JPS63194787A - 洗浄方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば油脂、７ランクス等に汚染されたＩＣ
，電子機器、液晶パネル等の被洗浄物を洗浄するための
洗浄方法及び洗浄装置に関するものであり、とくに隘路
部、閉塞部を有する被洗浄物を洗浄するに適した洗浄方
法及び洗浄装置に関するものである。

（従来の技術） ン等の洗浄溶液中に浸漬するなどして油脂等を除去する
ものであり、従来装置は第５図に示すように、ヒータ１
ａを有する温浴槽１、超音波振動子２ａを有する冷浴槽
２、ヒータ３ａを有するベーパ［３、被洗浄物を収納し
たマガジン６を搬送するための治兵付きコンベア４及び
冷却蛇管５を備えている。そしてマガジン６をコンベア
４に取り付けて洗浄装置内に搬入し、まず被洗浄物を温
浴槽１内の洗浄溶液に浸漬し、被洗浄物に付着している
油脂等を膨張させ、一部を洗浄溶液中に溶解させる。次
に冷浴槽２内の洗浄溶液に浸漬し超音波により油脂等の
異物を被洗浄物より剥離させ、同時に被洗浄物を冷却す
る。ついで、ベーパ槽３内に搬入しでベーパ雰囲気にさ
らし、被洗浄物の表面で洗浄溶液を凝縮させて、すすぎ
洗いする。この後、被洗浄物を冷却蛇管５の上部に移動
させ、乾燥して取り出していた。

上記した従来装置によれば、例えば第４図に示すように
、被洗浄物７の一部に管状の突起部８が設けられ、この
突起部８によって囲まれた閉塞隘路部８ａ内を洗浄する
場合、閉塞隘路部８ａ内側に付着している油脂等の汚染
物、を油分量１　ｖｇ／個以下の品質にするには被洗浄
物７を温浴槽１、冷浴槽２、ベーパ槽３の各桁にそれぞ
れ１５分間以上、浸漬しなければならず、洗浄に長時間
を要するうえに、少なくとも３つの槽が必要であり、設
備の大型化は避けられなかった。

これに対し、本出願人は先に特開昭６０−１２１．８７
号により、洗浄溶剤を圧縮する圧縮工程と、圧縮工程に
より圧縮された洗浄溶剤を大気圧沸点以上に加熱する加
熱工程と、圧縮工程及び加熱工程で圧縮加熱された洗浄
溶剤を被洗浄物に噴射する噴射工程からなる洗浄方法、
並びに特開昭６０−１３７４８１号により、洗浄溶剤液
を圧縮する圧縮工程と、圧縮工程により圧縮された洗浄
溶剤液を大気圧沸点以上に加熱する加熱工程と、圧縮工
程及び加熱工程で圧縮加熱された洗浄溶剤液を、洗浄溶
剤液中で洗浄溶剤液中に位置する被洗浄物に噴射して洗
浄する工程からなる洗浄方法を提案した。

（発明が解決しようとする問題点） 本出願人の上記洗浄方法によれば、微細な間隙内に付着
している汚染物も洗浄溶液の沸騰作用により短時間で洗
浄を済ますことが可能となるが、被洗浄物に噴射する洗
浄溶液全体を大気圧沸点以上に加熱しているため、洗浄
に多大のエネルギを要し、とくに閉塞隘路部内に付着し
た汚染物を洗浄する場合、エネルギ効率という点からみ
ると必ずしも満足できるものではなかった。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点に鎧み、被洗浄物に何着した異物、
被洗浄物の閉塞隘路部に付着した油脂等の異物を短時間
で効率的に除去することのできる洗浄方法及び装置を提
供することを目的とする。

かかる目的に沿う本発明の洗浄方法は、使用する洗浄溶
液の大気圧沸点より高い温度に被洗浄物を加熱し、つい
で加圧した洗浄溶液を大気圧下に置かれた被洗浄物に噴
射することを要旨とする。

そして、上記洗浄方法を実施するために好適な洗浄装置
は、使用する洗浄溶液の大気圧沸、αより高い温度に被
洗浄物を加熱するための加熱手段と、大気圧下に置かれ
た被洗浄物に対向して配設され該被洗浄物に洗浄溶液を
噴射するための噴射ノズルと、該噴射ノズルに洗浄溶液
を加圧供給するためのポンプとを備えたこと要旨とする
。

（作用） ４一 本発明によれば、洗浄溶液の大気圧沸点以上に被洗浄物
を加熱し、ついで加熱した被洗浄物に加圧した洗浄溶液
を大気圧下で噴射せしめることにより、洗浄溶液が高速
で閉塞隘路部内に進入し、洗浄溶液が大気圧まで急激に
減圧されるため被洗浄物表面で沸騰し、その際、被洗浄
物の表面に付着している油脂等の汚染物を核として蒸気
泡が発生し、汚染物を被洗浄物表面から分離する。

（実施例） 以下に本発明を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明方法を実施するだめの洗浄装置１０の全
体を示す断面図である。洗浄装置１０はその外形を保温
材からなる外枠１１により形成され外枠１１の内側には
内枠１２が張着され、外枠１１の上部には蓋体１３が被
着されている。内枠１２の内部は荒洗浄を行うＡステー
ションと仕上洗浄を行うＢステーションに区画されてい
る。外枠１１及び内枠１２の左右側壁上部には、治兵付
きコンベア１４によりマガジン１５に収納された被洗浄
物７を洗浄装置１０内に搬入するための開口部１６とマ
ガジン１５を治兵付きコンベア１４′へ搬出するための
開口部１６゛が形成されている。

蓋体１３には油圧シリング等からなる昇降装置１７が設
けられ、この昇降装置１７には、マガジン収納部１８Ａ
、１８Ｂを垂設した昇降キャリア１メぐ′ ８連結され、洗浄装置１０内に昇降自在に配設されてい
る。また洗浄装置１０の底部には、内枠１２の底面に植
立した仕切板１９によって区画された貯蔵槽２ＯＡと貯
蔵槽２０Ｂが設けられ、ここに洗浄溶液を貯蔵すること
ができる。また仕切板１つには貯蔵槽２０Ｂからオーバ
７０−した洗浄溶液を貯蔵槽２ＯＡに流入させるための
開口部１９ａが形成されている。前記マガジン収納部１
８Ａの底面に対向して後述する噴射ノズルが配設され、
この噴射ノズルと貯蔵槽２ＯＡとがそれぞれ管路２１Ａ
によって接続されている。そして管路２１Ａにポンプ２
２Ａとフィルタ２３Ａが配設され、貯蔵槽２ＯＡ内の洗
浄溶液はポンプ２２Ａによって加圧され、フィルタ２３
Ａならびに切換弁２４Ａを介して噴射ノズルに供給され
る。同様に貯ａ槽２ＯＢと噴射ノズルが管路２１Ｂによ
って接続され、貯蔵槽２０Ｂの洗浄溶液はポンプ２２Ｂ
によって加圧され、フィルタ２３Ｂ１切換弁２４Ｂを介
して噴射ノズルに供給される。切換弁２４、Ａ、２４Ｂ
は洗浄溶液の供給先を噴射ノズルと貯ａ槽２ＯＡ、２０
Ｂとに選択的に切り換えるためのものである。２５は冷
却蛇管であり、開口部１６．１６゛の下に配設され、蒸
気となった洗浄溶液を露点以下に冷却し、凝縮させて落
下させることにより洗浄溶液が開口部１６．１６’から
洗浄波Ｆｉ１０の外部に飛散するのを防止する。

前記マガジン収納部１８Ａはｖｊ２図に拡大図示するよ
うに、内部にヒータ２６Ａが設けられ、マガジン１５が
載置される底面中央には通孔２７Ａが穿設されている。

前記ヒータ２６Ａは通孔２７Ａに挿入される被洗浄物７
の突起部８を効率良く加熱できるように配設されている
。一方、前記マガジン１５は上部プレー）１５ａと嵌合
孔１５ｂを刻設した下部プレー）１５ｃからなり、被洗
浄物７は嵌合孔１５ｂに嵌着され、上部プレー）１５ａ
と下部プレー）１５ｃによって挟持される。そして、マ
カ゛ジン１５は、嵌合孔１５ｂから突出した被洗浄物７
の突起部８が通孔２７Ａに挿通されるように、マガジン
収納部１８Ａ上に載置される。

また通孔２７Ａに対向して鉛直上向きに噴射ノズル２８
Ａが配設され、昇降キャリア１８が下降したとき噴射ノ
ズル２８Ａが閉塞隘路部８ａ内に挿入されるように正確
に位置決めされている。この噴射ノズル２８Ａは閉塞隘
路部８ａに挿入されたとき突起部８の内壁との開に適宜
の間隙ができるように閉塞隘路部８ａの径よりも小さい
径を有する。尚、図示しないがマガジン収納部１．８　
Ｂもマガノン収納部１．８　Ａと同じくヒータ２６Ｂ１
通孔２７Ｂが設けられ、また噴射ノズル２８Ｂが同様に
配設されている。

本実施例装置は以上の構成よりなり、次にその作動を説
明する。

図中、２点鎖線で示す位置に昇降キャリア１８があると
き、アンローブ（図示せず）により、マガジン収納部１
８Ｂにあるマガジン１５がコンベア１４゛へ搬出され、
ローブ（図示せず）によりマガジン収納部１８Ａにある
マガジン１５がマガジン収納部１８Ｂに移送されると共
にコンベア１４から処理前のマガジン１５がマガジン収
納部１８Ａに搬入される。

マガジン収納部１８Ａ、１８Ｂに載置されたマガジン１
５内の被洗浄物７はヒータ２６Ａ、２６Ｂによって予め
洗浄溶液の大気圧沸点以上の温度に加熱される。

洗浄溶液としてフロンを使用する場合、フロンの沸騰曲
線は第３図に示すように、大気圧のもとでの沸点は４７
．６℃であり、また２気圧のもとでの沸点は８４℃であ
る。従って、例えば約６０℃に被洗浄物７を加熱してお
く。

被洗浄物７が充分加熱され後、昇降キャリア１８を下降
させ、噴射ノズル２８Ａ、２８Ｂを被洗浄物７の各閉塞
隘路部８ａに挿入する。ついで切換弁２４Ａ、２４Ｂを
切り換えでポンプ２２Ａ１２２Ｂによｒ）ｍ圧された洗
浄溶液をｒＡ塞隘路部８１６．１６゛を通して大気圧下
にあり、また÷起部８ごと噴射ノズル２８Ａ、２８Ｂと
の間には間隙が形成されているので閉塞隘路部８ａ内も
大気圧下にある。従って常温で加圧された洗浄溶液を閉
塞隘路８ａ内に高速で噴射すると、加熱された閉塞隘路
部８ａ内表面で沸騰し、閉塞隘路部８ａに付着している
汚染物９を核として蒸気泡が発生し、汚染物９が閉塞隘
路部８ａ表面から分離する。

洗浄後、昇降キャリア１８を図中、２点Ｈｍで示す位置
まで上昇させ、ここでＡステージヨシで荒洗浄したマガ
ジン１５をＢステーションに移し、Ｂステーションで仕
上げ洗浄したマガジン１５を洗浄装置１０外部に搬出す
る。

でいたが、僅か２分にて同等以上の洗浄効果を達成する
ことができた。・ なお、上記実施例ではＡ、Ｂ、二つのステーションを設
け、荒洗浄と仕上げ洗浄の２段階の洗浄操作を行ってい
るが、これは被洗浄物に応じて、１ステーシヨンでもよ
く、あるいはより高い洗浄効果を達成するために多数の
ステーションを設けてもよい。

（発明の効果） 本発明によれば、使用する洗浄溶液の大気圧源すること
により被洗浄物番表面に付着した汚染物を除去するもの
であり、洗浄効果が極めて高く、洗浄に要する時間及び
エネルギも少なくて済む。

また被洗浄物が脆弱で超音波洗浄により破損するおそれ
があるものでも、なんら損傷を加えることなく洗浄する
ことができる。

更に、被洗浄物が洗浄溶液によって洗浄溶液の大気圧沸
点以上に加熱されるため、洗浄後の乾燥状態が良好とな
り、従来のようにベーパ洗浄時に付着する水分によるし
み等の発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施するための洗浄装置を示す断
面図、第２図は本実施例装置の要部拡大断面図、第３図
は本発明方法に用いる洗浄溶液の沸騰曲線図、第４図は
被洗浄物の拡大断面図、第５図は従来装置を示す断面図
である。 ＝１２− ２２Ａ、２２Ｂ・・・ポンプ　２６Ａ、２６Ｂ・・・（
加熱手段たる）ヒータ　２８Ａ、２８Ｂ・・・噴射ノズ
ル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）使用する洗浄溶液の大気圧沸点より高い温度に被
   洗浄物を加熱し、ついで加圧した洗浄溶液を大気圧下に
   置かれた被洗浄物に噴射することを特徴とする洗浄方法
   。
2. （２）使用する洗浄溶液の大気圧沸点より高い温度に被
   洗浄物を加熱するための加熱手段と、大気圧下に置かれ
   た被洗浄物に対向して配設され該被洗浄物に洗浄溶液を
   噴射するための噴射ノズルと、該噴射ノズルに洗浄溶液
   を加圧供給するためのポンプとを、備えたことを特徴と
   する洗浄装置。