JPH0796257A - 脱脂洗浄方法および装置 - Google Patents
脱脂洗浄方法および装置Info
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- JPH0796257A JPH0796257A JP26298693A JP26298693A JPH0796257A JP H0796257 A JPH0796257 A JP H0796257A JP 26298693 A JP26298693 A JP 26298693A JP 26298693 A JP26298693 A JP 26298693A JP H0796257 A JPH0796257 A JP H0796257A
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- cleaning
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- solvent
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- cleaned
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】オゾン層破壊の問題がなく、衛生的にも安全で
且つ効率のよい、従来トリクロロエタンおよびフロン１
１３によって行われていた全分野に適用できる脱脂洗浄
方法および装置を提供する。 【構成】被洗浄物を水に対する溶解度が小さく、水と最
低共沸混合物系を形成する油脂溶解性の溶剤と水との共
沸混合物の共沸温度における蒸気または蒸気とその凝縮
液を用いて洗浄する。洗浄装置は、断熱構造の壁で囲ま
れた洗浄室の頂部に還流冷却装置、底部に加熱装置を有
し、該洗浄室の側面に被洗浄物の搬出・搬入用の２つの
密閉可能な開口部と洗浄液注入口、底部に排出口を有
し、洗浄室内にサイフォン管を付けた洗浄槽が、洗浄液
面より上位、凝縮還流液の落下する位置に設けられる。
２つの副室、自動搬出・搬入用移送装置、洗浄槽の昇降
装置を付けて自動化もできる。
且つ効率のよい、従来トリクロロエタンおよびフロン１
１３によって行われていた全分野に適用できる脱脂洗浄
方法および装置を提供する。 【構成】被洗浄物を水に対する溶解度が小さく、水と最
低共沸混合物系を形成する油脂溶解性の溶剤と水との共
沸混合物の共沸温度における蒸気または蒸気とその凝縮
液を用いて洗浄する。洗浄装置は、断熱構造の壁で囲ま
れた洗浄室の頂部に還流冷却装置、底部に加熱装置を有
し、該洗浄室の側面に被洗浄物の搬出・搬入用の２つの
密閉可能な開口部と洗浄液注入口、底部に排出口を有
し、洗浄室内にサイフォン管を付けた洗浄槽が、洗浄液
面より上位、凝縮還流液の落下する位置に設けられる。
２つの副室、自動搬出・搬入用移送装置、洗浄槽の昇降
装置を付けて自動化もできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオゾン層破壊の問題がな
く、また衛生的にも安全であって且つ効率が良く、従来
フロン１１３およびトリクロロエタンによって行われて
いた洗浄の全分野に適用することができる溶剤と水との
共沸混合物による脱脂洗浄方法およびその方法を実施す
るための脱脂洗浄装置に関する。
く、また衛生的にも安全であって且つ効率が良く、従来
フロン１１３およびトリクロロエタンによって行われて
いた洗浄の全分野に適用することができる溶剤と水との
共沸混合物による脱脂洗浄方法およびその方法を実施す
るための脱脂洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】エレクトロニクスの分野等で従来多用さ
れていた洗浄剤のＣＦＣ−１１３およびトリクロロエタ
ンの使用が、オゾン層破壊の問題により１９９５年末で
全廃と決まり、これらの溶剤を使用していた各分野にお
いてそれぞれ下記のような対応策が検討され、その一部
は既に実施されている。 水系 純水のみ、またはアルカリもしくは界面活性剤
を使用。 準水系 純水と水溶性溶剤との併用。 非水系 １．トリクロロエタン以外の塩素系有機溶剤の
使用。 ２．ＣＦＣ−１１３に代わる他のフッソ系代替溶剤の使
用。 ３．炭化水素系、アルコール系等の可燃性溶剤の使用。
れていた洗浄剤のＣＦＣ−１１３およびトリクロロエタ
ンの使用が、オゾン層破壊の問題により１９９５年末で
全廃と決まり、これらの溶剤を使用していた各分野にお
いてそれぞれ下記のような対応策が検討され、その一部
は既に実施されている。 水系 純水のみ、またはアルカリもしくは界面活性剤
を使用。 準水系 純水と水溶性溶剤との併用。 非水系 １．トリクロロエタン以外の塩素系有機溶剤の
使用。 ２．ＣＦＣ−１１３に代わる他のフッソ系代替溶剤の使
用。 ３．炭化水素系、アルコール系等の可燃性溶剤の使用。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
対応策による各技術はそれぞれに問題を抱えている。す
なわち、水系、準水系はともに純水製造装置と排水処理
設備とが必要で、高額の設備投資と、それらの設備の設
置のための広いスペースを必要とする。そのため大手企
業では普及してきたが、中小企業では採用が困難であ
る。
対応策による各技術はそれぞれに問題を抱えている。す
なわち、水系、準水系はともに純水製造装置と排水処理
設備とが必要で、高額の設備投資と、それらの設備の設
置のための広いスペースを必要とする。そのため大手企
業では普及してきたが、中小企業では採用が困難であ
る。
【０００４】また、非水系のうち、１および２について
は発癌性等の毒性面の問題が完全に解決されておらず、
３については溶剤の引火点が低いため、消防法により防
爆設備の設置が義務ずけられているので使用は容易でな
い。最近３については引火点の高いナフテン系炭化水素
が提案されているが、沸点が高いため乾燥が遅く、乾燥
を速くするためには減圧乾燥装置等を必要とし、余分な
設備投資を強いられる。
は発癌性等の毒性面の問題が完全に解決されておらず、
３については溶剤の引火点が低いため、消防法により防
爆設備の設置が義務ずけられているので使用は容易でな
い。最近３については引火点の高いナフテン系炭化水素
が提案されているが、沸点が高いため乾燥が遅く、乾燥
を速くするためには減圧乾燥装置等を必要とし、余分な
設備投資を強いられる。
【０００５】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であって、これらの諸問題を解決し、多大な設備費を必
要とせず、広い面積も要らず、しかも毒性等の衛生上の
問題もない、従って中小企業でも容易に採用することの
できる洗浄技術を提供することを目的とする。
であって、これらの諸問題を解決し、多大な設備費を必
要とせず、広い面積も要らず、しかも毒性等の衛生上の
問題もない、従って中小企業でも容易に採用することの
できる洗浄技術を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による脱脂洗浄方法は以下の構成としたもの
である。すなわち、水に対する溶解度が小さく、水と最
低共沸混合物系を形成する油脂溶解性の溶剤と水との共
沸混合物蒸気もしくはその凝縮液、またはその両者によ
って被洗浄物を洗浄することを特徴とする。
めに本発明による脱脂洗浄方法は以下の構成としたもの
である。すなわち、水に対する溶解度が小さく、水と最
低共沸混合物系を形成する油脂溶解性の溶剤と水との共
沸混合物蒸気もしくはその凝縮液、またはその両者によ
って被洗浄物を洗浄することを特徴とする。
【０００７】本発明者等は、用いる溶剤自身は可燃性で
あるが、より安全な脱脂洗浄方法としてその溶剤と水と
の共沸混合物を使用する洗浄方法に着想し、水との組合
せにおいて最低共沸混合物系を形成する溶剤、共沸点お
よび組成を調査し、実験を行って使用の可能性を確認し
て本発明を完成した。
あるが、より安全な脱脂洗浄方法としてその溶剤と水と
の共沸混合物を使用する洗浄方法に着想し、水との組合
せにおいて最低共沸混合物系を形成する溶剤、共沸点お
よび組成を調査し、実験を行って使用の可能性を確認し
て本発明を完成した。
【０００８】上記の条件を満たす溶剤としては、トルエ
ン、キシレン等の芳香族炭化水素、テルペン系炭化水素
および炭素原子の総数が６個以上の脂肪酸エステル類等
が挙げられる。これらの溶剤名を例示し、各溶剤と水と
の共沸温度（℃）と共沸混合物中の水分（％）とを表１
に列挙する。但し本発明に使用できる溶剤は表１に挙げ
たものに限定されるものではない。
ン、キシレン等の芳香族炭化水素、テルペン系炭化水素
および炭素原子の総数が６個以上の脂肪酸エステル類等
が挙げられる。これらの溶剤名を例示し、各溶剤と水と
の共沸温度（℃）と共沸混合物中の水分（％）とを表１
に列挙する。但し本発明に使用できる溶剤は表１に挙げ
たものに限定されるものではない。
【０００９】これらの溶剤の一般的傾向として、炭素数
の増加と共に共沸温度が上昇し、共沸混合物中の水分も
増加している。安全性の面からは水の多い方が好まし
く、一方脱脂性能の面からは溶剤の多い方が好ましい。
従って本発明に使用する溶剤としては、引火点が常温よ
り高く、共沸混合物の組成において水分が４０〜６０％
である前記芳香族炭化水素、テルペン系炭化水素または
脂肪酸エステルが好ましい。中でも、安全性、脱脂性
能、特にフラックス溶解性等を総合的に勘案して特に好
ましい溶剤はα−ピネン、ジペンテン等のテルペン系炭
化水素である。
の増加と共に共沸温度が上昇し、共沸混合物中の水分も
増加している。安全性の面からは水の多い方が好まし
く、一方脱脂性能の面からは溶剤の多い方が好ましい。
従って本発明に使用する溶剤としては、引火点が常温よ
り高く、共沸混合物の組成において水分が４０〜６０％
である前記芳香族炭化水素、テルペン系炭化水素または
脂肪酸エステルが好ましい。中でも、安全性、脱脂性
能、特にフラックス溶解性等を総合的に勘案して特に好
ましい溶剤はα−ピネン、ジペンテン等のテルペン系炭
化水素である。
【００１０】ジペンテン（モノテルペン）に属するｄ−
リモネンは生分解性であり、金属に対する腐食がない、
またロジン系フラックスに対し優れた溶解性を示す等の
特徴を有するため、従来界面活性剤を併用して準水系洗
浄剤として実際に使用されている（日経ＢＰ社発行 日
経マテリアル＆テクノロジー特別号「フロン・エタンは
全廃できる」１４７頁）。またテルペン系溶剤のみを使
用する洗浄機も市販されているが、水との共沸混合物を
用いる洗浄方法は未だ知られていない。
リモネンは生分解性であり、金属に対する腐食がない、
またロジン系フラックスに対し優れた溶解性を示す等の
特徴を有するため、従来界面活性剤を併用して準水系洗
浄剤として実際に使用されている（日経ＢＰ社発行 日
経マテリアル＆テクノロジー特別号「フロン・エタンは
全廃できる」１４７頁）。またテルペン系溶剤のみを使
用する洗浄機も市販されているが、水との共沸混合物を
用いる洗浄方法は未だ知られていない。
【００１１】本発明はまた、断熱構造で囲まれた洗浄室
の底部に加熱装置、頂部に還流冷却装置を有し、該洗浄
室の側面に被洗浄物の搬出・搬入用の２つの密閉可能な
開口部と、洗浄液の注入口および排出口とを有し、さら
に該洗浄室内にサイフォン機構を付けた洗浄槽が、該洗
浄室内の洗浄液の面より上位で、凝縮還流液の落下する
位置に設けられていることを特徴とする溶剤と水との共
沸混合物を用いる脱脂洗浄装置を提供する。
の底部に加熱装置、頂部に還流冷却装置を有し、該洗浄
室の側面に被洗浄物の搬出・搬入用の２つの密閉可能な
開口部と、洗浄液の注入口および排出口とを有し、さら
に該洗浄室内にサイフォン機構を付けた洗浄槽が、該洗
浄室内の洗浄液の面より上位で、凝縮還流液の落下する
位置に設けられていることを特徴とする溶剤と水との共
沸混合物を用いる脱脂洗浄装置を提供する。
【００１２】さらにこの脱脂洗浄装置は、洗浄室の２つ
の開口部の外側に接して、被洗浄物を搬入、搬出するた
めの２つの副室と、この副室および洗浄室を横に貫通し
て設けられた半自動もしくは自動的に作動する被洗浄物
の移送装置とが付設され、その２つの副室はそれぞれ被
洗浄物の搬入、搬出時に洗浄室から副室内に流入する蒸
気を排気し、それを冷却凝縮させる排気装置に連結する
ことができる。
の開口部の外側に接して、被洗浄物を搬入、搬出するた
めの２つの副室と、この副室および洗浄室を横に貫通し
て設けられた半自動もしくは自動的に作動する被洗浄物
の移送装置とが付設され、その２つの副室はそれぞれ被
洗浄物の搬入、搬出時に洗浄室から副室内に流入する蒸
気を排気し、それを冷却凝縮させる排気装置に連結する
ことができる。
【００１３】上記洗浄室内の洗浄槽は、網篭等に入れて
洗浄室に搬入された小型部品を洗浄するために、自動的
に洗浄槽を上下する昇降手段に連結することができる。
洗浄室に搬入された小型部品を洗浄するために、自動的
に洗浄槽を上下する昇降手段に連結することができる。
【００１４】
【作用】上記の構成により、本発明の溶剤と水との共沸
混合物を用いる脱脂洗浄方法は、被洗浄物が洗浄室内で
清浄な最低共沸混合物の蒸気および絶えず還流するその
凝縮液により連続的に洗浄され、１００℃以下の温度で
安全に実施することが可能となり、また、本発明の脱脂
洗浄装置を使用することにより、半自動または自動的に
被洗浄物の搬入・搬出が行われ、短時間に効率よく脱脂
洗浄を実施することが可能となる。
混合物を用いる脱脂洗浄方法は、被洗浄物が洗浄室内で
清浄な最低共沸混合物の蒸気および絶えず還流するその
凝縮液により連続的に洗浄され、１００℃以下の温度で
安全に実施することが可能となり、また、本発明の脱脂
洗浄装置を使用することにより、半自動または自動的に
被洗浄物の搬入・搬出が行われ、短時間に効率よく脱脂
洗浄を実施することが可能となる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明による溶剤と水との共沸混合物
を用いる脱脂洗浄方法およびそれに使用する脱脂洗浄装
置の一例について図面を参照して具体的に説明する。
を用いる脱脂洗浄方法およびそれに使用する脱脂洗浄装
置の一例について図面を参照して具体的に説明する。
【００１６】図１は本発明の溶剤と水との共沸混合物を
用いる脱脂洗浄装置の一例を示す断面図、また、図２は
図１の洗浄装置を半連続化した装置の一例を示す断面図
である。
用いる脱脂洗浄装置の一例を示す断面図、また、図２は
図１の洗浄装置を半連続化した装置の一例を示す断面図
である。
【００１７】図１および図２において、１は断熱構造の
壁２に囲まれた洗浄室で、頂部に還流冷却装置Ｉ、底部
には加熱装置IIが設置されている。この洗浄室１の側面
上部には被洗浄物の搬出・搬入用の密閉可能な２つの開
口部３（例えば搬入口３ａ、搬出口３ｂ）、中部側面に
洗浄液注入口４および底部に洗浄液排出口５が設けられ
ている。洗浄室１の壁２を断熱構造とするのは、共沸混
合物蒸気を側壁で凝縮させないためである。
壁２に囲まれた洗浄室で、頂部に還流冷却装置Ｉ、底部
には加熱装置IIが設置されている。この洗浄室１の側面
上部には被洗浄物の搬出・搬入用の密閉可能な２つの開
口部３（例えば搬入口３ａ、搬出口３ｂ）、中部側面に
洗浄液注入口４および底部に洗浄液排出口５が設けられ
ている。洗浄室１の壁２を断熱構造とするのは、共沸混
合物蒸気を側壁で凝縮させないためである。
【００１８】洗浄室１の内部にはサイフォン管６を取り
付けた洗浄槽７が洗浄室内の液面より上位で、凝縮還流
液が落下する位置に設置される。洗浄槽７は図に示すよ
うに、液溜まり８を底部の一隅に設け、底部を液溜まり
８に向かって緩く傾斜させ、サイフォン管６はこの液溜
まり８が設けられた一隅に取り付け、その洗浄槽内の先
端は液溜まり８の底面近くに開口させる。これは洗浄槽
７に溜まった凝縮液のサイフォン管による排出時に残留
する液量を極力少なくするためである。
付けた洗浄槽７が洗浄室内の液面より上位で、凝縮還流
液が落下する位置に設置される。洗浄槽７は図に示すよ
うに、液溜まり８を底部の一隅に設け、底部を液溜まり
８に向かって緩く傾斜させ、サイフォン管６はこの液溜
まり８が設けられた一隅に取り付け、その洗浄槽内の先
端は液溜まり８の底面近くに開口させる。これは洗浄槽
７に溜まった凝縮液のサイフォン管による排出時に残留
する液量を極力少なくするためである。
【００１９】加熱装置II についてはとくに限定はない
が、温度制御の容易な熱媒による間接加熱方式が好まし
い。間接加熱方式としては、底部外面を熱媒で加熱する
外部加熱方式でもよく、熱媒を内部に設けた蛇管内に流
す内部加熱方式でもよい。
が、温度制御の容易な熱媒による間接加熱方式が好まし
い。間接加熱方式としては、底部外面を熱媒で加熱する
外部加熱方式でもよく、熱媒を内部に設けた蛇管内に流
す内部加熱方式でもよい。
【００２０】還流冷却装置Ｉの上部端開放部の温度は使
用する溶剤の引火点以下とする。また、この先端部分に
は、安全性確保のために活性炭等からなる溶剤吸着層９
を設けることが好ましい。
用する溶剤の引火点以下とする。また、この先端部分に
は、安全性確保のために活性炭等からなる溶剤吸着層９
を設けることが好ましい。
【００２１】なお洗浄室１において、溶剤と水との混合
液を加熱する際の突沸防止に沸石を使用する方法もある
が、洗浄液中に底部から窒素を微細な気泡として送り込
むことが安全性を高める。例えばＬ字型のパイプの横の
部分（端末部）に微細な孔を多数有する窒素導入管１０
を図に示したように適用してもよい。
液を加熱する際の突沸防止に沸石を使用する方法もある
が、洗浄液中に底部から窒素を微細な気泡として送り込
むことが安全性を高める。例えばＬ字型のパイプの横の
部分（端末部）に微細な孔を多数有する窒素導入管１０
を図に示したように適用してもよい。
【００２２】以上説明した図１の装置はバッチ式洗浄用
のものであって、被洗浄物の搬入、搬出は洗浄室内の温
度を一旦常温に下げて行わなければならない。この洗浄
方法を多量の被洗浄物に対して効率よく実施するには、
一々洗浄室の温度を下げることなく、洗浄液を共沸させ
ながら被洗浄物を半連続的に搬入、搬出する方法をとる
ことが必要である。
のものであって、被洗浄物の搬入、搬出は洗浄室内の温
度を一旦常温に下げて行わなければならない。この洗浄
方法を多量の被洗浄物に対して効率よく実施するには、
一々洗浄室の温度を下げることなく、洗浄液を共沸させ
ながら被洗浄物を半連続的に搬入、搬出する方法をとる
ことが必要である。
【００２３】この場合安全性の面から、被洗浄物を洗浄
室内に直接搬入、搬出することができないので、間接的
に行う方法を工夫しなければならない。そのための手段
はいろいろ考えられるが、図２にその一例を示す。
室内に直接搬入、搬出することができないので、間接的
に行う方法を工夫しなければならない。そのための手段
はいろいろ考えられるが、図２にその一例を示す。
【００２４】図２において洗浄室１の構成は図１と同じ
である。この洗浄室１の搬入、搬出用の２つの開口部３
ａ、３ｂに接してそれぞれ副室１１（例えば搬入側１１
ａ、搬出側１１ｂ）を設ける。副室１１ａおよび１１ｂ
は、搬入、搬出時に洗浄室１から流入してくる蒸気を排
気し、これを冷却凝縮させる排気装置III に接続され
る。なお排気装置III の端末には、安全のため活性炭等
の溶剤吸着層を設ける。
である。この洗浄室１の搬入、搬出用の２つの開口部３
ａ、３ｂに接してそれぞれ副室１１（例えば搬入側１１
ａ、搬出側１１ｂ）を設ける。副室１１ａおよび１１ｂ
は、搬入、搬出時に洗浄室１から流入してくる蒸気を排
気し、これを冷却凝縮させる排気装置III に接続され
る。なお排気装置III の端末には、安全のため活性炭等
の溶剤吸着層を設ける。
【００２５】被洗浄物は半自動または自動的に作動する
移送装置IVによって搬送される。移送装置IVとしては、
洗浄室１および副室１１を貫通する、スキー場で使用す
るケーブル式のリフト構造の装置、あるいは洗浄室１と
副室１１との間が中断されたローラーコンベアまたはレ
ールと線状に連絡して駆動するアクチュエーターとの組
合せによって架台を洗浄室１内に搬入、搬出する装置等
がある。ケーブル方式では、開口部３および副室１１の
外面の開口部１２（例えば搬入側１２ａ、搬出側１２
ｂ）の扉はケーブルを挟む両開き型とする。
移送装置IVによって搬送される。移送装置IVとしては、
洗浄室１および副室１１を貫通する、スキー場で使用す
るケーブル式のリフト構造の装置、あるいは洗浄室１と
副室１１との間が中断されたローラーコンベアまたはレ
ールと線状に連絡して駆動するアクチュエーターとの組
合せによって架台を洗浄室１内に搬入、搬出する装置等
がある。ケーブル方式では、開口部３および副室１１の
外面の開口部１２（例えば搬入側１２ａ、搬出側１２
ｂ）の扉はケーブルを挟む両開き型とする。
【００２６】被洗浄物が小型部品の場合は、洗浄室１内
に設けた洗浄槽７を上下に昇降可能な方式で用いるのが
便利である。昇降手段としては、例えば図２に示したよ
うに、洗浄室外に設けた電動機等により、ボールねじ機
構で回転軸１５に沿って上下する架台１３に洗浄槽７を
載せる昇降装置Ｖ等がある。
に設けた洗浄槽７を上下に昇降可能な方式で用いるのが
便利である。昇降手段としては、例えば図２に示したよ
うに、洗浄室外に設けた電動機等により、ボールねじ機
構で回転軸１５に沿って上下する架台１３に洗浄槽７を
載せる昇降装置Ｖ等がある。
【００２７】次に洗浄方法について、上記した図２の洗
浄装置を使用する場合を例にとって説明する。使用する
溶剤と水との共沸混合物組成より水を若干過剰な組成と
して、洗浄液注入口４から溶剤と水とを洗浄室１内に注
入し、加熱する。共沸して発生する共沸混合物の蒸気が
冷却凝縮して還流が始まったら、被洗浄物を洗浄室１内
に搬入して洗浄する。
浄装置を使用する場合を例にとって説明する。使用する
溶剤と水との共沸混合物組成より水を若干過剰な組成と
して、洗浄液注入口４から溶剤と水とを洗浄室１内に注
入し、加熱する。共沸して発生する共沸混合物の蒸気が
冷却凝縮して還流が始まったら、被洗浄物を洗浄室１内
に搬入して洗浄する。
【００２８】被洗浄物が大型品の場合は、移送装置IVが
例えばケーブル方式の場合には予めケーブルに取り付け
られた鉤または治具に被洗浄物を掛け、あるいはコンベ
アまたはレール方式の場合は被洗浄物を架台に載せて、
搬入側副室１１ａ内に入れて待機させておく。この移送
において、副室１１ａおよび洗浄室１の開口部１２ａお
よび３ａの各扉の開閉は、外部から手動で行ってもよ
く、または近接センサーを利用して自動的に行ってもよ
い。
例えばケーブル方式の場合には予めケーブルに取り付け
られた鉤または治具に被洗浄物を掛け、あるいはコンベ
アまたはレール方式の場合は被洗浄物を架台に載せて、
搬入側副室１１ａ内に入れて待機させておく。この移送
において、副室１１ａおよび洗浄室１の開口部１２ａお
よび３ａの各扉の開閉は、外部から手動で行ってもよ
く、または近接センサーを利用して自動的に行ってもよ
い。
【００２９】被洗浄物が小型部品の場合は、洗浄槽７に
入る寸法の金属製またはテフロン製の網篭１４に入れて
移送装置に掛け、副室１１ａ内に移送待機させておく。
入る寸法の金属製またはテフロン製の網篭１４に入れて
移送装置に掛け、副室１１ａ内に移送待機させておく。
【００３０】被洗浄物は洗浄室１内で清浄な共沸混合物
蒸気および還流液により連続的に洗浄されるため、効率
よく短時間で洗浄が完了する。篭１４に入れた小型部品
は、昇降装置Ｖによって上昇させた洗浄槽７に篭ごと入
れ、槽内に溜まった還流液に浸漬される。還流液は上層
が溶剤の２層に分離されているが、洗浄槽７内の液面が
上昇してサイフォン管より溢流が始まると槽７内の液は
一気に排出され、この時に被洗浄物は溶剤層を潜るので
脱脂洗浄が行われる。これを数回繰り返した後洗浄槽７
を降下させて篭１４を槽７の外に出す。
蒸気および還流液により連続的に洗浄されるため、効率
よく短時間で洗浄が完了する。篭１４に入れた小型部品
は、昇降装置Ｖによって上昇させた洗浄槽７に篭ごと入
れ、槽内に溜まった還流液に浸漬される。還流液は上層
が溶剤の２層に分離されているが、洗浄槽７内の液面が
上昇してサイフォン管より溢流が始まると槽７内の液は
一気に排出され、この時に被洗浄物は溶剤層を潜るので
脱脂洗浄が行われる。これを数回繰り返した後洗浄槽７
を降下させて篭１４を槽７の外に出す。
【００３１】洗浄が終わった被洗浄物は搬出側の副室１
１ｂに移送される。被洗浄物は洗浄室１内を移動中も共
沸蒸気で洗浄されるので、殆ど乾燥した状態で副室１１
ｂに送られ、１２ｂから取り出される。
１ｂに移送される。被洗浄物は洗浄室１内を移動中も共
沸蒸気で洗浄されるので、殆ど乾燥した状態で副室１１
ｂに送られ、１２ｂから取り出される。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明による溶剤と
水との共沸混合物による脱脂洗浄方法は上記の構成であ
るから、引火点が常温以上の高沸点溶剤を１００℃以下
の温度で効率よく気化凝縮させて、常に清浄な洗浄液で
洗浄することができるので、洗浄時間が短く、かつ洗浄
室は一つで済み、広い面積も必要としない。
水との共沸混合物による脱脂洗浄方法は上記の構成であ
るから、引火点が常温以上の高沸点溶剤を１００℃以下
の温度で効率よく気化凝縮させて、常に清浄な洗浄液で
洗浄することができるので、洗浄時間が短く、かつ洗浄
室は一つで済み、広い面積も必要としない。
【００３３】また、安全性の面については、水と相溶し
ない溶剤と水との共沸混合物蒸気の引火点測定方法が技
術的に確率されておらず、数値的な表現はできないが、
少なくとも次の２点から単独溶剤使用より安全であると
言える。すなわち （１）水との共沸温度は１００℃以下であり、沸点の１
００℃以下の溶剤の引火点はいずれも常温以下である。
蒸気処理温度を同一として、溶剤の単独使用の場合と比
較するならば引火点の高い溶剤が使用できる。 （２）共沸混合物蒸気には水蒸気が含まれ、その含有量
はテルペン系炭化水素では４０％以上である。
ない溶剤と水との共沸混合物蒸気の引火点測定方法が技
術的に確率されておらず、数値的な表現はできないが、
少なくとも次の２点から単独溶剤使用より安全であると
言える。すなわち （１）水との共沸温度は１００℃以下であり、沸点の１
００℃以下の溶剤の引火点はいずれも常温以下である。
蒸気処理温度を同一として、溶剤の単独使用の場合と比
較するならば引火点の高い溶剤が使用できる。 （２）共沸混合物蒸気には水蒸気が含まれ、その含有量
はテルペン系炭化水素では４０％以上である。
【００３４】本発明の洗浄装置は洗浄室内に窒素を導入
すること、排気部分である還流冷却装置の頂部に活性炭
吸着層を設け、溶剤の蒸気が外部へ洩れなくすること、
半連続的に行う装置においては副室を設け、被洗浄物の
搬入、搬出時に副室に洩れた溶剤蒸気を排気し、活性炭
層に吸着させること等により溶剤蒸気は外部に洩れず、
安全に操業することができる。
すること、排気部分である還流冷却装置の頂部に活性炭
吸着層を設け、溶剤の蒸気が外部へ洩れなくすること、
半連続的に行う装置においては副室を設け、被洗浄物の
搬入、搬出時に副室に洩れた溶剤蒸気を排気し、活性炭
層に吸着させること等により溶剤蒸気は外部に洩れず、
安全に操業することができる。
【００３５】廃洗浄液は次のように処理されるので、排
水処理などの公害防止に対する設備投資が小額で済む。
本発明の方法では、洗浄液に水と相溶しない、水より比
重の小さい溶剤と水とを使用し、界面活性剤を使用して
いないので、廃洗浄液は脱脂された油脂を溶解している
溶剤層が上層に、水が下層に容易に分離し、特別な油水
分離器を必要としない。
水処理などの公害防止に対する設備投資が小額で済む。
本発明の方法では、洗浄液に水と相溶しない、水より比
重の小さい溶剤と水とを使用し、界面活性剤を使用して
いないので、廃洗浄液は脱脂された油脂を溶解している
溶剤層が上層に、水が下層に容易に分離し、特別な油水
分離器を必要としない。
【００３６】テルペン系炭化水素を使用する場合、テル
ペンは天然物で生分解されるので、前記水層中に多少の
テルペンが溶存していても排水処理を必要としない。上
層の油脂を溶解している廃溶剤からの溶剤の回収は水蒸
気蒸留により行えばよい。蒸留器内には油脂分と水とが
残留し、溶剤は完全に回収される。この油脂分と水との
分離も容易で、水はそのまま排水できる。油脂分は焼却
などで簡単に処理することができる。
ペンは天然物で生分解されるので、前記水層中に多少の
テルペンが溶存していても排水処理を必要としない。上
層の油脂を溶解している廃溶剤からの溶剤の回収は水蒸
気蒸留により行えばよい。蒸留器内には油脂分と水とが
残留し、溶剤は完全に回収される。この油脂分と水との
分離も容易で、水はそのまま排水できる。油脂分は焼却
などで簡単に処理することができる。
【図１】本発明の溶剤と水との共沸混合物を用いる脱脂
洗浄装置の一例を示す断面図。
洗浄装置の一例を示す断面図。
【図２】図１の脱脂洗浄装置を半連続化した装置の一例
を示す断面図。
を示す断面図。
Ｉ 還流冷却装置 II 加熱装置 III 排気装置 IV 移送装置 Ｖ 昇降装置 １ 洗浄室 ２ 壁 ３ 開口部 ４ 洗浄液注入口 ５ 洗浄液排出口 ６ サイフォン管 ７ 洗浄槽 ８ 液溜まり ９ 溶剤吸着層 １０ 窒素導入管 １１ 副室 １２ 副室開口部 １３ 架台 １４ 網篭 １５ 回転軸
【表１】
Claims (5)
- 【請求項１】 水に対する溶解度が小さく、水と最低共
沸混合物系を形成する油脂溶解性の溶剤と水との共沸混
合物蒸気および／もしくはその凝縮液によって被洗浄物
を洗浄することを特徴とする脱脂洗浄方法。 - 【請求項２】 油脂溶解性の溶剤がテルペン系炭化水素
である請求項１記載の脱脂洗浄方法。 - 【請求項３】 断熱構造で囲まれた洗浄室の底部に加熱
装置、頂部に還流冷却装置を有し、該洗浄室の側面に被
洗浄物の搬出・搬入用の２つの密閉可能な開口部と、洗
浄液の注入口および排出口とを有し、さらに該洗浄室内
にサイフォン機構を付けた洗浄槽が、該洗浄室内の洗浄
液の面より上位で、凝縮還流液の落下する位置に設けら
れていることを特徴とする溶剤と水との共沸混合物を用
いる脱脂洗浄装置。 - 【請求項４】 洗浄室の２つの開口部の外側に接して、
被洗浄物の搬入、搬出時に洗浄室から流入する蒸気を排
気し、それを冷却凝縮させる排気装置に連結する２つの
副室と、この副室および洗浄室を横に貫通して設けられ
た半自動もしくは自動的に作動する被洗浄物の移送装置
とが付設された請求項３記載の溶剤と水との共沸混合物
を用いる脱脂洗浄装置。 - 【請求項５】 洗浄室内の洗浄槽を自動的に上下するた
めの昇降手段が備えられた請求項４記載の溶剤と水との
共沸混合物を用いる脱脂洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26298693A JPH0796257A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 脱脂洗浄方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26298693A JPH0796257A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 脱脂洗浄方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0796257A true JPH0796257A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17383315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26298693A Pending JPH0796257A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 脱脂洗浄方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0796257A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997032963A1 (de) * | 1996-03-08 | 1997-09-12 | Dr. O.K. Wack Chemie Gmbh | Verfahren zum reinigen von gegenständen |
| US6814092B2 (en) | 2001-09-28 | 2004-11-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Systems and methods for conditioning ultra high purity gas bulk containers |
| WO2007060971A1 (ja) * | 2005-11-22 | 2007-05-31 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | ホトリソグラフィ用洗浄液およびこれを用いた露光装置の洗浄方法 |
| JP2017213542A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | オリンパス株式会社 | 蒸気発生装置および蒸気洗浄装置 |
-
1993
- 1993-09-27 JP JP26298693A patent/JPH0796257A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997032963A1 (de) * | 1996-03-08 | 1997-09-12 | Dr. O.K. Wack Chemie Gmbh | Verfahren zum reinigen von gegenständen |
| US6814092B2 (en) | 2001-09-28 | 2004-11-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Systems and methods for conditioning ultra high purity gas bulk containers |
| WO2007060971A1 (ja) * | 2005-11-22 | 2007-05-31 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | ホトリソグラフィ用洗浄液およびこれを用いた露光装置の洗浄方法 |
| US8058220B2 (en) | 2005-11-22 | 2011-11-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Cleaning liquid for lithography and a cleaning method using it for photoexposure devices |
| JP5037359B2 (ja) * | 2005-11-22 | 2012-09-26 | 東京応化工業株式会社 | ホトリソグラフィ用洗浄液およびこれを用いた露光装置の洗浄方法 |
| TWI413155B (zh) * | 2005-11-22 | 2013-10-21 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 光微影蝕刻用洗淨液及使用其之曝光裝置之洗淨方法 |
| JP2017213542A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | オリンパス株式会社 | 蒸気発生装置および蒸気洗浄装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020917 |