JP2006231272A - 真空脱脂洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間が少なくサイクルタイムを短かくし、中間扉や炉内搬送装置を必要とせず、かつ両端に開閉扉を設けいずれの開閉扉からも搬入・搬出可能にすることができ装置が小型かつ設置スペースを節約できる炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供。
【解決手段】真空脱脂洗浄装置本体10は、それぞれ密閉された、両端に開閉扉 3、3を有する洗浄室 1と、洗浄室 1を取り囲む中空の清浄液タンク 4と、を有し、いずれの開閉扉 3、3からもワーク14の搬入・搬出を可能とし、洗浄室 1内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにした。
【選択図】図1
【解決手段】真空脱脂洗浄装置本体10は、それぞれ密閉された、両端に開閉扉 3、3を有する洗浄室 1と、洗浄室 1を取り囲む中空の清浄液タンク 4と、を有し、いずれの開閉扉 3、3からもワーク14の搬入・搬出を可能とし、洗浄室 1内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、熱処理工程における前後洗浄、小物金属部品プレス工程における後洗浄にフロンやトリクロロエタン等の代替洗浄剤として炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄設備に関する。
従来、熱処理工程における前後洗浄、小物金属部品プレス工程における後洗浄にフロンやトリクロロエタン等の洗浄剤を用いて洗浄することが行われてきたが、近年、これらの洗浄剤が地球大気のオゾン層を破壊する環境破壊物質であるとして使用できなくなってきた為、代替洗浄剤として石油等の炭化水素系洗浄剤を用いるようにした真空脱脂洗浄設備の開発が進められている。かかる炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄する技術としては特許文献1〜3が公開されている。
特開2003−236479号公報
特開平7−166385号公報
株式会社潤滑通信社2000年9月5日発行「潤滑経済2000年9月号」第16〜19頁「処理前後工程における最近の洗浄技術」
かかる従来の特許文献1のものでは、その図2、図5に示すように、一方向に搬入・搬出を行うようにされた搬入扉と搬出扉を有する浸漬洗浄室と、浸漬洗浄室の下に設置された蒸気洗浄室とからなり、2室は中間扉で仕切られている。ワークは上方の蒸気洗浄室に搬入され蒸気洗浄後、中間扉を開いた状態にしてから、エレベータにより下方の浸漬洗浄室へ送り込まれる。本装置ではワークを蒸気洗浄―浸漬洗浄し、その後真空乾燥のプロセスとなり蒸気洗洗浄時は洗浄剤を加熱し、蒸気とするためサイクルタイムが長くなる。蒸気洗洗浄時は中間扉を開いた状態で行われるため、ワークに付着した油脂類が浸漬洗浄用タンクに混入し、浸漬洗浄に悪影響を及ぼすおそれがあった。また、中間扉は搬入および搬出扉が閉じた状態でのみ開閉が可能であることと、中間扉の開閉には文献の中の図2、図5の図面でみて右方向に密閉される扉の退避スペースが必要であった。かつ搬入されたワークは浸漬洗浄室へ入れ込むためのエレベータと炉内搬送装置が必要であるった。
特許文献2でも炭化水素系洗浄剤による洗浄であるが、洗浄剤をワークに噴射し、その後真空乾燥させるものである。ワーク表目に付着した油脂分は洗浄剤の噴射により取除けるが、例えば止り穴といった部分の油脂の除去は難しい。
特許文献3のものは、バッチ型1室構成でシャワー洗浄―浸漬洗浄―高温噴射洗浄―真空乾燥を行う事例が開示されている。この事例では、洗浄室に隣接した清浄液タンクを有するので、洗浄室の一側の扉で搬入・搬出を行い、両端に開閉扉を設けいずれの開閉扉からも搬入・搬出可能にすることができず、かつ清浄液がタンクと隣接した洗浄室間を移動するのに時間がかかった。
特許文献3のものは、バッチ型1室構成でシャワー洗浄―浸漬洗浄―高温噴射洗浄―真空乾燥を行う事例が開示されている。この事例では、洗浄室に隣接した清浄液タンクを有するので、洗浄室の一側の扉で搬入・搬出を行い、両端に開閉扉を設けいずれの開閉扉からも搬入・搬出可能にすることができず、かつ清浄液がタンクと隣接した洗浄室間を移動するのに時間がかかった。
本発明の課題は、かかる従来の課題を解決した、清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間が少なくサイクルタイムを短かくし、ワークに付着した油脂類が浸漬洗浄用タンクに混入し浸漬洗浄に悪影響を及ぼすおそれがなく、中間扉や炉内搬送装置を必要とせず、かつ両端に開閉扉を設けいずれの開閉扉からも搬入・搬出可能にすることができ装置が小型かつ設置スペースを節約できる炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供することにある。
このため本発明は、炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置において、それぞれ密閉された、両端に開閉扉を有する洗浄室と、前記洗浄室を取り囲む中空の清浄液タンクと、を有し、いずれの開閉扉からもワークの搬入・搬出を可能とし、前記洗浄室内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにしたことを特徴とする真空脱脂洗浄装置を提供することにより上記課題を解決した。
本発明では、それぞれ密閉された、両端に開閉扉を有する洗浄室と、前記洗浄室を取り囲む中空の清浄液タンクとを有し、いずれの開閉扉からも搬入・搬出を可能とし、前記洗浄室内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにしたので、清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間が少なくサイクルタイムを短かくし、例えば特許文献3のものと比べサイクルタイムを2/3に短かくし、ワークに付着した油脂類が浸漬洗浄用タンクに混入し浸漬洗浄に悪影響を及ぼすおそれがなく、中間扉や炉内搬送装置を必要とせず、かつ両端に開閉扉を設けいずれの開閉扉からも搬入・搬出可能にすることができ装置が小型かつ設置スペースを節約した、例えば特許文献3のものと比べ設置スペースを約25%節約した、炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供するものとなった。
好ましくは、前記洗浄室は中央部が大径で両端部が小径のテ−パ曲面を形成する中凸円筒形状とするか、又は同径の円筒形状で傾斜をもたせた構造を有することにより、清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間をより少なくしてサイクルタイムをより短かくできるものとなった。
本発明を図1、図2を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す真空脱脂洗浄装置本体の概略長手断面と全体システムを示すブロック図、図2は図1の装置本体10のほぼ中央の断面図を示す。本発明の実施形態を示す炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置本体10は、それぞれ密閉された、両端に開閉扉 3、3を有する洗浄室 1と、洗浄室 1を取り囲む中空の清浄液タンク 4と、を有し、いずれの開閉扉 3、3からもワーク14の搬入・搬出を可能とし、洗浄室 1内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにした。
洗浄室 1上部にはシャワー洗浄用ノズル 5、下部にはN2 ガス供給装置16と連結されたバブリング用ノズル 6、が配置され、洗浄室 1底面にはワーク置き台18が設けられワーク14が開閉扉 3から搬入され載置される。図2で示すように真空脱脂洗浄装置本体10は、洗浄室 1の周囲を取り囲む中空の清浄液タンク 4を有し、洗浄剤17が入っている。清浄液タンク 4はシャワーライン16でシャワー洗浄用ノズル 5と連通し、配管30を介してポンプ15、 配管 37、35を介して清浄液タンク 4上部に連通可能にされ、さらに洗浄室 1下部は配管31、開閉弁51を介して清浄液タンク 4に連通可能にされている。洗浄室 1下部は配管31、開閉弁52を介して汚液タンク11に連通可能にされ、汚液タンク11は配管32を介して蒸留再生器 9に連通可能にされ、蒸留再生器 9は配管33を介して再生タンク 8に連通可能にされ、再生タンク 8は配管15を介してシャワー洗浄用ノズル 5と連通可能にされている。蒸留再生器 9はまた配管 36、35を介して清浄液タンク 4上部に連通可能にされている。7 は真空ポンプで、配管34を介して洗浄室 1上部と連通可能にされている。13は熱交換器で、配管35、36、37を介して清浄液タンク 4及び蒸留再生器 9に連通可能にされている。
洗浄プロセスを図1を参照して説明する。
ステップ1で、ワーク14がいずれかの開閉扉 3、3から洗浄室 1に搬入され、開閉扉 3が閉められ、洗浄室 1は真空ポンプ 7で真空排気される。
ステップ2で、上部シャワーノズル 5からシャワーライン16を介して清浄液タンク 4内の洗浄剤17を噴射しワーク14を粗洗浄する。
ステップ3で、開閉弁 52、53を閉じ、開閉弁51を開き、配管 30、31を介して洗浄室 1下部と清浄液タンク 4とを連通させ、減圧された洗浄室 1内に洗浄剤17を急速に図2の点線40で示す水準まで充満させ、ワーク14を浸漬し、次に、開閉弁51を閉じ、N2 ガス供給装置16と連結されたバブリング用ノズル 6を作動させて、バブリングノズルから 6噴射するN2 ガスの気泡で洗浄剤を17攪拌しワーク14を所定時間浸漬バブリング洗浄を行う。所定時間経過後開閉弁51を開き、N2 ガス供給装置16を作動させながら配管 30、31を介して洗浄室 1内に充満させた洗浄剤17を清浄液タンク 4に戻す。
ステップ4で、配管15を介して再生タンク 8内の高温高純度の洗浄剤をシャワー洗浄用ノズル 5から噴射し、ワーク14を仕上洗浄する高温噴射洗浄を行う。
ステップ5で、洗浄剤の付着したワーク14及び洗浄室内 1を真空ポンプ 7で真空排気させて真空乾燥を行い、1サイクルを終了する。
ステップ1で、ワーク14がいずれかの開閉扉 3、3から洗浄室 1に搬入され、開閉扉 3が閉められ、洗浄室 1は真空ポンプ 7で真空排気される。
ステップ2で、上部シャワーノズル 5からシャワーライン16を介して清浄液タンク 4内の洗浄剤17を噴射しワーク14を粗洗浄する。
ステップ3で、開閉弁 52、53を閉じ、開閉弁51を開き、配管 30、31を介して洗浄室 1下部と清浄液タンク 4とを連通させ、減圧された洗浄室 1内に洗浄剤17を急速に図2の点線40で示す水準まで充満させ、ワーク14を浸漬し、次に、開閉弁51を閉じ、N2 ガス供給装置16と連結されたバブリング用ノズル 6を作動させて、バブリングノズルから 6噴射するN2 ガスの気泡で洗浄剤を17攪拌しワーク14を所定時間浸漬バブリング洗浄を行う。所定時間経過後開閉弁51を開き、N2 ガス供給装置16を作動させながら配管 30、31を介して洗浄室 1内に充満させた洗浄剤17を清浄液タンク 4に戻す。
ステップ4で、配管15を介して再生タンク 8内の高温高純度の洗浄剤をシャワー洗浄用ノズル 5から噴射し、ワーク14を仕上洗浄する高温噴射洗浄を行う。
ステップ5で、洗浄剤の付着したワーク14及び洗浄室内 1を真空ポンプ 7で真空排気させて真空乾燥を行い、1サイクルを終了する。
図3(a)は本発明の第2の実施形態を示す真空脱脂洗浄装置本体60の概略長手断面で、洗浄室61は中央部が大径で両端部が小径のテ−パ曲面を形成する中凸円筒形状としたものである。これにより、清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間をより少なくしてサイクルタイムをより短かくできる。
図3(b)は本発明の第3の実施形態を示す真空脱脂洗浄装置本体70の概略長手断面で、洗浄室71は同径の円筒形状で入り口または出口側に傾斜をもたせた構造を有することにより、(a)に比べて製造コスト安で、しかも清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間をより少なくしてサイクルタイムをより短かくできる。
〔本発明の実施形態の効果〕
図3(b)は本発明の第3の実施形態を示す真空脱脂洗浄装置本体70の概略長手断面で、洗浄室71は同径の円筒形状で入り口または出口側に傾斜をもたせた構造を有することにより、(a)に比べて製造コスト安で、しかも清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間をより少なくしてサイクルタイムをより短かくできる。
〔本発明の実施形態の効果〕
本発明では、それぞれ密閉された、両端に開閉扉を有する洗浄室と、前記洗浄室を取り囲む中空の清浄液タンクとを有し、いずれの開閉扉からも搬入・搬出を可能とし、洗浄室内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにしたので、清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間を少なくしサイクルタイムを短かくし、例えば特許文献3のものと比べサイクルタイムを2/3に少なくし、ワークに付着した油脂類が浸漬洗浄用タンクに混入し浸漬洗浄に悪影響を及ぼすおそれがなく、中間扉や炉内搬送装置を必要とせず、かつ両端に開閉扉を設けいずれの開閉扉からも搬入・搬出可能にすることができ装置が小型かつ設置スペースを節約した、例えば特許文献3のものと比べ設置スペースを約25%節約した、炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供するものとなった。
好ましくは、洗浄室は中央部が大径で両端部が小径のテ−パ曲面を形成する中凸円筒形状とするか、又は同径の円筒形状で傾斜をもたせた構造を有することにより、清浄液がタンクと洗浄室間を移動する時間をより少なくしてサイクルタイムをより短かくできるものとなった。
1、61、71:洗浄室 3:開閉扉 4:清浄液タンク
10、60、70:真空脱脂洗浄装置本体 14:ワーク 17:清浄液
10、60、70:真空脱脂洗浄装置本体 14:ワーク 17:清浄液
Claims (2)
- 炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置において、それぞれ密閉された、両端に開閉扉を有する洗浄室と、前記洗浄室を取り囲む中空の清浄液タンクと、を有し、いずれの開閉扉からもワークの搬入・搬出を可能とし、前記洗浄室内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにしたことを特徴とする真空脱脂洗浄装置。
- 前記洗浄室は中央部が大径で両端部が小径のテ−パ曲面を形成する中凸円筒形状、又は同径の円筒形状で傾斜をもたせた構造を有することを特徴とする請求項1記載の真空脱脂洗浄装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012245460A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nachi Fujikoshi Corp | 真空脱脂洗浄装置および真空脱脂洗浄方法 |
JP2020012178A (ja) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | 株式会社不二越 | 洗浄システム |
JP7469662B2 (ja) | 2020-08-21 | 2024-04-17 | 株式会社不二越 | 被洗浄物の洗浄方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03503980A (ja) * | 1988-10-29 | 1991-09-05 | ウアイル・ペーテル | 環境に悪影響のある溶剤で、特にハロゲン化炭化水素で対象物を洗浄するための方法及び装置 |
JPH1034097A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-10 | Aqua Kagaku Kk | 洗浄装置 |
JP2002143785A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-21 | Sharp Corp | 洗浄装置 |
JP2003236479A (ja) * | 2001-12-14 | 2003-08-26 | Jh Corp | 真空脱脂洗浄方法と装置 |
-
2005
- 2005-02-28 JP JP2005052938A patent/JP2006231272A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03503980A (ja) * | 1988-10-29 | 1991-09-05 | ウアイル・ペーテル | 環境に悪影響のある溶剤で、特にハロゲン化炭化水素で対象物を洗浄するための方法及び装置 |
JPH1034097A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-10 | Aqua Kagaku Kk | 洗浄装置 |
JP2002143785A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-21 | Sharp Corp | 洗浄装置 |
JP2003236479A (ja) * | 2001-12-14 | 2003-08-26 | Jh Corp | 真空脱脂洗浄方法と装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012245460A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Nachi Fujikoshi Corp | 真空脱脂洗浄装置および真空脱脂洗浄方法 |
JP2020012178A (ja) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | 株式会社不二越 | 洗浄システム |
JP7125600B2 (ja) | 2018-07-20 | 2022-08-25 | 株式会社不二越 | 洗浄システム |
JP7469662B2 (ja) | 2020-08-21 | 2024-04-17 | 株式会社不二越 | 被洗浄物の洗浄方法 |
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