JP7469662B2 - 被洗浄物の洗浄方法 - Google Patents
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Description
2 洗浄室
3 減圧ポンプ
4 散布部(ノズル)
5 貯留タンク
6,16 熱交換器
7 蒸留再生器
8 再生液タンク
9 汚液タンク
L 洗浄液
PC 洗浄液用配管
PH 洗浄液用配管
W 被洗浄物(ワーク)
Claims (3)
- 内部で被洗浄物を洗浄する洗浄室と、前記洗浄室内を減圧する減圧ポンプと、前記洗浄室内で洗浄液を散布する散布部と、前記洗浄室外で前記洗浄液を貯留する貯留タンクと、前記洗浄室外で前記洗浄液を加温する熱交換器と、を有する洗浄装置を用いた洗浄方法であって、前記洗浄液を前記散布部から散布することで前記被洗浄物を洗浄する第1洗浄工程と、前記第1洗浄工程後に、前記洗浄液の液温を少なくとも20℃以上加温した前記洗浄液を前記散布部から散布することで前記被洗浄物を洗浄する第2洗浄工程と、を有しており、前記第1洗浄工程で用いる洗浄液の液温は40℃~80℃の範囲であり、前記第2洗浄工程で用いる洗浄液の液温は100℃~125℃の範囲であることを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
- 前記第1洗浄工程の前工程として、液温が100℃~125℃の範囲である前記洗浄液を用いて前記被洗浄物を洗浄する予備洗浄工程と、前記予備洗浄工程後に、前記減圧ポンプを用いて前記洗浄室内を減圧雰囲気にすることで前記被洗浄物を乾燥する予備乾燥工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄方法。
- 前記被洗浄物は止まり穴を有しており、前記止まり穴を上方にした状態で前記被洗浄物を前記洗浄室内に設置して洗浄することを特徴とする請求項1または2に記載の被洗浄物の洗浄方法。
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