CN102383166B - 表面处理装置 - Google Patents

Abstract

提供能够简化拐角部的运送机构，使装置小型化的表面处理装置。表面处理装置具有：保持工件的运送夹具，运送夹具循环运送的循环运送路径，设在循环运送路径上的表面处理槽。循环运送路径具有第1、第2直线运送路径，使运送夹具水平旋转而在第1直线运送路径的端部和第2直线运送路径的端部之间进行交接的第1、第2旋转装置。第1、第2旋转装置的每一个具有两条旋转轨道，和一体地间歇驱动支撑运送夹具的旋转轨道与空状态的旋转轨道逐次旋转180°的旋转驱动部。第1、第2旋转装置的各自的旋转轨道配置成在停止位置与分别配置在第1、第2直线运送路径的端部的四条导轨中对应的各一条导轨为一直线。

Description

表面处理装置

技术领域

本发明涉及一种连续电镀装置等表面处理装置。

背景技术

作为表面处理装置、例如对工件表面进行电镀处理的电解电镀处理装置，公知的有在电镀槽内连续地运送电路基板等工件的连续电镀处理装置。工件由沿着供电轨道运送的运送夹具下垂地保持。工件一边被供电轨道经由运送夹具供电一边在电镀槽内连续地运送。在电镀槽中成为阴极的工件运送路径的两侧配置有阳极。从而在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电气分解，对工件表面进行电镀。

在电镀槽中连续运送工件的输送机的前后配置前处理输送机和后处理输送机，在各输送机之间交接保持工件的运送夹具的构造（专利文献1的图1）中，在各输送机之间需要交接装置，装置大型化。

存在取代上述构造而在履带形状的运送路径中设置电镀槽，前处理槽以及后处理槽的构造（专利文献2的图1）。

【专利文献1】日本专利第3025254号公报

【专利文献2】特开2002-363796号公报

专利文献2的构造其装置比专利文献1的装置小型化。但在专利文献2的图2中，与直线运送路径的运送相比，拐角部的运送机构加大，除了由两个推动器21a、21d驱动的连杆机构之外，还需要升降机构。

发明内容

本发明的几个技术方案提供一种能够简化拐角部的运送机构，使装置小型化的表面处理装置。

本发明的一个技术方案的表面处理装置的特征在于，具有：多个运送夹具，分别保持工件；循环运送路径，上述多个运送夹具沿着循环运送方向循环运送；表面处理槽，设在上述循环运送路径上，对由上述多个运送夹具的每一个保持的上述工件进行表面处理；运入部，设在上述表面处理槽的上述循环运送路径的上游，将未处理的工件运入上述多个运送夹具；以及运出部，设在上述表面处理槽的上述循环运送路径的下游，从上述多个运送夹具上运出处理后的工件；上述循环运送路径具有：第1直线运送路径；第2直线运送路径，与上述第1直线运送路径平行；第1旋转装置，使上述多个运送夹具的至少一个水平旋转，从上述第1直线运送路径的一端交接到上述第2直线运送路径的一端；以及第2旋转装置，使上述多个运送夹具的至少一个水平旋转，从上述第2直线运送路径的另一端交接到上述第1直线运送路径的另一端；上述第1、第2旋转装置的每一个具有：两条旋转轨道；和旋转驱动部，在将上述至少一个运送夹具支撑在位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上的状态，且位于上述循环运送方向的下游一侧的另一条旋转轨道为空的状态下，一体地间歇驱动上述两条旋转轨道逐次旋转180°；设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道的每一个配置成在停止位置与分别配置在上述第1、第2直线运送路径的上述一端以及上述另一端的四条导轨中对应的各一条导轨为一直线。

在本发明的一个技术方案中，第1、第2旋转装置的每一个将运送夹具支撑在两条旋转轨道中位于循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上，在位于循环运送方向下游一侧的的另一条旋转轨道为空状态下，一体地间歇驱动两条旋转轨道逐次旋转180°。这样一来，能够将运送夹具在第1、第2直线运送路径之间从上游一侧间接到下游一侧。

在本发明的一个技术方案中，可以是设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道在俯视看两端被倒角，上述四条导轨的上述各一条在与配置在与上述各一条为一直线上的上述旋转轨道的上述两端部的一个端部对向的端部被倒角，以在上述两条旋转轨道旋转时不与上述两条旋转轨道的上述两端部产生干扰。

在旋转轨道旋转时，由于在旋转轨道的两端部存在倒角部，所以能够使旋转轨道的最大半径的旋转轨迹不与固定轨道的端部产生干扰。而且，通过形成倒角部，能够减小旋转轨道与固定轨道之间的空隙δ。

在本发明的一个技术方案中，可以是设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道在俯视看形成两端具有第1、第2斜边的梯形，在上述停止位置，上述梯形的长边配置在比上述梯形的短边靠旋转半径方向的内侧，上述四条导轨的上述各一条在与配置成与上述各一条为一直线上的上述旋转轨道的上述第1、第2斜边的一个斜边对向的端部具有实质上与上述第1、第2斜边的一个斜边平行的斜边。

通过这种形状，能够缩短旋转轨道的最大旋转半径，防止旋转轨道与固定轨道的干扰，并且能够使旋转轨道与固定轨道之间的空隙为最小。

在本发明的一个技术方案中，可以是将上述长边与上述斜边的交点作为第1角部，将上述短边与上述斜边的交点作为第2角部，从上述旋转轨道的旋转中心到上述第1、第2角部的各长度实质上相等。

在这种情况下，旋转轨道的旋转中心O到第1、第2角部P1、P2的各长度为最大半径。因此，能够将旋转轨道与固定轨道之间的空隙δ设定成最小，以使第1、第2角部P1、P2的旋转轨迹不与固定轨道产生干扰。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述旋转驱动部驱动上述两条旋转轨道向相同的旋转方向重复旋转，支撑上述至少一个运送夹具的上述一条旋转轨道经过比上述第1、第2直线运送路径的上述一端或者上述另一端靠外侧旋转，上述空状态的上述另一条旋转轨道穿过上述第1、第2直线运送路径之间旋转。

这样一来，当在第1、第2直线运送路径之间将由运送夹具保持的工件从上游一侧交接到下游一侧之际，工件不会与第1、第2直线运送路径之间的零部件产生干扰。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述第1、第2旋转装置的每一个还具有将上述两条旋转轨道定位并固定在上述停止位置的定位固定部。

这样一来，通过由定位固定部对在与固定轨道之间运入和运出运送夹具的旋转轨道进行定位固定，能够使旋转轨道的位置一定，顺畅地进行运入和运出动作。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述定位固定部在将上述至少一个运送夹具交接到位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上之前，将上述两条旋转轨道定位并固定在上述停止位置。

这样一来，当运送夹具从固定轨道朝向旋转轨道运入之际，即使在旋转轨道上作用有外力，也能够通过定位固定部防止旋转轨道因外力而移动。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述旋转驱动部具有驱动源，和两端固定上述两条旋转轨道且由上述驱动源驱动的旋转臂，上述定位固定部包括至少一个被定位部，设在上述旋转臂上；和定位驱动部，朝向处在上述停止位置的上述至少一个被定位部驱动而对上述至少一个被定位部进行定位固定。

这样一来，通过朝向至少一个被定位部驱动定位驱动部，旋转臂及其两端的旋转轨道被定位。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述至少一个被定位部配置在距上述旋转臂的旋转中心等距离的两处，上述定位驱动部配置在比上述旋转中心接近位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道的位置。

相对于两个被定位部可以设置两个定位驱动部，但仅设置一个定位驱动部能够削减零部件数量。该定位驱动部配置在比旋转中心还接近位于循环运送方向上游一侧的旋转轨道的位置。即使通过定位驱动部对一个被定位部进行定位，两条旋转轨道也作为一体而被定位。特别是，由于在运送夹具运入一侧的旋转轨道上作用有在运入时使旋转轨道旋转的外力，所以将定位驱动部配置在外力作用的一侧。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述第1、第2旋转装置的每一个还具有与上述两条旋转轨道一体地被驱动而旋转的第1被检测部，和检测上述第1被检测部的旋转位置的位置检测部，上述旋转驱动部基于来自上述位置检测部的输出使上述两条旋转轨道停止在上述停止位置。

这样一来，旋转驱动部能够将旋转轨道空置成始终停止在一定的位置，固定轨道与旋转轨道之间的运送部件的交接顺畅。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述旋转驱动部包括带制动器的马达，上述位置检测部包括检测上述停止位置的第1位置检测部，和检测在上述旋转方向上比上述停止位置靠上游位置的减速开始位置的第2位置检测部。

这样一来，旋转轨道的停止位置精度进一步提高，固定轨道与旋转轨道之间的运送部件的交接更顺畅。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述多个运送夹具的每一个具有第2被检测部，上述第1、第2旋转装置的每一个还具有第1夹具检测部，检测运入位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道的上述至少一个运送夹具的上述第2被检测部的有无；和第2夹具检测部，检测从位于上述循环运送方向下游侧的另一条旋转轨道运出的上述至少一个运送夹具的上述第2被检测部的有无；上述旋转驱动部基于上述第1、第2夹具检测部的输出开始上述两条旋转轨道的旋转驱动。

旋转驱动部基于第1、第2夹具检测部的输出开始旋转轨道的旋转驱动。即，由第1夹具检测部确认运送夹具已搭载在位于上游一侧的旋转轨道上，并且由第1夹具检测部确认运送夹具已从位于下游一侧的旋转轨道上运出，旋转驱动部成为驱动开始。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的连续电镀装置的示意俯视图；

图2是说明间歇地向电镀槽运送运送夹具，在电镀槽内连续地运送运送夹具的动作的附图；

图3是说明在前处理槽的一部分间歇地运送运送夹具的动作的附图；

图4是说明在前处理槽的另一部分间歇地运送运送夹具的动作的附图；

图5是旋转装置的主视图；

图6是旋转装置的侧视图；

图7是旋转装置的俯视图；

图8是电镀槽的示意纵向剖视图；

图9是运送夹具的示意立体图。

附图标记说明：

20：工件，30：运送夹具，100：循环运送路径，110：第1直线运送路径，120：第2直线运送路径，130：第1旋转装置，131、132：旋转轨道，140：第2旋转装置，141、142：旋转轨道，141A、141B、142A、142B：倒角部（第1、第2斜边），141C、142C：长边，141D、142D：短边，200：表面处理槽（电镀槽），201：供电轨道，234、234、242、243：导轨（固定轨道），242A、243A：倒角部，300：被导向部，322：第2被检测部，330：连结部，340：保持部，400：连续运送机构，510、512、514：旋转驱动部，520：定位固定部，521：被定位部，522：定位驱动部，530：第1被检测部，531、532：位置检测部（第1、第2位置检测部），540、541：第1、第2夹具检测部。

具体实施方式

以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明。另外，以下说明的本实施方式并不是不正当地限定权利要求书所记载的本发明的内容，并不是限定作为本发明的解决手段必须是本实施方式中所说明的结构的全部。

1．表面处理装置的概要

图1是表面处理装置、例如连续电镀处理装置的俯视图。连续电镀处理装置10具有分别保持电路基板等工件20的多个运送夹具30沿着图1的例如右旋的循环运送方向A循环运送的循环运送路径100。另外，在图1中省略了一部分工件20及一部分运送夹具30的图示。

在循环运送路径100中设有：电镀槽（广义而言是表面处理槽）200，对由多个运送夹具30的每一个保持的工件20进行表面处理、例如电镀处理；运入部210，设在电镀槽200的循环运送路径100的上游，将未处理的工件20运入多个运送夹具30，以及运出部220，设在电镀槽200的循环运送路径100的下游，将处理后的工件20从多个运送夹具30上运出。

循环运送路径100具有：第1直线运送路径110，与第1直线运送路径110平行的第2直线运送路径120，使多个运送夹具30的至少一个水平旋转而从第1直线运送路径110的一端交接到第2直线运送路径120的一端的第1旋转装置130，以及使多个运送夹具30的至少一个水平旋转而从第2直线运送路径120的另一端交接到第1直线运送路径110的另一端的第2旋转装置140。

在本实施方式中，电镀槽200沿着第2直线运送路径120设置，运入部210以及运出部220设在第1直线运送路径110上。在循环运送路径100上，进而设有配置在电镀槽200的上游一侧的前处理槽组230和配置在电镀槽200的下游一侧的后处理槽组240。

前处理槽组230通过从上游一侧开始依次将例如脱脂槽230A，热水洗槽230B，冷水洗槽230C，喷淋槽230D，以及酸洗槽230E配置在运入部210与电镀槽200之间而构成。后处理槽组240通过从上游一侧开始依次将例如喷淋槽240A以及冷水洗槽240B配置在电镀槽200与运出部220之间而构成。另外，前处理槽组230以及后处理槽组240的数量及种类能够适当改变。而且，在本实施例的装置中，由第1旋转装置130旋转的工件20在旋转中在喷淋槽230D中被清洗。同样，由第2旋转装置140旋转的工件20在旋转中在喷淋槽240A中被清洗。

在前处理槽组230以及后处理槽组240中，运送夹具30是间歇运送的。为此，在前处理槽组230以及后处理槽组240中，设有运送并引导运送夹具30的两种导轨。一种是用于在同一个处理槽内间歇运送运送夹具30的固定轨道232、234、235、242、243。另一种是能够在不同的处理槽之间越过分隔壁间歇地运送运送夹具30的升降轨道231、233、236、241。

在前处理槽组230以及后处理槽组240的喷淋槽230D、240A以外的第1、第2直线运送路径110、120中，通过该两种导轨和使一个或多个运送夹具30沿着导轨仅移动单位距离的推动器，运送夹具30被间歇运送。另外，对于间歇运送动作，采用图3以及图4在之后进行叙述。

在前处理槽组230以及后处理槽组240中的喷淋槽230D、240A中，运送夹具30通过第1、第2旋转装置130、140而被间歇运送。为此，第1旋转装置130具有被一体驱动旋转的两条旋转轨道131、132，第2旋转装置140具有被一体驱动旋转的两条旋转轨道141、142。

例如，在第1旋转装置130中，以将运送夹具30支撑在两条旋转轨道131、132中位于循环运送方向上游一侧的旋转轨道上，位于循环运送方向下游一侧的另一条旋转轨道为空的状态，一体地间歇驱动两条旋转轨道131、132逐次旋转180°。第2旋转装置140也是同样。由在通过第1、第2旋转装置130、140旋转的运送夹具30保持的工件20在喷淋槽230D或者喷淋槽240A中被喷淋清洗。此时，由于无需在喷淋槽230D、240A中收容使工件20浸渍的液体，所以即使存在隔壁也可以较低，不会对工件20的水平运送产生妨碍。

如图1所示，分别设在第1、第2旋转装置130、140上的两条旋转轨道131、132、141、142的每一个配置成在停止位置与分别配置在第1、第2直线运送路径110、120的两端的四条导轨234、235、242、243中对应的各一条导轨为一直线。

在电镀槽200中从电镀槽200的上方离开的位置设有在图1的俯视图中与电镀槽200的长度方向平行地延伸设置的供电轨道202。由供电轨道201支撑的多个运送夹具30配置在电镀槽200内并分别保持工件20。而且，沿着供电轨道201设有使多个运送夹具30沿着供电轨道201连续运送的连续运送机构400。另外，对于连续运送动作，采用图2在以后进行叙述。

循环运送路径100在从第1直线运送路径110的运出部220到运入部210的范围内还具有夹具返回运送路径150。夹具返回运送路径150例如具有两条环状链条151、152。夹具返回运送路径150具有将空状态的运送夹具30从运出部220返回运送到运入部210的功能，以及使空状态的运送夹具30在运入部210的上游一侧待机的功能。

2．运送夹具的间歇运送和连续运送

图2表示了电镀槽200内的运送夹具30的连续运送动作和酸洗槽230E与电镀槽200之间的运送夹具30的间歇运送动作。图2表示了由升降轨道236支撑的三个运送夹具30中虚线所示的先头的运送夹具30从升降轨道236刚刚交接到供电轨道201上实线所示的位置后的状态。

在图2中，升降轨道236能够通过升降马达250的驱动而沿着升降轴252升降。该升降轨道236具有能够支撑四个运送夹具30的长度，在实际的驱动中是两个或者三个运送夹具30被支撑。因此，作为空置的空间，具有支撑至少一个运送夹具30的空间。

在升降轨道236从图2的状态上升之前，处于喷淋槽230D中的一个运送夹具30（图2中未图示）以由升降轨道236支撑的方式进行进给动作。这样，搭载了三个运送夹具30的升降轨道236上升。在上升位置配置有上部推动器260。该上部推动器260在杆262上具有三个进给定程块264。杆262通过由进给马达266驱动的进给丝杠268而能够前进后退。

另一方面，在由升降轨道236支撑的三个运送夹具30的每一个上固定有第1驱动片320。当升降轨道236上升时，三个第1驱动片320配置在上部推动器260的三个进给定程块264的前方。当之后使杆262前进时，与杆262一起前进的三个进给定程块264推动三个第1驱动片320，三个运送夹具30仅前进单位距离。这样，先头的运送夹具30从酸洗槽230E的上方向电镀槽200的上方移动。

之后，升降轨道236下降。这样一来，先头的运送夹具30如图2中虚线所示配置在电镀槽200内。为了越过不同的处理槽之间的隔壁237，使用升降轨道236和上部推动器260，运送夹具30被间歇运送。

支撑在升降轨道236上的先头的运送夹具30（虚线所示）通过下部推动器270而从升降轨道236向供电轨道201交接。下部推动器270具有由杆272支撑的进给定程块274。另一方面，运送夹具30具有能够与进给定程块274抵接的第2驱动片321，支撑在升降轨道236上的先头的运送夹具30的第2驱动片321配置在进给定程块274的前方。当之后使杆272前进时，与杆272一起前进的进给定程块274推动第2驱动片321，运送夹具30沿着箭头A方向仅前进单位距离。这样，先头的运送夹具30从酸洗槽230E的上方向电镀槽200的上方移动。从升降轨道236向供电轨道201交接。

此时，由通过杆272的顺序控制而被杆272推进的后行的运送夹具30支撑的工件20与支撑在以低速度在供电轨道201上连续运送中的先行的运送夹具30上的工件20仅隔开间隙G地配置。间隙G越狭窄越好，但需要防止先行以及后行的工件20彼此的干扰，作为设计值而设定成10mm或者其左右的尺寸。这是由于如果间隙G大，则电解集中在工件20的两端，如所谓犬骨那样工件20两端的电镀厚度变厚，不能够确保面内均匀性的缘故。

以下，参照图3以及图4对在前处理槽组230中间歇地运送运送夹具30的动作进行说明。在图3以及图4中，与图2中的间歇运送动作同样，仅在同一槽内的间歇运送动作采用下部推动器280、284、286与固定轨道232、234、235实施，在包含在不同的槽之间超过隔壁237的间歇运送动作的情况下，采用上部推动器282和升降轨道233实施间歇运送动作。另外，图4是作为将从冷水洗槽230C至酸洗槽230E展开后的图进行表示的，但喷淋槽230D内的间歇运送是取代固定轨道而采用水平旋转的旋转轨道131或者旋转轨道132实施的，旋转轨道131（132）与其前后的固定轨道234、235之间的间歇运送是通过下部推动器284、286实施的。而且，对于后处理槽组240中的间歇运送动作省略了说明，但与上述同样，是采用旋转轨道141、142，固定轨道242、243与未图示的下部推动器实施的。

3．旋转装置

参照图5～图7对图1所示的第1、第2旋转装置130、140进行详细说明。另外，图5～图7表示了第2旋转装置140，但第1旋转装置130也具有相同的构造。

在从正面一侧观察连续电镀装置10的图5中，第2旋转装置140在连续电镀装置10的机台10A上具有隧道状（コ形）的安装件500，在安装件500的上部具有作为驱动源的马达、例如带制动器的马达510。由马达510驱动的旋转轴512从马达510向垂直下方延伸。

在该旋转轴512上，如从侧面观察连续电镀装置10的图6所示，固定有水平延伸的旋转臂514。在旋转臂514的两端固定有图1所示的两条旋转轨道141、142。因此，马达510，旋转轴512以及旋转臂514构成驱动旋转轨道141、142旋转的旋转驱动部。

3.1．倒角部

在此，如俯视图的图7所示，两条旋转轨道141、142在俯视看两端被倒角。例如，如图7的B部放大图所示，在旋转轨道141的一端形成有倒角部141A，在本实施方式中，倒角部141A是以斜边形成的。旋转轨道141俯视时为线对称形状，在旋转轨道141的另一端也形成有以斜边形成的倒角部。在另一条旋转轨道142的两端也形成有以斜边形成的倒角部142A、142B。

另外，在图7中，在与旋转轨道141或者旋转轨道142配置在一直线上的固定轨道242上，与旋转轨道141、142的倒角部141A、142A对向的端部也具有以与倒角部141A、142A平行的斜边形成的倒角部242A。如图7的B部放大图所示，在对向的倒角部141A、142A之间产生空隙δ。在固定轨道243上也形成有同样的倒角部243A。

在此，旋转轨道141、142向图7的箭头C方向逐次间歇旋转180°。即，驱动两条旋转轨道141、142向相同的旋转方向C重复旋转，支撑运送夹具30一侧的旋转轨道（图7中为旋转轨道141）经过第2直线运送路径120的端部的固定轨道242的外侧旋转。未支撑运送夹具30的空状态的旋转轨道（图7中为旋转轨道142）穿过第1、第2直线运送路径110、120之间旋转。

在该旋转时，由于存在倒角部141A、141B、142A、142B、242A、243A，所以旋转轨道141、142最大半径的旋转轨迹D不与固定轨道242、243的端部产生干扰。而且，通过形成倒角部，能够使图7的B部放大图所示的空隙δ为最小。

换句话说，旋转轨道141在图7所示的俯视图中形成两端具有第1、第2斜边（倒角部）141A、141B的梯形，在旋转轨道141的停止位置，梯形的长边141C配置在比梯形的短边141D靠旋转半径方向的内侧。旋转轨道142也同样，是具有第1、第2斜边（倒角部）142A、142B，长边142C，短边142D的俯视为梯形。通过这种形状，能够缩短旋转轨道141、142的最大旋转半径，防止旋转轨道141、142与固定轨道242、243的干扰，并且能够使空隙δ为最小。

在此，如图7所示，将长边142C与斜边142A（142B）的交点作为第1角部P1，将短边142D与斜边142A（142B）的交点作为第2角部P2。能够使从旋转轨道141、142的旋转中心O到第1、第2角部P1、1P2的各长度实质上相等。在这种情况下，从旋转轨道141、142的旋转中心O到第1、第2角部P1、P2的各长度为最大半径。因此，能够将空隙δ设定成最小，以使第1、第2角部P1、P2的旋转轨迹不与固定轨道242、243产生干扰。

通过移动图7所示的下部推动器284的驱动片284A，推动运送夹具30的第2驱动片321（参照图2），运送夹具30从固定轨道242移送到旋转轨道141或者142。此时，当空隙δ为最小时，运送夹具30的移送顺畅。

3.2．定位固定部

第2旋转装置140能够具有将两条旋转轨道141、142定位并固定在停止位置的定位固定部520。定位固定部520在将运送夹具30交接到位于循环运送方向A的上游一侧的旋转轨道（图7中为旋转轨道141）上之前，将两条旋转轨道141、142定位并固定在其停止位置。

定位固定部520能够具有设在旋转臂514上的至少一个、例如两个被定位部521，和朝向处于停止位置的另一个被定位部521驱动、例如上升驱动而对被定位部521进行定位并固定的定位驱动部522。

被定位部521例如是顶点为下端的圆锥形状，在定位驱动部522上具有接收圆锥部分的锥形槽。因此，当朝向被定位部521驱动定位驱动部522上升时，通过圆锥部分与锥形槽的定心功能，旋转轨道514及其两端的旋转轨道141、142被定位。

两个被定位部521距旋转轨道514的旋转中心为等距离。在本实施方式中，虽然可以相对于两个被定位部521设置两个定位驱动部522，但仅设置了一个定位驱动部522。该定位驱动部522配置在比旋转中心靠接近位于循环运送方向A的上游一侧的旋转轨道（图7中为旋转轨道141）的位置。即使通过定位驱动部522对一个被定位部521进行定位，旋转轨道141、142也一体地被定位。其中，运送夹具30被运入图7所示的旋转轨道141上，在该运入时作用有使旋转轨道141旋转的外力。因此，将定位驱动部522配置在外力作用的一侧。而且，定位固定部520在将运送夹具30从固定轨道242上交接到位于循环运送方向A的上游一侧的旋转轨道141或者142上之前，将旋转轨道141、142定位并固定在停止位置。这样一来，在运送夹具30运入时旋转轨道141、142不会因来自马达510的输出以外的外力而旋转。

另外，也可以将一个被定位部521设在旋转臂514的旋转中心。在这种情况下，只要是将一个定位驱动部522设在旋转臂514的旋转中心线上即可。

3.3．顺序控制

旋转装置140从旋转开始顺序控制到旋转停止。首先，对旋转装置140的旋转动作的结束控制进行说明。旋转装置140也可以还具有与两条旋转轨道141、142一体地被驱动旋转的第1被检测部530，和检测第1被检测部530的旋转位置的位置检测部531（532）。

能够使第1被检测部530为从旋转轴512水平延伸的带状部件。位置检测部531（532）能够通过例如光或者容量值的变化而非接触地检测第1被检测部530。马达510基于来自位置检测部531（532）的输出使两条旋转轨道141、142停止在停止位置。

在本实施方式中，采用了带制动器的马达510。在这种情况下，位置检测部可以包括检测停止位置的第1位置检测部531，和检测旋转方向C停止位置上游位置的减速开始位置的第2位置检测部532。这样一来，带制动器的马达510根据第2位置检测部532的输出开始减速，基于第1位置检测部531的输出停止。

以下，对旋转装置140的旋转动作的开始控制进行说明。如图9所示，多个运送夹具30的每一个具有用于感受运送夹具30的有无的被检测片（第2被检测部）322。另一方面，旋转装置140具有检测运入位于循环运送方向A的上游一侧的旋转轨道（图7中为旋转轨道141）的运送夹具30的被检测片（第2被检测部）322的有无的第1夹具检测部540。旋转装置140还具有检测从位于循环运送方向A的下游一侧的旋转轨道（图7中为旋转轨道142）运出的运送夹具30的被检测片（第2被检测部）322的有无的第2夹具检测部541。

马达510基于第1、第2夹具检测部540、541的输出开始旋转轨道141、142的旋转驱动。即，由第1夹具检测部540确认运送夹具30以搭载在位于上游一侧的旋转轨道141、142中的某一个上，并且由第1夹具检测部540确认运送夹具30已从位于下游一侧的旋转轨道141、142中的另一个运出，马达510成为驱动开始。在具备定位驱动部520的情况下，定位驱动部522被驱动下降，定位被解除也成为马达510的驱动开始条件。

4．电镀槽

图8是电镀槽200的示意剖视图。电镀槽200具有上部开口的框体202。在框体202内对向地配置有两个阳极盒203，在阳极盒203内收容有作为消耗品的阳极球203A。在两个阳极盒203之间配置有两列喷嘴管204。在两列喷嘴管204的每一列上以纵列固定有多个喷嘴204A，能够将电镀液朝向工件20的两面喷出。两列喷嘴管204的下端分别固定在分配管205上。

在工件20的两侧，能够设置运送并引导工件20的引导部件，及遮挡工件20的上下端部的遮挡部件。进而，能够与工件20的全长相匹配地调整引导部件以及遮挡部件的高度位置。由于遮挡部件对工件20的上下端部进行遮挡，所以能够防止电场集中在工件20的下端而电镀厚度变厚。

5．运送夹具

保持工件20的运送夹具30如图9所示，具有由供电轨道201导向的被导向部300，从被导向部300一侧的基端部朝向自由端部水平方向延伸的连结部330，以及与连结部330的自由端部相连并保持工件20为下垂状态的保持部340。

在此，对被导向部300进行导向的供电轨道201如图9所示，纵剖面为具有上表面201A、下表面201B、电镀槽200一侧的第1侧面201C、以及与第1侧面201C对向的第2侧面201D的矩形剖面。另外，供电轨道201的形状与在电镀槽200以外间歇运送运送夹具30的导轨（固定轨道232、234、235、242、243、升降轨道231、233、236、241或者旋转轨道131、132、141、142）的形状一致。

被导向部300具有：与供电轨道201的上表面201A接触的被供电部301，与供电轨道201的第1侧面201C滚动接触的至少一个、例如两个第1滚子302，与供电轨道201的第2侧面201D滚动接触的至少一个、例如三个第2滚子303，以及与连续运送机构400啮合的被啮合部304。还可以设置与供电轨道201的下表面201B滚动接触的至少一个、例如两个第3滚子305。这样，具有因自重而与供电轨道201的上表面201A接触的被供电部301的被导向部300通过夹持供电轨道201的两侧面201C、201D地滚动接触的第1、第2滚子302、303而由供电轨道201导向。进而，通过设置与供电轨道201的下表面201B滚动接触的第3滚子305，能够限制运送夹具30的上下移动。由于旋转轨道131、132、141、142也与供电轨道201为相同形状，所以即使在将运送夹具30保持在该旋转轨道上的旋转动作中，运送夹具30也不会在水平方向或者上下方向上变动。

由于在由供电轨道201导向的被导向部300自身设有与连续运送机构400啮合而使运送力作用在被导向部300上的被啮合部304，所以被导向部300顺畅地在供电轨道201上运送。在该被导向部300上，如图9所示设有上述的第1、第2驱动片320、321，和感受运送夹具30的有无的被检测片（第2被检测部）322。

运送夹具30的连结部330如图9所示，将相互分离配置的被导向部300与保持部340连结在一起。由于运送夹具30具有连结部330，所以如图5所示，对运送夹具30的被导向部300进行导向的供电轨道201成为从电镀槽200的上方离开的位置。这样一来，在被导向部300在供电轨道201上滑动时所产生的粉尘不会下落到电镀槽200中。

连结部330载置在图1所示的返回运送路径150的两条链条151、152上，运送夹具30沿着返回运送路径150返回运送。

保持部340如图9所示具有将工件20的上部夹紧的多个、例如三个夹紧部341。为了能够保持幅度宽的工件20，作为标准装备或者作为选项，能够在三个夹紧部341的两侧设置可动夹紧部342。可动夹紧部342能够与工件20的宽度相匹配地滑动移动。

另外，如上所述对本实施方式进行了详细说明，但本领域的技术人员能够容易理解可进行实体上不脱离本发明的新增事项以及效果的更多变形。因此，这种变形例也均包含在本发明的范围内。例如，在说明书或者附图中，至少能够将一度与更广义或者同义的不同用语一同记载的用语在说明书或者附图的各处置换成其不同的用语。而且本实施方式以及变形例的全部组合也包含在本发明的范围内。

Claims (11)

1.一种表面处理装置，其特征在于，

具有：多个运送夹具，分别保持工件；循环运送路径，上述多个运送夹具沿着循环运送方向循环运送；表面处理槽，设在上述循环运送路径上，对由上述多个运送夹具的每一个保持的上述工件进行表面处理；运入部，设在上述表面处理槽的上述循环运送路径的上游，将未处理的工件运入上述多个运送夹具；以及运出部，设在上述表面处理槽的上述循环运送路径的下游，从上述多个运送夹具上运出处理后的工件；

上述循环运送路径具有：第1直线运送路径；第2直线运送路径，与上述第1直线运送路径平行；第1旋转装置，使上述多个运送夹具的至少一个水平旋转，从上述第1直线运送路径的一端交接到上述第2直线运送路径的一端；以及第2旋转装置，使上述多个运送夹具的至少一个水平旋转，从上述第2直线运送路径的另一端交接到上述第1直线运送路径的另一端；

上述第1、第2旋转装置的每一个具有：两条旋转轨道；和旋转驱动部，在将上述至少一个运送夹具支撑在位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上的状态，且位于上述循环运送方向下游一侧的另一条旋转轨道为空的状态下，一体地间歇驱动上述两条旋转轨道逐次旋转180°；

设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道的每一个配置成在停止位置与分别配置在上述第1、第2直线运送路径的上述一端以及上述另一端的四条导轨中对应的各一条导轨为一直线。

2.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道在俯视看两端被倒角，

上述四条导轨的上述各一条在与配置在与上述各一条为一直线上的上述旋转轨道的上述两端部的一个端部对向的端部被倒角，以在上述两条旋转轨道旋转时不与上述两条旋转轨道的上述两端部产生干扰。

3.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

设在上述第1、第2旋转装置的每一个上的上述两条旋转轨道在俯视看形成两端具有第1、第2斜边的梯形，在上述停止位置，上述梯形的长边配置在比上述梯形的短边靠旋转半径方向的内侧，

上述四条导轨的上述各一条在与配置成与上述各一条为一直线上的上述旋转轨道的上述第1、第2斜边的一个斜边对向的端部具有实质上与上述第1、第2斜边的一个斜边平行的斜边。

4.如权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，

分别将上述长边与上述第1斜边的交点以及上述长边与上述第2斜边的交点作为第1角部，分别将上述短边与上述第1斜边的交点以及上述短边与上述第2斜边的交点作为第2角部，从上述旋转轨道的旋转中心到上述第1、第2角部的各长度实质上相等。

5.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

上述第1、第2旋转装置的每一个还具有将上述两条旋转轨道定位并固定在上述停止位置的定位固定部。

6.如权利要求5所述的表面处理装置，其特征在于，

上述定位固定部在将上述至少一个运送夹具交接到位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道上之前，将上述两条旋转轨道定位并固定在上述停止位置。

7.如权利要求6所述的表面处理装置，其特征在于，

上述旋转驱动部具有驱动源，和两端固定上述两条旋转轨道且由上述驱动源驱动的旋转臂，

上述定位固定部包括至少一个被定位部，设在上述旋转臂上；和定位驱动部，朝向处在上述停止位置的上述至少一个被定位部驱动而对上述至少一个被定位部进行定位固定。

8.如权利要求7所述的表面处理装置，其特征在于，

上述至少一个被定位部设有两个，上述两个被定位部配置在距上述旋转臂的旋转中心等距离的两处，

上述定位驱动部配置在比上述旋转臂的旋转中心接近位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道的位置。

9.如权利要求1至8中任一项所述的表面处理装置，其特征在于，

上述第1、第2旋转装置的每一个还具有与上述两条旋转轨道一体地被驱动而旋转的第1被检测部，和检测上述第1被检测部的旋转位置的位置检测部，

上述旋转驱动部基于来自上述位置检测部的输出使上述两条旋转轨道停止在上述停止位置。

10.如权利要求9所述的表面处理装置，其特征在于，

上述旋转驱动部包括带制动器的马达，

上述位置检测部包括检测上述停止位置的第1位置检测部，和检测在上述旋转方向上比上述停止位置靠上游位置的减速开始位置的第2位置检测部。

11.如权利要求9所述的表面处理装置，其特征在于，

上述多个运送夹具的每一个具有第2被检测部，

上述第1、第2旋转装置的每一个还具有第1夹具检测部，检测运入位于上述循环运送方向上游一侧的一条旋转轨道的上述至少一个运送夹具的上述第2被检测部的有无；和第2夹具检测部，检测从位于上述循环运送方向下游一侧的另一条旋转轨道运出的上述至少一个运送夹具的上述第2被检测部的有无；

上述旋转驱动部基于上述第1、第2夹具检测部的输出开始上述两条旋转轨道的旋转驱动。