CN102823324A - 发光装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种发光装置的制造方法，其可通过选择性除去在发光区域外涂布成膜的薄膜，从而简易地制造发光装置(21)。该发光装置具有：支撑基板；以及多个有机电致发光元件(22)，其设置于所述支撑基板上所设定的发光区域，且包含第一电极(12)、第二电极及设置于所述第一电极与第二电极间的有机电致发光层；所述发光装置的制造方法包括：准备已设置有第一电极的支撑基板的工序；将含有形成有机EL层的材料的墨液供给至支撑基板上并在支撑基板的发光区域内及发光区域外形成由墨液形成的薄膜的工序；使发光区域内的薄膜难溶化的工序；通过清洗将发光区域外的薄膜除去的工序；以及形成第二电极的工序。

Description

发光装置的制造方法
技术领域
本发明涉及发光装置的制造方法。
背景技术
显示装置有各种组成或原理不同的装置。目前就其中一种而言，将有机电致发光(称为有机EL)元件(Electroluminescent element)使用于像素光源的显示装置正在被实用化。
该显示装置具有在支撑基板上排列的多个有机EL元件。通常，在支撑基板上设定有间隔壁，所述间隔壁用于区隔用于设置有机EL元件的凹部。多个有机EL元件分别排列于间隔壁所区隔开的凹部。
图4是示意地表示通过喷嘴印刷(Nozzle printing)法供给墨液的状态的图。例如图4所示，在支撑基板上设置由沿着规定的行方向X延伸的多条间隔壁部件1构成的间隔壁2时，多个有机EL元件3设置于间隔壁部件1之间，而在间隔壁部件1之间分别在列方向Y上隔开规定之间隔配置。
有机EL元件由一对电极与设置于一对电极间的有机EL层构成，通过依序层叠各构成要素而制成。
构成有机EL元件的有机EL层，可通过涂布法形成。也即，将包含形成有机EL层材料的墨液通过特定的涂布法进行涂布成膜，并且通过将其固化而形成有机EL层。
形成有机EL层的工序中，仅对形成有机EL元件的区域(以下称作发光区域)内涂布墨液使其成膜即可，但由于涂布法的不同，有时候不仅在发光区域内，而且在发光区域外也涂布墨液而成膜。例如：以旋转涂布法、喷嘴印刷法涂布墨液而成膜时，会将墨液涂布至发光区域外成膜。
在图4中，箭号的实线表示支撑基板上的喷嘴4的轨迹。喷嘴印刷法中，在支撑基板上配置连续供给墨液的喷嘴4，一面自该喷嘴4连续地供给墨液、一面使喷嘴于行方向X上来回移动，在喷嘴4的往复中进行折返时，使支撑基板在列方向Y上移动一行行距，由此供给墨液至各行。因这样的喷嘴印刷法是一气呵成地供给墨液，因此必然会将墨液供给至发光区域外。
在发光区域外涂布成膜的墨液，通常会在涂布墨液后被除去，因为在发光区域外涂布成膜的墨液会有导致显示装置的特性降低的可能性。例如：支撑基板通常为了封装而利用粘接部件与封装基板贴合，但当设置粘接部件的区域也被涂布了墨液时，密合性及气密性会下降。另外，当设置于支撑基板的发光区域外的配线被墨液覆盖时，配线会有不期望的短路的可能性。因此，以往的技术中使用擦拭发光区域外涂布成膜的墨液的方法除去墨液(例如参照专利文献1)。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本特开2006-216253号公报
发明内容
以往的技术，在经墨液涂布成膜的部位对擦拭部进行清扫以除去墨液，但因重复擦拭墨液而在擦拭部附着有墨液，擦拭部的墨液擦拭能力逐渐地降低，故有无法连续地将墨液擦拭干净的问题存在。且在擦拭墨液时，会从固化过程中的薄膜或经固化的薄膜产生颗粒(Particle)。结果，有在有机EL层混入颗粒的可能性。且也会从清扫擦拭部的装置产生不期望的颗粒，而此颗粒也有混入有机EL层的可能性。
(发明所要解决的技术问题)
因此，本发明以提供发光装置的制造方法为目的，其通过选择性除去发光区域外经涂布成膜的薄膜的新方法，而可简易地制造发光装置。
(解决课题的手段)
本发明提供下述的[1]至[6]。
[1]一种发光装置的制造方法，所述发光装置具有：
支撑基板；以及
多个有机电致发光元件，其设置于所述支撑基板上所设定的发光区域，且包含第一电极、第二电极及设置于所述第一电极与第二电极间的有机电致发光层；
所述发光装置的制造方法包括：
准备已设置有第一电极的支撑基板的工序；
将含有形成有机EL层的材料的墨液供给至支撑基板上并在支撑基板的发光区域内及发光区域外形成由墨液形成的薄膜的工序；
使发光区域内的薄膜难溶化的工序；
通过清洗将发光区域外的薄膜除去的工序；以及
形成第二电极的工序。
[2]如第一项所述的发光装置的制造方法，其中，所述形成由墨液形成的薄膜的工序中，供给含有聚合性化合物的墨液；
所述使薄膜难溶化的工序中，通过聚合所述聚合性化合物而使发光区域内的薄膜难溶化。
[3]如第一项或第二项所述的发光装置的制造方法，其中，所述使薄膜难溶化的工序中，通过对发光区域内的薄膜照射光而使发光区域内的薄膜难溶化。
[4]如第一项至第三项中任一项所述的发光装置的制造方法，其中，
所述使薄膜难溶化的工序中，通过加热发光区域内的薄膜而使发光区域内的薄膜难溶化。
[5]如第四项所述的发光装置的制造方法，其中，通过照射近红外线来加热发光区域内的薄膜。
[6]如第一项至第五项中任一项所述的发光装置的制造方法，其中，所述形成由墨液形成的薄膜的工序中，通过喷嘴印刷法将墨液供给至支撑基板上。
(发明的效果)
依据本发明，利用将发光区域外经涂布而成膜的薄膜选择性除去的新方法，而简易地制造发光装置。
附图说明
图1示意地表示本实施方式的发光装置的俯视图。
图2表示将发光装置示意性扩大的剖面图。
图3A是用于说明薄膜的难溶化及清洗工序的图。
图3B图是用于说明薄膜的难溶化及清洗工序的图。
图3C图是用于明薄膜的难溶化及清洗工序的图。
图4示意性地表示通过喷嘴印刷法供给墨液的状态的图。
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的一实施方式。予以说明，以下的说明中，各图仅以能理解发明的程度的方式概略地显示构成元件形状、尺寸及配置，本发明并不以此为限。再者，于各图中，关于同样的构成要素标以同一符号表示，并有省略其重复说明的情形。
本发明的发光装置的制造方法中，所述发光装置具有：支撑基板；以及多个有机电致发光元件，其设置于所述支撑基板上所设定的发光区域，且包含第一电极、第二电极及设置于所述第一电极与第二电极间的有机电致发光层；所述发光装置的制造方法包括：准备已设置有第一电极的支撑基板的工序；将含有形成有机EL层的材料的墨液供给至支撑基板上并在支撑基板的发光区域内及发光区域外形成由墨液形成的薄膜的工序；使发光区域内的薄膜难溶化的工序；通过清洗将发光区域外的薄膜除去的工序；以及形成第二电极的工序。
发光装置可作为例如显示装置或照明装置使用。显示装置主要有主动矩阵(Active matrix)驱动型的装置与被动矩阵(Passive matrix)驱动型的装置。本发明可适用于此两种驱动型的显示装置。本实施方式以适用于主动矩阵驱动型显示装置的发光装置为例进行说明。本实施方式对显示装置中作为像素光源功能的有机EL元件进行说明。例如：发光装置可具备作为背光(Backlight)功能的有机EL元件。另外，在本实施方式中，对设置有多个有机EL元件的发光装置进行说明。然而，本发明也可适用于具备1个有机EL元件的发光装置。
[发光装置的构成]
首先参照图1及图2对发光装置的构成进行说明。图1为示意性地表示本实施方式的发光装置的俯视图。图2表示将发光装置进行示意性扩大的剖面图。
如图1及图2所示，发光装置21主要具备支撑基板11、以及设置于该支撑基板上设定的发光区域的多个有机EL元件22。
本说明书的发光区域是设置多个有机EL元件的区域，例如在显示装置中，相当于显示图像信息的图像显示区域。本实施方式中，在支撑基板11上设定特定的区隔部，而将多个有机EL元件22排列于支撑基板11上设定的区隔部。在本实施方式中，为了在支撑基板11上区隔出所设定的区隔部而于支撑基板11上设置了间隔壁17。
多个有机EL元件22被分别排列于支撑基板11上所设定的特定区隔部。用于区隔此区隔部所设置的间隔壁17的形状，根据支撑基板11上所设定的区隔部的形状而定。例如：在支撑基板11上设定矩阵状的区隔部时，以区隔出此矩阵状区隔部的间隔壁而言，可在支撑基板设置格子状的间隔壁。在支撑基板11上设定为条纹状的区隔部时，以区隔此条纹状的区隔部的间隔壁而言，可在支撑基板设置条纹状的间隔壁17。本发明不论间隔壁的有无及间隔壁的形状如何，任何形态的发光装置皆可适用。而对本实施方式中对设置条纹状的间隔壁17于支撑基板11的状态进行说明。也即，本实施方式的间隔壁17由在支撑基板11上在特定的行方向X上分别延伸的多条间隔壁部件20构成。多条间隔壁部件20，在不同于行方向X的方向的列方向Y上隔以特定间隔而配置。而本实施方式的行方向X及列方向Y是指相互正交的方向，且分别与支撑基板11的厚度方向Z正交的方向。以下，也将于列方向Y上相邻的间隔壁部件20与支撑基板11所限定的凹处称作凹部18。在支撑基板11上设定有对应多条间隔壁部件20的多条凹部18。本实施方式的该多条凹部18，相当于由间隔壁所区隔的区隔部。
本实施方式的支撑基板11与间隔壁17之间可再设置绝缘膜15。该绝缘膜15例如为了确保于行方向X或列方向Y上相邻的有机EL元件22之间的电绝缘所设置。本实施方式的绝缘膜15形成格子状。格子状的绝缘膜15，由在行方向X上延伸的多条带状部分与在列方向Y上延伸的多条带状部分一体地形成。换言之，绝缘膜15具有在电绝缘性的薄膜上以矩阵状形成了多个开口15a的形状。
从支撑基板的厚度方向的一方来看(以下有称为“俯视”的情形)，绝缘膜15的开口15a形成于与有机EL元件22重叠的位置。以俯视观察，绝缘膜15的开口15a与后述第一电极12几乎一致地形成，例如形成为近似矩形、卵型、近似圆型、近似椭圆形等。以俯视来看，格子状的绝缘膜15以使第一电极12的一部分露出来覆盖第一电极12的周边缘的方式形成。而所述的多条间隔壁部件20，设置在绝缘膜15的行方向X延伸的多条带状部分上。
有机EL元件22可设置于由间隔壁所区隔的凹部18。本实施方式的多个有机EL元件22，设置于列方向Y上相邻的间隔壁部件20之间(也即凹部18)，间隔壁部件20之间分别于行方向X上隔以特定间隔而排列。也即于本实施方式，多个有机EL元件22于支撑基板11上被排列为矩阵状，而在分别于行方向X隔以特定间隔的同时，于列方向Y上也隔以特定间隔而配置。各有机EL元件22之间无物理性分离的需要，只需能以各自驱动的方式互相电绝缘即可。因此构成有机EL元件22的一部分的层(第一电极12、第二电极16、有机EL层)也可与其他有机EL元件22物理性地连接。
有机EL元件22中，第一电极12、作为有机EL层的空穴注入层13及发光层14、第二电极16以使第一电极12靠近支撑基板11的方式依次配置。
第一电极12及第二电极16，以由阳极与阴极组成的一对电极所构成。也即第一电极12及第二电极16中的一方设置为阳极，另一方则设置为阴极。且第一电极12及第二电极16中，第一电极12配置于靠近支撑基板11，第二电极16配置成较第一电极12远离支撑基板11。
有机EL元件22具备1层以上的有机EL层。而有机EL层是指第一电极12与第二电极16所夹持的全部层。有机EL元件22的有机EL层，至少具备1层以上的发光层14。且第一电极12及第二电极16之间不限于发光层14，可根据需要设置特定的层。例如：阳极与发光层14之间可设置空穴注入层、空穴输送层及电子阻隔层等作为有机EL层；在发光层14与阴极之间，可设置空穴阻隔层、电子输送层及电子注入层等作为有机EL层。
本实施方式的有机EL元件22于第一电极12与发光层14之间具备作为有机EL层的空穴注入层13。
以下对一实施方式的有机EL元件22进行说明，其中，作为阳极作用的第一电极12、空穴注入层13、发光层14、作为阴极作用的第二电极16以使第一电极12靠近支撑基板11的方式依次层叠。
本实施方式的发光装置21为主动矩阵驱动型的装置，因而各个第一电极12分别设置于每个有机EL元件22。也即在支撑基板11上设置个数与有机EL元件22的个数相同的第一电极12。例如：第一电极12为薄膜状，形成为俯视时近似矩形状。第一电极12在支撑基板11上，对应各有机EL元件所设置的位置而设置为矩阵状。多个第一电极12于行方向X上隔开特定间隔的同时，在列方向Y上隔开特定间隔而配置。
以俯视时，第一电极12配置于在列方向Y上相邻的间隔壁部件20之间，而于间隔壁部件20之间，各自于行方向X上隔开规定的间隔排列。
如上所述的格子状绝缘膜15以俯视时覆盖第一电极12的周边使第一电极12的一部分露出的方式形成。也即绝缘膜15在第一电极12上形成开口15a，而通过该开口15a从绝缘膜15露出第一电极12表面的一部分。
空穴注入层13以在行方向X上延伸的方式配置于间隔壁部件20所夹持的区域。也即，空穴注入层13以带状形成于列方向Y上相邻的间隔壁部件20所区隔的凹部18，且横跨于行方向X上相邻的多个有机EL元件22而连续地形成。
发光层14以行方向X上延伸的方式设置于相对置的间隔壁部件20间所挟的区域。也即，发光层14以带状形成于由在列方向Y上相邻的间隔壁部件20所区隔的凹部18，并跨越在行方向X相邻的多个有机EL元件22而连续地形成。带状的发光层14层叠于带状的空穴注入层13上。
本发明也可适用于黑白显示装置，但本实施方式以彩色显示装置为例进行说明。为彩色显示装置时，可在支撑基板11上设置放出红色、绿色及蓝色中的任1种光的3种有机EL元件22(22R、22G、22B)。彩色显示装置例如通过将下述的(I)、(II)、(III)的行依次在列方向Y上重复排列来实现。
(I)放出红色光的多个有机EL元件22R在行方向X上隔以特定间隔所配置的行
(II)放出绿色光的多个有机EL元件22G在行方向X上隔以特定间隔所配置的行
(III)放出蓝色光的多个有机EL元件22B在行方向X上隔以特定间隔所配置的行
形成这样的发光色不同的3种有机EL元件时，通常由每一种有机EL元件设置发光色相异的发光层。本实施方式使以下(i)、(ii)、(iii)行，以此顺序在列方向Y上重复排列。
(i)设置放出红色光的发光层14R的行
(ii)设置放出绿色光的发光层14G的行
(iii)设置放出蓝色光的发光层14B的行
此时，在行方向X上延伸的带状的3种发光层14(14R、14G、14B)，分别在列方向Y上隔开2行的间隔依序层叠于空穴注入层13上。
第二电极16被设置于发光层14上。在本实施方式中，第二电极16横跨多个有机EL元件22而连续地形成，作为多个有机EL元件22的共通电极而设置。第二电极16，不仅形成在发光层14上，也形成于间隔壁17上，以连结发光层14上的电极与间隔壁17上的电极的方式形成于一面。
[发光装置的制造方法]
接下来对发光装置的制造方法进行说明。
(准备支撑基板的工序)
在本工序中，准备在其上已设置有第一电极12的支撑基板11。为主动矩阵驱动型的显示装置时，可使用预先形成有为了各自驱动多个有机EL元件22的电路的基板作为支撑基板11。例如：可将已预先形成TFT(Thin Film Transistor)及电容器(Capacitor)等的基板作为支撑基板使用。可通过以下的本工序形成第一电极12，以准备于其上已设置有第一电极12的支撑基板11。然而，也可自市场取得已预先设置第一电极12在其上的基板作为支撑基板11。而且也可准备自市场取得的其上已预先设置第一电极12与间隔壁17的支撑基板11作为支撑基板11。
接下来，在支撑基板11上将多个第一电极12形成矩阵状。第一电极12，例如在支撑基板11上的一面形成导电性薄膜，将其以光蚀刻(Photolithography)法(以下说明中，“光刻法”包括在掩模图案的形成工序后继续进行的蚀刻工序等的图案化工序)成形为矩阵状图案而形成。或例如也可将在特定部位已形成了开口的掩模配置在支撑基板11上，隔着此掩模在支撑基板11上的特定部位选择性地堆积导电性材料，形成第一电极12的图案。第一电极12的材料如后述。
接下来。在支撑基板11上形成间隔壁17。在本实施方式形成以多条的间隔壁部件20所构成的间隔壁17。间隔壁17由有机物或无机物构成。构成间隔壁17的有机物可列举：丙烯酸树脂、酚醛树脂及聚酰亚胺树脂等树脂。构成间隔壁17的无机物可列举如SiOx、iNx等。
间隔壁17以有机物构成为佳。为了将供给至由相邻的间隔壁部件20间所区隔成的凹部18的墨液保持于凹部18内，间隔壁17以表现疏液性者为佳。一般而言，有机物者较无机物更对墨液表现疏液性，故通过有机物构成间隔壁，可使凹部18内保持墨液的能力提高。
形成有机物所构成的间隔壁17时，首先例如：将正型(Positive type)或负型(Negative type)的感光性树脂涂布于一面，对特定部位进行曝光及显影(Development)。再通过将其固化而形成多条间隔壁部件20。感光性树脂可使用光致抗蚀剂(Photoresist)。而形成无机物所构成的间隔壁17时，例如：通过等离子体CVD(Plasma-enhanced chemical vapor deposition；等离子体辅助化学气相沉积)法、溅镀法等，将无机物所构成的薄膜形成于一面，接下来通过除去特定部位的薄膜而形成多条间隔壁部件20。特定的部位的除去则例如可通过光蚀刻法进行。
制作具备格子状绝缘膜15的发光装置21时，在形成间隔壁17的工序之前形成绝缘膜15。绝缘膜15可使用例如：作为间隔壁17的材料所例示的材料，以与形成间隔壁17的方法的同样方式形成格子状。
在形成间隔壁17之外又形成绝缘膜15的情况下，绝缘膜15优选由比有机物更显现亲液性的无机物构成。其理由为，绝缘膜15显现疏液性时，有时供给于凹部18的墨液被绝缘膜15弹开并干燥，绝缘膜15的存在影响了有机EL层的平坦性，结果恐有得不到平坦的有机EL层的可能性。
间隔壁17的形状及其配置根据像素及分辨率等的显示装置的规格、制造的容易程度等适宜设定。例如间隔壁部件20的列方向Y的宽L1为5μm至50μm左右。间隔壁部件20的高度L2为0.5μm至5μm左右。在列方向Y上相邻的间隔壁部件20之间的间隔L3，也即凹部18的列方向Y上的宽L3为10μm至200μm左右。再者第一电极12的行方向X及列方向Y的宽分别为10μm至400μm左右。
(形成由墨液构成的薄膜的工序)
本工序中，将包含形成有机EL层(本实施方式的空穴注入层13)的材料的墨液(以下也称作空穴注入层用墨液。)供给至支撑基板11上，在支撑基板11的发光区域内及发光区域外，形成包含空穴注入层用墨液的薄膜。
为了在本实施方式的全部有机EL元件22形成共通的空穴注入层13，不限于在相邻的间隔壁部件20之间供给空穴注入层用墨液，而可全面供给空穴注入层用墨液。因此，可以任何方法供给空穴注入层用墨液。例如：可通过旋转涂布法、狭缝涂布(Slit coat)法、喷墨印刷(Inkjet print)法、喷嘴印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法等供给空穴注入层用墨液。空穴注入层用墨液的供给方法，以可在短时间均一地供给空穴注入层用墨液的方法为佳，以如此观点来看，以旋转涂布法、狭缝涂布法或喷嘴印刷法为佳。而在全面涂布有空穴注入层用墨液时，会因间隔壁表面性状而将空穴注入层形成至间隔壁17上，为了避免该状况，有时仅在凹部18供给空穴注入层用墨液为佳。此时，通过可选择性地仅供给空穴注入层用墨液至凹部18的涂布法，供给空穴注入层用墨液。本实施方式中可选择性供给空穴注入层用墨液的涂布法而言，通过喷嘴印刷法供给空穴注入层用墨液。
喷嘴印刷法为一气呵成地将空穴注入层用墨液供给至各行(各凹部18)。也即从配置于支撑基板11上方的喷嘴直接吐出液柱状的空穴注入层用墨液，使喷嘴在行方向X上来回移动，于喷嘴的来回移动折返时，通过使支撑基板于列方向Y上仅移动特定的距离，从而供给空穴注入层用墨液至各行。例如：喷嘴的来回移动折返时，通过使支撑基板于列方向Y上仅移动1行份，而可供给空穴注入层用墨液至全部的行。
更具体而言，在从喷嘴直接吐出液柱状的空穴注入层用墨液的同时，通过依序重复以下(1)至(4)的工序，可将空穴注入层用墨液供给至全部的相邻的间隔壁部件20之间(凹部18)。
(1)将喷嘴于行方向X自一端移动至另一端的工序
(2)将支撑基板11于列方向Y的一方仅移动1行份的工序
(3)将喷嘴于行方向X自另一端移动至一端的工序
(4)将支撑基板于列方向Y的一方仅移动1行份的工序
如以上所述，通过以喷嘴印刷法供给空穴注入层用墨液，于支撑基板11上的发光区域内及发光区域外，形成由空穴注入层用墨液构成的薄膜。
(将薄膜进行难溶化的工序)
接下来，将由空穴注入层用墨液所构成的薄膜进行难溶化。本工序将发光区域内的薄膜进行难溶化。而薄膜的难溶化是指对于后述工序进行清洗所使用的溶液而言，薄膜变为难以溶解。例如：墨液包含聚合性化合物时，通过聚合性化合物的聚合可使薄膜难溶化。且即使当墨液不含聚合性化合物时，将薄膜以特定的温度加热，通过使溶剂气化可使薄膜达成特定程度的难溶化。
空穴注入层的材料如后所述，作为现今空穴注入层的材料而言，大多使用的聚(3，4-乙烯二氧噻吩(Ethylenedioxythiophene))/聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT/PSS)，因溶解于水，故可使用例如PEDOT/PSS的水溶液作为空穴注入层用墨液。以该PEDOT/PSS的水溶液所构成的薄膜，通过加热即可进行难溶化。
发光区域内的薄膜的难溶化，可通过给予薄膜特定的能量而进行。作为这样的方法而言，有以特定波长的光对薄膜进行照射的方法、给予热能的方法。例如：可用超高压水银灯的g线(波长436nm)、i线(波长365nm)、KrF准分子激光(KrF excimer laser)(波长248nm)、ArF准分子激光(波长193nm)照射薄膜，通过光能量使聚合性化合物聚合。也可通过照射波长700nm至3500nm的近红外线以加热薄膜，通过热能使聚合性化合物聚合。另外，也可通过照射所述的近红外线而使溶剂气化以进行薄膜的难溶化。此外，也可通过照射波长3500nm至20000nm的远红外线以加热薄膜，通过热能而使聚合性化合物聚合。另外，也可通过照射所述的远红外线将溶剂气化，以进行薄膜的难溶化。也可使用加热板等对薄膜进行加热，一边通过热能使聚合性化合物聚合，一边通过将溶剂气化而使薄膜难溶化。然而，即使仅欲对显示区域内的薄膜施加能量，显示区域周边的薄膜也会受到能量的施加，故显示区域外的薄膜的一部分也会难溶化。在此，为了仅对显示区域内的薄膜施加能量，优选通过可局部性施加能量的方法施加能量，由如此观点来看，优选上述的对薄膜照射特定波长的光的方法，也优选通过照射可局部性加热薄膜的近红外线，对薄膜施加能量的方法。
图3A、图3B图及图3C图为说明将薄膜难溶化后，再进行清洗工序的图。而于薄膜处施以影线(Hatching)。
本实施方式通过以近红外线(nIR)照射发光区域11a内的薄膜23，将发光区域11a内的薄膜23进行难溶化而形成难溶化的薄膜23a。如图3A所示，以双点虚线所围起的区域为发光区域11a。首先，将具有穿透近红外线的部位19a与近红外线(nIR)遮光部位19b的掩模19，配置于已形成薄膜23的支撑基板11上。图3A中，轮廓线的箭号示意性地表示照射的近红外线(nIR)。隔着此掩模19对薄膜23照射近红外线(nIR)，仅对发光区域11a内的薄膜23照射近红外线(nIR)。此时，通过掩模19的近红外线(nIR)遮光部位19b将近红外线的一部分进行遮光，故发光区域11a外的薄膜23不被近红外线(nIR)所照射。由此，仅加热发光区域11a内的薄膜23，仅使发光区域11a内的薄膜23难溶化而形成经难溶化处理的难溶化薄膜23a。
图3B图为示意性表示发光区域11a内的薄膜23经难溶化后的支撑基板。而于经难溶化的薄膜23a及未经难溶化的薄膜23处施以影线。
(通过清洗将发光区域外的薄膜除去的工序)
如图3C图所示，接下来通过清洗将发光区域11a外的薄膜23进行除去，使支撑基板11上仅残留经难溶化的薄膜23a。可列举的清洗方法例如：将溶剂供给至支撑基板11上，再将之除去的方法(例如旋转清洗)；将支撑基板11浸渍于溶剂，经过特定时间后，从溶剂取出支撑基板并进行干燥的方法等。清洗所使用的溶剂，可使用能溶解未经难溶化的薄膜23，而不能溶解经难溶化的薄膜23a的溶剂。当形成以PEDOT/PSS水溶液所构成的薄膜23时，例如可通过将水作为溶剂使用，清洗发光区域11a外的薄膜。
通过清洗将发光区域11a外的薄膜23除去后，根据需要，再将发光区域11a内经难溶化的薄膜23a的溶剂除去。例如可通过：自然干燥、加热干燥及真空干燥等将溶剂除去。
(形成发光层的工序)
接下来，形成发光层14。如上所述制作彩色显示装置时，需制作3种有机EL元件22(22R、22G、22B)。因此需在每行涂以发光层14的材料。例如：于每行形成3种发光层14(14R、14G、14B)时，需分别将包含放出红色光的材料的红墨液、包含放出绿色光的材料的绿墨液、包含放出蓝色光的材料的蓝墨液，分别于列方向Y隔以2行的间隔进行涂布。通过将这些红墨液、绿墨液、蓝墨液依序涂布于特定的行，可将各发光层14涂布成膜。
以将红墨液、绿墨液、蓝墨液依序涂布于特定的行(凹部18)的方法而言，只要可将墨液选择性地供给至相邻的间隔壁部件20之间的涂布法的任何方法皆可。可通过例如：喷墨印刷法、喷嘴印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法等供给墨液。以墨液的供给方法而言，以可于短时间均一地供给墨液的方法为佳。以如此观点来看，则以喷嘴印刷法为佳。本实施方式与所述形成空穴注入层的方法相同，通过喷嘴印刷法供给墨液。
更具体而言，在从喷嘴4吐出液柱状的红墨液后，通过依序重复以下的(1)至(4)的工序，可于列方向Y上隔以2行的间隔供给红墨液至相邻的间隔壁部件20之间(凹部18)。
(1)将喷嘴4从凹部18的一端横跨至另一端而于行方向X移动的工序
(2)将支撑基板11于列方向Y的一方仅移动3行份的工序
(3)将喷嘴4从凹部18的另一端横跨至一端而于行方向X上移动的工序
(4)将支撑基板于列方向Y的一方仅移动3行份的工序
通过以与上述的红墨液同样的方式分别供给绿墨液、蓝墨液，可在列方向Y上隔以2行的间隔而于间隔壁部件20间(凹部18)分别供给绿墨液、蓝墨液。
红墨液、绿墨液、蓝墨液所使用的发光材料如后述，但本实施方式中，以喷嘴印刷法供给包含施加能量即可聚合的聚合性化合物的红墨液、绿墨液、蓝墨液。而以墨液而言，可使用包含具有施加能量即可聚合的聚合性基的发光材料作为聚合性化合物的红墨液、绿墨液、蓝墨液，或者也可使用包含本身不聚合的发光材料和具有能够聚合的聚合性基的聚合性化合物的红墨液、绿墨液、蓝墨液。
聚合性基的例可列举如：乙烯基、乙炔基、丁烯基、丙烯酰基、丙烯酰氨基、甲基丙烯酰基、甲基丙烯酰氨基、乙烯氧基、乙烯氨基、硅醇基(Silano1)、环丙基、环丁基、环氧基、氧杂环丁基、二乙烯酮基(Diketenyl)、噻基(Epithio)、乳酰基(Lactoyl)及内酰胺基(Lactamyl)等。
聚合性化合物的例，可列举如：具有聚合性基的PDA(N，N′-四苯基-1，4-亚苯基二胺)的衍生物、具有聚合性基的TPD(N，N′-双(3-甲基苯基)-N，N′-双(苯基)-联苯胺)的衍生物、具有聚合性基的NPD(N，N′-双(萘基-1-基)-N，N′-双(苯基)-联苯胺)的衍生物、丙烯酸三苯基胺酯、丙烯酸三亚苯基二胺酯、丙烯酸亚苯基酯、二丙烯酸双苯氧基乙醇芴酯(大阪GasChemicals公司制造，商品名BPEF-A)、六丙烯酸二新戊四醇酯(日本化药公司制造KAYARD DPHA)、八丙烯酸新戊四醇酯(广荣化学公司制造)、二丙烯酸1，4一丁二醇酯(Alfa Aesar公司制造)、芳酮基氧杂环丁烷(Aroneoxetane)(OXT121；东亚合成制造的交联剂)等，它们中以丙烯酸苯基芴酯为佳。
接下来，参照图3A、图3B及图3C进行说明，以红墨液、绿墨液、蓝墨液构成薄膜23时，通过将能量赋予发光区域11a内的薄膜23，使发光区域11a内的薄膜23进行难溶化。本实施方式中对使用包含聚合性化合物的红墨液、绿墨液、蓝墨液的状况进行说明。
如图3A所示，首先，将具有近红外线(nIR)穿透部位19a与近红外线(nIR)遮光部位19b的掩模19配置于支撑基板11上。隔着掩模19对薄膜照射近红外线(nIR)，仅对发光区域11a内的薄膜23照射近红外线(nIR)。此时，由于掩模19使一部分的近红外线(nIR)被遮光，故发光区域11a外的薄膜23并未受到近红外线(nIR)的照射。由此，仅加热发光区域11a内的薄膜23，形成仅有发光区域11a内的薄膜23被难溶化的难融化薄膜23a。
(通过清洗将发光区域外的薄膜除去的工序)
接下来，通过清洗将发光区域11a外的薄膜23除去。以清洗方法而言，可列举如：将溶剂供给至支撑基板11上，再将之除去的方法(例如旋转清洗)；将支撑基板11浸渍于溶剂，经过特定时间后，从溶剂取出支撑基板11并进行干燥的方法等。清洗所使用的溶剂，可使用能溶解未经难溶化的薄膜23而不能溶解经难溶化的薄膜23a的溶剂。作为这样的溶剂而言，可使用例如二甲苯或甲苯、THF(四氢呋喃)、苯甲醚(Anisole)等。也可使用用于红墨液、绿墨液、蓝墨液的溶剂的溶剂，将发光区域11a外的薄膜23清洗。
而本实施方式中，对薄膜23照射近红外线(nIR)进行加热以使其难溶化，但将薄膜23进行难溶化的方法并不局限于此，也可通过例如照射紫外线等，对薄膜照射使聚合性化合物进行聚合的波长的光，通过光的能量进行难溶化。
通过清洗将发光区域11a外的薄膜23除去后，根据需要，再将发光区域11a内的经难溶化的薄膜23a的溶剂除去。例如：可通过自然干燥、加热干燥及真空干燥等将溶剂除去。
形成发光层14后，可根据需要，通过特定的方法形成特定的有机层、无机层等。根据需要设置的层，可使用印刷法、喷墨法、喷嘴印刷法等特定的涂布法、或使用特定的干式法而形成。
(形成第二电极的工序)
接下来形成第二电极16。如上所述，本实施方式中，于支撑基板11上的全面形成第二电极16。由此可于支撑基板11上形成多个有机EL元件22。
如以上说明所述，通过将发光区域11a内的薄膜23进行难溶化，即可通过清洗而简易地除去发光区域11a外的薄膜23。通过这样的薄膜的除去方法，即可简易地制造发光装置。
于本实施方式中，形成发光层14的工序前，虽可通过清洗将空穴注入层用墨液所构成的薄膜23除去，但也可视情况而不在形成发光层14的工序前除去空穴注入层用墨液所构成的薄膜23。例如：以空穴注入层而言，当使用具有空穴注入性的单分子层(例如四氟四氰基苯醌二甲烷(F4TCNQ)的单分子层)时，封装时不会发生气密性或密闭性的降低，因此显示装置的特性不会有大幅降低的可能性，所以也可不除去于显示区域11a外形成的空穴注入层。此外，在形成发光层14的工序中，通过清洗将红墨液、绿墨液、蓝墨液所构成的薄膜除去时，也可同时除去空穴注入层用墨液所构成的薄膜23。另外，空穴注入层用墨液所构成的薄膜23难溶解于例如红墨液、绿墨液、蓝墨液等时，也可能有可不对空穴注入层用墨液所构成的薄膜23进行难溶化的情况。
此外，本实施方式中，供给了全部的红墨液、绿墨液、蓝墨液后，将红墨液、绿墨液、蓝墨液所构成的薄膜进行难溶化，再进行清洗，但也可分别供给红墨液、绿墨液、蓝墨液，将红墨液、绿墨液或蓝墨液所构成的薄膜进行难溶化后，再进行清洗。由此，例如：在清洗时所溶解的红墨液，混入本来仅供给蓝墨液的有机EL元件22中，而不易产生显示装置的特性降低的问题。
[有机EL元件的构成]
如前所述，有机EL元件22由各种的层构成，但以下对有机EL元件22的层构造、各层的构成及各层的形成方法进行更详细说明。
如上所述的有机EL元件22，包含由阳极与阴极组成的一对电极(第一电极12及第二电极16)，以及设置于一对电极间的1以上的有机EL层所构成，而1层以上的有机EL层至少具有1层的发光层14。有机EL元件22可包含含有无机物与有机物的层，以及无机层等。以构成有机层的有机物而言，可为低分子化合物或高分子化合物，也可为低分子化合物与高分子化合物的混合物。有机层以包含高分子化合物者为佳。有机层以包含依聚苯乙烯换算的数均分子量为103至108的高分子化合物为佳。
以设置于阴极与发光层14之间的有机EL层而言，可列举电子注入层、电子输送层、空穴阻隔层等。当阴极与发光层14之间设置电子注入层与电子输送层这两种层时，接近阴极的层称为电子注入层，接近发光层14的层称为电子输送层。以设置于阳极与发光层之间的有机EL层而言，可列举空穴注入层、空穴输送层、电子阻隔层等。当设置空穴注入层与空穴输送层两种层时，接近阳极的层称为空穴注入层，接近发光层的层称为空穴输送层。
以下表示本实施方式的有机EL元件22的层构成的一例。
a)阳极/发光层/阴极
b)阳极/空穴注入层/发光层/阴极
c)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极
d)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/阴极
e)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
f)阳极/空穴输送层/发光层/阴极
g)阳极/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极
h)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极
i)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
j)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/阴极
k)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极
l)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极
m)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
n)阳极/发光层/电子注入层/阴极
o)阳极/发光层/电子输送层/阴极
p)阳极/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
在此，记号“/”者，表示夹持“/”记号的各层邻接而层叠。下述也同。
本实施方式的有机EL元件22可具有2层以上的发光层14。于上述a)至p)的层构成中的任一者中，将于阳极与阴极所挟持的层叠体视为“构造单位A”时，作为具有2层发光层的有机EL元件的构成，可例举于下述q)所表示的层构成。另外，两个(构造单位A)的层构成可互相相同，也可为不相同。
q)阳极/(构造单位A)/电荷发生层/(构造单位A)/阴极
再者，将“(构造单位A)/电荷发生层”视为“构造单位B”时，作为具有3层以上的发光层的有机EL元件的构成，可例举于下述r)所表示的层构成。
r)阳极/(构造单位B)×/(构造单位A)/阴极
予以说明，记号“×”表示2以上的整数，(构造单位B)×表示构造单位B为×段层叠的层叠体。另外，多个(构造单位B)的层构成可为相同者，也可为不相同者。
在此，所谓电荷发生层通过施加电场而产生空穴与电子的层。电荷发生层可例举如由氧化钒、铟锡氧化物(Indium Tin Oxide，简称ITO)、氧化钼等形成的薄膜。
在有机EL元件22中，由阳极与阴极所成的一对电极中的阳极可配置成比阴极还靠近支撑基板11，而配置于支撑基板11；再者，也可将阴极配置成比阳极还靠近支撑基板11，而配置于支撑基板11。例如于所述a)至r)中，由右侧依顺序于支撑基板11上层叠各层而构成有机EL元件22也可；再者，由左侧依顺序于支撑基板11上层叠各层而构成有机EL元件22也可。关于所层叠的各层的顺序、层数、及各层的厚度，可根据发光效率、元件寿命而适宜设定。
接着，具体说明构成有机EL元件22的各层的材料及形成方法。
[阳极]
在采用从发光层所发出的光通过阳极而射出至有机EL元件外的构成时，可在阳极使用显现光穿透性的电极。作为显现光穿透性的电极，可使用金属氧化物、金属硫化物、及金属等的薄膜。显现光穿透性的电极可适宜使用电传导度高与光穿透率高者。显现光穿透性的电极具体而言可使用由氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO、铟锌氧化物(Indium Zinc Oxide，简称IZO)、金、铂、银、及铜等所形成的薄膜。其中，以使用由ITO、IZO或者氧化锡而形成的薄膜为宜。
作为阳极的制作方法的例，可例举真空蒸镀法、溅镀法、离子电镀法、镀覆法等。再者，作为阳极者，可使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等有机透明导电膜。
阳极的膜厚考虑所要求的特性、成膜工序的简易程度而适宜设定。阳极的膜厚例如为10nm至10μm，宜为20nm至1μm，更宜为50nm至500nm。
[阴极]
阴极的材料宜为工作函数小，电子容易注入发光层14的高导电性的材料。再者，于由阳极侧引出光而构成的有机EL元件中，为了使从发光层14所发的光于阴极向阳极侧反射，阴极材料宜为对可视光反射率高的材料者。于阴极，可使用例如碱金属、碱土金属、过渡金属及周期表的13族金属等。阴极材料例如可使用锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等金属、所述金属中2种以上的合金、所述金属中1种以上与金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡中1种以上的合金、或石墨或者是石墨层间化合物等。作为合金的例，可例举镁与银的合金、镁与铟的合金、镁与铝的合金、铟与银的合金、锂与铝的合金、铝与镁的合金、锂与铟的合金、钙与铝的合金等。再者，阴极可由导电性金属氧化物及导电性有机物等形成的透明导电性电极。具体而言，导电性金属氧化物可例举氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO、以及IZO；导电性有机物可例举聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。另外，阴极也可以层叠两层以上的层叠体所构成。另外，也有使用电子注入层作为阴极者。
阴极的膜厚，可考虑所求的特性、成膜工序的简易度等而作适当设定。阳极的膜厚，例如10nm至10μm，以20nm至1μm为佳，以50nm至500nm为更佳。
阴极的制作方法，可列举真空蒸镀法、溅镀法、或将金属薄膜进行热压合的层压法等为例。
[空穴注入层]
构成空穴注入层13的空穴注入材料，可列举如：氧化钒、氧化钼、氧化钌及氧化铝等氧化物；苯基胺化合物、星放射型胺(starburstamine)化合物、酞青(Phthalocyanine)化合物、非晶碳(Amorphous carbon)、聚苯胺及聚噻吩衍生物等为例。
空穴注入层13的膜厚，可考虑所求的特性、成膜工序的简易度等而作适当设定。空穴注入层13的膜厚，例如1nm至1μm，以2nm至500nm为佳，以5nm至200nm为更佳。
[空穴输送层]
构成空穴输送层的空穴输送材料，可列举聚乙烯基咔唑(Polyvinylcarbazole)或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、于支链或主链具有芳香族胺的聚硅氧烷(Polysiloxane)衍生物、吡唑啉(Pyrazoline)衍生物、芳基胺衍生物、芪(Stilbene)衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺(Polyaniline)或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯(Polypyrrole)或其衍生物、聚(对亚苯基亚乙烯基)或其衍生物、以及聚(2，5-噻吩基乙烯基)(Poly(2，5-thienylenevinylene))或其衍生物等为例。
空穴输送层的膜厚，可考虑所求的特性、成膜工序的简易度等而作适当设定。空穴输送层的膜厚例如1nm至1μm，以2nm至500nm为佳，以5nm至200nm为更佳。
[发光层]
发光层14通常主要由发出荧光及/或磷光的有机物，或者该有机物与辅助该有机物的掺杂物所形成。掺杂物是为了例如使发光効率提升、使发光波长变化而添加的。构成发光层的有机物，可为低分子化合物或高分子化合物，当通过涂布法形成发光层时，发光层以包含高分子化合物者为佳。构成发光层的高分子化合物的聚苯乙烯换算的数均分子量例如为103至108左右。以构成发光层的发光材料而言，可列举例如以下的色素材料、金属络合物材料、高分子材料、掺杂物材料。
(色素材料)
以色素材料而言，可列举例如：环戊胺(Cyclopentamine)衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑(Oxadiazole)衍生物、吡唑喹啉(Pyrazoloquinoline)衍生物、二苯乙烯基苯(Distyrylbenzene)衍生物、二苯乙烯基亚芳基衍生物、吡咯衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、芘酮(Perinone)衍生物、苝(Perylene)衍生物、寡聚噻吩(Oligothiophene)衍生物、噁二唑二聚物(Oxadiazole dimer)、吡唑啉二聚物(Pyrazolinedimer)、喹吖啶酮(Quinacridone)衍生物、香豆素(Cumarin)衍生物等。
(金属络合物材料)
以金属络合物材料而言，可列举例如：Tb、Eu、Dy等稀土类金属，或于中心金属具有Al、Zn、Be、Ir、Pt等；在配体具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉构造等的金属络合物。以金属络合物而言，可列举例如：铱络合物、白金络合物等具有来自三重激发态(Triplet excitedstate)的发光的金属络合物、铝喹啉酚络合物、苯并喹啉酚铍络合物、苯唑基锌络合物、苯噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉锌络合物、二氮菲铕络合物等。
(高分子材料)
以高分子材料而言，可列举：聚对亚苯基亚乙烯基衍生物、聚噻吩衍生物、聚对亚苯基衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑衍生物、将上述色素材料、金属络合物材料高分子化后的材料等。
发光层的厚度通常约为2nm至200nm。
[电子输送层]
以构成电子输送层的电子输送材料而言，可使用公知者。电子输送材料可列举如：噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷(Anthraquinodimethane)或其衍生物、苯醌(Benzoquinone)或其衍生物、萘醌(Naphthoquinone)或其衍生物、蒽醌(Anthraquinone)或其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯基二氰基亚乙基或其衍生物、二对苯醌(Diphenoquinone)衍生物、或8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喏啉(Polyquinoxaline)或其衍生物、聚芴或其衍生物等为例。
电子输送层的膜厚，可考虑所求的特性、成膜工序的简易度等而作适当设定。电子输送层的膜厚，例如1nm至1μm，以2nm至500nm为佳，以5nm至200nm为更佳。
[电子注入层]
以构成电子注入层的材料而言，可根据发光层的种类而适当选择最适合的材料。构成电子注入层的材料可列举如：碱金属、碱土类金属、包含碱金属及碱土类金属中的1种以上的合金、碱金属或碱土类金属的氧化物、碱金属或碱土类金属的卤化物、碱金属或碱土类金属的碳酸盐、以及这些物质的混合物等为例。碱金属、碱金属的氧化物、碱金属的卤化物及碱金属的碳酸盐可列举如：锂、钠、钾、铷、铯、氧化锂、氟化锂、氧化钠、氟化钠、氧化钾、氟化钾、氧化铷、氟化铷、氧化铯、氟化铯、碳酸锂等为例。此外，碱土类金属、碱土类金属的氧化物、碱土类金属的卤化物、碱土类金属的碳酸盐可列举如：镁、钙、钡、锶、氧化镁、氟化镁、氧化钙、氟化钙、氧化钡、氟化钡、氧化锶、氟化锶、碳酸镁等为例。电子注入层可为经2层以上层叠的层叠体所构成。层叠体可列举例如：LiF膜与Ca膜的层叠体等为例。
以电子注入层的膜厚而言，以1nm至1μm左右为佳。
有机EL层中，可通过涂布法形成的有机EL层为多个时，以全部的有机EL层皆使用涂布方法形成者为佳。然而，例如：可通过涂布法形成的多个有机EL层中的至少1层使用涂布法形成、其他有机EL层通过不同于涂布法的方法形成也可。且即使多个有机EL层以涂布法形成时，也可通过该涂布法的具体方法互不相同的涂布法形成多个有机EL层。例如：本实施方式的空穴注入层13及发光层14通过喷嘴印刷法形成，但也可为空穴注入层13以旋转涂布法形成、发光层14通过喷嘴印刷法形成。
涂布法中，通过将包含形成各有机EL层的有机EL材料的墨液涂布成膜以形成有机EL层，但此时所使用的墨液的溶剂，可使用例如：氯仿(Chloroform1)、二氯甲烷(Methylene chloride)、二氯乙烷(Dichloroethane)等含氯溶剂；四氢呋喃(Tetrahydrofuran)等醚溶剂；甲苯、二甲苯等芳香族烃溶剂；丙酮、甲基乙基酮(Methylethylketone)等酮溶剂；乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸2-乙氧乙酯(Ethylcellosolve acetate)等酯溶剂及水等。
此外，与涂布法不同的方法的例子，也可通过：真空蒸镀法、溅镀法、CVD法、复层法等形成有机EL层。
符号说明
1、20 间隔壁部件
2、17 间隔壁
3、22 有机EL元件
4     喷嘴
11    支撑基板
11a   发光区域
12    第一电极
13    空穴注入层
14    发光层
15    绝缘膜
15a   开口
16    第二电极
18    凹部
19    掩模
19a   近红外线的穿透部位
19b   近红外线的遮光部位
21    发光装置
23    薄膜
23a   经难溶化的薄膜

Claims (6)

1.一种发光装置的制造方法，所述发光装置具有：
支撑基板；以及
多个有机电致发光元件，其设置于所述支撑基板上所设定的发光区域，且包含第一电极、第二电极及设置于所述第一电极与第二电极间的有机电致发光层；
所述发光装置的制造方法包括：
准备已设置有第一电极的支撑基板的工序；
将含有形成有机EL层的材料的墨液供给至支撑基板上并在支撑基板的发光区域内及发光区域外形成由墨液形成的薄膜的工序；
使发光区域内的薄膜难溶化的工序；
通过清洗将发光区域外的薄膜除去的工序；以及
形成第二电极的工序。
2.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
所述形成由墨液形成的薄膜的工序中，供给含有聚合性化合物的墨液；
所述使薄膜难溶化的工序中，通过聚合所述聚合性化合物而使发光区域内的薄膜难溶化。
3.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
所述使薄膜难溶化的工序中，通过对发光区域内的薄膜照射光而使发光区域内的薄膜难溶化。
4.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
所述使薄膜难溶化的工序中，通过加热发光区域内的薄膜而使发光区域内的薄膜难溶化。
5.根据权利要求4所述的发光装置的制造方法，其中，
通过照射近红外线来加热发光区域内的薄膜。
6.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
所述形成由墨液形成的薄膜的工序中，通过喷嘴印刷法将墨液供给至支撑基板上。
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