CN103128074B - 真空清洗装置以及真空清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明的真空清洗装置具备：生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构，能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室，与上述清洗室相连并保持减压状态的冷凝室，将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构，以及使上述冷凝室与上述清洗室连通或者隔断该连通的开闭机构。

Description

真空清洗装置以及真空清洗方法

技术领域

本发明涉及一种向处于减压下的清洗室供给石油系溶剂的蒸气而对工件进行清洗的真空清洗装置以及真空清洗方法。本申请主张2011年11月25日提出的第2011-257625号日本专利申请的优先权，在此引用其内容。

背景技术

以往，例如公知有日本国特开2003-236479号公报（专利文献1）所示的真空清洗装置。根据该真空清洗装置，首先进行通过真空泵对运入了工件的蒸气清洗、干燥室进行减压的减压工序。之后向蒸气清洗、干燥室供给石油系溶剂的蒸气，进行清洗工件的蒸气清洗工序。接着将工件浸渍在贮留在浸渍室中的石油系溶剂中，进行重点对在蒸气清洗工序中清洗不充分的工件的间隙等进行清洗的浸渍清洗工序。

这样，当工件的清洗完成时，将工件再次运送到蒸气清洗、干燥室中。之后对蒸气、干燥室进一步进行减压，进行使附着在工件表面的溶剂蒸发的干燥工序。并且在干燥工序结束后，使蒸气清洗、干燥室恢复成大气压。之后运出工件，一系列的工序结束。

根据上述专利文献1的真空清洗装置，在干燥工序中，通过真空泵对蒸气清洗、干燥室进行真空抽吸而将其减压。此时，通过以往的机械的旋转驱动式真空泵对被蒸气气化成100倍以上的体积的气体进行排气干燥并不容易。而且，若为了提高干燥性而进一步进行减压，则气体进一步膨胀而花费排气时间。因此，在该以往的干燥方法进行的干燥工序需要较长时间。即，在提高稳定的清洗品质并且提高生产性的干燥工序中，希望其时间缩短。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够缩短工件干燥所需要的时间、提高整体的处理能力的真空清洗装置以及真空清洗方法。

本发明为了解决上述问题而提供了以下的技术方案。本发明的第1技术方案是一种真空清洗装置。该真空清洗装置具备：生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构，能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室，与上述清洗室相连并保持减压状态的冷凝室，将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构，以及使上述冷凝室与上述清洗室连通或者隔断该连通的开闭机构。

本发明的第2技术方案是在上述第1技术方案所涉及的真空清洗装置中，上述温度保持机构将上述冷凝室的温度保持在上述石油系溶剂的冷凝点以下。

本发明的第3技术方案是在上述第2技术方案所涉及的真空清洗装置中，还具备将从上述清洗室导入上述冷凝室并冷凝后的石油系溶剂从上述冷凝室向上述蒸气生成机构引导的回收机构。

本发明的第4技术方案是在上述第1～3任一项的技术方案所涉及的真空清洗装置中，还具备与上述清洗室相连、贮留上述石油系溶剂并且能够将工件浸渍在该石油系溶剂中的浸渍室。

本发明的第5技术方案是一种真空清洗方法。该真空清洗方法包括如下工序：对运入了工件的清洗室以及与该清洗室相连的冷凝室进行减压的工序，生成石油系溶剂的蒸气并将该蒸气向处于减压下的上述清洗室供给、对上述工件进行清洗的工序，将处于减压下的上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的工序，以及在上述清洗室中的工件的清洗后使该清洗室与上述冷凝室连通的工序。

根据本发明，能够缩短工件的干燥所需要的时间，提高整体的处理能力。

附图说明

图1是用于说明第1实施方式的真空清洗装置的概念图；

图2是说明第1实施方式的真空清洗装置的处理工序的流程图；

图3是表示以往的真空清洗装置进行的干燥工序的试验数据的附图；

图4是表示第1实施方式的真空清洗装置进行的干燥工序的试验数据的附图；

图5是表示以往的真空清洗装置进行的干燥工序的其它试验数据的附图；

图6是表示第1实施方式的真空清洗装置进行的干燥工序的其它试验数据的附图；

图7是用于说明第2实施方式的真空清洗装置的概念图；

图8是说明第实施方式的真空清洗装置的处理工序的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式详细地进行说明。本实施方式中所表示的尺寸、材料、及其它具体的数值等不过是为了使发明容易理解的例示，除了特别的情况之外，并不是对本发明进行限定。另外，在本说明书以及附图中，针对实质上具有相同的功能以及结构要素赋予相同的附图标记而省略重复的说明。而且，针对与本发明没有直接关系的要素省略其图示。

图1是用于说明第1实施方式的真空清洗装置1的概念图。如该图1所示，真空清洗装置1具备内部设有清洗室2的真空容器3，在该真空容器3上形成有开口3a，开口3a能够通过开闭门4而开闭。因此，在对工件W进行清洗之际，将开闭门4打开，将工件从开口3a运入清洗室2内并载置在载置部5上。之后将开闭门4关闭，对工件W进行清洗。之后再次将开闭门4打开，从开口3a运出工件W。

并且在上述清洗室2中设有蒸气供给部6。该蒸气供给部6经由蒸气供给管7与蒸气发生室8相连。蒸气发生室8具备加热器8a，对石油系溶剂进行加热而生成溶剂蒸气（以下简称为蒸气）。这样，由蒸气发生室8生成的蒸气经由蒸气供给管7以及蒸气供给部6向清洗室2供给。另外，该石油系溶剂的种类没有特别限定。但从安全性的观点考虑，优选使用第3石油类溶剂，例如列举出正链烷烃系、异链烷烃系、环烷系、芳香族系的碳水化合物系溶剂。具体地说，作为第3石油类溶剂，优选使用通常被称为洗涤剂的TecleanN－20（产品名）、CleansolG（产品名）、达芙妮溶剂等。

而且，在清洗室2上，经由配管9连接有真空泵10。该真空泵10在开始工件W的清洗前的减压工序中通过真空抽吸（初期真空）对真空容器3内进行减压。进而，在清洗室2上连接有用于将该清洗室2向大气开放的配管11。该配管11在工件W的清洗工序以及干燥工序结束后的运出工序中将清洗室2向大气开放而使其恢复大气压。

并且在清洗室2上，经由作为开闭机构的开闭阀20连接有冷凝室21，当使开闭阀20开阀时，清洗室2与冷凝室21连通，当使开闭阀20闭阀时，清洗室2与冷凝室21的连通被隔断。该冷凝室21与清洗室2同样，经由从配管9分支的分支管25与真空泵10相连，能够保持减压状态。而且，在该冷凝室21上设有由热交换器等构成的温度保持装置22（温度保持机构），冷凝室21内的温度能够保持在比清洗室2内的温度低的一定温度（5度～50度、优选为15度～约25度）。

进而，在冷凝室21的底部，经由回流配管23连接有副油箱24。能够将由冷凝室21冷凝后的石油系溶剂从回流配管23向副油箱24引导，并且暂时贮留在该副油箱24中。该副油箱24与蒸气发生室8相邻，当贮留了一定量以上的石油系溶剂时，石油系溶剂从副油箱24向蒸气发生室8引导。即，回流配管23以及副油箱24作为回收石油系溶剂的回收机构发挥功能。这样通过回收机构回收的石油系溶剂向蒸气发生室8回流而再次被气化并向清洗室2供给。

另外，如图1所示，在蒸气供给管7上设有使清洗室2和蒸气发生室8连通或者隔断该连通的切换阀V₁。在配管9上设有使清洗室2和真空泵10连通或者隔断该连通的切换阀V₂。在配管11上设有将清洗室2向大气开放或者将清洗室2与大气隔断的切换阀V₃。在分支管25上设有连通冷凝室21和真空泵10或者隔断该连通的切换阀V₄。

接着，使用图1以及图2对上述真空清洗装置1中工件W的真空清洗方法进行说明。另外，以下为了具体地说明真空清洗装置1中的真空清洗方法，而对使用第3石油类溶剂的TECleanN－20作为石油系溶剂的情况进行说明。但如上所述，能够在真空清洗装置1中使用的石油系溶剂并不仅限于此。若根据所使用的石油系溶剂的沸点及冷凝点等特性变更各种装置中的控制温度等，则能够利用各种石油系溶剂。

图2是说明真空清洗装置1的处理工序的流程图。在利用真空清洗装置1时，首先进行一次准备工序（步骤S100）。之后相对于一个工件W进行运入工序（步骤S200）、减压工序（步骤S300）、蒸气清洗工序（步骤S400）、干燥工序（步骤S500）、以及运出工序（步骤S600）。并且以后相对于依次运入的工件W进行步骤S200～步骤S600的工序。以下，参照图1对上述各工序进行说明。

（准备工序：步骤S100）

首先使真空清洗装置1工作。为此，使开闭阀20以及切换阀V₁～V₃闭阀，同时使切换阀V₄开阀，驱动真空泵10。这样一来，对冷凝室21进行真空抽吸，将该冷凝室21的内部减压到10kPa以下。并且驱动温度保持装置22，将处于减压状态下的冷凝室21保持在低于清洗室2的温度、更详细地说是所使用的石油系溶剂的冷凝点以下的温度（5度～50度，更优选的是15度～约25度）。

而且，驱动加热器8a，对贮留在蒸气发生室8中的石油系溶剂进行加温而生成蒸气。另外，由于此时蒸气发生室8已成为饱和蒸气压，并且切换阀V1已关闭，所以由蒸气发生室8生成的蒸气充满了该蒸气发生室8内。这样一来，真空清洗装置1的准备工序结束，能够由真空清洗装置1进行工件W的清洗。

（运入工序：步骤S200）

在通过真空清洗装置1进行工件W的清洗之际，首先将开闭门4打开，从开口3a将工件W运入清洗室2并载置在载置部5上。此时，开闭阀20保持闭阀，冷凝室21维持在减压状态。并且在工件W的运入完成后将开闭门4关闭，使清洗室2为密闭状态。此时工件W的温度成为常温（15～40度的程度）。

（减压工序：步骤S300）

接着，驱动真空泵10，通过真空抽吸将清洗室2减压到与冷凝室21相同的10kPa以下。

（蒸气清洗工序：步骤S400）

接着，使切换阀V₁开阀，将通过蒸气发生室8生成的蒸气向清洗室2供给。此时，蒸气的温度控制成70～150度（更优选的是115～125度），高温的蒸气充满清洗室2。

这样，当供给到清洗室2的蒸气附着在工件W的表面上时，由于工件W的温度比蒸气的温度低，所以蒸气在工件W的表面上冷凝。其结果，附着在工件W的表面上的油脂类被冷凝的石油系溶剂溶解而流下，工件W被清洗。该蒸气清洗工序进行到工件W的温度到达蒸气的温度（石油系溶解的沸点）、即70～150度（115～125度），并且在工件W的温度到达蒸气的温度时使切换阀V₁闭阀。从而蒸气清洗工序结束。

（干燥工序：步骤S500）

当上述步骤S400的蒸气清洗工序结束时，接着进行使清洗之际附着在工件W上的石油系溶剂干燥的干燥工序。该干燥工序是通过使开闭阀20开阀、使清洗室2与冷凝室21连通而进行的。具体地说，在干燥工序开始时，虽然清洗室2的温度已成为蒸气的温度、即70～150度，但冷凝室21的温度被温度保持装置22维持在5～50度（更优选的是15～25度）。

因此，当使开闭阀20开阀时，充满清洗室2内的蒸气向冷凝室21移动而冷凝。这样一来，由于清洗室2被减压，所以附着在工件W上的石油系溶剂以及清洗室2内的石油系溶剂全部气化并向冷凝室21移动。其结果，与以往相比，能够在非常短的时间内使清洗室2（工件W）干燥。另外，关于第1实施方式的真空清洗装置1中的干燥时间在之后详细说明。

（运出工序：步骤S600）

如上所述，在清洗室2以及工件W的干燥完成后，使开闭阀20闭阀，隔断清洗室2和冷凝室21。并且使切换阀V₃开阀，将清洗室2向大气开放，当清洗室2压力恢复到大气压时，将开闭门4打开，从开口3a运出工件W。从而相对于工件W的所有工序结束。此时，由于冷凝室21维持在所希望的压力，因此以后通过重复上述步骤S200～步骤S600，能够源源不断地清洗工件W。

图3是表示以往的真空清洗装置进行的干燥工序的试验数据的附图，图4是表示第1实施方式的真空清洗装置1进行的干燥工序的试验数据的附图。另外，图3以及图4表示了在基本上相同的条件下使作为工件W的150kg小型的金属制零件干燥之际的各种数据。而且，以往的真空清洗装置在干燥工序中对清洗室2进行减压之际通过与蒸气相对应的特殊的真空泵进行真空抽吸。仅在这一点上与第1实施方式的真空清洗装置1不同，其它结构则完全相同。

如图3所示，在以往的真空清洗装置中，当清洗工序结束后、驱动真空泵而开始真空抽吸时，蒸气发生室8的蒸气温度以及液温均表示出缓慢的上升倾向。此时，清洗室2通过真空抽吸而逐渐被减压，大约150秒后到达900Pa，在真空抽吸开始后大约418秒到达最高减压水平的280Pa。

相对于此，如图4所示，在第1实施方式的真空清洗装置1中，当清洗工序结束后、使开闭阀20开阀而开始干燥时，蒸气发生室8的蒸气温度以及液温与上述同样地均表示出缓慢的上升倾向。另一方面，清洗室2由于蒸气急剧地朝向冷凝室21移动而急速地减压，大约12秒后到达900Pa，在开闭阀20的开阀后大约22秒到达最高减压水平的280Pa。

而且，图5是表示以往的真空清洗装置进行的干燥工序的其它试验数据的附图，图6是表示第1实施方式的真空清洗装置1进行的干燥工序的其它试验数据的附图。该图5以及图6表示了在将作为工件W、与上述同样的150kg小型的金属制零件，和滞留有70cc的石油系溶剂的钢罐载置在清洗室2中的状态下进行干燥工序之际的各种数据。另外，在清洗工序中，石油系溶剂作为残液滞留在零件的间隙或凹部等中，该试验是设想滞留了这样的残液的情况而进行的。

如图5所示，根据以往的真空清洗装置，清洗室2通过真空抽吸而逐渐被减压，在大约353秒后到达900Pa，在从真空抽吸开始后大约508秒到达最高减压水平的320Pa。即，根据以往的真空清洗装置，在清洗工序中工件W上滞留有残液的情况与没有滞留残液的情况相比，到达最高减压水平的时间大约长了90秒，到达最高减压水平时清洗室2的压力也更高。因此，自然是工件W上滞留的残液越多而干燥工序所需要的时间越长。

相对于此，如图6所示，根据第1实施方式的真空清洗装置1，清洗室2在开闭阀20开阀后大约20秒到达900Pa，在开闭阀20开阀后大约44秒到达最高减压水平的280Pa。即，根据第1实施方式的真空清洗装置1，即是在清洗工序中工件W上滞留有残液的情况下，与没有滞留残液的情况相比，到达最高减压水平的时间也仅长了22秒，到达最高减压水平时清洗室2的压力也减压到与没有滞留残液的情况相同的压力。

这样，若将第1实施方式的真空清洗装置1与以往的真空清洗装置进行比较，则确认了通过使用第1实施方式的真空清洗装置1，干燥工序所需要的时间显著缩短，该时间差是工件W上滞留的残液越多越显著。因此，根据上述的真空清洗装置1，通过干燥工序的缩短，整体的处理时间缩短，单位时间内的处理量提高，能够实现节能化。进而，由于处理时间缩短，通过相对于一个工件W重复进行上述步骤S400～步骤S500的工序，也能够在短时间内进一步提高清洗精度。

而且，移动到冷凝室21并冷凝后的石油系溶剂经由回流配管23向副油箱24引导，在该副油箱24中暂时贮留后，再次被导入蒸气发生室8而再利用。此时，石油系溶剂在与外部的清洗室2以及冷凝室21密闭的室内循环。因此，与以往那样通过真空泵向屋外排气的情况相比，石油系溶剂的再生率（再利用效率）非常高。因此，石油系溶剂的消耗降低，能够降低运行成本。

进而，在以往的真空清洗装置中，在减压工序和干燥工序这两个工序中，通过真空泵对清洗室进行真空抽吸。在这种情况下，在干燥工序中，为了从清洗室抽吸大量的蒸气而必须采用特殊规格的真空泵。因此，设置这样特殊的零件成为了装置整体的成本上升的要因。相对于此，根据第1实施方式的真空清洗装置1，仅在清洗室2中没有蒸气的减压工序中使用真空泵。因此，能够采用不是特殊规格的一般的真空泵，能够降低装置整体的成本。

接着，使用图7以及图8对第2实施方式的真空清洗装置进行说明。另外，第2实施方式的真空清洗装置51在第1实施方式的真空清洗装置1的结构上具备用于对工件W进行浸渍清洗的结构，这一点与上述第1实施方式的真空清洗装置1不同。因此，对于与上述第1实施方式相同的结构赋予与上述相同的附图标记而省略其详细说明。以下，对与第1实施方式不同的结构进行说明。

图7是用于说明第2实施方式的真空清洗装置51的概念图。如该图所示，真空清洗装置51具备内部设有清洗室2的真空容器52。在该真空容器52上形成有开口52a，开口52a能够通过开闭门4开闭。

而且，在真空容器52内设有配置在清洗室2的下方的浸渍室53。在该浸渍室53中贮留有工件W能够完全浸渍在其中的量的石油系溶剂，并设有用于对该石油系溶剂进行加热的加热器53a。而且，在清洗室2与浸渍室53之间设有中间门54。清洗室2与浸渍室53通过该中间门54连通或者该连通被隔断。

另外，贮留在浸渍室53中的石油系溶剂与由蒸气发生室8生成的蒸气相同。而且，在第2实施方式的真空清洗装置51中，在载置部5上设有未图示的升降装置，载置部5能够在竖直方向上移动。因此，通过在将中间门54打开、使清洗室2与浸渍室51连通的状态下驱动升降装置，能够如图中虚线所示，使工件W从清洗室2向浸渍室53移动，或者使工件W从浸渍室53向清洗室2移动。

接着，使用图7以及图8对上述真空清洗装置51中工件W的真空清洗方法进行说明。图8是说明真空清洗装置51的处理工序的流程图。在利用真空清洗装置51时，首先进行一次准备工序（步骤S101）。之后，相对于一个工件W进行运入工序（步骤S200）、减压工序（步骤S300）、蒸气清洗工序（步骤S400）、浸渍清洗工序（步骤S450）、干燥工序（步骤S500）、以及运出工序（步骤S600）。并且以后相对于依次运入的工件W进行步骤S200～步骤S600的工序。

另外，上述各工序中运入工序（步骤S200）、减压工序（步骤S300）、蒸气清洗工序（步骤S400）、干燥工序（步骤S500）、以及运出工序（步骤S600）与上述第1实施方式相同。因此，在此针对与上述第1实施方式不同的准备工序（步骤S101）以及浸渍清洗工序（步骤S450）进行说明。

（准备工序：步骤S101）

首先，在使真空清洗装置51工作时，使切换阀V₁～V₄闭阀，并且将开闭门4关闭，将真空容器52内与外部隔断。并且将中间门54打开，并且使开闭阀20开阀，使浸渍室53以及冷凝室21与清洗室2连通。接着，使切换阀V₂开阀，驱动真空泵10，通过真空抽吸将清洗室2、浸渍室53以及冷凝室21减压到10kPa以下。这样，在将清洗室2、浸渍室53以及冷凝室21减压到所希望的压力后，将中间门54关闭，并且使开闭阀20闭阀，将浸渍室53以及冷凝室21与清洗室2隔断。

并且，驱动温度保持装置22，将处于减压状态的冷凝室21保持在低于清洗室2的温度、更详细地说是所使用的石油系溶剂的冷凝点以下的温度。而且，驱动加热器53a，对贮留在浸渍室53中的石油系溶剂进行加温，并且驱动加热器8a，对贮留在蒸气发生室8的石油系溶剂进行加温而生成蒸气。此时，由于中间门54是关闭的，所以由浸渍室53生成的蒸气充满了该浸渍室53内。而且，由于切换阀V₁是关闭的，所以由蒸气发生室8生成的蒸气充满了该蒸气发生室8内。

接着，将工件W运入清洗室2，使切换阀V₃开阀，使清洗室2向大气开放而恢复到大气压。并且在清洗室2恢复到大气压时使切换阀V₃闭阀。这样，真空清洗装置51的准备工序结束，能够由真空清洗装置51进行工件W的清洗。

并且与上述同样，在运入工序（步骤S200）、减压工序（步骤S300）、蒸气清洗工序（步骤S400）结束后进行浸渍清洗工序（步骤S450）。另外，在该第2实施方式的真空清洗装置51中，由于浸渍室53充满了蒸气，所以中间门54随着蒸气清洗工序（步骤S400）的开始而打开，清洗室2与浸渍室53连通。因此，在蒸气清洗工序（步骤S400）中，蒸气从蒸气发生室8以及浸渍室53双方向清洗室2供给。

（浸渍清洗工序：步骤S450）

当蒸气清洗工序结束时，载置部5下降，工件W浸渍在贮留在浸渍室53中的石油系溶剂中。此时，通过未图示的升降装置，工件W重复数次竖直方向的升降，在蒸气清洗工序中未清洗干净的附着在工件W的细部的油脂类等被清洗，这样，在工件W的清洗清完成后，使载置部5上升，将工件W运送到清洗室2，将中间门54关闭，隔断清洗室2与浸渍室53。

并且与上述同样，通过进行干燥工序（步骤S500）以及运出工序（步骤S600）而全部工序结束。这样，根据第2实施方式的真空清洗装置51，能够实现与上述第1实施方式的真空清洗装置1同样的作用和效果，并且能够更为仔细地清洗工件W。另外，在第1实施方式中，蒸气发生室8（加热器8a）是作为生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构发挥功能，但在该第2实施方式中，蒸气发生室8（加热器8a）以及浸渍室53（加热器53a）双方作为蒸气生成机构发挥功能。

以上参照附图对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明并不仅限于这些实施方式。本领域的技术人员能够在本说明书以及权利要求书所记载的范畴内想到各种的变更例或者修正例，这些例子当然也属于本发明的技术范围。

因此，例如在对刚实施了退火处理后的高温的工件W进行清洗的情况下，也可以预先将清洗室2和浸渍室53隔离地设置，以使相互之间不容易进行热传递。在这种情况下，只要预先将低温的石油系溶剂贮留在浸渍室53中，首先用低温的石油系溶剂对工件W进行浸渍清洗，将通过该浸渍清洗而冷却了的工件W运送到清洗室2中进行蒸气清洗即可。这样，对工件W实施的各工序的顺序及真空清洗装置中各室的配置等并不仅限于上述实施方式，能够适当地进行设计。

Claims (7)

1.一种真空清洗装置，其特征在于，具备：

真空泵，

生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构，

借助上述真空泵被形成为减压环境，能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室，

与上述清洗室邻接，被上述真空泵形成为减压状态并保持该减压状态的冷凝室，

将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构，

使上述冷凝室与上述清洗室连通或者隔断该连通的开闭阀，

在上述清洗室中的上述工件的清洗后，借助上述开闭阀令上述清洗室和上述冷凝室连通从而令上述工件干燥。

2.如权利要求1所述的真空清洗装置，其特征在于，上述温度保持机构将上述冷凝室的温度保持在上述石油系溶剂的冷凝点以下。

3.如权利要求2所述的真空清洗装置，其特征在于，还具备将从上述清洗室导入上述冷凝室并冷凝后的石油系溶剂从上述冷凝室向上述蒸气生成机构引导的回收机构。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空清洗装置，其特征在于，还具备与上述清洗室相连、贮留上述石油系溶剂并且能够将工件浸渍在该石油系溶剂中的浸渍室。

5.一种真空清洗方法，其特征在于，包括如下工序：

对运入了工件的清洗室以及与该清洗室邻接的冷凝室进行减压的工序，

生成石油系溶剂的蒸气并将该蒸气向处于减压下的上述清洗室供给、对上述工件进行清洗的工序，

将处于减压下的上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的工序，

在上述清洗室中的上述工件的清洗后通过令开闭阀开阀而使上述清洗室与上述冷凝室连通的工序。

6.如权利要求1所述的真空清洗装置，其特征在于，上述真空泵经由配管与清洗室连接。

7.如权利要求5所述的真空清洗方法，其特征在于，在开始上述工件的清洗前的减压工序中，经由与真空泵连接的配管对上述清洗室内进行真空抽吸从而进行减压。