JP2017128817A - 表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面処理装置は、処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽200と、表面処理槽の上端開口の上方から外れた位置にて、表面処理槽の長手方向と平行な第1方向Cに沿って延設される第1,第2案内レール130,140と、表面処理槽の処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、第1,第2案内レールに支持される複数の搬送冶具30とを有する。搬送治具は、第2方向Bに沿って延びる水平アーム部300と、水平アーム部の一端側に支持され、第1案内レールに案内される第1被案内部310と、水平アーム部の他端側に支持され、第2案内レールに案内される第2被案内部320と、第1被案内部と第2被案内部との間の位置にて水平アーム部から垂下され、ワークを保持する垂直アーム部330と、を有するに関する。
【選択図】 図3
Description
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持される複数の搬送冶具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
を有する表面処理装置に関する。
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置であって、前記第1,第2案内レールの間にて、前記第1方向に沿って延設される給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
前記第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有する表面処理装置に関する。
前記矩形ワークの第一辺を把持する複数の第1チャック部材と、
前記矩形ワークの前記第一辺と第1方向にて対向する第2辺を把持する複数の第2チャック部材と、
前記矩形ワークを囲んで配置され、前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材を支持する枠状部材と、
を有し、
前記枠状部材は、
前記複数の第1チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第1案内部と、
前記複数の第1チャック部材を、前記複数の第2チャック部材に対して前記第1方向に沿って遠ざかる一方向に移動付勢する第1付勢部材と、
を有するワーク保持治具に関する。
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される案内レール及び給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記案内レールに案内される被案内部と、
前記被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有し、
前記被給電部は、
前記給電レールに接触する接触部と、
前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、
前記平行リンク機構を回転付勢して、前期接触部に接触圧を付与する付勢部材と、
を有する表面処理装置に関する。
図1は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置10は、回路基板等のワーク20をそれぞれ保持する複数の搬送冶具30が、図1の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図1では、循環搬送路100のうちのは平行な2つの直線搬送路110,120を示している。この2つの直線搬送路110,120は両端にて連結されてループ状の循環搬送路100を形成している。
図1に示すように、連続メッキ処理装置10は、メッキ液(広義には処理液)が収容され、上端開口201を有するメッキ槽(広義には表面処理槽)200を有する。連続メッキ処理装置10はさらに、図1の一部を拡大して示す図2に示すように、メッキ槽200の上端開口201の上方から外れた位置にて、メッキ槽200の長手方向と平行な第1方向(紙面と垂直な方向)に沿って延設される第1案内レール130及び第2案内レール140を有する。複数の搬送冶具30は、メッキ槽200の処理液中に配置させてワーク20をそれぞれ保持し、第1,第2案内レール130,140に支持される。
メッキ処理装置10では、ワーク20をカソード(陰極)とし、メッキ槽200がワーク20の搬送経路を挟んだ両側にアノード(陽極:例えば銅系アノードボール)410L,410Rを収容する円筒網バック(収容部)202,203設け、カソード−アノード間に電界を形成してメッキ液を電気分解して、ワーク20を電界メッキする。そのために、搬送中のワーク20に通電する必要がある。ワーク20に給電するためには、例えば、第1,第2案内レール130,140の少なくとも一方を給電レールとすることができる。この場合、搬送治具30を構成する部材のうち、第1,第2案内レール130,140からワーク20に給電する経路の材料を、電気導体で形成すれば良い。
以下、特開2009−132999に開示された電流制御方法について、図7及び図8(A)(B)を参照して説明する。なお、図1に示すメッキ槽200は紙面に垂直な搬送方向に沿って例えば10数m以上の長さを有する。図7に示すメッキ槽ユニット200Aは単位ユニットを示し、複数のメッキ槽ユニット200Aを連接することで、図1のメッキ槽200が構成される。
5.1.被給電部
本実施形態に用いられる複数の搬送治具30の各々に設けられた被給電部340は、N個の分割給電レール210A〜210Dの一つと接触する。図7に示す複数の搬送治具30は、水平アーム部300に対して第2方向Bにて位置が異なるN箇所の各一つに被給電部340が取り付けられた第1〜第Nの搬送治具30A〜30Dを含む。第1〜第Nの搬送治具30A〜30Dの各一つが、N個の分割給電レール210A〜210Dの各一つと接触する。
第1被案内部310を案内する第1案内レール130は、縦断面にて、上面と、第1側面と、第1側面と対向する第2側面とを含み、例えば矩形に形成されている。
図2に示す連続搬送駆動部150は、搬送治具30の第1直線搬送路120(図1)を複数に分割した区間毎に一つ設けられている。この連続搬送駆動部150は、固定ガイド板151に沿って移動するリニアガイド152A,152Bを有するプッシャー153A,153Bを有する。2つのプッシャー153A,153Bは図示しないモーターによりそれぞれ独立して移動する。この2つのプッシャー153A,153Bにより、搬送治具30は一区間にて連続直線駆動される。2つのプッシャー153A,153Bは、一区間内にそれぞれ固有の駆動領域と、共通の駆動領域を有する。先ずプッシャー153が上流側の固有駆動領域にて搬送治具30を押動する。次に、共通の駆動領域にて搬送治具30を連続搬送する際に、プッシャー153Aからプッシャー153Bに受け継がれる。プッシャー153Aは、固有及び共通の駆動領域に亘って所定ストローク前進した後、元の位置に後退し、次の搬送治具30の搬送を受け持つ。プッシャー153Bも同様に動作する。
図1〜図5に示すように、複数の搬送治具30の各々には、治具吊り下げ用のフック部370,370が設けられている。連続メッキ処理装置10は、図1に示すように、フック部370,370に係合して、搬送治具30保持されたワーク20を、メッキ槽200に対して昇降させる昇降部160をさらに有する。
垂直アーム部330は、図3及び図6に示すように例えば2本の垂直アーム330A,330Bを有する。この2本の垂直アーム330A,330Bにはワーク保持治具500が垂下して支持される。
処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される案内レール及び給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送治具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記案内レールに案内される被案内部と、
前記被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有し、
前記被給電部は、
前記給電レールに接触する接触部と、
前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、
前記平行リンク機構を回転付勢して、前記接触部に接触圧を付与する付勢部材と、
を有する表面処理装置に関する。
以下、特開2009−132999に開示された電流制御方法について、図7及び図8(A)(B)を参照して説明する。なお、図1に示すメッキ槽200は紙面に垂直な搬送方向に沿って例えば10数m以上の長さを有する。図7に示すメッキ槽ユニット200Aは単位ユニットを示し、複数のメッキ槽ユニット200Aを連接することで、図1のメッキ槽200が構成される。
Claims (11)
- 処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持される複数の搬送冶具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
を有することを特徴とする表面処理装置。 - 処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される第1,第2案内レール及び給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記第1,第2案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記第1案内レールに案内される第1被案内部と、
前記水平アーム部の他端側に支持され、前記第2案内レールに案内される第2被案内部と、
前記第1被案内部と前記第2被案内部との間の位置にて前記水平アーム部から垂下され、前記ワークを保持する垂直アーム部と、
前記第1被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有することを特徴とする表面処理装置。 - 請求項2において、
前記給電レールは、前記第1方向に沿って平行に延びる、互いに絶縁されたN(Nは2以上の整数)個の分割給電レールを有し、
前記複数の搬送治具は、前記水平アームに対して前記第2方向にて位置が異なるN箇所の各一つに前記被給電部が取り付けられた第1〜第Nの搬送治具を含み、前記第1〜第Nの搬送治具の各一つが、前記N個の分割給電レールの各一つと接触することを特徴とする表面処理装置。 - 請求項3において、
前記第1〜第Nの搬送治具の各々は、前記被給電部を支持する支持部を含み、
前記支持部は、前記第2方向で異なる位置に設けられたN個の取付部を含み、
前記第1〜第Nの搬送治具の各々の前記被給電部は、前記給電レールに接触する接触部をそれぞれ含み、前記接触部が、前記N個の取付部の一つに取り付けられることを特徴とする表面処理装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第1案内レールは、縦断面にて、上面と、第1側面と、前記第1側面と対向する第2側面とを含み、
前記複数の搬送冶具の各々の前記第1被案内部は、
前記第1案内レールの前記上面と転接する第1ローラーと、
前記第1案内レールの前記第1側面と転接する第2ローラーと、
前記第1案内レールの前記第2側面と転接する第3ローラーと、
を含み、
前記複数の搬送冶具の各々の前記第2被案内部は、前記第2案内レールの上面と転接する第4ローラーを含むことを特徴とする表面処理装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記複数の搬送治具の各々は、吊り下げ用のフック部をさらに有し、
前記フック部に係合して、前記複数の搬送治具に保持された前記ワークを、前記表面処理槽に対して昇降させる昇降部をさらに有することを特徴とする表面処理装置。 - 薄板状の矩形ワークを処理槽内の液中にて保持する治具であって、
前記矩形ワークの第一辺を把持する複数の第1チャック部材と、
前記矩形ワークの前記第一辺と第1方向にて対向する第2辺を把持する複数の第2チャック部材と、
前記矩形ワークを囲んで配置され、前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材を支持する枠状部材と、
を有し、
前記枠状部材は、
前記複数の第1チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第1案内部と、
前記複数の第1チャック部材を、前記複数の第2チャック部材に対して前記第1方向に沿って遠ざかる一方向に移動付勢する第1付勢部材と、
を有することを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項7において、
前記枠状部材は、
前記複数の第2チャック部材を、前記第1方向にて可動に移動案内する第2案内部と、
前記複数の第2チャック部材を、前記複数の第1チャック部材に対して前記第1方向にて遠ざかる方向に移動付勢する第2付勢部材と、
をさらに有することを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項7または8において、
前記枠状部材は、固定板と、前記固定板に重ねて配置される可動板とを含み、
前記第1案内部は、前記固定板及び前記可動板の一方に形成されて前記第1方向を長手方向とする長孔と、前記固定板及び前記可動板の他方に形成されて前記長孔に挿通される軸部とを含み、
前記第1付勢部材は、前記固定板に対して前記可動板を前記一方向に押圧付勢することを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項7乃至9のいずれかにおいて、
前記複数の第1チャック部材及び前記複数の第2チャック部材の各々は、
前記ワークの第1面に接触する固定部材と、
前記固定部材と対向する位置にて前記ワークの第2面に接離可能に配置され、前記第2面に押圧接触される可動部材と、
を含み、
前記可動部材は、
押圧解除時に駆動される被駆動片と、
前記被駆動片の非駆動時に常時前記固定部材側に押圧される押圧駆動片と、
前記押圧駆動片の自由端部に形成された薄板状の押圧片と、
を含むことを特徴とするワーク保持治具。 - 処理液が収容され、上端開口を有する表面処理槽と、
前記表面処理槽の前記上端開口の上方から外れた位置にて、前記表面処理槽の長手方向と平行な第1方向に沿って延設される案内レール及び給電レールと、
前記表面処理槽の前記処理液中に配置させてワークをそれぞれ保持し、前記案内レールに支持され、かつ、前記給電レールに接触して給電される複数の搬送冶具と、
を有し、
前記複数の治具の各々は、
前記第1方向と交差する第2方向に沿って延びる水平アーム部と、
前記水平アーム部の一端側に支持され、前記案内レールに案内される被案内部と、
前記被案内部と前記垂直アーム部との間の位置にて前記水平アームに支持されて、前記給電レールに接触する被給電部と、
を有し、
前記被給電部は、
前記給電レールに接触する接触部と、
前記水平アーム部と前記接触部とを連結する平行リンク機構と、
前記平行リンク機構を回転付整して、前期接触部に接触圧を付与する付整部材と、
を有することを特徴とする表面処理装置。
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