CN105442027A - 表面处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明的表面处理装置能够将附着在工件的表面及孔部的内侧的气泡物理除去，提高表面处理能力。对工件（20）的表面进行处理的表面处理装置具有：导轨（201、231～235）；运送夹具（30），由导轨导向，沿着顺延于导轨的运送方向（A）运送且保持工件；表面处理槽（200），对由运送夹具保持的工件进行表面处理；前处理槽（230A），配置在表面处理槽的运送方向（A）上游一侧，将由运送夹具保持的工件浸渍在处理液（290）中进行处理；以及振动赋予部（500），在前处理槽中对保持浸渍在处理液中的工件的运送夹具赋予振动，使工件在上述处理液中振动。

Description

表面处理装置

本申请为在先申请（申请日：2011年6月30日，申请号：201110181522.2，发明名称：表面处理装置）的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种具有表面处理槽和前处理槽的表面处理装置。

背景技术

作为表面处理装置、例如对工件表面进行电镀处理的电解电镀处理装置，公知的有在电镀槽内连续地运送电路基板等工件的连续电镀处理装置。工件由沿着供电轨道（导轨）运送的运送夹具下垂地保持。工件一边被供电轨道经由运送夹具供电一边在电镀槽内连续地运送。在电镀槽中成为阴极的工件运送路径的两侧配置有阳极。从而在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电气分解，对工件表面进行电镀。

在此，公知的有在电镀槽的上方配置了供电轨道的构造（专利文献1），及在从电镀槽的上方离开的位置与电镀槽的长度方向平行地延伸设置供电轨道的构造（专利文献2）。通过专利文献2的构造，能够防止运送夹具在供电轨道上滑动时所产生的粉尘下落并混入电镀槽内。

工件是用于电子设备及半导体装置中的基板等，有时形成作为贯通孔的透孔及作为非贯通孔的盲孔等孔部。表面处理装置要对这些孔部的内侧也进行表面处理、例如电镀处理。这是由于透孔是使基板的正反面导通的贯通孔，盲孔是使内部配线导通到表层的非贯通孔，要对孔部的内侧进行电镀配线的缘故。

目前认为当在这些孔部中存在气泡时，会产生在孔部的内侧因该气泡而未被表面处理的问题（专利文献3～5）。

【专利文献1】日本专利第3025254号公报，

【专利文献2】日本专利第3591721号公报，

【专利文献3】特开平11-350187号公报，

【专利文献4】特开2004-111893号公报，

【专利文献5】特开2008-309708号公报。

在专利文献3中，将使用双流体喷雾喷嘴或者超声波而产生的雾化液体涂在工件的表面以湿润微细孔内部，之后进行电镀处理。在专利文献4中，一边将工件浸渍在通过添加阴离子系界面活性剂而使表面张力为300～600μN/cm的水溶液中，一边通过外加超声波而除去工件的非贯通孔内的气泡。在专利文献5中，将工件浸渍在相对于工件的表面张力比电镀处理液小的前处理溶液中，前处理溶液由于与微细孔内表面的接触角小而容易进入微细孔的内表面与气泡之间，充满微细孔的内侧的气泡从微细孔的内表面脱离。

但是，存在仅通过使透孔及盲孔等孔部的直径进一步微细化等提高工件的湿润性，进入到孔部的内侧的气泡的除去更为困难的状况。

发明内容

在本发明的几个技术方案中，能够将附着在工件上的气泡物理除去，提高表面处理能力。

本发明的一个技术方案的表面处理装置的特征在于，具有：导轨；运送夹具，由上述导轨导向，沿着顺延于上述导轨的运送方向运送且保持工件；表面处理槽，对由上述运送夹具保持的上述工件进行表面处理；前处理槽，配置在上述表面处理槽的上述运送方向上游一侧，将由上述运送夹具保持的上述工件浸渍在处理液中进行处理；振动赋予部，在上述前处理槽中对保持浸渍在上述处理液中的上述工件的上述运送夹具赋予振动，使上述工件在上述处理液中振动。

根据本发明的这一技术方案，在前处理槽中对保持浸渍在处理液中的工件的运送夹具赋予振动。这样一来，工件在处理液中振动。其结果，能够将附着在工件上的气泡从工件上除去。附着在工件上的气泡包含附着在工件表面上的气泡。因此，本发明并不不一定仅限于带孔的工件。这是由于当气泡附着在工件的表面上时，该部分的表面处理能力劣化的缘故。除此之外，在工件上形成有贯通或者非贯通的孔部的情况下，滞留在该孔部中的气泡也因为工件的振动而从孔部中排出。而且，即使从孔部中除去的气泡再次附着在工件表面上，也能够通过工件的振动将该气泡从工件表面上除去。这样，由于能够在前处理中将气泡从工件上除去，所以在其后的表面处理工序中，也能够对孔部的内表面进行表面处理。

在此，可以对由运送夹具保持且在正在处理液中运送的工件赋予振动，但如果是在处理液中处于停止的工件，则向运送夹具赋予振动容易，在这一点上是优选的。由于当工件在处理液中振动时，从工件的表面及孔部的壁部的限制中解放的气泡在浮力的作用下而上升，所以能够使气泡从工件上物理排出。另外，振动赋予部除了设置在前处理槽中之外，也可以设置在后处理槽中。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述运送夹具具有：由上述导轨导向的被导向部，保持上述工件为下垂状态的保持部，和连结上述被导向部与上述保持部的连结部，上述振动赋予部对上述运送夹具的上述连结部赋予振动。

由于被导向部卡合在导轨上，所以振动容易衰减。保持部容易因振动而工件的保持状态受到恶劣影响。在这一点上，如果是连结部，则只要是保持了连结功能就没有弊端。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述导轨在从上述表面处理槽以及上述前处理槽的上方离开的位置与从上述前处理槽朝向上述表面处理槽的方向平行地延伸设置，上述运送夹具的上述连结部包括从上述被导向部一侧的基端部朝向自由端部水平方向延伸的水平部，和从上述水平部的上述自由端部朝向上述保持部下垂的下垂部，上述振动赋予部对上述下垂部赋予振动。

被赋予振动的下垂部与从由导轨支撑的被导向部的基端部延伸的水平部的自由端部相连。因此，通过使悬臂梁的自由端振动的要领，能够在处理液中有效地使工件振动。

在本发明的一个实施方式中，可以是上述振动赋予部包括打击上述运送夹具的打击部。在振动赋予上可以考虑各种方法，但振动赋予部的打击部能够通过至少打击运送夹具一次而对运送夹具赋予振动。特别是，通过打击运送夹具的连结部，该连结部中的下垂部，能够有效地使悬臂梁构造的运送夹具振动。由于该振动传递到工件上，所以能够使工件在处理液中振动。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述打击部在与上述工件的表面交叉的方向上移动而打击上述运送夹具。优选地是，打击部能够在与工件的表面正交的方向上移动而打击运送夹具。在任一种情况下，由于处理液的压力作用在工件的两表面上，所以处理液成为缓冲材料而能够缓解对运送夹具的过度冲击。

在本发明的一个技术方案中，可以是上述振动赋予部包括保持上述打击部绕支点转动自如的第1臂部，和驱动上述第1臂部绕上述支点在打击位置与待机位置之间往返转动的驱动部。

这样，通过从驱动部经由第2臂部使打击部转动，能够使打击部在打击位置与待机位置之间往返移动。由于若打击部处于待机位置，则打击部不与运送夹具的运送路径产生干扰，所以能够将运送夹具沿着运送路径运送。若在运送夹具的运送停止后驱动打击部，则能够打击运送夹。

在本发明的一个实施方式中，可以是上述振动赋予部还包括在上述打击位置与上述第1臂部抵接的止挡部。

这样，能够使打击部可靠地停止在打击位置。通过设置止挡部，即使在假设不存在运送夹具的情况下，也能够使打击部停止在固定位置，安全性提高。

在本发明的一个实施方式中，可以是上述打击部包括固定在上述第1臂部上的固定部，和能够滑动地支撑在上述固定部上且在上述第1臂部与上述止挡部的一部分抵接之际的惯性力作用下比上述固定部更向前方突出的滑动部，上述滑动部打击上述运送夹具。

这样，如果滑动部因惯性力而向前方移动的中途或者移动端存在运送夹具，则滑动部能够与运送夹具碰撞而打击运送夹具。这样一来，能够增大振动赋予力。

在本发明的一个实施方式中，可以是上述振动赋予部还具有由上述驱动部驱动而绕上述支点与上述第1臂部一体移动的第2臂部，从保持上述打击部的上述第1臂部的作用点到上述支点的第1距离长于从来自上述驱动部的驱动力传递到上述第2臂部上的力点到上述支点的第2距离。

这样，在驱动部的驱动力作用下驱动第2臂部时的打击部的移动速度增速，能够增大对滑动部赋予的惯性力。因此，能够通过滑动部增大对运送夹具赋予的冲击力。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的连续电镀装置的示意俯视图；

图2是说明间歇地向电镀槽运送运送夹具，在电镀槽内连续地运送运送夹具的动作的附图；

图3是说明在前处理槽的一部分间歇地运送运送夹具的动作的附图；

图4是说明在前处理槽的另一部分间歇地运送运送夹具的动作的附图；

图5是电镀槽的示意纵向剖视图；

图6是运送夹具的示意立体图；

图7是表示前处理槽与振动赋予部的侧视图；

图8是打击部处于待机位置的振动赋予部的俯视图；

图9是表示第1臂部将要与止挡部抵接前的状态的振动赋予部的俯视图；

图10是表示第1臂部刚与止挡部抵接后的打击状态的振动赋予部的俯视图。

附图标记说明：

10：工件，30：运送夹具，100：循环运送路径，200：表面处理槽（电镀槽），201：导轨（供电轨道），231～236：导轨（固定轨道或者升降轨道），300：被导向部，330：连结部，331：水平部，332：下垂部，340：保持部，500：振动赋予部，510：打击部，520：第1臂部，522：支点，524：第2臂部，530：驱动部（气缸），540：止挡部。

具体实施方式

以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明。另外，以下说明的本实施方式并不是不正当地限定权利要求书所记载的本发明的内容，并不是限定作为本发明的解决手段必须是本实施方式中所说明的结构的全部。

1．表面处理装置的概要

图1是表面处理装置、例如连续电镀处理装置的俯视图。连续电镀处理装置10具有分别保持电路基板等工件20的多个运送夹具30沿着图1的例如右旋的循环运送方向A循环运送的循环运送路径100。另外，在图1中省略了一部分工件20及一部分运送夹具30的图示。

在循环运送路径100中设有：电镀槽（广义而言是表面处理槽）200，对由多个运送夹具30的每一个保持的工件20进行表面处理、例如电镀处理；运入部210，设在电镀槽200的循环运送路径100的上游，将未处理的工件20运入多个运送夹具30，以及运出部220，设在电镀槽200的循环运送路径100的下游，将处理后的工件20从多个运送夹具30上运出。

循环运送路径100具有：第1直线运送路径110，与第1直线运送路径110平行的第2直线运送路径120，使多个运送夹具30的至少一个水平旋转而从第1直线运送路径110的一端交接到第2直线运送路径120的一端的第1旋转装置130，以及使多个运送夹具30的至少一个水平旋转而从第2直线运送路径120的另一端交接到第1直线运送路径110的另一端的第2旋转装置140。

在本实施方式中，电镀槽200沿着第2直线运送路径120设置，运入部210以及运出部220设在第1直线运送路径110上。在循环运送路径100上，进而设有配置在电镀槽200的上游一侧的前处理槽组230和配置在电镀槽200的下游一侧的后处理槽组240。

前处理槽组230通过从上游一侧开始依次将例如脱脂槽230A，热水洗槽230B，冷水洗槽230C，喷淋槽230D，以及酸洗槽230E配置在运入部210与电镀槽200之间而构成。后处理槽组240通过从上游一侧开始依次将例如喷淋槽240A以及冷水洗槽240B配置在电镀槽200与运出部220之间而构成。另外，前处理槽组230以及后处理槽组240的数量及种类能够适当改变。而且，在本实施例的装置中，由第1旋转装置130旋转的工件20在旋转中在喷淋槽230D中被清洗。同样，由第2旋转装置140旋转的工件20在旋转中在喷淋槽240A中被清洗。

在前处理槽组230以及后处理槽组240中，运送夹具30是间歇运送的。为此，在前处理槽组230以及后处理槽组240中，设有运送并引导运送夹具30的两种导轨。一种是用于在同一个处理槽内间歇运送运送夹具30的固定轨道232、234、235、242、243。另一种是能够在不同的处理槽之间越过分隔壁间歇地运送运送夹具30的升降轨道231、233、236、241。

在前处理槽组230以及后处理槽组240的喷淋槽230D、240A以外的第1、第2直线运送路径110、120中，通过该两种导轨和使一个或多个运送夹具30沿着导轨仅移动单位距离的推动器，运送夹具30被间歇运送。另外，对于间歇运送动作，采用图3以及图4在之后进行叙述。

在前处理槽组230以及后处理槽组240中的喷淋槽230D、240A中，运送夹具30通过第1、第2旋转装置130、140而被间歇运送。为此，第1旋转装置130具有被一体驱动旋转的两条旋转轨道131、132，第2旋转装置140具有被一体驱动旋转的两条旋转轨道141、142。

例如，在第1旋转装置130中，以将运送夹具30支撑在两条旋转轨道131、132中位于循环运送方向上游一侧的旋转轨道上，位于循环运送方向下游一侧的另一条旋转轨道为空的状态，一体地间歇驱动两条旋转轨道131、132逐次旋转180°。第2旋转装置140也是同样。由在通过第1、第2旋转装置130、140旋转的运送夹具30保持的工件20在喷淋槽230D或者喷淋槽240A中被喷淋清洗。此时，由于无需在喷淋槽230D、240A中收容使工件20浸渍的液体，所以即使存在隔壁也可以较低，不会对工件20的水平运送产生妨碍。

如图1所示，分别设在第1、第2旋转装置130、140上的两条旋转轨道131、132、141、142的每一个配置成在停止位置与分别配置在第1、第2直线运送路径110、120的两端的四条导轨234、235、242、243中对应的各一条导轨为一直线。

在电镀槽200中从电镀槽200的上方离开的位置设有在图1的俯视图中与电镀槽200的长度方向平行地延伸设置的供电轨道（广义地说是导轨）201。由供电轨道201支撑的多个运送夹具30配置在电镀槽200内并分别保持工件20。而且，沿着供电轨道201设有使多个运送夹具30沿着供电轨道201连续运送的连续运送机构400。另外，对于连续运送动作，采用图2在以后进行叙述。

循环运送路径100在从第1直线运送路径110的运出部220到运入部210的范围内还具有夹具返回运送路径150。夹具返回运送路径150例如具有两条环状链条151、152。夹具返回运送路径150具有将空状态的运送夹具30从运出部220返回运送到运入部210的功能，以及使空状态的运送夹具30在运入部210的上游一侧待机的功能。

2．运送夹具的间歇运送和连续运送

图2表示了电镀槽200内的运送夹具30的连续运送动作和酸洗槽230E与电镀槽200之间的运送夹具30的间歇运送动作。图2表示了由升降轨道236支撑的三个运送夹具30中虚线所示的先头的运送夹具30从升降轨道236刚刚交接到供电轨道201上实线所示的位置后的状态。

在图2中，升降轨道236能够通过升降马达250的驱动而沿着升降轴252升降。该升降轨道236具有能够支撑四个运送夹具30的长度，在实际的驱动中是两个或者三个运送夹具30被支撑。因此，作为空置的空间，具有支撑至少一个运送夹具30的空间。

在升降轨道236从图2的状态上升之前，处于喷淋槽230D中的一个运送夹具30（图2中未图示）以由升降轨道236支撑的方式进行进给动作。这样，搭载了三个运送夹具30的升降轨道236上升。在上升位置配置有上部推动器260。该上部推动器260在杆262上具有三个进给定程块264。杆262通过由进给马达266驱动的进给丝杠268而能够前进后退。

另一方面，在由升降轨道236支撑的三个运送夹具30的每一个上固定有第1驱动片320。当升降轨道236上升时，三个第1驱动片320配置在上部推动器260的三个进给定程块264的前方。当之后使杆262前进时，与杆262一起前进的三个进给定程块264推动三个第1驱动片320，三个运送夹具30仅前进单位距离。这样，先头的运送夹具30从酸洗槽230E的上方向电镀槽200的上方移动。

之后，升降轨道236下降。这样一来，先头的运送夹具30如图2中虚线所示配置在电镀槽200内。为了越过不同的处理槽之间的隔壁237，使用升降轨道236和上部推动器260，运送夹具30被间歇运送。

支撑在升降轨道236上的先头的运送夹具30（虚线所示）通过下部推动器270而从升降轨道236向供电轨道201交接。下部推动器270具有由杆272支撑的进给定程块274。另一方面，运送夹具30具有能够与进给定程块274抵接的第2驱动片321，支撑在升降轨道236上的先头的运送夹具30的第2驱动片321配置在进给定程块274的前方。当之后使杆272前进时，与杆272一起前进的进给定程块274推动第2驱动片321，运送夹具30沿着箭头A方向仅前进单位距离。这样，先头的运送夹具30从酸洗槽230E的上方向电镀槽200的上方移动。从升降轨道236向供电轨道201交接。

此时，由通过杆272的顺序控制而被杆272推进的后行的运送夹具30支撑的工件20与支撑在以低速度在供电轨道201上连续运送中的先行的运送夹具30上的工件20仅隔开间隙G地配置。间隙G越狭窄越好，但需要防止先行以及后行的工件20彼此的干扰，作为设计值而设定成10mm或者其左右的尺寸。这是由于如果间隙G大，则电解集中在工件20的两端，如所谓犬骨那样工件20两端的电镀厚度变厚，不能够确保面内均匀性的缘故。

以下，参照图3以及图4对在前处理槽组230中间歇地运送运送夹具30的动作进行说明。在图3以及图4中，与图2中的间歇运送动作同样，仅在同一槽内的间歇运送动作采用下部推动器280、284、286与固定轨道232、234、235实施，在包含在不同的槽之间超过隔壁237的间歇运送动作的情况下，采用上部推动器282和升降轨道233实施间歇运送动作。另外，图4是作为将从冷水洗槽230C至酸洗槽230E展开后的图进行表示的，但喷淋槽230D内的间歇运送是取代固定轨道而采用水平旋转的旋转轨道131或者旋转轨道132实施的，旋转轨道131（132）与其前后的固定轨道234、235之间的间歇运送是通过下部推动器284、286实施的。而且，对于后处理槽组240中的间歇运送动作省略了说明，但与上述同样，是采用旋转轨道141、142，固定轨道242、243与未图示的下部推动器实施的。

3．电镀槽

图5是电镀槽200的示意剖视图。电镀槽200具有上部开口的框体202。在框体202内对向地配置有两个阳极盒203，在阳极盒203内收容有作为消耗品的阳极球203A。在两个阳极盒203之间配置有两列喷嘴管204。在两列喷嘴管204的每一列上以纵列固定有多个喷嘴204A，能够将电镀液朝向工件20的两面喷出。两列喷嘴管204的下端分别固定在分配管205上。

在工件20的两侧，能够设置运送并引导工件20的引导部件，及遮挡工件20的上下端部的遮挡部件。进而，能够与工件20的全长相匹配地调整引导部件以及遮挡部件的高度位置。由于遮挡部件对工件20的上下端部进行遮挡，所以能够防止电场集中在工件20的下端而电镀厚度变厚。

4．运送夹具

保持工件20的运送夹具30如图6所示，具有被导向部300，连结部330，以及保持部340。被导向部300是由供电轨道201导向的部分。保持部340是保持工件20为下垂状态的部分。连结部330是连结被导向部300与保持部340的部分。

在此，对被导向部300进行导向的供电轨道201如图6所示，纵剖面为具有上表面201A、下表面201B、电镀槽200一侧的第1侧面201C、以及与第1侧面201C对向的第2侧面201D的矩形剖面。另外，供电轨道201的形状与在电镀槽200以外间歇运送运送夹具30的导轨（固定轨道232、234、235、242、243、升降轨道231、233、236、241或者旋转轨道131、132、141、142）的形状一致。

连续运送机构400例如图6所示，具有链条410和固定在链条410上的多个带齿块420。

被导向部300具有：与供电轨道201的上表面201A接触的被供电部301，与供电轨道201的第1侧面201C滚动接触的至少一个、例如两个第1滚子302，与供电轨道201的第2侧面201D滚动接触的至少一个、例如三个第2滚子303，以及与连续运送机构400的带齿块420啮合的被啮合部304。进而还能够设置与供电轨道201的下表面201B滚动接触的至少一个、例如两个第3滚子305。这样，具有因自重而与供电轨道201的上表面201A接触的被供电部301的被导向部300通过夹持供电轨道201的两侧面201C、201D地滚动接触的第1、第2滚子302、303而由供电轨道201导向。进而，通过设置与供电轨道201的下表面201B滚动接触的第3滚子305，能够限制运送夹具30的上下移动。由于旋转轨道131、132、141、142也与供电轨道201为相同形状，所以即使在将运送夹具30保持在该旋转轨道上的旋转动作中，运送夹具30也不会在水平方向或者上下方向上变动。

由于在由供电轨道201导向的被导向部300自身设有与连续运送机构400的带齿块420啮合而使运送力作用在被导向部300上的被啮合部304，所以被导向部300顺畅地在供电轨道201上运送。在该被导向部300上，如图6所示设有上述的第1、第2驱动片320、321，和感受运送夹具30的有无的被检测片（第2被检测部）322。

运送夹具30的连结部330如图6所示，将相互分离配置的被导向部300与保持部340连结在一起。在本实施方式中，运送夹具30具有图6所示的形状，并具有连结部330，所以如图5所示，对运送夹具30的被导向部300进行导向的供电轨道201成为从电镀槽200的上方离开的位置。这样一来，在被导向部300在供电轨道201上滑动时所产生的粉尘不会下落到电镀槽200中。在本实施方式中，连结部330具有从被导向部300一侧的基端部朝向自由端部水平延伸的水平部331，和从水平部331的自由端部朝向保持部340下垂的下垂部332。

连结部330的水平部331载置在图1所示的返回运送路径150的两条链条151、152上，运送夹具30沿着返回运送路径150返回运送。

保持部340如图6所示具有将工件20的上部夹紧的多个、例如三个夹紧部341。为了能够保持幅度宽的工件20，作为标准装备或者作为选项，能够在三个夹紧部341的两侧设置可动夹紧部。可动夹紧部能够与工件20的宽度相匹配地滑动移动。

5．前处理槽与振动赋予部

5.1．前处理槽

如上所述，本实施方式的前处理槽组230从电镀槽200的上游一侧起具有脱脂槽230A，热水洗槽230B，冷水洗槽230C，喷淋槽230D，以及酸洗槽230E。其中，在配置以下所说明的振动赋予部500的前处理槽是将工件20浸渍在处理液中进行处理的前处理槽，是除了喷淋槽230D以外的槽230A，230B，230C，230E的至少一个。如果在其中某一个槽中设置振动赋予部500，则优选是使用含有界面活性剂的处理液的槽、例如脱脂槽230A。以下，作为前处理槽203A进行说明，但在脱脂槽230A以外的其它前处理槽230B，230C，230E的某一个中设置振动赋予部500的情况下也是同样。振动赋予部500除了前处理之外也能够设置在使用处理液的后处理240B中。

5.2．振动赋予部的作用

图7表示了对前处理槽230A中保持浸渍在处理液中的工件20的运送夹具30赋予振动，使工件20在处理液290中振动的振动赋予部500。如图7所示，运入前处理槽270A中的运送夹具30在图1所示的导轨（升降轨道或者固定轨道）231或者232上例如停止中被振动赋予部500赋予振动。这样一来，工件20在处理液290中振动。

当使工件20在处理液290中振动时，附着在工件20的表面上的气泡从工件20上物理除去。在工件20上形成有透孔（贯通孔）或者盲孔（非贯通孔）等孔部的情况下，滞留在该孔部中的气泡与工件20的孔部的相对位置与振动周期相对应地变化。这是由于相对于工件20的孔部与工件20一体振动，气泡被赋予了浮力产生的上升力。这样，由于从孔部的壁部的限制中解放的气泡在浮力的作用下而上升，所以能够使气泡从孔部内物理排出。从工件20的孔部排出而再次附着在工件20的表面上的气泡也因为工件20的振动而从工件20的表面上物理除去。处理液290中的界面活性剂能够使处理液容易与工件20的表面及孔部接触，促进上述气泡的除去作用。

这样，由于能够在前处理槽230A中从工件20的表面及孔部除去气泡，所以在其后的电镀槽200中的电镀工序（表面处理工序）中，能够对工件20的表面及孔部的内表面也进行电镀处理（表面处理）。这样，能够防止在工件20的表面的一部分及孔部产生没有电镀的不良情况。另外，可以对由运送夹具30保持且在处理液290中正在运送的工件赋予振动，但如果是在处理液290中处于停止的工件20，则向运送夹具30赋予振动容易，在这一点上是有选的。进而，如果工件20的弯曲刚性低，在处理液290中工件20在运送中被赋予振动，则随着运送而作用在工件20上的液压增大，有可能产生工件20折曲等变形。这意味着优选地是使处理液290中处于停止的工件20振动。

5.3．对运送部件赋予振动的部位

以下，对振动赋予部500在运送夹具30上赋予振动的部位进行说明。如上所述，运送夹具30包括：由导轨（升降轨道或者固定轨道）231或者232导向的被导向部300，保持工件20为下垂状态的保持部340，以及连结被导向部300与保持部340的连结部330。在本实施方式中，振动赋予部500对运送夹具30的连结部330赋予振动。由于被导向部300卡合在导轨（固定轨道）231或者232上，所以振动容易衰减。保持部340容易因振动而工件20的保持状态受到恶劣影响。在这一点上，如果是连结部330，则只要是保持了连结功能就没有弊端。

在此，在本实施方式中，如图1以及图7所示，导轨（升降轨道或者固定轨道）231或者232在从前处理槽230A的上方离开的位置与运送夹具30的运送方向平行地延伸设置。为此，运送夹具30的连结部300如上所述，具有从被导向部300一侧的基端部朝向自由端部水平方向延伸的水平部331，和从水平部331的自由端部朝向保持部340下垂的下垂部332。在这种情况下，振动赋予部500如图7所示能够对下垂部332赋予振动。

在此，被赋予振动的下垂部332如图7所示，与从由导轨（升降轨道或者固定轨道）231或者231支撑的被导向部300的基端部延伸的水平部331的自由端部相连。为此，通过使悬臂梁的自由端振动的要领，能够在处理槽290中有效地使工件20振动。

另外，如上所述，作为处理槽与导轨的位置关系，有上述专利文献1所示那样，将导轨配置在处理槽的上方。本发明能够适用于专利文献1的配置构造。在这种情况下，运送夹具也包括具有上述同样功能的被导向部，保持部，以及连结部，但这种情况下的连结部不具有水平部331而仅由下垂部332形成。因此，振动赋予部500能够对运送夹具的连结部（下垂部）赋予振动。

5.4．振动赋予部的振动赋予方式

本实施方式的振动赋予部500如图7所示，能够包括打击运送夹具30的打击部510。在振动赋予上可以考虑各种方法，但振动赋予部500的打击部510能够通过至少打击运送夹具30一次而对运送夹具30赋予振动。特别是，通过打击运送夹具30的连结部330，该连结部中的下垂部332，能够有效地使悬臂梁构造的运送夹具30振动。由于该振动传递到工件20上，所以能够使工件20在处理液290中振动。

在此，打击部510能够如图7所示向与工件20的表面交叉的方向B、优选地是与工件20的表面正交的方向B移动而打击运送夹具30。这样一来，由于处理液290的压力作用在工件20的两表面上，所以处理液290成为缓冲材料而能够缓解对运送夹具30的过度冲击。因此，即使打击运送夹具30，其打击力的大部分也能够由处理液290承受，防止了运送夹具30的破损。换句话说，优选地是不在与工件20的表面平行的方向上进行打击。这是由于在这种情况下不能够期待处理液290作为缓冲材料发挥功能。其中，由于振动效果大，也并不否定在与工件20的表面平行的方向上进行打击。

5.5．振动赋予部的驱动方式

图8～图10是振动赋予部500的俯视图，分别表示振动赋予部500的不同状态。图8表示了打击部510的待机位置，图9以及图10表示了打击部510从待机位置朝向打击位置移动的状态。

如图8～图10所示，振动赋予部500能够具有保持打击部510绕支点522转动自如的第1臂部520，和驱动第1臂部520绕支点522在待机位置与打击位置之间往返转动的驱动部、例如气缸530。这样，通过驱动部530经由第1臂部520使打击部510转动，能够使打击部510在打击机位置与待机位置之间往返移动。由于若打击部510处于待机位置，则打击部510不与运送夹具30的运送方向A（运送路径100）产生干扰，所以能够将运送夹具30沿着运送方向A（运送路径100）运送。若在运送夹具30的运送停止后驱动打击部510，则能够打击运送夹具30。

在此，振动赋予部500能够还包括在打击位置与第1臂部抵接的止挡部540。这样，如图9以及图10所示，能够使打击部510可靠地停止在运送夹具30的运送方向A与打击部510交叉、例如正交的打击位置。止挡部540能够与第1臂部520接触而使打击部510停止。通过设置止挡部510，即使在假设不存在运送夹具30的情况下，也能够使打击部510停止在规定的位置，安全性提高。

由通过气缸530而转动的第2臂部520保持的打击部510沿着图8所示的转动轨迹RT1移动。为了如图9以及图10所示使打击部510在运送夹具30的运送方向A与打击部510例如正交的位置停止而设有止挡部540。这样一来，打击部510如图7所示，能够向与工件20的表面交叉的方向B、优选地是与工件20的表面正交的方向移动而打击运送夹具30。

在此，止挡部540并不仅限于使打击部停止的功能，也可以用于对打击部510的一部分赋予惯性力。为此，打击部510如图8～图10所示，能够包括固定在第1臂部520上的固定部512，和能够滑动地支撑在固定部512上且在第1臂部520与止挡部540抵接而停止之际的惯性力作用下比固定部512更向前方突出的滑动部514。在这种情况下，滑动部514打击运送夹具30。

在打击部510处于待机位置的图8和表示打击部510即将被止挡部540停止前的状态的图9中，滑动部514处于后退位置。当打击部510被止挡部510停止时，固定部512也停止，但如图10所示，滑动部514在惯性力的作用下向前方移动。打击部510从图10的位置移动到图8的位置，当第1臂部520停止移动时，滑动部514在惯性力的作用下恢复到图8所示的原始位置。

在此，能够在轴状的固定部512的前端形成凸缘部512A。另一方面，能够在轴状的固定部512插入的筒状的滑动部514上形成带台阶孔。滑动部514向前方突出到固定部512的凸缘部512A与带台阶孔的台阶面卡合。如果滑动部514在从图9的位置向前方移动到图10的位置的中途或者移动端存在运送夹具30，则滑动部514能够与运送夹具30碰撞而打击运送夹具30。这样一来，能够增大振动赋予力。

另外，能够在图8所示的待机位置设置检测打击部510的存在的传感器550。该传感器550能够通过例如光或者容量值的变化而非接触地进行检测，但也可以是接触式的。能够将由传感器550检测打击部510的动作组合到打击部510的驱动顺序中。

在本实施方式中，也可以是如图10所示振动赋予部500还具有被驱动部530驱动而绕支点522与第1臂部520一体移动的第2臂部524，使从保持打击部510的上述第1臂部的作用点到上述支点的第1距离L1长于从来自驱动部530的驱动力传递到第2臂部524上的力点到支点522的第2距离L2。

这样一来，在驱动部530的驱动力作用下驱动第2臂部524时的打击部510的移动速度增速，能够增大对滑动部514赋予的惯性力。因此，能够通过滑动部514增大对运送夹具30赋予的冲击力。

在此，如图9以及图10所示，第2臂部524沿着绕支点522的转动轨迹RT2移动。因此，作为驱动部的气缸530以缸筒531的后端由支点532支撑而转动自如，由气缸532驱动而进退的杆533经由支点534与第2臂部524相连。

另外，如上所述对本实施方式进行了详细说明，但本领域的技术人员能够容易理解可进行实体上不脱离本发明的新增事项以及效果的更多变形。因此，这种变形例也均包含在本发明的范围内。例如，在说明书或者附图中，至少能够将一度与更广义或者同义的不同用语一同记载的用语在说明书或者附图的各处置换成其不同的用语。而且本实施方式以及变形例的全部组合也包含在本发明的范围内。

Claims (5)

1.一种表面处理装置，其特征在于，具有：

导轨；

运送夹具，由上述导轨导向，沿着顺延于上述导轨的运送方向运送且保持工件；

表面处理槽，使用处理液对由上述运送夹具保持并连续运送的上述工件进行表面处理；

前处理槽，配置在上述表面处理槽的上述运送方向上游一侧，将由上述运送夹具保持并间歇运送的上述工件浸渍在与上述处理液不同的前处理液中进行处理；

振动赋予部，在上述前处理槽中对保持着浸渍在上述前处理液中的上述工件并停止的上述运送夹具赋予振动，使上述工件在上述前处理液中振动；

上述振动赋予部包括：打击上述运送夹具的打击部，保持上述打击部绕支点转动自如的第1臂部，驱动上述第1臂部绕上述支点在打击位置与待机位置之间往返转动的驱动部，和在上述打击位置与上述第1臂部抵接的止挡部；

上述打击部打击上述运输夹具，从在上述前处理液中振动的上述工件的表面或者孔部除去气泡。

2.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

上述运送夹具具有：由上述导轨导向的被导向部，保持上述工件为下垂状态的保持部，和连结上述被导向部与上述保持部的连结部，

上述振动赋予部对上述运送夹具的上述连结部赋予振动。

3.如权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

上述导轨在从上述表面处理槽以及上述前处理槽的上方离开的位置与从上述前处理槽朝向上述表面处理槽的方向平行地延伸设置，

上述运送夹具的上述连结部包括从上述被导向部一侧的基端部朝向自由端部水平方向延伸的水平部，和从上述水平部的上述自由端部朝向上述保持部下垂的下垂部，

上述振动赋予部对上述下垂部赋予振动。

4.如权利要求1至3中任一项所述的表面处理装置，其特征在于，

上述打击部包括固定在上述第1臂部上的固定部，和能够滑动地支撑在上述固定部上且在上述第1臂部与上述止挡部抵接而停止之际的惯性力作用下比上述固定部更向前方突出的滑动部，

上述滑动部打击上述运送夹具。

5.如权利要求4所述的表面处理装置，其特征在于，

上述振动赋予部还具有由上述驱动部驱动而绕上述支点与上述第1臂部一体移动的第2臂部，

从保持上述打击部的上述第1臂部的作用点到上述支点的第1距离长于从来自上述驱动部的驱动力传递到上述第2臂部上的力点到上述支点的第2距离。