KR101379269B1 - 표면처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 코너부에서의 반송 기구를 간이화해서 장치를 소형화할 수 있는 표면처리장치를 제공하는 것이다.
표면처리장치는 워크(20)를 홀딩하는 반송 지그(30)와, 반송 지그가 순환 반송되는 순환반송로(100)와, 순환반송로(100)에 마련된 표면처리조(200)를 가진다. 순환반송로는 제1, 제2 직선반송로(110, 120)와, 제1 직선반송로의 단부와 제2 직선반송로의 단부 사이에서 반송 지그를 수평 회전해서 건네는 제1, 제2 회전장치(130, 140)를 가진다. 제1, 제2 회전장치의 각각은, 2개의 회전 레일(131, 132, 141, 142)과, 반송 지그를 지지한 회전 레일과 빈 상태의 회전 레일을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동하는 회전 구동부(510∼514)를 가진다. 제1, 제2 회전장치의 각각의 회전 레일은 정지위치에서, 제1, 제2 직선반송로의 단부에 각각 배치된 4개의 가이드 레일(234, 235, 242, 243)의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치된다.

Description

표면처리장치{SURFACE TREATMENT DEVICE}

본 발명은 연속 도금장치 등의 표면처리장치에 관한 것이다.

표면처리장치, 예를 들면 워크 표면을 도금처리하는 전해 도금처리장치로서, 도금조(槽;tank) 내에서 회로 기판 등의 워크를 연속 반송하는 연속 도금처리장치가 알려져 있다. 워크는 급전(給電) 레일을 따라 반송되는 반송 지그에 수하(垂下)되어 홀딩된다. 워크는 급전 레일로부터 반송 지그를 통해 급전되면서 도금조 내부를 연속 반송된다. 도금조에는 음극이 되는 워크 반송 경로의 양측에 양극이 배치된다. 음극-양극간에 전계를 형성해서 도금액을 전기 분해하여 워크 표면을 도금한다.

도금조에서 워크를 연속 반송하는 콘베이어의 앞뒤에 전처리 콘베이어와 후처리 콘베이어를 배치하고, 각 콘베이어 사이에서 워크를 홀딩한 반송 지그를 주고받는 구조(특허문헌 1의 도 1)에서는, 각 콘베이어 사이에 주고받기 장치가 필요해서 장치가 대형화된다.

이 대신에, 트랙형상의 반송 경로에 도금조, 전처리조 및 후처리조를 마련한 구조가 있다(특허문헌 2의 도 1).

일본국 특허공보 제3025254호 일본국 공개특허공보 2002-363796호

특허문헌 2의 구조는 특허문헌 1보다 장치는 소형화된다. 그러나 특허문헌 2의 도 2에서는 직선반송로에서의 반송과 비교해서 코너부에서의 반송 기구가 대규모가 되어, 2개의 푸셔(21a, 21d)에 의해 구동되는 링크 기구에 더해 승강 기구도 필요하게 된다.

본 발명의 몇 가지 양태에서는 코너부에서의 반송 기구를 간이화해서 장치를 소형화할 수 있는 표면처리장치를 제공한다.

본 발명의 한 양태에 따른 표면처리장치는,

워크를 각각 홀딩하는 복수의 반송 지그와,

순환반송방향을 따라 상기 복수의 반송 지그가 순환 반송되는 순환반송로와,

상기 순환반송로에 마련되며, 상기 복수의 반송 지그의 각각에 홀딩된 상기 워크를 표면처리하는 표면처리조와,

상기 표면처리조보다 상기 순환반송로의 상류에 마련되며, 미처리 워크를 상기 복수의 반송 지그에 반입하는 반입부와,

상기 표면처리조보다 상기 순환반송로의 하류에 마련되며, 처리 완료된 워크를 상기 복수의 반송 지그로부터 반출하는 반출부를 가지며,

상기 순환반송로는,

제1 직선반송로와,

상기 제1 직선반송로와 평행한 제2 직선반송로와,

상기 제1 직선반송로의 한쪽 끝에서 상기 제2 직선반송로의 한쪽 끝으로 상기 복수의 반송 지그 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제1 회전장치와,

상기 제2 직선반송로의 다른쪽 끝에서 상기 제1 직선반송로의 다른쪽 끝으로 상기 복수의 반송 지그 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제2 회전장치를 가지며,

상기 제1, 제2 회전장치의 각각은,

2개의 회전 레일과,

상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 상기 적어도 하나의 반송 지그를 지지한 상태로, 상기 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른 1개의 회전 레일이 빈 상태에서, 상기 2개의 회전 레일을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동하는 회전 구동부를 가지며,

상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일의 각각은, 정지위치에서, 상기 제1, 제2 직선반송로의 상기 한쪽 끝 및 상기 다른쪽 끝에 각각 배치된 4개의 가이드 레일의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 한 양태에서는, 제1, 제2 회전장치의 각각은 2개의 회전 레일 중, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 한쪽에 반송 지그를 지지하고, 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른쪽은 빈 상태에서, 2개의 회전 레일을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동한다. 이로 인해 제1, 제2 직선반송로 사이에서 반송 지그를 상류측에서 하류측으로 건넬 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일은 평면으로 봤을 때 양 끝이 모따기(chamfering)되고, 상기 4개의 가이드 레일의 상기 각 1개는, 상기 각 1개와 일직선상에 배치되는 상기 회전 레일의 상기 양 단부의 한쪽과 대향하는 단부는, 상기 2개의 회전 레일의 회전시에 상기 2개의 회전 레일의 상기 양 단부와 간섭하지 않도록 모따기되어도 된다.

회전 레일의 회전시에는, 회전 레일의 양 단부에 모따기부가 존재함으로 인해, 회전 레일은 최대 반경의 회전 궤적이, 고정 레일의 단부와 간섭하지 않도록 할 수 있다. 게다가 모따기부를 형성함으로써, 회전 레일과 고정 레일 사이의 틈(δ)을 작게 할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일은, 평면으로 봤을 때 양 끝에 제1, 제2 사변(斜邊)을 가지는 사다리꼴로 형성되고, 상기 정지위치에서, 상기 사다리꼴의 긴 변이 상기 사다리꼴의 짧은 변보다 회전반경방향의 내측에 배치되고, 상기 4개의 가이드 레일의 상기 각 1개는, 상기 각 1개와 일직선상에 배치되는 상기 회전 레일의 상기 제1, 제2 사변의 한쪽과 대향하는 단부에, 상기 제1, 제2 사변의 한쪽과 실질적으로 평행한 사변을 가질 수 있다.

이러한 형상에 의해, 회전 레일의 최대 회전 반경을 짧게 하여, 회전 레일과 고정 레일의 간섭을 방지할 수 있는 동시에, 회전 레일과 고정 레일 사이의 틈을 최소로 할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 긴 변과 상기 사변의 교점을 제1 각부(角部)라고 하고, 상기 짧은 변과 상기 사변의 교점을 제2 각부라고 하여, 상기 회전 레일의 회전중심에서 상기 제1, 제2 각부까지의 각 길이가 실질적으로 동일하게 할 수 있다.

이 경우, 회전 레일의 회전중심(O)에서 제1, 제2 각부(P1, P2)까지의 각 길이가 최대 반경이 된다. 따라서 제1, 제2 각부(P1, P2)의 회전 궤적이 고정 레일과 간섭하지 않도록, 회전 레일과 고정 레일 사이의 틈(δ)을 최소로 설정할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 회전 구동부는, 상기 2개의 회전 레일을 동일한 회전방향으로 반복해서 회전 구동하고, 상기 적어도 하나의 반송 지그를 지지한 상기 1개의 회전 레일은, 상기 제1, 제2 직선반송로의 상기 한쪽 끝 또는 상기 다른쪽 끝보다 외측을 통과해서 회전되며, 상기 빈 상태의 상기 다른 1개의 회전 레일은 상기 제1, 제2 직선반송로 사이를 통과해서 회전할 수 있다.

이렇게 하면 제1, 제2 직선반송로 사이에서 반송 지그에 홀딩된 워크를 상류측에서 하류측으로 건넬 때에, 워크가 제1, 제2 직선반송로 사이의 부품과 간섭하는 일이 없다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 제1, 제2 회전장치의 각각은 상기 2개의 회전 레일을, 상기 정지위치에서 위치결정 고정하는 위치결정 고정부를 더 가질 수 있다.

이렇게 하면, 고정 레일과의 사이에서 반송 지그가 반입출되는 회전 레일을 위치결정 고정부에 의해 위치결정 고정함으로써, 회전 레일의 위치를 일정하게 해서 반입출 동작을 원활하게 실시할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 위치결정 고정부는 상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 상기 적어도 하나의 반송 지그를 건네기 전에, 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에서 위치결정 고정할 수 있다.

이렇게 하면, 고정 레일에서 회전 레일을 향해 반송 지그가 반입될 때에 회전 레일에 외력이 작용해도, 회전 레일이 외력에 의해 이동하는 것을 위치결정 고정부에 의해 방지할 수 있다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 회전 구동부는 구동원과, 상기 2개의 회전 레일이 양 끝에 고정되고, 상기 구동원에 의해 구동되는 회전 암을 가지며,

상기 위치결정 고정부는,

상기 회전 암에 마련된 적어도 하나의 피(被)위치결정부와,

상기 정지위치에 있는 상기 적어도 하나의 피위치결정부를 향해 구동되어 상기 적어도 하나의 피위치결정부를 위치결정 고정하는 위치결정 구동부를 포함할 수 있다.

이렇게 하면, 적어도 하나의 피위치결정부를 향해 위치결정 구동부를 구동함으로써, 회전 암 및 그 양 끝의 회전 레일이 위치결정된다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 적어도 하나의 피위치결정부는 상기 회전 암의 회전중심에서 등(等)거리에 있는 2부위에 배치되고, 상기 위치결정 구동부는 상기 회전중심보다, 상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 가까운 위치에 배치할 수 있다.

2개의 피위치결정부에 대하여, 2개의 위치결정 구동부를 마련해도 되지만, 1개의 위치결정 구동부(522)만 마련해서 부품점수를 삭감할 수 있다. 이 위치결정 구동부는 회전중심보다, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 회전 레일에 가까운 위치에 배치된다. 한쪽의 피위치결정부를 위치결정 구동부에 의해 위치결정해도, 2개의 회전 레일은 일체적으로 위치결정된다. 특히 반송 지그(30)가 반입되는 쪽의 전개 레일에는, 반입시에 회전 레일(141)을 회전시키는 외력이 작용하므로, 외력이 작용하는 쪽에 위치결정 구동을 배치하고 있다.

본 발명의 한 양태에서는,

상기 제1, 제2 회전장치의 각각은,

상기 2개의 회전 레일과 일체로 회전 구동되는 제1 피(被)검출부와,

상기 제1 피검출부의 회전위치를 검출하는 위치검출부를 더 가지며,

상기 회전 구동부는 상기 위치검출부에서의 출력에 기초하여 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에 정지시킬 수 있다.

이렇게 하면, 회전 구동부는 항상 일정한 위치에서 회전 레일을 정지 제어할 수 있어, 고정 레일과 회전 레일 사이에서 반송 부재를 주고받기가 원활해진다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 회전 구동부는 브레이크 달린 모터를 포함하고,

상기 위치검출부는 상기 정지위치를 검출하는 제1 위치검출부와, 상기 회전방향에서 상기 정지위치보다 상류위치의 감속개시위치를 검출하는 제2 위치검출부를 포함할 수 있다.

이렇게 하면, 회전 레일의 정지위치 정밀도가 더욱 높아져, 고정 레일과 회전 레일 사이에서 반송 부재를 주고받기가 더욱 원활해진다.

본 발명의 한 양태에서는, 상기 복수의 반송 지그 각각은 제2 피검출부를 가지며,

상기 제1, 제2 회전장치의 각각은,

상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 반입되는 상기 적어도 하나의 반송 지그의 상기 제2 피검출부의 유무를 검출하는 제1 지그검출부와,

상기 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른 1개의 회전 레일로부터 반출되는 상기 적어도 하나의 반송 지그의 상기 제2 피검출부의 유무를 검출하는 제2 지그검출부를 더 가지며,

상기 회전 구동부는, 상기 제1, 제2 지그검출부의 출력에 기초하여 상기 2개의 회전 레일의 회전 구동을 개시할 수 있다.

회전 구동부는 제1, 제2 지그검출부의 출력에 기초하여 회전 레일의 회전 구동을 개시한다. 즉, 제1 지그검출부에서 상류측에 위치하는 회전 레일에 반송 지그가 탑재된 것이 확인되고, 동시에 제1 지그검출부에서 하류측에 위치하는 회전 레일로부터 반송 지그가 반출된 것이 확인되어, 회전 구동부는 구동 개시된다.

본 발명에 따르면, 코너부에서의 반송 기구를 간이화해서 장치를 소형화할 수 있는 표면처리장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 연속 도금장치의 개략 평면도이다.
도 2는 도금조로의 반송 지그를 간헐 반송하고, 도금조 내에서 반송 지그를 연속 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 3은 전처리조의 일부에서 반송 지그를 간헐 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 4는 전처리조의 다른 일부에서 반송 지그를 간헐 반송하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 5는 회전장치의 정면도이다.
도 6은 회전장치의 측면도이다.
도 7은 회전장치의 평면도이다.
도 8은 도금조의 개략 종단면도이다.
도 9는 반송 지그의 개략 사시도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. 한편 이하에 설명하는 본 실시형태는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하는 것이 아니며, 본 실시형태에서 설명되는 구성 모두가 본 발명의 해결 수단으로서 필수라고는 할 수 없다.

1. 표면처리장치의 개요

도 1은 표면처리장치, 예를 들면 연속 도금처리장치의 평면도이다. 연속 도금처리장치(10)는 회로 기판 등의 워크(20)를 각각 홀딩하는 복수의 반송 지그(30)가, 도 1의 예를 들면 오른쪽으로 회전하는 순환반송방향(A)을 따라 순환 반송되는 순환반송로(100)를 가진다. 한편 도 1에서는 일부의 워크(20)나 일부의 반송 지그(30)의 도시가 생략되어 있다.

순환반송로(100)에는 복수의 반송 지그(30)의 각각에 홀딩된 워크(20)를 표면처리 예를 들면 도금처리하는 도금조(넓은 의미로는 표면처리조)(200)와, 도금조(200)보다 순환반송로(100)의 상류에 마련되어 미처리 워크(20)를 복수의 반송 지그(30)에 반입하는 반입부(210)와, 도금조(200)보다 순환반송로(100)의 하류에 마련되어 처리 완료된 워크(20)를 복수의 반송 지그(30)로부터 반출하는 반출부(220)가 마련되어 있다.

순환반송로(100)는 제1 직선반송로(110)와, 제1 직선반송로(110)와 평행한 제2 직선반송로(120)와, 제1 직선반송로(110)의 한쪽 끝에서 제2 직선반송로(120)의 한쪽 끝으로 복수의 반송 지그(30) 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제1 회전장치(130)와, 제2 직선반송로(120)의 다른쪽 끝에서 제1 직선반송로(110)의 다른쪽 끝으로 복수의 반송 지그(30) 중 적어도 하나를 수평 회전해서 건네는 제2 회전장치(140)를 가진다.

본 실시형태에서는, 도금조(200)는 제2 직선반송로(120)를 따라 마련되고, 반입부(210) 및 반출부(220)는 제1 직선반송로(110)에 마련되어 있다. 순환반송로(100)에는 도금조(200)의 상류측에 배치되는 전처리조군(230)과, 도금조(200)의 하류측에 배치되는 후처리조군(240)을 더 마련할 수 있다.

전처리조군(230)은 반입부(210)와 도금조(200) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 탈지조(230A), 온수세정조(230B), 물세정조(230C), 샤워조(230D) 및 산세정조(230E)를 배치함으로써 구성된다. 후처리조(240)는 도금조(200)와 반출부(220) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 샤워조(240A) 및 물세정조(240B)를 배치함으로써 구성된다. 한편 전처리조군(230) 및 후처리조군(240)의 수나 종류는 적절히 변경 가능하다. 또한 본 실시예의 장치에서는, 제1 회전장치(130)에 의해 회전되는 워크(20)는 회전 중에 샤워조(230D)에서 세정된다. 마찬가지로, 제2 회전장치(140)에 의해 회전되는 워크(20)는 회전 중에 샤워조(240A)에서 세정된다.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240)에서 반송 지그(30)는 간헐 반송된다. 이 때문에, 전처리조군(230) 및 후처리조군(240)에서는 반송 지그(30)를 반송 가이드하는 2종류의 가이드 레일이 마련된다. 하나는 동일 처리조 내에서 반송 지그(30)를 간헐 반송시키기 위한 고정 레일(232, 234, 235, 242, 243)이다. 다른 하나는 다른 처리조 사이에서, 칸막이벽을 넘어서 반송 지그(30)를 간헐 반송할 수 있는 승강 레일(231, 233, 236, 241)이다.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240)의 샤워조(230D, 240A) 이외의 제1, 제2 직선반송로(110, 120)에서는 이 2종류의 가이드 레일과, 가이드 레일을 따라 1 또는 복수개의 반송 지그(30)를 단위거리만큼 이동시키는 푸셔(pusher)에 의해 반송 지그(30)가 간헐 반송된다. 한편 간헐 반송동작에 대해서는 도 3 및 도 4를 이용해서 후술한다.

전처리조군(230) 및 후처리조군(240) 중의 샤워조(230D, 240A)에서는 제1, 제2 회전장치(130, 140)에 의해 반송 지그(30)가 간헐 반송된다. 이 때문에, 제1 회전장치(130)는 일체적으로 회전 구동되는 2개의 회전 레일(131, 132)을 가지며, 제2 회전장치(140)는 일체적으로 회전 구동되는 2개의 회전 레일(141, 142)을 가진다.

예를 들면 제1 회전장치(130)에서는 2개의 회전 레일(131, 132) 중, 순환반송방향의 상류측에 위치하는 한쪽에 반송 지그(30)를 지지하고, 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른쪽은 빈 상태에서, 2개의 회전 레일(131, 132)을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동한다. 제2 회전장치(140)도 마찬가지이다. 제1, 제2 회전장치(130, 140)로 회전되는 반송 지그(30)에 홀딩된 워크(20)는 샤워조(230D) 또는 샤워조(240A)에서 샤워 세정된다. 이때, 샤워조(230D, 240A)에서는 워크(20)를 침지시키는 액을 수용할 필요가 없으므로 격벽이 있다고 해도 낮아도 되므로, 워크(20)의 수평 반송에 지장을 주지 않는다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제1, 제2 회전장치(130, 140)의 각각에 마련된 2개의 회전 레일(131, 132, 141, 142)의 각각은 정지위치에서, 제1, 제2 직선반송로(110, 120)의 양 끝에 각각 배치된 4개의 가이드 레일(234, 235, 242, 243)의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치된다.

도금조(200)에는 도금조(200)의 위쪽에서 벗어난 위치에서, 도 1의 평면도에서 도금조(200)의 길이방향과 평행하게 연장 설치되는 급전 레일(201)이 마련되어 있다. 급전 레일(201)에 지지되는 복수의 반송 지그(30)는 도금조(200) 내에 배치시켜 워크(20)를 각각 홀딩한다. 또한 복수의 반송 지그(30)를 급전 레일(201)을 따라 연속 반송시키는 연속 반송 수단(400)이 급전 레일(201)을 따라 마련된다. 한편 연속 반송동작에 대해서는 도 2를 이용해서 후술한다.

순환반송로(100)는 제1 직선반송로(110)의 반출부(220)에서 반입부(210)에 걸쳐, 지그 되돌리기 반송로(150)를 더 가진다. 지그 되돌리기 반송로(150)는 예를 들면 2개의 엔드리스(endless) 체인(151, 152)을 가진다. 지그 되돌리기 반송로(150)는 빈 상태의 반송 지그(30)를 반출부(220)에서 반입부(210)로 되돌리기 반송하는 기능과, 반입부(210)의 상류측에서 빈 상태의 반송 지그(30)를 대기시키는 기능을 가진다.

2. 반송 지그의 간헐 반송과 연속 반송

도 2는 도금조(200) 내에서의 반송 지그(30)의 연속 반송동작과, 산세정조(230E)와 도금조(200) 사이에서의 반송 지그(30)의 간헐 반송동작을 나타내고 있다. 도 2는 승강 레일(236)에 지지되어 있던 3개의 반송 지그(30) 중, 쇄선으로 나타내는 선두에 있는 반송 지그(30)가 승강 레일(236)로부터 급전 레일(201)상의 실선으로 나타내는 위치로 건네진 직후의 상태를 나타내고 있다.

도 2에서 승강 레일(236)은 승강 모터(250)의 구동에 의해 승강축(252)을 따라 승강할 수 있다. 이 승강 레일(236)은 4개의 반송 지그(30)를 지지할 수 있는 길이를 가지며, 실제 구동에서는 2개 또는 3개의 반송 지그(30)가 지지된다. 따라서, 적어도 1개의 반송 지그(30)를 지지하는 스페이스를, 비어 있는 스페이스로서 가지고 있다.

도 2의 상태에서 승강 레일(236)이 상승되기 전에, 샤워조(230D)에 있던 1개의 반송 지그(30)(도 2에서는 도시하지 않음)가 승강 레일(236)에 지지되도록 보내기 동작된다. 이렇게 해서, 3개의 반송 지그(30)를 탑재한 승강 레일(236)이 상승된다. 상승위치에는 상부 푸셔(260)가 배치되어 있다. 이 상부 푸셔(260)는 로드(rod)(262)에 3개의 보내기 피스(264)를 가진다. 로드(262)는 보내기 모터(266)에 의해 구동되는 보내기 볼 나사(268)에 의해 전후진 가능하다.

한편 승강 레일(236)에 지지된 3개의 반송 지그(30)의 각각에는 제1 구동편(320)이 고정되어 있다. 승강 레일(236)이 상승하면, 상부 푸셔(260)의 3개의 보내기 피스(264)의 전방에 3개의 제1 구동편(320)이 배치된다. 그 후 로드(262)를 전진시키면, 로드(262)와 함께 전진하는 3개의 보내기 피스(264)가 3개의 제1 구동편(320)을 눌러 동작시켜, 3개의 반송 지그(30)가 단위거리만큼 전진된다. 이렇게 해서, 선두에 있는 반송 지그(30)는 산세정조(230E)의 위쪽에서 도금조(200)의 위쪽으로 이동된다.

그 후, 승강 레일(236)이 하강된다. 그로 인해, 선두에 있는 반송 지그(30)는 도 2에서 쇄선으로 나타내는 바와 같이 도금조(200) 내에 배치된다. 이와 같이, 다른 처리조 사이의 격벽(237)을 넘기 위해, 승강 레일(236)과 상부 푸셔(260)를 이용해서 반송 지그(30)는 간헐 반송된다.

승강 레일(236)상에 지지된 선두에 있는 반송 지그(30)(쇄선으로 도시함)는 하부 푸셔(270)에 의해, 승강 레일(236)로부터 급전 레일(201)로 건네진다. 하부 푸셔(270)는 로드(272)에 지지된 보내기 피스(274)를 가진다. 한편 반송 지그(30)는 보내기 피스(274)에 접촉 가능한 제2 구동편(321)을 가지며, 승강 레일(236)상에 지지된 선두에 있는 반송 지그(30)의 제2 구동편(321)은 보내기 피스(274)의 전방에 배치된다. 그 후 로드(272)를 전진시키면, 로드(272)와 함께 전진하는 보내기 피스(274)가 제2 구동편(321)을 눌러 동작시켜, 반송 지그(30)가 단위거리만큼 화살표(A)방향으로 전진된다. 이렇게 해서, 선두에 있는 반송 지그(30)는 산세정조(230E)의 위쪽에서 도금조(200)의 위쪽으로 이동된다. 승강 레일(230E)에서 급전 레일(201)로 건네진다.

이때, 로드(272)의 시퀀셜 제어에 의해, 로드(272)로 전진된 후행의 반송 지그(30)에 지지된 워크(20)는 급전 레일(201)상에서 저속도로 연속 반송 중인 선행의 반송 지그(30)에 지지된 워크(20)와 약간의 갭(G)만큼 떨어져서 배치된다. 갭(G)은 좁을수록 좋지만, 선행 및 후행의 워크(20)들의 간섭을 방지할 필요가 있어, 설계값으로서 10mm 또는 그 전후의 치수로 설정된다. 갭(G)이 크면 워크(20)의 양 끝에 전해가 집중되어, 이른바 도그 본(개 뼈)이라고 불리는 것과 같이 워크(20)의 양 끝에서의 도금 두께가 두꺼워져 면내 균일성을 확보할 수 없기 때문이다.

다음으로 도 3 및 도 4를 참조하여, 전처리조군(230)에서 반송 지그(30)를 간헐 반송하는 동작에 대하여 설명한다. 도 3 및 도 4에서도 도 2에서의 간헐 반송동작과 마찬가지로, 동일조 내에서만 이루어지는 간헐 반송동작은 하부 푸셔(280, 284, 286)와 고정 레일(232, 234, 235)을 이용해서 실시되고, 다른 조 사이에서 격벽(237)을 넘는 간헐 반송동작을 포함할 경우에는 상부 푸셔(282)와 승강 레일(233)을 이용해서 간헐 반송동작이 실시된다. 한편 도 4는 물세정조(230C)에서 산세정조(230E)까지를 전개한 도면으로서 나타냈지만, 샤워조(230D) 내에서의 간헐 반송은 고정 레일 대신에, 수평으로 회전되는 회전 레일(131) 또는 회전 레일(132)이 이용되고, 회전 레일(131(132))과 그 전후의 고정 레일(234, 235) 사이의 간헐 반송은 하부 푸셔(284, 286)에 의해 실시된다. 또한 후처리조군(240)에서의 간헐 반송동작에 대해서는 설명을 생략하지만, 상기와 마찬가지로 해서, 회전 레일(141, 142), 고정 레일(242, 243)과 도시하지 않은 하부 푸셔를 이용해서 실시된다.

3. 회전장치

도 1에 나타내는 제1, 제2 회전장치(130, 140)의 상세를, 도 5∼도 7을 참조해서 설명한다. 한편 도 5∼도 7은 제2 회전장치(140)를 나타내지만, 제1 회전장치(130)도 동일한 구조를 가진다.

연속 도금장치(10)의 정면측에서 본 도 5에 있어서, 제2 회전장치(140)는 연속 도금장치(10)의 기대(機臺)(10A)상에 채널형상(コ자 형상)의 부착 금구(金具)(500)를 가지며, 부착 금구(500)의 상부에 구동원인 모터, 예를 들면 브레이크 달린 모터(510)를 가진다. 모터(510)에 의해 구동되는 회전축(512)이, 모터(510)로부터 수직 아래쪽으로 연장되어 있다.

이 회전축(512)에는, 연속 도금장치(10)를 측면에서 본 도 6에 나타내는 바와 같이, 수평으로 연장되는 회전 암(514)이 고정되어 있다. 회전 암(514)의 양 끝에, 도 1에 나타내는 2개의 회전 레일(141, 142)이 고정되어 있다. 따라서 모터(510), 회전축(512) 및 회전 암(514)은 회전 레일(141, 142)을 회전 구동하는 회전 구동부를 구성한다.

3.1. 모따기부

여기서 평면으로 봤을 때인 도 7에 나타내는 바와 같이, 2개의 회전 레일(141, 142)은 평면으로 봤을 때 양 끝이 모따기되어 있다. 예를 들면, 도 7의 B부 확대도에 나타내는 바와 같이, 회전 레일(141)의 한쪽 끝에는 모따기부(141A)가 형성되고, 본 실시형태에서는 모따기부(141A)는 사변으로 형성되어 있다. 회전 레일(141)은 평면으로 봤을 때 선대칭형상이며, 회전 레일(141)의 다른쪽 끝에도 사변으로 형성된 모따기부(141B)가 형성되어 있다. 또 하나의 회전 레일(142)의 양 끝에도 사변으로 형성된 모따기부(142A, 142B)가 형성되어 있다.

나아가 도 7에 있어서, 회전 레일(141) 또는 회전 레일(142)과 일직선상에 배치되는 고정 레일(242)에도, 회전 레일(141, 142)의 모따기부(141A, 142A)와 대향하는 단부가, 모따기부(141A, 142A)와 평행한 사변으로 형성되는 모따기부(242A)를 가진다. 도 7의 B부 확대도에서 나타내는 바와 같이, 대향하는 모따기부(141A, 242A) 사이에는 틈(δ)이 생겨 있다. 고정 레일(243)에도 동일한 모따기부(243A)가 형성되어 있다.

여기서 회전 레일(141, 142)은 도 7의 화살표(C)방향으로 180°씩 간헐적으로 회전된다. 즉, 2개의 회전 레일(141, 142)을 동일한 회전방향(C)으로 반복해서 회전 구동하고, 반송 지그(30)를 지지한 측의 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))은 제2 직선반송로(120)의 단부의 고정 레일(242)보다 외측을 통과해서 회전된다. 반송 지그(30)를 지지하지 않고 있는 빈 상태의 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(142))은 제1, 제2 직선반송로(110, 120) 사이를 통과해서 회전된다.

그 회전시에는 모따기부(141A, 141B, 142A, 142B, 242A, 243A)가 존재함으로 인해, 회전 레일(141, 142)은 최대 반경의 회전 궤적(D)이 고정 레일(242, 243)의 단부와 간섭하지 않는다. 게다가 모따기부를 형성함으로써, 도 7의 B부 확대도에서 나타내는 틈(δ)을 최소로 할 수 있다.

바꿔 말하면, 회전 레일(141)은 도 7에 나타내는 평면으로 봤을 때 양 끝에 제1, 제2 사변(모따기부)(141A, 141B)을 가지는 사다리꼴로 형성되고, 회전 레일(141)의 정지위치에서, 사다리꼴의 긴 변(141C)이 사다리꼴의 짧은 변(141D)보다 회전반경방향의 내측에 배치된다. 회전 레일(142)도 마찬가지로, 제1, 제2 사변(모따기부)(142A, 142B)과, 긴 변(142C)과, 짧은 변(142D)을 가지는 평면으로 봤을 때 사다리꼴이다. 이러한 형상으로 인해, 회전 레일(141, 142)의 최대 회전 반경을 짧게 하여, 회전 레일(141, 142)과 고정 레일(242, 243)과의 간섭을 방지할 수 있는 동시에, 틈(δ)을 최소로 할 수 있다.

여기서 도 7에 나타내는 바와 같이, 긴 변(142C)과 사변(142A(142B))의 교점을 제1 각부(P1)라고 하고, 짧은 변(142D)과 사변(142A(142B))의 교점을 제2 각부(P2)라고 한다. 회전 레일(141, 142)의 회전중심(O)에서 제1, 제2 각부(P1, P2)까지의 각 길이를 실질적으로 동일하게 할 수 있다. 이 경우, 회전 레일(141, 142)의 회전중심(O)에서 제1, 제2 각부(P1, P2)까지의 각 길이가 최대 반경이 된다. 따라서 제1, 제2 각부(P1, P2)의 회전 궤적이 고정 레일(242, 243)과 간섭하지 않도록 틈(δ)을 최소로 설정할 수 있다.

도 7에 나타내는 하부 푸셔(284)의 구동편(284A)을 이동함으로써, 반송 지그(30)의 제2 구동편(321)(도 2참조)을 눌러 작동시켜, 반송 지그(30)가 고정 레일(242)에서 회전 레일(141 또는 142)로 이송된다. 그 때 틈(δ)이 최소이면, 반송 지그(30)의 이송이 원활해진다.

3.2. 위치결정 고정부

제2 회전장치(140)는 2개의 회전 레일(141, 142)을, 정지위치에서 위치결정 고정하는 위치결정 고정부(520)를 가질 수 있다. 위치결정 고정부(520)는 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))에 반송 지그(30)를 건네기 전에, 2개의 회전 레일(141, 142)을 그 정지위치에서 위치결정 고정한다.

위치결정 고정부(520)는 회전 암(514)에 마련된 적어도 하나, 예를 들면 2개의 피위치결정부(521)와, 정지위치에 있는 한쪽의 피위치결정부(521)를 향해 구동, 예를 들면 상승 구동되어 피위치결정부(521)를 위치결정 고정하는 위치결정 구동부(522)를 가질 수 있다.

피위치결정부(521)는 예를 들면 정점(頂點)을 하단으로 하는 원뿔형상이며, 위치결정 구동부(522)는 원뿔 부분을 받아들이는 테이퍼 홈을 가진다. 따라서 피위치결정부(521)를 향해 위치결정 구동부(522)를 상승 구동하면, 원뿔 부분과 테이퍼 홈의 센터링 기능에 의해, 회전 암(514) 및 그 양 끝의 회전 레일(141, 142)이 위치결정된다.

2개의 피위치결정부(521)는 회전 암(514)의 회전중심에서 등거리에 있다. 본 실시형태에서는 2개의 피위치결정부(521)에 대하여, 2개의 위치결정 구동부(522)를 마련해도 되지만, 하나의 위치결정 구동부(522)만 마련하고 있다. 이 위치결정 구동부(522)는 회전중심보다, 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))에 가까운 위치에 배치된다. 한쪽의 피위치결정부(521)를 위치결정 구동부(522)에 의해 위치결정해도, 회전 레일(141, 142)은 일체로서 위치결정된다. 단, 도 7에 나타내는 회전 레일(141)에는, 반송 지그(30)가 반입되고, 이 반입시에 회전 레일(141)을 회전시키는 외력이 작용한다. 따라서, 외력이 작용하는 쪽에 위치결정 구동부(522)를 배치하고 있다. 그리고 위치결정 고정부(520)는 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(141 또는 142)에 고정 레일(242)로부터 반송 지그(30)를 건네기 전에, 회전 레일(141, 142)을 정지위치에서 위치결정 고정한다. 이로 인해, 반송 지그(30)의 반입시에 회전 레일(141, 142)이 모터(510)로부터의 출력 이외의 외력에 의해 회전되는 일이 없다.

한편 하나의 피위치결정부(521)를 회전 암(514)의 회전중심에 마련해도 된다. 이 경우, 하나의 위치결정 구동부(522)가 회전 암(514)의 회전중심선상에 마련되면 된다.

3.3. 시퀀스 제어

회전장치(140)는 회전 개시부터 회전 정지까지 시퀀셜로 제어된다. 먼저, 회전장치(140)의 회전 동작의 종료 제어에 대하여 설명한다. 회전장치(140)는 2개의 회전 레일(141, 142)과 일체로 회전 구동되는 제1 피검출부(530)와, 제1 피검출부(530)의 회전위치를 검출하는 위치검출부(531(532))를 더 가질 수 있다.

제1 피검출부(530)는 회전축(512)으로부터 수평으로 연장되는 띠형상 부재로 할 수 있다. 위치검출부(531(532))는 제1 피검출부(530)를 예를 들면 빛 또는 용량값의 변화에 따라 비접촉으로 검출할 수 있다. 모터(510)는 위치검출부(531(532))로부터의 출력에 기초하여 2개의 회전 레일(141, 142)을 정지위치에 정지시킨다.

본 실시형태에서는 브레이크 달린 모터(510)를 채용하고 있다. 이 경우, 위치검출부는 정지위치를 검출하는 제1 위치검출부(531)와, 회전방향(C)에서 정지위치보다 상류위치의 감속개시위치를 검출하는 제2 위치검출부(532)를 포함할 수 있다. 이렇게 하면, 브레이크 달린 모터(510)는 제2 위치검출부(532)의 출력에 의해 감속을 개시하고, 제1 위치검출부(531)의 출력에 기초하여 정지된다.

다음으로 회전장치(140)의 회전 동작의 개시 제어에 대하여 설명한다. 도 9에 나타내는 대로, 복수의 반송 지그(30)의 각각은 반송 지그(30)의 유무를 센싱하기 위한 피검출편(제2 피검출부)(322)을 가진다. 한편 회전장치(140)는 순환반송방향(A)의 상류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(141))에 반입되는 반송 지그(30)의 피검출편(제2 피검출부)(322)의 유무를 검출하는 제1 지그검출부(540)를 가진다. 회전장치(140)는 또한, 순환반송방향(A)의 하류측에 위치하는 회전 레일(도 7에서는 회전 레일(142))로부터 반출되는 반송 지그(30)의 피검출편(제2 피검출부)(322)의 유무를 검출하는 제2 지그검출부(541)를 가진다.

모터(510)는 제1, 제2 지그검출부(540, 541)의 출력에 기초하여 회전 레일(141, 142)의 회전 구동을 개시한다. 즉, 제1 지그검출부(540)에서 상류측에 위치하는 회전 레일(141, 142)의 한쪽에 반송 지그(30)가 탑재된 것이 확인되고, 동시에 제1 지그검출부(540)에서 하류측에 위치하는 회전 레일(141, 142)의 다른쪽에서 반송 지그(30)가 반출된 것이 확인되어, 모터(510)는 구동 개시된다. 위치결정 구동부(520)를 구비할 경우에는 위치결정 구동부(522)가 하강 구동되어 위치결정이 해제되어 있는 것도 모터(510)의 구동 개시 조건이 된다.

4. 도금조

도 8은 도금조(200)의 개략 단면도이다. 도금조(200)는 상부가 개구된 프레임(202)을 가진다. 프레임(202) 내에는 2개의 양극 박스(203)가 대향되어 배치되고, 양극 박스(203) 내에는 소모품인 양극 볼(203A)이 수용된다. 2개의 양극 박스(203) 사이에는 2열의 노즐관(204)이 배치된다. 2열의 노즐관(204)의 각각에는 종렬로 복수의 노즐(204A)이 고정되며, 도금액을 워크(20)의 양면을 향해 분출할 수 있다. 2열의 노즐관(204)의 하단은 분배 배관(205)에 각각 고정되어 있다.

워크(20)의 양측에는 워크(20)를 반송 가이드하는 가이드 부재나, 워크(20)의 상하 단부를 마스크하는 마스크 부재를 마련할 수 있다. 또한 워크(20)의 전체 길이에 맞춰 가이드 부재 및 마스크 부재의 높이위치를 조정할 수 있다. 마스크 부재가 워크(20)의 상하 단부를 마스크함으로써, 워크(20)의 하단에 전계가 집중되어 도금 두께가 두꺼워지는 것을 방지할 수 있다.

5. 반송 지그

워크(20)를 홀딩하는 반송 지그(30)는 도 9에 나타내는 바와 같이, 급전 레일(201)에 안내되는 피안내부(300)와, 피안내부(300)측의 기단부에서 자유단부를 향해 수평방향으로 연장되는 연결부(330)와, 연결부(330)의 자유단부에 연결되어 워크(20)를 수하 상태에서 홀딩하는 홀딩부(340)를 가진다.

여기서, 피안내부(300)를 안내하는 급전 레일(201)은 도 9에 나타내는 바와 같이, 종단면이, 상면(201A)과, 하면(201B)과, 도금조(200)측의 제1 측면(201C)과, 제1 측면(201C)과 대향하는 제2 측면(201D)을 가지는 직사각형 단면이다. 한편 급전 레일(201)의 형상은 도금조(200) 이외에서 반송 지그(30)를 간헐 반송하는 가이드 레일(고정 레일(232, 234, 235, 242, 243), 승강 레일(231, 233, 236, 241) 또는 회전 레일(131, 132, 141, 142))의 형상과 일치하고 있다.

피안내부(300)는 급전 레일(201)의 상면(201A)과 접촉하는 피(被)급전부(301)와, 급전 레일(201)의 제1 측면(201C)과 구름 접촉(轉接;rolling contact)하는 적어도 하나, 예를 들면 2개의 제1 롤러(302)와, 급전 레일(201)의 제2 측면(201D)과 구름 접촉하는 적어도 하나, 예를 들면 3개의 제2 롤러(303)와, 연속 반송 수단(400)에 맞물리는 피맞물림부(304)를 가진다. 또한 급전 레일(201)의 하면(201B)에 구름 접촉하는 적어도 하나, 예를 들면 2개의 제3 롤러(305)를 마련할 수 있다. 이와 같이, 급전 레일(201)의 상면(201A)과 자중(自重)에 의해 접촉하는 피급전부(301)를 가지는 피안내부(300)는 급전 레일(201)의 양 측면(201C, 201D)을 끼우도록 구름 접촉하는 제1, 제2 롤러(302, 303)에 의해 급전 레일(201)에 안내된다. 또한 급전 레일(201)의 하면(201B)에 구름 접촉하는 제3 롤러(305)를 마련함으로써, 반송 지그(30)의 상하운동을 규제할 수 있다. 회전 레일(131, 132, 141, 142)도 급전 레일(201)과 동일 형상이므로, 이들 회전 레일에 반송 지그(30)를 홀딩한 회전 동작 중이라도, 반송 지그(30)는 수평방향 또는 상하방향으로 변동하는 일이 없다.

급전 레일(201)에 안내되는 피안내부(300) 자체에, 연속 반송 수단(400)과 맞물려서 피안내부(300)에 반송력을 작용시키는 피맞물림부(304)를 마련하였으므로, 피안내부(300)는 급전 레일(201)상을 원활하게 반송된다. 이 피안내부(300)에 는 도 9에 나타내는 바와 같이, 상술한 제1, 제2 구동편(320, 321)과, 반송 지그(30)의 유무를 센싱하기 위한 피검출편(제2 피검출부)(322)이 마련되어 있다.

반송 지그(30)의 연결부(330)는 도 9에 나타내는 바와 같이, 서로 격리되어 배치되는 피안내부(300)와 홀딩부(340)를 연결하는 것이다. 반송 지그(30)가 연결부(330)를 가짐으로써, 도 5에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(30)의 피안내부(300)를 안내하는 급전 레일(201)은 도금조(200)의 위쪽에서 벗어난 위치가 된다. 이로 인해 피안내부(300)가 급전 레일(201)을 슬라이딩했을 때에 발생하는 분진이 도금조(200)에 낙하하는 일이 없다.

연결부(330)는 도 1에 나타내는 되돌리기 반송로(150)의 2개의 체인(151, 152)상에 얹혀, 반송 지그(30)가 되돌리기 반송로(150)를 따라 되돌리기 반송된다.

홀딩부(340)는 도 9에 나타내는 바와 같이 워크(20)의 상부를 척(chuck)하는 복수개 예를 들면 3개의 척부(341)를 가진다. 폭이 넓은 워크(20)를 홀딩할 수 있도록, 표준 장비 또는 옵션으로서, 3개의 척부(341)의 양측에 가동(可動) 척부(342)를 마련할 수 있다. 가동 척부(342)는 워크(20)의 폭에 맞춰 슬라이드 이동 가능하게 되어 있다.

한편 상기와 같이 본 실시형태에 대하여 상세하게 설명했지만, 본 발명의 신규사항 및 효과로부터 실체적으로 일탈하지 않는 많은 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 용이하게 이해될 것이다. 따라서 이러한 변형예는 모두 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 한다. 예를 들면 명세서 또는 도면에서 적어도 1회, 보다 넓은 의미 또는 같은 의미의 다른 용어와 함께 기재된 용어는 명세서 또는 도면의 어떠한 부분에서도 그 다른 용어로 바꿀 수 있다. 또한 본 실시형태 및 변형예의 모든 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

20 워크
30 반송 지그
100 순환반송로
110 제1 직선반송로
120 제2 직선반송로
130 제1 회전장치
131, 132 회전 레일
140 제2 회전장치
141, 142 회전 레일
141A, 141B, 142A, 142B 모따기부(제1, 제2 사변)
141C, 142C 긴 변
141D, 142D 짧은 변
200 표면처리조(도금조)
201 급전 레일
234, 235, 242, 243 가이드 레일(고정 레일)
242A, 243A 모따기부
300 피안내부
322 제2 피검출부
330 연결부
340 홀딩부
400 연속 반송 수단
510, 512, 514 회전 구동부
520 위치결정 고정부
521 피위치결정부
522 위치결정 구동부
530 제1 피검출부
531, 532 위치검출부(제1, 제2 위치검출부)
540, 541 제1, 제2 지그검출부

Claims (12)

1. 워크를 각각 홀딩하는 복수의 반송 지그와,
   순환반송방향을 따라 상기 복수의 반송 지그가 순환 반송되는 순환반송로와,
   상기 순환반송로에 마련되며, 상기 복수의 반송 지그의 각각에 홀딩된 상기 워크를 표면처리하는 표면처리조(槽;tank)와,
   상기 표면처리조보다 상기 순환반송로의 상류에 마련되며, 미처리 워크를 상기 복수의 반송 지그에 반입하는 반입부와,
   상기 표면처리조보다 상기 순환반송로의 하류에 마련되며, 처리 완료된 워크를 상기 복수의 반송 지그로부터 반출하는 반출부를 가지며,
   상기 순환반송로는,
   제1 직선반송로와,
   상기 제1 직선반송로와 평행한 제2 직선반송로와,
   상기 제1 직선반송로의 한쪽 끝에서 상기 제2 직선반송로의 한쪽 끝으로 상기 복수의 반송 지그 중 하나 이상을 수평 회전해서 건네는 제1 회전장치와,
   상기 제2 직선반송로의 다른쪽 끝에서 상기 제1 직선반송로의 다른쪽 끝으로 상기 복수의 반송 지그 중 하나 이상을 수평 회전해서 건네는 제2 회전장치를 가지며,
   상기 제1, 제2 회전장치의 각각은,
   2개의 회전 레일과,
   상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 상기 하나 이상의 반송 지그를 지지한 상태로, 상기 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른 1개의 회전 레일이 빈 상태에서, 상기 2개의 회전 레일을 일체로 180°씩 간헐적으로 회전 구동하는 회전 구동부를 가지며,
   상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일의 각각은, 정지위치에서, 상기 제1, 제2 직선반송로의 상기 한쪽 끝 및 상기 다른쪽 끝에 각각 배치된 4개의 가이드 레일의 대응하는 각 1개와 일직선상에 배치되는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일은 평면으로 봤을 때 양 끝이 모따기(chamfering)되고,
   상기 4개의 가이드 레일의 상기 각 1개는, 상기 각 1개와 일직선상에 배치되는 상기 회전 레일의 상기 양 단부(端部)의 한쪽과 대향하는 단부는, 상기 2개의 회전 레일의 회전시에 상기 2개의 회전 레일의 상기 양 단부와 간섭하지 않도록 모따기되어 있는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1, 제2 회전장치의 각각에 마련된 상기 2개의 회전 레일은, 평면으로 봤을 때 양 끝에 제1, 제2 사변을 가지는 사다리꼴로 형성되고, 상기 정지위치에서, 상기 사다리꼴의 긴 변이 상기 사다리꼴의 짧은 변보다 회전반경방향의 내측에 배치되며,
   상기 4개의 가이드 레일의 상기 각 1개는, 상기 각 1개와 일직선상에 배치되는 상기 회전 레일의 상기 제1, 제2 사변의 한쪽과 대향하는 단부에, 상기 제1, 제2 사변의 한쪽과 평행한 사변을 가지는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 긴 변과 상기 사변의 교점을 제1 각부(角部)라고 하고, 상기 짧은 변과 상기 사변의 교점을 제2 각부라고 하여, 상기 회전 레일의 회전중심에서 상기 제1, 제2 각부까지의 각 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 회전 구동부는, 상기 2개의 회전 레일을 동일한 회전방향으로 반복해서 회전 구동하고, 상기 하나 이상의 반송 지그를 지지한 상기 1개의 회전 레일은, 상기 제1, 제2 직선반송로의 상기 한쪽 끝 또는 상기 다른쪽 끝보다 외측을 통과해서 회전되고, 상기 빈 상태의 상기 다른 1개의 회전 레일은, 상기 제1, 제2 직선반송로 사이를 통과해서 회전되는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제1, 제2 회전장치의 각각은, 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에서 위치결정 고정하는 위치결정 고정부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 위치결정 고정부는, 상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 상기 하나 이상의 반송 지그를 건네기 전에, 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에서 위치결정 고정하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 회전 구동부는, 구동원과, 상기 2개의 회전 레일이 양 끝에 고정되고, 상기 구동원에 의해 구동되는 회전 암을 가지며,
   상기 위치결정 고정부는,
   상기 회전 암에 마련된 하나 이상의 피(被)위치결정부와,
   상기 정지위치에 있는 상기 하나 이상의 피위치결정부를 향해 구동되어 상기 하나 이상의 피위치결정부를 위치결정 고정하는 위치결정 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 하나 이상의 피위치결정부는, 상기 회전 암의 회전중심에서 등거리에 있는 2부위에 배치되고,
   상기 위치결정 구동부는, 상기 회전중심보다, 상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 가까운 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1, 제2 회전장치의 각각은,
    상기 2개의 회전 레일과 일체로 회전 구동되는 제1 피검출부와,
    상기 제1 피검출부의 회전위치를 검출하는 위치검출부를 더 가지며,
    상기 회전 구동부는 상기 위치검출부에서의 출력에 기초하여 상기 2개의 회전 레일을 상기 정지위치에 정지시키는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 회전 구동부는 브레이크 달린 모터를 포함하고,
    상기 위치검출부는 상기 정지위치를 검출하는 제1 위치검출부와, 상기 회전방향에서 상기 정지위치보다 상류위치의 감속개시위치를 검출하는 제2 위치검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.
12. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 반송 지그의 각각은 제2 피검출부를 가지며,
    상기 제1, 제2 회전장치의 각각은,
    상기 순환반송방향의 상류측에 위치하는 1개의 회전 레일에 반입되는 상기 하나 이상의 반송 지그의 상기 제2 피검출부의 유무를 검출하는 제1 지그검출부와,
    상기 순환반송방향의 하류측에 위치하는 다른 1개의 회전 레일로부터 반출되는 상기 하나 이상의 반송 지그의 상기 제2 피검출부의 유무를 검출하는 제2 지그검출부를 더 가지며,
    상기 회전 구동부는 상기 제1, 제2 지그검출부의 출력에 기초하여 상기 2개의 회전 레일의 회전 구동을 개시하는 것을 특징으로 하는 표면처리장치.

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