JPH073634Y2 - ウェハ液洗乾燥装置 - Google Patents

ウェハ液洗乾燥装置

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JPH073634Y2
JPH073634Y2 JP1987197637U JP19763787U JPH073634Y2 JP H073634 Y2 JPH073634 Y2 JP H073634Y2 JP 1987197637 U JP1987197637 U JP 1987197637U JP 19763787 U JP19763787 U JP 19763787U JP H073634 Y2 JPH073634 Y2 JP H073634Y2
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wafer
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liquid washing
washing tank
holding device
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保夫 谷田部
正彦 林
利夫 片岡
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株式会社トムコ
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は半導体ウェハ、水晶ウェハ等のウェハを液洗
したのち蒸気乾燥する装置に関するものである。
〔従来の技術〕
半導体装置、電子部品等の製造工程においては、半導体
ウェハ、水晶ウェハ等のウェハの表面処理を行なったの
ちに、ウェハを酸、アルカリ等の薬品で洗浄し、つぎに
ウェハを純水、有機溶剤等で液洗し、さらにウェハを蒸
気乾燥することが行なわれている。
第10図は従来のウェハ液洗乾燥装置を有する装置を示す
概略図、第11図は第10図に示したウェハ液洗乾燥装置で
使用するキャリアを示す正面図、第12図は同じく正断面
図、第13図は同じく側断面図である。図において、1は
洗浄槽、2は液洗槽、3は蒸気乾燥機、4は蒸気乾燥機
3のヒータ、5は蒸気乾燥機3の乾燥槽、6は乾燥槽5
内に入れられたイソプロピルアルコール等の有機溶剤、
7は乾燥槽5内の上部に設けられた冷却管、8は乾燥後
のウェハが収納されたキャリアを載置すべき受台、9は
洗浄槽1、液洗槽2、蒸気乾燥機3の上方に設けられた
ガイド、10はガイド9に移動可能に取り付けられた移動
体、11は移動体10に昇降可能に取り付けられた昇降部
材、12は昇降部材11の下部に取り付けられた載置部材、
13は載置部材12に設けられた穴で、移動体10、昇降部材
11、載置部材12により搬送装置16が構成されている。14
は樹脂、硝子、金属等からなるキャリア、15はウェハ、
17はキャリア14に設けられた複数の溝で、溝17内にウェ
ハ15が収納される。
このウェハ液洗乾燥装置においては、まず第10図に示す
ように、キャリア14にウェハ15を収納し、載置部材12上
にキャリア14を載置した状態で、ウェハ15を洗浄槽1内
に浸漬すれば、ウェハ15が洗浄槽1内で薬品により洗浄
される。つぎに、搬送装置16によりウェハ15を液洗槽2
内に搬送すれば、液洗槽2内でウェハ15が純水等により
液洗される。つぎに、搬送装置16によりウェハ15を蒸気
乾燥機3内の有機溶剤6と冷却管7との間に搬送すれ
ば、蒸気乾燥機3内でウェハ15が蒸気乾燥される。すな
わち、ヒータ4により有機溶剤6を沸点以上に加熱する
と、有機溶剤6が蒸発し、また冷却管4に冷却水を供給
すれば、有機溶剤6の蒸気が外部へ逸散するのを防止す
ることができ、この状態でウェハ15を有機溶剤6と冷却
管7との間に搬送すれば、ウェハ15の表面に付着した液
体が置換、浮力等により除去される。つぎに、搬送装置
16によりキャリア14を受台8の上方まで搬送し、キャリ
ア14を受台8上に載置する。
〔考案が解決しようとする問題点〕
しかし、このようなウェハ液洗乾燥装置においては、ウ
ェハ15をキャリア14に収納した状態で蒸気乾燥を行なう
が、キャリア14の熱容量が大きいから、ウェハ15を蒸気
乾燥機3内の有機溶剤6と冷却管7との間に搬送したと
きに、有機溶剤6の蒸気がキャリア14によって冷却され
るので、ウェハ15の蒸気乾燥を迅速に行なうことができ
ないため、ウォータマーク等のよごれが生じ、また有機
溶剤6の消費量が多くなるから、不経済でありかつ安全
上問題であり、さらにヒータ4の消費エネルギーが多く
なり、不経済であり、しかもキャリア14が洗浄槽1内に
浸漬されたときに、薬品がキャリア14に付着しまた浸み
込むので、蒸気乾燥機3でキャリア14が加熱されたとき
に、キャリア14に付着しまた浸み込んだ薬品がウェハ15
に付着して、ウェハ15に水しみが生ずる。
この考案は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、ウェハの蒸気乾燥を迅速に行なうことができ、蒸気
乾燥機の有機溶剤の消費量が少なく、蒸気乾燥機のヒー
タの消費エネルギーが少なく、キャリアに付着しまた浸
み込んだ薬品がウェハに付着することがないウェハ液洗
乾燥装置を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するため、この考案においては、キャリ
アに収納されたウェハを洗浄すべき洗浄槽に隣接して設
置され、液洗槽および蒸気乾燥機を有するウェハ液洗乾
燥装置において、上記キャリアよりも熱容量が小さくし
かも複数の上記ウェハを保持すべき保持具を有しかつ上
記液洗槽から上記蒸気乾燥機に上記ウェハを搬送する保
持装置と、上記液洗槽内において上記ウェハを上記キャ
リアから上記保持装置の上記保持具に移し換える移換手
段とを設け、上記保持具に上記ウェハを保持した状態
で、上記蒸気乾燥機により上記ウェハを蒸気乾燥する。
〔作用〕
このウェハ液洗乾燥装置においては、液洗槽内において
ウェハをキャリアから保持装置に移し換え、保持装置の
保持具にウェハを保持した状態で、蒸気乾燥機によりウ
ェハを蒸気乾燥するから、キャリアを使用せずにウェハ
を蒸気乾燥することができる。
〔実施例〕
第1図はこの考案に係るウェハ液洗乾燥装置を有する装
置を示す概略図、第2図は第1図に示したウェハ液洗乾
燥装置の一部を示す断面図、第3図は第2図のA矢視図
である。図において、18は液洗槽2内に設けられた押上
部材、19はガイド9に移動可能に取り付けられた移動
体、20は移動体19に昇降可能にかつ開閉可能に取り付け
られた昇降開閉部材、21は昇降開閉部材20の下部に取り
付けられた保持具で、保持具21の熱容量はキャリア14の
熱容量よりも小さい。22は保持具21に設けられた溝で、
溝22内にウェハ15が収納され、移動体19、昇降開閉部材
20、保持具21で保持装置23を構成している。
このウェハ液洗乾燥装置においては、第1図に示すよう
に、ウェハ15を洗浄層1内に浸漬すれば、ウェハ15が洗
浄槽1内で洗浄される。つぎに、第4図に示すように、
搬送装置16によりウェハ15を液洗槽2内に搬送すれば、
液洗槽2内でウェハ15が液洗される。つぎに、第5図に
示すように、搬送装置16によりウェハ15を押上部材18の
上方に移動するとともに、保持具21の下部をキャリア14
の上部に接触させたのち、第6図に示すように、保持具
21の下部をキャリア14の上部に接触させた状態で、保持
具21およびキャリア14を下降すれば、ウェハ15が押上部
材18により押し上げられる。つぎに、第7図に示すよう
に、昇降開閉部材20により保持具21を閉じれば、保持具
21によってウェハ15が保持される。つぎに、第8図に示
すように、保持装置23によりウェハ15を蒸気乾燥機3内
の有機溶剤6と冷却管7との間に搬送すれば、蒸気乾燥
機3内で保持具21によって保持されたウェハ15が蒸気乾
燥される。つぎに、第9図に示すように、保持装置23に
よりウェハ15を受台8上に載置されたキャリア14に収納
する。
このように、このウェハ液洗乾燥装置においては、ウェ
ハ15を保持装置23の保持具21によって保持した状態で、
ウェハ15を蒸気乾燥することができから、キャリア14を
使用せずにウェハ15を蒸気乾燥を行なうことができ、保
持具21の熱容量はキャリア14の熱容量より小さいので、
ウェハ15を蒸気乾燥機3内の有機溶剤6と冷却管7との
間に搬送したときに、有機溶剤6の蒸気は保持具21によ
ってはほとんど冷却されないため、ウェハ15の蒸気乾燥
を迅速に行なうことができるから、ウォータマーク等の
よごれが生ずることはなく、また有機溶剤6の消費量を
少なくすることができるから、経済的でありかつ安全で
あり、さらにヒータ4の消費エネルギーが少なくなるか
ら、経済的であり、しかもキャリア14が洗浄槽1内に浸
漬されたときに、薬品がキャリア14に付着したまま浸み
込んだとしても、キャリア14に付着しまた浸み込んだ薬
品がウェハ15に付着することがないので、ウェハ15に水
しみが生ずることはない。また、液洗槽2内においてウ
ェハ15をキャリア14から保持装置23に移し換えることが
できるので、ウェハ15を液洗槽2内から蒸気乾燥機3内
に搬送するのに要する時間を極めて短くすることができ
るので、蒸気乾燥機3によってウェハ15を蒸気乾燥した
のちに、ウェハ15によごれが生じるのを防止することが
できる。さらに、液洗槽2内に押上部材18を設け、保持
具21およびキャリア14に下降して、ウェハ15を押上部材
18により押し上げるので、押上部材18を上下動する必要
がないから、液洗槽2内の液が汚染されることはない。
なお、上述実施例においては、搬送装置として移動体1
0、昇降部材11、載置部材12からなる搬送装置16を用い
たが、他の搬送装置を用いてもよい。また、上述実施例
においては、保持装置として移動体19、昇降開閉部材2
0、保持具21からなる保持装置23を用いたが、他の保持
装置を用いてもよい。さらに、上述実施例においては、
液洗槽2内に押上部材18を設けたが、液洗槽2に上下動
自在の押上部材を設けてもよい。
〔考案の効果〕
以上説明したように、この考案に係るウェハ液洗乾燥装
置においては、キャリアを使用せずにウェハの蒸気乾燥
を行なうことができるので、ウェハの蒸気乾燥を迅速に
行なうことができるから、ウォータマーク等のよごれが
生ずることはなく、また蒸気乾燥機の有機溶剤の消費量
を少なくすることができるから、経済的でありかつ安全
であり、さらに蒸気乾燥機のヒータの消費エネルギーが
少なくなるから、経済的であり、しかもキャリアが洗浄
槽内に浸漬されたときに、薬品がキャリアに付着しまた
浸み込んだとしても、キャリアに付着しまた浸み込んだ
薬品がウェハに付着することがないので、ウェハに水し
みが生じることはない。このように、この考案の効果は
顕著である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案に係るウェハ液洗乾燥装置を有する装
置を示す概略図、第2図は第1図に示したウェハ液洗乾
燥装置の一部を示す断面図、第3図は第2図のA矢視
図、第4図〜第9図は第1図に示したウェハ液洗乾燥装
置の動作説明図、第10図は従来のウェハ液洗乾燥装置を
有する装置を示す概略図、第11図は第10図に示したウェ
ハ液洗乾燥装置で使用するキャリアを示す正面図、第12
図は同じく正断面図、第13図は同じく側断面図である。 1……洗浄槽、2……液洗槽 3……蒸気乾燥機、14……キャリア 15……ウェハ、18……押上部材 21……保持具、23……保持装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−200540(JP,A) 特開 昭60−59747(JP,A) 特開 昭63−208223(JP,A)

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】キャリアに収納されたウェハを洗浄すべき
    洗浄槽に隣接して設置され、液洗槽および蒸気乾燥機を
    有するウェハ液洗乾燥装置において、上記キャリアより
    も熱容量が小さくしかも複数の上記ウェハを保持すべき
    保持具を有しかつ上記液洗槽から上記蒸気乾燥機に上記
    ウェハを搬送する保持装置と、上記液洗槽内において上
    記ウェハを上記キャリアから上記保持装置の上記保持具
    に移し換える移換手段とを具備し、上記保持具に上記ウ
    ェハを保持した状態で、上記蒸気乾燥機により上記ウェ
    ハを蒸気乾燥することを特徴とするウェハ液洗乾燥装
    置。
JP1987197637U 1987-12-28 1987-12-28 ウェハ液洗乾燥装置 Expired - Lifetime JPH073634Y2 (ja)

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