CN105732401A - (酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法 - Google Patents

(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。(所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1?6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1?3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1?10个碳原子的直链或支链的亚烷基(但是，可选地，其一部分可形成环)。配位体的数目由n表示，n为1?3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li(锂)、Be(铍)、Ge(锗)或Nd(钕)的情况，M为Mg(镁)且R1为甲基的情况，M为Zn(锌)且R1为甲基的情况，M为Bi(铋)且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同。)

Description

(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金 属的薄膜的方法
技术领域
本发明涉及一种新的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，和一种通过化学气相沉积法(下文中称为CVD方法)使用所述金属化合物在物体上制备含金属的薄膜的方法。
背景技术
近年来，已研究开发出多种含金属的薄膜，作为半导体、电子元件等领域中的材料。
常规地，多种镁化合物，例如双(环戊二烯基)镁、醇镁和二酮镁(magnesiumdiketonato)是已知的用于形成含镁薄膜的镁化合物(参见专利文献1-2)。其中，双(环戊二烯基)镁及其类似物是相对经常使用的。同时，双(酰胺氨基烷烃)镁化合物也是已知的，并用作例如催化剂和制备药物、农业化学品等的材料(参见非专利文献1-2)。
作为用于形成薄膜的钴化合物，提出了例如，双(乙酰丙酮)钴(参见，例如，非专利文献3)、双(二新戊酰基甲基)钴(参见，例如，非专利文献4)、八羰基二钴(参见，例如，非专利文献5和专利文献3)、环戊二烯基二羰基钴(参见，例如，非专利文献6和专利文献4)，及双(三甲基甲硅烷基环戊二烯基)钴(参见，例如，专利文献5)、双(N,N’-二异丙基乙酰脒(acetoamidinato))钴(参见，例如，专利文献6,专利文献7和非专利文献7)和双(N-叔丁基-N’-乙基丙脒(ethylpropionamidinato))钴(参见，例如，专利文献8和非专利文献8)。
作为用于形成薄膜的锰化合物，提出了例如，双(二新戊酰基甲基)锰(参见，例如，专利文献9)、双(乙基环戊二烯基)锰(参见，例如，专利文献9和10)、双(N,N’-二异丙基乙酰脒)锰(参见，例如，专利文献11)和双(N,N’-二异丙基戊烷脒)锰(参见，例如，专利文献12和13及非专利文献9和10)。
作为用于形成薄膜的锌化合物，提出了例如，双(乙酰丙酮)锌(参见，例如，专利文献14和15)。
作为用于形成含铁薄膜、含镍薄膜或含镧薄膜的金属化合物，提出了例如，双(N,N’-二异丙基乙酰脒)铁,双(N,N’-二异丙基乙酰脒)镍和三(N,N’-二异丙基-2-叔丁基脒)镧(参见，例如，专利文献11)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP-A-2002-170993
专利文献2:JP-A-2005-298874
专利文献3:US 2005/0130417 A1
专利文献4:US 2006/0157863 A1
专利文献5:WO 2008/111499 A1
专利文献6:WO 2004/046417 A1
专利文献7:WO 2009/088522 A1
专利文献8:JP-A-2010-524264
专利文献9:WO 2010/116889 A1
专利文献10:WO 2011/037090 A1
专利文献11:JP-A-2010-156058
专利文献12:WO 2009/117670 A1
专利文献13:WO 2011/050073 A1
专利文献14:JP-A-2009-277357
专利文献15:JP-A-2003-31846
非专利文献
非专利文献1:Eur.J.Solid State Inorg.Chem.,p.241(1993)
非专利文献2:Tetrahedron Lett.,p.4175(2004)
非专利文献3:Japanese Journal of Applied Physics,vol.36,p.705(1997)
非专利文献4:Chemistry of Materials,vol.13,p.588(2001)
非专利文献5:Thin Solid Films,vol.485,p.95(2005)
非专利文献6:Japanese Journal of Applied Physics,vol.46,p.173(1997)
非专利文献7:Journal of The Electrochemical Society,vol.157,D10-D15(2010)
非专利文献8:Dalton Transactions,p.2592-2597(2008)
非专利文献9:Journal of The Electrochemical Society,vol.157,D341-D345(2010)
非专利文献10:Journal of The Electrochemical Society,vol.158,D248-D253(2011)
非专利文献11:Jpn.J.Appl.Phys.1114(2004)
发明内容
本发明要解决的技术问题
但是，用于形成薄膜的常规金属化合物不一定具有用于形成含金属的薄膜的最佳性能，如蒸汽压、热稳定性和反应性，这可能是没有金属化合物适合形成含金属的薄膜。因此，需要具有如蒸汽压、热稳定性和反应性等所有性能均满足要求的金属化合物。
本发明的一个目的是解决上述问题，提供一种适于工业用途的金属化合物，并可由所述金属化合物通过简单方法在物体上制备含金属的薄膜，更具体而言，提供一种适合通过CVD方法形成含金属的薄膜的金属化合物。本发明的另一个目的是提供一种使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法。
解决问题的技术手段
本发明涉及以下方面：
[1]一种由式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物：
[化学式1]
其中
M代表金属原子；
R1代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；
R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环；
Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基(可选地，其一部分可形成环)；且
n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表1-3中的一个整数；
条件是
排除M为Li(锂)、Be(铍)、Ge(锗)或Nd(钕)的金属化合物；
排除M为Mg(镁)且R1为甲基的金属化合物；
排除M为Zn(锌)且R1为甲基的金属化合物；
排除M为Bi(铋)且R1为叔丁基的金属化合物；并且
在n为2或更大的情况下，两个或多个配位体可以彼此相同或不同。
[2]根据[1]中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，其中M为钠，镁，锰，铁，钴，镍，锌，钇，镧，或铟。
[3]根据[1]中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，其中Z为具有1-5个碳原子的直链或支链的亚烷基，或由下式表示的基团：
[化学式2]
其中
Z1代表具有1-3个碳原子的直链亚烷基；且
R代表具有1-6个碳原子的直链或支链的烷基，或具有3-6个碳原子的环烷基。
[4]一种制备[1]中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述金属化合物由下式(1)表示：
所述式(1)为：
[化学式5]
其中M,R1,R2,R3,Z和n定义如上；
所述方法包括步骤：
使由式(2a)或(2b)表示的单烷基金属化合物或二烷基金属化合物与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应：
所述式(2a)或(2b)为：
[化学式3]
R4M (2a)
R4R5M (2b)
其中
M代表金属原子；且
R4和R5可以彼此相同或不同，并且各自独立地代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；
所述式(3)为：
[化学式4]
其中R1,R2,R3和Z定义如上。
[5]一种制备如[1]中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述金属化合物由下式(1)表示：
所述式(1)为：
[化学式10]
其中M,R1,R2,R3,Z和n定义如上；
所述方法包括以下步骤：
使由式(4a)表示的烷基碱金属化合物或碱金属与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应，形成由式(5)表示的(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物：
所述式(4a)为：
[化学式6]
R4A (4a)
其中
R4代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；且
A代表碱金属原子；
所述式(3)为：
[化学式7]
其中R1,R2,R3和Z定义如上；
所述式(5)为：
[化学式8]
其中R1,R2,R3,A和Z定义如上；以及
使所述(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物与由式(6)表示的金属卤化物反应：
所述式(6)为：
[化学式9]
MXn (6)
其中
M代表金属原子；
X代表卤素原子；且
n代表卤素原子的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表1-3中的一个整数。
[6]一种制备如[1]所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述金属化合物由下式(1)表示：
所述式(1)为：
[化学式13]
其中R1,R2,R3,M,和n定义如上；
所述方法包括步骤：
使由式(7)表示的金属与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应：
所述式(7)为：
[化学式11]
M (7)
其中
M代表金属原子，如上文所定义；
所述式(3)为：
[化学式12]
其中R1,R2,R3和Z定义如上。
[7]一种由化学气相沉积法制备含金属的薄膜的方法，其中，使用[1]中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物作为来源。
[8]一种形成含金属的薄膜的材料，包括[1]中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物。
本发明的效果
根据本发明，可以提供一种新的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，包括双(酰胺氨基烷烃)镁化合物、双(酰胺氨基烷烃)钴化合物、双(酰胺氨基烷烃)锰化合物和双(酰胺氨基烷烃)锌化合物，所述金属化合物特别适合于通过CVD方法生产/形成含金属的薄膜。此外，通过CVD方法，使用所述金属化合物可以制备具有良好成膜性能的含金属薄膜。
所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物，包括双(酰胺氨基烷烃)镁化合物、双(酰胺氨基烷烃)钴化合物、双(酰胺氨基烷烃)锰化合物和双(酰胺氨基烷烃)锌化合物，可用作形成含金属的薄膜的材料，所述含金属的薄膜包括含镁薄膜、含钴薄膜、含锰薄膜和含锌薄膜，并且可用作例如催化剂和制备药物、农业化学品等的材料。
附图说明
图1为说明气相沉积设备的构成的图，所述气相沉积设备在“实施例”中使用本发明的双(酰胺氨基烷烃)镁化合物来形成含镁薄膜。
图2为说明气相沉积设备的构成的图，所述气相沉积设备在“实施例”中使用除双(酰胺氨基烷烃)镁化合物之外的本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物来形成含金属的薄膜。
具体实施方式
本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物由上述式(1)表示。
在式(1)中，M代表金属原子(排除Be(铍)、Ge(锗)和Nd(钕))，并且可以是，例如，锂，钠，镁，锰，铁，钴，镍，锌，钇，镧，或铟。
R1代表具有1-6个碳原子的直链、支链或环状的烷基，如甲基、乙基、正丙基、异丙基、环丙基、仲丁基、叔丁基、环丁基、叔戊基、新戊基、环戊基和环己基。R1可以优选为具有1-6个碳原子的直链或支链的烷基，更优选为具有1-5个碳原子的直链或支链的烷基。在一个实施方案中，R1可以更优选为具有2-5个碳原子的直链或支链的烷基，更优选为具有3-5个碳原子的直链或支链的烷基，特别优选异丙基、仲丁基、叔丁基或叔戊基。
但是，排除当M为Mg(镁)时R1为甲基的情况。排除当M为Zn(锌)时R1为甲基的情况。排除当M为Bi(铋)时R1为叔丁基的情况。
R2和R3可以彼此相同或不同，并且各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，例如，甲基、乙基、正丙基和异丙基，或R2和R3可以与它们所连接的氮原子一起形成经取代的或未经取代的5元或6元环。R2和R3可以优选为具有1-2个碳原子的烷基(甲基、乙基)，并且还可优选与它们所连接的氮原子一起形成经取代的或未经取代的5元环，更优选为未经取代的5元环。R2和R3可以特别优选为甲基或乙基。
Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基(可选地，其一部分可形成环)。Z可以优选为具有1-10个碳原子且不含有环烷基的直链或支链的亚烷基，但是Z的一部分可以形成环，即，Z可以包含环烷基，如环丙基、环丁基、环戊基和环己基。
Z可以优选为具有1-5个碳原子的直链或支链的亚烷基，例如亚甲基、亚乙基、三亚甲基、甲基亚乙基、1,2-二甲基亚乙基、1,1-二甲基亚乙基、四亚乙基、2-甲基三亚甲基和6-亚己基。
在Z是直链亚烷基的情况下，Z可以更优选为具有1-3个碳原子的亚烷基，特别优选具有2个碳原子的亚烷基(亚乙基)。
在Z是支链亚烷基的情况下，Z可以优选为，例如，由下式表示的基团：
[化学式14]
其中Z1代表具有1-3个碳原子的直链亚烷基，且R代表具有1-6个碳原子的直链或支链的烷基，或具有3-6个碳原子的环烷基。
Z1代表具有1-3个碳原子的直链亚烷基，如亚甲基，亚乙基和三亚甲基，且可优选为亚甲基。
R代表具有1-6个碳原子的直链或支链的烷基，例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、庚基和己基，或具有3-6个碳原子的环烷基，例如环丙基、环丁基、环戊基和环己基，并且可优选为具有1-6个碳原子的直链或支链的烷基，更优选为具有1-4个碳原子的直链或支链的烷基，更优选为具有1-3个碳原子的直链烷基，特别优选甲基。
在此类型的一个优选实施方案中，Z1可以是亚甲基，且R可以是具有1至3个碳原子的直链烷基，更优选甲基。
Z可以优选为具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基，所述亚烷基不含有环(环烷基)，更优选为具有1-5个碳原子的直链或支链的亚烷基，可以特别优选为具有1-5个碳原子、更优选具有1-3个碳原子的亚烷基，更优选具有2个碳原子(直链亚烷基)，或具有2个碳原子——其连接有一个或两个具有1-3个碳原子、更优选甲基的烷基——的亚烷基(支链亚烷基)。在支链亚烷基中，两个烷基可以连接到该亚烷基中的一个碳原子上，或可以连接到不同的碳原子上，并且两个烷基可以彼此相同或不同。
在式(1)中，n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等，并且n通常为1-3中的一个整数。
在n为2或更大的情况下，两个或更多个配位体可以彼此相同或不同。在配位体为两个或更多个不同类型配位体的混合物的情况下，可以形成多个络合物。
在本发明的一个优选实施方案中，R1可以是具有2-5个碳原子的烷基，更优选具有3-5个碳原子的烷基，且R2和R3可以是具有1-2个碳原子的烷基，且Z可以是具有1-3个碳原子的亚烷基。
在本发明另一个优选实施方案中，R1可以是具有1-5个碳原子的烷基，R2和R3可以是具有1-2个碳原子的烷基，且Z可以是由下式表示的基团：
[化学式15]
其中Z1代表具有1-3个碳原子的亚烷基，且R代表具有1-4个碳原子的直链或支链的烷基。
本发明(酰胺氨基烷烃)金属化合物的具体实例包括由以下式(1)至(498)表示的化合物。在所述各式中，M代表金属原子，n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等。此外，o和p代表每一个配位体的个数，且(o+p)的总和与金属(M)的化合价相等。
[化学式16]
[化学式17]
[化学式18]
[化学式19]
[化学式20]
[化学式21]
[化学式22]
[化学式23]
[化学式24]
[化学式25]
[化学式26]
[化学式27]
[化学式28]
[化学式29]
[化学式30]
[化学式31]
[化学式32]
[化学式33]
[化学式34]
[化学式35]
[化学式36]
[化学式37]
[化学式38]
[化学式39]
[化学式40]
[化学式41]
本发明双(酰胺氨基烷烃)镁化合物的具体实例包括由下式(4)-(18)表示的化合物代。[化学式42]
[化学式43]
本发明双(酰胺氨基烷烃)钴化合物的具体实例包括由下式(6)至(20)和(1a)至(1u)表示的化合物。
[化学式44]
[化学式45]
[化学式46]
[化学式47]
[化学式48]
本发明双(酰胺氨基烷烃)锰化合物的具体实例包括由以下式(6)至(27)表示的化合物。
[化学式49]
[化学式50]
本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，例如特别是双(酰胺氨基烷烃)镁化合物和(酰胺氨基烷烃)锂化合物，可由这样一种方法合成(下文中，有时称为“本发明的反应(I)”)，其中通过使单烷基金属化合物或二烷基金属化合物(2a)或(2b)，例如二烷基镁化合物和烷基锂化合物与二氨基烷烃化合物(3)按以下方案中所示进行反应。
[化学式51]
其中，
R4和R5可以彼此相同或不同，并且各自独立地代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；且
M,R1,R2,R3和Z定义如上。
本发明的反应(I)中使用的单烷基金属化合物或二烷基金属化合物由上述式(2a)或(2b)表示。在式(2a)和(2b)中，R4和R5可以彼此相同或不同，并且各自独立地代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基，如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正戊基、叔戊基、新戊基和正癸基。
本发明的反应(I)中使用的单烷基金属化合物或二烷基金属化合物可为市售产品，并可由金属单质，例如金属镁作为起始原料通过已知方法制备。可适宜地使用其中R4和R5为正丁基或乙基的式(2a)或(2b)表示的单烷基金属化合物或二烷基金属化合物，包括二(正丁基)镁和正丁基乙基镁。
本发明的反应(I)中使用的二氨基烷烃化合物由上述式(3)表示。在式(3)中，R1,R2,R3和Z分别对应于所述式(I)中的R1,R2,R3和Z，并且定义如上。
相应地，适宜在本发明的反应(I)中使用的二氨基烷烃化合物的优选实例包括1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷、1-环丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷、1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷、1-异丁基氨基-2-二甲基氨基乙烷、1-二甲基氨基-2-(叔戊基氨基)乙烷、1-异丙基氨基-3-二甲氨基丙烷、1-(叔丁基氨基)-3-二甲基氨基丙烷、(异丙基氨基)(二甲基氨基)甲烷和(叔丁基氨基)(二甲基氨基)甲烷。
本发明的反应(I)中使用的二氨基烷烃化合物可以是市售产品，并可由已知方法的组合来制备。例如，可以优选使用这样一种方法，其中所述化合物由结构中具有单烷基胺和“二烷基氨基”的卤代烷烃的盐酸盐或相应亚胺化合物的还原反应而制备。
对于每摩尔单烷基或二烷基金属化合物，使用的二氨基烷烃化合物的量可优选为1.5摩尔至3.0摩尔，更优选为1.8摩尔至2.2摩尔。
本发明的反应(I)可优选在有机溶剂中进行。对使用的有机溶剂没有限制，只要其不抑制反应即可。其实例包括醚，如乙醚、四氢呋喃、二甲氧基乙烷和二噁烷；脂肪烃，如己烷、庚烷、辛烷、环己烷、甲基环己烷和乙基环己烷；及芳香烃，例如甲苯和二甲苯。可以适宜地使用醚、脂肪烃，或醚和脂肪烃的混合物。这些有机溶剂可以单独使用，或以其两种或多种组合使用。
每克(g)单烷基或二烷基金属化合物，使用的有机溶剂的量可优选为1g至100g，更优选为1g至10g。
本发明的反应(I)可以，例如，通过这样一种方法实施，其中在混合并搅拌单烷基或二烷基金属化合物、二氨基烷烃化合物和有机溶剂的同时进行反应。反应温度可优选为-20℃至120℃，更优选为0℃至100℃。对反应压力没有特别的限制。
(酰胺氨基烷烃)金属化合物，其是期望的产物，可以通过本发明的反应(I)获得。反应完成后，合成的(酰胺氨基烷烃)金属化合物可通过已知方法，如萃取、过滤、浓缩、蒸馏、升华、重结晶和柱色谱法分离/纯化。
为本发明所需产物的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和为起始原料的二烷基镁化合物，对大气中的湿气和氧气通常是不稳定的。因此，该反应的操作、反应溶液的后处理等可优选在无水条件下进行，或在惰性气体气氛下进行。
本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物可通过使金属与二氨基烷烃化合物以与上述使用单烷基或二烷基金属化合物的方法中相同的方式进行反应而合成，不同之处在于使用金属来代替单烷基或二烷基金属化合物。
[化学式52]
其中M,R1,R2,R3和Z定义如上。
本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，例如，特别是双(酰胺氨基烷烃)钴化合物、双(酰胺氨基烷烃)锰化合物、双(酰胺氨基烷烃)锌化合物、双(酰胺氨基烷烃)铁化合物本发明、双(酰胺氨基烷烃)镍化合物、三(酰胺氨基烷烃)铟化合物、三(酰胺氨基烷烃)钇化合物和三(酰胺氨基烷烃)镧化合物，可通过以下方案中所示的方法合成，更具体地，通过这样一种方法，其中(酰胺氨基烷烃)金属化合物(1)是通过使烷基碱金属化合物(4a)或碱金属(4b)与二氨基烷烃化合物(3)反应形成(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物(5)(下文中，有时称为“反应(A)”)，然后使该化合物与金属卤化物(6)，例如二卤代钴化合物和二卤代锰化合物反应(下文中，有时称为“反应(B)”)而制备。下文中，反应(A)和反应(B)的组合有时称为“本发明的反应(II)”。
[化学式53]
其中
R4代表具有具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；
A代表碱金属原子；
X代表卤素原子；
M,R1,R2,R3和Z定义如上。
(反应(A)：合成(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物(5))
本发明的反应(A)中使用的烷基碱金属化合物由上述式(4a)表示。在式(4a)中，R4代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基，如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、正戊基、叔戊基、新戊基和正癸基，且A代表碱金属，例如锂原子、钠原子和钾原子。这些烷基碱金属化合物可以单独使用，或以其两种或多种组合使用。
作为烷基碱金属化合物，可以适宜地使用甲基锂或正丁基锂。
此外，可以使用碱金属(4b)代替烷基碱金属化合物(4a)。
本发明的反应(A)中使用的二氨基烷烃化合物由上述式(3)表示。在式(3)中，R1,R2,R3和Z分别对应于式(1)中的R1,R2,R3和Z，并且定义如上。
相应地，适宜在本发明的反应(A)中使用的二氨基烷烃化合物的具体实例包括1-乙基氨基-2-二甲基氨基乙烷、1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷、1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷、1-异丁基氨基-2-二甲氨基乙烷、1-二甲氨基-2-(叔戊基氨基)乙烷、1-异丙基氨基-3-二甲氨基丙烷、1-(叔丁基氨基)-3-二甲氨基丙烷、(异丙基氨基)(二甲氨基)甲烷、(叔丁基氨基)(二甲氨基)甲烷、1-甲氨基-2-二甲氨基丙烷、1-乙氨基-2-二甲氨基丙烷、1-异丙基氨基-2-二甲氨基丙烷、1-(叔丁基氨基)-2-二甲氨基丙烷、1-(仲丁基氨基)-2-二甲氨基丙烷、1-异丁基氨基-2-二甲氨基丙烷，和1-(叔戊基氨基)-2-二甲氨基丙烷。
本发明的反应(A)中使用的二氨基烷烃化合物可以是市售产品，并可通过已知方法的组合来制备。例如，可以优选使用这样一种方法，其中所述化合物由结构中具有单烷基胺和“二烷基氨基”的卤代烷烃的盐酸盐或相应亚胺化合物的还原反应而制备。
对于每摩尔烷基碱金属化合物或碱金属，使用的二氨基烷烃化合物的量可优选为1.5摩尔至3.0摩尔，更优选为1.8摩尔至2.2摩尔。
本发明的反应(A)可优选在有机溶剂中进行。对使用的有机溶剂没有限制，只要其不抑制反应即可。其实例包括醚，如乙醚、四氢呋喃、二甲氧基乙烷和二噁烷；脂肪烃，如己烷、庚烷、辛烷、环己烷、甲基环己烷和乙基环己烷；及芳香烃，例如甲苯和二甲苯。可以适宜地使用醚、脂肪烃，或醚和脂肪烃的混合物。这些有机溶剂可以单独使用，或以其两种或多种组合使用。
每克(g)烷基碱金属化合物或碱金属，使用的有机溶剂的量可优选为1g至100g，更优选为1g至10g。
本发明的反应(A)可以，例如，通过这样一种方法实施，其中在搅拌二氨基烷烃化合物和有机溶剂的同时，向其中添加烷基碱金属化合物或碱金属在有机溶剂中的溶液(可以是悬浮液)而进行反应。反应温度可优选为-78℃至120℃，更优选为-20℃至60℃。对反应压力没有特别的限制。
(反应(B)：合成(酰胺氨基烷烃)金属化合物(1))
本发明的反应(B)中使用的金属卤化物，包括二卤代钴化合物、二卤代锰化合物、二卤代锌化合物、二卤代铁化合物、二卤代镍化合物、三卤代铟化合物、三卤代钇化合物和三卤代镧化合物，是由上述式(6)表示的。在式(6)中，X代表卤素原子，如氟原子、氯原子、溴原子和碘原子。
适宜使用的金属卤化物的优选实例包括金属氯化物，如氯化钴(II)、氯化锰(II)、氯化锌(Ⅱ)、氯化铁(II)、氯化镍(II)、氯化铟(III)、氯化钇(III)和氯化镧(III)；金属溴化物，如溴化钴(II)、溴化锰(II)、溴化锌(II)、溴化铁(II)、溴化镍(II)、氧化铟(III)、溴化钇(III)和溴化镧(Ⅲ)；和金属碘化物，如碘化钴(II)、碘化锰(II)、碘化锌(II)、碘化铁(II)、碘化镍(II)、碘化铟(III)、碘化钇(III)和碘化镧(III)。
对于每摩尔(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物，使用的金属卤化物的量可优选为0.25摩尔至0.75摩尔，更优选为0.4摩尔至0.6摩尔。
本发明的反应(B)可优选在有机溶剂中进行。对使用的有机溶剂没有限制，只要它不抑制反应即可。其实例包括醚，如乙醚、四氢呋喃、二甲氧基乙烷和二噁烷；脂肪烃，如己烷、庚烷、辛烷、环己烷、甲基环己烷和乙基环己烷；及芳香烃，例如甲苯和二甲苯。可以适宜地使用醚、脂肪烃，或醚和脂肪烃的混合物。这些有机溶剂可以单独使用，或以其两种或多种组合使用。
每克(g)(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物，使用的有机溶剂的量可优选为1g至100g，更优选为1g至10g。
本发明的反应(B)可以，例如，通过这样一种方法实施，其中在搅拌金属卤化物和有机溶剂的混合物的的同时，向其中添加由反应(A)制备的(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物在有机溶剂中的溶液而进行反应。反应温度可优选为-78℃至120℃，更优选为-20℃至60℃。对反应压力没有特别的限制。
(酰胺氨基烷烃)金属化合物，其是期望的产物，可以通过本发明的反应(B)获得。反应完成后，合成的(酰胺氨基烷烃)金属化合物可通过已知方法，如萃取、过滤、浓缩、蒸馏、升华、重结晶和柱色谱法分离/纯化。
例如，可以使用相同的溶剂进行本发明的反应(A)和(B)。由反应(A)得到的反应溶液可以在不经任何处理或不分离/纯化通过反应(A)生成的(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物(5)的情况下，用于反应(B)，来连续地合成(酰胺氨基烷烃)金属化合物。
为期望产物的(酰胺氨基烷烃)金属化合物、为起始材料的烷基碱金属化合物，和为合成的中间体的(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物，通常对大气中的水分和氧不稳定。因此，该反应的操作、反应溶液的后处理等可优选在无水条件下或在惰性气体气氛下进行。此外，原料、溶剂等可优选是脱水的或在使用之前干燥。
可通过CVD方法，例如使用本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物形成具有良好的成膜性能含金属的薄膜。
含金属的薄膜可通过已知的CVD方法和原子层沉积方法(ALD方法)气相沉积在物体上。含金属的薄膜可气相沉积在物体上，例如，通过将(酰胺氨基烷烃)金属化合物的气相与氢源(还原性气体，例如氢气、氨等)、氮源(例如氮气、氨等)或氧源(例如，氧化性气体，如氧气，臭氧等；水；醇，如甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇等)一起，在大气或减压下输送到加热的物体上。所述气体(包括气化的液体)可用惰性气体等稀释。含金属的薄膜也可通过等离子体CVD方法进行气相淀积，在所述等离子体CVD方法中输送类似的材料。
在CVD方法中，(酰胺氨基烷烃)金属化合物需要进行气化以形成薄膜。本发明中采用的气化(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法可以是，例如，这样一种方法，其中(酰胺氨基烷烃)金属化合物填充或进料到一个气化室，然后在其中气化，或者替代地，是这样一种方法(溶液法)，其中将通过用适宜溶剂(其实例包括脂肪烃，例如己烷、环己烷、甲基环己烷、乙基环己烷、庚烷和辛烷；芳香烃，例如甲苯、乙基苯和二甲苯；及醚，例如甘醇二甲醚、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚、二噁烷和四氢呋喃)对(酰胺氨基烷烃)金属化合物进行稀释而制得的溶液用液体进料泵进料到气化室中，然后在其中气化。
在使用本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物气相沉积含金属的薄膜的情况下，关于气相沉积的条件，例如反应体系中的压力可优选为1Pa至200kPa，在其上形成膜的物体的温度可优选为50℃-900℃，更优选为100℃-600℃，(酰胺氨基烷烃)金属化合物气化的温度可优选为0℃-250℃下，更优选为30°℃-200℃。
当含金属的薄膜进行气相淀积时，氧源(例如氧化性气体、水蒸汽或醇蒸气，或其混合物)、氮源(例如氮气、氨气，或其混合物)或还原性气体(例如氢气或氨气，或其混合物)与气体总量的百分比可优选为3体积％至99体积％，更优选为5体积％至98体积％。
实施例
下面将参照实施例更具体地描述本发明。然而，本发明的范围不应限于这些实施例。
参考实施例A1
(二丁基镁的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积的烧瓶中放入5.5g(0.23mol)金属镁和20ml乙醚。然后，向该烧瓶中缓慢滴入3.0g(21mmol)溴丁烷。随后，向该烧瓶中缓慢滴入180ml乙醚和25g(0.18mol)溴丁烷，然后在搅拌的同时使混合物在40
℃反应2小时。然后，向反应溶液中添加55g(0.62mol)二噁烷，并在搅拌的同时使混合物在40℃反应2小时。反应完成后，在氩气气氛下，过滤反应溶液，并将滤液在减压下浓缩。将所得的浓缩液在真空下加热和干燥，以提供22g二丁基镁。(分离收率：80％)
参考实施例A2
(1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷的合成)
[化学式54]
在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积的烧瓶中放入6.0g(0.10mol)异丙胺和5ml水。然后，在保持溶液温度在30℃-50℃范围内的同时，向该烧瓶中缓慢滴入5.0g(35mmol)的2-(二甲氨基)乙基氯盐酸盐的水溶液10ml，并将混合物搅拌2小时。随后，在冰浴中，向烧瓶中缓慢滴入2.8g(70mmol)氢氧化钠的水溶液10ml，并使混合物反应10分钟。反应完成后，将反应溶液用25ml己烷萃取两次，并将己烷层在减压下浓缩。所得浓缩液在减压下(65℃，4.0kPa)蒸馏，以提供1.4g的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷。(分离收率：31％)
参考实施例A3
(1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷的合成)
以与参考实施例A2中相同的方式进行反应，不同的是，使用7.3g(0.10mol)叔丁胺，而不是异丙胺。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(60℃，2.4kPa)蒸馏，以提供1.8g的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷。(分离收率：36％)
参考实施例A4
(1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷的合成)
以与参考实施例A2中相同的方式进行反应，不同的是，使用7.3g(0.10mol)仲丁胺，而不是异丙胺。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(65℃，2.0kPa)蒸馏，以提供1.7g的1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷。(分离收率：34％)
参考实施例A5
((叔丁基)(3-(二甲基氨基)丙胺的合成)
以与参考实施例A2中相同的方式进行反应，不同的是，使用5.5g(35mmol)3-(二甲基氨基)丙基氯盐酸盐，而不是5.0g(35mmol)的2-(二甲基氨基)乙基氯盐酸盐。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(60℃，0.80kPa)蒸馏，以提供2.2g的(叔丁基)(3-(二甲基氨基)丙胺。(分离收率：40％)
参考实施例A6
(1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷的合成)
在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积的烧瓶中放入16g(0.22mol)叔丁胺、5.0g(35mmol)2-(二甲基氨基)乙基氯盐酸盐和1ml水。然后，使混合物在70℃下反应10小时。反应完成后，将反应溶液用25ml己烷萃取两次，并将己烷层在减压下浓缩。所得浓缩液在减压下(60℃，2.4kPa)蒸馏，以提供3.0g的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷。(分离收率：60％)
实施例A1
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁(镁化合物(6)的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的25mL体积的烧瓶中放入0.69g(5.0mmol)在参考实施例A1中制备的二丁基镁和10ml庚烷。然后，在该烧瓶中缓慢地滴入1.3g(10mmol)在参考实施例A2中制备的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷，并在搅拌的同时使混合物在90℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(80℃，13Pa)蒸馏，以提供1.3g为无色透明液体的双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N')镁。(分离收率：92％)将所述化合物在25℃保持几小时，以变成白色固体。
另外，双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N，N')镁是一种新化合物，其具有以下性能：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.99(4H,t,5.8Hz),2.85(2H,七重峰,6.3Hz),2.61(4H,t,5.8Hz),2.35(12H,s),1.01(12H,d,6.3Hz)
熔点：53-55℃。
实施例A2
(双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N')镁(镁化合物(7)的合成)
以与实施例A1中相同的方式进行反应，不同的是，使用1.4g(10mmol)在参考实施例A3中制备的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(90℃，13Pa)升华，以提供1.2g双(1-(叔-丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁。(分离收率：77％)
此外，双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁是一种新化合物，其具有下列性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；3.00(4H,t,5.8Hz),2.58(4H,t,5.8Hz),2.34(12H,s),1.08(18H,s)
熔点：90-93℃。
实施例A3
(双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁(镁化合物(8)的合成)
以与实施例A1中相同的方式进行反应，不同的是，使用1.4g(10mmol)在参考实施例A4中制备的1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(90℃，13Pa)蒸馏，以提供1.4g为无色透明液体的双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁。(分离收率：90％)
此外，双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁是一种新化合物，其具有下列性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.98(6H,m),2.60(4H,m),2.35(12H,s),1.53(2H,m),1.16(2H,m),1.00(6H,m),0.85(6H,m)
实施例A4
(双(1-乙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁(镁化合物(4)的合成)
以与实施例A1中相同的方式进行反应，不同的是，使用1.2g(10mmol)的1-乙基氨基-2-二甲基氨基乙烷(市售产品)，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(110℃,13Pa)蒸馏，以提供0.90g为无色透明液体的双(1-乙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁。(分离收率：71％)
此外，双(1-乙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁是一种新化合物，其具有下列性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.93(4H,br),2.90(4H,br),2.63(4H,br),2.15(12H,br),1.00(6H,br)
实施例A5
(双(1-乙基酰胺2-二乙基氨基乙烷-N,N’)镁(镁化合物(11)的合成)
以与实施例A1中相同的方式进行反应，不同的是，使用1.4g(10mmol)的1-乙基氨基-2-二乙基氨基乙烷(市售产品)，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(130℃,13Pa)蒸馏，以提供1.0g为无色透明液体的双(1-乙基酰胺-2-二乙基氨基乙烷-N,N’)镁。(分离收率：60％)
此外，双(1-乙基酰胺-2-二乙基氨基乙烷-N,N’)镁是一种新化合物，其具有下列性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.97(4H,br),2.78(8H,br),2.45(8H,br),1.10(6H,br),0.96(12H,br)
实施例A6
(双(1-(叔丁基酰胺)-3-二甲氨基丙烷-N,N’)镁(镁化合物(13)的合成)
以与实施例A1中相同的方式进行反应，不同的是，使用1.6g(10mmol)参考实施例A5中制备的(叔丁基)(3-(二甲基氨基)丙胺，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷。然后，将反应溶液浓缩，所得浓缩液在减压下(90℃,13Pa)蒸馏，以提供1.4g为无色透明液体的双(1-叔丁基酰胺-3-二甲基氨基丙烷-N,N’)镁。(分离收率：76％)
此外，双(1-叔丁基酰胺-3-二甲基氨基丙烷-N,N’)镁是一种新化合物，其具有下列性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；3.04(4H,t,5.8Hz),2.51(4H,t,5.8Hz),2.39(12H,s),1.60(4H,m),1.10(18H,s)
熔点：110-114℃。
实施例A7
(气相沉积试验；含镁薄膜的形成)
通过CVD方法使用在实施例A1中获得的双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁(镁化合物(6))进行气相沉积试验，以评估成膜性能。
使用图1中所示的装置来实施气相沉积试验。图1中所示装置具有以下构成。将镁原料容器(气化器)7——其通过恒温浴8保持在恒定温度——中的镁化合物加热并气化，然后从原料容器7中与通过质量流量控制器4供给的氦气一起排出。将从原料容器7中排出的气体与通过质量流量控制器5供给的氦气一起供入反应器9中。同时，将为反应性气体的氧气通过质量流量控制器6供入反应器9中。反应系统中的压力通过压力表12进行监测，并通过打开和关闭阀控制为预定的压力，所述阀在真空泵14的上游提供。反应器9的中心部分可通过加热器11加热。进料到反应器9中的镁化合物在基板10——其放在所述反应器的中心部分并通过加热器11加热至预定温度——的表面上进行氧化和热分解，从而在基板10上形成含镁薄膜。从反应器9中排出的气体通过捕集器(trap)13和真空泵14而排放至大气中。
所述气相沉积的条件和膜性质如下。
(气相沉积条件)
镁原料；双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镁(镁化合物(6))
气化温度：40℃
He载气的流速：100sccm
氧气流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si
基板温度：300℃
反应体系中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min.
(膜性能(XPS—深度测量))
膜厚度：50nm或更大
XPS分析：氧化镁膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
比较实施例A1
(气相沉积试验；含镁薄膜的形成)
气相沉积试验通过CVD方法使用双(环戊二烯基)镁以与实施例A7中相同的方式实施，来评估成膜性能。气相沉积条件和膜性质如下。所述气相沉积试验的实施条件为，通过调节多个条件使供给的原料量等于实施例A7中供给的原料量。
(气相沉积条件)
镁原料：双(环戊二烯基)镁
气化温度：30℃
He载气的流速：10sccm
稀释气体He的气体流速：90sccm
氧气流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si
基板温度：300℃
反应体系中的压力：10托(约1.33kPa)
气相沉积时间：30min。
(膜性能(XPS—深度测量))
膜厚度：50nm或更大
XPS分析：氧化镁膜
碳含量：30％(根据碳原子)
氮含量：未检出(原料中根本不含有氮原子)
结果显示，不含有诸如碳原子和氮原子的杂质的高品质含镁薄膜(氧化镁膜)，可以使用本发明的双(酰胺氨基烷烃)镁化合物形成。
参考实施例B1
((1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的合成)
[化学式55]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.15g(16.5mmol)的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷和15ml己烷。然后，保持溶液温度在0℃的同时，将10ml(16.5mmol)的1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液缓慢地滴入烧瓶中，然后在搅拌的同时，使混合物在相同温度下反应30分钟，和在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供2.13g的(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂。(分离收率：95％)
此外，(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.95(2H,t,6.0Hz),2.91(1H,五重峰,6.2Hz),2.44(2H,t,6.0Hz),2.18(6H,s),0.99(6H,d,6.2Hz)
实施例B1
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(II)(钴化合物(8)的合成)
[化学式56]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.500g(3.85mmol)氯化钴(II)(预干燥的脱水物)和10ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，在该烧瓶中缓慢滴入1.05g(7.71mmol)以与参考实施例B1中相同的方式制备的1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的10ml溶液。然后，在搅拌的同时将混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(80℃,13.3Pa)蒸馏，以提供1.0g为深绿色固体的(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(II)。(分离收率：80％)
此外，双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(II)为新化合物，其具有以下性质：
熔点：68-69℃。
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的钴含量：19.2wt％(计算值：18.6wt％)
参考实施例B2
((1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.59g(16.5mmol)参考实施例A4中制备的1-仲丁基氨基-2-二甲基氨基乙烷和15ml己烷。然后，在保持混合物溶液在0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液10ml(16.5mmol)。滴加之后，将混合物溶液在0℃搅拌30分钟，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂。此外，1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂无需任何纯化而用于随后的反应。
参考实施例B3
((1-叔戊基氨基-2-二甲基氨基乙烷的合成)
在一个装配有搅拌器和温度计的300mL体积烧瓶中放入20.6g(143mmol)2-(二甲基氨基)乙烷氯盐酸盐和74.0g(859mmol)叔戊胺。然后，将混合物加热至回流达8小时。反应完成后，将反应混合物过滤并用100ml己烷洗涤两次，并将己烷层在减压下浓缩。将所得浓缩液在减压下(120℃,11.0kPa)蒸馏，以提供13.5g的1-叔戊基氨基-2-二甲基氨基乙烷。(分离收率：60％)
实施例B2
(双(1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(钴化合物(10)的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入20ml在参考实施例B2中制备的(1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(90℃,13.3Pa)蒸馏，以提供0.8g为深绿色液体的(双(1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴。(分离收率：27％)
此外，双(1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴为新化合物，其具有以下性质：
通过ICP分析确定Co含量：16.03wt％(计算值：17.06wt％)
参考实施例B4
((1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.69g(16.5mmol)在参考实施例B3中制备的1-叔戊基氨基-2-二甲基氨基乙烷和15ml己烷。然后，在保持混合物溶液在0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入10ml(16.5mmol)的1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液。滴加之后，将混合物溶液在0℃搅拌30分钟，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’锂。此外，1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’锂无需任何纯化而用于随后的反应。
实施例B3
(双(1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(钴化合物(12)的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入在参考实施例B4中制备的1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液20ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下蒸馏(100℃,13.3Pa)，以提供1.45g为深绿色液体的(双(1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴。(分离收率：47％)
此外，双(1-叔戊基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴为新化合物，其具有以下性质：
通过ICP分析确定Co含量：15.80wt％(计算值：15.80wt％)
实施例B4
(双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(钴化合物(9)的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时,向所述烧瓶中缓慢滴入在参考实施例D3中制备的1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液20ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下蒸馏(95℃,13.3Pa)，以提供1.2g为深绿色固体的(双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴。(分离收率：42％)
此外，双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴为新化合物，其具有以下性质：
通过ICP分析确定Co含量：16.5wt％(计算值：17.1wt％)
实施例B5
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
气相沉积试验是通过CVD方法，使用实施例B1中获得的双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(II)(钴化合物(8))来实施，以评估成膜性能。
使用图2中所示的装置来实施评估试验。气化器(玻璃安瓿)3中的钴化合物20通过加热器10B进行加热和气化，并与在由预加热器10A预加热之后通过质量流量控制器1A供给的氦气一起，从气化器3中排出。将从气化器3中排出的气体，与通过质量流量控制器1B和停止阀2供入的反应性气体，例如氨气或氢气和氧气一起，供入到反应器4中。反应体系中的压力通过打开和关闭阀6控制为预定压力，所述阀6在真空泵的上游提供，并且通过压力表5监测。反应器的中心部分可通过加热器10C加热。供入反应器中的钴化合物在基板21——其放在反应器的中心部分并通过加热器10C加热至预定温度——的表面上进行还原或氧化和热分解，以在基板21上沉积含钴薄膜。从反应器4中排出的气体通过捕集器7和真空泵排放到大气中。
气相沉积条件和膜性能如下。使用6mm×20mm的矩形基板作为使膜气相沉积其上的基板。
(气相沉积条件)
钴原料：双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(II)(钴化合物(8))
气化温度：90℃
He载气的流速：10sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：400nm
XPS分析：钴膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
实施例B6
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用实施例B2中获得的双(1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(II)(钴化合物(10))来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
钴原料：双(1-仲丁基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钴(钴化合物(10))
气化温度：80℃
He载气的流速：30sccm
氨气的流速：20sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：200nm
XPS分析：钴膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
比较实施例B1
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用双(N-叔丁基-N’-乙基丙脒(ethylpropionamidinato))钴(专利文献8中公开的化合物)来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
气化温度：90℃
He载气的流速：10sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：40nm
XPS分析：钴膜
碳含量：3％(根据碳原子)
氮含量：7％(根据氮原子)
结果表明，本发明的双(酰胺氨基烷烃)钴化合物可为这样的材料：可以由其在短时间内(高成膜速率)形成含钴薄膜，且可以由其形成不含杂质例如碳原子和氮原子的高品质含钴薄膜。
参考实施例C1
(1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-异丙基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物的合成)
在一个装配有搅拌器和温度计的300mL体积烧瓶中放入25.0g(158mmol)2-(二甲基氨基)丙基氯盐酸盐、56.1g(949mmol)异丙胺和3ml水。然后，在搅拌的同时使混合物在40-50℃反应10小时。反应完成后，将反应混合物过滤并用200ml己烷洗涤，将己烷层在减压下浓缩。将所得浓缩液在减压下(105℃,13.3kPa)蒸馏，以提供18.2g 1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-异丙基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物(混合比为8:2)。(分离收率：82％)
此外，1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-异丙基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物具有以下性质：
1H-NMR(CDCl3,δ(ppm))；0.89(3H,s,对于主要异构体),0.97(3H,s,对于次要异构体),1.05,1.07(各自为3H,各自为d,J＝6.3Hz,对于主要异构体),1.05,1.10(各自为3H,各自为d,J＝6.3Hz,对于次要异构体),1.52(1H,drs),2.19(6H,s,对于次要异构体),2.20(6H,s,对于主要异构体),2.48(2H,d,J＝6.8Hz,对于主要异构体),2.50(2H,d,J＝6.8Hz,对于次要异构体),2.68-2.89(2H,m)
参考实施例C2
(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂和2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的混合物的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.15g(16.5mmol)在参考实施例C1中制备的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-异丙基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物(混合比为8:2)和15ml己烷。然后，在保持混合物溶液在0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入10ml(16.5mmol)1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液。滴加之后，将混合物溶液在0℃搅拌30分钟，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂和2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的混合物。
此外，1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂和2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的混合物无需任何处理而用于随后的反应。
实施例C1
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1c))、双(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1j))和(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1q))的混合物的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时,向所述烧瓶中缓慢滴入在参考实施例C2中制备的1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂和2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的混合物在四氢呋喃中的溶液20ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(95℃,13.3Pa)蒸馏，以提供为深棕色固体的双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴、双(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴和(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴的混合物1.9g。(分离收率：67％)
此外，双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴、双(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴和(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴的混合物为新化合物，其具有以下性质：
熔点：90℃。
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的钴含量：16.4wt％(计算值：17.06wt％)
参考实施例C3
(1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷的合成)
在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的200mL体积烧瓶中放入12.0g(75.9mmol)在参考实施例C1中制备的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-异丙基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物(混合比为8:2)，和50ml甲醇。然后，将混合物搅拌并加热至60-70℃。随后，向所述烧瓶中缓慢滴入13.7g(151.8mmol)草酸和60ml甲醇的溶液，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应1小时。将反应混合物溶液过滤，并将滤液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml水和17.0g(303.6mmol)氢氧化钾。然后，将混合物用50ml氯仿萃取三次，并将萃取液在减压下浓缩。将所得浓缩液在减压下(105℃,13.3kPa)蒸馏，以提供7.6g的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷。(分离收率：76％)
此外，1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷具有以下性能。纯度为100％，由1H-NMR确定。
1H-NMR(CDCl3,δ(ppm))；0.89(3H,s),1.05,1.07(各自为3H,各自为d,J＝6.3Hz),1.75(1H,drs),2.20(6H,s),2.49(2H,d,J＝6.8Hz),2.68-2.83(2H,m)
参考实施例C4
((1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.15g(16.5mmol)在参考实施例C3中制备的1-异丙基氨基-2-二甲基氨基丙烷，和15ml己烷。然后，在保持混合物溶液在0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入10ml(16.5mmol)1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液。滴加之后，将混合物溶液在0℃搅拌30分钟，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂。
此外，(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂无需任何处理而用于随后的反应。
实施例C2
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1c)的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时,向所述烧瓶中缓慢滴入20ml在参考实施例C4中制备的1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(95℃,13.3Pa)蒸馏，以提供1.2g为深棕色固体的双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴。(分离收率：43％)
参考实施例C5
(1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基丙烷和2-仲丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物的合成)
在一个装配有搅拌器和温度计的300mL体积烧瓶中放入25.0g(158mmol)2-(二甲基氨基)丙基氯盐酸盐和69.4g(949mmol)仲丁胺。然后，在搅拌的同时使混合物在80-90℃反应10小时。反应完成后，将反应混合物过滤并用200ml己烷洗涤，将己烷层在减压下浓缩。将所得浓缩液在减压下(110℃,11kPa)蒸馏，以提供1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基丙烷和2-仲丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物21.7g(混合比为8:2)。(分离收率：87％)
此外，1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基丙烷和2-仲丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物具有以下性质：
1H-NMR(CDCl3,δ(ppm))；0.95(9H,m),1.29(1H,m),1.50(1H,m),1.70(1H,br),2.20(6H,s),2.48(3H,m),2.73(1H,m)
参考实施例C6
(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.65g(16.5mmol)在参考实施例C5中制备的1-(仲丁基氨基)-2-二甲基氨基丙烷和2-仲丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物(混合比为8:2)和15ml己烷。然后，在保持混合物溶液在0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入10ml(16.5mmol)1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液。滴加之后，将混合物溶液在0℃搅拌30分钟，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物。
此外，1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物无需任何处理而用于随后的反应。
实施例C3
(双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1e))、双(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1l))和(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1s))的混合物的合成)
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时,向所述烧瓶中缓慢滴入在参考实施例C6中制备的1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物在四氢呋喃中的溶液20ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(105℃,13.3Pa)蒸馏，以提供2.1g为深棕色液体的(双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴、(双(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴和(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴的混合物。(分离收率：68％)
此外，双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴、双(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴和(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴的混合物为新化合物，其具有以下性质：
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的钴含量：15.3wt％(计算值：15.8wt％)
参考实施例C7
(1-叔丁基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-叔丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物的合成)
[化学式57]
在一个装配有搅拌器和温度计的300mL体积烧瓶中放入25.0g(158mmol)2-(二甲基氨基)丙基氯盐酸盐、69.4g(949mmol)叔丁基胺和3ml水。然后，在搅拌的同时使混合物在60℃反应10小时。反应完成后，将反应混合物过滤并用200ml己烷洗涤，将己烷层在减压下浓缩。将所得浓缩液在减压下(120℃,12kPa)蒸馏，以提供19.2g的1-叔丁基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-叔丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷(混合比为8:2)的混合物。(分离收率：77％)
此外，1-叔丁基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-叔丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷的混合物具有以下性质：
1H-NMR(CDCl3,δ(ppm))；0.89(3H,t,6.5Hz),1.10(9H,s),1.40(1H,brs),2.18(6H,s),2.38(1H,m),2.53(1H,t,11.0Hz),2.48(3H,m),2.67-2.77(1H,m)
参考实施例C8
(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物的合成)
[化学式58]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入3.15g(19.9mmol)在参考实施例C7中制备的1-叔丁基氨基-2-二甲基氨基丙烷和2-叔丁基氨基-1-二甲基氨基丙烷(混合比为8:2)的混合物，及15ml己烷。然后，在保持混合物溶液在0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入10ml(16.5mmol)1.65mol/l正丁基锂/己烷溶液。滴加之后，将混合物溶液在0℃搅拌30分钟，然后在搅拌的同时使混合物在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物。
此外，1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物无需任何处理而用于随后的反应。
实施例C4
(双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1d))、双(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1k))和(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1r))的混合物的合成)
[化学式59]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的100mL体积烧瓶中放入1.07g(8.25mmol)无水氯化钴(II)和20ml四氢呋喃。然后，将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时,向所述烧瓶中缓慢滴入20ml在参考实施例C8中制备的1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂和2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)锂的混合物在四氢呋喃中的溶液。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加100ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下蒸馏(115℃,13.3Pa)，以提供2.9g为深棕色固体的双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴、双(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴和(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴的混合物。(分离收率：94％)
此外，双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴、双(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴和(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴的混合物为新化合物，其具有以下性质：
熔点：90℃。
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的钴含量：15.0wt％(计算值：15.8wt％)
实施例C5
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用实施例C1中获得的钴化合物来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
钴原料：实施例C1中获得的钴化合物
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1c))、双(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1j))和(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-异丙基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1q))的混合物)
气化温度：90℃
He载气的流速：30sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：300nm
XPS分析：钴膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
实施例C6
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用实施例C2中获得的钴化合物来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
钴原料：实施例C2中获得的钴化合物
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1c))
气化温度：90℃
He载气的流速：30sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：300nm
XPS分析：钴膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
实施例C7
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用实施例C3中获得的钴化合物来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
钴原料：实施例C3中获得的钴化合物
(双(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1e))、双(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1l))和(1-(仲丁基酰胺)-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-(仲丁基酰胺)-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(化合物(1s))的混合物)
气化温度：100℃
He载气的流速：30sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：200nm
XPS分析：钴膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
实施例C8
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用实施例C4中获得的钴化合物来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
钴原料：实施例C4中获得的钴化合物
(双(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1d))、双(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1k))和(1-叔丁基酰胺-2-二甲基氨基丙烷-N,N’)(2-叔丁基酰胺-1-二甲基氨基丙烷-N,N’)钴(钴化合物(1r))的混合物)
气化温度：90℃
He载气的流速：30sccm
氨气的流速：30sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：300nm
XPS分析：钴膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
比较实施例C1
(气相沉积试验；含钴薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例B5中相同的方式，使用双(N-叔丁基-N’-乙基丙脒)钴(专利文献8中公开的化合物)来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件)
钴化合物：双(N-叔丁基-N’-乙基丙脒)钴(专利文献8中公开的化合物)
气化温度：90℃
He载气的流速：10sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2/Si晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：0.67kPa
气相沉积时间：5min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量))
膜厚度：40nm
XPS分析：钴膜
碳含量：3％(根据碳原子)
氮含量：7％(根据氮原子)
结果表明，本发明的双(酰胺氨基烷烃)钴化合物可为这样的材料：可以由其在短时间内(高成膜速率)形成含钴薄膜，且可以由其形成不含杂质例如碳原子和氮原子的高品质含钴薄膜。
参考实施例D1
((1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的合成)
[化学式60]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入2.1g(16mmol)1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷和15ml己烷。然后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入10ml(16mmol)的1.6mol/l正丁基锂/己烷溶液，并在搅拌的同时使混合物在相同温度下反应30分钟和在20℃反应2小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。将所得浓缩液在真空下干燥，以提供2.1g的(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂。(分离收率：94％)
此外，(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.95(2H,t,6.0Hz),2.91(1H,五重峰,6.2Hz),2.44(2H,t,6.0Hz),2.18(6H,s),0.99(6H,d,6.2Hz)
实施例D1
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)(锰化合物(8))的合成)
[化学式61]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.48g(3.8mmol)氯化锰(II)(预干燥的脱水物)和10ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.0g(7.6mmol)以与参考实施例D1中相同的方式制备的(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液10ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(80℃,13.3Pa)蒸馏，以提供1.0g为浅棕色液体的(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)。(分离收率：84％)
此外，双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)为新化合物，其具有以下性质：
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的锰含量：17.7wt％(计算值：17.5wt％)
参考实施例D2
(1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的合成)
反应以与参考实施例D1中相同的方式实施，不同的是使用2.3g(16mmol)的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷，以提供2.4g的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂。(分离收率：96％)
实施例D2
(双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)(锰化合物(9))的合成)
反应以与实施例D1中相同的方式实施，不同的是使用1.1g(7.6mmol)的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液10ml，而不是(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液。然后，浓缩反应溶液，并将所得浓缩液在减压下(90℃,13Pa)升华，以提供1.1g为浅棕绿色固体的双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰。(分离收率：85％)
此外，双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)为新化合物，其具有以下性质：
熔点：70-71℃。
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的锰含量：16.5wt％(计算值：16.1wt％)
实施例D3
(气相沉积试验；含锰薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法使用实施例D2中获得的双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)(锰化合物(9))来实施，以评估成膜性能。
使用图2中所示的装置来实施评估试验。气化器(玻璃安瓿)3中的锰化合物20通过加热器10B进行加热和气化，并与在由预加热器10A预加热之后通过质量流量控制器1A供给的氦气一起，从气化器3中排出。将从气化器3中排出的气体，与通过质量流量控制器1B和停止阀2供入的反应性气体，例如氨气或氢气和氧气一起，供入到反应器4中。反应体系中的压力通过打开和关闭阀6控制为预定压力，所述阀6在真空泵的上游提供，并且通过压力表5监测。反应器的中心部分可通过加热器10C加热。供入反应器中的锰化合物在基板21——其放在反应器的中心部分并通过加热器10C加热至预定温度——的表面上进行还原或氧化和热分解，以在基板21上沉积含锰薄膜。从反应器4中排出的气体通过捕集器7和真空泵排放到大气中。
气相沉积条件和膜性能如下。使用6mm×20mm的矩形基板作为使膜气相沉积其上的基板。
(气相沉积条件1)
锰原料：双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)(锰化合物(9))
气化温度：50℃
He载气的流速：60sccm
氢气流速：10sccm
基板材料：Si晶片
基板温度：300℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
(膜性能(SEM和XPS—深度测量，电阻率由四探针法确定))
膜厚度：100nm
XPS分析：锰膜
电阻率：(1.6-1.9)×10-6Ωm
(气相沉积条件2)
锰原料：双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锰(II)(锰化合物(9))
气化温度：50℃
He载气的流速：60sccm
氨气的流速：10sccm
基板材料：SiO2晶片
基板温度：200℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
(膜性能(观察外观))
膜的外观：形成了具有金属光泽的含Mn膜
比较实施例D1
(气相沉积试验；含锰薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例D3中相同的方式使用双(N,N’-二异丙基戊脒)锰(非专利文献9和10中公开的化合物)来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件3)
气化温度：70℃
He载气的流速：60sccm
氢气流速：10sccm
基板材料：Si晶片
基板温度：300℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
在与实施例D3基本类似的条件(气相沉积条件3)下没有形成膜。
(气相沉积条件4)
气化温度：70℃
He载气的流速：60sccm
氢气流速：10sccm
基板材料：Si晶片
基板温度：350℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
(膜性能(膜厚度，电阻率由四探针法确定))
膜厚度：10nm或更小
电阻率：不可测
结果表明，本发明的双(酰胺氨基烷烃)锰化合物可为这样的材料：可以由其在较低温度和短时间内(高成膜速率)形成含锰薄膜，且可以由其形成具有较低电阻率(其不含有例如碳原子的杂质)的高品质含锰薄膜。
实施例E1
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II)的合成)
[化学式62]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.52g(3.8mmol)氯化锌(II)(预干燥的脱水物)和10ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.0g(7.6mmol)以与参考实施例D1中相同的方式制备的(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液10ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(80℃,13.3Pa)蒸馏，以提供1.1g为无色透明液体的(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II)。(分离收率：89％)
此外，双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II)为新化合物，其具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；3.01(4H,t,6.0Hz),2.91(2H,五重峰,6.2Hz),2.52(4H,t,6.0Hz),2.27(12H,s),1.03(12H,d,6.2Hz)
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的锌含量：19.8wt％(计算值：20.2wt％)
实施例E2
(双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II)的合成)
[化学式63]
反应以与实施例E1中相同的方式实施，不同的是使用1.1g(7.6mmol)以与参考实施例D2中相同的方式制备的1-(叔丁基氨基)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液10ml，而不是(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液。然后，浓缩反应溶液，并将所得浓缩液在减压下(90℃,13Pa)升华，以提供1.2g为白色固体的双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II)。(分离收率：90％)
此外，双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II)为新化合物，其具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；3.03(4H,t,6.0Hz),2.50(4H,t,6.0Hz),2.26(12H,s),1.11(18H,s)
熔点：98-100℃。
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的锌含量：18.5wt％(计算值：18.6wt％)
实施例E3
(气相沉积试验；含锌薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例D3中相同的方式使用实施例E1中获得的(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II))来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件1)
锌原料：实施例E1中获得的锌化合物
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锌(II))
气化温度：40℃
He载气的流速：100sccm
氧气流速：10sccm
基板材料：SiO2晶片
基板温度：300℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
(膜性能(XPS—深度测量))
膜厚度：50nm或更大
XPS分析：氧化锌膜
碳含量：未检出
氮含量：未检出
比较实施例E1
(气相沉积试验；含锌薄膜的形成)
所述气相沉积试验通过CVD方法以与实施例E3中相同的方式使用双(乙酰丙酮)锌(专利文献14中公开的化合物)来实施，以评估成膜性能。气相沉积条件和膜性能如下。
(气相沉积条件2)
气化温度：50℃
He载气的流速：30sccm
氧气流速：10sccm
基板材料：SiO2晶片
基板温度：300℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
在与实施例E3基本类似的条件(气相沉积条件2)下没有形成膜。
(气相沉积条件3)
气化温度：50℃
He载气的流速：30sccm
氧气流速：10sccm
基板材料：SiO2晶片
基板温度：450℃
反应系统中的压力：1.33kPa
气相沉积时间：30min。
(膜性能(XPS—深度测量))
膜厚度：50nm或更大
XPS分析：氧化锌膜
碳含量：5％(根据碳原子)
氮含量：未检出(原料根本不含氮原子)
结果表明，使用本发明的双(酰胺氨基烷烃)锌化合物可以形成不含杂质例如碳原子和氮原子的高品质含锌薄膜(氧化锌膜)。
实施例F1
(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)铁(II)的合成)
[化学式64]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.48g(3.8mmol)氯化铁(II)(预干燥的脱水物)和10ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.0g(7.6mmol)以与参考实施例D1中相同的方式制备的1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液10ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(80℃,13.3Pa)蒸馏，以提供1.0g为棕色透明液体的(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)铁(II)。(分离收率：84％)
此外，(双(1-异丙基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)铁(II)为新化合物，其具有以下性质：
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的铁含量：18.2wt％(计算值：17.8wt％)
实施例G1
(双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镍的合成)
[化学式65]
反应以与实施例E2中相同的方式实施，不同的是使用0.49g(3.8mmol)氯化镍(II)，而不是氯化锌(II)。然后，浓缩反应溶液，并将所得浓缩液在减压下(90℃,13Pa)升华，以提供0.80g为棕色固体的双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镍。(分离收率：61％)
此外，双(1-(叔丁基酰胺)-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镍(II)为新化合物，其具有以下性质：
熔点：90-92℃。
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的镍含量：17.4wt％(计算值：17.0wt％)
参考实施例H1
((1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂的合成)
反应以与参考实施例D1中相同的方式实施，不同的是使用1.6g(16mmol)的1-甲基氨基-2-二甲基氨基乙烷，而不是1-异丙基氨基-2-二甲基氨基乙烷，以提供1.6g的(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂。(分离收率：92％)
实施例H1
(三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)铟(III)的合成)
[化学式66]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.84g(3.8mmol)氯化铟(III)(预干燥的脱水物)和10ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.1g(11mmol)在参考实施例H1制备的(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)锂在四氢呋喃中的溶液10ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(130℃,13.3Pa)蒸馏，以提供1.2g为浅黄色半固态(蜡状)的三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)铟(III)。(分离收率：75％)
此外，三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)铟(III)为新化合物，其具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.95(6H,t,5.6Hz),2.83(9H,s),2.44(6H,t,5.6Hz),2.26(18H,s)
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的铟含量：26.8wt％(计算值：27.5wt％)
实施例I1
((1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钠的合成)
[化学式67]
在氩气气氛下，在20℃，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.21g(9.0mmol)的金属钠、1.0g(10mmol)的1-甲基氨基-2-二甲基氨基乙烷、1.4g(20mmol)异戊二烯和25ml己烷。然后，将混合物在相同温度下搅拌达20小时。反应完成后，在氩气气氛下，过滤反应溶液，并将沉淀物用20ml己烷洗涤。然后，将沉淀物在真空下干燥，以提供0.9g的(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钠。(分离收率：80％)
此外，(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钠为新化合物，其具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.98(2H,t,6.0Hz),2.97(3H,s),2.42(2H,t,6.0Hz),2.16(6H,s)
实施例J1
(三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钇(III)的合成)
[化学式68]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入0.74g(3.8mmol)氯化钇(III)(预干燥的脱水物)和10ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.4g(11mmol)在实施例I1中制备的(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钠在四氢呋喃中的溶液10ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下蒸馏(140℃,13.3Pa)，以提供0.60g为浅黄色半固态(蜡状)的(三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钇(III)。(分离收率：40％)
此外，三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钇(III)为新化合物，其具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.49(6H,t,6.0Hz),2.30(9H,s),2.26(6H,t,6.0Hz),2.14(18H,s)
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的钇含量：21.9wt％(计算值：22.7wt％)
实施例K1
(三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镧(III))
[化学式69]
在氩气气氛下，在一个装配有搅拌器、温度计和滴液漏斗的50mL体积烧瓶中放入1.97g(3.8mmol)碘化镧(III)(预干燥的脱水物)和20ml四氢呋喃。然后，将它们混合并将混合物搅拌2小时。随后，在保持溶液温度为0℃的同时，向所述烧瓶中缓慢滴入1.4g(11mmol)在实施例I1中制备的(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)钠在四氢呋喃中的溶液10ml。然后，在搅拌的同时使混合物在20℃反应6小时。反应完成后，将反应溶液在减压下浓缩。向所得浓缩液中添加50ml己烷。然后，搅拌混合物。将混合物过滤，并将滤液在减压下浓缩。然后，将所得浓缩液在减压下(140℃,13.3Pa)蒸馏，以提供0.50g为浅黄色半固态(蜡质)的(三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镧(III)。(分离收率：30％)
此外，三(1-甲基酰胺-2-二甲基氨基乙烷-N,N’)镧(III)为新化合物，其具有以下性质：
1H-NMR(四氢呋喃-d8,δ(ppm))；2.90(6H,t,6.0Hz),2.84(9H,s),2.70(6H,t,6.0Hz),2.31(18H,s)
通过电感耦合等离子体(ICP)分析确定的镧含量：30.2wt％(计算值：31.4wt％)
产业上的可应用性
根据本发明，可以提供一种新的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，由其可通过简单的方法制备含金属的薄膜。还可以提供一种通过CVD方法使用所述金属化合物在物体上制备含金属的薄膜的方法。本发明的(酰胺氨基烷烃)金属化合物适合用于通过CVD方法形成含金属的薄膜，因此适合于工业用途。
双(酰胺氨基烷烃)镁化合物可用作例如用于形成含镁薄膜、聚合催化剂和用于制备药物、农业化学品等的材料。双(酰胺氨基烷烃)钴化合物可用作例如用于形成含钴薄膜、聚合催化剂和用于制备药物、农业化学品等的材料。双(酰胺氨基烷烃)锰化合物可用作例如用于形成含锰薄膜、聚合催化剂和用于制备药物、农业化学品等的材料。双(酰胺氨基烷烃)锌化合物可用作例如用于形成含锌薄膜、聚合催化剂和用于制备药物、农业化学品等的材料。
符号的说明：
(图1)
1.载气(He)
2.稀释气体(He)
3.反应性气体(O2)
4.质量流量控制器
5.质量流量控制器
6.质量流量控制器
7.镁原料的容器(气化器)
8.恒温浴
9.反应器
10.基板
11.反应器的加热器
12.压力表
13.捕集器
14.真空泵
(图2)
3.气化器
4.反应器
10B.气化器的加热器
10C.反应器的加热器
20.原料，(酰胺氨基烷烃)金属化合物
21.基板

Claims (7)

1.一种由式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物：
其中
M代表钴；
R1代表异丙基、仲丁基、叔丁基或叔戊基；
R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1-3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环；
Z代表具有1-10个碳原子的直链或支链的亚烷基(可选地，其一部分可形成环)；且
n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表2；
条件是两个配位体可以彼此相同或不同。
2.权利要求1所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物，其中Z为具有1-5个碳原子的直链或支链的亚烷基，或由下式表示的基团：
其中
Z1代表具有1-3个碳原子的直链亚烷基；且
R代表具有1-6个碳原子的直链或支链的烷基，或具有3-6个碳原子的环烷基。
3.一种制备权利要求1中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物由下式(1)表示：
其中M,R1,R2,R3,Z和n定义如上；
所述方法包括步骤：
使由式(2a)或(2b)表示的单烷基金属化合物或二烷基金属化合物与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应：
所述式(2a)或(2b)为：
R4M (2a)
R4R5M (2b)
其中
M代表钴；且
R4和R5可以彼此相同或不同，并且各自独立地代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；
所述式(3)为：
其中R1,R2,R3和Z定义如上。
4.一种制备权利要求1中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物由下式(1)表示：
所述式(1)为：
其中M,R1,R2,R3,Z和n定义如上；
所述方法包括以下步骤：
使由式(4a)表示的烷基碱金属化合物或碱金属与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应，形成由式(5)表示的(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物：
所述式(4a)为：
R4A (4a)
其中
R4代表具有1-10个碳原子的直链或支链的烷基；且
A代表碱金属原子；
所述式(3)为：
其中R1,R2,R3和Z定义如上；
所述式(5)为：
其中R1,R2,R3,A和Z定义如上；以及
使所述(酰胺氨基烷烃)碱金属化合物与由式(6)表示的金属卤化物反应：
所述式(6)为：
MXn (6)
其中
M代表钴；
X代表卤素原子；且
n代表卤素原子的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表2。
5.一种制备权利要求1中所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物的方法，所述(酰胺氨基烷烃)金属化合物由下式(1)表示：
所述式(1)为：
其中
R1,R2,R3,M,Z和n定义如上；
所述方法包括以下步骤：
使由式(7)表示的金属与由式(3)表示的二氨基烷烃化合物反应：
所述式(7)为：
M (7)
其中
M代表钴；
所述式(3)为：
其中R1,R2,R3和Z定义如上。
6.一种通过化学气相沉积法制备含金属的薄膜的方法，其中使用权利要求1中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物作为来源。
7.一种用于形成含金属的薄膜的材料，包含权利要求1中所述的(酰胺氨基烷烃)金属化合物。
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