KR101295249B1

KR101295249B1 - 표면처리장치

Info

Publication number: KR101295249B1
Application number: KR1020110077172A
Authority: KR
Inventors: 토모히로 노다; 시게유키 와타나베
Original assignee: 아루멕쿠스 피이 가부시키가이샤
Priority date: 2010-09-17
Filing date: 2011-08-03
Publication date: 2013-08-12
Also published as: KR20120030308A; JP5602553B2; JP2012062555A; CN105442027A; CN102409387A

Abstract

본 발명의 목적은 워크의 표면이나 구멍부의 내측에 부착된 기포를 물리적으로 제거하여 표면처리능력을 향상시키는 것이다.
워크(20)의 표면을 처리하는 표면처리장치는, 가이드 레일(201, 231∼235)과, 가이드 레일에 안내되고, 가이드 레일을 따른 반송방향(A)을 따라 반송되는 워크를 홀딩한 반송 지그(30)와, 반송 지그에 홀딩된 워크를 표면처리하는 표면처리조(200)와, 표면처리조보다 반송방향(A)의 상류측에 배치되며, 반송 지그에 홀딩된 워크를 처리액(290) 중에 침지해서 처리하는 전처리조(230A)와, 전처리조에서 처리액에 침지되는 워크를 홀딩한 반송 지그에 진동을 부여하여, 처리액 중에서 워크를 진동시키는 진동 부여부(500)를 가진다.

Description

표면처리장치{SURFACE TREATMENT DEVICE}

본 발명은 표면처리조(槽;tank)와 전처리조를 가지는 표면처리장치에 관한 것이다.

표면처리장치, 예를 들면 워크 표면을 도금처리하는 전해 도금처리장치로서, 도금조 내에서 회로 기판 등의 워크를 연속 반송하는 연속 도금처리장치가 알려져 있다. 워크는 급전(給電) 레일(가이드 레일)을 따라 반송되는 반송 지그에 수하(垂下)되어 홀딩된다. 워크는 급전 레일로부터 반송 지그를 통해 급전되면서 도금조 내부를 연속 반송된다. 도금조에는 음극이 되는 워크 반송 경로의 양측에 양극이 배치된다. 음극-양극간에 전계를 형성해서 도금액을 전기 분해하여 워크 표면을 도금한다.

여기서 도금조의 위쪽에 급전 레일을 배치한 구조(특허문헌 1)나, 도금조의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 도금조의 길이방향과 평행하게 급전 레일을 연장 설치한 구조가 알려져 있다(특허문헌 2). 특허문헌 2의 구조에서는 급전 레일상을 반송 지그가 슬라이딩할 때에 발생하는 분진이 도금조 내에 낙하 혼입되는 것을 방지할 수 있다.

워크는 전자기기나 반도체장치에 이용되는 기판 등으로서, 관통 구멍인 스루홀이나, 비(非)관통 구멍인 비어홀 등의 구멍부가 형성되는 경우가 있다. 표면처리장치는 이 구멍부들의 내측도 표면처리, 예를 들면 도금처리할 필요가 있다. 스루홀은 기판의 표리면을 도통(導通)시키는 관통 구멍이고, 비어홀은 내부 배선을 표층에 도통시키기 위한 비관통 구멍으로서, 구멍부의 내측을 도금 배선할 필요가 있기 때문이다.

이 구멍부들에 기포가 존재하면, 그 기포로 인해 구멍부의 내측이 표면처리되지 않는 문제가 지적되고 있다(특허문헌 3∼5).

일본국 특허공보 제3025254호 일본국 특허공보 제3591721호 일본국 공개특허공보 평11-350187호 일본국 공개특허공보 2004-111893호 일본국 공개특허공보 2008-308708호

특허문헌 3에서는 이류체 스프레이 노즐, 혹은 초음파를 이용해서 발생시킨 무화(霧化;automization)한 액체를 워크의 표면에 닿게 해서 미세구멍 내부를 적시고, 그 후에 도금처리하고 있다. 특허문헌 4에서는 음이온계 계면활성제를 첨가함으로써 표면 장력을 300∼600μN/cm로 한 수용액 중에 워크를 침지하면서 초음파를 인가함으로써, 워크의 비관통 구멍 내의 기포를 제거하고 있다. 특허문헌 5에서는 워크에 대한 표면 장력이 도금처리액보다 작은 전처리 용액에 워크를 침지하였는데, 전처리 용액은 미세 구멍의 내면과의 접촉각이 작기 때문에, 미세 구멍의 내면과 기포 사이에 전처리 용액이 진입해서, 미세 구멍의 내측에 충만해 있는 기포를 미세 구멍의 내면으로부터 이탈시키고 있다.

그러나 스루홀이나 비어홀 등의 구멍부의 직경은 더욱 미세화되는 등, 워크의 젖음성을 높이는 것 만으로는 구멍부의 내측에 들어간 기포를 제거하기가 더욱 곤란한 상황에 있다.

본 발명의 몇 가지 양태에서는 워크에 부착된 기포를 물리적으로 제거하여 표면처리능력을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 한 양태는,

가이드 레일과,

상기 가이드 레일에 안내되고, 상기 가이드 레일을 따른 반송방향을 따라 반송되는, 워크를 홀딩한 반송 지그와,

상기 반송 지그에 홀딩된 상기 워크를 표면처리하는 표면처리조와,

상기 표면처리조보다 상기 반송방향의 상류측에 배치되며, 상기 반송 지그에 홀딩된 상기 워크를 처리액 중에 침지해서 처리하는 전처리조와,

상기 전처리조에서 상기 처리액에 침지되는 상기 워크를 홀딩한 상기 반송 지그에 진동을 부여하여, 상기 처리액 중에서 상기 워크를 진동시키는 진동 부여부를 가지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 한 양태에 따르면, 전처리조에서 처리액에 침지되는 워크를 홀딩한 반송 지그에 진동을 부여하고 있다. 그로 인해, 처리액 중에서 워크가 진동된다. 그 결과, 워크에 부착되어 있던 기포를 워크로부터 제거할 수 있다. 워크에 부착된 기포란, 워크 표면에 부착된 기포를 포함한다. 따라서 본 발명은 반드시 구멍이 있는 워크에 한정되지 않는다. 워크의 표면에 기포가 부착되면, 그 부분의 표면처리능력이 떨어지기 때문이다. 이 밖에, 워크에 관통 또는 비관통의 구멍부가 형성되어 있을 경우에는 그 구멍부에 체류하고 있는 기포도 워크의 진동에 의해 구멍부로부터 배출된다. 또한 구멍부에서 제거된 기포가 워크 표면에 재부착되어도, 그 기포를 워크의 진동에 의해 워크 표면으로부터 제거할 수 있다. 이렇게 해서, 전처리로 워크에서 기포를 제거할 수 있으므로, 그 후의 표면처리 공정에서는 구멍부의 내면도 표면처리할 수 있다.

여기서 반송 지그에 홀딩되어 처리액 중을 반송 중인 워크에 진동을 부여해도 되지만, 처리액 중에서 정지 중인 워크이면, 반송 지그에 진동을 부여하기가 용이하다는 점에서 바람직하다. 워크가 처리액 중에서 진동되면, 워크의 표면이나 구멍부의 벽부의 규제로부터 해제된 기포는 부력이 작용하여 상승되므로, 기포를 워크로부터 물리적으로 배출시킬 수 있다. 한편 진동 부여부는 전처리조 외에, 후처리조에도 설치할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 반송 지그는 상기 가이드 레일에 안내되는 피(被)안내부와, 상기 워크를 수하 상태에서 홀딩하는 홀딩부와, 상기 피안내부와 상기 홀딩부를 연결하는 연결부를 가지며, 상기 진동 부여부는 상기 반송 지그의 상기 연결부에 진동을 부여할 수 있다.

피안내부는 가이드 레일에 걸어 맞춰져 있기 때문에 진동이 감쇠되기 쉽다. 홀딩부는 워크의 홀딩 상태가 진동에 의해 악영향을 받기 쉽다. 그 점은, 연결부라면 연결 기능이 유지되는 한 폐해는 없다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 가이드 레일은 상기 표면처리조 및 상기 전처리조의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 상기 전처리조에서 상기 표면처리조로 향하는 방향과 평행하게 연장 설치되고, 상기 반송 지그의 상기 연결부는 상기 피안내부측의 기단부(基端部)에서 자유단부를 향해 수평방향으로 연장되는 수평부와, 상기 수평부의 상기 자유단부에서 상기 홀딩부를 향해 수하되는 수하부를 포함하며, 상기 진동 부여부는 상기 수하부에 진동을 부여할 수 있다.

진동이 부여되는 수하부는 가이드 레일에 지지되는 피안내부의 기단부로부터 연장되는 수평부의 자유단부에 연결되어 있다. 이 때문에 외팔보(cantilever beam)의 자유단을 진동시키는 요령에 의해, 처리액 중에서 워크를 효과적으로 진동시킬 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 진동 부여부는 상기 반송 지그를 타격하는 타격부를 포함할 수 있다. 진동 부여에는 다양한 방법을 생각할 수 있는데, 진동 부여부의 타격부는 적어도 1회만 반송 지그를 타격함으로써 반송 지그에 진동을 부여할 수 있다. 특히 반송 지그의 연결부, 그 연결부 중에서도 추하부를 타격함으로써, 외팔보 구조의 반송 지그를 효과적으로 진동시킬 수 있다. 이 진동은 워크에 전달되므로 처리액 중에서 워크를 진동시킬 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 타격부는 상기 워크의 표면과 교차하는 방향으로 이동해서 상기 반송 지그를 타격할 수 있다. 바람직하게는, 타격부는 워크의 표면과 직교하는 방향으로 이동해서 반송 지그를 타격할 수 있다. 어느 경우이든, 워크의 양쪽 표면에는 처리액의 압력이 작용하므로, 처리액이 완충재가 되어 반송 지그에의 과도한 충격을 완화시킬 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 진동 부여부는 상기 타격부를, 지점(支點) 둘레에 회동(回動) 자유롭게 홀딩하는 제1 암부와, 상기 제1 암부를 상기 지점 둘레에서 타격위치와 대기위치로 왕복 회동 구동하는 구동부를 포함할 수 있다.

이와 같이, 타격부를 구동부에 의해 제1 암부를 통해서 회동시킴으로써, 타격부를 타격위치와 대기위치로 왕복 이동시킬 수 있다. 타격부가 대기위치에 있으면, 타격부는 반송 지그의 반송로와 간섭하지 않으므로 반송 지그를 반송로를 따라 반송할 수 있다. 반송 지그의 반송이 정지된 후에 타격부를 구동하면, 반송 지그를 타격할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 진동 부여부는 상기 타격위치에서 상기 제1 암부에 접촉하는 스톱퍼부를 더 포함할 수 있다.

이렇게 하면, 타격위치에서 타격부를 확실하게 정지시킬 수 있다. 스톱퍼부를 마련함으로써, 가령 반송 지그가 존재하지 않는 경우라도 타격부를 소정 위치에서 정지시킬 수 있어 안전성이 높아진다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 타격부는 상기 제1 암부에 고정된 고정부와, 상기 고정부에 슬라이딩 가능하게 지지되며, 상기 제1 암부가 상기 스톱퍼부에 접촉해서 정지되었을 때의 관성력으로 상기 고정부보다 전방으로 돌출되는 슬라이딩부를 포함하여, 상기 슬라이딩부가 상기 반송 지그를 타격해도 된다.

이와 같이, 슬라이딩부가 관성력으로 전방 이동하는 도중 또는 이동단(移動端)에 반송 지그가 존재하면, 슬라이딩부가 반송 지그에 충돌하여 반송 지그를 타격할 수 있다. 이렇게 함으로써 진동 부여력을 증대시킬 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 진동 부여부는 상기 구동부에 의해 구동되며, 상기 지점 둘레에 상기 제1 암부와 일체 이동하는 제2 암부를 더 가지며, 상기 타격부가 홀딩되는 상기 제1 암부의 작용점에서 상기 지점까지의 제1 거리를, 상기 구동부로부터의 구동력이 상기 제2 암부에 전달되는 역점(力點)에서 상기 지점까지의 제2 거리보다 길게 할 수 있다.

이렇게 하면, 구동부의 구동력으로 제2 암부를 구동했을 때의 타격부의 이동 속도가 빨라져, 슬라이딩부에 부여되는 관성력을 증대시킬 수 있다. 그로 인해, 슬라이딩부에 의해 반송 지그에 부여되는 충격력을 증대시킬 수 있다.

본 발명에 따르면, 워크에 부착된 기포를 물리적으로 제거하여 표면처리능력을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 연속 도금장치의 개략 평면도이다.
도 2는 도금조로의 반송 지그를 간헐 반송하고, 도금조 내에서 반송 지그를 연속 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 3은 전처리조의 일부에서 반송 지그를 간헐 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 4는 전처리조의 다른 일부에서 반송 지그를 간헐 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 5는 도금조의 개략 종단면도이다.
도 6은 반송 지그의 개략 사시도이다.
도 7은 전처리조와 진동 부여부를 나타내는 측면도이다.
도 8은 타격부가 대기위치에 있는 진동 부여부의 평면도이다.
도 9는 제1 암부가 스톱퍼부에 접촉하기 직전의 상태를 나타내는 진동 부여부의 평면도이다.
도 10은 제1 암부가 스톱퍼부에 접촉한 직후의 타격 상태를 나타내는 진동 부여부의 평면도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. 한편 이하에 설명하는 본 실시형태는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하는 것이 아니며, 본 실시형태에서 설명되는 구성 모두가 본 발명의 해결 수단으로서 필수라고는 할 수 없다.

1. 표면처리장치의 개요

도 1은 표면처리장치, 예를 들면 연속 도금처리장치의 평면도이다. 연속 도금처리장치(10)는 회로 기판 등의 워크(20)를 각각 홀딩하는 복수의 반송 지그(30)가, 도 1의 예를 들면 오른쪽으로 회전하는 순환반송방향(A)을 따라 순환 반송되는 순환반송로(100)를 가진다. 한편 도 1에서는 일부의 워크(20)나 일부의 반송 지그(30)의 도시가 생략되어 있다.

순환반송로(100)에는 복수의 반송 지그(30) 각각에 홀딩된 워크(20)를 표면처리 예를 들면 도금처리하는 도금조(넓은 의미로는 표면처리조)(200)와, 도금조(200)보다 순환반송로(100)의 상류에 마련되어 미처리 워크(20)를 복수의 반송 지그(30)에 반입하는 반입부(210)와, 도금조(200)보다 순환반송로(100)의 하류에 마련되어 처리 완료된 워크(20)를 복수의 반송 지그(30)로부터 반출하는 반출부(220)가 마련되어 있다.

순환반송로(100)는 제1 직선반송로(110)와, 제1 직선반송로(110)와 평행한 제2 직선반송로(120)와, 제1 직선반송로(110)의 한쪽 끝에서 제2 직선반송로(120)의 한쪽 끝으로 복수의 반송 지그(30) 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제1 회전장치(130)와, 제2 직선반송로(120)의 다른쪽 끝에서 제1 직선반송로(110)의 다른쪽 끝으로 복수의 반송 지그(30) 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제2 회전장치(140)를 가진다.

본 실시형태에서는, 도금조(200)는 제2 직선반송로(120)를 따라 마련되고, 반입부(210) 및 반출부(220)는 제1 직선반송로(110)에 마련되어 있다. 순환반송로(100)에는 도금조(200)의 상류측에 배치되는 전처리조군(230)과, 도금조(200)의 하류측에 배치되는 후처리조군(240)을 더 마련할 수 있다.

전처리조군(230)은 반입부(210)와 도금조(200) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 탈지조(230A), 온수세정조(230B), 물세정조(230C), 샤워조(230D) 및 산세정조(230E)를 배치함으로써 구성된다. 후처리조(240)는 도금조(200)와 반출부(220) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 샤워조(240A) 및 물세정조(240B)를 배치함으로써 구성된다. 한편 전처리조군(230) 및 후처리조군(240)의 수나 종류는 적절히 변경 가능하다. 또한 본 실시예의 장치에서는, 제1 회전장치(130)에 의해 회전되는 워크(20)는 회전 중에 샤워조(230D)에서 세정된다. 마찬가지로, 제2 회전장치(140)에 의해 회전되는 워크(20)는 회전 중에 샤워조(240A)에서 세정된다.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240)에서 반송 지그(30)는 간헐 반송된다. 이 때문에, 전처리조군(230) 및 후처리조군(240)에서는 반송 지그(30)를 반송 가이드하는 2종류의 가이드 레일이 마련된다. 하나는 동일 처리조 내에서 반송 지그(30)를 간헐 반송시키기 위한 고정 레일(232, 234, 235, 242, 243)이다. 다른 하나는 다른 처리조 사이에서, 칸막이벽을 넘어서 반송 지그(30)를 간헐 반송할 수 있는 승강 레일(231, 233, 236, 241)이다.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240)의 샤워조(230D, 240A) 이외의 제1, 제2 직선반송로(110, 120)에서는 이 2종류의 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 1 또는 복수개의 반송 지그(30)를 단위거리만큼 이동시키는 푸셔(pusher)에 의해 반송 지그(30)가 간헐 반송된다. 한편 간헐 반송동작에 대해서는 도 3 및 도 4를 이용해서 후술한다.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240) 중의 샤워조(230D, 240A)에서는 제1, 제2 회전장치(130, 140)에 의해 반송 지그(30)가 간헐 반송된다. 이 때문에, 제1 회전장치(130)는 일체적으로 회전 구동되는 2개의 회전 레일(131, 132)을 가지며, 제2 회전장치(140)는 일체적으로 회전 구동되는 2개의 회전 레일(141, 142)을 가진다.

예를 들면 제1 회전장치(130)에서는 2개의 회전 레일(131, 132) 중, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 한쪽에 반송 지그(30)를 지지하고, 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른쪽은 빈 상태로, 2개의 회전 레일(131, 132)을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동한다. 제2 회전장치(140)도 마찬가지이다. 제1, 제2 회전장치(130, 140)로 회전되는 반송 지그(30)에 홀딩된 워크(20)는 샤워조(230D) 또는 샤워조(240A)에서 샤워 세정된다. 이때, 샤워조(230D, 240A)에서는 워크(20)를 침지시키는 액을 수용할 필요가 없으므로 격벽이 있다고 해도 낮아도 되므로, 워크(20)의 수평 반송에 지장을 주지 않는다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제1, 제2 회전장치(130, 140)의 각각에 마련된 2개의 회전 레일(131, 132, 141, 142)의 각각은 정지위치에서, 제1, 제2 직선반송로(110, 120)의 양 끝에 각각 배치된 4개의 가이드 레일(234, 235, 242, 243)의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치된다.

도금조(200)에는 도금조(200)의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 도 1의 평면도에서 도금조(200)의 길이방향과 평행하게 연장 설치되는 급전 레일(넓은 의미로는 가이드 레일)(201)이 마련되어 있다. 급전 레일(201)에 지지되는 복수의 반송 지그(30)는 도금조(200) 내에 배치시켜 워크(20)를 각각 홀딩한다. 또한 복수의 반송 지그(30)를 급전 레일(201)을 따라 연속 반송시키는 연속 반송 수단(400)이 급전 레일(201)을 따라 마련된다. 한편 연속 반송동작에 대해서는 도 2를 이용해서 후술한다.

순환반송로(100)는 제1 직선반송로(110)의 반출부(220)에서 반입부(210)에 걸쳐, 지그 되돌리기 반송로(150)를 더 가진다. 지그 되돌리기 반송로(150)는 예를 들면 2개의 엔드리스(endless) 체인(151, 152)을 가진다. 지그 되돌리기 반송로(150)는 빈 상태의 반송 지그(30)를 반출부(220)에서 반입부(210)로 되돌리기 반송하는 기능과, 반입부(210)의 상류측에서 빈 상태의 반송 지그(30)를 대기시키는 기능을 가진다.

2. 반송 지그의 간헐 반송과 연속 반송

도 2는 도금조(200) 내에서의 반송 지그(30)의 연속 반송동작과, 산세정조(230E)와 도금조(200) 사이에서의 반송 지그(30)의 간헐 반송동작을 나타내고 있다. 도 2는 승강 레일(236)에 지지되어 있던 3개의 반송 지그(30) 중, 쇄선으로 나타내는 선두에 있는 반송 지그(30)가 승강 레일(236)로부터 급전 레일(201)상의 실선으로 나타내는 위치로 건네진 직후의 상태를 나타내고 있다.

도 2에서 승강 레일(236)은 승강 모터(250)의 구동에 의해 승강축(252)을 따라 승강할 수 있다. 이 승강 레일(236)은 4개의 반송 지그(30)를 지지할 수 있는 길이를 가지며, 실제 구동에서는 2개 또는 3개의 반송 지그(30)가 지지된다. 따라서, 적어도 1개의 반송 지그(30)를 지지하는 스페이스를, 비어 있는 스페이스로서 가지고 있다.

도 2의 상태에서 승강 레일(236)이 상승되기 전에, 샤워조(230D)에 있던 1개의 반송 지그(30)(도 2에서는 도시하지 않음)가 승강 레일(236)에 지지되도록 보내기 동작된다. 이렇게 해서, 3개의 반송 지그(30)를 탑재한 승강 레일(236)이 상승된다. 상승위치에는 상부 푸셔(260)가 배치되어 있다. 이 상부 푸셔(260)는 로드(rod)(262)에 3개의 보내기 피스(264)를 가진다. 로드(262)는 보내기 모터(266)에 의해 구동되는 보내기 볼 나사(268)에 의해 전후진 가능하다.

한편 승강 레일(236)에 지지된 3개의 반송 지그(30)의 각각에는 제1 구동편(320)이 고정되어 있다. 승강 레일(236)이 상승하면, 상부 푸셔(260)의 3개의 보내기 피스(264)의 전방에 3개의 제1 구동편(320)이 배치된다. 그 후 로드(262)를 전진시키면, 로드(262)와 함께 전진하는 3개의 보내기 피스(264)가 3개의 제1 구동편(320)을 눌러 동작시켜, 3개의 반송 지그(30)가 단위거리만큼 전진된다. 이렇게 해서, 선두에 있는 반송 지그(30)는 산세정조(230E)의 위쪽에서 도금조(200)의 위쪽으로 이동된다.

그 후, 승강 레일(236)이 하강된다. 그로 인해, 선두에 있는 반송 지그(30)는 도 2에서 쇄선으로 나타내는 바와 같이 도금조(200) 내에 배치된다. 이와 같이, 다른 처리조 사이의 격벽(237)을 넘기 위해, 승강 레일(236)과 상부 푸셔(260)를 이용해서 반송 지그(30)는 간헐 반송된다.

승강 레일(236)상에 지지된 선두에 있는 반송 지그(30)(쇄선으로 도시함)는 하부 푸셔(270)에 의해, 승강 레일(236)로부터 급전 레일(201)로 건네진다. 하부 푸셔(270)는 로드(272)에 지지된 보내기 피스(274)를 가진다. 한편 반송 지그(30)는 보내기 피스(274)에 접촉 가능한 제2 구동편(321)을 가지며, 승강 레일(236)상에 지지된 선두에 있는 반송 지그(30)의 제2 구동편(321)은 보내기 피스(274)의 전방에 배치된다. 그 후 로드(272)를 전진시키면, 로드(272)와 함께 전진하는 보내기 피스(274)가 제2 구동편(321)을 눌러 동작시켜, 반송 지그(30)가 단위거리만큼 화살표(A)방향으로 전진된다. 이렇게 해서, 선두에 있는 반송 지그(30)는 산세정조(230E)의 위쪽에서 도금조(200)의 위쪽으로 이동된다. 승강 레일(236)에서 급전 레일(201)로 건네진다.

이때, 로드(272)의 시퀀셜 제어에 의해, 로드(272)로 전진된 후행의 반송 지그(30)에 지지된 워크(20)는 급전 레일(201)상에서 저속도로 연속 반송 중인 선행의 반송 지그(30)에 지지된 워크(20)와 약간의 갭(G)만큼 떨어져서 배치된다. 갭(G)은 좁을수록 좋지만, 선행 및 후행의 워크(20)들의 간섭을 방지할 필요가 있어, 설계값으로서 10mm 또는 그 전후의 치수로 설정된다. 갭(G)이 크면 워크(20)의 양 끝에 전해가 집중되어, 이른바 도그 본(개 뼈)이라고 불리는 것과 같이 워크(20)의 양 끝에서의 도금 두께가 두꺼워져 면내 균일성을 확보할 수 없기 때문이다.

다음으로 도 3 및 도 4를 참조하여, 전처리조군(230)에서 반송 지그(30)를 간헐 반송하는 동작에 대하여 설명한다. 도 3 및 도 4에서도 도 2에서의 간헐 반송동작과 마찬가지로, 동일조 내에서만 이루어지는 간헐 반송동작은 하부 푸셔(280, 284, 286)와 고정 레일(232, 234, 235)을 이용해서 실시되고, 다른 조 사이에서 격벽(237)을 넘는 간헐 반송동작을 포함할 경우에는 상부 푸셔(282)와 승강 레일(233)을 이용해서 간헐 반송동작이 실시된다. 한편 도 4는 물세정조(230C)에서 산세정조(230E)까지를 전개한 도면으로서 나타냈지만, 샤워조(230D) 내에서의 간헐 반송은 고정 레일 대신에, 수평으로 회전되는 회전 레일(131) 또는 회전 레일(132)이 이용되고, 회전 레일(131(132))과 그 전후의 고정 레일(234, 235) 사이의 간헐 반송은 하부 푸셔(284, 286)에 의해 실시된다. 또한 후처리조군(240)에서의 간헐 반송동작에 대해서는 설명을 생략하지만, 상기와 마찬가지로 해서, 회전 레일(141, 142), 고정 레일(242, 243)과 도시하지 않은 하부 푸셔를 이용해서 실시된다.

3. 도금조

도 5는 도금조(200)의 개략 단면도이다. 도금조(200)는 상부가 개구된 프레임(202)을 가진다. 프레임(202) 내에는 2개의 양극 박스(203)가 대향되어 배치되고, 양극 박스(203) 내에는 소모품인 양극 볼(203A)이 수용된다. 2개의 양극 박스(203) 사이에는 2열의 노즐관(204)이 배치된다. 2열의 노즐관(204)의 각각에는 종렬로 복수의 노즐(204A)이 고정되며, 도금액을 워크(20)의 양면을 향해 분출할 수 있다. 2열의 노즐관(204)의 하단은 분배 배관(205)에 각각 고정되어 있다.

워크(20)의 양측에는 워크(20)를 반송 가이드하는 가이드 부재나, 워크(20)의 상하 단부를 마스크하는 마스크 부재를 마련할 수 있다. 또한 워크(20)의 전체 길이에 맞춰 가이드 부재 및 마스크 부재의 높이위치를 조정할 수 있다. 마스크 부재가 워크(20)의 상하 단부를 마스크함으로써, 워크(20)의 하단에 전계가 집중되어 도금 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.

4. 반송 지그

워크(20)를 홀딩하는 반송 지그(30)는 도 6에 나타내는 바와 같이, 피안내부(300), 연결부(330) 및 홀딩부(340)를 가진다. 피안내부(300)는 급전 레일(201)에 안내되는 부분이다. 홀딩부(340)는 워크(20)를 수하 상태에서 홀딩하는 부분이다. 연결부(330)는 피안내부(300)와 홀딩부(340)를 연결하는 부분이다.

여기서, 피안내부(300)를 안내하는 급전 레일(201)은 도 6에 나타내는 바와 같이, 종단면이, 상면(201A)과, 하면(201B)과, 도금조(200)측의 제1 측면(201C)과, 제1 측면(201C)과 대향하는 제2 측면(201D)을 가지는 직사각형 단면이다. 한편 급전 레일(201)의 형상은 도금조(200) 이외에서 반송 지그(30)를 간헐 반송하는 가이드 레일(고정 레일(232, 234, 235, 242, 243), 승강 레일(231, 233, 236, 241) 또는 회전 레일(131, 132, 141, 142))의 형상과 일치하고 있다.

연속 반송 수단(400)은 예를 들면 도 6에 나타내는 바와 같이, 체인(410)과, 체인(410)에 고정된 복수의 톱니 달린 블록(420)을 가진다.

피안내부(300)는 급전 레일(201)의 상면(201A)과 접촉하는 피(被)급전부(301)와, 급전 레일(201)의 제1 측면(201C)과 구름 접촉(轉接;rolling contact)하는 적어도 하나, 예를 들면 2개의 제1 롤러(302)와, 급전 레일(201)의 제2 측면(201D)과 구름 접촉하는 적어도 하나, 예를 들면 3개의 제2 롤러(303)와, 연속 반송 수단(400)의 톱니 달린 블록(420)에 맞물리는 피(被)맞물림부(304)를 가진다. 또한 급전 레일(201)의 하면(201B)에 구름 접촉하는 적어도 하나, 예를 들면 2개의 제3 롤러(305)를 마련할 수 있다. 이와 같이, 급전 레일(201)의 상면(201A)과 자중(自重)에 의해 접촉하는 피급전부(301)를 가지는 피안내부(300)는 급전 레일(201)의 양 측면(201C, 201D)을 끼우도록 구름 접촉하는 제1, 제2 롤러(302, 303)에 의해 급전 레일(201)에 안내된다. 또한 급전 레일(201)의 하면(201B)에 구름 접촉하는 제3 롤러(305)를 마련함으로써, 반송 지그(30)의 상하운동을 규제할 수 있다. 회전 레일(131, 132, 141, 142)도 급전 레일(201)과 동일 형상이므로, 이들 회전 레일에 반송 지그(30)를 홀딩한 회전 동작 중이라도, 반송 지그(30)는 수평방향 또는 상하방향으로 변동하지 않는다.

급전 레일(201)에 안내되는 피안내부(300) 자체에, 연속 반송 수단(400)의 톱니 달린 블록(420)과 맞물려서 피안내부(300)에 반송력을 작용시키는 피맞물림부(304)를 마련하였으므로, 피안내부(300)는 급전 레일(201)상을 원활하게 반송된다. 이 피안내부(300)에는 도 6에 나타내는 바와 같이, 상술한 제1, 제2 구동편(320, 321)과, 반송 지그(30)의 유무를 센싱하기 위한 피(被)검출편(제2 피검출부)(322)이 마련되어 있다.

반송 지그(30)의 연결부(330)는 도 6에 나타내는 바와 같이, 서로 격리되어 배치되는 피안내부(300)와 홀딩부(340)를 연결하는 것이다. 본 실시형태에서는 반송 지그(30)가 도 6에 나타내는 형상을 가짐으로써, 연결부(330)를 가짐으로써, 도 5에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(30)의 피안내부(300)를 안내하는 급전 레일(201)을 도금조(200)의 위쪽에서 벗어난 위치로 할 수 있다. 이로 인해 피안내부(300)가 급전 레일(201)을 슬라이딩했을 때에 발생하는 분진이 도금조(200)에 낙하하는 일이 없다. 본 실시형태에서는, 연결부(330)는 피안내부(300)측의 기단부에서 자유단부를 향해 수평방향으로 연장되는 수평부(331)와, 수평부(331)의 자유단부에서 홀딩부(340)를 향해 수하되는 수하부(332)를 가진다.

연결부(330)의 수평부(331)는 도 1에 나타내는 되돌리기 반송로(150)의 2개의 체인(151, 152)상에 얹혀, 반송 지그(30)가 되돌리기 반송로(150)를 따라 되돌리기 반송된다.

홀딩부(340)는 도 6에 나타내는 바와 같이 워크(20)의 상부를 척(chuck)하는 복수개 예를 들면 3개의 척부(341)를 가진다. 폭이 넓은 워크(20)를 홀딩할 수 있도록, 표준 장비 또는 옵션으로서, 3개의 척부(341)의 양측에 가동(可動) 척부를 마련할 수 있다. 가동 척부는 워크(20)의 폭에 맞춰 슬라이드 이동 가능하게 할 수 있다.

5. 전처리조와 진동 부여부

5.1. 전처리조

상술한 대로, 본 실시형태의 전처리조군(230)은 도금조(200)의 상류측에, 탈지조(230A), 온수세정조(230B), 물세정조(230C), 샤워조(230D) 및 산세정조(230E)를 가지고 있다. 이 중, 이하에서 설명하는 진동 부여부(500)가 배치되는 전처리조는 워크(20)를 처리액 중에 침지해서 처리하는 전처리조이며, 샤워조(230D)를 제외한 조(230A, 230B, 230C, 230E) 중 적어도 하나이다. 이 중에서 어느 하나에 진동 부여부(500)를 마련한다면, 바람직하게는 계면활성제를 포함하는 처리액이 사용되는 조, 예를 들면 탈지조(230A)이다. 이하, 전처리조(230A)로서 설명하지만, 탈지조(230A) 이외의 다른 전처리조(230B, 230C, 230E) 중 어느 하나에 진동 부여부(500)를 마련하는 경우에도 마찬가지이다. 진동 부여부(500)는 전처리조에 더하여, 처리액을 사용하는 후처리조(240B)에도 설치할 수 있다.

5.2. 진동 부여부의 역할

도 7은 전처리조(230A)에서 처리액에 침지되는 워크(20)를 홀딩한 반송 지그(30)에 진동을 부여하여, 처리액(290) 중에서 워크(20)를 진동시키는 진동 부여부(500)를 나타내고 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 전처리조(270A)에 반입된 반송 지그(30)는 도 1에 나타내는 가이드 레일(승강 레일 또는 고정 레일)(231 또는 232)상에서 예를 들면 정지 중에, 진동 부여부(500)로부터 진동이 부여된다. 그로 인해, 처리액(290) 중에서 워크(20)가 진동된다.

처리액(290) 중에서 워크(20)를 진동시키면, 워크(20)의 표면에 부착되어 있던 기포는 워크(20)로부터 물리적으로 제거된다. 워크(20)에 스루홀(관통 구멍) 또는 비어홀(비관통 구멍) 등의 구멍부가 형성되어 있는 경우에는, 그 구멍부에 체류해 있는 기포와, 워크(20)의 구멍부의 상대위치가 진동 주기에 따라 변화된다. 워크(20)의 구멍부는 워크(20)와 일체로 진동하는 데 반해, 기포에는 부력에 의한 상승력이 부여되기 때문이다. 이렇게 해서, 구멍부의 벽부의 규제로부터 해제된 기포는 부력이 작용하여 상승되므로, 기포를 구멍부 내부로부터 물리적으로 배출시킬 수 있다. 워크(20)의 구멍부에서 제외되어 워크(20)의 표면에 재부착된 기포도, 워크(20)의 진동에 의해 물리적으로 워크(20)의 표면으로부터 제거된다. 처리액(290) 중의 계면활성제는 워크(20)의 표면이나 구멍부에 처리액을 접촉하기 쉽게 하여, 상술한 기포의 제거 작용을 촉진할 수 있다.

이와 같이, 전처리조(230A)에서 워크(20)의 표면이나 구멍부로부터 기포를 제거할 수 있으므로, 그 후의 도금조(200)에서의 도금 공정(표면처리 공정)에서는 워크(20)의 표면이나 구멍부의 내면도 도금처리(표면처리)할 수 있다. 이렇게 해서, 워크(20)의 표면의 일부나 구멍부에 도금이 없는 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 한편 반송 지그(30)에 홀딩되어 처리액(290) 중을 반송 중인 워크에 진동을 부여해도 되지만, 처리액(290) 중에서 정지 중인 워크(20)이면, 반송 지그(30)에 진동을 부여하기가 용이하다는 점에서 바람직하다. 나아가, 워크(20)의 굽힘 강성이 낮으면, 처리액(290) 중에서 반송 중에 워크(20)가 진동하면, 반송에 수반되어 워크(20)에 작용하는 액압(液壓)이 증대되어, 워크(20)가 구부러지는 등의 변형을 초래할 우려가 있다. 이러한 점에서도, 처리액(290) 중에서 정지 중인 워크(20)를 진동시키는 것이 바람직하다.

5.3. 반송 부재에 진동을 부여하는 부위

다음으로 진동 부여부(500)가 반송 지그(30)에 진동을 부여하는 부위에 대하여 설명한다. 상술한 대로, 반송 지그(30)는 가이드 레일(승강 레일 또는 고정 레일)(231 또는 232)에 안내되는 피안내부(300)와, 워크(20)를 수하 상태에서 홀딩하는 홀딩부(340)와, 피안내부(300)와 홀딩부(340)를 연결하는 연결부(330)를 포함한다. 본 실시형태에서는, 진동 부여부(500)는 반송 지그(30)의 연결부(330)에 진동을 부여하고 있다. 피안내부(300)는 가이드 레일(고정 레일)(231 또는 232)에 걸어 맞춰져 있기 때문에 진동이 감쇠되기 쉽다. 홀딩부(340)는 워크(20)의 홀딩 상태가 진동에 의해 악영향을 받기 쉽다. 그 점은, 연결부(300)라면 연결 기능이 유지되는 한 폐해는 없다.

여기서 본 실시형태에서는 도 1 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 가이드 레일(승강 레일 또는 고정 레일)(231 또는 232)은 전처리조(230A)의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 반송 지그(30)의 반송방향과 평행하게 연장 설치되어 있다. 이 때문에, 반송 지그(30)의 연결부(300)는 상술한 대로, 피안내부(300)측의 기단부에서 자유단부를 향해 수평방향으로 연장되는 수평부(331)와, 수평부(331)의 자유단부에서 홀딩부(340)를 향해 수하되는 수하부(332)를 가지고 있다. 이 경우, 진동 부여부(500)는 도 7에 나타내는 바와 같이 수하부(332)에 진동을 부여할 수 있다.

여기서, 진동이 부여되는 수하부(332)는 도 7에 나타내는 바와 같이, 가이드 레일(승강 레일 또는 고정 레일)(231 또는 232)에 지지되는 피안내부(300)의 기단부로부터 연장되는 수평부(331)의 자유단부에 연결되어 있다. 이 때문에, 외팔보의 자유단을 진동시키는 요령에 의해, 처리액(290) 중에서 워크(20)를 효과적으로 진동시킬 수 있다.

한편 상술한 대로, 처리조와 가이드 레일의 위치 관계로서, 상술한 특허문헌 1과 같이, 처리조의 위쪽에 가이드 레일을 배치하는 것도 있다. 본 발명은 특허문헌 1의 배치 구조에도 적용할 수 있다. 이 경우에도 반송 지그는 상술한 것과 동일한 기능을 가지는 피안내부, 홀딩부 및 연결부를 가지는데, 이 경우의 연결부는 수평부(331)를 갖지 않고 수하부(332)만으로 형성된다. 따라서 진동 부여부(500)는 반송 지그의 연결부(수하부)에 진동을 부여할 수 있다.

5.4. 진동 부여부의 진동 부여 방식

본 실시형태의 진동 부여부(500)는 도 7에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(30)를 타격하는 타격부(510)를 포함할 수 있다. 진동 부여에는 다양한 방법을 생각할 수 있지만, 진동 부여부(500)의 타격부(510)는 적어도 1회만 반송 지그(30)를 타격함으로써 반송 지그(30)에 진동을 부여할 수 있다. 특히 반송 지그(30)의 연결부(330), 그 연결부(330) 중에서도 수하부(332)를 타격함으로써, 외팔보 구조의 반송 지그(30)를 효과적으로 진동시킬 수 있다. 이 진동은 워크(20)에 전달되므로, 처리액(290) 중에서 워크(20)를 진동시킬 수 있다.

여기서 타격부(510)는 도 7에 나타내는 바와 같이 워크(20)의 표면과 교차하는 방향(B), 바람직하게는 워크(20)의 표면과 직교하는 방향(B)으로 이동해서 반송 지그(30)를 타격할 수 있다. 이렇게 하면, 워크(20)의 양쪽 표면은 처리액(290)의 압력이 작용하므로, 처리액(290)이 완충재가 되어 반송 지그(30)에의 과도한 충격을 완화시킬 수 있다. 따라서 반송 지그(30)를 타격해도, 그 타격력의 대부분은 처리액(290)이 받아들일 수 있어 반송 지그(30)의 파손이 방지된다. 바꿔 말하면, 워크(20)의 표면과 평행한 방향으로는 타격하지 않는 것이 바람직하다. 이 경우에는 처리액(290)이 완충재로서 기능하는 것을 기대할 수 없기 때문이다. 단, 진동 효과는 크므로, 워크(20)의 표면과 평행한 방향으로 타격하는 것을 부정하는 것은 아니다.

5.5. 진동 부여부의 구동 방식

도 8∼도 10은 진동 부여부(500)의 평면도이며, 각각이 진동 부여부(500)의 다른 상태를 나타내고 있다. 도 8은 타격부(510)의 대기위치를 나타내고, 도 9 및 도 10은 타격부(510)가 대기위치에서 타격위치를 향해 이동한 상태를 나타내고 있다.

도 8∼도 10에 나타내는 바와 같이, 진동 부여부(500)는 타격부(510)를, 지점(522)의 둘레에 회동 자유롭게 홀딩하는 제1 암부(520)와, 제1 암부(520)를 지점(522)의 둘레에서 타격위치와 대기위치로 왕복 회동 구동하는 구동부 예를 들면 에어 실린더(530)를 가질 수 있다. 이와 같이, 타격부(510)를 구동부(530)에 의해 제1 암부(520)를 통해 회동시킴으로써, 타격부(510)를 타격위치와 대기위치로 왕복 이동시킬 수 있다. 타격부(510)가 대기위치에 있으면 타격부(510)는 반송 지그(30)의 반송방향(A)(반송로(100))과 간섭하지 않으므로, 반송 지그(30)를 반송방향(A)(반송로(100))을 따라 반송할 수 있다. 반송 지그(30)의 반송이 정지된 후에 타격부(510)를 구동하면, 반송 지그(30)를 타격할 수 있다.

여기서 진동 부여부(500)는 타격위치에서 제1 암부에 접촉하는 스톱퍼부(540)를 더 포함할 수 있다. 이렇게 하면, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이 반송 지그(30)의 반송방향(A)과 타격부(510)가 교차 예를 들면 직교하는 타격위치에서, 타격부(510)를 확실하게 정지시킬 수 있다. 스톱퍼부(540)는 제1 암부(520)에 접촉해서 타격부(510)를 정지시킬 수 있다. 스톱퍼부(510)를 마련함으로써, 가령 반송 지그(30)가 존재하지 않는 경우라도 타격부(510)를 소정 위치에서 정지시킬 수 있어 안전성이 높아진다.

에어 실린더(530)에 의해 회동되는 제1 암부(520)에 홀딩된 타격부(510)는 도 8에 나타내는 회동 궤적(RT1)을 따라 이동한다. 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이 반송 지그(30)의 반송방향(A)과 타격부(510)가 예를 들면 직교하는 위치에서 타격부(510)를 정지시키기 위해 스톱퍼부(540)를 마련하고 있다. 이로 인해, 타격부(510)는 도 7에 나타내는 바와 같이 워크(20)의 표면과 교차하는 방향(B), 바람직하게는 워크(20)의 표면과 직교하는 방향으로 이동해서 반송 지그(30)를 타격할 수 있다.

여기서 스톱퍼부(540)를 단순히 정지시키는 기능에만 한정하지 않고, 타격부(510)의 일부에 관성력을 부여하기 위해 이용할 수도 있다. 이를 위해, 타격부(510)는 도 8∼도 10에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(520)에 고정된 고정부(512)와, 고정부(512)에 슬라이딩 가능하게 지지되어, 제1 암부(520)가 스톱퍼부(540)에 접촉해서 정지되었을 때의 관성력으로 고정부(512)보다 전방으로 돌출되는 슬라이딩부(514)를 포함할 수 있다. 이 경우, 슬라이딩부(514)가 반송 지그(30)를 타격하게 된다.

타격부(510)가 대기위치에 있는 도 8과, 타격부(510)가 스톱퍼부(540)에 의해 정지되기 직전의 상태를 나타내는 도 9에서는 슬라이딩부(514)는 후퇴위치에 있다. 타격부(510)가 스톱퍼부(540)에 의해 정지되면 고정부(512)도 정지되는데, 도 10에 나타내는 바와 같이 슬라이딩부(514)는 관성력에 의해 전방으로 이동한다. 도 10의 위치에서 도 8의 위치로 타격부(510)가 이동하고, 제1 암부(520)가 이동 정지되면, 슬라이딩부(514)는 관성력에 의해 도 8에 나타내는 본래 위치로 복귀된다.

여기서, 축형상의 고정부(512)의 선단에는 플랜지부(512A)를 형성할 수 있다. 한편 축형상의 고정부(512)가 삽입 통과되는 통형상의 슬라이딩부(514)에는 계단식 구멍(stepped hole)을 형성할 수 있다. 슬라이딩부(514)는 고정부(512)의 플랜지부(512A)가 계단식 구멍의 단차면(段差面)과 걸어 맞춰질 때까지 전방으로 돌출된다. 도 9의 위치에서 도 10의 위치로 슬라이딩부(514)가 전방 이동하는 도중 또는 이동단에 반송 지그(30)가 존재하면, 슬라이딩부(514)가 반송 지그(30)에 충돌하여 반송 지그(30)를 타격할 수 있다. 이렇게 함으로써 진동 부여력을 증대시킬 수 있다.

한편 도 8에 나타내는 대기위치에 타격부(510)가 존재하는 것을 검출하는 센서(550)를 마련할 수 있다. 이 센서(550)는 예를 들면 빛 또는 용량값의 변화에 의해 비접촉으로 검출할 수 있는데, 접촉식이어도 된다. 센서(550)로 타격부(510)를 검출하는 공정을, 타격부(510)의 구동 시퀀스에 포함할 수 있다.

본 실시형태에서는, 진동 부여부(500)는 도 10에 나타내는 바와 같이, 구동부(530)에 의해 구동되어, 지점(522)의 둘레에 제1 암부(520)와 일체 이동하는 제2 암부(524)를 더 가지며, 타격부(510)가 홀딩되는 상기 제1 암의 작용점에서 상기 지점까지의 제1 거리(L1)를, 구동부(530)로부터의 구동력이 제2 암부(524)에 전달되는 역점에서 지점(522)까지의 제2 거리(L2)보다 길게 할 수 있다.

이렇게 하면, 구동부(530)의 구동력으로 제2 암부(524)를 구동했을 때의 타격부(510)의 이동 속도가 빨라져, 슬라이딩부(514)에 부여되는 관성력을 증대시킬 수 있다. 그로 인해, 슬라이딩부(514)에 의해 반송 지그(30)에 부여되는 충격력을 증대시킬 수 있다.

여기서 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 제2 암부(524)는 지점(522)의 둘레의 회동 궤적(RT2)을 이동한다. 그래서 구동부인 에어 실린더(530)는 실린더(531)의 후단이 지점(532)에 회동 자유롭게 지지되고, 실린더(532)에 의해 진퇴 구동되는 로드(533)는 지점(534)을 통해 제2 암부(524)와 연결되어 있다.

한편 상기와 같이 본 실시형태에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명의 신규사항 및 효과로부터 실체적으로 일탈하지 않는 많은 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 용이하게 이해될 것이다. 따라서 이러한 변형예는 모두 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 한다. 예를 들면 명세서 또는 도면에서 적어도 1회, 보다 넓은 의미 또는 같은 의미의 다른 용어와 함께 기재된 용어는 명세서 또는 도면의 어떠한 부분에서도 그 다른 용어로 바꿀 수 있다. 또한 본 실시형태 및 변형예의 모든 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

20 워크
30 반송 지그
100 순환반송로
200 표면처리조(도금조)
201 가이드 레일(급전 레일)
231∼236 가이드 레일(고정 레일 또는 승강 레일)
300 피안내부
330 연결부
331 수평부
332 수하부
340 홀딩부
500 진동 부여부
510 타격부
520 제1 암부
522 지점
524 제2 암부
530 구동부(에어 실린더)
540 스톱퍼부

Claims

가이드 레일과,
상기 가이드 레일에 안내되고, 상기 가이드 레일을 따른 반송방향을 따라 반송되는, 워크를 홀딩한 반송 지그와,
상기 반송 지그에 홀딩된 상기 워크를 표면처리하는 표면처리조(槽;tank)와,
상기 표면처리조보다 상기 반송방향의 상류측에 배치되며, 상기 반송 지그에 홀딩된 상기 워크를 처리액 중에 침지해서 처리하는 전처리조와,
상기 전처리조에서 상기 처리액에 침지되는 상기 워크를 홀딩한 상기 반송 지그에 진동을 부여하여, 상기 처리액 중에서 상기 워크를 진동시키는 진동 부여부를 가지고,
상기 진동 부여부는,
상기 반송 지그를 타격하는 타격부와,
상기 타격부를 지점 둘레에 회동(回動) 자유롭게 홀딩하는 제1 암부와,
상기 제1 암부를, 상기 지점 둘레에서 타격위치와 대기위치로 왕복 회동 구동하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제1항에 있어서,
상기 반송 지그는,
상기 가이드 레일에 안내되는 피(被)안내부와,
상기 워크를 수하(垂下) 상태에서 홀딩하는 홀딩부와,
상기 피안내부와 상기 홀딩부를 연결하는 연결부를 가지며,
상기 진동 부여부는 상기 반송 지그의 상기 연결부에 진동을 부여하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제2항에 있어서,
상기 가이드 레일은 상기 표면처리조 및 상기 전처리조의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 상기 전처리조에서 상기 표면처리조로 향하는 방향과 평행하게 연장 설치되고,
상기 반송 지그의 상기 연결부는,
상기 피안내부측의 기단부(基端部)에서 자유단부를 향해 수평방향으로 연장되는 수평부와,
상기 수평부의 상기 자유단부에서 상기 홀딩부를 향해 수하되는 수하부를 포함하며,
상기 진동 부여부는 상기 수하부에 진동을 부여하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 타격부는 상기 워크의 표면과 교차하는 방향으로 이동해서 상기 반송 지그를 타격하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 진동 부여부는,
상기 타격위치에서 상기 제1 암부에 접촉하는 스톱퍼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제7항에 있어서,
상기 타격부는,
상기 제1 암부에 고정된 고정부와,
상기 고정부에 슬라이딩 가능하게 지지되며, 상기 제1 암부가 상기 스톱퍼부에 접촉해서 정지되었을 때의 관성력으로 상기 고정부보다 전방으로 돌출되는 슬라이딩부를 포함하고,
상기 슬라이딩부가 상기 반송 지그를 타격하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
제8항에 있어서,
상기 진동 부여부는,
상기 구동부에 의해 구동되며, 상기 지점 둘레에 상기 제1 암부와 일체 이동하는 제2 암부를 더 가지며,
상기 타격부가 홀딩되는 상기 제1 암부의 작용점에서 상기 지점까지의 제1 거리가, 상기 구동부로부터의 구동력이 상기 제2 암부에 전달되는 역점에서 상기 지점까지의 제2 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 표면처리장치.