CN103978479B - 水平多关节机械手 - Google Patents

水平多关节机械手 Download PDF

Info

Publication number
CN103978479B
CN103978479B CN201410104274.5A CN201410104274A CN103978479B CN 103978479 B CN103978479 B CN 103978479B CN 201410104274 A CN201410104274 A CN 201410104274A CN 103978479 B CN103978479 B CN 103978479B
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
horizontal arm
angular velocity
angular
horizontal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410104274.5A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
CN103978479A (zh
Inventor
五十岚克司
大野政俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN103978479A publication Critical patent/CN103978479A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103978479B publication Critical patent/CN103978479B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1628Programme controls characterised by the control loop
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/088Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices with position, velocity or acceleration sensors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02Sensing devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/06Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1628Programme controls characterised by the control loop
    • B25J9/1641Programme controls characterised by the control loop compensation for backlash, friction, compliance, elasticity in the joints
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1628Programme controls characterised by the control loop
    • B25J9/1651Programme controls characterised by the control loop acceleration, rate control
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1694Programme controls characterised by use of sensors other than normal servo-feedback from position, speed or acceleration sensors, perception control, multi-sensor controlled systems, sensor fusion
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S901/00Robots
    • Y10S901/27Arm part
    • Y10S901/28Joint

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manipulator (AREA)
CN201410104274.5A 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手 Active CN103978479B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011035859A JP5817142B2 (ja) 2011-02-22 2011-02-22 水平多関節ロボット
JP2011-035859 2011-02-22
CN201110450024.3A CN102642202B (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110450024.3A Division CN102642202B (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103978479A CN103978479A (zh) 2014-08-13
CN103978479B true CN103978479B (zh) 2017-03-01

Family

ID=45656038

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410104274.5A Active CN103978479B (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手
CN201110450024.3A Active CN102642202B (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手
CN201510566748.2A Pending CN105150204A (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110450024.3A Active CN102642202B (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手
CN201510566748.2A Pending CN105150204A (zh) 2011-02-22 2011-12-29 水平多关节机械手

Country Status (6)

Country Link
US (3) US8798795B2 (enExample)
EP (1) EP2492064B1 (enExample)
JP (1) JP5817142B2 (enExample)
KR (2) KR101382815B1 (enExample)
CN (3) CN103978479B (enExample)
TW (2) TW201544273A (enExample)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102343592A (zh) * 2010-08-05 2012-02-08 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机器人臂部件
JP5821210B2 (ja) * 2011-02-22 2015-11-24 セイコーエプソン株式会社 水平多関節ロボット及び水平多関節ロボットの制御方法
JP6111563B2 (ja) 2012-08-31 2017-04-12 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP6332899B2 (ja) * 2012-08-31 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP6111562B2 (ja) 2012-08-31 2017-04-12 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP5962340B2 (ja) 2012-08-31 2016-08-03 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP6332900B2 (ja) * 2012-08-31 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステム及びロボット制御装置
JP6008112B2 (ja) * 2012-10-23 2016-10-19 セイコーエプソン株式会社 水平多関節ロボット
WO2014085163A1 (en) * 2012-11-30 2014-06-05 Applied Materials, Inc Vibration-controlled substrate handling robot, systems, and methods
JP2014205197A (ja) * 2013-04-10 2014-10-30 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
JP2014205198A (ja) 2013-04-10 2014-10-30 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
JP6155780B2 (ja) * 2013-04-10 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
JP2014205199A (ja) * 2013-04-10 2014-10-30 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
JP6354122B2 (ja) * 2013-06-05 2018-07-11 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP6314428B2 (ja) * 2013-11-01 2018-04-25 セイコーエプソン株式会社 ロボット、制御装置及びロボットシステム
CN104669244A (zh) 2013-12-02 2015-06-03 精工爱普生株式会社 机器人
TW201521979A (zh) 2013-12-10 2015-06-16 Hiwin Tech Corp 水平多關節機械手臂
JP2016068203A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP6339534B2 (ja) * 2015-07-17 2018-06-06 ファナック株式会社 最大で二つのワークを把持するハンドを備えたロボットの制御方法およびロボット制御装置
EP3481600A4 (en) * 2016-04-21 2020-04-29 Hughen Gerrard Thomas ROBOTIC SYSTEM FOR PERFORMING AN OPERATION
JP2018042448A (ja) * 2016-08-31 2018-03-15 セイコーエプソン株式会社 モーターユニットおよびロボット
CN107791276B (zh) * 2016-08-31 2022-06-24 精工爱普生株式会社 机器人
JP6792470B2 (ja) * 2017-02-01 2020-11-25 株式会社神戸製鋼所 多関節溶接ロボット
JP6457567B2 (ja) * 2017-02-15 2019-01-23 ファナック株式会社 水平多関節型ロボット
US10173323B2 (en) * 2017-06-09 2019-01-08 Precise Automation, Inc. Collaborative robot
US10252420B2 (en) 2017-06-09 2019-04-09 Precise Automation, Inc. Collaborative robot
JP2019048360A (ja) * 2017-09-12 2019-03-28 セイコーエプソン株式会社 ロボット、及びロボットシステム
CN107538472B (zh) * 2017-10-12 2021-01-12 王磊 一种机械臂及机器人和机器人实验系统
JP7135448B2 (ja) * 2018-05-31 2022-09-13 セイコーエプソン株式会社 ロボット
JP7147290B2 (ja) * 2018-06-26 2022-10-05 セイコーエプソン株式会社 ロボットおよびロボットシステム
JP7183601B2 (ja) * 2018-07-20 2022-12-06 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステムおよびロボットシステムの制御方法
KR102228514B1 (ko) 2019-03-29 2021-03-15 엘지전자 주식회사 파워 어시스트 기능을 갖는 카트의 핸들 어셈블리 및 카트
JP7207094B2 (ja) * 2019-03-29 2023-01-18 セイコーエプソン株式会社 水平多関節ロボット
WO2020226198A1 (ko) 2019-05-07 2020-11-12 엘지전자 주식회사 파워 어시스트 기능을 갖는 카트의 핸들 어셈블리 및 카트
JP7290475B2 (ja) * 2019-05-30 2023-06-13 ファナック株式会社 ロボット
JP7451889B2 (ja) * 2019-06-27 2024-03-19 セイコーエプソン株式会社 ロボット
CN111113370B (zh) * 2020-01-09 2025-06-10 西南交通大学 一种曲臂式巡线机器人
TWI728683B (zh) * 2020-02-05 2021-05-21 上銀科技股份有限公司 潤滑裝置及具有該潤滑裝置的機械手臂
CN113246173B (zh) * 2020-02-11 2022-07-15 上银科技股份有限公司 润滑装置及具有该润滑装置的机械手臂
JP6887581B1 (ja) * 2020-06-11 2021-06-16 三菱電機株式会社 水平多関節ロボット
JP2023079111A (ja) * 2021-11-26 2023-06-07 セイコーエプソン株式会社 ロボットアームおよびロボットシステム
CN114368006A (zh) * 2022-03-01 2022-04-19 柳州铁道职业技术学院 一种可伸缩关节机器人
CN115771023B (zh) * 2022-11-24 2024-04-02 臻越自动化技术(上海)有限公司 一种具有检测功能的卡扣安装机构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101259585A (zh) * 2007-03-07 2008-09-10 精工爱普生株式会社 生产系统用通用单元及采用该通用单元的生产系统
CN101506963A (zh) * 2006-08-21 2009-08-12 株式会社安川电机 双臂型机器人

Family Cites Families (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3119009A (en) * 1955-07-15 1964-01-21 Weltronic Co Welding apparatus
US4158161A (en) * 1977-05-14 1979-06-12 Kanekichi Suzuki Apparatus for guiding a welder or the like along a predetermined path
JPS5918194B2 (ja) * 1978-01-31 1984-04-25 ファナック株式会社 工業用ロボット制御方法
WO1983001050A1 (en) * 1981-09-25 1983-03-31 Colin David Norman A thermalling sailplane turn indicator
USRE32414E (en) * 1981-12-08 1987-05-12 Zymark Corporation Robot and control system
AU3583084A (en) * 1983-12-10 1985-06-13 Aida Engineering Ltd. Playback grinding robot
FR2565153B1 (fr) * 1984-05-29 1986-09-26 Ecole Centrale Arts Manufactur Dispositif d'equilibrage des forces de pesanteur dans un bras robotique
JPH04294986A (ja) * 1991-03-22 1992-10-19 Sanyo Electric Co Ltd ロボットアームの長さ測定方法およびこれを用いた水平多関節ロボットの座標値補正方法
JPH0674774A (ja) * 1992-08-27 1994-03-18 Murata Mfg Co Ltd ジャイロの駆動回路
US5481913A (en) * 1992-10-12 1996-01-09 Nippondenso Co. Ltd. Angular velocity sensor and method of adjusting the same
US5605487A (en) * 1994-05-13 1997-02-25 Memc Electric Materials, Inc. Semiconductor wafer polishing appartus and method
JP3039364B2 (ja) * 1996-03-11 2000-05-08 株式会社村田製作所 角速度センサ
US5945599A (en) * 1996-12-13 1999-08-31 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Resonance type angular velocity sensor
JP4075022B2 (ja) * 1998-06-24 2008-04-16 アイシン精機株式会社 角速度センサ
US6837978B1 (en) * 1999-04-08 2005-01-04 Applied Materials, Inc. Deposition uniformity control for electroplating apparatus, and associated method
US6551488B1 (en) * 1999-04-08 2003-04-22 Applied Materials, Inc. Segmenting of processing system into wet and dry areas
JP3609302B2 (ja) * 1999-10-18 2005-01-12 アルプス電気株式会社 角度検出装置
US6570356B2 (en) * 2000-04-07 2003-05-27 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Robot system
JP3589182B2 (ja) * 2000-07-07 2004-11-17 株式会社村田製作所 外力計測装置
US20040020780A1 (en) * 2001-01-18 2004-02-05 Hey H. Peter W. Immersion bias for use in electro-chemical plating system
JP3579832B2 (ja) * 2001-06-07 2004-10-20 日本航空電子工業株式会社 3軸加速度/角速度計
JP3870895B2 (ja) * 2002-01-10 2007-01-24 株式会社村田製作所 角速度センサ
KR200277585Y1 (ko) * 2002-01-25 2002-06-14 주식회사 로보테크 수평다관절 로봇의 외부케이블 배선장치
US8145350B2 (en) * 2002-11-01 2012-03-27 Lantech.Com, Llc Method and system for building a load
US6823733B2 (en) * 2002-11-04 2004-11-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Z-axis vibration gyroscope
EP1633534B1 (en) * 2003-04-28 2018-09-12 Nikon Metrology NV Cmm arm with exoskeleton
JP3883544B2 (ja) * 2004-02-27 2007-02-21 株式会社東芝 ロボット制御装置およびロボットの制御方法
JP2006167864A (ja) * 2004-12-16 2006-06-29 Seiko Epson Corp 水平多関節型ロボット
JP3988768B2 (ja) * 2004-12-16 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 リンク駆動機構およびこれを用いた産業用ロボット
JP2007040766A (ja) * 2005-08-01 2007-02-15 Toyota Motor Corp センサユニット
JP4148280B2 (ja) * 2005-10-18 2008-09-10 セイコーエプソン株式会社 平行リンク機構及び産業用ロボット
JP4232795B2 (ja) * 2005-10-19 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 平行リンク機構及び産業用ロボット
US7826924B2 (en) * 2006-05-10 2010-11-02 Vinpower, Inc. Standalone intelligent autoloader with modularization architectures and self-adaptive motion control ability for mass optical disks duplication
JP2008157810A (ja) * 2006-12-25 2008-07-10 Tdk Corp 角速度センサ素子および角速度センサ装置
KR20090093745A (ko) * 2008-02-29 2009-09-02 주식회사 하이드로젠파워 로봇 관절
WO2009114514A2 (en) * 2008-03-11 2009-09-17 Tripath Imaging, Inc. Integrated sequential sample preparation system
JP5272588B2 (ja) * 2008-09-01 2013-08-28 セイコーエプソン株式会社 水平多関節型ロボット
JP5338223B2 (ja) * 2008-09-25 2013-11-13 セイコーエプソン株式会社 スカラロボットの手首軸回転駆動機構
JP5375237B2 (ja) * 2009-03-19 2013-12-25 セイコーエプソン株式会社 放熱装置付き旋回型アーム及び水平多関節型ロボット
JP2010221340A (ja) * 2009-03-24 2010-10-07 Seiko Epson Corp 水平多関節型ロボット
JP4957753B2 (ja) * 2009-06-15 2012-06-20 セイコーエプソン株式会社 ロボット、搬送装置、及び慣性センサーを用いた制御方法
JP5444875B2 (ja) * 2009-06-24 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 ロボット制御装置
JP2011020188A (ja) * 2009-07-14 2011-02-03 Seiko Epson Corp ロボット装置およびロボット装置の制御方法
WO2011086633A1 (ja) * 2010-01-12 2011-07-21 ソニー株式会社 角速度センサ、電子機器及び角速度の検出方法
FI20115923A0 (fi) * 2011-09-21 2011-09-21 Zenrobotics Oy Iskunvaimennusrakenne
JP5950716B2 (ja) * 2012-06-25 2016-07-13 キヤノン株式会社 ロボット及びロボット制御方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101506963A (zh) * 2006-08-21 2009-08-12 株式会社安川电机 双臂型机器人
CN101259585A (zh) * 2007-03-07 2008-09-10 精工爱普生株式会社 生产系统用通用单元及采用该通用单元的生产系统

Also Published As

Publication number Publication date
US8798795B2 (en) 2014-08-05
CN103978479A (zh) 2014-08-13
US9481085B2 (en) 2016-11-01
EP2492064A3 (en) 2017-11-29
TW201544273A (zh) 2015-12-01
JP5817142B2 (ja) 2015-11-18
CN105150204A (zh) 2015-12-16
TW201242731A (en) 2012-11-01
CN102642202A (zh) 2012-08-22
JP2012171051A (ja) 2012-09-10
EP2492064A2 (en) 2012-08-29
TWI488722B (zh) 2015-06-21
KR101382815B1 (ko) 2014-04-08
KR20130056879A (ko) 2013-05-30
US20140316574A1 (en) 2014-10-23
US20170008170A1 (en) 2017-01-12
KR20120096397A (ko) 2012-08-30
KR101471285B1 (ko) 2014-12-09
CN102642202B (zh) 2015-10-07
EP2492064B1 (en) 2021-01-06
US20120215356A1 (en) 2012-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103978479B (zh) 水平多关节机械手
CN103934831B (zh) 机器人
CN102642203B (zh) 水平多关节机器人以及水平多关节机器人的控制方法
JP3987845B2 (ja) 産業用ロボットの線条体処理構造
CN107000201B (zh) 双臂机器人
CN105307824B (zh) 具有设置在悬臂上的驱动器布局的工业机器人
CN100374258C (zh) 工业用机器人的管线处理构造
JP5545337B2 (ja) ロボットアームおよびロボット
US9884422B2 (en) Robot
JP4822061B2 (ja) 双腕ロボット
JP6277672B2 (ja) ロボット
CN110831729A (zh) 机器人臂的手腕及双臂机器人
JP2015104764A (ja) アーム機構
JP2013006243A (ja) 水平多関節ロボット
JP7069757B2 (ja) 水平多関節ロボット
CN116175531A (zh) 机械臂及机器人系统
CN116460827A (zh) 机器人
JP6277671B2 (ja) ロボット
JP3791682B2 (ja) エンドエフェクタ用動力伝達方法
JP2013082068A (ja) 産業用ロボット

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant