CN109715303B - 清洗方法以及清洗装置 - Google Patents

Abstract

本公开内容的清洗方法具有以下工序：蒸汽清洗工序，对被处理物(W)进行蒸汽清洗；挥发清洗工序，使附着在被处理物(W)的液体污垢成分挥发；浸渍清洗工序，使被处理物(W)浸渍于清洗液；干燥工序，干燥所述被处理物(W)，交替地多次重复所述挥发清洗工序与所述浸渍清洗工序。

Description

清洗方法以及清洗装置

技术领域

本公开内容涉及清洗方法以及清洗装置。

本申请基于2016年12月7日在日本申请的特愿2016-237653号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了一种真空清洗机，具备：蒸汽清洗室，对工件(被清洗物)进行蒸汽清洗；浸渍室，对工件进行浸渍清洗。利用蒸汽清洗室对工件实施蒸汽清洗后，利用浸渍室对工件实施浸渍清洗。进而使减压状态的冷凝室与蒸汽清洗室连通，由此对蒸汽清洗室的工件实施干燥处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开平6-220672号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

采用这样的真空清洗机的真空脱脂清洗方法被应用于各种形状的被处理物，但是在垂直方向的上表面形成有凹部的被处理物的情况下，难以通过蒸汽清洗来清洗凹部的污垢。进而，即便在浸渍清洗中，也存在不能够充分地去除凹部的污垢的情况。因此，在将在垂直方向的上表面形成有凹部的被处理物搬入至专利文献1的真空清洗机时，需要进行如下的配置：以凹部朝向侧方或者下方的方式来改变被处理物的姿态。

然而，能够想到作为真空清洗机的对象的被处理物的形状并不固定，存在有在各表面形成凹部或者槽等的复杂的形状的情况。进而，还能够想到各种形状的被处理物在混载状态下被搬入至真空清洗机的情况。在这些情况下，难以变更被处理物的姿态以便容易清洗，被处理物的污垢有可能未被充分地清洗。

本公开内容是鉴于上述问题点而完成的，目的是提供一种清洗方法以及清洗装置，即便对于形状复杂的被处理物也能够以不变更被处理物的姿态的方式进行清洗。

用于解决上述技术问题的方案

本公开内容的一方案的清洗方法，具备以下工序：蒸汽清洗工序，对被处理物进行蒸汽清洗；挥发清洗工序，使附着在上述被处理物的液体污垢成分挥发；浸渍清洗工序，使上述被处理物浸渍于清洗液；干燥工序，使上述被处理物干燥，其中，交替地多次重复上述挥发清洗工序与上述浸渍清洗工序。

本公开内容的一方案的清洗装置具备：蒸汽清洗装置，对被处理物进行蒸汽清洗；挥发清洗装置，使附着在上述被处理物的液体污垢成分挥发；浸渍清洗装置，使上述被处理物浸渍于清洗液；干燥装置，使上述被处理物干燥。

发明效果

根据本公开内容，通过浸渍清洗工序，使清洗液流进凹部或者槽从而稀释污垢，进而通过挥发清洗工序使被稀释的污垢挥发。通过在进行了挥发清洗工序之后，再次进行浸渍清洗工序，能够使在第一次的清洗中未能彻底清洗的部位的污垢浮出。通过多次重复这样的工序，即便对于具有复杂的形状的被处理物，也能够充分地洗掉污垢。因此，即便对于形状复杂的被处理物，也能够以不变更被处理物的姿态的方式进行清洗。

附图说明

图1是本公开内容的一实施方式的真空清洗装置的沿着左右方向的剖视图。

图2是本公开内容的一实施方式的真空清洗装置的沿着前后方向的剖视图。

图3是将本公开内容的一实施方式的真空清洗装置的特征性构成进行放大后的纵剖视图。

图4是从后方观察本公开内容的一实施方式的真空清洗装置的侧视图。

图5A是本公开内容的一实施方式的冷凝器的俯视图。

图5B是本公开内容的一实施方式的冷凝器的纵剖视图。

图6是示出了本公开内容的一实施方式的真空清洗装置的动作的流程图。

具体实施方式

以下参照附图对本公开内容的一实施方式进行说明。

如图1以及图2所示，本实施方式的真空清洗装置(清洗装置)具备清洗器1、冷凝器2、真空泵3、蒸汽产生装置4、鼓泡装置5、超声波振动装置6(振荡装置)以及控制装置7。本实施方式的真空清洗装置除了清洗器1、冷凝器2、真空泵3、蒸汽产生装置4、鼓泡装置5、超声波振动装置6以及控制装置7以外，还具备各种各样的设备，例如具备再生浓缩器等作为辅机。

清洗器1在利用清洗液的蒸汽(清洗蒸汽)将附着了污垢成分的工件W(被处理物)进行蒸汽清洗之后，通过将工件W浸渍于清洗液而对工件W进行清洗。即，清洗器1在整个规定期间连续地接收由蒸汽产生装置4产生的清洗蒸汽，并在容纳于清洗室R1的工件W的表面连续地进行清洗蒸汽的附着与冷凝，由此将附着在工件W的表面的污垢成分与清洗液的冷凝液一起从工件W的表面洗掉。进而，清洗器1通过将工件W浸渍于贮存在浸渍槽R2的清洗液中，除去附着在工件W的细部的污垢，并再次在清洗室R1中进行喷淋清洗，从而洗掉污垢。

工件W例如是因加工而在表面附着了切削油等污垢成分的金属零件。此外，清洗液是烃类的清洗液，例如正构烷烃类、异构烷烃类、环烷烃类、芳香族类的烃类清洗剂。更具体而言，清洗液是被称为清洗溶剂的TECLEAN(注册商标)N20、CleansolG、NSCLEAN(注册商标)、Daphne溶剂等第3石油类的清洗液。

如图所示，清洗器1具备清洗器壳体1a，在其内部形成有清洗室R1以及浸渍槽R2(浸渍清洗装置)。清洗器壳体1a整体形成为中空的长方体形状。清洗器壳体1a的内部的空间通过后述的中间门1g被上下分割为清洗室R1与浸渍槽R2。在清洗器壳体1a的正面设置有工件插通口1b。工件插通口1b是沿着垂直方向的开口，用于在清洗器壳体1a(即清洗器1)与外部之间进出工件W，由上下活动自如的前门1c关闭或者敞开。另外，在清洗器壳体1a中经由被控制装置7控制的控制阀而与真空泵3连接，能够将清洗室R1的气氛变为规定气压的真空气氛(减压气氛)。

如图2所示，在清洗器壳体1a中的安装了冷凝器2的侧面(背面、在图2中的右侧面)形成有连通口1d，用于使清洗器1的内部空间即清洗室R1与冷凝器2的内部空间即冷凝室G连通。如图3所示，连通口1d是形成在清洗器壳体1a的一部分的圆形开口。在清洗器壳体1a的连通口1d的周围，与后述的阀体2i抵接的表面构成阀座1f。另外，有关阀座1f的详细内容将在后述进行。

进而，清洗器1具备中间门1g、升降机构1h、蒸汽导入阻尼器1i、喷淋喷嘴1j以及浸渍槽加热器1k。中间门1g是将清洗器壳体1a在上下方向分割成清洗室R1与浸渍槽R2的平板状部件。通过关闭中间门1g，清洗室R1成为与浸渍槽隔离的密闭空间。升降机构1h是在清洗器壳体1a内使工件W向清洗室R1以及浸渍槽R2升降的机构。

蒸汽导入阻尼器1i与蒸汽产生装置4的后述的清洗液贮存箱4a连接，并且连接于清洗室R1。蒸汽导入阻尼器1i是能够对从蒸汽产生装置4朝向清洗室R1的清洗蒸汽的流路的开度进行调节的机构，对导入至清洗室R1的清洗蒸汽的流量进行调整。喷淋喷嘴1j设置在清洗室R1的上方，将从清洗液贮存箱4a供给的清洗液排出至清洗室R1内。

此外，喷淋喷嘴1j与蒸汽产生装置4的清洗液贮存箱4a之间由未图示的管路连接，该管路由阀门开闭。浸渍槽加热器1k被埋入设置在清洗器壳体1a的下方的侧壁，加热浸渍槽R2的清洗液。

冷凝器2是如图所示的大致圆柱状的形状，从连通口1d取入清洗室R1内的蒸汽并使其冷凝(液化)。在清洗器1中的工件W的清洗结束的状态下，清洗液附着在工件W的表面或者清洗器壳体1a的内表面。

虽然详细情况将在后面进行描述，但是冷凝器2在工件W清洗后使残留在清洗室R1内的清洗液(特别是附着在工件W的表面的清洗液)气化从而变为蒸汽(剩余蒸汽)，并且将该剩余蒸汽从清洗室R1移动至冷凝室G并使其冷凝(液化)。

冷凝器2与真空泵一起作为干燥装置以及挥发清洗装置发挥功能，其具备冷凝器壳体2a、两个冷却盘管2b、2c、保持部件2d以及开闭机构2e。此外，在冷凝器2的上述构成元件中，保持部件2d具备盖部件2f、多个(在本实施方式中为4个)棒状部件2g以及多个卡止部件2h。开闭机构2e具备：阀体2i、连结杆2j、轴承部件2k、气缸2m以及引导部件2n。

冷凝器壳体2a是以大致圆筒形状且沿着垂直方向的姿态被固定在清洗器壳体1a的中空的柱状部件。即，冷凝器壳体2a以轴线为垂直方向的方式安装在清洗器壳体1a。冷凝器壳体2a的上端部为圆形的敞开端2p。冷凝器壳体2a的下端部具备圆形的蒸汽取入口2q，与位于冷凝器壳体2a的侧方的清洗器壳体1a的连通口1d对置，并且直径略大于连通口1d。另外，在冷凝器壳体2a的下部设置有排液口，将后述的用完的清洗液排出至设置在冷凝器壳体2a的下方的贮存容器。

两个冷却盘管2b、2c是将冷凝器壳体2a的轴线方向(即垂直方向)作为卷绕轴方向的盘管状的冷却管，在内部流通有冷却液。这两个冷却盘管2b、2c以在与冷凝器壳体2a的轴线正交的方向上隔开规定间隔的状态即以在水平方向上相邻的方式设置为2列。即，两个冷却盘管2b、2c中，冷却盘管2b被设置在靠近冷凝器壳体2a的轴心的位置，冷却盘管2c被设置在相对于冷凝器壳体2a的轴心比冷却盘管2b远的位置。另外，冷却液只要能够使冷凝室G内保持在清洗液的减压下的沸点以下的温度，就可以是任意液体。

保持部件2d保持两个冷却盘管2b、2c，使两个冷却盘管2b、2c能够装卸自如地容纳在冷凝器壳体2a内。保持部件2d具备:盖部件2f，封闭形成在冷凝器壳体2a的敞开端2p；多个(在本实施方式中为4个)棒状部件2g，一端(上端)固定于盖部件2f；多个卡止部件2h，设置在棒状部件2g的规定部位，对两个冷却盘管2b、2c进行卡止。

盖部件2f是构成冷凝器壳体2a的一部分的圆板状的部件，利用由螺栓以及螺母等构成的多个紧固件而装卸自如地固定在冷凝器壳体2a的敞开端2p。各个棒状部件2g是沿着垂直方向配置的长条状的双头螺栓。棒状部件2g的上端分别螺纹接合至盖部件2f上彼此远离而形成的螺栓孔，棒状部件2g的下端分别螺纹接合至卡止部件2h。多个卡止部件2h是形成有与棒状部件2g的下端螺纹接合的螺栓孔的板材，向沿着垂直方向的棒状部件2g的侧方即向水平方向突出,由此卡合至冷却盘管2b、2c的下端部。

在此，两个冷却盘管2b、2c的端部(共计4个)构成外部连接口T1～T4，外部连接口T1～T4经由形成在盖部件2f的贯通孔而被引出至盖部件2f的上侧、即冷凝器壳体2a的外部。在4个外部连接口T1～T4中，外部连接口T1是一个冷却盘管2b的一端，外部连接口T2是一个冷却盘管2b的另一端。此外，外部连接口T3是另一个冷却盘管2c的一端，外部连接口T4是另一个冷却盘管2c的另一端。

即，本实施方式的冷凝器2构成为能够将两个冷却盘管2b、2c的连接关系设定在冷凝器2的外部。例如，如图5A所示，将外部连接口T2与外部连接口T3相互地连接，将冷却液供给至外部连接口T1，并将冷却液从外部连接口T4排出的情况下，一个冷却盘管2b与另一个冷却盘管2c串联连接，冷却液以如下的路径流动：在通过一个冷却盘管2b后，通过另一个冷却盘管2c。在该情况下，由于一个冷却盘管2b与另一个冷却盘管2c串联连接，所以冷却液的通过路径简单。

另一方面，在通过使用分支供给管而将冷却液并联地供给至外部连接口T1与外部连接口T3、从外部连接口T2与外部连接口T4排出冷却液的情况下，一个冷却盘管2b与另一个冷却盘管2c并联连接，冷却液在一个冷却盘管2b与另一个的冷却盘管2c中并行地流动。在该情况下，由于一个冷却盘管2b与另一个冷却盘管2c并联连接，所以与图5A所示的情况相比压力损失少，因此能够以比较低的供给压使冷却液流动。

开闭机构2e直接地关闭或敞开清洗器壳体1a的连通口1d，由此间接地开闭冷凝器壳体2a的蒸汽取入口2q。即，如图3所示，开闭机构2e具备阀体2i，阀体2i位于清洗器壳体1a内并且直径比连通口1d大，通过使阀体2i与阀座1f紧贴或者从阀座1f分离，将清洗室R1与冷凝室G切换为非连通状态或者连通状态。

连结杆2j是一端(前端)以垂直姿态连结于阀体2i的中心、另一端(后端)连结于气缸2m的可动片的棒状部件。轴承部件2k是沿着其长度方向滑动自如地支撑连结杆2j的部件，被固定于冷凝器壳体2a。气缸2m是驱动阀体2i的动作即与阀座1f紧贴以及与阀座1f分离的动作的驱动源，并经由连结杆2j支撑阀座1f从而驱动阀体2i。

在此，为了通过阀体2i可靠地关闭连通口1d(即蒸汽取入口2q)，阀体2i的外周部需要在整个圆周上与阀座1f抵接。此外，为此需要将圆板状的部件即阀体2i的中心与圆形开口即阀座1f的中心位置对齐。在阀体2i的中心与阀座1f的中心的位置极大地偏移的情况下，阀体2i的外周部的一部分不与阀座1f抵接，从而无法完全关闭连通口1d(即蒸汽取入口2q)。

引导部件2n是为了使阀体2i与阀座1f的位置对齐而设置的。引导部件2n是被压入固定于连结杆2j的长度方向的中途部位的大致圆板状的部件，与阀体2i隔开规定距离而平行地对置。引导部件2n使外周部相对于冷凝器壳体2a中的蒸汽取入口2q的附近部位的内周面滑动自如地接触，由此使连结杆2j的中心相对于蒸汽取入口2q的中心位置对齐，使阀体2i的外周部的整周抵接于阀座1f。

如图2所示，真空泵3与清洗器1的清洗室R1以及冷凝器2连接，通过将清洗室R1以及冷凝器2的内部的气体排气，使清洗器1以及冷凝器2的压力为负压。在真空泵3与清洗器1的连接管道p1设置有第1真空阀v1，此外，在真空泵3与冷凝器2的连接管道p2设置有第2真空阀v2。

如图1所示，蒸汽产生装置4与清洗器1一起作为清洗装置发挥功能，具备清洗液贮存箱4a以及蒸汽产生用加热器4b。清洗液贮存箱4a设置在清洗器壳体1a的外侧，贮存从蒸汽导入阻尼器1i以及喷淋喷嘴1j向清洗室R1排出的清洗液。此外，由冷凝器2回收并且由再生浓缩器再生后的清洗液流入清洗液贮存箱4a。蒸汽产生用加热器4b内设于清洗液贮存箱4a，是对贮存在清洗液贮存箱4a中的清洗液进行加热的加热器。蒸汽发生装置4通过对贮存在清洗液贮存箱4a中的清洗液进行加热，产生用于蒸汽清洗工序的清洗蒸汽。由蒸汽产生装置4和清洗器壳体1a构成本公开内容的蒸汽清洗装置。

如图1所示，鼓泡装置5设置在浸渍槽R2的下方。鼓泡装置5具备将空气送出的鼓风机等以及排出管道。鼓泡装置5将空气(外部气体)由设置于浸渍槽R2的排出口向浸渍槽R2内排出，从而使浸渍槽R2内的清洗液产生气泡。此外，在鼓泡装置5的排出口设置有由控制装置7控制的鼓泡阀。

如图2所示，超声波振动装置6设置于浸渍槽R2，通过对贮存于浸渍槽R2的清洗液进行超声波振动从而对工件W进行超声波清洗。超声波振动装置6由投入到浸渍槽R2的振子和使振子振动的未图示的驱动电路构成。另外，超声波振动装置6的驱动电路与控制装置7连接。

具备这样的清洗器1和冷凝器2等的真空清洗装置通过如图1所示的控制装置7而对动作进行自动控制。控制装置7基于规定的程序，对清洗器1、冷凝器2、真空泵3、蒸汽产生装置4及超声波振动装置6进行控制，从而进行蒸汽清洗工序、挥发清洗工序、喷淋清洗工序、浸渍清洗工序以及干燥工序。此外，作业员能够基于工件W的形状以及个数等因素，任意地设定挥发清洗工序以及浸渍清洗工序的实施次数。蒸汽清洗工序是使清洗液的蒸汽充满清洗室R1，并使蒸汽与容纳于清洗室R1的工件W接触，由此去除工件W的表面的污垢的工序。此外，挥发清洗工序是使因清洗液稀释而成为液体状的工件W的污垢爆沸并挥发的工序。浸渍清洗工序是使工件W浸渍于贮存有清洗液的浸渍槽R2而使污垢浮出的工序。喷淋清洗工序是通过在清洗室R1向工件W喷射清洗液，从而洗掉工件W的表面的污垢的工序。

另外，真空清洗装置在周围被未图示的外包装材料覆盖的状态下使用。

接着，参照图6对本实施方式的真空清洗装置的清洗方法进行说明。

在使用该真空清洗装置对工件W进行清洗的情况下，工件W从设置于清洗器壳体1a的工件插通口1b被容纳于清洗室R1。在工件W的表面附着有切削油等污垢成分。并且，通过驱动设置在清洗器壳体1a的前门1c，清洗室R1成为密闭空间。

在该状态下，首先，实施事前处理工序(步骤S1)。开闭机构2e将清洗室R1和冷凝室G设定为连通状态。在该状态下，通过操作真空泵3而使清洗室R1以及冷凝室G逐渐减压，并被设定为例如10kPa以下的压力(初始压力)。

此外，与清洗室R1以及冷凝室G的减压处理并行地使蒸汽产生装置4动作，从而生成清洗蒸汽。清洗蒸汽的压力为饱和蒸汽压，清洗蒸汽的温度在清洗液的减压下的沸点附近、例如为80～140℃。若减压处理完成，则使开闭机构2e动作而使清洗室R1与冷凝室G从连通状态切换为非连通状态，从而使清洗室R1以及冷凝室G成为单独的密闭空间。接着，通过从外部向冷凝器2供给冷却液，使冷凝室G的温度保持在恒定温度。

例如在使用水(自来水)作为冷却液的情况下，冷凝室G的温度被保持在清洗液的沸点以下。

然后，在事前处理工序之后，实施蒸汽清洗工序(步骤S2)。在整个规定的清洗期间从蒸汽产生装置4经由蒸汽导入阻尼器1i向清洗室R1供给清洗蒸汽，由此对清洗室R1内的工件W进行清洗。即，在整个规定的清洗期间，在工件W的表面上连续地重复进行清洗蒸汽的附着与冷凝，工件W的表面上附着的污垢成分与清洗蒸汽的冷凝液一起从工件W的表面流下而被去除(清洗)。

若工件W的蒸汽清洗工序结束，则清洗室R1的压力(清洗室压力)几乎是与清洗蒸汽的饱和蒸汽压相等的压力，且清洗室R1的温度变为与清洗蒸汽的温度几乎相等的温度(80～140℃左右)。即，清洗室压力以及清洗室温度变为比预先设定、保持的冷凝室G的压力(冷凝室压力)以及温度(冷凝室温度)高很多的值。

接着蒸汽清洗工序，进行清洗室R1内的工件W的挥发清洗工序(步骤S3)。在挥发清洗工序中，使开闭机构2e动作而使在上述压力关系以及温度关系下的清洗室R1与冷凝室G连通。即通过使气缸2m动作而使阀体2i从阀座1f分离，从而清洗室R1与冷凝室G从非连通状态变化为连通状态。

其结果是，清洗室R1的压力(清洗室压力)急速地减压，由于该急速减压而导致附着在工件W的表面上的清洗蒸汽以及切削油等的液体状的污垢(液体污垢)的冷凝液(残留液)瞬间沸腾(爆沸)。此外，通过短时间且以较大的面积连接清洗室R1与冷凝室G，从工件W的表面游离的残留液的蒸汽(剩余蒸汽)从清洗室R1(高压侧)经由阀体2i与阀座1f之间的间隙、连通口1d以及蒸汽取入2q高速移动到冷凝室G(低压侧)。

然后，移动到冷凝室G(低压侧)的剩余蒸汽通过附着在两个冷却盘管2b、2c的表面再次冷凝而变为使用过的清洗液。该使用过的清洗液从两个冷却盘管2b、2c的表面向下方滴落，虽然些许积聚在冷凝器壳体2a的下部，从设置在该下部的排液口排出到贮存容器内。

若挥发清洗工序完成，则进行浸渍清洗工序(步骤S4)。首先，若排出清洗液，则冷凝器2的阀体2i抵接于阀座1f，清洗室R1与冷凝室G成为非连通状态。清洗室R1恢复到初始压力之后，中间门1g打开而清洗室R1与浸渍槽R2成为连通状态。在浸渍槽R2中供给有清洗液，通过使升降机构1h下降，除去了清洗液的工件W被浸渍在浸渍槽R2的清洗液中。另外，由浸渍槽加热器1k加热供给至浸渍槽R2的清洗液。此外，利用鼓泡装置5打开鼓泡阀，通过向浸渍槽R2的清洗液中喷出气体，使清洗液内产生气泡。在浸渍槽R2中，使清洗液流入工件W的细部，进而使气泡附着在工件W的表面，由此除去在蒸汽清洗工序中未能彻底除去的污垢。此外，在进行浸渍清洗工序的同时，在冷凝器2中，使冷凝室G内由真空泵3减压并冷却，由此能够恢复到挥发清洗工序前的冷凝室G的状态。

进而，再次使升降机构1h上升，工件W回到清洗室R1，则通过关闭中间门1g使清洗室R1密闭，冷凝器2的阀体2i再次与阀座1f分离，由此清洗室R1与冷凝室G为连通状态，从而进行挥发清洗工序(步骤S5)。然后，若挥发清洗工序完成，则冷凝器2的阀体2i抵接于阀座1f，清洗室R1与冷凝室G成为非连通状态。进而，控制装置7对浸渍清洗工序以及挥发清洗工序的实施次数进行计数，判断实施次数是否达到预先决定的规定次数(步骤S6)。在实施次数小于规定次数的情况下，再次执行浸渍清洗工序(步骤S4)以及挥发清洗工序(步骤S5)。

然后，对进行过挥发清洗工序的工件W进行喷淋清洗工序(步骤S7)。在喷淋清洗工序中，通过将贮存在清洗液贮存箱4a的清洗液从喷淋喷嘴1j排出至清洗室R1,洗掉工件W的表面的污垢。此外，在进行该喷淋清洗工序的同时，在冷凝器2中，冷凝室G内由真空泵3减压并冷却，由此恢复到挥发清洗工序前的冷凝室G的状态。

然后，若喷淋清洗工序完成，则冷凝器2的阀体2i再次从阀座1f分离，由此清洗室R1与冷凝室G成为连通状态，从而进行干燥工序(步骤S8)。在干燥工序中，使清洗室R1密闭，并与挥发清洗工序同样地使冷凝器2的阀体2i再次从阀座1f分离，由此清洗室R1与冷凝室G成为连通状态。

若干燥工序结束，则冷凝器2的阀体2i抵接于阀座1f，清洗室R1与冷凝室G成为非连通状态。进而，通过打开未图示的大气开放阀，外部气体流入至清洗室R1,清洗室R1内压力恢复至大气压状态。然后，打开前门1c，搬出工件W。

根据这样的本实施方式的真空清洗装置，通过浸渍清洗工序，使清洗液流进工件W的凹部或者槽从而稀释污垢，进而，通过挥发清洗工序，使被清洗液稀释的污垢挥发。在进行了挥发清洗工序之后，通过再次进行浸渍清洗工序，能够使在第一次的清洗中未彻底清洗的部位的污垢浮出。通过交替地多次重复浸渍清洗工序与挥发清洗工序，即便是具有复杂的形状的工件W，也能够充分地洗掉污垢。因此，即便对于形状复杂的工件W也能够以不变更工件W的姿态的方式进行清洗。

此外，根据本实施方式的真空清洗装置，在浸渍清洗工序中实施鼓泡清洗。

利用鼓泡清洗使气泡与工件W接触，由此能够容易地使工件W的表面的污垢与气泡一起上浮。因此，能够更加容易地去除工件W的表面的污垢。

此外，根据本实施方式的真空清洗装置，具备使清洗液超声波振动的超声波振动装置。由此，能够利用超声波振动对浸渍槽R2内的工件W实施清洗。因此，能够容易地去除形成在工件W的上表面的凹部的污垢，对于形状复杂的工件W也能够以不变更工件W的姿态的方式进行清洗。

进而，根据本实施方式的真空清洗装置，在清洗室R1中，实施喷淋清洗工序。由于利用喷淋清洗工序从侧方以及上方喷射清洗液，所以能够洗掉工件W的侧方以及上方的污垢。因此，能够更加容易地去除工件W的表面的污垢。

另外，本公开内容并不限于上述实施方式，例如可以考虑以下这样的变形例。

(1)在上述实施方式中，虽然对包含喷淋清洗工序的清洗处理进行了说明，但是本公开内容并不限于此。也能够采用如下构成：不进行喷淋清洗处理而重复实施浸渍清洗工序与挥发清洗工序，最后实施干燥工序。

(2)此外，还能够重复实施两次左右的喷淋清洗工序与挥发清洗工序。在该情况下，对于在上侧形成有凹部的工件W而言，能够获得更好的清洗效果。

(3)此外，在上述实施方式中，真空清洗装置虽然采用了具备鼓泡装置5与超声波振动装置6这两者的构成，但是本公开内容并不限于此。真空清洗装置也能够采用具备鼓泡装置5或者超声波振动装置6的任一个的构成。

工业实用性

根据本公开内容，即便是对于形状复杂的被处理物，也能够以不变更被处理物的姿势的方式进行清洗。

附图标记说明

1 清洗器

1a 清洗器壳体

1b 工件插通口

1c 前门

1d 连通口

1f 阀座

1g 中间门

1h 升降机构

1i 蒸汽导入阻尼器

1j 喷淋喷嘴

1k 浸渍槽加热器

2 冷凝器

2a 冷凝器壳体

2b、2c 冷却盘管

2d 保持部件

2e 开闭机构

2f 盖部件

2g 棒状部件

2h 卡止部件

2i 阀体

2j 连结杆

2k 轴承部件

2m 气缸

2n 引导部件

2q 蒸汽取入口

5 鼓泡装置

6 超声波振动装置(振荡装置)

7 控制装置

R1 清洗室

R2 浸渍槽

G 冷凝室

W 工件(被处理物)

Claims (8)

1.一种清洗方法，具有以下工序：

蒸汽清洗工序，对被处理物进行蒸汽清洗；

挥发清洗工序，使附着在所述被处理物的液体污垢成分挥发；

浸渍清洗工序，使所述被处理物浸渍于清洗液；

第2挥发清洗工序，使所述被处理物的液体污垢成分挥发；

干燥工序，使所述被处理物干燥，

其中，交替地多次重复所述第2挥发清洗工序与所述浸渍清洗工序。

2.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，在所述浸渍清洗工序中，通过在所述清洗液中产生气泡而进行鼓泡清洗。

3.如权利要求1或者权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，在所述浸渍清洗工序中，利用超声波振动进行超声波清洗。

4.如权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，还具有喷淋清洗工序，通过向所述被处理物喷射所述清洗液从而进行清洗。

5.一种清洗装置，具备：

蒸汽清洗装置，对被处理物进行蒸汽清洗；

挥发清洗装置，使附着在所述被处理物的液体污垢成分挥发；

浸渍清洗装置，使所述被处理物浸渍于清洗液；

干燥装置，使所述被处理物干燥，

在所述蒸汽清洗装置的蒸汽清洗及所述挥发清洗装置的挥发清洗后，交替地多次重复所述浸渍清洗装置的浸渍清洗及所述挥发清洗装置的第2次挥发清洗。

6.如权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，

所述挥发清洗装置与所述干燥装置是同一装置。

7.如权利要求5或者权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，

还具备鼓泡装置，所述鼓泡装置设置在所述浸渍清洗装置，使所述清洗液中产生气泡。

8.如权利要求5或6所述的清洗装置，其特征在于，

还具备振荡装置，所述振荡装置设置在所述浸渍清洗装置，使所述清洗液中产生超声波振动。

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