JP5829385B2 - 表面処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、被処理物に電気めっきなどの表面処理を施すための表面処理装置に関するものである。

従来から、例えばプリント基板などの被処理物に電気めっきを施すための表面処理装置が知られている（例えば特許文献１）。この表面処理装置は、前処理、めっき処理、洗浄などの各種処理を前記被処理物に施すための複数の処理槽と、前記被処理物を保持する複数の搬送用ハンガーと、各搬送用ハンガーを前記複数の処理槽に順次案内するための複数のレールと、各レールに沿って搬送用ハンガーを搬送する搬送機構とを備えている。

通常、前記表面処理装置は、複数の搬送用ハンガーを繰り返し使用するために、各搬送用ハンガーが一回りしてスタート位置に戻るように前記複数のレールが連続的に環状に配設された構造を備えている。また、前記複数のレール及び複数の処理槽が配設される領域の省スペース化を図るために、レールは平面視で細長い環形状となるように、互いに略平行に延びる二本の直線状の領域と、これらの領域の両端部において前記二本の直線状の領域をつなぐ一対の円弧状の領域とを備えている（特許文献１の図１）。

前記搬送用ハンガーは、例えば、被処理物を保持する複数のクランパーと、前記レールに係合する走行部本体とを備えている。この搬送用ハンガーは、レールに沿った移動時やレールの昇降時に、ぐらつかずに安定して走行する必要があるので、前記走行部本体とレールとの係合部分の隙間は、ある程度小さく設計されている。

特許第３７５３９５３号公報

しかしながら、上記したように直線状のレールと円弧状のレールとが混在する表面処理装置において、搬送用ハンガーが円弧状のレールに沿って走行する時には、直線状のレールに沿って走行する時と比べて、前記走行部本体とレールとの係合部分の係合状態に差異が生じる。すなわち、搬送用ハンガーが円弧状のレールを走行する時には、直線状のレールを走行する時と比べて、走行部本体と摩擦する部分が大きくなりやすいので、搬送用ハンガーの移動時の円滑性が低下することがある。

そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送用ハンガーの移動時の円滑性を向上させることができる表面処理装置を提供することにある。

本発明の表面処理装置は、被処理物に表面処理を施すためのものである。前記表面処理装置は、前記被処理物に対して複数の処理を段階的に施すために、前記複数の処理の順番に配列された複数の処理部と、前記複数の処理部の配列に沿って配置されたガイドレールと、前記被処理物を保持可能であり、かつ、前記ガイドレールに係合した状態で前記複数
の処理部の前記配列に沿った搬送方向に移動可能な搬送用ハンガーと、前記搬送用ハンガーを前記搬送方向に移動させる搬送機構と、を備えている。前記ガイドレールは、前記複数の処理部のうちの一部の配列に沿って配置された直線状の第１レール部と、前記複数の処理部のうちの他の一部の配列に沿って配置された直線状の第２レール部と、少なくとも２つのレールを含む可動レール部と、を有する。前記可動レール部の各レールは、直線状の形状を有し、かつ、前記第１レール部における前記搬送方向の下流側の端部に隣接して前記第１レール部と直線状に並ぶ第１位置、及び前記第２レール部における前記搬送方向の上流側の端部に隣接して前記第２レール部と直線状に並ぶ第２位置を取り得るように構成されている。前記搬送機構は、前記第１位置と前記第２位置との間で回動軸回りの円弧軌道に沿って前記可動レール部の前記少なくとも２つのレールを移動させるための回動搬送機構を含む。前記少なくとも２つのレールは、これらのうちの１つのレールが前記第１位置にあるときに別の１つのレールが前記第２位置にあるように、前記円弧軌道において互いに等間隔に配置されている。前記第１レール部における前記下流側の端部及び前記第２レール部における前記上流側の端部はそれぞれ傾斜面であり、これらに隣接する前記可動レールの各レールの端部は、各レールにおいて水平方向の寸法が前記回動軸側である内側の方が外側よりも大きくなるように傾斜した傾斜面であり、前記第１レール部の前記傾斜面とこれに隣接する前記レールの前記傾斜面とが略平行であり、前記第２レール部の前記傾斜面とこれに隣接する前記レールの前記傾斜面とが略平行である。

この構成では、前記回動搬送機構が前記可動レール部を前記第１位置と前記第２位置との間で前記円弧軌道に沿って移動させることができる。前記可動レール部は、直線状の形状を有し、前記第１位置においては前記第１レール部の下流側端部に隣接して前記第１レール部と直線状に並び、前記第２位置においては前記第２レール部の上流側端部に隣接して直線状に並ぶ。したがって、前記搬送用ハンガーは、第１レール部の下流側端部から第２レール部の上流側端部に移動するまでの間、直線状のレール（すなわち、第１レール部、可動レール部及び第２レール部）に沿って移動することができる。これにより、従来の表面処理装置において円弧状のガイドレールに沿って搬送用ハンガーが走行するときのような摩擦が生じるのを抑制できるので、搬送用ハンガーの移動時の円滑性を向上させることができる。

また、前記表面処理装置は、前記可動レール部を前記円弧軌道に沿って移動させるときに前記搬送用ハンガーを前記可動レール部に対して固定し、前記搬送用ハンガーを前記可動レール部から前記第２レール部に移動させるときに前記固定を解除するハンガー固定機構をさらに備えているのが好ましい。

前記可動レール部が前記円弧軌道に沿って移動する際には前記搬送用ハンガーに遠心力などが働くので搬送用ハンガーに揺れが生じる場合があるが、この構成では、前記円弧軌道に沿った移動時にハンガー固定機構により搬送用ハンガーを可動レール部に対して固定することにより、搬送用ハンガーを安定して移動させることができる。また、移動後には、搬送用ハンガーを可動レール部から第２レール部に移動させるために前記固定を解除することができる。

また、前記表面処理装置は、前記円弧軌道に沿って移動している前記可動レール部を所定の停止位置において停止させるために前記可動レール部の位置を検知可能なセンサをさらに備えているのが好ましい。

この構成では、前記センサを備えているので、可動レール部を前記停止位置に停止させる位置精度を向上させることができる。

また、前記センサは、前記可動レール部の前記停止位置を検知するための停止センサと、前記可動レール部が前記停止位置よりも上流側の所定位置に到達したことを検知して、前記可動レール部の移動速度を減速するための減速センサと、を含んでいるのが好ましい。

この構成では、前記停止位置において可動レール部を停止させる前に、前記可動レール部が前記停止位置よりも上流側の前記所定位置に到達したことを前記減速センサにより検知して、前記可動レール部が前記停止位置に到達する前に前記可動レール部の移動速度を予め減速しておくことができる。これにより、前記可動レール部を前記停止位置において停止させる位置精度をさらに向上させることができる。

また、前記搬送機構は、予め定められたピッチ毎に前記搬送用ハンガーを前記ガイドレールに沿って移動させるための間欠搬送機構をさらに含み、前記間欠搬送機構は、前記ガイドレールに並設され、前記ガイドレールに略平行に延びる並設部材と、前記並設部材に前記ピッチ毎に配列されて前記並設部材に固定され、前記搬送用ハンガーに当接可能なプッシャーと、一端が前記並設部材に固定されたアームと、前記アームの他端が固定された回動軸を有するモータと、を有しているのが好ましい。

この構成では、前記モータの駆動に連動して搬送用ハンガーをガイドレールに沿って１ピッチ毎に正確に移動させることができる。

また、前記表面処理装置は、前記複数の処理部のうちの少なくとも１つに対応する位置における前記ガイドレールに対して、ショックを付与するためのレールショック機構をさらに備えているのが好ましい。

この構成では、前記複数の処理の１つとして、例えば水洗処理、水切り処理などの処理を行う場合に、前記レールショック機構によってガイドレールにショックを付与してこのガイドレールを介して搬送用ハンガーに振動を与えることができる。これにより、水洗処理や水切り処理の処理効果を高めることができる。

前記表面処理装置は、前記被処理物を保持するために前記搬送用ハンガーに設けられた保持部を洗浄するための保持部洗浄機構をさらに備え、前記保持部は、一対のクランプレバーと、一方のクランプレバーを他方に対して回動可能に連結する支軸と、一対のクランプレバーが閉状態となる方向に一対のクランプレバーを付勢する付勢部材とを含み、前記保持部洗浄機構は、前記複数の処理部のうちの少なくとも１つに対応する位置に設けられており、前記一対のクランプレバーが開状態となる方向に前記一方のクランプレバーを押圧可能な押圧機構を有しているのが好ましい。

この構成では、前記押圧機構によって保持部を開状態にすることができるので、前記閉状態のままで洗浄する場合と比較して保持部を洗浄する効果を高めることができる。

以上説明したように、本発明によれば、搬送用ハンガーの移動時の円滑性を向上させることができる。

本発明の第１実施形態に係る表面処理装置の概略構造を示す側面図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 第１実施形態に係る表面処理装置における搬送用ハンガーを示す側面図である。 （Ａ）は、図３のＶＩＡ−ＶＩＡ線断面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線断面の概略図であり、レールとガイド輪との位置関係を示している。 第１実施形態に係る表面処理装置における間欠搬送機構を示す側面図である。 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。 （Ａ）は、第１実施形態に係る表面処理装置の可動レール部及びその周辺の構造を示す平面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＩＸＢ−ＩＸＢ線断面図である。（Ｃ）は、（Ａ）の二点鎖線の丸で囲んだ部分を拡大した平面図である。 （Ａ）は、図９（Ｂ）のＸＡ−ＸＡ線断面図である。（Ｂ）は、図９（Ｂ）の一部を拡大した断面図である。 （Ａ）は、図２のＸＩ−ＸＩ線断面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＸＩＢ−ＸＩＢ線断面図である。 図３のＸＩＩ−ＸＩＩ線断面図である。 本発明の第２実施形態に係る表面処理装置の可動レール部及びその周辺の構造を示す平面図である。 参考例に係る表面処理装置の可動レール部及びその周辺の構造示す平面図である。 比較例としての表面処理装置におけるレールとガイド輪との位置関係を示す図である。

以下、本発明の実施形態に係る表面処理装置について図面を参照しながら詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
（表面処理装置の全体構造）
図１及び図２に示す第１実施形態に係る表面処理装置は、例えば電気めっき用途に用いられる。この表面処理装置としての電気めっき装置１００は、搬送用ハンガー２１を位置（ａ）からアルファベットの順に位置（ｚ）に至るまで順次搬送し、各位置において後述する動作や処理を行うことにより、複数のワーク（被処理物）Ｗに電気めっきを連続的に施すことができる。

電気めっき装置１００は、環状に配列された複数の処理部１〜１１と、これらの処理部１〜１１の配列に沿って配置された複数のレールを含むガイドレールと、ワークＷを保持した状態で前記ガイドレールに案内される複数の搬送用ハンガー２１と、これらの搬送用ハンガー２１を前記ガイドレールに沿って移動させる搬送機構とを備えている。これらの各構成要素は、図略の制御部により制御される。複数の処理部１〜１１は、ローダー１と、処理槽２〜７と、アンローダー８と、処理槽９，１０と、エアブロワ１１とを含む。

電気めっき装置１００は、各搬送用ハンガー２１が一回りしてスタート位置に戻るように、前記ガイドレールが連続的に環状に配設されている。前記ガイドレールの下方には、ガイドレールに沿って複数の処理槽が配列されている。

図２において、位置（ａ）〜位置（ｚ）は、搬送用ハンガー２１が配置される１ピッチ毎の位置を示している。各ワークＷは、位置（ａ）に配設されたローダー１により搬送用ハンガー２１に取り付けられ、位置（ｂ）から位置（ｓ）までの各位置に配設された後述する各処理槽において所定の処理が施された後、位置（ｔ）に配設されたアンローダー８により搬送用ハンガー２１から取り外される。

（処理槽）
前記複数の処理槽は、位置（ｂ）の水洗槽２と、位置（ｃ）〜（ｆ）の前処理槽３と、位置（ｇ）の水洗槽４と、位置（ｈ）〜（ｐ）のめっき槽５と、位置（ｑ）の水洗槽６と、位置（ｒ）〜（ｓ）の水切り槽７と、位置（ｕ）〜（ｗ）の剥離槽９と、位置（ｘ）の水洗槽１０と、を備えている。位置（ｚ）には、エアブロワ１１が配設されている。

前処理槽３にはワークＷを前処理するための前処理液が貯留される。めっき槽５にはワークＷに対してめっき処理するためのめっき液が貯留される。剥離槽９には搬送用ハンガー２１に付着しためっき等の異物を剥離するための剥離液が貯留される。

水洗槽２，４，６，１０には水洗用の水がそれぞれ貯留される。水洗槽２では、搬送用ハンガー２１及びワークＷの表面に付着した異物などを除去する。水洗槽４では、搬送用ハンガー２１及びワークＷの表面に付着した前処理液を洗浄する。水洗槽６では、搬送用ハンガー２１及びワークＷの表面に付着した表面処理液（本実施形態ではめっき液）を洗浄する。水洗槽１０では、搬送用ハンガー２１の表面に付着した剥離液を洗浄する。

水切り槽７では、水洗槽６において水洗された搬送用ハンガー２１及びワークＷの表面に付着した水分を除去する。この場合、水切り槽７内において、例えば搬送用ハンガー２１及びワークＷの表面に空気を吹き付けることにより、前記水分が効率よく除去できる。エアブロワ１１は、水洗槽１０において水洗された搬送用ハンガー２１に空気を吹き付けて、この搬送用ハンガー２１の表面に付着した水分を除去する。

（ガイドレール）
図２〜図４に示すように、前記ガイドレールは、Ａ列に沿って直列に並ぶ複数のレールを含む第１レール部と、Ｂ列に沿って直列に並ぶ複数のレールを含む第２レール部と、円弧軌道上に沿って並ぶ４つのレール２１４を含む可動レール部１４と、円弧軌道上に沿って並ぶ４つのレール２１７を含む可動レール部１７とを含む。

第１レール部と第２レール部は、所定の間隔をあけて略平行に対向して配置されており、それぞれ直線状に延びている。第１レール部は、位置（ａ）〜（ｆ）及び位置（ｕ）〜（ｚ）に沿って配設されている。第２レール部は、位置（ｈ）〜（ｓ）に沿って配設されている。

第１レール部は、剥離槽固定レール１８と、剥離槽昇降レール１９と、ロード側固定レール２０と、ロード側昇降レール１２と、前処理槽固定レール１３とを含み、これらが搬送方向Ｒに沿ってこの順に直線状に配列されている。第２レール部は、めっき槽固定レール１５と、アンロード側昇降レール１６とを含み、これらが搬送方向Ｒに沿ってこの順に直線状に配列されている。各レールは、略水平方向に延設されている。

前処理槽固定レール１３、めっき槽固定レール１５、剥離槽固定レール１８及びロード側固定レール２０は、所定高さの下位置において固定された固定レールである。図４は図１のＩＶ−ＩＶ線断面図であるので、図４には前記固定レールのみが描かれている。

例えば、前処理槽固定レール１３が配置された前記下位置は、図１に示すように、搬送用ハンガー２１に保持されたワークＷを前処理槽３内の前処理液に浸漬可能な程度の高さに調整されている。他の固定レール１５，１８，２０についても同様に、これらが配置された下位置は、各工程においてワークＷ又は搬送用ハンガー２１が各処理槽内において所定の処理が施せる高さに調整されている。本実施形態では、全ての固定レールの高さは、ほぼ同じである。

ロード側昇降レール１２、可動レール部１４、アンロード側昇降レール１６、可動レール部１７及び剥離槽昇降レール１９は、後述する昇降機構３１により昇降可能な昇降レールである。これらの昇降レールは、前記下位置と、所定高さの上位置との間を昇降する。

例えば、ロード側昇降レール１２は、前記下位置において、搬送方向Ｒ及びその反対方向にそれぞれ隣り合う前処理槽固定レール１３及びロード側固定レール２０とほぼ同じ高さであり、これらがほぼ直列に並ぶ。これにより、ロード側昇降レール１２は、固定レール１３，２０と間で搬送用ハンガー２１の受け渡しをすることができる。

一方、ロード側昇降レール１２の前記上位置では、図１に示すように、ワークＷの下端部が水洗槽２の上端部よりも高い位置にあり、搬送用ハンガー２１が搬送方向Ｒに搬送される際にワークＷが水洗槽２の仕切り壁に接触しない程度の高さに調整されている。他の昇降レール２１４，２１７，１６，１９についても同様に、これらの上位置は、対応する処理槽と搬送時に接触しない高さに調整されている。本実施形態では、全ての昇降レールは、図１に示すように前記下位置及び上位置がほぼ同じ高さに設定されており、後述する昇降機構３１により一体的に昇降動作する。

各レールは、厚み（横寸法）よりも高さ（縦寸法）の方が長い矩形状の断面を有するとともに（例えば図６（Ａ）のレール１５参照）、図３に示すように搬送方向Ｒに延びる板状の部材である。各固定レールは、図略のフレームに支持されている。また、各昇降レールは、後述する昇降フレームに支持されている。可動レール部１４，１７の詳細については後述する。

（搬送用ハンガー）
図５は搬送用ハンガー２１を示す側面図であり、図６（Ａ）は、図３のＶＩＡ−ＶＩＡ線断面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線断面図である。図５及び図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、搬送用ハンガー２１は、各レールに沿って走行する走行部１０７と、ワークＷを保持する矩形状のワーク保持枠１０９と、このワーク保持枠１０９と走行部１０７をつなぐ吊持部材１０８と、を含む。以下、搬送用ハンガー２１については、めっき槽固定レール１５に吊り下げられた状態を例に挙げて説明する。

図３に示すように、Ｂ列の第２レール部のうち、めっき槽固定レール１５の内側には、めっき槽固定レール１５に沿ってチェーンベルト３９が並設されている。このチェーンベルト３９は、図略の一対の駆動スプロケットなどに環状に巻かれ、図略のモータの駆動により周回移動可能である。また、図６（Ａ）に示すように、めっき槽固定レール１５の外側には、めっき槽固定レール１５に沿って、図略の直流電源の陰極側に接続された給電レール１０４が並設されている。

図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、走行部１０７は、レール１５の上端面にスライド可能に載置された走行部本体１１３と、この走行部本体１１３の上端部に支持されたスプロケットギヤ１１４と、走行部本体１１３の上端部に回動可能に支持され、搬送方向Ｒに並ぶ一対の上側ガイド輪１１５と、走行部本体１１３の下端部に回動可能に支持され、搬送方向Ｒに並ぶ一対の下側ガイド輪１１６と、給電レール１０４に上側から当接する集電用摺接子１１７と、を備えている。

図５及び図６（Ａ）に示すように、スプロケットギヤ１１４は、走行部本体１１３の上部から突出する突出部１１３ａに支軸１１４ａを介して回動可能に支持されている。スプロケットギヤ１１４は、チェーンベルト３９に噛み合うと共に、矢印Ｒ１方向のみの回転が可能なワンウエイクラッチが設けられており、矢印Ｒ２方向の回転がロックされている。すなわち、チェーンベルト３９が矢印Ｒ（搬送用ハンガー２１の搬送方向Ｒ）に移動する時には、スプロケットギヤ１１４の回転がロックされることにより、チェーンベルト３９と共に搬送用ハンガー２１が矢印Ｒ方向に移動する。一方、搬送用ハンガー２１が、第１位置決め搬送機構２４により位置（ｈ）から位置（ｉ）へ送られるとき及び取込搬送機構２６により位置（ｏ）から位置（ｐ）へ送られるときには、スプロケットギヤ１１４が矢印Ｒ１方向に空転するので、搬送用ハンガー２１は、チェーンベルト３９とは連動しない。

集電用摺接子１１７は、回動支軸１１８回りに回動可能に支持されると共に、ばね１１９で回動支軸１１８回りに下方に付勢され、給電レール１０４の上面に一定の圧力で接触している。

図６（Ａ）に示すように、レール１５と給電レール１０４とは、互いに平行に配置されると共にそれぞれ支持部材１０３ａ，１０３ｂを介して断面Ｃ字状の軌道基台１０５に支持されている。この軌道基台１０５は、図略のフレームに支持されている。

軌道基台１０５の上壁及び下壁の上面には、チェーンガイド１０５ａがそれぞれ設けられており、各チェーンガイド１０５ａにチェーンベルト３９の上側部分と下側部分とがそれぞれガイドされている。上側のチェーンベルト３９にスプロケットギヤ１１４が噛み合っている。

図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、上側ガイド輪１１５は、レール１５の上端部に、レール１５の内側から当接している。下側ガイド輪１１６は、レール１５の下端部に、レール１５の外側から当接している。これにより、搬送用ハンガー２１が搬送方向Ｒに搬送される際には、上側ガイド輪１１５及び下側ガイド輪１１６が回転しながらレール１５に当接するので、搬送用ハンガー２１が安定して支持されるとともに、円滑に搬送される。

チェーンベルト３９、このチェーンベルト３９を周回移動させる前記モータ、及びスプロケットギヤ１１４は、後述する搬送機構のうちのめっき槽側搬送機構２５を構成している（図３）。

吊持部材１０８は、走行部本体１１３から略水平に外側に延びると共に前端部が折れ曲って下方に延びている。吊持部材１０８の基端側の下面に設けられた摺接子支持板１２１には、摺接子１１７用の回動支軸１１８が支持されている。下方に延びた吊持部材１０８の下端部には、ワーク保持枠１０９の上端部が連結されている。

図５に示すように、ワーク保持枠１０９は、略水平に搬送方向Ｒに延びる上側横桟１３１と、この上側横桟１３１から下方に所定間隔をおいた位置に上側横桟１３１と略平行に延びる下側横桟１３２と、これらの横桟１３１，１３２の端部同士を連結する一対の縦桟１３３，１３３とを含む縦長の矩形状を有している。

上側横桟１３１と、一対の縦桟１３３，１３３とは、導電性を有する金属（例えば銅、ステンレス鋼など）により形成されている。下側横桟１３２は、非導電性材料（例えば硬質塩化ビニル樹脂（ＣＶＰＣ）など）により形成されている。

上側横桟１３１には、その両端部と中央部に、ワークＷの上端部を把持してワークＷに給電する三本の上側クランパー（保持部）１４０が下方に突出した状態で設けられている。各上側クランパー１４０は、上側横桟１３１を介して給電用摺接子１１７に電気的に接続されている。

下側横桟１３２には、その両端部に、ワークＷの下端部を把持して給電する一対の下側クランパー（保持部）１４１が上方に突出した状態で設けられている。各下側クランパー１４１は、給電板１４９を介して縦桟１３３に電気的に接続されている。

図６（Ａ）に示すように、上側クランパー１４０は、一対のクランプレバー１４０ａと、一方のクランプレバー１４０ａを他方に対して回動可能に連結する支軸１４０ｂと、一対のクランプレバー１４０ａが閉状態（クランプ状態）となる方向に一対のクランプレバー１４０ａを付勢するばね１４０ｃとを含む。内側のクランプレバー１４０ａは、上側横桟１３１に固定されている。外側のクランプレバー１４０ａは、その上端部が内側に押されることにより支軸１４０ｂを中心に回動する。これにより、一対のクランプレバー１４０ａの下端部が開く。下側クランパー１４１については、上側クランパー１４０と上下方向の向きが反対である他は同様の構成を有しているので説明を省略する。

（フレームの構成）
次に、電気めっき装置１００において、前述した昇降レールや後述する搬送機構を支える土台となるフレームの構成について説明する。図１に示すように、電気めっき装置１００は、一対のガイド柱８４及びガイド柱８５を有している。これらのガイド柱８４，８５は、Ａ列の第１レール部とＢ列の第２レール部との間に配置されている。ガイド柱８４は、可動レール部１４側の位置に設けられており、ガイド柱８５は、可動レール部１７側の位置に設けられている。これらのガイド柱８４，８５は、断面が四角形の鋼管であり、下端部が地面に固定され、鉛直方向上方に延びている。

ガイド柱８４の上端部とガイド柱８５の上端部には、これらの間に架け渡された上部水平フレーム９０が固定されている。また、上部水平フレーム９０よりも下方には、ガイド柱８４及びガイド柱８５に沿って上下移動可能な昇降フレームが配設されている。

図３に示すように、前記昇降フレームは、第１レール部側の位置にこの第１レール部に沿って略水平に延びる下部水平フレーム７８ａと、第２レール部側の位置にこの第２レール部に沿って略水平に延びる下部水平フレーム７８ｂとを含む。下部水平フレーム７８ａと下部水平フレーム７８ｂは、水平方向に対向するように互いにほぼ平行に配置されており、水洗槽４側の端部においてガイド柱８４を挟み、アンローダー８側の端部においてガイド柱８５を挟む位置に配置されている。

下部水平フレーム７８ａにおける水洗槽４側の端部近傍の側面には、レール１３側に略水平に突出する一対の延設部７８１が固定されている。下部水平フレーム７８ａにおけるアンローダー８側の端部近傍の側面には、レール１９側に略水平に突出する一対の延設部７８２が固定されている。延設部７８１と延設部７８２の間の下部水平フレーム７８ａの側面には、レール１２側に略水平に突出する一対の延設部７８３が固定されている。

下部水平フレーム７８ｂにおける水洗槽４側の端部近傍の側面には、レール１５側に略水平に突出する一対の延設部７８４が固定されている。下部水平フレーム７８ｂにおけるアンローダー８側の端部近傍の側面には、レール１６側に略水平に突出する一対の延設部７８５が固定されている。

一対の延設部７８２の先端部には、レール１９に沿って搬送方向Ｒに延びるフレーム７３が固定されている。レール１９は、このフレーム７３に固定されて支持されている。一対の延設部７８３の先端部には、レール１２に沿って搬送方向Ｒに延びるフレーム８１が固定されている。レール１２は、このフレーム８１に固定されて支持されている。一対の延設部７８５の先端部には、レール１６に沿って搬送方向Ｒに延びるフレーム７４が固定されている。レール１６は、このフレーム７４に固定されて支持されている。

図３及び図９（Ａ）に示すように、延設部７８２の上面には、フレーム９３ａの一端部が固定されている。このフレーム９３ａは、前記一端部から下部水平フレーム７８ａと略平行にアンローダー８側に延び、ガイド柱８５よりもアンローダー８側の位置において第２レール部側に折れ曲がり、レール１６よりも手前の位置において延設部７８５側に折れ曲がり、他端部が延設部７８５の上面に固定されている。図９（Ｂ）に示すように、フレーム９３ａの下方には、このフレーム９３ａとほぼ同形状のフレーム９３ｂが配設されている。このフレーム９３ｂは、一端部が延設部７８２の下面に固定され、他端部が延設部７８５の下面に固定されている。フレーム９３ａ，９３ｂは、図１０（Ａ）に示すように溝形鋼である。

フレーム９３ａのアンローダー８側の側面には、アンローダー８側に延び、所定の間隔をあけて配置された一対のフレーム９４ａが固定されている。これらのフレーム９４ａの間には、これらの間に架け渡された上部板９６ａが各フレーム９４ａに固定されている。フレーム９３ｂのアンローダー８側の側面には、アンローダー８側に延び、所定の間隔をあけて配置された一対のフレーム９４ｂが固定されている。これらのフレーム９４ｂの間には、これらの間に架け渡された下部板９６ｂが各フレーム９４ｂに固定されている。

また、図３に示すように、延設部７８１の上面には、フレーム９１ａの一端部が固定されている。このフレーム９１ａは、前記一端部から下部水平フレーム７８ａと略平行に水洗槽４側に延び、ガイド柱８４よりも水洗槽４側の位置において第２レール部側に折れ曲がり、レール１５よりも手前の位置において延設部７８４側に折れ曲がり、他端部が延設部７８４の上面に固定されている。フレーム９１ａの下方には、このフレーム９１ａとほぼ同形状の図略のフレーム９１ｂが配設されている。このフレーム９１ｂは、一端部が延設部７８１の下面に固定され、他端部が延設部７８４の下面に固定されている。フレーム９１ａ，９１ｂは溝形鋼である。

フレーム９１ａの水洗槽４側の側面には、水洗槽４側に延び、所定の間隔をあけて配置された一対のフレーム９２ａが固定されている。これらのフレーム９２ａの間には、これらの間に架け渡された上部板９６ａが各フレーム９２ａに固定されている。フレーム９１ｂの水洗槽４側の側面には、水洗槽４側に延び、所定の間隔をあけて配置された図略の一対のフレーム９２ｂが固定されている。これらのフレーム９２ｂの間には、これらの間に架け渡された図略の下部板９６ｂが各フレーム９２ｂに固定されている。

図９（Ａ）に示すように、ガイド柱８５には、ガイド柱８５の外周のうち、アンローダー８側の部分を除く外周部分を囲むようにフレーム８６ａが配設されている。図９（Ｂ）に示すように、このフレーム８６ａの下方には、このフレーム８６ａとほぼ同形状のフレーム８６ｂが配設されている。これらのフレーム８６ａ，８６ｂは、水洗槽４側に凹む凹部を有し、平面視でＵ字形状を有している。フレーム８６ａは、下部水平フレーム７８ａ，７８ｂのアンローダー８側の端部の上面に固定されており、フレーム８６ｂは、下部水平フレーム７８ａ，７８ｂのアンローダー８側の端部の下面に固定されている。

フレーム８６ａ，８６ｂの各凹部には、ガイド柱８５の前記外周部分に対向する位置に、前記外周部分に当接する３つのローラ８６ｃが取り付けられている（図９（Ａ））。また、ガイド柱８４には、ガイド柱８４の外周のうち、水洗槽４側の部分を除く外周部分を囲むように一対のフレーム８３ａ，８３ｂが配設されている。これらのフレーム８３ａ，８３ｂは、上述したフレーム８６ａ，８６ｂとほぼ同様の構造を有し、その凹部に図略の３つのローラを有している。

図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、上部板９６ａ及び下部板９６ｂの上面には軸受け９７ａ，９７ｂがそれぞれ固定されている。これらの軸受け９７ａ，９７ｂは、回動軸９５を回転可能に支持している。回動軸９５は、軸受け９７ｂから上方に延び、先端部がモータ９８に連結されている。モータ９８は、フレーム９４ａの上面に固定されている。このモータ９８が駆動することにより、回動軸９５が回転する。

回動軸９５の側面には、高さ方向のフレーム９４ａとフレーム９４ｂの間の位置に、四方に放射状に延設された４つのアーム９９が固定されている。各アーム９９は、隣り合うアーム９９と平面視でほぼ直角をなす方向に延びている。各アーム９９の先端には、軌道基台１０５がボルトにより接合されている。この軌道基台１０５には、支持部材１０３ａを介して可動レール部１７が支持されている。

図１に示すように、上部水平フレーム９０には、ガイド柱８５の上端部の近傍とガイド柱８４の上端部の近傍にモータ６１がそれぞれ配設されている。一方のモータ６１の回動軸には、例えば図略のワイヤの一端が固定されており、このワイヤの他端がフレーム８６ａに固定されている。他方のモータ６１の回動軸には、例えば図略のワイヤの一端が固定されており、このワイヤの他端がフレーム８３ａに固定されている。両方のモータ６１が駆動すると、前記ワイヤが巻き上げられ、又は引き出される。これにより、フレーム８３ａ，８６ａ及びこれらに連結されたフレーム７８ａ，７８ｂなどの他のフレームが上下に昇降動作する。

モータ６１、ガイド柱８４，８５、フレーム８６ａ，８６ｂ，８３ａ，８３ｂ及び前記ワイヤは、後述する搬送機構のうちの昇降機構３１を構成しており、回動軸９５、軸受け９７ａ，９７ｂ、モータ９８及びアーム９９は、回動軸９５回りの円弧軌道に沿って可動レール部１４，１７を移動させるための回動搬送機構２３を構成している。

（搬送機構）
前記搬送機構は、ロード側間欠搬送機構２２、前述の回動搬送機構２３、第１位置決め搬送機構２４、前述のめっき槽側搬送機構２５、取込搬送機構２６、アンロード側間欠搬送機構２７、第２位置決め搬送機構２９、及び前述の昇降機構３１を含む。

図４に示すように、ロード側間欠搬送機構２２は、前記下位置に固定されている前処理槽固定レール１３及びロード側固定レール２０に係合された搬送用ハンガー２１を１ピッチずつ搬送方向Ｒ側に搬送する。

図７は、ロード側間欠搬送機構２２を示す側面図であり、図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。なお、図７においては、処理槽などの図示は省略している。

図４、図７及び図８に示すように、ロード側間欠搬送機構２２は、並設部材としてのビーム２２１、案内用レール２２２、プッシャー２２３、モータ２２４、クランクアーム２２５、これらの部材を支持するフレーム２２７などを含む。

フレーム２２７は、第１フレーム２２７ａと、この第１フレーム２２７ａよりも内側（図８の右側）に配置された第２フレーム２２７ｂとを有している。これらのフレーム２２７ａ，２２７ｂは地面に固定されている。第１フレーム２２７ａは、例えばロード側固定レール２０の近傍に配設されており、モータ２２４及びクランクアーム２２５を支持している。第２フレーム２２７ｂは、例えば前処理槽固定レール１３における搬送方向Ｒ側の端部近傍と、ロード側固定レール２０における搬送方向Ｒの反対側の端部近傍の２箇所に配設されている。

これらの第２フレーム２２７ｂは、案内用レール２２２の両端部をそれぞれ支持している。具体的には、各第２フレーム２２７ｂの上端部には、レール固定フレーム２２７ｃがそれぞれ接合されている。一方のレール固定フレーム２２７ｃには、案内用レール２２２の一方の端部が固定され、他方のレール固定フレーム２２７ｃには、案内用レール２２２の他方の端部が固定されている。

案内用レール２２２は、前処理槽固定レール１３に対応する位置とロード側固定レール２０に対応する位置の２箇所に配設されており、これらのレール１３，２０の側方においてこれらのレールにほぼ平行に延設されている。各案内用レール２２２は、その上面に沿って図略の複数のローラが配列されている。

ビーム２２１は、両方の案内用レール２２２に架け渡されて、各案内用レール２２２の前記複数のローラ上に載置された状態で搬送方向Ｒに沿って延びる四角柱形状の棒状部材である。このビーム２２１は、案内用レール２２２の前記複数のローラ上を、搬送方向Ｒ及びその反対方向に移動可能である。

ビーム２２１の内側（図８の右側）の側面には、ブラケット２２６の上端部が固定されている。ブラケット２２６の下端部は、後述する第４アーム２２５ｄの先端部に連結されている。

図４に示すように、ビーム２２１の上面には、一対の支持部材２２９が固定されている。各支持部材２２９には、複数のプッシャー支持部材２２８が所定の間隔をあけて搬送方向Ｒに沿って複数配列された状態で固定されている。前記所定の間隔は、後述する１ピッチ（戻り位置Ｐ１と送り位置Ｐ２との距離）に相当する。

図８に示すように、各プッシャー支持部材２２８は、支持部材２２９の側面から外側に延びている。各プッシャー支持部材２２８の外側の端部は、ロード側固定レール２０の上方付近まで延びており、その搬送方向Ｒ側の側部にプッシャー２２３が固定されている。

各プッシャー２２３は、その上端部がプッシャー支持部材２２８に固定されており、搬送方向Ｒと下方との間の斜め方向に延び、下端部に当接部２２３ａを有している。各プッシャー２２３の当接部２２３ａは、搬送用ハンガー２１の走行部本体１１３における突出部１１３ａのプッシャー当接部１１３ｂに当接可能である。プッシャー当接部１１３ｂは、突出部１１３ａにおける搬送方向Ｒの反対方向側の側面である（図５，図７）。

モータ２２４は、レール２０の下方に配置されており、第１フレーム２２７ａの上部に載置されてボルトなどによって第１フレーム２２７ａに固定されている。このモータ２２４の図略の回動軸は、搬送方向Ｒに対してほぼ直交する略水平方向に向いている。

クランクアーム２２５は、第１アーム２２５ａ、第２アーム２２５ｂ、第３アーム２２５ｃ及び第４アーム２２５ｄを含む。第１アーム２２５ａは、その基端部がモータ２２４の回動軸に連結されている。第２アーム２２５ｂは、その基端部が第１アーム２２５ａの先端部に回動可能に連結されている。第３アーム２２５ｃは、その基端部が第１フレーム２２７ａの上部に回動可能に連結されている。第４アーム２２５ｄは、その基端部が第３アーム２２５ｃの先端部に回動可能に連結されており、その先端部がブラケット２２６の下端部に回動可能に連結されている。

第２アーム２２５ｂの先端部は、第３アーム２２５ｃの前記基端部と前記先端部との間の部位に回動可能に連結されている。各アーム２２５ａ〜２２５ｄは、搬送方向Ｒを含む鉛直平面に略平行な方向にそれぞれ延びている。各アーム同士を連結する連結軸は、搬送方向Ｒにほぼ垂直な方向に向いている。

図７に示すロード側間欠搬送機構２２において、ブラケット２２６を戻り位置Ｐ１から送り位置Ｐ２に移動させて、このブラケット２２６が固定されたビーム２２１を搬送方向Ｒに移動させるときの動作は、次の通りである。

モータ２２４が駆動してその回動軸が所定の角度だけ回動すると、それに伴って第１アーム２２５ａが同じ方向に同じ角度だけ回動する。この動作に伴って第２アーム２２５ｂがモータ２２４側の方向に引き寄せされる。第２アーム２２５ｂが引き寄せされると、第３アーム２２５ｃがその基端部を中心に図７の実線で示した位置から二点鎖線で示した位置に回動するとともに、第４アーム２２５ｄが搬送方向Ｒ側に引き寄せられてブラケット２２６が送り位置Ｐ２に水平移動する。

このとき、ブラケット２２６が固定されたビーム２２１とともに複数のプッシャー２２３が搬送方向Ｒに１ピッチ（戻り位置Ｐ１から送り位置Ｐ２までの長さ）だけ水平移動する。各プッシャー２２３は、搬送方向Ｒに移動する際に、対応する搬送用ハンガー２１を搬送方向Ｒにそれぞれ水平移動させる。

図７に示す退避位置Ｐ３は、ロード側昇降レール１２の昇降時にプッシャー２２３が昇降レール１２に接触しないように退避する位置である。

モータ２２４の回動角度は、図略の制御部により制御される。これにより、ビーム２２１を戻り位置Ｐ１、送り位置Ｐ２及び退避位置Ｐ３の３点のいずれかの位置において停止させることができる。本実施形態のロード側間欠搬送機構２２では、モータ２２４が地面の近くに設置されているので、モータ２２４及びこれに接続されているクランクアーム２２５などの各部材のメンテナンスがしやすい。

図４に示すように、第１位置決め搬送機構２４、取込搬送機構２６及び第２位置決め搬送機構２９は、１つ又は複数の爪３３と、爪３３が固定された板状部材３２と、この板状部材３２を搬送方向Ｒ及びその反対方向に移動させる搬送機構本体３４とをそれぞれ有している。搬送機構本体３４は、図略のモータにより移動する。各爪３３は、板状部材３２が搬送方向Ｒに移動する際には搬送用ハンガー２１に係合して搬送用ハンガー２１を搬送方向Ｒに引っ張る。一方、板状部材３２が搬送方向Ｒの反対方向に移動する際には搬送用ハンガー２１と係合せず、搬送用ハンガー２１とは連動しない。

第１位置決め搬送機構２４は、ロード側回動搬送機構２３によりめっき槽５の上流側端部の位置（ｈ）に搬送され、後述する昇降機構３１によりめっき槽５内に下降した搬送用ハンガー２１（図２〜４では図示されていない。）を、めっき槽固定レール１５の位置（ｉ）に移し替えるとともに、めっき槽５内における位置（ｊ）の搬送用ハンガー２１との間隔を所定値に調整する。

めっき槽側搬送機構２５は、前述した通り、第１位置決め搬送機構２４によりめっき槽固定レール１５に移し替えられた搬送用ハンガー２１を搬送方向Ｒに搬送する。

取込搬送機構２６は、めっき槽５の下流側端部の上方に配設されている。この取込搬送機構２６は、めっき槽側搬送機構２５により位置（ｏ）に搬送された搬送用ハンガー２１を、下位置に配置されているアンロード側昇降レール１６の位置（ｐ）に移し替える。

図１及び図２は、昇降レールが上位置にあるときの状態を示している。図１及び図２に示すように、アンロード側間欠搬送機構２７は、第１ビーム５９ａ、第２ビーム５９ｂ、複数のプッシャー１６、一対の第１案内レール８０ａ、一対の第２案内レール８０ｂ、駆動棒６７、揺動棒６６、第１伝達棒６８ａ、第２伝達棒６８ｂ、カム６２、モータ５８などを含む。

一対の第１案内レール８０ａは、Ａ列の第１レール部のうちのレール１９、レール２０及びレール１２の上方においてこれらのレールに沿ってそれぞれ延設されている。これらの第１案内レール８０ａは、第１ビーム５９ａを幅方向の両側から支持可能なように所定の間隔をあけて互いに略平行に並んでいる。各第１案内レール８０ａの上流側端部は、レール１９の上流側端部の上方に位置している。各第１案内レール８０ａの下流側端部は、レール１２の下流側端部の上方に位置している。各第１案内レール８０ａは、上部水平フレーム９０に図略の支持部材を介して支持されている。

第１ビーム５９ａは、その幅方向の両サイドの部分が一対の第１案内レール８０ａにスライド可能に支持されている。この第１ビーム５９ａは、第１案内レール８０ａよりも長手方向の寸法が１ピッチ分程度短い。具体的には、図２に示す状態では、第１ビーム５９ａの上流側端部が位置（ｗ）の近傍にあり、第１ビーム５９ａの下流側端部が位置（ｃ）の近傍にある。

一対の第２案内レール８０ｂは、アンロード側昇降レール１６の上方においてこのレールに沿ってそれぞれ延設されている。これらの第２案内レール８０ｂは、第１案内レール８０ａと同様の構造を有しており、第２ビーム５９ｂを幅方向の両側から支持可能である。各第２案内レール８０ｂの上流側端部は、レール１６の上流側端部の上方に位置している。各第２案内レール８０ｂの下流側端部は、可動レール部１７の上方に位置している。各第２案内レール８０ｂは、上部水平フレーム９０に図略の支持部材を介して支持されている。

第２ビーム５９ｂは、その幅方向の両サイドの部分が一対の第２案内レール８０ｂにスライド可能に支持されている。この第２ビーム５９ｂは、第２案内レール８０ｂよりも長手方向の寸法が１ピッチ分程度短い。具体的には、図２に示す状態では、第２ビーム５９ｂの上流側端部が位置（ｐ）の近傍にあり、第２ビーム５９ｂの下流側端部が位置（ｒ）の近傍にある。

第１ビーム５９ａの下面には、複数のプッシャー１６が１ピッチの間隔をあけて配列され、この下面に固定されている。同様に、第２ビーム５９ｂの下面には、複数のプッシャー１６が１ピッチの間隔をあけて配列され、この下面に固定されている。各プッシャー１６は、図７に示すプッシャー２２３とほぼ同様の構造を有している。

第１ビーム５９ａの上方には、第１伝達棒６８ａが配置されており、この第１伝達棒６８ａの一端が軸６０７により、第１ビーム５９ａに対して回動可能に第１ビーム５９ａに固定されている。第２ビーム５９ｂの上方には、第２伝達棒６８ｂが配置されており、この第２伝達棒６８ｂの一端が軸６０８により、第２ビーム５９ｂに対して回動可能に第２ビーム５９ｂに連結されている。

揺動棒６６は、一端が第１ビーム５９ａ側の位置に配置され、他端が第２ビーム５９ｂ側の位置に配置されている。揺動棒６６は、前記一端が軸６０４により第１伝達棒６８ａの他端に回動可能に連結されており、前記他端が軸６０６により第２伝達棒６８ｂの他端に回動可能に連結されている。

モータ５８は、上部水平フレーム９０の上面に載置されている。モータ５８の図略の回動軸には、下方に延びる軸６０１が固定されている。この軸６０１の下方にはカム６２が配設されており、このカム６２の一端側の部位に固定されている。カム６２の他端側には、駆動棒６７の一端が軸６０２によりカム６２に対して回動可能に連結されている。駆動棒６７の他端は、揺動棒６６の前記他端側の位置（軸６０５と軸６０６との間の位置）に軸６０３により揺動棒６６に対して回動可能に連結されている。

モータ５８が所定の角度だけ回動すると、それに伴って軸６０１に固定されたカム６２が軸６０１を中心に前記所定の角度と同じ角度だけ回動する。例えば、図２に示す配置状態からカム６２が矢印の方向（時計回り）に回動すると、駆動棒６７がアンローダー８側に移動し、揺動棒６６をアンローダー８側に押す。押された揺動棒６６は、上部水平フレーム９０に連結されている軸６０５を中心にして矢印の方向（反時計回り）に回動するので、それに伴って第１伝達棒６８ａ及びこれに連結された第１ビーム５９ａが水洗槽４側に１ピッチの距離だけ移動し、第２伝達棒６８ｂ及びこれに連結された第２ビーム５９ｂがアンローダー８側に１ピッチの距離だけ移動する。第１ビーム５９ａ及び第２ビーム５９ｂの１ピッチの移動により、第１ビーム５９ａ及び第２ビーム５９ｂに固定された各プッシャー１６が対応する搬送用ハンガー２１を１ピッチだけ搬送する。

（レールショック機構）
電気めっき装置１００は、レールショック機構３０１を備えている。このレールショック機構３０１は、例えば位置（ｂ）、位置（ｄ）、位置（ｒ）、位置（ｚ）などに配設されており、レールにショックを与えることにより、水洗効果、前処理効果、水切り効果などを高めるためのものである。以下、位置（ｄ）に設けられているレールショック機構３０１を例に挙げて説明する。他の位置に設けられるレールショック機構３０１については、同様の構造であるので、その説明を省略する。

図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、レールショック機構３０１は、ブラケット３０３と、シリンダ３０５と、ロッド３０４と、ショック付与レール３１２と、一対のレール部３０６と、一対のガイド部３０２とを備えている。

ブラケット３０３は、前述したフレーム８１の下部に固定されている。シリンダ３０５は、軸方向が上下方向に向いた筒形状を有し、ブラケット３０３の外側の側面に固定されている。ロッド３０４は、シリンダ３０５の内部に配置され、図略のモータによってシリンダ３０５に対して上下方向に移動可能である。

図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、ショック付与レール３１２は、ロッド３０４の上端部に連結されている。ショック付与レール３１２は、搬送方向Ｒ及びその反対方向に隣接して配置されたレール１３，１３から独立した状態で、レール１３とレール１３をつなぐように配置されている。ショック付与レール３１２は、両サイドのレール１３とほぼ同じ厚みを有し、これらのレール１３と平面視で直列に並んでいる。ショック付与レール３１２の上面には、他のレールと同様に、搬送用ハンガー２１の走行部本体１１３が載置される。

一対のレール部３０６は、上下方向に延び、シリンダ３０５よりも搬送方向Ｒ側の位置及びその反対側の位置に設けられており、ショック付与レール３１２の内側の側面にそれぞれ固定されている。各ガイド部３０２は、対応するレール部３０６に対して上下方向に移動可能に係合するとともに、フレーム８１の外側の側面に固定されている。

図１１（Ａ）は、ショック付与レール３１２がロッド３０４によって上方に持ち上げられた状態を示している。前記制御部は、ロッド３０４が前記モータにより上方に持ち上げられ、その後、ロッド３０４が再び下方の定位置に戻るという制御を１回又は複数回繰り返す。これにより、ショック付与レール３１２が上下動して搬送用ハンガー２１にショックを与えることができる。これにより、位置（ｂ）において水洗槽２内の水に浸漬されたワークＷにもショックが伝達されるので、ワークＷに付着したゴミなどをワークＷから落とし、水洗効果を高めることができる。

また、レールショック機構３０１が位置（ｄ）、位置（ｒ）及び位置（ｚ）に配設されている場合には、次のような効果が得られる。すなわち、位置（ｄ）においては、前処理槽３内の前処理液に浸漬されたワークＷ（例えばプリント基板）に設けられたスルーホール内の空気などを排出し、スルーホール内にも前処理液を行き渡らせる効果を高めることができる。また、位置（ｒ）においては、ワークＷに付着した水滴を落とし、その次のアンロード作業を円滑に行うことができる。さらに、位置（ｚ）においては、搬送用ハンガー２１に付着した水滴を落とし、その後のロード作業においてワークＷに水滴が付着してワークＷが汚染されるのを抑制することができる。

（剥離後水洗機構）
図１２に示すように、めっき処理装置１００は、保持部洗浄機構としての剥離後水洗機構４０１を備えている。この剥離後水洗機構４０１は、位置（ｘ）に設けられており、水洗槽１０内において搬送用ハンガー２１のクランパー１４０の水洗効果を高めるためのものである。剥離後水洗機構４０１は、クランパー１４０を外側から押さえる外側押さえ機構（押圧機構）と、上側横桟１３１を内側から押さえる内側押さえ機構とを有している。

前記外側押さえ機構は、水洗槽１０よりも外側の位置に配置されたフレーム４１０と、このフレーム４１０の上部に固定されたシリンダ４０２と、このシリンダ４０２内を上側横桟１３１側又はその反対側に移動可能なロッド４０３と、このロッド４０３が貫通する貫通孔を有し、フレーム４１０の上部に固定された支持部材４０４と、ロッド４０３の先端部に固定されたブラケット４０５と、このブラケット４０５の下端部に固定され、クランパー１４０の上部に水平方向に対向するクランパー開放板４０６とを有している。

内側押さえ機構は、水洗槽１０よりも内側の位置に配置されたフレーム４０９と、このフレーム４０９の上部に固定されたシリンダ４０７と、このシリンダ４０７内を上側横桟１３１側又はその反対側に移動可能なロッド４０８と、このロッド４０８が貫通する貫通孔を有し、水洗槽１０の上縁に固定された支持部材４１２と、ロッド４０８の先端部に固定され、上側横桟１３１の内側の側面に水平方向に対向するハンガー支持板４１１とを有している。

搬送用ハンガー２１が昇降機構３１によって下降し、搬送用ハンガー２１のクランパー１４０の下端部が水中に浸漬されると、前記制御部は、図略のモータを駆動してロッド４０８を上側横桟１３１側に押し出してハンガー支持板４１１の先端部を上側横桟１３１の内側面に当接させるように制御する。その一方で、前記制御部は、図略のモータを駆動してロッド４０３を上側横桟１３１側に押し出し、クランパー１４０における外側のクランプレバー１４０ａの上部を、クランパー開放板４０６によって押すように制御する。これにより、外側のクランプレバー１４０ａは、支軸１４０ｂを中心に回動するので、一対のクランプレバー１４０ａの下端部が開放される。このようにクランパー１４０の下端部が開放されることにより、その下端部のクランプ部分に付着している剥離液を洗浄する効果を高めることができる。なお、さらなる洗浄効果を得るために、水洗槽１０内においてエアバブリングなどを併用したり、水の温度を高くしたりすることもできる。

（可動レール部及び回動搬送機構）
次に、可動レール部１４，１７の構造、及び回動搬送機構２３による可動レール部１４，１７の動作について具体的に説明する。なお、水洗槽４側に位置する可動レール部１４とアンローダー８側に位置する可動レール部１７とは、同様の構成である。したがって、以下では、主に可動レール部１７を例に挙げて説明し、可動レール部１４の構成のうち可動レール部１７と同様の構成についてはその説明を省略する。

図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、可動レール部１７は、円弧軌道上に沿って並ぶ４つのレール２１７により構成されている。これらのレール２１７は、回動軸９５から放射状に略水平方向に延設された４つのアーム９９の各先端に固定された軌道基台１０５に、支持部材１０３ａを介してそれぞれ支持されている。各レール２１７は、直線状の形状を有している。

各レール２１７は、Ｂ列の第２レール部における搬送方向Ｒの下流側の端部、すなわちレール１６の下流側端部に隣接してレール１６と直線状に並ぶ第１位置と、Ａ列の第１レール部における搬送方向Ｒの上流側の端部、すなわちレール１８の上流側端部に隣接してレール１８と直線状に並ぶ第２位置とを取りうる。回動搬送機構２３は、前記第１位置と前記第２位置との間で回動軸９５回りの円弧軌道に沿って各レール２１７を移動させることができる。

同様に、水洗槽４側に位置する可動レール部１４における各レール２１４は、Ａ列の第１レール部における搬送方向Ｒの下流側の端部、すなわちレール１３の下流側端部に隣接してレール１３と直線状に並ぶ第１位置と、Ｂ列の第２レール部における搬送方向Ｒの上流側の端部、すなわちレール１５の上流側端部に隣接してレール１５と直線状に並ぶ第２位置とを取りうる。水洗槽４側に位置する回動搬送機構２３は、前記第１位置と前記第２位置との間で回動軸９５回りの円弧軌道に沿って各レール２１４を移動させることができる。

このように本実施形態の電気めっき装置１００は、可動レール部１４及び可動レール部１７を回動軸９５の軸回りにそれぞれ回動させる構成であるので、ガイドレールを構成する全てのレールを直線状としつつ、ガイドレールを環状に形成することができる。

各レール２１７は、厚み（横寸法）よりも高さ（縦寸法）の方が長い矩形状の断面を有しており、この厚み及び高さは、他のレールとほぼ同じ寸法である（図９（Ｂ））。また、各レール２１７は、水平方向の寸法が搬送用ハンガー２１の走行部１０７よりも若干大きく設計されており、搬送用ハンガー２１を安定して支持することができる（図９（Ａ））。

また、各レール２１７の水平方向の両端部は、対応するアーム９９の延設方向に対して傾斜した傾斜面１７ａを有している。各レール２１７の水平方向の寸法は、内側（回動軸９５側）の方が外側よりも大きい。また、図９（Ａ）の二点鎖線の丸で囲んだ部分Ｔの拡大図である図９（Ｃ）に示すように、レール２１７と直列に連なる位置にあるＢ列のレール１６は、レール２１７の傾斜面１７ａと隣接する端部に、レール２１７の傾斜面１７ａと略平行な傾斜面１６ａを有している。同様に、レール２１７と直列に連なる位置にあるＡ列のレール１８は、レール２１７の傾斜面１７ａと隣接する端部に、レール２１７の傾斜面１７ａと略平行な傾斜面１８ａを有している。

各レール２１７の端部がアーム９９の延設方向に平行な端面を有している場合と比較して、回動軸９５を中心としたレール２１７の回転時に、各レール２１７の端部がレール１６の端部及びレール１８の端部と接触するのを抑制できる。これにより、レール２１７の傾斜面１７ａと、これに隣接する傾斜面１６ａ及び傾斜面１８ａとの距離を小さくできるので、搬送用ハンガー２１がレール１６からレール２１７へ乗り移り際、及びレール２１７からレール１８へ乗り移る際の動作がより円滑になる。

本実施形態では、４つのレール２１７が周方向にほぼ等間隔に配置されているので、回動軸９５が所定角度（９０°）水平回転する毎に搬送用ハンガー２１を１ピッチ分搬送することができる。具体的には、位置（ｓ）においてレール２１７に吊り下げられた搬送用ハンガー２１は、回動軸９５が前記所定角度水平回転すると、位置（ｔ）に搬送され、これと同時に、位置（ｔ）においてレール２１７に吊り下げられた搬送用ハンガー２１は、位置（ｕ）に搬送される。

位置（ｓ）にあるレール２１７は、レール１６と直列に連続した状態から、上記の１ピッチ分の回転動作により、前記連続状態が解除されて、位置（ｔ）に移動する。これと同時に、位置（ｔ）よりも回転方向の上流側に位置した待機状態のレール２１７Ｔは、上記の１ピッチ分の回転動作により、位置（ｓ）に移動してレール１６と直列に連続した状態となる。さらに、これと同時に、位置（ｔ）にあるレール２１７は、上記の１ピッチ分の回転動作により、位置（ｕ）に移動してレール１８と直列に連続した状態になる。このように、本実施形態では、１ピッチ分の水平回転動作により、前記連続状態及びその解除を同時に順次切り替えることができるので、搬送時間の短縮効果がある。

各搬送用ハンガー２１は、図６（Ａ），（Ｂ）においてめっき槽固定レール１５に吊り下げられた状態を例に挙げて説明したのと同様に、各レール２１７に対して吊り下げられてそのレール２１７に支持される。

図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、回動搬送機構２３は、ハンガー固定機構２３１を有している。このハンガー固定機構２３１は、レール２１７が搬送用ハンガー２１を吊り下げた状態で回転動作する際に、搬送用ハンガー２１をレール２１７に対して固定することにより、搬送用ハンガー２１を安定して搬送するためのものである。

ハンガー固定機構２３１は、アーム９９の側面に固定されたシリンダ２３２と、このシリンダ２３２からレール２１７に向かって略水平に延びるロッド２３４と、このロッド２３４の先端に固定された押さえ板２３３とを含む。

ロッド２３４は、例えば図略のモータの駆動によりシリンダ２３２に沿ってアーム９９と略平行な水平方向に前後移動可能である。したがって、押さえ板２３３は、ロッド２３４の前後移動に伴って前後に移動する。押さえ板２３３の先端部は、平面視で略Ｖ字形状を有している。このＶ字の凹部の２つの内面は、押さえ板２３３が前進したときに、搬送用ハンガー２１の一方の上側ガイド輪１１５にそれぞれ当接する。

したがって、搬送用ハンガー２１がレール１６からレール２１７に乗り移った後、押さえ板２３３を前進させてＶ字の凹部を上側ガイド輪１１５に当接させることにより、搬送用ハンガー２１がハンガー固定機構２３１によりレール２１７に対して固定される。一方、搬送用ハンガー２１をレール２１７からレール１８に乗り移らせる際には、押さえ板２３３を後退させて搬送用ハンガー２１の固定を解除する。

なお、本実施形態では、押さえ板２３３が上側ガイド輪１１５に当接する場合を例に挙げているが、これに限定されず、例えば押さえ板２３３がスプロケットギヤ１１４や突出部１１３などに当接するような固定構造であってもよい。

また、図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、回動搬送機構２３は、センサ２４１を有している。このセンサ２４１は、可動レール部１７を回転動作させる際に、各レール２１７を正確な位置に停止させて隣接する他のレールとの連続性を確保するためのものである。このセンサ２４１により、レール２１７とレール１６との連続性及びレール２１７とレール１８との連続性が確保され、搬送用ハンガー２１を円滑に搬送することができる。

図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、センサ２４１は、減速センサ２４２と停止センサ２４３とを含む。減速センサ２４２及び停止センサ２４３は、フレーム９３ｂの上面に、ブラケット２４５を介して固定されている。アーム９９の下面にはドグ（検出部）２４４が固定されている。このドグ２４４の回動軸９５からの距離（半径）は、減速センサ２４２及び停止センサ２４３の上端部の回動軸９５からの距離（半径）とほぼ同じである。停止センサ２４３は、各レール２１７が予め決められた停止位置（図９（Ａ）の位置）にあるときに、ドグ２４４と上下方向に対向する位置に配置されている。

減速センサ２４２は、停止センサ２４３よりも回転方向Ｒの少し上流側の位置に配置されている。したがって、回動軸９５を所定角度（９０°）水平回転させて搬送用ハンガー２１を１ピッチ分搬送する際には、各レール２１７が次の前記停止位置に到達する少し前に、まず、ドグ２４４が減速センサ２４２の上方に到達する。このとき、減速センサ２４２は、ドグ２４４が上方に到達したことを検知し、この検知信号を受けた図略の前記制御部は、回動軸９５の回転速度を予め定められた値まで減速するようにモータ９８を制御する。

そして、回動軸９５は、減速された速度でさらに回転方向Ｒに回転すると、ドグ２４４が停止センサ２４３の上方に到達する。このとき、停止センサ２４３は、ドグ２４４が上方に到達したことを検知し、この検知信号を受けた前記制御部は、回動軸９５の回転を停止するようにモータ９８を制御する。これにより、各レール２１７を所定の停止位置において正確に停止させることができる。

（動作）
次に、本実施形態の電気めっき装置１００の動作について説明する。この電気めっき装置１００では、次の動作（１）〜動作（７）が順次実行され、動作（７）が終了すると、再び動作（１）から順次実行されて動作（１）〜動作（７）が繰り返される。

（１）前記昇降レールが昇降機構３１により下位置に配置される。

（２）位置（ａ）においてローダー１が搬送用ハンガー２１にワークＷを取り付けるとほぼ同時に、位置（ｔ）においてアンローダー８が搬送用ハンガー２１から表面処理済みのワークＷを取り外す。

（３）昇降機構３１が動作することにより、前記昇降レールが上位置まで上昇し、図１の状態に配置される。

（４）両方の回動搬送機構２３が動作することにより、各可動レール部１４，１７が回動軸９５を中心に９０°水平回転する。これにより、位置（ｆ），（ｇ）の搬送用ハンガー２１がそれぞれ位置（ｇ），（ｈ）に送られ、位置（ｓ），（ｔ）の搬送用ハンガー２１がそれぞれ位置（ｔ），（ｕ）に送られる。

（５）アンロード側間欠搬送機構２７が動作することにより、第１ビーム５９ａの下面に取り付けられた各プッシャー１６が位置（ｗ），（ｘ），（ａ），（ｂ）の搬送用ハンガー２１を、位置（ｘ），（ｙ），（ｂ），（ｃ）に送るとともに、第２ビーム５９ｂの下面に取り付けられた各プッシャー１６が位置（ｐ），（ｑ），（ｒ）の搬送用ハンガー２１を、位置（ｑ），（ｒ），（ｓ）に送る。

（６）昇降機構３１が動作することにより、前記昇降レールが下位置まで下降する。

（７）ロード側間欠搬送機構２２が動作することにより、この間欠搬送機構２２が位置（ｙ），（ｚ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）の搬送用ハンガー２１を、位置（ｚ），（ａ），（ｄ），（ｅ），（ｆ）に送る。この動作とほぼ同時に、第１位置決め搬送機構２４が動作することにより、位置（ｈ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｉ）に送り、取込搬送機構２６が動作することにより、位置（ｏ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｐ）に送り、第２位置決め搬送機構２９が動作することにより、位置（ｕ），（ｖ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｖ），（ｗ）に送る。また、搬送用ハンガー２１は、位置（ｉ）から位置（ｏ）まで、めっき槽側搬送機構２５のチェーンベルト３９により一定速度で送られる。

以上説明したように、第１実施形態の電気めっき装置１００では、可動レール部１４，１７自体が円弧軌道に沿って回転移動することにより、搬送用ハンガー２１を、Ａ列の第１レール部の下流側の端部からＢ列の第２レール部の上流側の端部に移動させることができる。これにより、従来のように円弧状のレールに沿って搬送用ハンガーが走行する際の摩擦が生じるのが抑制されるので、搬送用ハンガーの移動時の円滑性を向上させることができる。

例えば図１５に比較例として示すように、直線状のレールと円弧状のレールとが混在する電気めっき装置では、搬送用ハンガー２１が円弧状のレール７０１に沿って移動する際に、レール７０１が円弧状であるために走行部本体１１３とレール７０１とが点Ｍにおいて接触しやすくなる。したがって、走行部本体１１３とレール７０１との間での摩擦が大きくなり、搬送用ハンガーの移動時の円滑性が低下することがある。

また、図１５に示すような点Ｍにおける接触により、走行部本体１１３及びレール７０１の摩耗による粉塵が生じることがある。このような粉塵が処理槽内の処理液に混入することは好ましくない。また、上記のように接触した状態で搬送用ハンガー２１がレール７０１を何度も通過することにより、搬送用ハンガー２１の上側ガイド輪１１５と下側ガイド輪１１６とが互いに離れる方向に傾くことがある。このような傾きが生じると、搬送用ハンガー２１が直線状のレールを通過する際にぐらつきが生じやすくなり、ワークＷに振動を与えることにつながるので、そのような傾斜が生じる前に搬送用ハンガー２１の修理又は交換が必要となり、コストアップの原因となる。

これに対し、第１実施形態では、回動搬送機構２３が可動レール部１４，１７の各レールを前記第１位置と前記第２位置との間で円弧軌道に沿って移動させることができる。したがって、搬送用ハンガー２１は、第１レール部の下流側端部から第２レール部の上流側端部に移動するまでの間、直線状のレール（すなわち、Ａ列の第１レール部、可動レール部１４及びＢ列の第２レール部）に沿って移動することができる。同様に、搬送用ハンガー２１は、第２レール部の下流側端部から第１レール部の上流側端部に移動するまでの間、直線状のレール（すなわち、Ｂ列の第２レール部、可動レール部１７及びＡ列の第１レール部）に沿って移動することができる。これにより、比較例の電気めっき装置において円弧状のレールに沿って搬送用ハンガーが走行するときのような摩擦が生じるのを抑制できるので、搬送用ハンガーの移動時の円滑性を向上させることができ、摩耗による粉塵が生じるのを抑制でき、しかも走行時のぐらつきも抑制できる。

また、第１実施形態では、可動レール部１４，１７の回転移動時にハンガー固定機構により搬送用ハンガー２１をレール２１４，２１７に対して固定することにより、回転移動時に搬送用ハンガー２１を安定して移動させることができる。また、回転移動後には、搬送用ハンガー２１をレール２１４，２１７から隣接するレールに移動させるために前記固定を解除することができる。

また、第１実施形態では、停止センサを備えているので、可動レール部１４，１７を構成する各レールを所定の停止位置に停止させる位置精度を向上させることができる。

また、第１実施形態では、前記停止位置において可動レール部１４，１７を停止させる前に、レール２１４，２１７が前記停止位置に到達する手前の位置においてレール２１４，２１７を減速センサにより検知して、レール２１４，２１７が前記停止位置に到達する前にレール２１４，２１７の移動速度を減速することができる。これにより、レール２１４，２１７を前記停止位置において停止させる位置精度をさらに向上させることができる。

また、第１実施形態では、間欠搬送機構２２を備えているので、搬送用ハンガー２１をレールに沿って１ピッチ毎に正確に移動させることができる。また、この間欠搬送機構２２では、モータ２２４が地面の近くに設置されているので、モータ２２４及びこれに接続されているクランクアーム２２５などの各部材のメンテナンスがしやすい。

また、第１実施形態では、レールに対して、ショックを付与するためのレールショック機構を備えているので、水洗処理や水切り処理の処理効果を高めることができる。

また、第１実施形態では、搬送用ハンガー２１に設けられたクランパーを洗浄するための剥離後水洗機構４０１を備えているので、その外側押さえ機構によってクランパーを開状態にすることができる。これにより、閉状態のままでクランパーを洗浄する場合と比較してクランパーを洗浄する効果を高めることができる。

＜第２実施形態＞
図１３は、本発明の第２実施形態に係る表面処理装置の可動レール部及びその周辺の構造を示す平面図である。この第２実施形態の電気めっき装置１００では、可動レール部１４が昇降レールではなく、固定レールである点が第１実施形態と異なっている。他の構成については第１実施形態と同様であるので、同じ符号を付してその説明を省略する。

この第２実施形態では、回動軸９５が地面に固定されている。また、前処理槽固定レール１３と可動レール部１４との間に、昇降レール５１３が配設され、めっき槽固定レール１５と可動レール部１４との間に、昇降レール５１５が配設されている。昇降レール５１３は、延設部７８１に固定されたフレーム５０１に支持されている。昇降レール５１５は、延設部７８４に固定されたフレーム５０２に支持されている。これらの昇降レール５１３，５１５は、昇降機構３１により昇降する。

この第２実施形態の電気めっき装置１００では、可動レール部１４の周辺の動作としては、次の動作（１）〜動作（５）が順次実行され、動作（５）が終了すると、再び動作（１）から順次実行されて動作（１）〜動作（５）が繰り返される。

（１）図略の間欠搬送機構が位置（ａ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｂ）に送り、位置（ｃ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｄ）に送る。また、図略の第１位置決め搬送機構が位置（ｆ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｇ）に送り、図略の第２位置決め搬送機構が位置（ｉ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｊ）に送る。

（２）回動搬送機構２３により可動レール部１４の各レール２１４が９０°水平回転する。

（３）昇降レールが昇降機構３１により上位置に上昇する。

（４）図略のビームの固定されたプッシャーが位置（ｂ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｃ）に送り、位置（ｇ），（ｈ）の搬送用ハンガー２１を位置（ｈ），（ｉ）にそれぞれ送る。

（５）昇降レールが昇降機構３１により下位置に下降する。

＜参考例＞
図１４は、参考例に係る表面処理装置の可動レール部及びその周辺の構造を示す平面図である。この参考例の電気めっき装置１００では、可動レール部１４が１つのレール２１４により構成され、このレール２１４が回動軸９５を中心に円弧軌道を往復することにより搬送用ハンガー２１が搬送される点が第１実施形態と異なっている。他の構成については第１実施形態と同様であるので、同じ符号を付してその説明を省略する。

図１４に示すように、参考例では、回動軸９５にアーム９９を介して固定されているレール２１４が１つのみである。この電気めっき装置１００では、レール２１４に係合した搬送用ハンガー２１は、レール２１４が回動軸９５を中心に１８０°水平回転することにより、後工程のレール１５に搬送される。すなわち、この参考例では、レール２１４は、Ａ列の第１レール部の搬送方向Ｒの下流側端部、すなわちレール１３の下流側端部に隣接してレール１３と直線状に並ぶ第１位置と、Ｂ列の第２レール部の搬送方向Ｒの上流側端部、すなわちレール１５の上流側端部に隣接してレール１５と直線状に並ぶ第２位置との間を回動軸９５回りの円弧軌道に沿って往復動作する。

＜その他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態に係る表面処理装置について説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。

例えば、前記実施形態では、表面処理装置が電気めっき装置である場合を例に挙げて説明したが、本発明の表面処理装置は、電気めっき用途の他、例えば無電解めっき、溶融めっき、コーティング（例えば樹脂コーティング）、電着塗装、デスミア処理、陽極酸化、電解研磨、脱脂、酸洗等の種々の表面処理の用途にも適用できる。

また、前記実施形態では、アーム９９を介して回動軸９５に支持された４つのレールにより可動レール部１４が構成されている場合、及びアーム９９を介して回動軸９５に支持された１つのレール２１４により可動レール部１４が構成されている場合を例に挙げて説明したが、可動レール部を構成するレールの数は、前記実施形態に限定されず、例えば２つ、４つ、６つ、８つなどの種々の個数を選択できる。

また、前記実施形態では、互いに平行に配置された第１レール部及び第２レール部と、これらをつなぐ一対の可動レール部１４，１７とを備えている場合、すなわち、２箇所において搬送用ハンガー２１を円弧軌道に沿って回動搬送する場合を例示したが、どちらか一方の箇所のみにおいて搬送用ハンガー２１を回動搬送し、他方の箇所では回動以外の搬送機構により搬送用ハンガー２１を搬送する形態であってもよい。

また、前記実施形態では、第１レール部と第２レール部とが平行に配置されている場合を例示したが、第１レール部と第２レール部とは必ずしも平行に配置されていなくてもよい。

１ ローダー
２ 水洗槽
３ 前処理槽
４ 水洗槽
５ めっき槽
６ 水洗槽
７ 水切り槽
８ アンローダー
９ 剥離槽
１０ 水洗槽
１１ エアブロワ
１２ ロード側昇降レール
１３ 前処理槽固定レール
１４，１７ 可動レール部
１５ めっき槽固定レール
１６ アンロード側昇降レール
１８ 剥離槽固定レール
１９ 剥離槽昇降レール
２０ ロード側固定レール
２１ 搬送用ハンガー
２２ ロード側間欠搬送機構
２３ 回動搬送機構
２４ 第１位置決め搬送機構
２５ めっき槽側搬送機構
２６ 取込搬送機構
２７ アンロード側間欠搬送機構
２９ 第２位置決め搬送機構
３１ 昇降機構
３９ チェーンベルト
８４，８５ ガイド柱
２１４，２１７ 可動レール部の各レール
Ｗ ワーク

Claims (7)

1. 被処理物に表面処理を施すための表面処理装置であって、
   前記被処理物に対して複数の処理を段階的に施すために、前記複数の処理の順番に配列された複数の処理部と、
   前記複数の処理部の配列に沿って配置されたガイドレールと、
   前記被処理物を保持可能であり、かつ、前記ガイドレールに係合した状態で前記複数の処理部の前記配列に沿った搬送方向に移動可能な搬送用ハンガーと、
   前記搬送用ハンガーを前記搬送方向に移動させる搬送機構と、を備え、
   前記ガイドレールは、
   前記複数の処理部のうちの一部の配列に沿って配置された直線状の第１レール部と、
   前記複数の処理部のうちの他の一部の配列に沿って配置された直線状の第２レール部と、
   少なくとも２つのレールを含む可動レール部と、を有し、
   前記可動レール部の各レールは、直線状の形状を有し、かつ、前記第１レール部における前記搬送方向の下流側の端部に隣接して前記第１レール部と直線状に並ぶ第１位置、及び前記第２レール部における前記搬送方向の上流側の端部に隣接して前記第２レール部と直線状に並ぶ第２位置を取り得るように構成されており、
   前記搬送機構は、前記第１位置と前記第２位置との間で回動軸回りの円弧軌道に沿って前記可動レール部の前記少なくとも２つのレールを移動させるための回動搬送機構を含み、
   前記少なくとも２つのレールは、これらのうちの１つのレールが前記第１位置にあるときに別の１つのレールが前記第２位置にあるように、前記円弧軌道において互いに等間隔に配置されており、
   前記第１レール部における前記下流側の端部及び前記第２レール部における前記上流側の端部はそれぞれ傾斜面であり、
   これらに隣接する前記可動レールの各レールの端部は、各レールにおいて水平方向の寸法が前記回動軸側である内側の方が外側よりも大きくなるように傾斜した傾斜面であり、
   前記第１レール部の前記傾斜面とこれに隣接する前記レールの前記傾斜面とが略平行であり、前記第２レール部の前記傾斜面とこれに隣接する前記レールの前記傾斜面とが略平行である表面処理装置。
2. 前記可動レール部を前記円弧軌道に沿って移動させるときに前記搬送用ハンガーを前記可動レール部に対して固定し、前記搬送用ハンガーを前記可動レール部から前記第２レール部に移動させるときに前記固定を解除するハンガー固定機構をさらに備えている、請求項１に記載の表面処理装置。
3. 前記円弧軌道に沿って移動している前記可動レール部を所定の停止位置において停止させるために前記可動レール部の位置を検知可能なセンサをさらに備えている、請求項１又は２に記載の表面処理装置。
4. 前記センサは、
   前記可動レール部の前記停止位置を検知するための停止センサと、
   前記可動レール部が前記停止位置よりも上流側の所定位置に到達したことを検知して、前記可動レール部の移動速度を減速するための減速センサと、を含む、請求項３に記載の表面処理装置。
5. 前記搬送機構は、予め定められたピッチ毎に前記搬送用ハンガーを前記ガイドレールに沿って移動させるための間欠搬送機構をさらに含み、
   前記間欠搬送機構は、
   前記ガイドレールに並設され、前記ガイドレールに略平行に延びる並設部材と、
   前記並設部材に前記ピッチ毎に配列されて前記並設部材に固定され、前記搬送用ハンガーに当接可能なプッシャーと、
   一端が前記並設部材に固定されたアームと、
   前記アームの他端が固定された回動軸を有するモータと、を有している、請求項１〜４のいずれか１項に記載の表面処理装置。
6. 前記複数の処理部のうちの少なくとも１つに対応する位置における前記ガイドレールに対して、ショックを付与するためのレールショック機構をさらに備えている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の表面処理装置。
7. 前記被処理物を保持するために前記搬送用ハンガーに設けられた保持部を洗浄するための保持部洗浄機構をさらに備え、
   前記保持部は、一対のクランプレバーと、一方のクランプレバーを他方に対して回動可能に連結する支軸と、一対のクランプレバーが閉状態となる方向に一対のクランプレバーを付勢する付勢部材とを含み、
   前記保持部洗浄機構は、前記複数の処理部のうちの少なくとも１つに対応する位置に設けられており、前記一対のクランプレバーが開状態となる方向に前記一方のクランプレバーを押圧可能な押圧機構を有している、請求項１〜６のいずれか１項に記載の表面処理装置。

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