリアテープ23のみを反近接接近方向に搬送する。
【選択図】図1
【解決手段】キャリアテープ23のポケット24にワーク22を供給するワーク供給方法である。キャリアテープ23の上方位置に配置されてキャリアテープ23の移動時のガイドとして機能する蓋部材30を、ワーク22を吸着保持する吸着ヘッド26が干渉しない距離に離間させた状態とする。この状態で、吸着ヘッド26を下降させてワーク22をポケット24に挿入する。その後、吸着ヘッド26に蓋部材30が近接接近するように、キャリアテープ23及び蓋部材30を一体として移動させる。吸着ヘッド26のワーク22の吸着保持を解除して、キャリアテープ23のみを反近接接近方向に搬送する。
【選択図】図1
Description
本発明は、キャリアテープのポケットに半導体素子等の電子部品(ワーク)を供給するワーク供給方法に関するものである。
半導体素子の製造工場においては、半導体素子の電気的特性測定や外観観察等の複合処理を行って、テーピング梱包して出荷している。ここで、テーピング梱包とはキャリアテープに半導体素子等を収納する作業である。キャリアテープは、電子部品やICの収納・搬送・保管等に使われるものであって、PSやPVC等のシートを押出成形や真空成形加工によりポケットを形成したものである。形状はテープ状であり、エンボス成形されたポケットが連続的に続いている。そのポケットに電子部品等を入れた後は、フィルム状のカバーテープで蓋をしてリールに巻かれて使用される。
そして、キャリアテープに収納する場合、図4に示すような装置が使用される。すなわち、この装置は、外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段を配置したターンテーブル1を備える。また、ワーク保持手段は、例えば、吸着コレットが使用される。吸着コレットは下面に吸着孔が開口したヘッド7(図5参照)を備え、この吸着孔には真空発生器が連結され、この真空発生器の駆動によって吸着孔のエアを吸引してワークを吸着するものである。
次に図4に示す装置を使用したワーク搬送方法を説明する。すなわち、ターンテーブル(回転テーブル)1を例えば矢印A方向に回転させることによって、ワーク保持手段である吸着ヘッド7に保持されたワーク2がワーク供給可能位置にきたときに、ターンテーブル1の回転を停止する。次に、吸着ヘッド7を下降させて、ワーク2の吸着を解除し、キャリアテープ3のポケット4に収納する。
ところで、ワーク2をキャリアテープ3のポケット4への収納は、図5に示す方法によって行われる。すなわち、図5(a)に示すように、吸着ヘッド7に吸着されているワーク2の吸着ヘッド7の吸着面に対する位置を位置検出手段8にて検出して、位置ずれしていれば、位置修正手段9(図4参照)にてワーク2の位置を修正(補正)する。位置検出手段8は、CCDカメラ等のカメラを備え、ワーク2をこのカメラが撮像し、撮像した画像を演算処理してワークの位置及び姿勢(角度)を検出する。なお、位置検出手段8は、ワーク2をキャリアテープ3のポケット4へ投入する位置よりも上流側に配置され、図5(a)の仮想線で示す位置(つまり、ポケット4の上方位置)にはない。
また、位置修正手段9は、一般的に補正爪10を有するものを使用している(例えば、特許文献1)。この位置修正手段9はワーク2の各辺に対応する4つの補正爪10を備え、前記位置検出手段8にて検出されたワーク2の位置状態に基づいて、各補正爪10を作動させるものである。
位置修正した後は、この吸着ヘッド7を図示省略の昇降機構によって、図5(a)に示す状態から図5(b)に示すように、下降させて吸着ヘッド7に吸着されているワーク2をキャリアテープ3のポケット4内に挿入する。この際、蓋部材11(キャリアテープ3の上方位置に配置されてキャリアテープ3の移動時のガイドとして機能する蓋)に、吸着ヘッド7を近接させて下降させる。
その後は、吸着ヘッド7のワーク2の吸着を解除して、キャリアテープ3を矢印B方向(図4参照)へ移動させて、図5(c)に示すように、ポケット4内にワーク2を収納させることになる。
特開2005−51090号公報
ところで、吸着ヘッド7によるワーク2の吸引を解除しても静電気等でワーク2が吸着ヘッド7に付着している場合が多い。このため、蓋部材11と吸着ヘッド7とが離れていれば、キャリアテープ3を矢印B方向へ移動させる際に、ワーク2が蓋部材11に当接したり、キャリアテープ上に乗り上げたりして、安定した供給作業を行えなかった。そこで、図5(b)に示すように、吸着ヘッド7を下降させる際には、蓋部材11に近接させる必要がある。しかしながら、近接させた状態で吸着ヘッド7を下降させる場合、精度よく吸着ヘッドを下降させなければ、吸着ヘッド7が蓋部材に接触乃至衝突するおそれがある。このような場合には、吸着ヘッド7や蓋部材11等が損傷して、耐用性に劣ることになる。
このように、従来においては、製品(ワーク)の位置ずれを補正してキャリアテープに製品を挿入する際に、所定以上のずれがある場合には、吸着ヘッド7による蓋部材11との干渉、吸着ヘッド7と蓋部材11との間の隙間等によるトラブルが発生する。このため、このようなトラブルが発生した場合、挿入不可の製品として、不良排出処理を行うことになり、歩留まりが低いことになる。また、位置補正と補正挿入後の安定稼動を満足するために、稼動可能な隙間の大きさまでをずれの許容範囲として制限することになる。
また、ワーク2の位置合わせに、前記したような補正爪を使用すれば、補正爪が製品(電子部品)に接触することになるので、隅部等において製品に欠けが生じるおそれがある。このような欠けが生じた場合、キャリアテープ3のポケット4への供給段階、つまり製品検査終了段階であるために、その後の製品検査が行われない。このため、欠けを有する不良品が出荷されることになる。
本発明は、上記課題に鑑みて、ワーク(電子部品)に外力を加えることなく、ワークをキャリアテープのポケットに安定して供給することができるワーク供給方法を提供する。
本発明のワーク供給方法は、キャリアテープのポケットにワークを供給するワーク供給方法であって、キャリアテープの上方位置に配置されてキャリアテープの移動時のガイドとして機能する蓋部材を、ワークを吸着保持する吸着ヘッドが干渉しない距離に離間させた状態で、吸着ヘッドを下降させてこのワークをキャリアテープのポケットに挿入し、その後、吸着ヘッドに前記蓋部材が近接接近するように、キャリアテープ及び前記蓋部材を一体として移動させた後、吸着ヘッドのワークの吸着保持を解除して、キャリアテープのみを反近接接近方向に搬送するものである。
本発明のワーク供給方法によれば、ワークを吸着保持する吸着ヘッドを下降させる際には、吸着ヘッドに対して蓋部材を離間させた状態とすることができる。また、吸着ヘッドを下降させて、ワークをポケットに挿入した後に、蓋部材を吸着ヘッドに近接接近させることができる。その後は、キャリアテープのみを反近接接近方向に搬送することによって、ポケット内にワークを収納することができる。
吸着ヘッドを下降させてこのワークをポケットに挿入する前に、ワークのθ方向のみの位置合わせを行うのも好ましい。また、吸着ヘッドを下降させてこのワークをポケットに挿入する工程においては、吸着ヘッドのXYθ方向に対しては固定してZ方向のみの変位を行うようにするのが好ましい。さらに、吸着ヘッドの下降は、ワーク吸着面が蓋部材の下面よりも下位とするのが好ましい。
本発明では、ワークを吸着保持する吸着ヘッドを下降させる際には、吸着ヘッドに対して蓋部材を離間させた状態とすることができるので、吸着ヘッドの下降時の吸着ヘッドと蓋部材との干渉が無くなり、吸着ヘッドの安定した下降が可能となり、吸着ヘッドや蓋部材等の損傷を防止できる。しかも、キャリアテープのみの搬送前に、キャリアテープと蓋部材とを含むユニット体を、蓋部材と吸着ヘッドとの間の隙間が所定の小隙間となるまで搬送することができるので、ワークのずれの許容範囲の拡大と、挿入後の安定した稼動が実現できる。
このように、トラブルの発生(従来において発生していた吸着ヘッドと蓋部材との干渉等のトラブル)が少なくなり、従来において不良扱いで廃棄していた製品(ワーク)が、良品としてテーピングでき、実質の稼動率の向上を達成できる。しかも、この方法に使用する装置としては、キャリアテープ及び蓋部材を一体として移動させた後、キャリアテープのみを反近接接近方向に搬送するもであって、従来の既存のものを使用することができて、コスト低減を達成できる。
ワークのθ方向のみの位置合わせを行う場合、ワークのキャリアテープのポケットへの挿入が安定する。この場合、ワークがXY方向の位置ずれが生じていても、キャリアテープと蓋部材とを含むユニット体側で、この位置ずれを吸収することができ、ワークに対するXY方向の位置合わせを行う必要がない。また、θ方向のみの位置合わせであるので、この位置合わせでワークが損傷することが防止される。すなわち、θ方向の位置合わせは、ワークの一辺を押圧爪等にて押圧すればよく、前記した従来のような4辺を押圧するものではないので、このθ方向のみの位置合わせによるワークの損傷を防止できる。
吸着ヘッドを下降させてこのワークをポケットに挿入する工程においては、吸着ヘッドのXYθ方向に対しては固定してZ方向のみの変位を行うものでは、吸着ヘッドの駆動機構の簡略化を図ることができる。
吸着ヘッドの下降は、ワーク吸着面が蓋部材の下面よりも下位とした場合、キャリアテープのみを搬送することによるワークのポケットへ収納作業が安定する。
以下本発明の実施の形態を図1から図3に基づいて説明する。図1は本発明に係るワーク供給方法に用いるワーク供給装置を示している。ワーク供給装置は、外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段20(図2参照)を配置したターンテーブル(回転テーブル)21を備え、ターンテーブル21を回転させて各ワーク保持手段20にて保持されている半導体素子等の電子部品(ワーク)22を順次、キャリアテープ23のポケット24に搬送(供給)するものである。
ターンテーブル21は、モータ等の駆動手段(図示省略)の駆動によってその回転軸(中心軸)の軸心廻りに回転する。また、ワーク保持手段20は、例えば、図2に示すように、吸着コレット25からなる。この吸着コレット25はその下面に開口する吸着孔を有する吸着ヘッド26を有し、吸着孔を介してワーク22が真空吸引され、このヘッド26の下面(吸着面)26aにワーク22が吸着する。この真空吸引(真空引き)が解除されれば、吸着ヘッド26からワーク22が外れる。また、吸着ヘッド26はシリンダ機構、ボールねじ機構、パルスモータ機構等の駆動手段(上下動機構)27を介して上下動(Z方向)のみが可能とされている。
キャリアテープ23は、電子部品やICの収納・搬送・保管等に使われるものであって、PSやPVC等のシートを押出成形や真空成形加工によりポケット24を形成したものである。
このキャリアテープ23は、図示省略のテープ供給部から矢印B方向に送出され、各ポケット24にワーク22が収納される。このキャリアテープ23は駆動手段28(図3参照)にて、図1に示すように、XY方向に移動できる。この駆動手段(キャリアテープ駆動手段)28は、キャリアテープ23のみを移動させるものであって、公知・公用の搬送手段であるXYステージ等にて構成できる。さらに、このXYステージ全体を基台ステージにて保持され、この基台が駆動手段(キャリアテープユニット駆動手段)29にてXY方向に移動できる。
キャリアテープユニット駆動手段29にて駆動される基台には、キャリアテープ23の上方位置に配置されてキャリアテープ23の移動時のガイドとして機能する蓋部材30が付設されている。このため、キャリアテープユニット駆動手段29にて、蓋部材30とキャリアテープ23とを含むユニットUとして一体に移動させることができ、また、キャリアテープ駆動手段28にて、キャリアテープ23のみを移動させることができる。
さらに、このワーク供給装置には、図3に示すように、ワーク保持手段20にて保持されている電子部品(ワーク)22の姿勢を検出する姿勢検出手段31と、前記吸着ヘッド駆動手段27、キャリアテープ駆動手段28、キャリアテープユニット駆動手段29等を制御する制御手段32を備える。
姿勢検出手段31は、CCDカメラ等のカメラを備え、ワーク22をカメラが撮像し、撮像した画像を演算処理してワーク22のその検出位置でのワークの位置及び姿勢(角度)を検出する。そして、そのデータを制御手段32に送る。なお、制御手段32は例えばマイクロコンピュータにて構成することができる。
この装置においては、図1に示すように、ワーク22のθ方向のみの位置合わせを行う修正手段33を前記姿勢検出手段31よりも上流側に配置されている。この修正手段33はワーク22を一方向から押圧することができる押圧爪部材34を有し、前記姿勢検出手段31にてワーク22の姿勢を検出して、θ方向に位置ずれしていれば、修正手段33の押圧爪部材34にてワーク22を一方向から押圧することによって、θ方向の位置ずれを修正することができる。この姿勢検出手段31は、ワークWのXY方向のずれも検出することができる。
次に前記したワーク供給装置にてワーク22を供給する方法を説明する。まず、修正手段33よりも上流側に配置される姿勢検出手段31(このため、実際には、図2の仮想線で示すポケット24の上方位置にはない)にて、吸着ヘッド26に吸着されているワーク22のθ方向の位置ずれを観察(検出)する。この場合、この観察データが制御手段32に出力され、ワーク22にθ方向の位置ずれが生じていれば、この制御手段32から修正手段33へ信号が送られて、この修正手段33が作動してワーク22のθ方向の位置ずれが修正される。なお、θ方向の位置ずれが生じていなかったワーク22は、修正手段33による修正が行われない。
次に、ターンテーブル21を矢印A方向に回転させて、ワーク22をキャリアテープ23のポケット24に収納可能位置に搬送する。前記修正手段33によるθ方向の位置修正位置から収納可能位置までの範囲において、この範囲に配置される位置検出器(位置検出用カメラ35)(図2(a)参照)にてワーク22のXY方向の位置をキャリアテープ23の下方から検出する。なお、この収納可能位置とは、図2(a)に示すように、吸着ヘッド26を下降させた際に、蓋部材30と吸着ヘッド26とが十分に離間するとともに、この吸着ヘッド26がポケット24に挿入可能な位置である。
前記修正手段33では、XY方向の位置修正を行わないので、位置検出用カメラ35でのXY位置情報に基づいて、キャリアテープユニットUをXY方向に移動させることになる。このため、吸着ヘッド26を吸着ヘッド駆動手段27を介して図2(a)に示すように、下降させれば、吸着ヘッド26が蓋部材30と十分な距離を保持した状態でポケット24に挿入することができる。この下降では、吸着ヘッド26の下面(吸着面)26aの位置が、蓋部材30の下面30aの位置よりも低位とする。この場合、吸着ヘッド26の下面26aがキャリアテープ23に接触しない程度とする。
次に、キャリアテープユニットUを図2(b)に示すように、矢印C方向(ワーク22を供給すべきポケット24側)へ移動させ、キャリアテープユニットUの蓋部材30を吸着ヘッド26に近接接近させる。蓋部材30と吸着ヘッド26との隙間寸法tは、例えば50μm程度の所定の小寸法とすることができる。
その後、吸着ヘッド26のワーク吸引を解除して、図2(c)に示すように、キャリアテープユニットUのキャリアテープ23のみを矢印B方向(反近接接近方向)に移動させる。これによって、ワーク22を、キャリアテープ23のポケット24内に収容する。
本発明では、ワーク22を吸着保持する吸着ヘッド26を下降させる際には、吸着ヘッド26に対して蓋部材30を離間させた状態とすることができるので、吸着ヘッド26の下降時の吸着ヘッド26と蓋部材30との干渉が無くなり、吸着ヘッド26の安定した下降が可能となり、吸着ヘッド26や蓋部材30等の損傷を防止できる。しかも、キャリアテープ23のみの搬送前に、キャリアテープ23と蓋部材30とを含むユニット体Uを、蓋部材30と吸着ヘッド26との間の隙間tが所定の小隙間となるまで搬送することができる。このため、ワーク22のずれの許容範囲の拡大と、挿入後の安定した稼動が実現できる。
このように、トラブルの発生(従来において発生していた吸着ヘッドと蓋部材との干渉等のトラブル)が少なくなり、従来において不良扱いで廃棄していた製品(ワーク22)が、良品としてテーピングでき、実質の稼動率の向上を達成できる。しかも、この方法に使用する装置としては、キャリアテープ23及び蓋部材30を一体として移動させた後、キャリアテープ23のみを反近接接近方向に搬送するもであって、従来の既存のものを使用することができて、コスト低減を達成できる。
ワーク22のθ方向のみの位置合わせを行う工程を含む場合、ワーク22のキャリアテープ23のポケット24への挿入が安定する。この場合、ワーク22がXY方向の位置ずれが生じていても、キャリアテープ23と蓋部材30との含むユニット体U側で、この位置ずれを吸収することができ、ワーク22に対するXY方向の位置合わせを行う必要がない。また、θ方向のみの位置合わせであるので、この位置合わせでワーク22が損傷することが防止される。すなわち、θ方向の位置合わせは、ワーク22の一辺を押圧爪等にて押圧すればよく、前記した従来のような4辺を押圧するものではないので、このθ方向のみの位置合わせによるワーク22の損傷を防止できる。
吸着ヘッド26を下降させてこのワーク22をポケット24に挿入する工程においては、吸着ヘッド26のXYθ方向に対しては固定してZ方向のみの変位を行うものでは、吸着ヘッド26の駆動機構の簡略化を図ることができる。
吸着ヘッド26の下降は、ワーク吸着面26aが蓋部材30の下面30aよりも下位としているので、キャリアテープ23のみを搬送することによるワーク22のポケット24へ収納作業が安定する。
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、吸着ヘッド26を、キャリアテープ23のポケット24に供給する位置への搬送に、ターンテーブルを使用しないで、例えば、パーツフィーダ等の他の搬送手段を用いてもよい。また、吸着ヘッド26を下降させる際に、吸着ヘッド26の吸着面26aが、蓋部材30の下面30aと略同一であっても、蓋部材30の下面30aよりも高位であってもよい。要は、キャリアテープ23を移動させてポケット24にワーク22を供給する際に、ワーク22が蓋部材30に引っ掛からなければよい。
また、修正手段33は、前記実施形態ではワーク22のθ方向のみの位置合わせを行うものであったが、図4に示す従来の装置のように、4つの補正爪を有するものであっても、X方向とY方向の2方向の補正爪を有するものであってもよい。
また、修正手段33は、前記実施形態ではワーク22のθ方向のみの位置合わせを行うものであったが、図4に示す従来の装置のように、4つの補正爪を有するものであっても、X方向とY方向の2方向の補正爪を有するものであってもよい。
22 ワーク
23 キャリアテープ
24 ポケット
26 吸着ヘッド
26a 下面
30 蓋部材
30a 下面
23 キャリアテープ
24 ポケット
26 吸着ヘッド
26a 下面
30 蓋部材
30a 下面
Claims (4)
- キャリアテープのポケットにワークを供給するワーク供給方法であって、
キャリアテープの上方位置に配置されてキャリアテープの移動時のガイドとして機能する蓋部材を、ワークを吸着保持する吸着ヘッドが干渉しない距離に離間させた状態で、吸着ヘッドを下降させてワークをキャリアテープのポケットに挿入し、その後、吸着ヘッドに前記蓋部材が近接接近するように、キャリアテープ及び前記蓋部材を一体として移動させた後、吸着ヘッドのワークの吸着保持を解除して、キャリアテープのみを反近接接近方向に搬送することを特徴とするワーク供給方法。 - 吸着ヘッドを下降させてこのワークをポケットに挿入する前に、ワークのθ方向のみの位置合わせを行うことを特徴とする請求項1に記載のワーク供給方法。
- 吸着ヘッドを下降させてこのワークをポケットに挿入する工程においては、吸着ヘッドのXYθ方向に対しては固定してZ方向のみの変位を行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワーク供給方法。
- 吸着ヘッドの下降は、ワーク吸着面が蓋部材の下面よりも下位となるまで行うことを特徴とする請求項1〜請求項3に記載のワーク供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007209628A JP2009044062A (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | ワーク供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007209628A JP2009044062A (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | ワーク供給方法 |
Publications (1)
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JP2009044062A true JP2009044062A (ja) | 2009-02-26 |
Family
ID=40444451
Family Applications (1)
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JP2007209628A Withdrawn JP2009044062A (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | ワーク供給方法 |
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JP (1) | JP2009044062A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106686968A (zh) * | 2015-11-05 | 2017-05-17 | Juki株式会社 | 安装装置及部件退还方法 |
-
2007
- 2007-08-10 JP JP2007209628A patent/JP2009044062A/ja not_active Withdrawn
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