CN100374258C - 工业用机器人的管线处理构造 - Google Patents

Abstract

本发明涉及安装有作业工具而被使用的工业用机器人的管线处理构造，具备插通管线并将管线由机器人的前臂引导至被安装在机器人的手腕部的作业工具的柔性导管、与前臂邻接而被设置的第1导管安装部、与管线被连接到作业工具的位置邻接而被设置的第2导管安装部。在第1安装部安装导管的一端，同时在第2导管安装部安装导管的另一端，在第1导管安装部至第2导管安装部之间，不与机器人的机体接触地配设导管。

Description

工业用机器人的管线处理构造

技术领域

本发明涉及安装有作业工具而被使用的工业用机器人中的管线处理构造。

背景技术

在工业用机器人(以下简称为“机器人”)中非常多的情况是将作业工具安装在机器人前臂的前端部，并且使用由配线和配管(1根或多根)形成的管线向该作业工具供给空气等材料或电力等能源和信号。在此情况下，管线通常经过机器人前臂的上方配设至作业工具上。图1表示这种以往技术的例子。

在图1中，符号1是由机器人控制器2控制的机器人，在机器人1的前臂10的前端，绕沿着自身的长度方向延伸的第1轴线A可以旋转地设置第1手腕要素11，并且，在该第1手腕要素11上绕与第1轴线A大体垂直相交的第2轴线B可以旋转地设置第2手腕要素12。另外，在第2手腕要素12上，作业工具被设置在绕与第2轴线B大体垂直的第3轴线C1可以旋转地被安装的第3手腕要素13的前端凸缘部。再者，作业工具H的一部分(例如支撑底座)有时也兼做第3手腕要素13。

作业工具H在本例中是使用了吸盘的机器手。符号3是设置在机器人1外部的空气供给/吸气装置，连接空气供给/吸气装置3的通气管31与供给电力及电信号等的控制缆线21在适宜的地方合并，且连接到电磁阀盒4中。由电磁阀盒4至机器手H，通过管(管线)7进行空气供给/吸气。机器人控制器2以众所周知的状态控制空气供给/吸气装置3和电磁阀盒4，由此进行向机器手H的吸盘的空气供给(即，握持OFF)和空气吸入(即，握持ON)的切换。

在这里成为问题的是，由于机器人动作时引起绕各轴线A、B、C1等的旋转，从而能够带来管线7与机器人1的机体(由前臂10起的前面部分)接触、缠绕到手腕要素11、12上、强力地被拉扯的情况。尤其在绕轴线C1的动作范围较大时(例如大约360度)更为显著。例如，在将杂乱的物品整齐排列在另外的托盘上的操作机器人系统中，机器人的手腕轴的形态设为一定，为了配合物品的相位一般只有最终轴(绕轴线C1的旋转)进行较大范围的动作，容易引起上述问题。

为了回避此类问题，以往如图所示采用将管线7设置为较大地向外侧突出然后再连接到机器手(作业工具)H的方法。

但是，若像这样使管线7较大地突出于外侧地进行配设，机器人手腕轴动作(尤其绕第3轴C1的动作)时，管线7的举动就会变得不稳定，机器人机体的一部分(由前臂起的前而部分)或周边机器和管线7接触(干涉)，有使管线7自身或周边机器破损的危险性。另外，管线7和其他物体接触摩擦成为产生微细粉尘的原因，使作业环境恶化。虽然还有在前臂10上用L字形状的部件5和弹性体6将管线7吊起对其动作进行弹性地限制的方法，但是并不能说有足够的干涉防止的效果。而且，因为弯曲和扭曲等施加在配线配管的负担也较大。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种管线处理构造，能够不较大地向外突出地铺设用于向安装在机器人的手腕前端的作业工具进行空气和电力等供给的管线，并且，能够防止机器人机体(由前臂起的前而部分)和管线之间的相互干涉。另外，本发明的另外一个目的在于提供一种降低了机器人作业区域的环境恶化的可能性的管线处理构造。

本发明提供一种工业用机器人的管线处理构造，用于在工业用机器人中铺设处理由被连接到作业工具上的配线及配管的两方或一方构成的管线，上述工业用机器人具备：绕沿自身的长度方向延伸的第1轴线可以旋转地被安装在机器人的前臂的前端的第1手腕要素、绕与上述第1轴线大体垂直地延伸的第2轴线可以旋转地安装在上述第1手腕要素上的第2手腕要素、以及绕与上述第2轴线大体垂直地延伸的第3轴线可以旋转地安装在上述第2手腕要素上的作业工具；具备穿通上述管线并且将该管线由上述前臂引导至上述作业工具的柔性导管、与上述前臂邻接而被设置的第1导管安装部、以及与上述管线被连接到上述作业工具上的位置邻接而被设置的第2导管安装部；在上述第1导管安装部上安装有上述导管的一端的同时，在上述第2导管安装部上安装有上述导管的另一端，在上述第1导管安装部至上述第2导管安装部之间不与上述机器人的机体接触地配设上述导管。由此，机器人前端轴即使进行近于例如360度的较大旋转，管线的动作也不会变得不稳定。

在上述管线处理构造中，如果至少上述导管的上述另一端旋转自由地被安装在上述第2导管安装部(作业工具部的导管安装部)，那么即使在机器人前端轴进行近于360度的旋转情况下，导管上也不会发生扭曲力。这在提高导管的耐久性方面是有利的。

上述管线处理构造还配备有搭载在前臂上的拉力产生装置和连接该拉力装置的线部件，通过将上述导管的中途部分与上述线部件连接，也可以将上述导管拉向前臂后方。另外，在该情况下，理想的是在由上述拉力产生装置至上述中途部分的中途，线部件在前臂后方折回并连接到上述中途部分上。通过这样的拉近，在机器人手腕轴动作的情况下，也很难发生导管内有不必要的多余的长度或长度不足的现象，管线的姿态也会稳定，在机器人前臂周边容易地吸收机器人手腕轴的动作。

理想的是拉力产生装置配备弹簧平衡器。利用该弹簧平衡器，使设置在机器人前臂的拉力产生装置紧凑的同时，能够使其产生一定的拉力

另外，为了维持作业环境特别是作业工具周围的作业环境的清洁，最好对上述导管内的空气进行抽吸。通过这样的空气抽吸，即使在上述导管内出现了因管线的摩擦产生的粉尘，也能够防止它们向导管外部尤其是向作业工具附近流出。

再者，理想的是上述第3轴线从沿上述第2手腕要素的长度方向延伸的轴线起只偏移预先设定的距离且与该轴线平行地延伸。

还有，理想的是用于作业工具绕第3轴旋转的驱动力借助传动机构从伺服马达传递上述作业工具上，借助上述传动机构对上述伺服马达的旋转进行加速或减速。例如，通过将位于机器人前端的减速机输出轴的旋转加速并传递给作业工具的旋转轴，便可以利用较少的部件构成提高机器人最终轴的最高旋转速度。

采用本发明，即使机器人手腕轴较大动作时，也能够回避作业工具用管线(配线及/或配管)在机器人前臂的周边出现不稳定的动作。这样，可以延长管线的寿命以及防止与周边的破损。另外，作为其次的效果，也可以容易地进行脱线示教。

附图说明

下面参照附图在本发明的优选实施例的基础上，对本发明上述及其他的目的、特征、优点进行更为详细的说明。

图1是对在作为作业工具、使用了的吸附机器手的操作机器人系统中的以往的管线处理构造进行说明的概略图。

图2是表示通过在作为作业工具、使用了吸附机器手的操作机器人系统中应用本发明的管线处理构造而获得的工业用机器人的一个实施例的概略图。

图3A及图3B是对图2所示实施例中机器人进行姿势变化时第1手腕要素和第2手腕要素的状态进行说明的说明图，分别表示为第1姿势和第2姿势。

图4放大表示图2所示实施例中的作业工具的周边部的截面图。

图5是表示通过在作为作业工具、使用的吸附机器手的操作机器人系统中应用本发明而获得的工业用机器人的另一个实施例的概略图。

图6A～图6C是对图5所示的实施例中使第2手腕要素绕第2轴线旋转时导管的动作进行说明的说明图，分别表示第2手腕要素的第1姿势、第2姿势、第3姿势。

图7是表示进行导管内的空气抽吸的变型例的概略图。

图8A及图8B是表示利用传动机构使作业工具轴加速时的构成例的截面图及示意图。

具体实施方式

以下，参照附图2～图8对本实施例进行说明。另外，这里作为应用对使用了操作机器人系统的情况进行说明，但这仅仅是一个示例。首先图2是表示具有本发明的一个实施例的管线处理构造的工业用机器人的整体构成的概略图。

在图2中，符号1是具有用机器人控制器2进行控制的6自由度的6轴操作机器人，第1手腕要素11绕第1轴线A可以旋转地被安装在前臂10的前端。如图2所示，第1轴线A是沿第1手腕要素11的长度方向延伸的轴线。另外，在第1手腕要素11上安装第2手腕要素12使其绕与第1轴线A大体垂直延伸的第2轴线B可以旋转。而且，在第2手腕要素12上借助于传动机构20安装作业工具H使其绕与第2轴线B大体垂直的第3轴线C2可以旋转。传动机的例子后面说明。

作业工具在这里为使用了吸盘的机器手(吸附机器手)，通过设置在机器人外部的空气供给/吸气装置对机器手H进行空气供给/排气。

将通气管31连接到空气供给/吸气装置3上，该通气管31和供给电力及电信号等的控制缆线21一同从机器人底座9被引导到机器人1内，并在适宜的地方与控制缆线21合并后连接到电磁阀盒4上。另外，也可以采取将通气管31部不经过机器人1内，而在机器人1的外部由空气供给/吸气装置3延伸至电磁阀盒4(前臂10附近)的配设形式。

在由电磁阀盒4至机器手H的区间内利用通气管(管线)进行空气供给/吸气，但根据本发明的特征，在该区间内设置将通气管(管线)穿通的柔性导管(例如由软质的树脂材料制成的导管)8。导管8的一端(第1端部＝前臂侧的端部)8a被安装在设置于电磁阀盒4的前部的第1导管安装部4a上。另外，导管8的另一端(第2端部＝作业工具一侧的端部)8b被安装在设置于作业工具H的基部一侧(通气管的导入部附近，例如利用传动机构20的一部分)的第2导管安装部Hc上。

这里，第1及第2导管安装部4a和Hc内，对于第2的安装部Hc，导管8(绕自身的长度方向延伸的轴线)旋转自由地被安装。当然，对于第1导管安装部4a，同样也能够旋转自由地安装导管8。另外，将这种导管旋转自由地安装的机构本身为众所周知所以在此不再详细说明。

而且，导管8的长度选择为：即使机器人动作，在前臂10附近至作业工具部之间导管8也接触不到机器人1的机体(从前臂前面的部分)的长度量。因为作业工具(机器手)H可以旋转地被安装，并且该作业工具的中心轴线(即，第3轴线C2)从机器人手腕的前端部的中心轴线(即，后面即将讲到的轴线D1)偏移规定距离，所以像这样的长度的选择能够在设计时通过简单的实验很容易地进行(如图1的例子所示，与具有不偏移的旋转轴线C1的情况比较)。

在以上的构成例中，机器人控制器2以众所周知的形式按照来自程序等的指令使机器人1的各轴驱动用的伺服马达进行动作，然后使机器手H取得适于操作对象物(参照图3)的吸附的位置及姿势，并移动到目标位置上。另外，机器人控制器2在进行动作指令的同时，适时地输出通过机器手H的吸附指令及吸附解除指令，输出控制空气供给/吸气装置3及电磁阀盒4内的电磁阀的指令。由此，进行向机器手H的吸附衬垫的空气供给(即，握住OFF)与空气吸气(即，握住ON)的切换。

还有，由于利用这种方式的操作本身为众所周知，所以省略详细的说明，机器人1根据适宜的操作位置而改变手臂的姿势，一面控制机器手H的位置和姿势一面进行操作作业。另外，不必说也有操作对象体的在位确认等的信号线被连接到机器手H上的情况。在该情况下，该信号线也包括在被连接到作业工具H上的管线内(即，插入穿通导管8内的管线)。再者，当向作业工具供给的材料、能量、信号等不只是这样一个种类的情况下，管线能够采用将多根缆线及/或软管束在一起的形态和整理成一根复合缆线或软管的形态。这样情况下最好也将这些全部穿通到导管8内。另外，以下将以通气管为代表对这些方案进行说明。

一般来说，当机器人手臂的姿势发生改变时，能够引起组合第1手腕要素11绕第1轴线A的旋转、第2手腕要素12绕第2轴线B的旋转以及第3手腕要素13绕第3轴线的旋转其中的一部分或全部的多种的运动。本例中所示的操作机器人的场合是将操作对象体从上方拿取的通例，因此，吸附操作对象体时的姿势和放开对象体时的姿势成为自然确定的姿势。

也就是说，在由对象体的吸附到放开的动作中，第1手腕要素11的姿势与标准的机器人姿势中的手腕姿势大致一致，第2手腕要素12的姿势是从标准的机器人姿势中的手腕姿势转变为作业工具(机器手)H的前端部朝向正下方旋转大约90度后的姿势。与此类似的手腕姿势的状况不只限于操作的用途，一般被认为还通用于电弧溶接合、密封等其他的用途。

考虑到这样的手腕姿势的状况时，像本发明这样，“将作业工具(机器手)H安装在机器人手腕的前端部并使其在从该中心轴线偏移规定距离的后的位置上可以旋转”以及“将向作业工具供给空气(一般为材料、能源、信号等)的管线(配线/配管)通过具有柔性的导管8内”，这些都是非常有价值的。该具有柔性的导管8，如上所述在前臂部与作业工具部之间不与机器人1的机体接触地被延伸设置，导管8由于上述柔性，在机器人动作时，虽相应于所受外力而产生变形，但仍可维持与机器人1的机体的非接触的状态。

图3A及图3B是对机器人进行姿势变化时的第1手腕要素11和第2手腕要素12的状态进行说明的说明图，分别示例第1的姿势及第2的姿势。如这里所示，例如在进行使在工作台TB上散乱放置的工件W1和W2整齐排列到另一个工作台上的操作例子中，通过示例的机器人的两个姿势(即第1姿势及第2姿势)，机器人手腕的姿势基本能够固定为同样的形态。也就是说如图3A及图3B所示能够将第1手腕要素11限定为标准的姿势，将第2手腕要素12限定为相对地面基本垂直的姿势。

机器人1的最终轴为配合对象体的相位需要是将近360°的动作范围，但即使考虑这一因素，第1手腕要素11和第2手腕要素12的姿势可以为基本一定。另外，如本实施例，在作业工具H的后方(导管安装部Hc，参照图2)如果导管8可以旋转地被支撑，那么即使在机器人最终轴进行较大旋转动作时，导管8的内部的管线(通气管，配线等)虽发生弯曲，但导管8自身也基本保持不动。从而使内部的管线的动作稳定成为可能。

向电磁阀盒4的连接(导管安装部4a)即使在第1手腕要素11绕第1轴线A的动作范围为较小的系统的场合也可以固定。

与之相对地，在第1手腕要素11绕第1轴线的动作范围较大系统的场合，与导管安装部Hc同样，最好采用可以旋转的安装方式。如果这样做，能够获得如下益处：在第1手腕要素11绕第1轴线的旋转动作时，作用在导管8上的扭曲力变小。

再者，虽省略图示，导管8内部的管线(配线/配管)一部分连接到电磁阀盒4内的电磁阀等上，再经过机器人手臂内，最终连接到机器人控制器2或空气供给/吸气装置3等上。另外，如前所述，作为另一种形态，也存在电磁阀盒4以后的配线/配管在机器人后方通过空中配线直接连接到控制器2和空气供给/吸气装置3等的情况。

而且，为了减轻机器人的手臂负荷，也有将电磁阀盒4配置在机器人的底座9的近旁的情况。这种情况，将导管8自身直接固定在前臂10的后方上面，使导管8不至于前臂10上乱动。该情况下，导管8固定后被取除，在机器人手臂或机器人后方进行空中配线的状态下，只将导管8的内部的配线/配管连接到机器人控制器2和空气供给/吸气装置3等上。

下面是关于作业工具H的支撑构造的例子，参照以放大截面图所示的作业工具H的周边的图4进行说明。在图4中，符号40表示伺服马达，符号50是将伺服马达40的输出轴(省略图示)结合在输入侧的减速机构，该输出侧借助于减速机构50的输出凸缘51，与传动机构(对应图2中的符号)的输入齿轮52结合。伺服马达40是搭载到减速机构50的同时又搭载到第2手腕要素12上的机器人最终轴驱动用的马达。

传动机构20具有上述的输入齿轮52和啮合该输入齿轮52的输出齿轮55。符号53是收放输入齿轮52及输入齿轮55的齿轮箱，在图示的实施例中，被固定在第2手腕要素12上，但也可以将其固定被固定于第2手腕要素12的要素，例如其固定在伺服马达40和减速机构50的框体上。一旦伺服马达40被驱动，借助于减速机构50及输出凸缘51驱动输入齿轮52。

另一方面，作业工具H具有带中空穴56的筒状的延伸部，该延伸部借助于轴承54可以绕第3轴线C2旋转地被支撑的同时，与输出齿轮55结合(一体化)。因此，如上所述，一旦伺服马达40被驱动而且输入齿轮52旋转，相应地输出齿轮55旋转，作业工具H绕通过中空穴56的第3轴线C2被旋转驱动。还有，轴承54借助于齿轮箱53被固定在第2手腕要素12上，但也可以采用在被固定在第2手腕要素12上的其他要素例如伺服马达40和减速机构50的框体上进行固定的设计，以及直接在第2手腕要素12上固定的设计。

这样，输入齿轮52及输出齿轮55被配置在齿轮箱53内，输入齿轮52由输出凸缘51支撑，输出齿轮55借助于轴承54可以旋转地被支撑在齿轮箱53。在由输出齿轮55延伸的延伸部的前端固定机器手H，在延伸部的相反一侧端部可以旋转地连接导管8。导管8在本例中被连接到齿轮箱53上，内部的管线(配线/配管，例如通气管等)32通过输出齿轮55的中空穴56连接到机器手H内的吸附衬垫等上。输出齿轮55内侧的管线导入部最好带有圆度R等，力求做到不损伤配线/配管。

一旦位于第2手腕要素12前端的伺服马达(这里为机器人的第6轴驱动马达)40动作，就借助于减速机构50旋转驱动输入齿轮52，然后该旋转通过输出齿轮55被传送到作业工具H上。因此，根据来自机器人控制器2的指令，能够自由地改变绕作业工具H的第3轴线C2的姿势。改变姿势时的旋转方向(顺时针旋转/逆时针旋转)也能够根据伺服马达40的旋转方向自由地选择。

另外，输入齿轮52和输出齿轮55之间的变速比可以在对作业工具H所必要的旋转速度、转矩及减速机构50的减速比等进行考虑后再确定。例如当作业工具H所必要的旋转速度较大时，可以采用如图8A及8B所示的加速齿轮机构。即，在机器人前端轴旋转大致360度的系统中，机器人的最终轴所要求的最高速度也自然变高，但是由于机器人最终轴的驱动系配置在机器人前端，因此也必须轻量化。在机器人的设计中必需要取得这些条件的平衡，必然地也要限制最终轴的最高旋转速度的上限。因此，若采用使用如本例中所示的齿轮机构来改变机器人最终轴的旋转的方式，如图8B所示，就能够使向减速机构50的输出轴较低地输出的旋转速度由相对大径的输入齿轮52传送给相对小径的齿轮55，从而将较高的最高旋转速度传给作业工具H。

图5表示借助于拉力产生装置对导管8的动作进行限制的实施例。在图5中，符号60是搭载在前臂10上的拉力产生装置，例如能够使用弹簧平衡器(スプリングバランサ)。在拉力产生装置60上连接有线状部件63，该线状部件63一次延伸到设置在前臂10的后方的滑轮64，在滑轮64折回以后，在该前臂侧端部附近连接导管8。符号61是固定在前臂10上的支撑座，在支撑座61上设置滑轮64。

通过采用这样的构造，导管8可以利用平时适度的拉力将前臂10朝向前臂10的后方拉近。另外，因为拉近的量根据手腕前端部的拉力与拉力产生装置60的拉力的平衡来决定，所以即使在第2手腕要素12绕第2轴线旋转后的场合，也可以避免发生导管8内长度过量和长度不足的情况。

另外，导管8为了维持总是被拉向后方的状态，即使当第2手腕要素12绕第2轴线进行了旋转时，导管8也能保持沿前臂10延伸的姿态。图6A～图6C表示伴随机器人的姿势变化的导管8的姿态的变化。详细的说，图6A表示第2手腕要素12绕第2轴线B旋转且机器手H的前端朝向图中左侧水平方向的第1姿势，图6B表示机器手H朝向图中正下方的第2姿势，图6C表示机器手H朝向图中右斜下方的第3姿势。就像由图6A～C所了解的一样，在由第1姿势至第3姿势中的任何一个姿势中，导管8的姿态都得以稳定，姿态的变化也较小。还有，在由前臂10起前面部分，不会发生接触机器人的机体程度的接近。并且，这本例中，因为在拉力产生装置60上使用了弹簧平衡器，所以能够获得这样的益处：可以将产生一定的拉力的装置紧凑地配置在机器人的前臂。

最后是进行导管8内的空气抽吸的例子，参照图7加以简要的说明。在图7所示的例子中，将导管8内的空气用设置在前臂10上的空气抽吸装置70向前臂10的后方抽吸。由此，能够防止因导管8内的管线(配管/配线)32的摩擦而产生的粉尘S流出导管8外部。

在导管8的内部，由于机器人手腕轴动作，管线(配管/配线)32之间的相互摩擦(配管/配线为多根的情况)和管线与导管8内的内壁面之间的摩擦等能够产生粉尘S。当该粉尘向外部泄漏时，作业环境恶化。特别是当朝作业工具H侧降落漏出时，便造成作业对象体(例如半导体设备芯片等工件)的污染。

因此，像本例这样，若将导管8的内部空气由导管8的后端部抽吸，便能够避免上述的作业环境的恶化和作业对象体的污染的问题。另外，与这样的空气抽吸与否没有关系，从粉尘漏出的防止的观点出发，当然最好也做到导管8内部相对外部尽量能够保持密闭状态。

以上，就附图所示的实施例对本发明进行了说明，但这些实施例完全是说明上的例子，并不意味着限制。因此，本发明的范围由权利要求的范围限定，只要不脱离权利要求的范围，可以修改及变更本发明的优选实施例。

Claims (6)

1.一种工业用机器人的管线处理构造，用于在工业用机器人中铺设处理由被连接到作业工具(H)上的配线及配管的两方或一方构成的管线，上述工业用机器人具备：绕沿自身的长度方向延伸的第1轴线(A)可以旋转地被安装在机器人(1)的前臂(10)的前端的第1手腕要素(11)、绕与上述第1轴线(A)大体垂直地延伸的第2轴线(B)可以旋转地安装在上述第1手腕要素(11)上的第2手腕要素(12)、以及绕与上述第2轴线(B)大体垂直地延伸的第3轴线(C2)可以旋转地安装在上述第2手腕要素(12)上的作业工具(H)；其特征在于，

具备穿通上述管线并且将该管线由上述前臂(10)引导至上述作业工具(H)的柔性导管(8)、与上述前臂(10)邻接而被设置的第1导管安装部(4a)、以及与上述管线被连接到上述作业工具(H)上的位置邻接而被设置的第2导管安装部(Hc)；

在上述第1导管安装部(4a)上安装有上述导管(8)的一端(8a)的同时，在上述第2导管安装部(Hc)上安装有上述导管(8)的另一端(8b)，在上述第1导管安装部(4a)至上述第2导管安装部(Hc)之间不与上述机器人(1)的机体接触地配设上述导管(8)，

至少上述导管(8)的上述另一端(8b)被旋转自如地安装在上述第2导管安装部(Hc)上，上述第3轴线(C2)从沿上述第2手腕要素(12)的长度方向延伸的轴线(D1)只偏离预先设定的距离且与该轴线(D1)平行地延伸。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人的管线处理构造，其特征在于，

还具备搭载在上述前臂(10)上的拉力产生装置(60)和与该拉力装置(60)连接的线部件(63)；

通过将上述导管(8)的中途部分与上述线部件(63)连接，将该上述导管(8)拉向前臂后方一侧。

3.根据权利要求2所述的工业用机器人的管线处理构造，其特征在于，

上述线部件(63)在由上述拉力产生装置(60)至上述中途部分的中途，在前臂后方折回并被连接到上述中途部分上。

4.根据权利要求2所述的工业用机器人的管线处理构造，其特征在于，

上述拉力产生装置(60)具备弹簧平衡器。

5.根据权利要求1所述的工业用机器人的管线处理构造，其特征在于，

在上述导管(8)内进行空气抽吸。

6.根据权利要求1至5中任何一项所述的工业用机器人的管线处理构造，其特征在于，

用于绕上述作业工具(H)的上述第3轴(C2)旋转的驱动力借助于传动机构(20)从伺服马达(40)被传递到上述作业工具(H)上，通过上述传动机构(20)对上述伺服马达(40)的旋转进行加速或减速。

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