JPH118069A - 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 - Google Patents

有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法

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JPH118069A
JPH118069A JP9343410A JP34341097A JPH118069A JP H118069 A JPH118069 A JP H118069A JP 9343410 A JP9343410 A JP 9343410A JP 34341097 A JP34341097 A JP 34341097A JP H118069 A JPH118069 A JP H118069A
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JP9343410A
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English (en)
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Yukihiro Yamamoto
幸弘 山本
Yukiteru Inada
幸輝 稲田
Hiroshi Miyazaki
浩 宮崎
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 素子を簡便に作製し耐熱性を持たせ、かつ容
易に±10μm以下の寸法精度でR(赤)、G(緑)、
B(青)の各画素のフルカラーパターニングが可能な有
機EL素子およびその製造方法の提供。 【解決手段】 透明基板上に、陽極/正孔輸送層/発光
層兼電子輸送層/陰極、または陽極/正孔輸送層兼発光
層/電子輸送層/陰極、または陽極/正孔輸送層/発光
層/電子輸送層/陰極の構造を有する有機EL素子にお
いて、それぞれの層に相当する物質が一般式1 のエポキシ(メタ)アクリレートと多塩基酸又はその酸
無水物とを反応させて得られる(メタ)アクリレート化
合物を含有する光硬化性樹脂化合物、例えば式27の化
合物にドーピングされた層からなり、それぞれ所望の層
を構成する際に使用される有機EL素子。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は有機エレクトロルミ
ネッセンス素子及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、エレクトロルミネッセンス素子
(以下、EL素子と略称する)は自己発光のため視認性
が高く、完全固体素子のため、耐衝撃性に優れるなどの
特徴を有し、各種表示装置における発光素子として注目
されている。また、R(赤)、G(緑)、B(青)の各
色の発光が可能な薄膜面発光デバイスであることから、
フルカラーフラットパネルディスプレイへの応用研究が
進められている。
【0003】このEL素子には発光材料に無機化合物を用
いる無機EL素子と有機化合物を用いる有機EL素子とが
あり、有機EL素子は印加電圧を大幅に低くしうる特徴も
あるため、その実用化研究が積極的に進められている。
【0004】有機EL素子の構造は、透明基板上に陽極/
発光層/陰極が構成された構造が基本であり、この基本
構造に正孔輸送層や電子輸送層が適宜設けられたものが
ある。例えば、陽極/正孔輸送層/発光層兼電子輸送層
/陰極や、陽極/正孔輸送層兼発光層/電子輸送層/陰
極、陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極、な
どの構成であり、正孔輸送層は、陽極より注入される正
孔を発光層に伝達する機能を有し、電子輸送層は陰極よ
り注入された電子を発光層に伝達する機能を有する。正
孔輸送層の役割は、正孔輸送層を発光層と陽極との間に
介在させることにより、より低い電界で多くの正孔が発
光層に注入される効果を有すると共に、発光層に陰極ま
たは電子輸送層より注入される電子を、発光層と正孔輸
送層の界面に存在する電子の障壁により発光層内の界面
に蓄積されることにより発光効率を上昇させることであ
る。(「アプライド・フィジクス・レターズ」第51巻、
第913 ページ(1987年))。
【0005】有機EL素子を構成する正孔輸送層に使用
される正孔輸送材料としては、トリフェニルアミンなど
の第三級アミン類、フタロシアニン類、ポリシランなど
が知られており、特に下記式で表されるトリフェニレン
ジアミン(TPD)がその高い正孔輸送性(電界強度5
x105[V/cm]で10-3[cm2/V・sec])
のためよく使用される。
【0006】
【化8】
【0007】しかし、この化合物は結晶化し易く、IT
O(Indium Tin Oxide)膜のついたガラス基板上に蒸
着しても数時間のうちに結晶化が始まり、EL素子を作
製しても数日で発光しなくなることが知られている。そ
のため、TPDの蒸着の前に正孔注入層としてフタロシ
アニン類や下記式で表されるMTDATA(4,4,4-tris(3-meth
ylphenylphenylamine)triphenylamine)を蒸着(特開平
4-308688)したり、ポリカーボネートなどの樹脂に分
散して結晶化を阻止し(再公表特許、WO95/251
49)、発光寿命を確保したりすることが行われてい
る。
【0008】
【化9】
【0009】また、有機EL素子の陽極/発光層/陰極
の構造を有するものにも種々のものがある。
【0010】例えば、(a)正孔輸送物質と、電子輸送
物質と、正孔と電子の再結合に応答して発光する発光物
質とを混合した発光層からなる素子であり、正孔輸送物
質としてポリビニルカルバゾール(PVK: poly(N-vi
nylcarbazole) )を、電子輸送物質としてPBD(2-(4-
biphenyl)-5-(4-tert-butyl-phenyl)-1,3,4-oxadiazol
e)と呼ばれる下記式で表されるオキサジアゾール誘導体
を、
【0011】
【化10】
【0012】発光物質としてクマリン誘導体を用いて高
輝度の緑色発光を実現したことが開示されている。
(「応用物理」第61巻、第1044ページ(1992
年))。
【0013】また、(b)正孔輸送物質と、電子輸送物
質と、発光物質とを、正孔も電子も輸送しないマトリッ
クス物質にドープした発光層からなる素子であり、正孔
輸送物質としてTPD(テトラフェニレンジアミン)
を、電子輸送物質としてアルミニウム・オキシン錯体
を、発光物質としてクマリン誘導体を、マトリックスと
してポリメチレンメタアクリレート(PMMA)を用い
て高輝度の緑色発光を実現したことが開示されている
(「アプライド・フィジクス・レターズ」第61巻、第
761ページ(1992年))。これらの単層構造で
は、簡便に素子作製はできるものの、リークする電流も
多いため発光効率が低く、多層構造の方が好ましい。
【0014】これまでに述べた素子は、有機LED(E
L)膜のフォトリソグラフィーパターニングが困難であ
ることから、フルカラー化に向けた微細な発光セグメン
トを簡便に配列することに困難を抱えている。また、単
層型素子ではリーク電流が多いことから耐熱性(耐久
性)にも改善の余地を残している。
【0015】電子輸送層としてPBDに代表される様な
結晶化し易い電子輸送材料を使用する際にも、蒸着膜を
使用する際には、素子作製後の素子保存性と耐熱性に問
題点を残している。
【0016】有機EL素子を用いたフルカラー化に関し
ては、白色発光有機ELデバイスとカラーフィルターを
用いたもの(「信学技報」第94巻 535号、1ペー
ジ(1995))や、青色有機EL素子と波長可変素子
を用いたもの(「信学技報」第94巻 535号、13
ページ(1995))が提案されている。
【0017】しかし、フィルターまたは波長変換素子を
用いるため、システムが複雑となることおよび発光利用
効率(発光素子の発光をパネル輝度として利用する割
合)が劣るなどの問題を抱えている。また、多層膜構造
を用い、RGBに相当する発光層を、マスクをずらすこ
とにより蒸着法で全て作製するのは、精度的にかなりの
困難を伴う。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、簡便に作製
でき、耐熱性を持たせることができる有機EL素子およ
びその製造方法を提供することを目的とする。また、本
発明は、容易に±10μm以下の寸法精度でR(赤)、
G(緑)、B(青)の各画素のフルカラーパターニング
が可能な有機EL素子およびその製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく種々検討の結果、ある種のポリマー、すな
わち下記一般式(1):
【0020】
【化11】
【0021】(但し、式(1)において、R1 及びR2
は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲン原
子の何れかであり、R3 は水素原子又はメチル基であ
り、Xは- CH2 - 、- C(CH32 - 、- CO- 、
- C(CF32 - 、 - O-、 - Si(CH32 -
、- SO2 - 、 下記一般式(2):
【0022】
【化12】
【0023】もしくは不存在を示し、pは1〜11の整
数である)で表されるエポキシ(メタ)アクリレートと
多塩基酸又はその酸無水物とを反応させて得られる(メ
タ)アクリレート化合物または、下記一般式(3)及び
(4):
【0024】
【化13】
【0025】
【化14】
【0026】(但し、式(3)及び(4)において、R
1 、R2 、R3 及びXは式(1)と同じであり、Yは二
塩基酸または三塩基酸の残基を示し、Zは酸二無水物の
残基を示し、R4 は水素原子またはカルボキシル基であ
り、構造単位のモル比(m/n)は 0 /100 〜100 /
0 の割合である。)0で表される単位構造を主体とす
る、(メタ)アクリレート化合物、及び、式(5)及び
(6)及び(7)で表される化合物が、正孔輸送材料、
電子輸送材料、および有機発光材料のドーピングが可能
で、かつ±10μm以下の寸法精度でフォトリソグラフ
ィパターニングが可能で光重合した際に耐熱性を有する
物質であることを発見した。
【0027】
【化15】
【0028】
【化16】
【0029】
【化17】
【0030】これを適宜利用し、複数の有機層を持つ有
機EL素子のうちの有機層の一部または全部を光硬化性
樹脂化合物を使用した塗布技術を用いて作成することに
より本発明の有機EL素子が得られることを見つけ本発
明を完成するに至った。また、透明基板上に陽極/正孔
輸送層/発光層兼電子輸送層/陰極、陽極/正孔輸送層
/発光層/電子輸送層/陰極、または、陽極/正孔輸送
層兼発光層/電子輸送層/陰極の構造を有する有機EL
素子において、マトリックスとしての上記構造のエポキ
シ(メタ)アクリレートと多塩基酸またはその酸無水物
を反応させて得られる(メタ)アクリレート化合物を含
有する光硬化性樹脂または式(5)または(6)または
(7)で表される化合物に、正孔輸送層には正孔輸送材
料を、発光層兼電子輸送層には発光材料と電子輸送材料
を、発光層には発光材料を、電子輸送層には電子輸送材
料を、それぞれドーピングさせることにより、有機膜の
うちの一部または全部を塗布法で行い、それにより有機
LED(EL)膜の±10μm以下の寸法精度でのフォ
トリソグラフィパターニングが可能となり、耐熱性に優
れた発光セグメントの配列が実現できることを見つけ本
発明を完成するに至った。また、このマトリックスは、
熱的に安定でかつ薄膜性に優れていることから均一で緻
密な膜が形成でき、また電極形成においてピンホールが
発生しにくいことから長寿命化も期待できる。さらに、
必要な部分以外には樹脂や使用する有機成分をなくす
か、または減らすことが可能である。
【0031】すなわち、本発明の目的は、透明基板上
に、透明電極/正孔輸送層/発光層兼電子輸送層/背面
電極、または透明電極/正孔輸送層/発光層/電子輸送
層/背面電極、または陽極/正孔輸送層兼発光層/電子
輸送層/陰極の構造を有する有機エレクトロルミネッセ
ンス素子において、適宜、それぞれ目的の層に応じて、
正孔輸送材料または正孔輸送材料と発光材料または発光
材料または発光材料と電子輸送材料または電子輸送材料
が、一般式(1)で表されるエポキシ(メタ)アクリレ
ートと多塩基酸またはその酸無水物を反応させて得られ
る(メタ)アクリレート化合物または、一般式(3)及
び(4)で表される単位構造を主体としたエポキシ(メ
タ)アクリレートと多塩基酸又はその酸無水物とを反応
させて得られる(メタ)アクリレート化合物を含有する
光硬化性樹脂化合物または式(5)または(6)または
(7)を光重合させた化合物にドーピングされた層から
成り、正孔輸送層、正孔輸送層兼発光層、発光層、電子
輸送層、または、発光層兼電子輸送層などを形成するこ
とを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子によ
り達成される。
【0032】また、本発明の目的は、所定のパターンに
透明電極を形成した透明基板上に、適宜、正孔輸送材料
と、一般式(1)で表される芳香族エポキシ(メタ)ア
クリレートと多塩基酸またはその酸無水物を反応させて
得られる(メタ)アクリレート化合物または、一般式
(3)及び(4)で表される単位構造を主体としたエポ
キシ(メタ)アクリレートと多塩基酸又はその酸無水物
とを反応させて得られる(メタ)アクリレート化合物を
含有する光硬化性樹脂化合物または式(5)または
(6)または(7)で表される光硬化性化合物とを溶媒
にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成
し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
後、そのままか、または、アルカリ水溶液に浸漬した
後、水洗し、または、適当な有機溶媒で洗浄し、その後
発光層兼電子輸送層または発光層そして電子輸送層また
は正孔輸送層を発光させる場合には所定の電子輸送層
を、それぞれ上記の光硬化性樹脂にドープした層・バイ
ンダー(光非硬化性)樹脂にドープした層・蒸着層など
の方法を適宜使用しわけることで形成し、さらに背面電
極を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッ
センス素子の製造方法により達成される。
【0033】すなわち、本発明の目的は次の手段によっ
て達成される。
【0034】[1] 複数の有機層を持つ有機エレクトロ
ルミネッセンス素子のうちの少なくとも一つ以上の層
が、光硬化性樹脂化合物中に正孔輸送材料または正孔輸
送材料と発光材料または発光材料または発光材料と電子
輸送材料または電子輸送材料をドープした層を有するこ
とを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【0035】[2] 陽極/正孔輸送層/発光層兼電子輸
送層/陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミ
ネッセンス素子において、上記構造を構成する各有機層
のうちの正孔輸送層が光硬化性樹脂化合物中に正孔輸送
材料をドープした層を有しおよび/または発光層兼電子
輸送層が光硬化性樹脂化合物中に発光材料と電子輸送材
料とをドープした層を有することを特徴とする有機エレ
クトロルミネッセンス素子。
【0036】[3] 陽極/正孔輸送層兼発光層/電子輸
送層/陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミ
ネッセンス素子において、上記構造を構成する各有機層
のうちの正孔輸送層兼発光層が光硬化性樹脂化合物中に
正孔輸送材料と発光材料とをドープした層を有しおよび
/または電子輸送層が光硬化性樹脂化合物中に電子輸送
材料をドープした層を有することを特徴とする有機エレ
クトロルミネッセンス素子。
【0037】[4] 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸
送層/陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミ
ネッセンス素子において、上記構造を構成する各有機層
のうちの正孔輸送層が光硬化性樹脂化合物中に正孔輸送
材料をドープした層を有しおよび/または発光層が光硬
化性樹脂化合物中に発光材料をドープした層を有しおよ
び/または電子輸送層が光硬化性樹脂化合物中に発光材
料と電子輸送材料とをドープした層を有することを特徴
とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【0038】[5] 光硬化性樹脂化合物が正孔輸送性を
有する場合には、正孔輸送層成形において正孔輸送材料
をドープせずに正孔輸送層または発光層兼正孔輸送層を
形成してなることを特徴とする前記1〜4のいずれか1
項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【0039】[6] 発光材料は青、赤、緑の三色であっ
て、発光材料を含む層を少なくとも一層有することを特
徴とする前記1〜5のいずれか1項に記載の有機エレク
トロルミネッセンス素子。
【0040】[7] 青の発光材料はオキサジアゾール誘
導体、テトラフェニルシクロペンタジエン、テトラフェ
ニルブタジエンまたはオキサゾール、赤の発光材料はD
CM1、ナイルレッドまたはフェノキサゾン、緑の発光
材料はキナクリドリン誘導体、クマリン6、クマリン7
またはアルミニウム・オキシン錯体であることを特徴と
する前記6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素
子。
【0041】[8] 光硬化性樹脂化合物が、下記一般式
(1):
【0042】
【化18】
【0043】(但し、式(1)において、R1 及びR2
は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲン原
子の何れかであり、R3 は水素原子又はメチル基であ
り、Xは- CH2 - 、- C(CH32 - 、- CO- 、
- C(CF32 - 、 - O-、 - Si(CH32 -
、- SO2 - 、下記一般式(2):
【0044】
【化19】
【0045】もしくは不存在を示し、pは1〜11の整
数である)で表されるエポキシ(メタ)アクリレートと
多塩基酸又はその酸無水物とを反応させて得られる(メ
タ)アクリレート化合物を含有することを特徴とする前
記1〜7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子。
【0046】[9] 光硬化性樹脂化合物が、下記一般式
(3)及び(4):
【0047】
【化20】
【0048】
【化21】
【0049】(但し、式(3)及び(4)において、R
1 、R2 、R3 及びXは式(1)と同じでありYは二塩
基酸または三塩基酸の残基を示し、Zは酸二無水物の残
基を示し、R4 は水素原子またはカルボキシル基であ
り、構造単位のモル比(m/n)は 0 /100 〜100 /
0 の割合である。)で表される単位構造を主体とする、
(メタ)アクリレート化合物を含有することを特徴とす
る前記1〜7のいずれか1項に記載の有機エレクトロル
ミネッセンス素子。
【0050】[10] 光硬化性樹脂化合物が、下記式
(5)、(6)または(7):
【0051】
【化22】
【0052】(ただし、式中、nは1〜140の範囲で
ある。)
【0053】
【化23】
【0054】
【化24】
【0055】表される単位構造を主体とする化合物を含
有することを特徴とする前記1〜7のいずれか1項に記
載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【0056】[11] 光硬化性樹脂化合物が、さらに光
重合開始剤および/または増感剤と、エポキシ基を有す
る化合物とを含有することを特徴とする前記1〜10の
いずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素
子。
【0057】[12] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化
合物とを、溶媒にて溶解混合した溶液を塗布・乾燥して
薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて
露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、
またはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、次い
で、発光層兼電子輸送層と背面電極を順次所定のパター
ンに形成することを特徴とする前記1、2、5、6、
7、8、9、10または11に記載の有機エレクトロル
ミネッセンス素子の製造方法。
【0058】[13] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料兼発光材料、また
は正孔輸送材料と発光材料と、光硬化性樹脂化合物と
を、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜
を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
はアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、次いで、
電子輸送層と背面電極を順次所定のパターンに形成する
ことを特徴とする前記1、3、5、6、7、8、9、1
0または11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素
子の製造方法。
【0059】[14] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化
合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥し
て薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用い
て露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、または、アルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去
し、次いで、発光材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒
にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成
し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはア
ルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して、発光層を所
定のパターンに形成し、次に電子輸送層と背面電極を順
次所定のパターンに形成することを特徴とする前記1、
2、3、4、5、6、7、8、9、10または11に記
載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【0060】[15] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化
合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥し
て薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用い
て露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、
その後、発光材料とバインダー樹脂とを、溶媒にて溶解
混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、次に、
電子輸送層と背面電極を順次所定のパターンに形成する
ことを特徴とする前記1、2、3、4、5、6、7、
8、9、10または11に記載の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の製造方法。
【0061】[16] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料兼発光材料、また
は正孔輸送材料と発光材料と、光硬化性樹脂化合物と
を、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜
を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
はアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、その後、電
子輸送材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混
合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパ
ターンを有するマスクを用いて露光した後、未露光部を
有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に
浸漬した後、水洗除去し、さらに異なる種類の電子輸送
層と、背面電極を順次所定のパターンに形成することを
特徴とする前記1、3、5、6、7、8、9、10また
は11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製
造方法。
【0062】[17] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料兼発光材料、また
は正孔輸送材料と発光材料と、光硬化性樹脂化合物と
を、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜
を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
はアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、その後、
電子輸送材料とバインダー樹脂とを、溶媒にて溶解混合
し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、さらに異な
る種類の電子輸送層と、背面電極を順次所定のパターン
に形成することを特徴とする前記1、3、5、6、7、
8、9、10または11に記載の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の製造方法。
【0063】[18] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化
合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥し
て薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用い
て露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、そ
の後、正孔輸送材料の電子の最高被占有分子軌道(HO
MO)と最低空分子軌道(LUMO)とのエネルギー準
位差より大きいエネルギー準位差を持つ電子輸送材料と
光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液
を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有す
るマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて
洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水
洗除去して青に発光する部位を形成し、次に、緑に発光
する発光材料または赤に発光する発光材と電子輸送材料
と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶
液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有
するマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒に
て洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後
水洗除去して緑または赤に発光する部位を形成し、次
に、残りの一色に発光する発光材料と電子輸送材料と光
硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を
塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有する
マスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗
浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗
除去して、残りの一色に発光する部位を形成し、次に、
背面電極を所定のパターンに形成する、フルカラーパネ
ル作製時のR(赤)、G(緑)、B(青)の各画素を塗
分けることを特徴とする前記1、2、3、4、5、6、
7、8、9、10または11に記載の有機エレクトロル
ミネッセンス素子の製造方法。
【0064】[19] 透明基板上に所定のパターンに形
成した透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合
物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して
薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて
露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、
またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、その
後、赤・緑・青のうち一種類の発光材料またはその一種
類の発光材料と電子輸送材料またはその一種類の発光材
料と正孔輸送材料または電子輸送材料が第一色を発光す
る場合はその電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合物と
を、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜
を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
はアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して第一の色
に発光する部位を形成し、次に、残りの二色のうちの一
種類の色に発光する発光材料またはその一種類の発光材
料と電子輸送材料またはその一種類の発光材料と正孔輸
送材料または電子輸送材料が第二色を発光する場合はそ
の電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合物とを、溶媒に
て溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、
所定のパターンを有するマスクを用いて露光した後、未
露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ
水溶液に浸漬した後、水洗除去して第二の色に発光する
部位を形成し、次に、残りの色に発光する発光材料また
はその発光材料と電子輸送材料またはその発光材料と正
孔輸送材料または電子輸送材料が第三色を発光する場合
はその電子輸送材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒に
て溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、
所定のパターンを有するマスクを用いて露光した後、未
露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ
水溶液に浸漬した後、水洗除去して第三の色に発光する
部位を形成し、次に、電子輸送層と背面電極を所定のパ
ターンに形成する、フルカラーパネル作製時のR
(赤)、G(緑)、B(青)の各画素を塗分けることを
特徴とする前記1、2、3、4、5、7、8、9、10
または11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子
の製造方法。
【0065】[20] 透明基板上に所定のパターンで形
成された透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化
合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥し
て薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用い
て露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、
その後、赤・青・緑のうち一種類の発光材料またはその
一種類の発光材料と電子輸送材料またはその一種類の発
光材料と正孔輸送材料または電子輸送材料が第一色を発
光する場合はその電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合
物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して
薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて
露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、
またはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して第一
の色に発光する部位を形成し、次に、上記発光材料の残
りの色のうちの一種類の色に発光する発光材料またはそ
の一種類の発光材料と電子輸送材料またはその一種類の
発光材料と正孔輸送材料または電子輸送材料が第二色を
発光する場合はその電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化
合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥し
て薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用い
て露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して
第二の色に発光する部位を形成し、次に、残りの色に発
光する発光材料と電子輸送材料または電子輸送材料が第
三色を発光する場合はその電子輸送材料と光硬化性樹脂
化合物またはバインダー樹脂とを、溶媒にて溶解混合
し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、光硬化性樹
脂を使用するときは所定のパターンを有するマスクを用
いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、
バインダー樹脂を使用するときはそのままで、第三の色
に発光する部位と電子移動層を一括形成し、次に背面電
極を所定のパターンに形成する、フルカラーパネル作製
時のR(赤)、G(緑)、B(青)の各画素を塗分ける
ことを特徴とする前記1、2、3、4、5、6、7、
8、9、10または11に記載の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の製造方法。
【0066】[21] 背面電極として、MgAg、Al
Liの合金薄膜ついでAlの二層構造またはAlのみの
薄膜を形成することを特徴とする前記1〜11のいずれ
か1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【0067】[22] 背面電極として、MgAg、Al
Liの合金薄膜ついでAlの二層構造またはAlのみの
薄膜を形成することを特徴とする前記12〜20のいず
れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の
製造方法。
【0068】
【発明の実施の形態】有機EL素子(パネル) 本発明の有機EL素子は、複数の有機層を持つ有機エレ
クトロルミネッセンス素子のうちの少なくとも一つ以上
の層が、光硬化性樹脂化合物中に正孔輸送材料または正
孔輸送材料と発光材料または発光材料または発光材料と
電子輸送材料または電子輸送材料をドープした層を有す
ることを特徴とする。すなわち、本発明の有機EL素子
は複数の有機層を持ち、特に正孔輸送層/発光層兼電子
輸送層、正孔輸送層兼発光層/電子輸送層または正孔輸
送層/発光層/電子輸送層からなることが好ましい。例
えば、正孔輸送材料を光硬化性樹脂化合物中にドープし
た層を用いる場合には、発光材料と電子輸送材料の双方
を蒸着または光硬化性樹脂化合物もしくは光非硬化性樹
脂中にドープした層を合わせて用いることが好ましく、
または発光材料を蒸着または光硬化性樹脂化合物もしく
は光非硬化性樹脂中にドープした層を設け、続いて電子
輸送材料を蒸着または光硬化性樹脂化合物もしくは光非
硬化性樹脂中にドープした層を合わせて用いることが好
ましく、他方、正孔輸送材料と発光材料の双方を光硬化
性樹脂化合物中にドープした層を用いる場合には、電子
輸送材料を蒸着または光硬化性樹脂化合物もしくは光非
硬化性樹脂中にドープした層を合わせて用いることが好
ましい。ここで、光硬化性樹脂化合物が正孔輸送性を有
する場合には、正孔輸送材料をドープすることなく、そ
のまま正孔輸送層そして、または発光層兼正孔輸送層用
の材料として用いることが可能である。また、正孔輸送
材料と発光材料の代わりに正孔輸送材料と発光材料の双
方の性能を有する一つの材料を用いることもできる。さ
らに、青、赤、緑の三色の発光材料を用いる場合には、
それぞれの発光材料をドープした層を積層することなく
同一層(膜)上にそれぞれ層を形成することが好まし
い。本発明の有機EL素子は、また、各有機層を形成し
た後、それぞれに保護層を設けることもできる。さら
に、素子全体を水分や酸素から保護するために保護膜を
設けてもよい。
【0069】また、上記のように有機層を複数とした場
合には、例えば、正孔輸送層からの正孔は電子輸送層の
所でブロックされ、また、逆に電子輸送層からの電子は
正孔輸送層の所でブロックされるようになる。そのた
め、正孔と電子とがその界面で蓄積され結合する確率が
多くなる。その結果、リーク電流が減少し発光効率が上
がることになる。したがって、複数層の方が、明るく寿
命も長い。発明者らの具体的なデータでも、単層型で1
00〜700cd/m2程度、二層型で2000〜60
00cd/m2程度の明るさとなっている。
【0070】次に、本発明について図面を用いて詳細に
述べる。
【0071】図1、図2および図3は、本発明に係わる
有機EL素子(パネル)の構造(モノクロに対応)を示
すものである。すなわち、有機EL素子(パネル)の基
本的な構造としては、例えば、図1に示すように、ガラ
ス基板などの透明基板6上に所定のピッチで筋状に形成
されたITOなどの透明電極5が設けられ、さらに該透
明基板上に正孔輸送材料をドープした一般式(1)で表
されるエポキシ(メタ)アクリレートと多塩基酸または
その酸無水物を反応させて得られる(メタ)アクリレー
ト化合物、または一般式(3)及び(4)で表される単
位構造を主体としたエポキシ(メタ)アクリレートと多
塩基酸又はその酸無水物とを反応させて得られる(メ
タ)アクリレート化合物を含有する光硬化性樹脂化合物
または式(5)または(6)または(7)で表される化
合物からなる正孔輸送層塗布膜を露光、現像処理してな
る正孔輸送層4が設けられ、さらに該正孔輸送層4上に
発光層兼電子輸送層2bを発光材兼電子輸送材を蒸着法
または光非硬化性樹脂もしくは光硬化性樹脂化合物中に
ドープしたものを塗布することにより形成し、さらにそ
の上に所定のパターンに形成された背面電極1が設けら
れてなるものである。これには以上2通りの作製方法が
あり、パネルの目的に応じいずれかの方法を用いること
ができる。図2においては、正孔輸送層4、発光層3、
電子輸送層2、の順に有機層が積層した構造である。こ
の場合、次の4通りがあり、作製するパネルの目的に応
じて何れかの方法を用いることができる:正孔輸送層4
を光硬化性樹脂を使用し硬化させた後、発光層3と電子
輸送層2とを蒸着する方法、発光層3を光硬化性樹脂化
合物もしくは光非硬化性樹脂で塗布し、電子輸送層2を
蒸着する方法、発光層3を光硬化性樹脂で作製し、電子
輸送層2を蒸着または光硬化性樹脂化合物もしくは光非
硬化性樹脂で作製する。図3においては、正孔輸送層兼
発光層4a、電子輸送層2の順に有機層が積層した構造
である。正孔輸送層兼発光層4aを光硬化性樹脂を使用
して作製し、電子輸送層2を蒸着または光硬化性樹脂化
合物もしくは光非硬化性樹脂を使用して作製する2通り
の場合があり、作製するパネルの目的に応じて何れかの
方法を用いることができる。
【0072】また、本発明において、有機ELの基本的
な構造には、電子輸送層が二層(多層)構造となってい
る場合、正孔輸送層が二層(多層)となっている場合、
例えばキナクリドン誘導体を電極と有機層との間に設け
る等の電極との接着性を向上させるための層を設ける場
合、およびかかる素子全体を水分や酸素から保護するた
めの保護層を設ける場合も含まれる。
【0073】RBGの各画素の塗り分け 以上述べた方法を適宜組み合わせることにより、RGB
の各画素の塗り分けが可能となる。以下に説明する。
【0074】第一の例として、所定のパターンに透明電
極を形成した透明電極上に、正孔輸送材料と、上記に記
載の光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該
溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを
有するマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒
にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した
後水洗除去する。その後、正孔輸送材料の電子の最高被
占有軌道(HOMO)と最低空軌道(LUMO)とのエ
ネルギー差より大きいエネルギー差を持つ電子輸送材料
と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶
液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有
するマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒に
て洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後
水洗除去し、エネルギー差の関係から正孔輸送層が青に
発光する部位を形成する。青に発光する部位は、正孔輸
送層が正孔輸送層兼発光層となっている。次に、緑に発
光する発光材料または赤に発光する発光材料と電子輸送
材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、
該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターン
を有するマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶
媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬し
た後水洗除去して緑または赤に発光する部位を形成す
る。次に、残りの一色に発光する発光材料と電子輸送材
料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該
溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを
有するマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒
にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した
後水洗除去して残りの一色に発光する部位を形成する。
次に、背面電極を所定のパターンに形成することによ
り、フルカラーパネル作製時のR(赤)、G(緑)、B
(青)の各画素を塗分けることができる。
【0075】第二の例として、所定のパターンに透明電
極を形成した透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹
脂化合物とを溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥
して薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用
いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去して正
孔輸送層を形成する。その後、赤、緑、青のうち一種類
の発光材料またはその一種類の発光材料と電子輸送材料
またはその一種類の発光材料と正孔輸送材料と、光硬化
性樹脂化合物とを溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・
乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスク
を用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去
するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し
て第一の色に発光する部位を形成する。次に、残りの二
色のうちの一種類の色に発光する発光材料またはその発
光材料と電子輸送材料またはその発光材料と正孔輸送材
料と、光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、
該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターン
を有するマスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶
媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬し
た後水洗除去して第二の色に発光する部位を形成する。
次に、残りの色に発光する発光材料またはその発光材料
と電子輸送材料またはその発光材料と正孔輸送層と、光
硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を
塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有する
マスクを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗
浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗
除去し、第三の色に発光する部位を形成する.次に、電
子輸送層と背面電極を所定のパターンに形成することに
より、R(赤)、G(緑)、B(青)の各画素を塗分け
ることができる。
【0076】第三の例として、所定のパターンに透明電
極を形成した透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹
脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾
燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを
用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去す
るか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去して
正孔輸送層を形成する。その後、赤、青、緑のうちいず
れか一種類の発光材料またはその発光材料と電子輸送材
料またはその発光材料と正孔輸送材料と、光硬化性樹脂
化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥
して薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用
いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去して第
一の色に発光する部位を形成する。次に、上記発光材料
の残りの色のうちの一種類の色に発光する発光材料また
はその発光材料と電子輸送材料またはその発光材料と正
孔輸送材料と、光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解
混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定の
パターンを有するマスクを用いて露光した後、未露光部
を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液
に浸漬した後水洗除去して第二の色に発光する部位を形
成する。次に、残りの色に発光する発光材料またはその
発光材料と電子輸送材料と、光硬化性樹脂化合物または
バインダー樹脂とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗
布・乾燥して薄膜を形成し、光硬化性樹脂を使用すると
きは所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはア
ルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、バインダー樹脂
を使用するときはそのままで、第三の色に発光する部位
と電子輸送層を一括形成する。次に、背面電極を所定の
パターンに形成し、R(赤)、G(緑)、B(青)の各
画素を塗分けることにより、フルカラーパネルを作製す
ることができる。
【0077】以上に説明した以外の組み合わせも可能と
なる。例えば、正孔輸送層として、二あるいは三種類の
正孔輸送材料を三画素の各部分に塗り分けてもよい。ま
た、上記第三の例で最後の有機層を蒸着法で行うことも
できる。
【0078】次に、有機ELモノクロ素子及び有機EL
フルカラー素子の製造方法についてより詳細に説明す
る。
【0079】有機ELモノクロ素子の製造方法 有機ELモノクロ素子、例えば陽極/正孔輸送層/発光
層兼電子輸送層/陰極または陽極/正孔輸送層/発光層
/電子輸送層/陰極の構造を有するのものは、基本的に
次の工程で製作される。
【0080】a-(i) まず、透明基板上に所定のピッチで
筋状にITOの透明電極を形成する。ピッチは使用する
パネルのサイズにより決められる。
【0081】a-(ii) 次に、一般式(1)で示されるエ
ポキシ(メタ)アクリレートと多塩基酸またはその酸無
水物を反応させて得られる(メタ)アクリレート化合物
を含有する光硬化性樹脂または式(5)または(6)ま
たは(7)で表される化合物を含有する光硬化性樹脂化
合物を用意する。これと、正孔輸送材料とを溶媒にて混
合し、正孔輸送層形成用溶液を作成する。正孔輸送材料
のドープ量は、正孔輸送材料と光硬化性樹脂または化合
物との和の20〜90重量%である。溶媒としては、ク
ロロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン、テトラ
ヒドロフラン、エチルセロソルブアセテート、N−メチ
ルピロリドンなどが使用できる。ここで、上記(メタ)
アクリレート化合物は、例えば、特開平7−92674
号公報(特に、段落番号0027〜0029)に記載の
方法で製造できる。
【0082】該溶液を用い、ITOなどの透明電極が形
成された基板に塗布乾燥し、正孔輸送層を製膜する。製
膜法はスピンコート法、ディップ法、インクジェット法
などの製膜法が適用可能である。
【0083】a-(iii) 次に、正孔輸送層(膜)が形成さ
れた基板を、所定のパターンを持つマスクで露光感光し
た後、有機溶媒またはアルカリ水溶液で現像する。露光
用の光としては、365nmが適しているが、添加され
る光重合開始剤、増感剤に対応した波長を選ぶことがで
きる。現像用有機溶媒は発光層形成用溶液作成に使用し
た溶媒を使用するのが最適であり、現像用アルカリ水溶
液使用の場合には、0.5 〜1.0 %ジエタノールアミン水
溶液または、0.4 〜0.6 %炭酸ナトリウム水溶液が適し
ている。パターニングしない時は現像を省略してもよ
い。
【0084】RGB塗分けの場合も同様に行うが、発光
材料・電子輸送材料との組み合わせに適した、必要に応
じて、二種または三種の正孔輸送材料とそれによる溶液
を用意し、それぞれの必要な部分に光パターニングして
成膜する。
【0085】a-(iv) 次に、パターニング後の基板上に
発光層兼電子輸送層を形成する。緑色発光とするとき
は、例えばアルミ・オキシン錯体を蒸着、または光非硬
化性樹脂または光硬化性樹脂にドープした溶液を塗布乾
燥する。溶媒は、例えばジクロロエタン、ジクロロメタ
ン、テトラヒドロフランなどが用いられる。アルミ・オ
キシン錯体にクマリン6を0.1〜1.0重量%ドープ
した層を蒸着または塗布してもよい。層厚は100〜2
000Åが好ましい。
【0086】a-(v) また、発光層次に電子輸送層の順に
膜を形成してもよい。この場合は、発光層次に電子輸送
層の順に蒸着したり、発光層を塗布し次に電子輸送層を
蒸着または塗布することもできる。発光層を塗布し次に
電子輸送層を蒸着する場合は、発光層に樹脂として光硬
化性樹脂化合物・光非硬化性樹脂のいずれを使用しても
よい。発光層及び電子輸送層を塗布する場合は発光層は
光硬化性樹脂を使用することになり、電子輸送層が一層
の時は光非硬化性樹脂に一種目の電子輸送層をドープす
るが、電子輸送層が二層構造をとる場合は一層目を光硬
化性樹脂とし、二層目を蒸着または光非硬化性樹脂にド
ープした層とする。光非硬化性樹脂にドープする場合
は、樹脂としてはポリメチルメタアクリレート、ポリカ
ーボネート、ポリエステルなどが用いられ、ドープ量は
20〜90%が好ましい。光硬化性樹脂化合物としては
上記(ii)で使用した樹脂を同様の方法で用いる。塗布
にあたっては、スピンコート法・ディップ法、インクジ
ェット法が用いられる。例えば、緑色発光とするとき
は、例えば発光層として50Å〜700Åのクマリン6
またはクマリン6を0.1〜1.0重量%ドープしたア
ルミ・オキシン錯体層を形成し、さらに100〜200
0Åのアルミ・オキシン錯体による電子輸送層を蒸着に
より形成する。赤、青の発光とする時は、上記クマリン
6の代わりにそれぞれに相応しい発光材料を使用する。
【0087】勿論、正孔輸送層、発光層兼電子輸送層、
発光層または電子輸送層は、全ての層が光硬化性樹脂化
合物へのドープ層であってもよいが、いずれか一層が光
硬化性樹脂化合物へのドープ層であれば本発明の目的が
達成される。
【0088】a-(vi) 最後に、背面電極を所定のパター
ンに形成する。例えば、単純マトリックスであれば、I
TO透明電極とクロスするように形成する。背面電極
は、一般的に蒸着法を用いるが、これに限定する必要は
ない。パターニング精度は±10μm以下の程度である。
【0089】次に、陽極/正孔輸送層兼発光層/電子輸
送層/陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミ
ネッセンス素子は、次の工程で製作される。
【0090】b-(i) 透明電極は、上記a-(i)と同じ方
法で形成される。
【0091】b-(ii) 次に、一般式(1)で示されるエ
ポキシ(メタ)アクリレートと多塩基酸またはその酸無
水物を反応させて得られる(メタ)アクリレート化合物
を含有する光硬化性樹脂または式(5)または(6)ま
たは(7)で表される化合物を含有する光硬化性化合物
を用意する。これと、正孔輸送材料兼発光材料または正
孔輸送材料と発光層を溶媒に混合し、正孔輸送層兼発光
層形成用溶液を作成する。正孔輸送材料兼発光材料(ま
たは正孔輸送材料と発光材料との合計)のドープ量は、
正孔輸送材料、発光材料と光硬化性樹脂または化合物と
の和の20〜90重量%である。溶媒としては、クロロ
ホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン、テトラヒド
ロフラン、エチルセロソルブアセテート、N−メチルピ
ロリドンなどが使用できる。ここで、上記(メタ)アク
リレート化合物は、例えば、特開平7−92674号公
報(特に、段落番号0027〜0029)に記載の方法
で製造できる。
【0092】該溶液を用い、ITOなどの透明電極が形
成された基板に塗布乾燥し、正孔輸送層兼発光層を製膜
する。製膜法はスピンコート法、ディップ法、インクジ
ェット法などの製膜法が適用可能である。
【0093】b-(iii) 次に、正孔輸送層兼発光層(膜)
が形成された基板を、所定のパターンを持つマスクで露
光感光した後、有機溶媒またはアルカリ水溶液で現像す
る。露光用の光としては、365nmが適しているが、
添加される光重合開始剤、増感剤に対応した波長を選ぶ
ことができる。現像用有機溶媒は発光層形成用溶液作成
に使用した溶媒を使用するのが最適であり、現像用アル
カリ水溶液使用の場合には、0.5 〜1.0 %ジエタノール
アミン水溶液または、0.4 〜0.6 %炭酸ナトリウム水溶
液が適している。パターニングしない時は現像を省略し
てもよい。
【0094】b-(iv) 次に、パターニングされた基板上
に電子輸送層は蒸着または塗布する。塗布する場合に、
光硬化性樹脂化合物・光非硬化性樹脂のいずれを使用し
てもよい。光硬化性樹脂化合物としては、上記b-(ii)
で使用した光硬化性樹脂化合物が同様な方法で塗布でき
る。非光硬化性樹脂としては、ポリメチルメタアクリレ
ート、ポリカーボネート、ポリエステルなどが用いら
れ、ドープ量は20〜90%が好ましい。
【0095】勿論、正孔輸送層兼発光層または電子輸送
層は、双方の層が光硬化性樹脂化合物へのドープ層であ
ってもよいが、下の正孔輸送層兼発光層が光硬化性樹脂
化合物へのドープ層であれば本発明の目的が達成され
る。
【0096】b-(v) 背面電極は、上記(vi)と同様な方
法で形成できる。パターニング精度は±10μm以下の
程度である。
【0097】有機ELフルカラー素子の製造方法 以上はモノクロパネルについての説明であるが、以下に
RGBのフルカラーパネルの場合を説明する。本発明の
有機ELフルカラー素子は、例えば次の工程で製作でき
る。
【0098】c-(i) まず、ガラス製の透明基板上に所定
のピッチで筋状にITOの透明電極を形成する。ピッチ
は使用するパネルのサイズにより決められる。
【0099】c-(ii) 次に、一般式(1)で示されるエ
ポキシ(メタ)アクリレートと多塩基酸またはその酸無
水物を反応させて得られる(メタ)アクリレート化合物
を含有する光硬化性樹脂または式(5)または(6)ま
たは(7)で表される化合物を含有する光硬化性樹脂化
合物を用意する。これと、正孔輸送材料とを溶媒に混合
し、正孔輸送層形成用溶液を作成する。正孔輸送材料の
ドープ量は、正孔輸送材料と光硬化性樹脂または化合物
との和の20〜90重量%である。溶媒としては、クロ
ロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン、テトラヒ
ドロフラン、エチルセロソルブアセテート、N−メチル
ピロリドンなどが使用できる。ここで、上記(メタ)ア
クリレート化合物は、例えば、特開平7−92674号
公報(特に、段落番号0027〜0029)に記載の方
法で製造できる。
【0100】該溶液を用い、ITOなどの透明電極が形
成された基板に塗布乾燥し、正孔輸送層(膜)を製膜す
る。製膜法はスピンコート法、ディップ法、インクジェ
ット法などの製膜法が適用可能である。また、RGBそ
れぞれの層に異なる正孔輸送材料を使用する場合は、正
孔輸送材料を含有する溶液は、必要な正孔輸送材料の種
類だけ作液する。
【0101】c-(iii) 青の発光材料または青の発光材料
と電子輸送材料と、光硬化性樹脂化合物とを含む溶液、
緑の発光材料または緑の発光材料と電子輸送材料と、光
硬化性樹脂とを含む溶液、赤の発光材料または赤の発光
材料と電子輸送材料と、光硬化性樹脂とを含む溶液をそ
れぞれ作成し、それぞれ順次RGBに相当する画素に塗
布・光硬化・洗浄し、各画素を形成する。ここで、青の
発光については、正孔輸送材料の電子最高被占有分子軌
道(HOMO)と最低空分子軌道(LUMO)とのエネ
ルギー順位差より大きいエネルギー順位差を持つ電子輸
送材料を用いて正孔輸送材料を青に発光させることがで
きる。また、電子輸送材料が第二番目の色または第三番
目の色を発光する場合には、それぞれその電子輸送材料
自体を発光材料と電子輸送材料の組み合わせとして用い
ることができる。発光材料のドープ量は、材料の種類に
より、電子輸送材料に対し、0.01〜100重量%が
相応しい。それより少ないと効果がない。光硬化性樹脂
化合物に対するドープ量は上記モノクロ素子の場合と同
様である。発光層あるいは発光層兼電子輸送層の厚みは
50〜700Åである。最後に形成する発光層の形成に
は、適宜、蒸着・光非硬化性樹脂を使用してもよい。さ
らにその次に電子輸送層を形成する場合には、電子輸送
層を蒸着、または光非硬化性樹脂にドープしたもの、ま
たは光硬化性樹脂にドープしたものを使用して100〜
2000Å形成する。複数の電子輸送材料を使用する場
合は、光硬化性樹脂を使用し、それぞれにパターニング
する。最後に形成する電子輸送層の形成には、適宜、蒸
着・光非硬化性樹脂にドープしたものを使用してもよ
い。
【0102】また、図4は本発明のその他の有機EL素
子の模式図である。図4において、ガラス基板6の上に
透明電極5と正孔輸送層4が、さらに青色発光層3a、
緑色発光材料がドープされた電子輸送層2f、赤色発光
材料がドープされた電子輸送層2g及び背面電極1がそ
れぞれ設けられている。2g層は3a層および2f層を
覆うように形成されている。このような構成にすれば、
B(青)とG(緑)に相当する部分において、発光層で
ある中間の層厚が一定以上、例えば200〜400Å以
上であれば、正孔輸送層4からの正孔が青色発光層3a
または緑色発光材料がドープされた電子輸送層2fを突
き抜けてその上部の電子輸送層2gまで到達しない。逆
に、電子輸送層2gからの電子も、同様に、かかる層を
抜けて下に到達しない。その結果、中間の層において正
孔と電子とが合体し、そのエネルギーが中間の層に与え
られ、中間の層のみがそれぞれ発光する。このように有
機層を構成することによって、発光させることも可能で
ある。
【0103】c-(iv) 最後に、背面電極を所定のパター
ンに形成する。例えば、単純マトリックスであれば、I
TO透明電極とクロスするように形成する。背面電極
は、一般的に蒸着法を用いるが、これに限定する必要は
ない。パターニング精度は±10μm以下の程度である。
【0104】RGBの各画素の塗分けは以上の例のごと
く、適宜モノクロ作製時の手法を使用する正孔輸送材料
・発光材料・電子移動材料の種類に応じて適用すればよ
い。
【0105】本発明で使用される材料 以下、上記の有機EL素子,RBGの各画素の塗り分
け、有機ELモノクロ素子の製造方法、有機ELフルカ
ラー素子の製造方法で使用される材料、原料について説
明する。上記において、同一の名称の材料は、特に特定
がない場合には、同一の材料が用いられる。
【0106】本発明で使用する光硬化性樹脂化合物の特
性については、平均分子量が2000〜20000であ
り、紫外線を用いた30〜6000mjの露光により、
5μm程度までの線幅のラインを引くことができる。一
般式(6)、(7)のモノマー添加の場合は、光重合に
よりポリマー化するので、同様の特性を持つ。カルボン
酸基のあるものはアルカリ溶解性を持ち、ないものはそ
の性質を有しない。いずれの構造も溶媒に対する溶解性
が異なり、いずれもジクロロエタン・ジクロロメタン・
Nーメチルピロリドンには溶解するが、カルボン酸基を
有するものは、テトラヒドロフランには溶解しにくい。
【0107】本発明において、(メタ)アクリレート化
合物を構成する一般式(1)で表される単位構造におけ
るビスフェノール成分の具体例としては、Xとして- C
O-を含むものとしてビス(4−ヒドロキシフェニル)
ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジメチルフェ
ニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジクロ
ロフェニル)ケトンなど、また、Xとして- SO2 - を
含むものとしてビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホ
ン、ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジメチルフェニ
ル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジクロ
ロフェニル)スルホンなど、また、Xとして- C(CF
32 - を含むものとしてビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−
3、5−ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、
ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジクロロフェニル)ヘ
キサフルオロプロパンなど、また、Xとして- Si(C
32 - を含むものとしてビス(4−ヒドロキシフェ
ニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3、5
−ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒド
ロキシ−3、5−ジクロロフェニル)ジメチルシランな
ど、また、Xとして-CH2 - を含むものとしてビス
(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロ
キシ−3、5−ジメチルフェニル)メタン、ビス(4−
ヒドロキシ−3、5−ジクロロフェニル)メタン、ビス
(4−ヒドロキシ−3、5−ジブロモフェニル)メタ
ン、フェノールノボラック、クレゾールノボラックな
ど、また、Xとして- C(CH32 - を含むものとし
て2、2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、
2、2−ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジメチルフェ
ニル)プロパン、2、2−ビス(4−ヒドロキシ−3、
5−ジクロロフェニル)プロパン、2、2−ビス(4−
ヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパン、2、2−
ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)プロパン
など、また、Xとして- O- を含むものとしてビス(4
−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキ
シー3、5ージメチルフェニル)エ−テル、ビス(4ー
ヒドロキシー3、5ージクロロフェニル)エ−テルな
ど、また、Xとして、
【0108】
【化25】
【0109】を含むものとして、9、9−ビス(4−ヒ
ドロキシフェニル)フルオレン、9、9−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9、9−
ビス(4−ヒドロキシ−3−ブロモフェニル)フルオレ
ン、9、9−ビス(4−ヒドロキシ−3−フルオロフェ
ニル)フルオレン、9、9−ビス(4−ヒドロキシ−3
−メトキシフェニル)フルオレン、9、9−ビス(4−
ヒドロキシ−3、5−ジメチルフェニル)フルオレン、
9、9−ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジクロロフェ
ニル)フルオレン、9、9−ビス(4−ヒドロキシ−
3、5−ジブロモフェニル)フルオレン、など、さら
に、Xが不存在のものとして、4、4’−ビフェノー
ル、3、3’−ビフェノールなどから、誘導される。
【0110】また、一般式(1)と反応しうる多塩基酸
又はその酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、
無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テ
トラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水
メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロ
レンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリ
メリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二
無水物、及び、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二
無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物が挙げられ
る。また、これらは1種のみを単独で使用できるほか、
2種以上を混合物としても使用することができる。
【0111】エポキシ(メタ)アクリレートと反応させ
る多塩基酸もしくはその酸無水物として酸二無水物を存
在させた場合は、一般式(3)及び(4)(但し、
(3)及び(4)において、R1 、R2 、R3 及びXは
式(1)と同じであり、Yは二塩基酸又は三塩基酸の残
基を示し、Zは酸二無水物の残基を示し、R4 は水素原
子またはカルボキシル基であり、構造単位のモル比(m
/n)は0/100 〜100/0 の割合である。)で表される
(メタ)アクリレート化合物であり、Yを導入しうる酸
無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク
酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロ
フタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエン
ドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、
メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸
などが挙げられ、その1種のみを単独で用いてもよく、
2種以上を併用してもよい。
【0112】Zを導入しうる酸二無水物としては、無水
ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などの芳香
族多価カルボン酸無水物が挙げられ、その1種のみを単
独で用いてもよく、また、2種以上を併用してもよい。
【0113】また、(メタ)アクリレート化合物の分子
量については、この化合物0.5gをN−メチルピロリ
ドン100mlに溶解した溶液を30℃で測定したイン
ヘレント粘度(ηinh )が0.1dl/g以上、好まし
くは0.15dl/g以上であることが望ましい。
【0114】本発明に使用されるバインダー(光非硬化
性)樹脂としては、例えばポリメチルメタアクリレー
ト、ポリカーボネート、ポリエステルなどを用いること
ができる。
【0115】本発明に使用される光硬化性樹脂化合物
は、上記(メタ)アクリレート化合物及び式(5)及び
化合物(6)及び化合物(7)を含むものであるが、こ
れを光硬化させるために光重合開始剤、光増感剤などを
含ませることもできる。例えば、アセトフェノン、2、
2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフ
ェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノンなどのア
セトフェノン類や、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾ
フェノン、p、p’−ビスジメチルアミノベンゾフェノ
ンなどのベンゾフェノン類や、ベンジル、ベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル類
や、チオキサンソン、などのイオウ化合物や、アントラ
キノン類や、有機過酸化物や、チオール化合物が挙げら
れる。これら化合物は、2種以上を組み合わせてもよ
い。
【0116】これら光重合開始剤、光増感剤などの化合
物の配合割合は、(メタ)アクリレート化合物などの光
硬化性樹脂化合物100重量部に対し、0〜30重量部
が適している。これらの光重合開始剤などは、全く添加
しなくても十分な光照射により重合可能である。しか
し、多量の光照射を必要とするので、光照射量が少ない
場合には、光重合開始剤を添加することが好ましい。ま
た、30重量部を超えると、基板と密着性が悪くなる。
【0117】さらに、光硬化、耐湿性、密着性向上のた
め、エポキシ基を有する化合物を混合することもでき
る。この際は、加熱処理を要する。例えば、80〜20
0℃、10〜120分がその条件である。また、エポキ
シ基を有する化合物としては、フェノールノボラック型
エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、
などのエポキシ樹脂や、フェニルグリシジルエーテルな
どのエポキシ基を少なくとも1個有する化合物が挙げら
れる。配合割合は、(メタ)アクリレート化合物などの
光硬化性樹脂化合物100重量部に対して、0〜90重
量部が好ましい。0の場合は、ドープ化合物によって
は、添加しなくても所望の特性を有する場合があるから
である。また、90重量部を超えると硬化時にクラック
などが入る。
【0118】また、密着性の向上のため、必要に応じて
シリコン系、フッ素系、アクリル系の消泡剤、レベリン
グ剤などを添加してもよい。
【0119】本発明に用いることのできる透明基板とし
ては、ガラスまたは透明樹脂(例えば、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリアクリレー
トなど)の基板を挙げることができる。
【0120】本発明に用いることのできる基板側の電極
としては、透明電極にする必要があり、例えば、ITO
(Indium Tin Oxide)などが使用できる。
【0121】本発明に用いることのできる正孔輸送層と
しては、正孔輸送材料を、マトリックスとしての一般式
(1)で示されるエポキシ(メタ)アクリレートと多塩
基酸またはその酸無水物を反応させて得られる(メタ)
アクリレート化合物または、一般式(3)及び(4)で
表される単位構造を主体とした(メタ)アクリレート化
合物を含有する光硬化性樹脂化合物または式(5)また
は(6)または(7)で表される化合物にドーピングさ
せた層であり、正孔輸送材料は、マトリックスにドーピ
ングして安定なものであれば種類は問わない。
【0122】具体的には、正孔輸送材料としてトリフェ
ニレンジアミン誘導体、PVKなどが、電子輸送材料と
してはアルミニウム・オキシン錯体(tris(8-quinolinol
ato)aluminum(III);Alq)、オキサジアゾール誘導体
などが、発光材料としては、R(赤)用に下記構造式
(11):
【0123】
【化26】
【0124】で表されるDCM1、ナイルレッドまたは
フェノキサゾンなどが、G(緑)用にクマリン6、クマ
リン7、アルミニウム・オキシン錯体などが、B(青)
用にオキサジアゾール誘導体、テトラフェニルシクロペ
ンタジエン、テトラフェニルブタジエン(TPB)、Z
n(oxz)2 :oxz=オキサゾールなどを挙げるこ
とができる。
【0125】本発明に使用できる正孔輸送材料兼発光材
料としては、例えば、トリフェニレンジアミン誘導体な
どが挙げられる。
【0126】本発明に使用できる電子輸送材料が第二色
(緑)を発光する場合の電子輸送材料としては、例え
ば、アルミニウム・オキシン錯体が挙げられる。
【0127】本発明に使用できる背面電極としては、例
えば、MgAg、AlLiの合金膜ついでAlの二重構
造またはAlのみの薄膜が好ましい。
【0128】正孔輸送層、及び発光層と電子輸送層を塗
布法で形成する場合の組成割合としては、正孔輸送材料
または発光材料または電子輸送材料のドープ量が光硬化
性樹脂化合物あるいはバインダー樹脂(光非硬化性樹脂
化合物)を含めたそれぞれの層の総和の20〜90重量
%を占めることが好ましい。これより少ないと正孔輸送
層と電子輸送層では十分な荷電移動性が得られず、従っ
て十分な発光が得られない。また、発光層でも20重量
%以下の発光材のドープでは十分な発光が得られない。
一方、90重量%より多いと、樹脂が十分に光硬化せ
ず、光非硬化性樹脂の場合は硬化性が悪化し、光硬化性
樹脂の場合はパターニングが不可能となる。さらに樹脂
の使用による耐熱性、耐久性の効果がなくなる。
【0129】
【実施例】以下に、本発明を実施例をもって説明する
が、本発明が下記実施例にのみ限定されるものではな
い。
【0130】実施例1 500mlの四つ口フラスコ中にビスフェノールフルオ
レン型エポキシ樹脂231g(エポキシ当量231)
と、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド450
mgと、2、6−ジ−イソブチルフェノール100mg
と、アクリル酸72.0gとを仕込んで混合し、空気を
毎分25mlの速度で吹き込みながら90〜100℃に
加熱して溶解させた。この溶液は白濁していたがそのま
ま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全に溶解させ
た。溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま撹拌し続
け、この間に酸価を測定して酸価が2.0mgKOH/
g未満になるまでこの加熱撹拌を継続した。酸価が目標
(酸価0.8)に達するまで8時間を要した。その後、
室温まで冷却し、無色透明な固体を得た。
【0131】次に、このようにして得られたビスフェノ
ールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂303gを
セロソルブアセテート2kg中に溶解して溶液とした
後、1、2、3、6−テトラヒドロ無水フタル酸38g
と、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物73.5g
と、臭化テトラエチルアンモニウム1gとを添加し、徐
々に昇温して110〜115℃で2時間反応させ、下記
の式で表される光硬化性樹脂化合物:
【0132】
【化27】
【0133】(m/n=5/5)を得た。酸無水物の反
応はIRスペクトルにより確認した。得られた化合物の
インヘレント粘度は、0.2dl/gであった(ηinh
=0.2)。
【0134】ジクロロエタン500gに上記で得られた
光硬化性樹脂化合物:1g、DPHA(ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート):1g、イルガキュアー90
7(チバガイギー社製ラジカル重合開始剤):0. 05
g、TPD(トリフェニレンジアミン):2gを加え、撹
拌して溶解する。
【0135】次にITOの透明導電膜が形成されたガラ
ス基板を洗浄し、上記の溶液をスピンコート法にて全面
に塗布し、80℃にて30秒乾燥した。膜厚は450Å
であった。
【0136】次に、該塗布基板の中央部に直径10mm
の円盤状マスクをセットし、2000mJの紫外線露光
を行った後、塗布基板を0.7%ジエタノールアミン水溶
液に浸漬し、90秒後に水洗し、中央部のみに正孔輸送
層を形成した。
【0137】次に、蒸着法により発光層兼電子輸送層と
してアルミニウム・オキシン錯体(Alq)を膜厚50
0Åを全面に蒸着し、さらにMg・Ag(10:1)を
共蒸着で1500ÅそしてAgを1000Å背面電極と
して中央部のみに直径5mmで形成された有機エレクト
ロルミネッセンス素子を試作した。
【0138】試作した有機エレクトロルミネッセンス素
子に、DC10V を印加したところ、明瞭な緑色の発光
が認められた。80℃まで加熱しても発光に異常は見ら
れなかった.正孔輸送層を光硬化したものを3週間放置
し素子を作製した場合も、すぐに素子作製した場合も明
るさなどにほとんど差はなかった。使用した光硬化性樹
脂は、TPD含有の正孔輸送層に保存安定性を持たせる
効果がある。一般にTPDを蒸着したものは、TPDの
結晶化のため数時間で発光しなくなる。また、空気中で
輝度100cd/mで1時間発光させても全く明るさ
に変化はなかった。さらに、素子作製後乾燥大気中に1
日放置しても明るさに変化はなく、素子の安定性を示し
た。
【0139】実施例2 正孔輸送層用溶液として、光硬化性樹脂材料として式
(5)に相当する化合物を使用する以外は、実施例1と
同様な条件で素子作成を行った。
【0140】実施例1と同等の寸法精度の素子が得ら
れ、発光特性も同様な結果が得られた。
【0141】実施例3 蒸着法によりAlqを500Å蒸着するかわりに、Al
qとPMMA(ポリメチルメタアクリレート)とを同量
ずつジクロロエタンに溶解し、スピンコートにより50
0Åの発光層兼電子輸送層の薄膜を形成する以外は、実
施例2と同様な条件で素子作成を行った。
【0142】実施例1と同等の寸法精度の素子が得ら
れ、発光特性も同様な結果が得られた。
【0143】実施例4 発光層兼電子輸送層の蒸着の際に発光材料としてDCM
1を0.5重量%ドープする以外は、実施例2と同様な
条件で、素子作成を行った。
【0144】実施例1と同等の寸法精度の素子が得ら
れ、赤色でその他の発光特性も同様な結果が得られた。
【0145】実施例5 実施例3において、電子輸送材料としてAlqのかわり
に下記式で表されるTAZ(3-(4-tert-butylphenyl)-4-
phenyl-5-(4-biphenyl)-1,2,4-triazole)とバインダー
樹脂のPMMA(ポリメチルメタアクリレート)とを同
量ずつジクロロエタンに溶解し、スピンコートにより5
00Åの薄膜を形成する以外は、実施例1と同様な条件
で素子作成を行った。試作した有機エレクトロルミネッ
センス素子に直流で16Vの電圧を印加したところ、青
色に光ることを確認した。その他実施例1と同等の寸法
精度の素子が得られ、その他の発光特性も同様な結果が
得られた。
【0146】
【化28】
【0147】実施例6 ジクロロエタン500gに実施例2で使用した光硬化性
樹脂化合物:1g、DPHA (ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート):1g、イルガキュアー907(チ
バガイギー社製ラジカル重合開始剤):0. 05g、TP
D(トリフェニレンジアミン):2gを加え、撹拌して
溶解する。
【0148】次にITOなどの透明導電膜が形成された
ガラス基板を洗浄し、上記の溶液をスピンコート法にて
全面に塗布し、80℃にて30秒乾燥した。膜厚は45
0Åであった。
【0149】次に、該塗布基板の中央部に直径10mm
の円盤状マスクをセットし、2000mJの紫外線露光
を行った後、塗布基板をジクロロエタンに浸漬し、10
秒間洗浄し、中央部のみに正孔輸送層を形成した。
【0150】次に、上記で使用した溶液のうちのTPD
のかわりに発光材料としてTPB(1,1,4,4-tetraphenyl
-1,3-butadiene)を使用した溶液を正孔輸送層の上にス
ピンコートで400Å厚に全面に塗布し、正孔輸送層を
形成したのと同様の手法で発光層を形成した。さらにそ
の上に、Alqを200Å蒸着した。
【0151】直流電圧16Vで発光する有機エレクトロ
ルミネッセンス素子が得られ、さらに実施例1と同等の
寸法精度の素子が得られ、その他の発光特性も同様な結
果が得られた。
【0152】実施例7 実施例6において、発光層である第二層目を光非硬化性
樹脂のPMMAを使用しても同様の結果が得られた。
【0153】実施例8 実施例6において、電子輸送層である第三層目を光非硬
化性樹脂のPMMAを使用しても同様の結果が得られ
た。
【0154】実施例9 ジクロロエタン500gに実施例2で使用した光硬化性
樹脂化合物:1g、DPHA (ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート):1g、イルガキュアー907(チ
バガイギー社製ラジカル重合開始剤):0. 05g、TP
D(トリフェニレンジアミン):2gを加え、撹拌して
溶解する。
【0155】次にITOの透明導電膜が形成されたガラ
ス基板を洗浄し、上記の溶液をスピンコート法にて全面
に塗布し、80℃にて30秒乾燥した。膜厚は450Å
であった。
【0156】次に、該塗布基板の中央部に直径10mm
の円盤状マスクをセットし、2000mJの紫外線露光
を行った後、塗布基板をジクロロエタンに浸漬し、10
秒間洗浄し、中央部のみに正孔輸送層兼発光層を形成し
た。
【0157】次に、上記で使用した溶液の内のTPDの
かわりに電子輸送材料TAZを使用したものをスピンコ
ートで400Åの厚さに正孔輸送層の上に紫外線露光及
び上記の手法と同様な未露光部の洗浄により形成した。
これを第一の電子輸送層とし、さらにその上に、第二の
電子輸送層としてAlqを200Å蒸着した。
【0158】直流電圧16Vで発光する有機エレクトロ
ルミネッセンス素子が得られ、さらに実施例1と同等の
寸法精度の素子が得られ、その他の発光特性も同様な結
果が得られた。
【0159】実施例10 ジクロロエタン500gに実施例2で使用した光硬化性
樹脂化合物:1g、DPHA (ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート):1g、イルガキュアー907(チ
バガイギー社製ラジカル重合開始剤):0. 05g、TP
D(トリフェニレンジアミン):2gを加え、撹拌して
溶解する。
【0160】次にITOの透明導電膜が形成されたガラ
ス基板を洗浄し、上記の溶液をスピンコート法にて全面
に塗布し、80℃にて30秒乾燥した。膜厚は450Å
であった。
【0161】次に、該塗布基板の中央部に直径10mm
の円盤状マスクをセットし、2000mJの紫外線露光
を行った後、塗布基板をジクロロエタンに浸漬し、10
秒間洗浄し、中央部のみに正孔輸送層兼発光層を形成し
た。
【0162】次に、電子輸送材料としてTAZとPMM
A(ポリメチルメタアクリレート)とを同量ずつジクロ
ロエタンに溶解し、スピンコートにより400Åの薄膜
を形成し、これを第一の電子輸送層とし、さらにその上
に、第二の電子輸送層としてAlqを200Å蒸着し
た。
【0163】直流電圧16Vで発光する有機エレクトロ
ルミネッセンス素子が得られ、さらに実施例1と同等の
寸法精度の素子が得られ、その他の発光特性も同様な結
果が得られた。
【0164】実施例11 実施例9において、最後のAlqの蒸着のかわりに、A
lqとPMMA(ポリメチルメタアクリレート)とを同
量ずつジクロロエタンに溶解し、スピンコートにより3
00Åの薄膜を形成しても同様の結果が得られた。
【0165】次にRGBの各画素の塗分けの実施例を示
す(実施例12〜13)。RGBパターニングは、図5
に示す手順で行った。
【0166】実施例12 ジクロロエタン500gに実施例2で使用した光硬化性
樹脂化合物:1g、DPHA (ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート):1g、イルガキュアー907(チ
バガイギー社製ラジカル重合開始剤):0. 05g、TP
D(トリフェニレンジアミン):2gを加え、撹拌して
溶解する。
【0167】次にITOの透明導電膜5が形成されたガ
ラス基板6を洗浄し、上記の溶液をスピンコート法にて
全面に塗布し、80℃にて30秒乾燥した。膜厚は45
0Åであった。(工程d-(i)) 次に、該塗布基板の全体に1000mJの紫外線露光を
行った後、塗布基板をジクロロエタンに浸漬し、10秒
間洗浄し、基板上に正孔輸送層4を形成した。(工程d-
(ii)) 次に、上記光硬化性樹脂溶液のTPDのかわりに電子輸
送材料としてTAZをドープしたものを用いて塗布し
(工程d-(iii))、同様の操作で必要な個所に350Å
の厚みでパターニングする。(工程d-(iv))これにより
TPDを青色に発光させる部分2cを形成する。
【0168】次に、上記光硬化性樹脂溶液のTPDのか
わりに発光材料兼電子輸送材料としてAlqを用いて塗
布し(工程d-(v))、同様の操作で必要な個所に350
Åの厚みでパターニングする。(工程d-(vi))これによ
り、緑色に発光する部分2dを形成する。
【0169】次に、上記光硬化性樹脂溶液のTPDのか
わりに電子輸送材料としてAlqとAlqの量の0.1〜5
wt%にあたる赤色発色材料DCM1をドープしたもの
を用いて塗布し(工程d-(vii))、同様の操作で所望の
部分に350Åの厚みでパターニングし膜を形成する。
(工程d-(viii))これにより赤に発光する部分2eを形
成する。
【0170】以上でRGBのパターニングができる。さ
らに、電子輸送材料としてAlqとPMMA(ポリメチ
ルメタアクリレート)とを同量ずつジクロロエタンに溶
解し、スピンコートにより200Åの薄膜2を形成し
(工程d-(ix))、背面電極1を蒸着する。(工程d-
(x)) 上記各部分に直流電圧をかければ、それぞれ順に、青、
緑、赤に発光した。
【0171】実施例13 ジクロロエタン500gに実施例2で使用した光硬化性
樹脂化合物:1g、DPHA (ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート):1g、イルガキュアー907(チ
バガイギー社製ラジカル重合開始剤):0. 05g、TP
D(トリフェニレンジアミン):2gを加え、撹拌して
溶解する。
【0172】次にITOの透明導電膜が形成されたガラ
ス基板を洗浄し、上記の溶液をスピンコート法にて全面
に塗布し、80℃にて30秒乾燥した。膜厚は450Å
であった。
【0173】次に、該塗布基板の全体に1000mJの
紫外線露光を行った後、塗布基板をジクロロエタンに浸
漬し、10秒間洗浄し、基板上に正孔輸送層を形成し
た。
【0174】次に、上記光硬化性樹脂溶液のTPDのか
わりに電子輸送材料としてTAZをドープしたものを使
用し、同様の操作で必要な個所に350Åの厚みでパタ
ーニングする。これによりTPDを青色に発光させる部
分を形成する。
【0175】次に、上記光硬化性樹脂溶液のTPDのか
わりに発光材料兼電子輸送材料としてAlqをドープし
たものを使用し、同様の操作で必要な個所に350Åの
厚みでパターニングする。これにより、緑色に発光する
部分を形成する。
【0176】次に、AlqとPMMA(ポリメチルメタ
アクリレート)とを同量ずつジクロロエタンに溶解し、
さらにAlqの量の0.1〜5wt%にあたるDCM1を溶
解し、その溶液をスピンコートにより300Åの薄膜を
全面に形成した。この膜のみが正孔輸送層の上にある部
分は赤に発光する部分となり、これにより赤に発光する
部分を形成する。
【0177】以上でRGBのパターニングができる。さ
らに、背面電極を蒸着する。
【0178】上記各部分に直流電圧をかければ、それぞ
れ順に、青、緑、赤に発光した。
【0179】本実施例に引用されている正孔輸送材料、
発光材料、電子輸送材料に限らず、各種の最適な材料の
組み合わせに本手法は用いることが可能である。
【0180】
【発明の効果】以上述べたように、発光層のマトリック
ス物質として一般式(1)で示されるエポキシ(メタ)
アクリレートと多塩基酸またはその酸無水物を反応させ
て得られる(メタ)アクリレート化合物または、一般式
(3)及び(4)で表される単位構造を主体とした(メ
タ)アクリレート化合物を含有する光硬化性樹脂化合物
または、式(5)または(6)または(7)で表される
化合物を用いることにより、有機EL素子を形成する構
造のうちの複数の有機物層の一部または全部を光硬化性
樹脂化合物を使用した塗布技術により作製することによ
り、素子を簡便に作製し耐熱性を持たせ、かつ容易に±
10μm以下の寸法精度でR(赤)、G(緑)、B
(青)の各画素のフルカラーパターニングが可能な有機
EL素子およびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】陽極/正孔輸送層/発光層兼電子輸送層/陰極
の構成を有する本発明の一有機EL素子の模式図であ
る。
【図2】陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
の構成を有する本発明の一有機EL素子の模式図であ
る。
【図3】陽極/発光層兼正孔輸送層/電子輸送層/陰極
の構成を有する本発明の一有機EL素子の模式図であ
る。
【図4】本発明のその他の有機EL素子の模式図であ
る。
【図5】本発明の一RGBパターニング方法を説明する
工程図である。
【符号の説明】
1.…背面電極 2.…電子輸送層 2b.…発光層兼電子輸送層 2c.…電子輸送層(正孔輸送層よりエネルギー差が
大) 2d.…Alq層(電子輸送層を兼ねる) 2e.…DCM1ドープAlq(電子輸送層を兼ねる) 3.…発光層 4a.…発光層兼正孔輸送層 4.…正孔輸送層 5.…透明電極(ITO) 6.…ガラス基板

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の有機層を持つ有機エレクトロルミ
    ネッセンス素子のうちの少なくとも一つ以上の層が、光
    硬化性樹脂化合物中に正孔輸送材料または正孔輸送材料
    と発光材料または発光材料または発光材料と電子輸送材
    料または電子輸送材料をドープした層を有することを特
    徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
  2. 【請求項2】 陽極/正孔輸送層/発光層兼電子輸送層
    /陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミネッ
    センス素子において、上記構造を構成する各有機層のう
    ちの正孔輸送層が光硬化性樹脂化合物中に正孔輸送材料
    をドープした層を有しおよび/または発光層兼電子輸送
    層が光硬化性樹脂化合物中に発光材料と電子輸送材料と
    をドープした層を有することを特徴とする有機エレクト
    ロルミネッセンス素子。
  3. 【請求項3】 陽極/正孔輸送層兼発光層/電子輸送層
    /陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミネッ
    センス素子において、上記構造を構成する各有機層のう
    ちの正孔輸送層兼発光層が光硬化性樹脂化合物中に正孔
    輸送材料と発光材料とをドープした層を有しおよび/ま
    たは電子輸送層が光硬化性樹脂化合物中に電子輸送材料
    をドープした層を有することを特徴とする有機エレクト
    ロルミネッセンス素子。
  4. 【請求項4】 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層
    /陰極の構造を基本的に有する有機エレクトロルミネッ
    センス素子において、上記構造を構成する各有機層のう
    ちの正孔輸送層が光硬化性樹脂化合物中に正孔輸送材料
    をドープした層を有しおよび/または発光層が光硬化性
    樹脂化合物中に発光材料をドープした層を有しおよび/
    または電子輸送層が光硬化性樹脂化合物中に電子輸送材
    料をドープした層を有することを特徴とする有機エレク
    トロルミネッセンス素子。
  5. 【請求項5】 光硬化性樹脂化合物が正孔輸送性を有す
    る場合には、正孔輸送層形成において正孔輸送材料をド
    ープせずに正孔輸送層または発光層兼正孔輸送層を形成
    してなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項
    に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
  6. 【請求項6】 発光材料は青、赤、緑の三色であって、
    発光材料を含む層を少なくともー層有することを特徴と
    する請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機エレクト
    ロルミネッセンス素子。
  7. 【請求項7】 青の発光材料はオキサジアゾール誘導
    体、テトラフェニルシクロペンタジエン、テトラフェニ
    ルブタジエンまたはオキサゾール、赤の発光材料はDC
    M1、ナイルレッドまたはフェノキサゾン、緑の発光材
    料はクマリン6、クマリン7、アルミニウム・オキシン
    錯体またはキナクリドン誘導体であることを特徴とする
    請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
  8. 【請求項8】 光硬化性樹脂化合物が、下記一般式
    (1): 【化1】 (但し、式(1)において、R1 及びR2 は水素原子、
    炭素数1〜5のアルキル基又はハロゲン原子の何れかで
    あり、R3 は水素原子又はメチル基であり、Xは- CH
    2 - 、- C(CH32 - 、- CO- 、 - C(CF
    32 - 、 - O-、 - Si(CH32 - 、- SO2 -
    、下記一般式(2): 【化2】 もしくは不存在を示し、pは1〜11の整数である)で
    表されるエポキシ(メタ)アクリレートと多塩基酸又は
    その酸無水物とを反応させて得られる(メタ)アクリレ
    ート化合物を含有することを特徴とする請求項1〜7の
    いずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素
    子。
  9. 【請求項9】 光硬化性樹脂化合物が、下記一般式
    (3)及び(4): 【化3】 【化4】 (但し、式(3)及び(4)において、R1 、R2 、R
    3 及びXは式(1)と同じでありYは二塩基酸または三
    塩基酸の残基を示し、Zは酸二無水物の残基を示し、R
    4 は水素原子またはカルボキシル基であり、構造単位の
    モル比(m/n)は 0 /100 〜100 /0 の割合であ
    る。)で表される単位構造を主体とする、(メタ)アク
    リレート化合物を含有することを特徴とする請求項1〜
    7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセン
    ス素子。
  10. 【請求項10】 光硬化性樹脂化合物が、下記式
    (5)、(6)または(7): 【化5】 (ただし、式中、nは1〜140の範囲である。) 【化6】 【化7】 で表される単位構造を主体とする化合物を含有すること
    を特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の有機
    エレクトロルミネッセンス素子。
  11. 【請求項11】 光硬化性樹脂化合物が、さらに光重合
    開始剤および/または増感剤と、エポキシ基を有する化
    合物とを含有することを特徴とする請求項1〜10のい
    ずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素
    子。
  12. 【請求項12】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合物
    とを、溶媒にて溶解混合した溶液を塗布・乾燥して薄膜
    を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
    した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
    はアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、次いで、
    発光層兼電子輸送層と背面電極を順次所定のパターンに
    形成することを特徴とする請求項1、2、5、6、7、
    8、9、10または11に記載の有機エレクトロルミネ
    ッセンス素子の製造方法。
  13. 【請求項13】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料兼発光材料、または正
    孔輸送材料と発光材料と、光硬化性樹脂化合物とを、溶
    媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成
    し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
    後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはア
    ルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、次いで、電子
    輸送層と背面電極を順次所定のパターンに形成すること
    を特徴とする請求項1、3、5、6、7、8、9、10
    または11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子
    の製造方法。
  14. 【請求項14】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合物
    とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄
    膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露
    光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、ま
    たは、アルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、次い
    で、発光材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解
    混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定の
    パターンを有するマスクを用いて露光した後、未露光部
    を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液
    に浸漬した後、水洗除去して、発光層を所定のパターン
    に形成し、次に電子輸送層と背面電極を順次所定のパタ
    ーンに形成することを特徴とする請求項1、2、3、
    4、5、6、7、8、9、10または11に記載の有機
    エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
  15. 【請求項15】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合物
    とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄
    膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露
    光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、ま
    たはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、その
    後、発光材料とバインダー樹脂とを、溶媒にて溶解混合
    し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、次に、電子
    輸送層と背面電極を順次所定のパターンに形成すること
    を特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、
    9、10または11に記載の有機エレクトロルミネッセ
    ンス素子の製造方法。
  16. 【請求項16】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料兼発光材料、または正
    孔輸送材料と発光材料と、光硬化性樹脂化合物とを、溶
    媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成
    し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
    後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはア
    ルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、その後、電子輸
    送材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合
    し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定のパタ
    ーンを有するマスクを用いて露光した後、未露光部を有
    機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶液に浸
    漬した後、水洗除去し、さらに異なる種類の電子輸送層
    と、背面電極を順次所定のパターンに形成することを特
    徴とする請求項1、3、5、6、7、8、9、10また
    は11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製
    造方法。
  17. 【請求項17】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料兼発光材料、または正
    孔輸送材料と発光材料と、光硬化性樹脂化合物とを、溶
    媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成
    し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
    後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはア
    ルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、その後、電子
    輸送材料とバインダー樹脂とを、溶媒にて溶解混合し、
    該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、さらに異なる種
    類の電子輸送層と、背面電極を順次所定のパターンに形
    成することを特徴とする請求項1、3、5、6、7、
    8、9、10または11に記載の有機エレクトロルミネ
    ッセンス素子の製造方法。
  18. 【請求項18】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合物
    とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄
    膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露
    光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、ま
    たはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、その後、
    正孔輸送材料の電子の最高被占有分子軌道(HOMO)
    と最低空分子軌道(LUMO)とのエネルギー準位差よ
    り大きいエネルギー準位差を持つ電子輸送材料と光硬化
    性樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布
    ・乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有するマス
    クを用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除
    去するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去
    して青に発光する部位を形成し、緑に発光する発光材料
    または赤に発光する発光材料と電子輸送材料と光硬化性
    樹脂化合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・
    乾燥して薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスク
    を用いて露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去
    するか、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し
    て、赤または緑に発光する部位を形成し、次に残りの一
    色に発光する発光材料と電子輸送材料と光硬化性樹脂化
    合物とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥し
    て薄膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用い
    て露光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去する
    か、またはアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去して残
    りの一色に発光する部位を形成し、次に、背面電極を所
    定のパターンに形成する、フルカラーパネル作製時のR
    (赤)、G(緑)、B(青)の各画素を塗分けることを
    特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、
    9、10または11に記載の有機エレクトロルミネッセ
    ンス素子の製造方法。
  19. 【請求項19】 透明基板上に所定のパターンに形成し
    た透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合物と
    を、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜
    を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
    した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
    はアルカリ水溶液に浸漬した後水洗除去し、その後、赤
    ・緑・青のうち一種類の発光材料またはその一種類の発
    光材料と電子輸送材料またはその一種類の発光材料と正
    孔輸送材料または電子輸送材料が第一色を発光する場合
    はその電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合物とを、溶
    媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成
    し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光した
    後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはア
    ルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して第一の色に発
    光する部位を形成し、次に、残りの二色のうちの一種類
    の色に発光する発光材料またはその一種類の発光材料と
    電子輸送材料またはその一種類の発光材料と正孔輸送材
    料または電子輸送材料が第二色を発光する場合はその電
    子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶
    解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定
    のパターンを有するマスクを用いて露光した後、未露光
    部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶
    液に浸漬した後、水洗除去して第二の色に発光する部位
    を形成し、次に、残りの色に発光する発光材料またはそ
    の発光材料と電子輸送材料またはその発光材料と正孔輸
    送材料または電子輸送材料が第三色を発光する場合はそ
    の電子輸送材料と光硬化性樹脂化合物とを、溶媒にて溶
    解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、所定
    のパターンを有するマスクを用いて露光した後、未露光
    部を有機溶媒にて洗浄除去するか、またはアルカリ水溶
    液に浸漬した後、水洗除去して第三の色に発光する部位
    を形成し、次に、電子輸送層と背面電極を所定のパター
    ンに形成する、フルカラーパネル作製時のR(赤)、G
    (緑)、B(青)の各画素を塗分けることを特徴とする
    請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10また
    は11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製
    造方法。
  20. 【請求項20】 透明基板上に所定のパターンで形成さ
    れた透明電極上に、正孔輸送材料と光硬化性樹脂化合物
    とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄
    膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露
    光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、ま
    たはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、その
    後、赤・青・緑のうち一種類の発光材料またはその一種
    類の発光材料と電子輸送材料またはその一種類の発光材
    料と正孔輸送材料または電子輸送材料が第一色を発光す
    る場合はその電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合物と
    を、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄膜
    を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露光
    した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
    はアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して第一の色
    に発光する部位を形成し、次に、上記発光材料の残りの
    色のうちの一種類の色に発光する発光材料またはその一
    種類の発光材料と電子輸送材料またはその一種類の発光
    材料と正孔輸送材料または電子輸送材料が第二色を発光
    する場合はその電子輸送材料のみと光硬化性樹脂化合物
    とを、溶媒にて溶解混合し、該溶液を塗布・乾燥して薄
    膜を形成し、所定のパターンを有するマスクを用いて露
    光した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、ま
    たはアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去して第二の
    色に発光する部位を形成し、次に、残りの色に発光する
    発光材料と電子輸送材料または電子輸送材料が第三色を
    発光する場合はその電子輸送材料と光硬化性樹脂化合物
    またはバインダー樹脂とを、溶媒にて溶解混合し、該溶
    液を塗布・乾燥して薄膜を形成し、光硬化性樹脂を使用
    するときは所定のパターンを有するマスクを用いて露光
    した後、未露光部を有機溶媒にて洗浄除去するか、また
    はアルカリ水溶液に浸漬した後、水洗除去し、バインダ
    ー樹脂を使用するときはそのままで、第三の色に発光す
    る部位と電子輸送層を一括形成し、次に背面電極を所定
    のパターンに形成する、フルカラーパネル作製時のR
    (赤)、G(緑)、B(青)の各画素を塗分けることを
    特徴とする請求項1、2、3、4、5、6、7、8、
    9、10または11に記載の有機エレクトロルミネッセ
    ンス素子の製造方法。
  21. 【請求項21】 背面電極として、MgAg、AlLi
    の合金薄膜ついでAlの二層構造またはAlのみの薄膜
    を形成することを特徴とする請求項1〜11のいずれか
    1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
  22. 【請求項22】 背面電極として、MgAg、AlLi
    の合金薄膜ついでAlの二層構造またはAlのみの薄膜
    を形成することを特徴とする請求項12〜20のいずれ
    か1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製
    造方法。
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