CN213266750U - 镀覆装置 - Google Patents

镀覆装置 Download PDF

Info

Publication number
CN213266750U
CN213266750U CN202021828665.9U CN202021828665U CN213266750U CN 213266750 U CN213266750 U CN 213266750U CN 202021828665 U CN202021828665 U CN 202021828665U CN 213266750 U CN213266750 U CN 213266750U
Authority
CN
China
Prior art keywords
plating
conveying
workpiece
long workpiece
vertical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202021828665.9U
Other languages
English (en)
Inventor
金井孝一
伊藤善昭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitomo Semicon Engineering Corp
Original Assignee
Mitomo Semicon Engineering Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitomo Semicon Engineering Corp filed Critical Mitomo Semicon Engineering Corp
Priority to CN202021828665.9U priority Critical patent/CN213266750U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN213266750U publication Critical patent/CN213266750U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Chemically Coating (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种镀覆装置,该镀覆装置于电解镀覆或无电解镀覆的任一者的镀覆处理中均可适用,适合长条工件且通用性高。本实用新型具备:水平搬送部,将通过卷出装置卷出的长条工件一边水平搬送一边进行镀覆前处理;工件形态变更部,将从水平搬送部送出的长条工件的形态从水平状态变更成垂直状态;垂直搬送部,具有无端环链搬送机构及镀覆槽,该无端环链搬送机构设有多个把持成为垂直状态的长条工件的上方端的搬送用夹具,该镀覆槽用以对垂直状态的长条工件进行镀覆处理;以及卷取部,将从垂直搬送部送出的镀覆处理后的长条工件卷取回收。

Description

镀覆装置
技术领域
本实用新型有关于对长条工件进行镀覆处理的镀覆装置,特别是有关于一种于电解、无电解的镀覆处理的任一者均可适用且通用性高的镀覆装置。
背景技术
近年来,智能型手机、移动电话或液晶电视等各式各样的电子机器中,由于要求小型轻量化、薄型化等,多利用有FPC(可挠式印刷线路板)等电子构件。
如FPC般的电子构件是在绝缘性的基材膜(base film)贴合有铜箔等导电性材料的基材,且具有长条状的形态(以下,单称为长条工件)。对这样的长条工件施以镀覆处理或蚀刻处理等加工,制造所期望的电子构件。
这样的长条工件的镀覆处理,已知有将卷成卷筒状的长条工件,使用所谓被称为“卷对卷(roll-to-roll)”方式的镀覆装置或垂直搬送方式的镀覆装置进行镀覆处理,该镀覆方法利用电解镀覆或无电解镀覆。
卷对卷方式的镀覆装置是通过使长条工件通过多个卷筒而连续地于镀覆槽水平搬送,而对长条工件进行镀覆处理。此外,垂直搬送方式的镀覆装置是一种具有可将卷出的长条工件保持成垂直状态且可在镀覆槽的中央位置配置垂直状态的长条工件的机构的设备,其中,是保持垂直状态的长条工件的上端部,将比所保持的上端部更下方侧的工件部分,以通过镀覆槽内的方式垂直搬送来进行镀覆处理。这两种方式的镀覆装置随着所谓水平搬送与垂直搬送方式的不同,有各别的优点。因此,现况为,所利用的镀覆装置,是考量要进行电解镀覆或无电解镀覆的任一者的镀覆处理,或者考量长条工件的特性等,而选择任一方式的镀覆装置。例如,进行无电解镀覆处理的情况,若是为卷对卷方式的镀覆装置,由于卷筒配置在镀覆槽内,故会发生对卷筒进行无电解镀覆处理的情形。因此,无电解镀覆处理的情况中难以采用卷对卷方式。
实用新型内容
[创作所欲解决的课题]
以这样的事情作为背景,本实用新型的目的在于提供一种镀覆装置,该镀覆装置于电解镀覆或无电解镀覆的任一者的镀覆处理中均可适用,适合长条工件且通用性高。
[解决课题的手段]
为解决上述课题,本实用新型的发明人们创作出一种组合有水平搬送部分的设备与垂直搬送部分的设备而成的卷对卷方式的镀覆装置,该水平搬送部分的设备在进行将通过卷出装置卷出的长条工件接合的处理之际将长条工件设为水平状态,且将长条工件设为水平状态直到镀覆前处理为止,该垂直搬送部分的设备将长条工件设为垂直状态而进行镀覆处理。本实用新型有关于一种镀覆装置,具备:水平搬送部,将通过卷出装置卷出的长条工件一边水平搬送一边进行镀覆前处理;工件形态变更部,将从水平搬送部送出的长条工件的形态从水平状态变更成垂直状态;垂直搬送部,具有无端环链搬送机构及镀覆槽,该无端环链搬送机构设有多个把持成为垂直状态的长条工件的上方端的搬送用夹具,该镀覆槽用以对垂直状态的长条工件进行镀覆处理;以及卷取部,将从垂直搬送部送出的镀覆处理后的长条工件卷取回收。
本实用新型的镀覆装置为在进行镀覆前处理的部分中将长条工件以水平状态搬送的镀覆装置。也就是,本实用新型的镀覆装置的水平搬送部采用卷对卷方式。而且,在进行镀覆处理的部分采用将长条工件设为垂直状态而在镀覆槽内以垂直状态搬送的垂直搬送方式。因此,在本实用新型的镀覆装置中,是于水平搬送部与垂直搬送部之间设有将长条工件的形态从水平状态变更成垂直状态的工件形态变更部。
于本实用新型的镀覆装置中的工件形态变更部,其机构并无特别限制,而以在将长条工件从水平状态变更成垂直状态之际不会产生皱折或弯折等的方式设置。例如,可通过使水平状态(0°)的长条工件依续通过成为45°倾斜的2根滚筒,而变更成垂直状态(90°)。
依据本实用新型的镀覆装置,就镀覆方式而言,可采用电解镀覆或无电解镀覆的任一者的方法。在电解镀覆的情况,可在把持长条工件的上方端的搬送用夹具设置通电机构,且于镀覆槽内配置电极,据此变得可进行电解镀覆处理。另一方面,与电解镀覆相比,进行无电解镀覆的情况需要较长的镀覆处理时间,但可通过将镀覆槽的长度变长来对应。即便在该无电解镀覆的情况,于本实用新型的镀覆装置中,也在无电解镀覆处理之际将长条工件设为垂直状态而在镀覆槽内以垂直状态搬送,故可以仅对长条工件进行无电解镀覆处理。
本实用新型的镀覆装置较优选设为:镀覆槽为并联地设有两槽,并设为可与垂直搬送方向垂直地水平移动,且控制无端环链搬送机构的升降而替换使用于镀覆处理的镀覆槽。虽然会因为镀覆处理而使镀覆液的浓度产生变化,但是,预先将镀覆槽两槽并联地设置,且在未使用于镀覆处理的镀覆槽投入新的镀覆液而预先准备,则在因为镀覆液的浓度变化而需要交换镀覆液的情况,可控制无端环链搬送机构的升降而使长条工件从镀覆槽上升脱离,并使投入有新的镀覆液的镀覆槽水平移动,据此,可使镀覆液交换所伴随的作业有效率地进行。另外,本实用新型的镀覆装置也可另外设有镀覆液调整槽等,且对于镀覆槽循环供给投入于镀覆液调整槽的新的镀覆液或镀覆液浓度调整溶液等,以进行镀覆液浓度的控制。
[创作的效果]
依据本实用新型的镀覆装置,在对长条工件进行镀覆处理的情况,无论是电解镀覆或无电解镀覆的任一者的镀覆处理均可适用。
附图说明
图1为本实用新型的镀覆装置的平面概略图。
图2为本实用新型的镀覆装置的水平搬送部的侧面概略图。
图3为本实用新型的镀覆装置的垂直搬送部的侧面概略图。
图4为本实用新型的镀覆装置的卷取部的侧面概略图。
附图标记说明
1:水平搬送部
2,2’:工件形态变更部
3:垂直搬送部
4:卷取部
10:卷出装置
11:碱性脱脂
12:软蚀刻以及水洗
13:空气刀干燥
20,21,20’,21’:特殊滚筒
30:无端环链搬送机构
31:酸洗
32:钯催化剂处理槽
33,33’:无电解镍镀覆处理槽
34:无电解金镀覆处理槽
35:防锈处理槽
36:空气刀
37:干燥
40:卷取卷筒
301:无端环链
302:搬送用夹具
W:长条工件。
具体实施方式
以下,说明本实用新型的镀覆装置的较优选实施方式。图1至图4中,所显示的是于本实施方式中的镀覆装置的平面概略图(图1)以及图1所示的镀覆装置各部的侧面概略图(图2至4)。
图1所示的镀覆装置由水平搬送部1、工件形态变更部2、垂直搬送部3、及卷取部4所构成。此外,本实施方式所示的镀覆装置为以可将2根长条工件同时进行镀覆处理的方式设置。在该水平搬送部1中,是从装设于卷出装置10的长条工件W送出长条工件,以水平状态通过卷筒,藉以进行镀覆前处理。就镀覆前处理而言,能够以依次行碱性脱脂11、软蚀刻以及水洗12、空气刀干燥13的方式设计(图2)。另外,本实施方式所示的镀覆装置中,水平搬送部、垂直搬送部、卷取部虽然并未配置在一直线上,但也可将其配置在一直线上,也可配合装置设置空间来配置。
完成水平搬送部1的空气刀干燥13的长条工件W送出至工件形态变更部2。工件形态变更部2具备特殊滚筒20、21。特殊滚筒20以从水平面倾斜45°的状态设置,特殊滚筒21以从特殊滚筒20的倾斜面进一步倾斜45°的状态设置。从水平搬送部1以水平状态送出的长条工件W会通过特殊滚筒20、21而据此使形态从水平状态变更成垂直状态。此外,在该特殊滚筒20、21,可通过EPC(对边控制器,Edge Position Controller)感测器控制长条工件W的搬送状态。
成为垂直状态的长条工件W被送出至垂直搬送部3,通过垂直搬送部3的无端环链搬送机构30的搬送用夹具302,把持垂直状态的长条工件W的上端部(图3)。该无端环链搬送机构30在接续于驱动用的AC伺服马达的链轮中组合有无端环链301,且搬送用夹具302以一定的间隔配置于无端环链301。该无端环链301被保持在可控制上下左右的位置精度的轨条(未图示),可使其一部分上下(或左右)地变动。此外,为了对应垂直搬送的长条工件产生震动的情况,轨条内设有辅助驱动(未图示)。而且,该无端环链搬送机构30装设有升降机构,可上下移动无端环链搬送机构全体。
在被搬送用夹具302把持上端部的长条工件W的下方设有无电解镀覆用的处理设备(图1)。该处理设备依照垂直搬送方向的顺序设有酸洗31、钯催化剂处理槽32、无电解镍镀覆处理槽33、33’、无电解金镀覆处理槽34、防锈处理槽35、空气刀36、干燥37。虽然图示有所省略,但各步骤间在必要之处设有水洗。
在钯催化剂处理槽32,设为进行镀覆、钯活性化处理、后浸渍处理(post dip)。此外,为了确保无电解镍镀覆的处理时间,镍镀覆处理槽33、33’是使用将垂直搬送方向的镀覆处理槽设计为较长而形成的处理槽。镍镀覆处理槽33与镍镀覆处理槽33’为并联地配置,可与垂直搬送方向垂直地进行水平移动(图1的两箭头方向)。
经无电解镍镀覆处理的长条工件W被搬送至无电解金镀覆处理槽34,经无电解金镀覆处理,而在防锈处理槽35通过有机系处理剂施以封孔处理。然后,经过空气刀36、干燥37,送出至卷取部4。
于垂直搬送部3经无电解镍-金镀覆处理的长条工件W,会通过与设在水平搬送部1与垂直搬送部3之间的工件形态变更部2为相同结构的工件形态变更部2’,据此从垂直状态变成水平状态,而搬送至卷取部4。设为水平状态的长条工件会通过多个卷筒,卷取于卷取卷筒40。于该卷取部4,也通过EPC(对边控制器,Edge Position Controller)感测器控制长条工件W的搬送状态。
使用本实施方式所示的镀覆装置,且使用市面贩卖的无电解镍镀覆液以及无电解金镀覆液进行无电解镍-金镀覆处理。就长条工件而言,使用宽250mm,总厚度90μm(导电性金属35μm、基材膜55μm)的FPC。搬送速度在300mm至3000mm/min的范围,配合目标镀覆厚度进行调整。其结果,没有皱折的产生或镀覆不均等问题,可对长条工件的FPC进行无电解镍-金镀覆处理。另外,本实施方式的镀覆装置中,虽然是设为可处理2条(2根)长条工件的结构,但也可设为处理1条(1根)长条工件的结构。

Claims (2)

1.一种镀覆装置,其特征在于具备:
水平搬送部,将通过卷出装置卷出的长条工件一边水平搬送一边进行镀覆前处理,
工件形态变更部,将从水平搬送部送出的长条工件的形态从水平状态变更成垂直状态;
垂直搬送部,具有无端环链搬送机构及镀覆槽,该无端环链搬送机构设有多个把持成为垂直状态的长条工件的上方端的搬送用夹具,该镀覆槽用以对垂直状态的长条工件进行镀覆处理;以及
卷取部,将从垂直搬送部送出的镀覆处理后的长条工件卷取回收。
2.根据权利要求1所述的镀覆装置,其特征在于,
镀覆槽为并联地设有两槽,并设为能够与垂直搬送方向垂直地水平移动,
通过控制无端环链搬送机构的升降,能够替换进行镀覆处理的镀覆槽。
CN202021828665.9U 2020-08-27 2020-08-27 镀覆装置 Active CN213266750U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202021828665.9U CN213266750U (zh) 2020-08-27 2020-08-27 镀覆装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202021828665.9U CN213266750U (zh) 2020-08-27 2020-08-27 镀覆装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN213266750U true CN213266750U (zh) 2021-05-25

Family

ID=75979514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202021828665.9U Active CN213266750U (zh) 2020-08-27 2020-08-27 镀覆装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN213266750U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101917848B1 (ko) 석션 도금장치
WO2014045370A1 (ja) 対基板作業機、および装着方法
KR20100112345A (ko) 인쇄회로기판의 비접촉 웨트처리 반송방법
CN213266750U (zh) 镀覆装置
CN114916143A (zh) 具有连续制程的舱体系统
JP4677216B2 (ja) 平板形状物の表面処理装置
JP6737527B2 (ja) 表面処理装置
JP2004332019A (ja) 化学処理装置
TWM606113U (zh) 鍍覆裝置
KR20220000608U (ko) 도금장치
JP3173836U (ja) 板状被処理物に付着する酸素ガス泡の除去手段を備えた水平電解メッキ装置
TWM616703U (zh) 具有連續製程之艙體系統
JP4893696B2 (ja) 電子部品実装用装置および電子部品実装用装置における基板搬送方法
JP6115309B2 (ja) 化学処理装置
TWI782416B (zh) 具有連續製程之艙體系統
JP3754262B2 (ja) 表面処理装置
CN214544956U (zh) 具有连续制程的舱体系统
JP4721861B2 (ja) 搬送用ハンガーおよびその搬送方法
JP5279810B2 (ja) 平板形状物の表面処理装置
JP2020012131A (ja) エッチング装置、エッチング方法及びプリント配線板の製造方法
KR102506259B1 (ko) 수직 연속형 설비의 클램프 이송장치
KR102351289B1 (ko) 지그장치가 필요없는 롤투롤 방식의 fpcb기판 처리장치
KR102660750B1 (ko) 비접촉 수직 연속식 무전해 도금 및 플래시 도금 장치
JP5630657B2 (ja) 化学処理装置
KR20230150457A (ko) 수직 롤투롤 연속 전기도금 제조장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant