CN104969452A - 致动器 - Google Patents

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CN104969452A
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Abstract

以提供能在杆前进、后退时防止润滑剂向外壳外部流出的致动器为目的，形成为如下结构：包括：外壳，其设置有杆用通孔；杆，其贯穿所述杆用通孔，并使所述杆的一部分朝向所述外壳外部突出，以驱动所述杆进退；第一杆用密封构件，其设置在所述杆用通孔的外壳外部侧；第二杆用密封构件，其设置在所述杆用通孔的外壳内部侧；润滑剂供给部，其设于所述外壳，并将润滑剂供给到所述杆用通孔；以及压力变化吸收用槽，其设置在所述杆用通孔的所述第一杆用密封构件与所述第二杆用密封构件之间，且设置成与所述润滑剂供给部连通的状态而形成有空气层，并且将伴随着所述杆的进退而发生的压力变化吸收。

Description

致动器
技术领域
本发明涉及一种例如用在工业用机器人中的致动器，特别是，涉及一种设法通过设置对随着杆的进退而发生的压力变化进行吸收的压力变化吸收用槽而能在上述杆前进/后退时防止润滑剂向外壳外部流出的致动器。
背景技术
作为公开了现有的致动器例如线性致动器的文献，有专利文献1。该专利文献1公开的线性致动器形成为如下这种结构。首先，具有壳体，在该壳体内内置有电动机。另外，在壳体内也内置有由电动机驱动旋转的中空状旋转轴。在该中空状旋转轴内固定有螺母，输出用螺钉螺合·配置于该螺母。
因此，通过使上述电动机旋转，使上述中空状旋转轴旋转，利用该中空状旋转轴的旋转使螺母也一体旋转。利用该螺母的旋转使上述输出用螺钉向长度方向两侧直线运动。
另外，上述壳体的两端的开口部分别被端板固接·封闭。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4918234号公报
但是，在现有的结构中存在下述这样的问题。
首先，在上述的线性致动器中，将端板固接在壳体的两端。作为固接的方法，例如可以考虑使用粘接剂，但假如在利用粘接剂进行固接的情况下，存在难以组装·分解线性致动器的问题。
另外，在利用粘接剂进行固接的情况下，不用另外夹装密封构件，只用粘接剂就能获得密封性能。但是，很难只用粘接剂获得期望的密封性能。
为了解决上述这样的问题，本专利申请人提出了专利申请(日本专利申请特愿2012-193195，未公开)。
发明内容
发明所要解决的技术问题
采用上述现有的结构，存在如下这样的问题。
即，在日本专利申请特愿2012－193195的致动器中，在杆移动时，外壳内的作为润滑剂的润滑脂发生急剧的压力变化。并且，因该急剧的压力变化，存在如下问题：在上述杆前进时，相当于不能被软刮器保持的那么多的润滑脂向前方移动，从上述杆的外周面与设置在上述外壳的前端侧的杆用密封构件之间向上述外壳外部流出。
另外，存在如下问题：在上述杆后退时，将过量的润滑脂从作为润滑剂供给部的润滑脂管接头及润滑脂供给通路供给到上述杆的外周面，该润滑脂的一部分不能被上述软刮器完全保持而从上述杆的外周面与上述杆用密封构件之间向上述外壳外部流出。
本发明是基于上述这样的情况而做成的，目的在于提供一种能在上述杆前进/后退时防止润滑剂向外壳外部流出的致动器。
解决技术问题所采用的技术方案
用于解决上述问题的技术方案1所述的致动器的特征在于，包括：外壳，上述外壳设置有杆用通孔；杆，上述杆贯穿上述杆用通孔，并使上述杆的一部分朝向上述外壳外部突出，以驱动上述杆进退；第一杆用密封构件，上述第一杆用密封构件设置在上述杆用通孔的外壳外部侧；第二杆用密封构件，上述第二杆用密封构件设置在上述杆用通孔的外壳内部侧；润滑剂供给部，上述润滑剂供给部设于上述外壳，并将润滑剂供给到上述杆用通孔；以及压力变化吸收用槽，上述压力变化吸收用槽设置在上述杆用通孔的上述第一杆用密封构件与上述第二杆用密封构件之间，且设置成与上述润滑剂供给部连通的状态而形成有空气层，并且将伴随着上述杆的进退而发生的压力变化吸收。
另外，技术方案2所述的致动器在技术方案1所述的致动器的基础上，其特征在于，上述润滑剂供给部包括节流孔，上述压力变化吸收用槽设置为与上述节流孔连通的状态。
另外，技术方案3所述的致动器在技术方案2所述的致动器的基础上，其特征在于，上述压力变化吸收用槽设置成环状。
另外，技术方案4所述的致动器在技术方案1至技术方案3中任一项所述的致动器的基础上，其特征在于，在比上述压力变化吸收用槽靠外壳外部侧的位置设置有供上述杆贯穿并保持上述润滑剂的软刮器。
另外，技术方案5所述的致动器在技术方案1至技术方案4中任一项所述的致动器的基础上，其特征在于，上述外壳由如下部分构成：在两端包括前开口部和后开口部的外壳主体、封闭上述前开口部的前盖、以及封闭上述后开口部的后盖，在上述前盖与上述外壳主体之间夹插有前盖用密封构件，在上述后盖与上述外壳主体之间夹插有后盖用密封构件。
另外，技术方案6所述的致动器在技术方案5所述的致动器的基础上，其特征在于，在上述外壳主体内内置有致动器主体，该致动器主体由电动机、由该电动机驱动旋转的螺钉、与该螺钉螺合的螺母、以及固接于该螺母的上述杆构成。
另外，技术方案7所述的致动器在技术方案5或技术方案6所述的致动器的基础上，其特征在于，上述前盖由前支架、以及配置在该前支架的轴向内侧的轴承支架构成，在上述前支架与轴承支架之间设置有润滑脂存积部。
另外，技术方案8所述的致动器在技术方案7所述的致动器的基础上，其特征在于，上述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件设置在上述前支架侧。
另外，技术方案9所述的致动器在技术方案1至技术方案8中任一项所述的致动器的基础上，其特征在于，对上述杆的外表面实施表面硬化处理。
另外，技术方案10所述的致动器在技术方案9所述的致动器的基础上，其特征在于，对上述杆实施的表面硬化处理为镀硬铬。
另外，技术方案11所述的致动器在技术方案1至技术方案8中任一项所述的致动器的基础上，其特征在于，对上述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件的至少内表面实施表面硬化处理。
另外，技术方案12所述的致动器在技术方案11所述的致动器的基础上，其特征在于，对上述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件实施的表面硬化处理是DLC(Diamond Like Carbon(类金刚石薄膜))涂层。
另外，技术方案13所述的致动器在技术方案6至技术方案12中任一项所述的致动器的基础上，其特征在于，通过使螺钉构件从外壳的外侧螺合而将上述致动器主体固定于外壳，在上述螺钉构件的上述外壳的贯穿部设置有外壳用密封构件。
发明效果
如上所述，采用技术方案1所述的致动器，包括：外壳，上述外壳设置有杆用通孔；杆，上述杆贯穿上述杆用通孔，并使上述杆的一部分朝向上述外壳外部突出，以驱动上述杆进退；第一杆用密封构件，上述第一杆用密封构件设置在上述杆用通孔的外壳外部侧；第二杆用密封构件，上述第二杆用密封构件设置在上述杆用通孔的外壳内部侧；润滑剂供给部，上述润滑剂供给部设于上述外壳，并将润滑剂供给到上述杆用通孔；以及压力变化吸收用槽，上述压力变化吸收用槽设置在上述杆用通孔的上述第一杆用密封构件与上述第二杆用密封构件之间，且设置成与上述润滑剂供给部连通的状态而形成有空气层，并且将伴随着上述杆的进退而发生的压力变化吸收，因此，当上述杆前进时，利用上述压力变化吸收用槽吸收上述润滑剂的压力，随着上述杆的移动向前方移动的上述润滑剂的量减少，从而防止润滑剂向外壳外部流出，当上述杆后退时，上述润滑剂被收容在上述压力变化吸收用槽内，经由上述压力变化吸收用槽将适当的量的润滑剂供给到上述杆的外周面，从而能够防止润滑剂向外壳外部流出。
另外，采用技术方案2所述的致动器，在技术方案1所述的致动器的基础上，上述润滑剂供给部包括节流孔，上述压力变化吸收用槽设置为与上述节流孔连通的状态，因此能够有效地吸收上述压力变化，并且能从上述润滑剂供给部经由上述节流孔供给适当的量的润滑剂。
另外，采用技术方案3所述的致动器，在技术方案2所述的致动器的基础上，上述压力变化吸收用槽设置成环状，因此能够更加有效地吸收上述压力变化。
另外，技术方案4所述的致动器在技术方案1至技术方案3中任一项所述的致动器的基础上，在比上述压力变化吸收用槽靠外壳外部侧的位置，设置有供上述杆贯穿并保持上述润滑剂的软刮器，因此通过用上述软刮器保持上述润滑剂，能够防止上述润滑剂向外部流出，并且也能利用上述软刮器将上述润滑剂供给到上述杆外周面。
另外，技术方案5所述的致动器在技术方案1至技术方案4中任一项所述的致动器的基础上，上述外壳由如下部分构成：在两端包括前开口部和后开口部的外壳主体、封闭上述前开口部的前盖、以及封闭上述后开口部的后盖，在上述前盖与上述外壳主体之间夹插有前盖用密封构件，在上述后盖与上述外壳主体之间夹插有后盖用密封构件，因此能够容易地进行上述致动器的组装·分解，并且能够提高防尘·防水性。
另外，技术方案6所述的致动器在技术方案5所述的致动器的基础上，在上述外壳主体内内置有致动器主体，该致动器主体由电动机、由该电动机驱动旋转的螺钉、与该螺钉螺合的螺母、以及固接于该螺母的上述杆构成，因此能够更加容易地进行上述致动器的组装·分解。
另外，技术方案7所述的致动器在技术方案5或技术方案6所述的致动器的基础上，上述前盖由前支架、以及配置在该前支架的轴向内侧的轴承支架构成，在上述前支架与轴承支架之间设置有润滑脂存积部，因此例如通过在上述前支架或上述轴承支架的彼此相对的一侧形成槽，不需要复杂的加工就能容易地形成上述润滑脂存积部。
另外，技术方案8所述的致动器在技术方案7所述的致动器的基础上，上述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件设置在上述前支架侧，因此仅将上述前支架卸下，就能容易地更换上述杆用密封构件。另外，仅将上述前支架卸下，就能形成将上述杆用密封构件去除了的状态，因此能在不产生由上述杆用密封构件导致的滑动阻力的状态下，容易地调节上述杆的轴心。
另外，技术方案9所述的致动器在技术方案1至技术方案8中任一项所述的致动器的基础上，对上述杆的外表面实施表面硬化处理，因此能够减小上述杆与杆用密封构件间的摩擦系数而进行平滑的动作，并且能够提高耐磨损性。
另外，技术方案10所述的致动器在技术方案9所述的致动器的基础上，对上述杆实施的表面硬化处理为镀硬铬，因此能够进一步提高耐磨损性。
另外，技术方案11所述的致动器在技术方案1至技术方案8中任一项所述的致动器的基础上，对上述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件的至少内表面实施表面硬化处理，因此能够减小上述杆与杆用密封构件间的摩擦系数而进行平滑的动作，并且能够提高耐磨损性。
另外，技术方案12所述的致动器在技术方案11所述的致动器的基础上，对上述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件实施的表面硬化处理是DLC(Diamond Like Carbon(类金刚石薄膜))涂层，因此能够进一步提高耐磨损性。
另外，技术方案13所述的致动器在技术方案6至技术方案12中任一项所述的致动器的基础上，通过使螺钉构件从外壳的外侧螺合而将上述致动器主体固定于外壳，在上述螺钉构件的上述外壳的贯穿部设置有外壳用密封构件，因此能够进一步提高防尘·防水性。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的图，其是致动器的立体图。
图2是表示本发明的第一实施方式的图，其是致动器的分解立体图。
图3是表示本发明的第一实施方式的图，其是图1中的III－III剖视图。
图4是表示本发明的第一实施方式的图，其是图3中的IV部分的放大图。
图5是表示本发明的第一实施方式的图，其是用在致动器中的前支架的后视图。
图6是表示本发明的第一实施方式的图，其是在拆下了外壳主体的状态下表示用在致动器中的轴承支架和致动器主体的前端部分的放大图。
图7是表示本发明的第一实施方式的图，其是图3中的VII－VII剖视图。
图8是表示本发明的第二实施方式的图，其是致动器的前端部分的放大剖视图。
具体实施方式
以下，参照图1至图7说明本发明的第一实施方式。
如图1至图3所示，首先，第一实施方式的致动器1包括外壳3。该外壳3由外壳主体5、设置在上述外壳主体5的前端侧(图3中左侧)的前盖7、以及设置在上述外壳主体5的后端侧(图3中右侧)的后盖9构成。
另外，在上述致动器1的外壳3内内置有致动器主体10。
首先，说明上述外壳主体5。
如图2和图3所示，上述外壳主体5是筒状的构件，在上述外壳主体5的前方端(图3中左侧端)形成有前开口部11a，并且在上述外壳主体5的后方端(图3中右侧端)形成有后开口部11b。另外，如图2所示，在上述外壳主体5的前端面(图2中左下侧的面)上形成有阴螺纹部13、13、13、13，在上述外壳主体5的后端面(图2中右上侧的面)上也形成有与上述阴螺纹部13、13、13、13同样的未图示的阴螺纹部。另外，在上述外壳主体5的底面15穿孔设置有多个安装螺栓用通孔17。
另外，如图2所示，在上述外壳主体5的底面15上沿长度方向(图2中从左下方朝向右上方的方向)延伸·形成有安装用槽16、16。使用这些安装用槽16、16将致动器1设置在任意的场所。
另外，如图2和图3所示，在上述外壳主体5的上表面19穿孔设置有工具用通孔21a。该工具用通孔21a在非使用时被密封帽21b封闭。该密封帽21b能相对于上述外壳主体5进行装拆，在从上述工具用通孔21a插入未图示的夹具时，拆下该密封帽21b。
另外，在上述外壳主体5的上表面19穿孔设置有润滑脂供给用通孔22a。该润滑脂供给用通孔22a在非使用时被密封帽22b封闭。该密封帽22b能相对于上述外壳主体5进行装拆，在从上述润滑脂供给用通孔22a供给作为润滑剂的润滑脂时，拆下该密封帽22b。
接下来，说明前盖7。
如图3和图4所示，上述前盖7由前支架23a和轴承支架23b构成。首先，在上述前支架23a上形成有杆用通孔25。在该杆用通孔25的前端侧(图4中左侧)形成有第一密封构件嵌合部25a，在上述杆用通孔25的后端侧(图4中右侧)形成有第二密封构件嵌合部25b。上述第一密封构件嵌合部25a朝向前方(图4中左侧)开口，并且也朝向径向内侧开口。另一方面，上述第二密封构件嵌合部25b设置成朝向径向内侧开口的环状槽。
另外，如图4和图5所示，在上述前支架23a的靠上述轴承支架23b侧(图4中右侧)的面上形成有润滑脂存积部用凹部27a。该润滑脂存积部用凹部27a是设置在上述杆用通孔25的外周侧的环状槽。另外，如图4所示，在上述润滑脂存积部用凹部27a的内侧形成有润滑脂存积部用凸部27b。另外，在上述前支架23a的上表面侧(图4中上侧)形成有管接头安装用凹部29a，在上述前支架23a的底面侧穿孔形成有管接头安装用通孔29b。另外，上述管接头安装用通孔29b和上述润滑脂存积部用凹部27a由润滑脂供给通路29c连通。另外，上述润滑脂供给通路29c和上述杆用通孔25由润滑脂供给通路(节流孔)29d连通。
另外，在上述前支架23a的靠外壳主体5侧的端面上形成有密封构件用槽31。另外，如图2和图5所示，在上述前支架23a形成有螺栓用通孔32、32、32、32。
第一杆用密封构件33与上述前支架23a的第一密封构件嵌合部25a嵌合。第一杆用密封构件33例如是实施了类金刚石薄膜(Diamond Like Carbon)涂层(以下简称为DLC涂层。)来作为表面硬化处理的橡胶制的构件。另外，上述第一杆用密封构件33由与上述第一密封构件嵌合部25a嵌合的环状部33a、以及从该环状部33a的前表面侧突出·形成的防尘密封部33b构成。另外，在上述第一杆用密封构件33中形成有沿前后方向(图4中左右方向)延伸的通孔33c。另外，在上述环状部33a的后端侧(图4中右侧)形成有软刮器用嵌合部33d，软刮器33e与该软刮器用嵌合部33d嵌合。该软刮器33e例如由毛毡制成。另外，在上述环状部33a内例如埋设有金属制的环状构件33f。
另外，对上述第一杆用密封构件33的内表面或者整个上述第一杆用密封构件33实施作为上述第一杆用密封构件33的表面硬化处理的DLC涂层。
另外，第二杆用密封构件35与上述前支架23a的第二密封构件嵌合部25b嵌合。该第二杆用密封构件35是实施了DLC涂层作为表面硬化处理的橡胶制的构件。另外，如图4所示，上述第二杆用密封构件35是具有X字形的横截面形状的环状的构件。
另外，对上述第二杆用密封构件35的内表面或整个上述第二杆用密封构件35实施作为上述第二杆用密封构件35的表面硬化处理的DLC涂层。
另外，上述第二密封构件嵌合部25b的宽度(图4中左右方向长度、W1)相对于上述第二杆用密封构件35的宽度(图4中左右方向长度、W2)具有一些富裕。
另外，在上述管接头安装用通孔29b内压入有润滑脂管接头(greasenipple)37。在上述润滑脂管接头37内内置有螺旋弹簧37b和球37a，该球37a始终被螺旋弹簧37b朝向图4中上侧施力，将上述润滑脂管接头37封闭。在供给作为润滑剂的润滑脂的情况下，使未图示的润滑脂喷枪与上述润滑脂管接头37连接，对操作杆进行操作。并且，利用所供给的润滑脂的压力克服螺旋弹簧37b的弹簧力将上述球37a按下，将润滑脂从上述未图示的润滑脂喷枪中经由上述润滑脂管接头37注入到上述润滑脂供给通路29c内。
利用上述润滑脂管接头37、润滑脂供给通路29c及润滑脂供给通路(节流孔)29d构成润滑剂供给部。
使螺栓39、39、39、39贯穿上述螺栓用通孔32、32、32、32而与外壳主体5的前端面(图2中左下侧的面)的阴螺纹部13、13、13、13螺合，从而将上述前支架23a固定于上述外壳主体5。
另外，前盖用密封构件41与上述前支架23a的密封构件用槽31内嵌合，该前盖用密封构件41处于夹插在上述前支架23a与上述外壳主体5之间的状态。
另外，上述前盖用密封构件41在安装前形成为环状，但随着与上述密封构件用槽31内嵌合而形成为图2所示的那种形状。
如图4所示，在轴承支架23b中形成有沿前后方向(图4中左右方向)延伸的通孔43。该通孔43的前端侧(图4中左端侧)的直径变大而成为润滑脂存积部用凹部45a，并且在润滑脂存积部用凹部45a的外周侧形成润滑脂存积部用凸部45b。另外，在上述轴承支架23b的上述润滑脂存积部用凸部45b的外周面上形成有台阶部，该台阶部成为O形环用卡合部47。另外，如图2所示，在上述轴承支架23b的下部且左右两侧形成有螺栓用通孔49、49、49、49。
通过使上述前支架23a的润滑脂存积部用凹部27a与上述轴承支架23b的润滑脂存积部用凸部45b卡合，使上述前支架23a与上述轴承支架23b成为一体。另外，当使上述前支架23a与上述轴承支架23b成为一体时，在上述润滑脂存积部用凸部27b与上述润滑脂存积部用凹部45a之间形成润滑脂存积部50。
另外，O形环51与上述轴承支架23b的O形环用卡合部47卡合。另外，该O形环51处于夹插在上述前支架23a的润滑脂存积部用凹部27a的内周面与上述轴承支架23b的润滑脂存积部用凸部45b的外周面之间的状态。另外，在上述轴承支架23b的通孔43的后端侧(图4中右侧)内置有圆筒形状的轴承53。
接下来，说明后盖9。
如图2和图3所示，在上述后盖9中形成有向外壳主体5侧(图3中左侧)开口的中空部55。另外，在上述后盖9的后端侧(图3中右侧)形成有进气排气端口用通孔57a和电缆用通孔57b。另外，在上述后盖9的靠外壳主体5侧(图3中左侧)的端面上形成有密封构件用槽59。另外，如图2所示，在上述后盖9形成有螺栓用通孔61、61、61、61。
通过使螺栓39、39、39、39贯穿上述螺栓用通孔61、61、61、61而与外壳主体5的后端面(图2中右上侧的面)的未图示的阴螺纹部螺合，将上述后盖9固定于上述外壳主体5。另外，后盖用密封构件62与上述后盖9的密封构件用槽59内嵌合，该后盖用密封构件62处于夹插在上述后盖9与上述外壳主体5之间的状态。
另外，上述后盖用密封构件62在安装前形成为环状，但随着与上述密封构件用槽59内嵌合而形成为图2所示的那种形状。
另外，以贯穿上述进气排气端口用通孔57a的方式设置有进气排气端口63。另外，以贯穿上述电缆用通孔57b的方式设置有电缆64。该电缆64捆扎有电力线和信号线等。
接下来，说明致动器主体10。
首先，上述致动器主体10具有底座65，如图7所示，该底座65的横截面形状形成为U字形。另外，如图7所示，在该底座65的宽度方向(图7中左右方向)两端侧的内侧面上形成有沿长度方向(图7中与纸面垂直的方向)延伸的导轨用槽65a、65a。在这些导轨用槽65a、65a内分别压入有导轨65b、65b。在这些导轨65b、65b上分别形成有沿长度方向(图7中与纸面垂直的方向)延伸的引导用凹部65c、65c。另外，在上述底座65的底面侧(图7中下侧)形成有多个阴螺纹部65d。
另外，在图7中图示了上述多个阴螺纹部65d中的两个。
通过使螺栓65e贯穿上述外壳主体5的安装螺栓用通孔17而与上述底座65的阴螺纹部65d螺合，将上述底座65与外壳主体5固定。另外，在上述螺栓65e的头部与上述外壳主体5之间夹插有垫圈状的外壳用密封构件65f。
另外，如图3所示，通过将定位销68插入在穿孔设置于底座65侧的定位孔66和穿孔设置于外壳主体5侧的定位孔5a中，来定位上述底座65和外壳主体5。在插入了定位销68的基础上安装盖70。
另外，如图6所示，在上述底座65的前端面(图6中左下侧的面)上固定有已述的轴承支架23b。通过使四根螺栓65g贯穿上述轴承支架23b的螺栓用通孔49、49、49、49而与上述底座65的未图示的四个阴螺纹部的各螺纹部螺合，将上述底座65和上述轴承支架23b固定。
另外，上述轴承支架23b的螺栓用通孔49的直径相对于上述螺栓65g的直径具有游隙。因此，能在上述游隙的范围内对上述轴承支架23b的相对于上述底座65的安装位置进行调节。另外，通过对上述轴承支架23b的相对于上述底座65的安装位置进行调节，能对后述的杆85的轴心进行调节。
另外，如图3所示，在上述底座65的后端部(图3中右端)设置有轴承箱67。上述轴承箱67是朝向前端侧(图3中左侧)和后端侧(图3中右侧)开口的中空形状的构件。在上述轴承箱67内内置有球轴承67a、67a。该球轴承67a具有外圈67b、以及内置在该外圈67b的内侧的内圈67c。在上述外圈67b与上述内圈67c之间设置有止动器67d，该止动器67d设置有多个通孔，在该止动器67d的多个通孔内分别保持有球67e。通过使该多个球67e滚动，使上述内圈67c相对于上述外圈67b旋转。
另外，前端侧(图3中左侧)的球轴承67a的外圈67b与上述轴承箱67的内表面的前端侧(图3中左侧)抵接。另外，在后端侧(图3中右侧)的球轴承67a的后端侧(图3中右侧)设置有球轴承固定构件67f。该球轴承固定构件67f处于与后端侧(图3中右侧)的球轴承67a的外圈67b抵接的状态。另外，通过使未图示的螺栓贯穿上述轴承箱67而与上述底座65的未图示的多个阴螺纹部的各阴螺纹部螺合，将上述底座65与上述轴承箱67固定。
另外，上述轴承箱67的通孔形成为相对于上述螺栓具有游隙的尺寸，构成为能在该游隙的范围内对上述轴承箱67的相对于上述底座65的位置进行调节。
另外，在上述轴承箱67的后方(图3中右侧)设置有电动机支架69。在该电动机支架69上形成有通孔69a。另外，上述通孔69a的前端侧(图3中左侧)的直径变大，成为轴承箱卡合部69b。通过使上述轴承箱67的后端侧(图3中右侧)与该轴承箱卡合部69b卡合，使上述轴承箱67与上述电动机支架69成为一体。
另外，在上述电动机支架69的上部(图3中上侧的部分)的前端侧(图3中左侧)形成有固定螺钉用阴螺纹部69c。通过使固定螺钉71与上述电动机支架69的固定螺钉用阴螺纹部69c螺合，对上述轴承箱67的后端侧(图3中右侧)的上表面(图3中上侧的面)进行按压，将上述电动机支架69与上述轴承箱67固定。因此，仅将上述固定螺钉71去除，就能使上述电动机支架69与上述轴承箱67分离。
另外，利用从外壳主体5的工具用通孔21a插入的未图示的夹具，使上述固定螺钉71与上述固定螺钉用阴螺纹部69c螺合以及将上述固定螺钉71去除。
另外，上述致动器主体10具有电动机73。如图3所示，电动机73具有电动机壳体73a，在该电动机壳体73a的内周侧固定有定子73b。在该定子73b的内周侧以能旋转的方式内置有由永磁体构成的转子73c。在该转子73c的中心位置固定有输出轴73d。利用经由电缆64供给的电力驱动上述电动机73。并且，当经由上述电缆64供给电力时，转子73c及输出轴73d一体地正转·逆转。
上述电动机73的电动机壳体73a的前端侧(图3中左端侧)与上述电动机支架69的通孔69a的后端侧(图3中右端侧)嵌合。另外，通过使未图示的螺栓贯穿在设置于上述电动机支架69的未图示的通孔中，而与设置于上述电动机壳体73a的未图示的阴螺纹部螺合，将上述电动机支架69与上述电动机73固定。另外，上述电动机73的输出轴73d位于上述电动机支架69的通孔69a内。
另外，在上述电动机73的后端侧(图3中右侧)设置有编码器75。该编码器75具有设置在上述电动机壳体73a的后端侧(图3中右侧)的编码器盖75a。在该编码器盖75a的内部，在上述电动机壳体73a的后端面(图3中右侧的面)借助三根棒状隔离件75b设置有基板75c。在该基板75c上安装有电子零件75d、75e。
另外，在上述电动机73的输出轴73d的突出在上述编码器盖75a内的部分固接有码轮75f。在该码轮75f的后端面(图3中右侧的面)显示有未图示的编码器标度。根据该未图示的编码器标度向上述码轮75f的后端面(图3中右侧的面)提供被反射的反射光的强度强的部分和强度弱的部分。并且，在上述基板75c的设置有电子零件75d、75e的面的背面侧的面(图3中左侧的面)上安装有未图示的光源和传感器。将来自上述光源的光照射到上述未图示的编码器标度上，利用上述传感器对被反射的反射光进行检测。由此，检测出上述电动机73的输出轴73d的旋转的方向和位置。
另外，如上所述，仅将固定螺钉71去除，就能使上述电动机支架69与上述轴承箱67分离，但由于上述电动机73及上述编码器75与上述电动机支架69成为一体，因此仅将上述固定螺钉71去除，就能使上述电动机支架69、上述电动机73及上述编码器75成为了一体的部分与致动器主体10分离。
如图3所示，在上述电动机73的输出轴73d的前端侧(图3中左侧)，利用固定螺钉76b固定有欧式联轴器(Oldham Coupling)的一零件、即联轴器构件76a。另一方面，在滚珠丝杠连接构件77上固定有欧式联轴器的另一零件、即联轴器构件76c。另外，在上述联轴器构件76a与上述联轴器构件76c之间夹插·卡合有欧式联轴器的又一零件、即联轴器构件76d，由此使上述电动机73的输出轴73d与上述滚珠丝杠连接构件77连接。另外，上述联轴器构件76a、76c、76d设置在上述电动机支架69的通孔69a内。
另外，滚珠丝杠连接构件77压入在内置于上述轴承箱67的球轴承67a、67a的内圈67c、67c中。
并且，上述滚珠丝杠连接构件77形成有连接孔77a，在该连接孔77a中压入·固定有滚珠丝杠78。即，滚珠丝杠78由螺纹部78a和后端侧(图3中右侧)的连接部78b构成，上述连接部78b压入在上述滚珠丝杠连接构件77的连接孔77a内。在上述滚珠丝杠78的螺纹部78a的外周面上形成有阳螺纹部78c。
在上述滚珠丝杠78上螺合·配置有包括未图示的阴螺纹部的球螺母79。首先，该球螺母79具有球螺母主体79a，在该球螺母主体79a的前后端(图3中左右两侧端)分别设置有端帽79c、79c。在上述球螺母主体79a中形成有未图示的无负荷循环通路，并且在上述端帽79c、79c中分别形成有未图示的返回通路。并且，通过使上述滚珠丝杠78旋转，使上述球螺母79往返移动，届时，未图示的多个球经由上述滚珠丝杠78的阳螺纹部78c与上述球螺母79的未图示的阴螺纹部之间、上述一方的端帽79c的返回通路、上述无负荷循环通路以及上述另一方的端帽79c的返回通路循环，由此实现球螺母79的顺利的往返移动。
在上述球螺母79上固定有杆连接构件81。上述滚珠丝杠78与该杆连接构件81同轴地内置在该杆连接构件81的内部。另外，在上述杆连接构件81的前端侧(图3中左侧)形成有阴螺纹部81a。
另外，在上述杆连接构件81的上部(图3中上侧部分)以贯穿上述杆连接构件81的方式设置有润滑脂管接头81b。该润滑脂管接头81b与上述球螺母79的未图示的无负荷循环通路连通。
在上述润滑脂管接头81b内内置有未图示的螺旋弹簧和球81b’，始终利用螺旋弹簧对该球81b’朝向图3中上侧施力，将上述润滑脂管接头81b封闭。在供给作为润滑剂的润滑脂的情况下，首先使从润滑脂供给用通孔22a插入到外壳3内的未图示的润滑脂喷枪与上述润滑脂管接头81b连接，对操作杆进行操作。利用所供给的润滑脂的压力克服螺旋弹簧的弹簧力地按下球81b’，开始注入润滑脂。将润滑脂经由上述润滑脂管接头81b注入到上述球螺母79的未图示的无负荷循环通路内。
另外，在上述杆连接构件81上固接有被引导部83。另外，如图7所示，首先，上述被引导部83具有被引导部主体83a，在该被引导部主体83a的宽度方向两侧(图7中左右方向两侧)的端面上，沿前后方向(图7中与纸面垂直的方向)延伸·形成有未图示的凹部。另外，在上述被引导部主体83a的宽度方向两侧(图7中左右方向两侧)且上述未图示的凹部的内侧分别形成有未图示的无负荷循环通路。
另外，在上述被引导部主体83a的宽度方向的一端侧(图7中左侧)且前后方向(图7中与纸面垂直的方向)两端设置有端帽83b、83b，在上述被引导部主体83a的宽度方向的另一端侧(图7中右侧)且前后方向(图7中与纸面垂直的方向)两端设置有端帽83c、83c。在上述端帽83b、83b、83c、83c中形成有未图示的返回通路。
并且，未图示的多个球在宽度方向的一端侧(图7中左侧)的上述未图示的无负荷循环通路、上述端帽83b、83b的未图示的返回通路、以及宽度方向的一端侧(图7中左侧)的上述未图示的凹部与上述的宽度方向的一端侧(图7中左侧)的导轨65b的引导用凹部65c之间的空间内循环。另外，未图示的多个球也在宽度方向的另一端侧(图7中右侧)的上述未图示的无负荷循环通路、上述端帽83c、83c的未图示的返回通路、以及宽度方向的另一端侧(图7中右侧)的上述未图示的凹部与上述的宽度方向的另一端侧(图7中右侧)的导轨65b的引导用凹部65c之间的空间内循环。
利用上述这样的被引导部83沿前后方向(图7中与纸面垂直的方向)顺利地引导上述球螺母79。
另外，在使上述滚珠丝杠78发生了旋转时，上述球螺母79的旋转经由上述被引导部83受到上述底座65限制，使上述球螺母79移动到上述滚珠丝杠78的长度方向(图3中左右方向)两侧。
另外，杆85与上述杆连接构件81连接。该杆85由中空圆筒形状的杆主体85a、以及设置在该杆主体85a的前端侧的对象物安装构件85b构成。在上述杆主体85a的后端侧(图3中右端侧)的外周面上形成有阳螺纹部85c。并且，通过使上述阳螺纹部85c与上述杆连接构件81的阴螺纹部81a螺合，使上述杆85与上述杆连接构件81连接。
另外，在上述杆主体85a的前端侧(图3中左端侧)的内周面上形成有阴螺纹部85d。另一方面，在上述对象物安装构件85b的后端侧(图3中右端侧)形成有阳螺纹部85e。并且，通过使上述对象物安装构件85b的阳螺纹部85e与上述杆主体85a的阴螺纹部85d螺合，将上述对象物安装构件85b安装于上述杆主体85a。
另外，对上述杆主体85a的外周面实施镀硬铬以作为表面硬化处理。
另外，上述滚珠丝杠78与上述杆85同轴地收容在上述杆85内。
在上述对象物安装构件85b的前端侧形成有阳螺纹部85f。通过使未图示的对象物的阴螺纹部与该阳螺纹部85f螺合，将上述未图示的对象物安装于上述杆85。
另外，上述杆85将内置在轴承支架23a内的轴承53、前支架的杆用通孔25、第二杆用密封构件35、软刮器33e及第一杆用密封构件33贯穿而向外壳3的外部突出。另外，上述杆85以能滑动的方式与上述第一杆用密封构件33、上述第二杆用密封构件35、上述软刮器33e及上述轴承53的内周面接触。
另外，如图4所示，在上述杆用通孔25的内周面上形成有压力变化吸收用槽86。该压力变化吸收用槽86以环状形成在上述第一杆用密封构件33与上述第二杆用密封构件35之间。另外，该压力变化吸收用槽86设置成与已述的润滑脂供给通路(节流孔)29d连通的状态。上述压力变化吸收用槽86用于通过在内部收容润滑脂而将上述杆85进退时发生的润滑脂的压力变化加以吸收，由此对润滑脂的经由上述第一杆用密封构件33与上述杆85之间的间隙的向外壳3外部的流出进行防止，并且将适当的量的润滑脂从润滑剂供给部供给到上述杆85的外周面。
另外，上述压力变化吸收用槽86内并非全都被上述润滑脂填满，形成有局部空气层。
接下来，对根据第一实施方式的致动器1的作用进行说明。
首先，说明上述致动器1的动作。
当根据经由电缆64的未图示的信号线传递来的动作指示对电动机73进行驱动时，电动机73的输出轴73d以按照动作指示的方向·速度进行旋转。上述输出轴73d的旋转经由由联轴器构件76a、76c、76d构成的欧式联轴器及滚珠丝杠连接构件77传递到滚珠丝杠78，上述滚珠丝杠78也以与上述输出轴73d相同的方向·速度进行旋转。
届时，与上述滚珠丝杠78螺合的球螺母79沿上述滚珠丝杠78的长度方向(图3中左右方向)的任一个方向移动。这是因为，虽然上述球螺母79因上述滚珠丝杠78的旋转力而想要沿与上述滚珠丝杠78的旋转方向相同的方向旋转，但由于与上述球螺母79连接的被引导部83被底座65的导轨65b、65b沿长度方向(图3中左右方向)引导，因此，由上述滚珠丝杠78的旋转引发的上述球螺母79的旋转受到限制。并且，上述球螺母79的移动也使杆85及安装于该杆85的未图示的对象物沿上述滚珠丝杠78的长度方向(图3中左右方向)移动。
接下来，对在致动器1的动作中以怎样的路径供给润滑脂等进行说明。首先，在前支架23a与轴承支架23b之间形成有润滑脂存积部50。在该润滑脂存积部50内保持有未图示的润滑脂。该润滑脂通过润滑脂供给通路29c、29d进入到压力变化吸收用槽86内，因上述杆85的移动而从该压力变化吸收用槽86内被供给到比第二杆用密封构件35靠前方侧(图4中左侧)的杆用通孔25的内周面与上述杆85的外周面之间。另外，润滑脂从上述润滑脂存积部50被直接供给到上述杆85的外周面，因上述杆85的移动而从上述杆85的外周面被供给到比上述第二杆用密封构件35靠后方侧(图4中右侧)的杆用通孔25及轴承53的内周面与上述杆85的外周面之间。利用上述路径的作用使上述杆85的移动顺利进行。
另外，上述杆85的外周面与上述第二杆用密封构件35紧密接触，几乎不能使上述润滑脂通过。
另外，上述润滑脂在上述杆用通孔25与上述杆85的外周面之间移动并被软刮器33e保持。由此，对润滑脂的从上述杆85的外周面与第一杆用密封构件33之间的流出进行防止。另外，由上述软刮器33e保持的润滑脂也被适当地供给到上述杆85的外周面。
另外，润滑脂向上述润滑脂存积部50及上述压力变化吸收用槽86内的补充经由润滑脂管接头37进行。
另外，在上述球螺母79的未图示的无负荷循环通路内也填充有润滑脂。利用该润滑脂使在上述滚珠丝杠78的螺旋状的阳螺纹部78c与上述球螺母79的未图示的阴螺纹部之间的空间内的未图示的多个球的滚动顺利进行。润滑脂向上述球螺母79的未图示的无负荷循环通路内的补充经由外壳主体5的润滑脂补充用通孔22a及杆连接构件81的润滑脂管接头81b进行。
接下来，对上述杆85的轴心的调节进行说明。在该第一实施方式的情况下，为了使上述杆85的移动顺利进行，在组装时调节上述杆85的轴心。
即，如图6所示，在安装前支架23a、第一杆用密封构件33、软刮器33e及第二杆用密封构件35之前且紧固四根螺栓65g之前的阶段中，处于能使上述轴承支架23b在螺栓用通孔49的游隙的范围内自由移动的状态。同样，关于轴承箱67，在紧固未图示的螺栓之前的阶段中，也使轴承箱67处于能相对于底座65在游隙的范围内自由移动的状态。
在该状态下，首先将杆85压入到图3中的右侧，使球螺母79及杆连接构件81移动到图3中的右端。在该状态下，轻轻拧紧未图示的螺栓而将轴承箱67临时固定在底座65上。
接着，将杆85拉出到图3中的左侧，使球螺母79及杆连接构件81移动到图3中的左端。在该状态下，轻轻拧紧四根螺栓65g而将轴承支架23b临时固定在底座65上。
在该状态下，使上述杆85沿轴向适当移动，观察上述杆85的顺利程度，并且决定上述轴承箱67、轴承支架23b的安装位置。并且，紧固上述未图示的螺栓和螺栓65g而将上述轴承箱67和轴承支架23b固定在期望的位置。
接下来，对上述致动器1的密封结构的作用进行说明。
如图4所示，首先，在外壳主体5与前支架23a之间夹插有前盖用密封构件41，并且在上述外壳主体5与后盖9之间夹插有后盖用密封构件62。利用上述前盖用密封构件41和上述后盖用密封构件62对在上述外壳主体5的两端面处发生的、异物和水滴等的向外壳3内部的侵入进行防止。
另外，如图7所示，在螺栓65e的头部与上述外壳主体5之间夹插有垫圈状的外壳用密封构件65f。利用该外壳用密封构件65f对异物和水滴等经由上述外壳主体5的通孔17向上述外壳3内部的侵入进行防止。
另外，如图4所示，在上述前支架23a上设置有第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35。利用上述第一杆用密封构件33及第二杆用密封构件35，对在上述外壳3的供杆85贯穿的部分发生的异物和水滴等向上述外壳3内部的侵入进行防止。
进一步详细说明该点。上述第一杆用密封构件33设置在杆用通孔25的外部侧(图3中左侧)，并且上述第二杆用密封构件35设置在上述杆用通孔25的内部侧(图3中右侧)。因此，即使假如异物和水滴等从上述第一杆用密封构件33与上述杆85的间隙侵入，也能利用上述第二杆用密封构件35防止上述异物和水滴等进一步向上述外壳3内部侵入。也就是说，在两个阶段均防止异物和水滴等的向上述外壳3内部的侵入。
另外，如图4所示，在上述第一杆用密封构件33的内周面的后端侧(图3中右侧)设置有软刮器33e。利用该软刮器33e也能在上述第一杆用密封构件33与上述第二杆用密封构件35之间发挥期望的密封功能，并且捕捉上述异物和水滴等。
另外，如图4所示，上述第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35也防止未图示的润滑脂以及在上述外壳3内部发生的磨损粉末等的异物从上述外壳3内部向外部流出。另外，利用上述软刮器33e也对上述润滑脂和上述磨损粉末等异物向上述外壳3外部的流出进行防止。
另外，在上述前支架23a的润滑脂存积部用凹部27a的内周面与上述轴承支架23b的润滑脂存积部用凸部45b的外周面之间夹插有O形环51。利用该O形环51防止润滑脂存积部50内的未图示的润滑脂的流出。
接下来，详细说明润滑脂的供给。
首先，当未图示的润滑脂喷枪与润滑脂管接头37连接时，利用所供给的润滑脂的压力克服螺旋弹簧37b的弹簧力地按下上述润滑脂管接头37内的球37a。并且，经由上述润滑脂管接头37将润滑脂注入到润滑脂供给通路29c内。
注入到上述润滑脂供给通路29c内的上述润滑脂被进一步注入到润滑脂存积部50内，并且经由润滑脂供给通路(节流孔)29d也被注入到压力变化吸收用槽86内。
并且，如上所述，从上述润滑脂存积部50及上述压力变化吸收用槽86向上述杆85的外周面供给上述润滑脂。
另外，不会发生上述压力变化吸收用槽86内充满上述润滑脂的情况，在上述压力变化吸收用槽86内形成空气层。
接下来，进一步详细说明以怎样的路径供给润滑脂等。
如图4所示，在上述杆85前进(图4中左侧)时，根据上述杆85的移动和伴随着上述杆85的移动而发生的上述第二杆用密封构件35向前方侧(图4中左侧)的移动，对上述润滑脂朝向前方侧(图4中左侧)施力，发生上述润滑脂的压力变化。届时，向前方侧移动了的上述润滑脂的一部分进入到上述压力变化吸收用槽86内，吸收润滑脂的压力变化。另外，压力变化吸收用槽86内的空气层被压缩。因此，向比上述压力变化吸收用槽86靠前方侧(图4中左侧)的位置移动的上述润滑脂的量减少，为能被软刮器33e保持的程度。由此，对润滑脂经由上述第一杆用密封构件33与上述杆85的间隙的向外壳3外部的流出进行防止。
另外，当上述杆85后退时，第二杆用密封构件35也向后方侧(图4中右侧)移动，并且以宽度(图4中左右方向长度)减小的方式变形。因此，在上述第二杆用密封构件35与第二密封构件嵌合部25b的前侧的面(图4中左侧的面)之间产生间隙。并且，润滑脂进入到该间隙内。该润滑脂的移动使上述压力变化吸收用槽86的空气层的空气压减少，其结果是，从润滑脂供给通路29c和润滑脂存积部50经由润滑脂供给通路(节流孔)29d供给润滑脂。该润滑脂被收容在上述压力变化吸收用槽86内，因此不会对上述杆85的外周面供给过量的润滑脂。另外，也不会供给不能利用上述软刮器33e完全保持的量的润滑脂。
另外，如上所述，外壳3内是封闭的，因此担心上述球螺母79及杆85的移动会受到阻碍。对此，通过经由进气排气端口63向上述外壳3内引入外部气体，或者向外部排出上述外壳3内的空气，就不会阻碍上述球螺母79及杆85的移动。
接下来，对根据第一实施方式的致动器1的效果进行说明。
首先，在杆用通孔25的第一杆用密封构件33与第二杆用密封构件35之间的内周面上形成有压力变化吸收用槽86。当杆85前进时，根据上述杆85的移动和伴随着上述杆85的移动而发生的上述第二杆用密封构件35的向前方侧(图4中左侧)的移动，对上述润滑脂朝向前方侧(图4中左侧)施力，发生上述润滑脂的压力变化。但是，向前方侧移动了的上述润滑脂的一部分进入到上述压力变化吸收用槽86内，吸收上述润滑脂的压力变化。届时，压力变化吸收用槽86内的空气层被压缩。因此，向比上述压力变化吸收用槽86靠前方侧(图4中左侧)的位置移动的上述润滑脂的量减少，为能被软刮器33e保持的程度。由此，能对润滑脂经由上述第一杆用密封构件33与上述杆85的间隙向外壳3外部的流出进行防止。
另外，当上述杆85后退时，第二杆用密封构件35也向后方侧(图4中右侧)移动，并且以宽度(图4中左右方向长度、W2)减小的方式变形。因此，在上述第二杆用密封构件35与第二密封构件嵌合部25b的前侧的面(图4中左侧的面)之间产生间隙。并且，润滑脂进入到该间隙内。该润滑脂的移动使上述压力变化吸收用槽86的空气层的空气压减少，其结果是，从润滑脂供给通路29c和润滑脂存积部50经由润滑脂供给通路(节流孔)29d供给润滑脂，但由于该润滑脂被收容在上述压力变化吸收用槽86内，因此不会对上述杆85的外周面供给过量的润滑脂。另外，也不会供给不能利用上述软刮器33e完全保持的量的润滑脂。由此，能对润滑脂经由上述第一杆用密封构件33与上述杆85的间隙向外壳3外部的流出进行防止。
另外，在上述外壳主体5的两端面上，前盖7和后盖9不是粘接，而是形成为借助了螺栓39的能装拆的安装结构，因此能够易于进行外壳3的分解·组装。
另外，由于在外壳主体5与前支架23a之间夹插有前盖用密封构件41，并且在上述外壳主体5与后盖9之间夹插有后盖用密封构件62，因此能够可靠地防止在上述外壳主体5的两端面发生的异物和水滴等向外壳3内部的侵入，提高上述致动器1的防尘·防水性能。
另外，由于在上述前支架23a上设置有第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35，因此能够利用该第一杆用密封构件33及第二杆用密封构件35，对在上述外壳3的供杆85贯穿的部分发生的异物和水滴等向上述外壳3内部的侵入进行防止。
另外，上述第一杆用密封构件33设置在杆用通孔25的外部侧(图3中左侧)，并且上述第二杆用密封构件35也设置在杆用通孔25的内部侧(图3中右侧)。因此，即使假设异物和水滴等从上述第一杆用密封构件33与上述杆85的间隙中侵入，也能利用上述第二杆用密封构件35防止上述异物和水滴等进一步向上述外壳3内侵入。也就是说，能在两个阶段防止上述异物和水滴等进一步向上述外壳3内侵入。
另外，由于在上述第一杆用密封构件33的内周面的后端侧(图3中右侧)设置有软刮器33e，因此能够利用该软刮器33e在上述第一杆用密封构件33与上述第二杆用密封构件35之间发挥密封功能，并且能够捕捉上述异物和水滴等。
另外，上述第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35也能防止未图示的润滑脂和在上述外壳3内部产生的磨损粉末等异物从上述外壳3内部向外部流出。另外，与上述的异物和水滴等从上述外壳3外部侵入的情况同样，设置有上述第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35这两个阶段的杆用密封构件，因此，能够更加可靠地防止上述润滑脂和在上述外壳3内部产生的磨损粉末等异物的流出。另外，也能利用上述软刮器33e防止上述润滑脂和在上述外壳3内部产生的磨损粉末等的异物向上述外壳3外部流出。
这样，能够利用上述第一杆用密封构件33、上述第二杆用密封构件35及上述软刮器33e提高上述致动器1的防尘·防水性能。
另外，上述软刮器33e保持润滑脂，因此能够利用上述软刮器33e对上述杆85的外周面供给上述润滑脂。
另外，上述第二杆用密封构件35是具有X字形的截面形状的环状的构件，在前端侧(图4中左侧)和后端侧(图4中右侧)这两个部位与杆85接触，因此能够提高防尘·防水性能。另外，上述第二杆用密封构件35与杆85的接触面积小，因此能够减小滑动阻力。
另外，由于在上述螺栓65e的头部与上述外壳主体5之间夹插有外壳用密封构件65f，因此能够可靠地防止在通孔17内发生的异物和水滴等向上述外壳3内部的侵入，能够提高上述致动器1的防尘·防水性能。
另外，前盖7由前支架23a和轴承支架23b构成，在上述前支架23a与上述轴承支架23b之间形成有润滑脂存积部50，因此不需要复杂的加工就能容易地形成上述润滑脂存积部50。
另外，能够利用被保持在上述润滑脂存积部50内的润滑脂使上述杆85的移动顺利进行。另外，利用软刮器33e也在第一杆用密封构件33侧保持润滑脂，因此能使上述杆85的移动更加顺利地进行。
另外，由于在上述前支架23a侧设置有上述第一杆用密封构件33和上述第二杆用密封构件35这两个构件，因此通过仅将上述前支架23a卸下，就能容易地更换上述第一杆用密封构件33和上述第二杆用密封构件35。
另外，在调节轴心的阶段，由于未安装有上述前支架23a、第一杆用密封构件33、软刮器33e及第二杆用密封构件35，因此在使上述杆85沿轴向移动时，不存在由上述这些构件产生的摩擦阻力的影响，能够容易地调节上述杆85的轴心。
另外，对上述第一杆用密封构件33和上述第二杆用密封构件35实施DLC涂层来作为表面硬化处理，并且对杆85的外周面实施镀硬铬来作为表面硬化处理。因此，能使上述第一杆用密封构件33及上述第二杆用密封构件35与上述杆85间的摩擦系数减小，实现致动器1的平滑的动作，并且能够提高上述第一杆用密封构件33、上述第二杆用密封构件35及上述杆85的耐磨损性。
另外，通过使轴承箱67、电动机支架69、电动机73、滚珠丝杠78、球螺母79和杆85等与底座65成为一体而构成致动器主体10，因此，通过将上述致动器主体10内置到外壳3内以及从上述外壳3内取出上述致动器主体10，能够容易地进行上述致动器的组装·分解。
另外，上述电动机支架69和上述轴承箱67由固定螺钉71固定。因此，仅将上述固定螺钉71去除，就能容易地将上述电动机支架69、电动机73及编码器75成为一体的部分与致动器主体10分离。另外，当卸下上述外壳3的后盖9时，能够容易地将上述电动机支架69、上述电动机73及编码器75成为了一体的部分取出到上述外壳3外，容易地修理·更换上述电动机73和上述编码器75等。
接下来，参照图8说明本发明的第二实施方式。
首先，对根据该第二实施方式的致动器87的结构进行说明。
根据第二实施方式的致动器87形成为与上述第一实施方式的致动器1大致相同的结构，但前盖89并非如上述的第一实施方式中的前盖7那样由前支架23a和轴承支架23b这两个构件构成，而是由一个构件构成的。因此，未形成在上述的第一实施方式中的前盖7存在的润滑脂存积部50。
另外，由于由一个构件构成，因此在上述前盖89上也未设置在上述的第一实施方式中设置在上述前支架23a与上述轴承支架23b之间的O形环51。
另外，在该第二实施方式的情况下，杆用通孔25是供上述前盖89整体贯穿的通孔，在杆用通孔25的后端侧(图8中右端侧)设置有轴承53。
另外，本实施方式的其它结构与上述第一实施方式的致动器1相同，对于与第一实施方式的情况相同的部分，标注与第一实施方式相同的符号，并且省略说明。
接下来，对第二实施方式的致动器87的作用进行说明。
第二实施方式的致动器87也起到与上述第一实施方式的致动器1大致相同的作用。
但需要注意的是，在上述致动器87中，由于不存在前盖89的润滑脂存积部，因此，不能进行上述润滑脂存积部中的润滑脂的保持以及从上述润滑脂存积部进行的润滑脂的供给。
另外，通过进行孔加工等，能够设置润滑脂存积部。
接下来，对根据第二实施方式的致动器87的效果进行说明。
根据第二实施方式的致动器87也能起到与上述第一实施方式的致动器1大致相同的效果。
此外，由于前盖89由单一构件构成，因此零件件数减少，零件的管理容易进行，并且能够降低制造成本。另外，结构也得到简化。
另外，本发明不限定于上述的第一实施方式和第二实施方式。
首先，在上述的第一实施方式和第二实施方式中，作为杆用密封构件，设置有第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35这两个杆用密封构件，但也可以考虑设置三个以上的杆用密封构件。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式的情况下，以被引导部83以滚动且滑动自如的方式被导轨65b、65b引导的结构为例进行了说明，但也可以是线性引导件那样的结构。
另外，在上述的第一实施方式和第二实施方式中，压力变化吸收用槽86是环状槽，但也可以沿周向断续地设置该压力变化吸收用槽86。
但需要注意的是，需要使断续设置的多个槽中的至少一个槽与润滑脂供给通路(节流孔)29d连通。
另外，也可以考虑沿轴向设置多个压力变化吸收用槽86。
另外，压力变化吸收用槽86的形状和大小并不特别限定于此。
另外，对杆主体85a、第一杆用密封构件33和第二杆用密封构件35实施的表面硬化处理可以考虑各种种类。
另外，在上述的第一实施方式和第二实施方式的情况下，对上述第一杆用密封构件33和上述第二杆用密封构件35均实施了作为表面硬化处理的DLC涂层，但也可以考虑只对上述第一杆用密封构件33和上述第二杆用密封构件35中任一方实施作为表面硬化处理的DLC涂层。
另外，也可以考虑只对上述杆主体85a侧实施表面硬化处理，以及只对上述第一杆用密封构件33和上述第二杆用密封构件35侧实施表面硬化处理。除此之外，本发明不限定于图示的结构，可以考虑各种变形。
工业实用性
本发明涉及一种例如用在工业用机器人中的致动器，特别是，对于设法通过设置将随着杆的进退发生的压力变化吸收的压力变化吸收用槽而能在上述杆前进/后退时防止润滑剂向外壳外部流出的致动器、例如用在食品制造用机器人中的致动器是优选的。
(符号说明)
1…致动器；
3…外壳；
5…外壳主体；
7…前盖；
9…后盖；
10…致动器主体；
11a…前开口部；
11b…后开口部；
23a…前支架；
23b…轴承支架；
29d…润滑脂供给通路(节流孔)；
33…第一杆用密封构件；
33e…软刮器；
35…第二杆用密封构件；
41…前盖用密封构件；
50…润滑脂存积部；
62…后盖用密封构件；
73…电动机；
78…滚珠丝杠；
65f…外壳用密封构件；
79…球螺母；
85…杆；
86…压力变化吸收用槽；
87…致动器；
89…前盖。

Claims (13)

1.一种致动器，其特征在于，包括：
外壳，所述外壳设置有杆用通孔；
杆，所述杆贯穿所述杆用通孔，并使所述杆的一部分朝向所述外壳外部突出，以驱动所述杆进退；
第一杆用密封构件，所述第一杆用密封构件设置在所述杆用通孔的外壳外部侧；
第二杆用密封构件，所述第二杆用密封构件设置在所述杆用通孔的外壳内部侧；
润滑剂供给部，所述润滑剂供给部设于所述外壳，并将润滑剂供给到所述杆用通孔；以及
压力变化吸收用槽，所述压力变化吸收用槽设置在所述杆用通孔的所述第一杆用密封构件与所述第二杆用密封构件之间，且设置成与所述润滑剂供给部连通的状态而形成有空气层，并且将伴随着所述杆的进退而发生的压力变化吸收。
2.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，
所述润滑剂供给部包括节流孔，
所述压力变化吸收用槽设置为与所述节流孔连通的状态。
3.如权利要求2所述的致动器，其特征在于，
所述压力变化吸收用槽设置成环状。
4.如权利要求1至3中任一项所述的致动器，其特征在于，
在比所述压力变化吸收用槽靠外壳外部侧的位置设置有供所述杆贯穿并保持所述润滑剂的软刮器。
5.如权利要求1至4中任一项所述的致动器，其特征在于，
所述外壳由如下部分构成：在两端包括前开口部和后开口部的外壳主体、封闭所述前开口部的前盖、以及封闭所述后开口部的后盖，
在所述前盖与所述外壳主体之间夹插有前盖用密封构件，
在所述后盖与所述外壳主体之间夹插有后盖用密封构件。
6.如权利要求5所述的致动器，其特征在于，
在所述外壳主体内内置有致动器主体，
该致动器主体由电动机、由该电动机驱动旋转的螺钉、与该螺钉螺合的螺母、以及固接于该螺母的所述杆构成。
7.如权利要求5或6所述的致动器，其特征在于，
所述前盖由前支架、以及配置在该前支架的轴向内侧的轴承支架构成，
在所述前支架与轴承支架之间设置有润滑脂存积部。
8.如权利要求7所述的致动器，其特征在于，
所述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件设置在所述前支架侧。
9.如权利要求1至8中任一项所述的致动器，其特征在于，
对所述杆的外表面实施表面硬化处理。
10.如权利要求9所述的致动器，其特征在于，
对所述杆实施的表面硬化处理是镀硬铬。
11.如权利要求1至8中任一项所述的致动器，其特征在于
对所述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件的至少内表面实施表面硬化处理。
12.如权利要求11所述的致动器，其特征在于，
对所述第一杆用密封构件及第二杆用密封构件实施的表面硬化处理是DLC(类金刚石薄膜(Diamond Like Carbon))涂层。
13.如权利要求6至12中任一项所述的致动器，其特征在于，
通过使螺钉构件从外壳的外侧螺合而将所述致动器主体固定于外壳，在所述螺钉构件的所述外壳的贯穿部设置有外壳用密封构件。
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