TWI750378B - 搬運支架及使用該搬運支架的表面處理裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的課題提供一種搬運支架(30、30A)，具有：搬運部(300、320、330)，及下垂至搬運部並支撐的工件保持部(500)。工件保持部，具有：固定構件(510)；相對於固定構件可水平方向滑動地支撐，從固定構件的兩端突出的兩個活動構件(550)；支撐於固定構件，夾持工件(20)的上端部的上部固定夾持構件(600)；及分別安裝於兩個活動構件，夾持工件(20)的上端部的上部活動夾持構件(610)。

Description

搬運支架及使用該搬運支架的表面處理裝置

本發明是有關用於電鍍處理等的表面處理的搬運支架及使用該搬運支架的表面處理裝置。

提供一種表面處理裝置，一邊連續搬運夾持垂直狀態之工件的上端及下端的搬運支架，一邊進行工件表面處理(專利文獻1)。此搬運支架是配合工件的尺寸而準備，在對每批量供應寬度尺寸不同的工件時，也更換搬運支架。

如果，將配合最大寬幅的工件而設計的搬運支架使用於短幅的工件時，會在連續搬運的工件間產生大的間隙而降低表面處理的處理能力。並且，尤其在電解電鍍等的場合，在所連續搬運的工件間產生大的間隙時，會在工件側端部產生電場集中，使得面內均一性降低。

另一方面，提出一種表面處理裝置，夾持水平狀態之工件的側緣一邊連續搬運一邊進行工件表面處理，可配合工件的尺寸調整夾持間隔(專利文獻2)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本特許5898540號公報 　　[專利文獻2] 日本特許5283585號公報

但是，專利文獻2是調節旋轉驅動安裝著連續搬運水平狀態的工件P之支架皮帶的第一、第二搬運裝置的各搬運線的橫寬間隔，可搬運不同尺寸的工件P(參閱專利文獻1的第1圖、第2圖)，因此不適用於夾持工件的上邊以垂直狀態搬運工件的專利文獻1的表面處理裝置。

本發明的目的是提供搬運支架及使用該搬運支架的表面處理裝置，適合於以垂直狀態所搬運之工件的寬度尺寸來保持工件。

(1)本發明之一樣態是關於搬運支架，具有： 　　搬運部，及 　　下垂至上述搬運部並支撐的工件保持部， 　　上述工件保持部，具有： 　　水平延伸的固定構件； 　　可滑動地支撐於上述固定構件，從上述固定構件的兩端突出的兩個活動構件； 　　支撐於上述固定構件，夾持工件的上端部的上部固定夾持構件；及 　　分別安裝於上述兩個活動構件，夾持上述工件的上端部的上部活動夾持構件。

根據本發明之一樣態，從固定構件的兩端突出的兩個活動構件在配合工件的寬度的位置滑動移動。分別安裝於其兩個活動構件的上部活動夾持構件是以工件的寬方向的兩端部，而安裝於固定構件的上部固定夾具是以工件的寬方向的中央部，分別夾持工件的上端部。如此一來，使寬度尺寸不同工件配合其工件的寬度，夾持工件的寬方向的兩端部，可穩定保持工件。

(2)本發明之一樣態(1)中，可進一步具有相對於上述固定構件在配合上述工件寬度的位置分別保持上述兩個活動構件的保持構件。兩個活動構件的位置雖可藉著根據固定構件與活動構件的嵌合公差的嵌合來保持，但是以藉保持構件確實地定位為佳。

(3)本發明之一樣態(1)或(2)中， 　　上述兩個活動構件，也可分別包括： 　　可滑動支撐於上述固定構件的上側橫框滑動構件，及 　　固定於上述上側橫框滑動構件的垂直構件， 　　上述上部活動夾持構件支撐於上述垂直構件。

如此一來，兩個垂直構件也一起與兩個上側橫框活動構件配合工件的寬度移動，因此可藉著安裝在此兩個垂直構件的上部活動夾持構件，在配合工件的寬度的位置夾持工件的上端部。

(4)本發明之一樣態(3)中， 　　上述垂直構件，也可以包括： 　　縱框固定構件； 　　可相對於上述縱框固定構件在垂直方向滑動支撐的縱框活動構件；及 　　支撐於上述縱框活動構件的下端部，夾持上述工件的下端部的下部活動夾持構件， 　　上述上部活動夾持構件支撐於上述縱框固定構件。

如此一來，兩個縱框固定構件也一起與兩個上側橫框活動構件配合工件的寬度移動，因此可藉著安裝在此兩個縱框固定構件的上部活動夾持構件，在配合工件的寬度的位置夾持工件的上端部。另外，兩個縱框活動構件也一起與兩個上側橫框活動構件配合工件的寬度移動，因此也可藉著安裝在此兩個縱框活動構件的下部活動夾持構件，在配合工件的寬度的位置夾持工件的下端部。藉此，尤其即使在以極薄的工件為表面處理對象的場合，仍可夾持工件的上下端部，不致因表面處理液的壓力使工件彎曲，可保持工件之下垂狀態的姿勢。

(5)本發明之一樣態(3)中，進一步具有供電至上述工件的供電部，上述供電部，可包括：透過上述固定構件供電至上述上部固定夾持構件的第1供電部，及透過上述垂直構件供電至上述上部活動夾持構件的第2供電部。如此一來，分離成從第1供電部供電至上部固定夾持構件的路徑，及從第2供電部供電至上部活動夾持構件的路徑，可以使各路徑的電阻值或電流值獨立設定，藉此，提升工件的電流分布的面內均一性，可進一步提升工件的表面處理品質。並且，即使電導通固定構件與橫框延長構件，由於兩者是處於相對滑動移動的關係使得兩者間的電阻大，因此實質地從第2供電部供電至上部活動夾持構件。

(6)本發明之一樣態(4)中， 　　進一步具有供電至上述工件的供電部， 　　上述縱框活動構件是與上述上側橫框活動構件電絕緣， 　　上述供電部，可包括： 　　透過上述固定構件供電至上述上部固定夾持構件的第1供電部； 　　透過上述上側橫框活動構件供電至上述上部活動夾持構件的第2供電部；及 　　透過上述縱框活動構件供電至上述下部活動夾持構件的第3供電部。

如此一來，可分離成從第1供電部供電至上部固定夾持構件的路徑；從第2供電部供電至上部活動夾持構件的路徑；及第3供電部供電至下部活動夾持構件的路徑。藉此，可獨立設定各路徑的電阻值或電流值，提升工件的電流分布的面內均一性，可進一步提升工件的表面處理品質。

(7)本發明之一樣態(5)或(6)中， 　　上述供電部包括從外部軌道供電的被供電部， 　　上述被供電部，可進一步具有： 　　固定部； 　　可在水平方向滑動支撐於上述固定部，從上述固定部的兩端突出的兩個活動部； 　　分別一個安裝於上述兩個活動部，與上述外部軌道接觸並供電的兩個接觸部；及 　　在配合上述工件的寬度的位置分別相對於上述固定部保持上述兩個活動部的保持部。

如此一來，從固定部的兩端突出的兩個活動部是在配合工件的寬度的位置藉保持部保持於固定部。藉此，可將安裝於兩個活動部的兩個接觸部設定在配合工件的寬度的位置。如果，兩個接觸部的位置一旦固定時，則不得不配合最小尺寸的工件固定。如此一來，為了處理最大尺寸的工件而搬入表面處理槽的搬運支架其接觸部較工件的搬運前端更慢與供電軌道接觸的場合，即會在工件的搬運前端產生電不流動的停滯時間。或者，由於兩個接觸部的寬度與工件的寬度不一致，兩個接觸部一旦在處理槽分割單元的邊界分別與不同的電流控制對象的供電軌道接觸時，工件的電流控制變得複雜化。因此在配合工件的寬度的位置設定兩個接觸部時，即使工件寬度變更，由於接觸部是設定位於工件的寬方向的兩端，即可迴避上述的停滯時間與電流控制的複雜性。

(8)本發明之一樣態(4)或(6)中，上述縱框活動構件，可具有以最下端面為滾接面的滾筒。滾筒是與表面處理槽的底部側接觸，因此可藉滾筒搬運引導搬運支架的下端部。

(9)本發明之一樣態(3)中，上述垂直構件，包括：縱框固定構件；可相對於上述縱框固定構件在垂直方向滑動支撐的縱框活動構件；及從支撐於上述縱框活動構件的下端部的基端部朝自由端部向水平延伸的下側橫框活動構件，在上述縱框固定構件支撐上述上部活動夾持構件，在上述下側橫框活動構件支撐下部活動夾持構件。如此一來，可藉下部活動夾持構件穩定保持工件的下部。

(10)本發明之一樣態(9)中，可進一步具有引導部，朝著水平方向移動引導分別設置在上述兩個活動構件的兩個上述下側橫框活動構件的上述自由端部。如此一來，即使搬運支架的寬度為可變，兩個下側橫框活動構件的自由端被引導部引導而朝水平方向移動，因此兩個下側橫框活動構件一邊維持在相同直線上，並可順利實施寬度可變動作。

(11)本發明之一樣態(4)或(10)中，上述縱框活動構件，可進一步具有夾持上述工件的側部的側部固定 夾持構件。如此一來，例如即使工件厚度為例如30μm以下極薄的仍可保持矩形工件的四邊不致使工件彎曲地保持。

(12)本發明之一樣態(4)、(10)或(11)中，縱向延伸的上述縱框活動構件，可以比和上述工件的主面平行的第1面的寬度短的與上述工件的主面正交的第2面的寬度的板狀構件形成。如此一來，即使朝著與工件的主面平行的方向進行搬運支架搬運，可減少作用於縱框活動構件的液壓。藉此，可穩定進行搬運支架搬運。

(13)本發明之一樣態(1)~(12)中，上述搬運部，可在與上述工件的主面平行延伸的軸的周圍自由轉動地支撐上述工件保持部。如此一來，搬運時可以使作用於搬運支架的擺動的外力藉著軸周圍的轉動而消除。藉此，可緩和對工件的衝擊。

(14)本發明之其他樣態相關的搬運支架，具備：包括配合工件的上端部的寬度，夾持上述上端部的兩端部的位置為可變的兩個夾持構件的工件保持部，及透過上述兩個夾持構件供電至上述工件的供電部，上述供電部包括從外部供電的被供電部，上述被供電部，進一步具有：固定部；可水平方向滑動地支撐於上述固定部，從上述固定部的兩端突出的兩個活動部；分別安裝於上述兩個活動部，與外部軌道接觸並供電的接觸部；及 　　相對於上述固定部在配合上述工件的寬度的位置分別保持上述兩個活動部的保持部。

本發明的其他樣態是以(7)定義上述本發明之一樣態相關的發明為獨立項，在(7)是如上述在工件的搬運前端不會產生電流不流動的停滯時間。

(15)本發明的另外之其他樣態相關的表面處理裝置，具有： 　　收容處理液，具有上端開口的表面處理槽，及 　　配置在上述表面處理槽的上述處理液中分別保持工件的(1)~(14)之任一記載的複數搬運支架。

根據本發明之另外的其他樣態相關的表面處理裝置，可實現上述(1)~(14)已說明的作用、效果。

以下，針對本發明的適當實施形態詳細說明。並且以下說明的本實施形態並非藉此限定記載於申請專利範圍的本發明的內容，且不限於本實施形態所說明的所有構成皆為本發明之解決手段所必須。

1. 表面處理裝置的概要 　　第1圖為具備有上部開口200A的電鍍槽(廣義為表面處理槽)200之連續電鍍處理裝置(廣義為表面處理裝置)10的概略剖面圖。搬運支架30是保持使工件20(第3圖)從具備未圖示之陽極的電鍍槽200的上部開口200A下垂至電鍍液Q內。

如將第1圖的一部份放大表示的第2圖所示，連續電鍍處理裝置10是與電鍍槽200鄰接，具有供電部260、驅動部270及引導部280。供電部260是與搬運支架30接觸而供電至工件20(第3圖)。驅動部270賦予搬運支架30驅動力並在電鍍槽200內連續搬運驅動搬運支架30。引導部280是與搬運支架30接觸進行搬運支架30連續搬運引導。

供電部260採用本申請人的日本特開 2009-132999號及特開2013-011009號表示之陰極分割方式的場合，可包括複數例如4條供電軌道260A~260D。並且，供電部260不採用陰極分割方式的場合，可以一條的供電軌道構成。該等供電軌道260A~260D是沿著與電鍍槽200的長方向平行的第1方向A(參閱第3圖)延設。

驅動部270是例如與本申請人的日本特開2012-046782號同樣地，可包括：旋轉驅動構件，例如鏈輪271；藉鏈輪271所驅動之鏈條等的環狀驅動構件272；及固定於環狀驅動構件272的齒形塊273。環狀驅動構件272是沿著與電鍍槽200的長方向平行的第1方向A(參閱第1圖)延設。取而代之，驅動部270也可以例如本申請人的日本特許第6117891號公報表示，包括分別配置在各分割區域進行交替驅動的兩支推桿，也可採用其他的連續驅動方式。

引導部280至少可以頂面為平坦之例如剖面矩形的導軌所形成。導軌280是沿著與電鍍槽200的長方向平行的第1方向A(參閱第3圖)延設。

2. 搬運支架 　　接著，針對搬運支架30，也參閱第3圖~第5圖說明。搬運支架30是如第1圖~第3圖表示，具有：水平臂部300，及從此水平臂部300下垂的垂直臂部301。

水平臂部300是如第3圖表示，沿著與第1方向(搬運方向)A正交(廣義為交叉)的第2方向B延伸。在此水平臂部300，設有：被供電部310、被驅動部320及被引導部330。

被供電部310是被從設置在電鍍裝置10的供電部260供電的部份。本實施形態的被供電部310是與複數供電軌道260A~260D的一條接觸。本實施形態是準備相對於水平臂部300在第2方向B的位置不同之複數處的各一處安裝有被供電部310的複數種類的搬運支架30。複數種類的搬運支架30的各一個是與複數供電軌道260A~260D的各一條接觸。

本實施形態是將搬運支架30的零組件共通化，採用與複數供電軌道260A~260D的任意一條接觸的構造。因此，搬運支架30是如第3圖表示，支撐被供電部310的支撐部311是與水平臂部300正交地配置。水平臂部300具有在第2方向B設置於不同位置的複數安裝部(例如螺孔)。在該複數安裝部的其中之一，安裝有支撐部311。或者，支撐部311也可沿著搬運支架30的例如設置在水平臂部300的複數導軸(未圖示)而可撓性滑動地支撐於第2方向B，並固定在與複數供電軌道260A~260D的任意之一對應的位置。如此一來，可更為容易地維持兩個接觸部312、312的水平姿勢。

在第3圖表示的支撐部311，設有與第2圖表示的供電軌道260(供電軌道260A~260D)接觸的至少一個例如兩個接觸部312。第5圖表示接觸部312的支撐構造。被供電部310具有例如以兩支平行連桿313A、313B連結支撐部311與接觸部312的四節旋轉連鎖的平行連桿機構313。兩支連桿313A、313B是藉彈推構件的扭力盤簧314、314，經常朝著順時鐘方向移動彈推。其結果，可使接觸部312以適度的接觸壓接觸於供電軌道260。

被驅動部320是從設置在電鍍裝置10的驅動部270被賦予驅動力進行搬運支架30連續搬運驅動。被驅動部320是如第3圖表示，具有與固定在鏈條272的齒形塊273(第2圖)咬合的複數例如四個爪構件321~324。由於將四個爪構件321~324的其中之一咬合於齒形塊的273的齒，因此四個爪構件321~324的咬合前端位置是在A方向偏離配置。如此一來，四個爪構件321~324的其中之一與固定在鏈條272的齒形塊273(第2圖)卡合，進行搬運支架30連續搬運驅動。

被引導部330具有與第2圖表示之導軌280的頂面接觸的滾筒331。藉此，利用驅動部270連續搬運驅動的搬運支架30減小摩擦阻力進行搬運引導。被引導部330進一步具有為限制在第3圖及第4圖表示之第2方向B的搬運支架30的移動，而滾接於導軌280的例如兩側面的滾筒334、335(也參閱第2圖)。在第2方向B的搬運支架30的移動限制也可以在與導軌280不同的區域實施。並且，滾筒331具有不易受到具備有限長度的供電軌道間的接點所產生之間隙衝擊的適當的直徑，又，滾筒331、334、335是例如以可耐電鍍設備特有的酸或鹼等的環境的材質例如聚丙烯等所形成。

3. 搬運支架的工件保持部 　　搬運支架30是如第2圖、第3圖及第4圖表示，在水平臂部300具有透過垂直臂部301所支撐而下垂的工件保持部500。在此，將水平臂部300與支撐在其水平臂部的被驅動部320及被引導部330總稱為搬運部。工件保持部500是從搬運部下垂而被支撐。工件保持部500是例如被適當使用於工件20的厚度為100μm以下，較佳為60μm以下的極薄的工件20。本實施形態中，工件20的厚度是例如40μm= 0.04mm。但是，工件20也可以厚度超過100μm。

工件保持部500是如第3圖及第4圖表示，全寬度配合矩形工件20的寬度為可變。因此，工件保持部500包括：水平延伸的固定構件510，及可滑動支撐於固定構件510，從固定構件510的兩端突出的兩個活動構件550。在固定構件510支撐有夾持工件20之上端部的至少一個例如兩個上部固定夾持構件600。在兩個活動構件550分別支撐有夾持工件20之上端部的上部活動夾持構件610。並且，調整兩個活動構件550的滑動位置，使得上部活動夾持構件610、610在配合工件20的寬度的位置移動，並以工件20的寬方向的兩端部，將工件20的上端部夾持於上部活動夾持構件610、610。並且，可相對於固定構件510設置保持構件530以在配合工件20的寬度的位置分別保持兩個活動構件550。針對保持構件530是如後述。

如上述，從固定構件510的兩端突出的兩個活動構件550、550是被設定在配合工件20的寬度的位置，安裝在其兩個活動構件550、550分別的上部活動夾持構件610、610是以工件20的寬方向的兩端部，安裝在固定構件510的上部固定夾持構件600、600是以工件20的寬方向的中央部，分別夾持工件20的上端部。如此一來，將寬度尺寸不同的工件20配合其工件20的寬度予以夾持，可穩定地保持工件。

在此，固定構件510具有兩片的固定板520、522。此兩片固定板520、522在水平方向可滑動被支撐著。在一方的固定板522向下方延長的延長部524，支撐有兩個上部固定夾持構件600、600。

兩片固定板520、522是透過連結構件525固定於垂直臂部301。在連結構件525支撐有藉軸承540、540所滑動引導的水平的兩支導軸541、541。兩支導軸541、541的端部被固定於兩個活動構件550、550。

本實施形態中，兩個活動構件550、550分別可包括：可滑動支撐於固定構件(也稱橫框固定構件)510的上側橫框活動構件560，及固定於上側橫框活動構件560的垂直構件562。此時，可將上部活動夾持構件610支撐於上側橫框活動構件560或垂直構件562。本實施形態中，上部活動夾持構件610是支撐於垂直構件562而非上側橫框活動構件560。如此一來，如第4圖表示，設定為最小寬度尺寸的場合，可不與兩個上部活動夾持構件610、610干涉地，將兩個上側橫框活動構件560收容於固定構件(橫框固定構件)510。可藉以使最小寬度尺寸減少。

本實施形態中，垂直構件562，可包括：縱框固定構件570；可相對於縱框固定構件570在垂直方向滑動地支撐的縱框活動構件580；及支撐於縱框活動構件580的下端部，夾持工件20的下端部的下部活動夾持構件620。此時，上部活動夾持構件610可支撐於縱框固定構件570。

如此一來，兩個縱框固定構件570與兩個上側橫框活動構件560一起也配合工件的寬度移動，因此藉著安裝在此兩個縱框固定構件570的上部活動夾持構件610，可在配合工件的寬度的位置夾持工件20的上端部。此外，兩個縱框活動構件580也與兩個上側橫框活動構件560一起配合工件20的寬度移動，因此藉著安裝在此兩個縱框活動構件580的下部活動夾持構件620，在配合工件的寬度的位置也可夾持工件20的下端部。藉此，尤其即使在以極薄的工件20為表面處理對象的場合，仍可夾持工件20的上下端部，不致因表面處理液的壓力使工件20彎曲，可保持工件20之下垂狀態的姿勢。並且，以未圖示的下部橫框構件連結兩個縱框活動構件580、580，並且，此下部橫框構件的寬度也可以是可變。下部橫框構件例如可以和上部橫框構件的固定構件510及兩個橫框活動構件560、560同樣地形成。針對下部橫框構件，保持構件530並非必要。

又，本實施形態中，縱框活動構件580可具有以最下端面為滾接面的滾筒630。滾筒630是與表面處理槽200的底部側滾接，因此可藉滾筒630搬運引導搬運支架30的下端部。

在此，縱框固定構件570是如第6圖表示，可包括平行的兩片縱框固定板571、572。在此兩片縱框固定板571、572之間，支撐使得縱框活動構件580可在垂直方向滑動。在縱框活動構件580的上端部設有制動器581。如第6圖虛線表示，在未夾持工件20的場合，制動器581與兩片縱框固定板571、572的上端部抵接，具有作為縱框活動構件580之下限制動器的功能。藉夾具600~620夾持工件20的上下端部時，根據工件20的長度自行決定縱框活動構件580的位置。因此，本實施形態可在第6圖表示的長度L(例如L=200mm)的範圍安裝全長不同的工件20。如此，根據本實施形態，可提供兼具寬度及長度的一方或雙方不同的複數尺寸之工件20的搬運支架30。因此，與各工件尺寸具備專用的複數搬運支架的場合比較，可大幅降低成本。並且，搬運支架30也可以是配合工件20的寬度僅寬度為可變，或配合工件20的長度僅長度為可變。

本實施形態中，可進一步具有供電至工件20的供電部。第3圖是表示供電至工件20的上端部的供電部。此供電部，可包括：透過固定構件510供電至兩個上部固定夾持構件600的第1供電部701，及透過兩個垂直構件562的例如兩個縱框固定構件570供電至兩個上述上部活動夾持構件的第2供電部702、702(第4圖中，省略第1、第2供電部701、702)。該等第1、第2供電部701、702、702是例如可以導電纜形成。又，從搬運支架30的兩個接觸部312朝向第1、第2供電部701、702、702是可透過支撐部311、水平臂部300、垂直臂部301的導電路徑進行供電。取而代之，也可以從支撐部311透過導電纜供電至垂直臂部301。

如此一來，分離成由第1供電部701供電至上部固定夾持構件600的路徑，及由第2供電部702供電至上部活動夾持構件610的路徑時，可獨立設定各路徑的電阻值或電流值，藉此，提升工件20的電流分布的面內均一性，可進一步提升工件20的表面處理品質。並且，即使電氣導通固定構件510與上側橫框活動構件560，從兩者處於相對滑動的關係兩者間的電阻較大，因此可實質從第2供電部702供電至上部活動夾持構件610。

接著，針對上部固定夾持構件600、上部活動夾持構件610及下部活動夾持構件620成為共通的構成，參閱第7(A)圖~第7(C)圖說明。並且，第7(A)圖~第7(C)圖表示的構造是與作為上部固定夾持構件600、上部活動夾持構件610及下部活動夾持構件620所圖示的形狀一部份不同，但作為壓接構造相同。

第7(A)圖~第7(C)圖是在底板700(例如固定板522的延長部524)固定有支具710。支具710支撐著軸720。在軸720可擺動地支撐有夾持構件800。夾持構件800是藉著軸720插穿的扭力盤簧730賦予彈推力。夾具構件800在一端部具有夾持端部820，在另一端部具有操作桿830。支具710包括在安裝於工件保持部500時成為垂直的垂直面740。此垂直面740是在與可擺動支撐於支具710之夾持構件800的夾持端820相對的區域，可局部地設置從支具710向下方或上方延伸。夾持構件800相對於垂直面740接離。亦即，在夾持構件800的夾持端820與垂直面740之間夾持工件20的上端部或下端部，其夾持狀態是藉扭力盤簧730的彈推力來維持。抵抗扭力盤簧730的彈推力向操作桿830賦予外力F1，藉以使夾持構件800的夾持端820朝著從垂直面740遠離的方向移動，解除工件20的夾持狀態。

如上述，以夾持工件20的上端部或下端部的一對構件的一方作為設置在可自由擺動地支撐複數夾持構件800的支具710的垂直面740，減少構件零件數。另外，仿效形成在與複數夾持構件800相對之區域的垂直面740可確保工件20的垂直姿勢。並且，垂直面740也可設置於底板700而非支具710，此時也可實現相同的作用、效果。

接著，針對使上側橫框活動構件560的滑動位置定位的保持構件530，參閱第8圖進行說明。並且，第8圖表示的保持構件530的構成之中，針對具有與第7(A)圖~第7(C)圖表示之夾持構件的構造相同功能的構件，賦予和第7(A)圖~第7(C)圖相同的符號。但是，在第8圖表示的保持構件530未形成有面740。如第8圖表示，在固定構件510例如配置有四個保持構件530具有與第8圖表示之共通的構造。第8圖中，上側橫框活動構件560為水平地滑動移動於構成固定構件510的兩片固定板520、522之間，被保持構件530所保持。

將保持構件530配置於固定板520。亦即，將支具710固定於固定板520。在固定板520形成有夾持構件800的夾持端820可出入的狹縫孔521。與第7(B)圖同樣地，抵抗扭力盤簧730的彈推力賦予操作桿830外力F1，使得夾持構件800的夾持端820從上側橫框活動構件560分開。藉此，可以使上側橫框活動構件560在固定板520、522間朝水平方向滑動移動。一旦解除第7(B)圖表示的外力F1時，在夾持構件800的夾持端820與固定板722之間夾持上側橫框活動構件560，其夾持狀態是藉扭力盤簧730的彈推力來維持。藉此，上側橫框活動構件560是在配合工件20的寬度調整後的位置，藉保持構件530加以保持。

並且，保持構件530不限於第8圖表示的構造，只要以翼形螺栓等將上側橫框活動構件560定位保持即可。此外，並非有設置保持構件530的必要，例如從兩片固定板520、522間的間隙與上側橫框活動構件560的厚度的關係，也可以藉嵌合的摩擦力保持上側橫框活動構件560。

4. 供電部的變形例 　　第9圖表示供電至工件20的上端部及下端部的供電部。該供電部，可包括：供電至兩個上部固定夾持構件600的第1供電部701；透過兩個垂直構件562的例如兩個縱框固定構件570供電至兩個上部活動夾持構件的第2供電部702、702；及透過兩個縱框活動構件580供電至兩個下部活動夾持構件620、620的第3供電部703、703。該等第1~第3供電部701~703是例如可以導電纜形成。並且，此時，以使得縱框固定構件570與縱框活動構件580電絕緣為佳。

如此一來，分離成：由第1供電部701供電至上部固定夾持構件600的路徑；由第2供電部702供電至上部活動夾持構件610的路徑；及由第3供電部703供電至下部活動夾持構件620的路徑，可獨立設定各路徑的電阻值及電流值，藉此，進一步提升工件20之電流分布的面內均一性，並可提升工件20的表面處理品質。

5. 接觸部的寬度可變機構 　　第10圖是模式表示配合工件20的寬度可調整第3圖及第4圖表示的兩個接觸部312、312的寬度之搬運支架的被供電部的上面圖。第10圖中，在固定於水平臂部300的固定部311A，沿著搬運方向A可滑動地支撐從固定部311A突出的兩個活動部900、900。兩個接觸部312分別被此兩個活動部900、900所支撐。在固定部311A設置具有與兩個活動部900、900位置調整後予以保持之上述保持構件530相同的構造的保持部910。第10圖中保持部910是以模式表示，僅表示透過形成在固定構件311A的狹縫孔311B與活動部900壓接的夾持構件800。並且，接觸部312、312是按壓接觸於供電軌道260移動，因此保持接觸部312、312的間隔的保持部910為必須。但是，保持部910不限於第8圖表示的構造，例如也可以是翼形螺栓等。

從固定部311A的兩端突出的兩個活動部900、900是在配合工件20的寬度的位置藉保持部910保持於固定部311A。藉此，可將安裝在兩個活動部900、900的兩個接觸部312、312設定於配合工件20的寬度的位置。假如，兩個接觸部312、312的位置為固定時，則會配合最小尺寸的工件20固定。如此一來，為處理最大尺寸的工件20而搬入表面處理槽200的搬運支架30也會有接觸部312比工件20的搬運前端緩慢地與供電軌道260接觸的場合，因此會產生電流不流動至工件20的搬運前端的停滯時間。或者，使兩個接觸部312、312的寬度與工件20的寬度不一致，兩個接觸部312、312分別在兩個處理槽的分割單元的邊界與不同的電流控制對象的供電軌道260接觸時，使得工件20的電流控制變得複雜化。在工件20通過兩個處理槽分割單元的邊界時，上游的單元被控制成電流漸減，下游的單元被控制成電流漸增。由於此控制不僅是工件20的寬度並有考慮兩個接觸部312、312的寬度來實施的必要。藉著將兩個接觸部312、312設定在配合工件20的寬度的位置，即使變更工件20的寬度，接觸部312、312仍可設定位於工件20的寬方向的兩端，迴避上述停滯時間或電流控制的複雜性。

6. 可保持極薄工件之工件保持部的變形例 　　第11圖及第12圖是表示即使是厚度特別薄的工件，例如30μm以下厚度的工件仍可確實保持的搬運支架30A。第11圖及第12圖表示的搬運支架30A中，針對具有與第3圖及第4圖表示之搬運支架30的構件相同功能的構件是賦予相同符號並省略其說明。第11圖及第12圖中，針對標記500~600編碼的符號的構件，如第3圖及第4圖記載的搬運支架30已作說明。亦即，第11圖及第12圖表示的搬運支架30A在配合矩形工件20的寬度及/或長度使上部活動夾持構件610與下部活動夾持構件620的位置為可變的點，與第3圖及第4圖記載的搬運支架30相同。但是，第11圖及第12圖表示的搬運支架30A是以寬幅的夾持構件600、610、620把持著厚度特別薄的工件20的上部及下部。

為此，搬運支架30A具有從支撐於兩個縱框活動構件580的下端部的基端部向自由端部朝水平延伸的兩個下側縱框活動構件700。並且，可以在兩個下側橫框活動構件700支撐至少一個較佳為複數的下部活動夾持構件620。如此一來，如第12圖表示即使搬運支架30A的寬度變寬，仍可以下部活動夾持構件620跨比較長的範圍把持工件20的下部。

又，可進一步設置朝水平方向引導移動兩個下側橫框活動構件700的自由端的引導部710。引導部710可具有分別固定於兩個下側橫框活動構件700的軸承712、714。軸承712為固定軸712A的一端，軸承714是朝軸向自由移動地引導軸712A。同樣地，軸承714為固定軸714A的一端，軸承712是朝軸向自由移動地引導軸714A。如此一來，即使搬運支架30A的寬度為可變，兩個下側橫框活動構件700的自由端仍可被引導部710引導而朝水平方向移動，因此一邊將兩個下側橫框活動構件700維持在同一直線上，並可順利地實施寬度可變動作。

搬運支架30A的兩個縱框活動構件580，可分別進一步具有夾持矩形工件20之側部的至少一個且較佳為複數的側部固定夾持構件720。側部固定夾持構件720的夾持部份也以形成寬幅為佳。如此一來，例如即使工件的厚度是例如30μm以下的極薄物，仍可藉夾持構件600、610、620、720保持矩形工件的四邊，可保持不致使工件20彎曲。

搬運支架30A中，縱框活動構件580在縱向延伸的點雖與搬運支架30相同，但與搬運支架30不同的點是縱框活動構件580為與工件20的主面正交的第2面的寬度W2較與工件20的主面平行的第1面的寬度W1短，可以寬度W2為厚度的板狀構件形成(參閱第12圖)。如此一來，即使沿著與工件20的主面平行的搬運方向A進行搬運支架30A的搬運，仍可減少作用於縱框活動構件580的液壓。藉此，可穩定搬運支架30A進行搬運。

作為與第3圖、第4圖、第11圖及第12圖表示之搬運支架30、30A共同的構造為搬運部側的連結部525是使得工件保持部500可自由轉動地支撐在與工件20的主面平行延伸的軸541的周圍。如此一來，搬運時作用於搬運支架30、30A的擺動的外力可藉著軸541的周圍的轉動而消除。藉此，可緩和對保持在搬運支架30、30A之工件20的衝擊。

並且，如上述雖針對本實施形態已詳細說明，但該業者可容易理解可進行實體上不脫離本發明的新穎事項及效果的多數的變形。因此，如以上的變形例所有皆包括於本發明的範圍。例如，說明書或圖示中，至少一次以更為廣義或同義不同的用與一起所記載的用語，在說明書或圖示的任意之處，皆可置換為與其不同的用語。或本實施形態及變形例的所有組合，皆包括於本發明的範圍。

10‧‧‧表面處理裝置20‧‧‧工件30，30A‧‧‧搬運支架200‧‧‧表面處理槽300，320，330‧‧‧搬運部310‧‧‧被供電部311A‧‧‧固定部312‧‧‧接觸部500‧‧‧工件保持部510‧‧‧固定構件530‧‧‧保持構件(保持部)550‧‧‧活動構件560‧‧‧上側橫框活動構件562‧‧‧垂直構件570‧‧‧縱框固定構件580‧‧‧縱框活動構件600‧‧‧上部固定夾持構件610‧‧‧上部活動夾持構件620‧‧‧下部活動夾持構件630‧‧‧滾筒700‧‧‧下側橫框活動構件701‧‧‧第1供電部702‧‧‧第2供電部703‧‧‧第3供電部710‧‧‧引導部712，714‧‧‧軸承712A，714A‧‧‧軸720‧‧‧側部夾持構件900‧‧‧活動部910‧‧‧保持部

第1圖為本發明實施形態相關之表面處理裝置的縱剖面圖。 　　第2圖為第1圖的部份放大圖。 　　第3圖為保持著寬幅之工件的搬運支架的透視圖。 　　第4圖為保持著窄幅之工件的搬運支架的透視圖。 　　第5圖是表示搬運支架的被供電部的圖。 　　第6圖是說明垂直長度為可變的搬運支架的側面圖。 　　第7(A)圖~第7(C)圖是用於說明夾持構件的構造及動作的圖。 　　第8圖為表示保持構件的圖。 　　第9圖是與第3圖不同之搬運支架的透視圖。 　　第10圖是表示配合工件寬度設兩個接觸部為活動的被供電部的圖。 　　第11圖是表示設定為適合厚度特別薄的工件之搬運支架的最小寬度的狀態的圖。 　　第12圖是表示將第11圖表示之搬運支架設定成最大寬度的狀態的圖。

20‧‧‧工件

30‧‧‧搬運支架

300，320，330‧‧‧搬運部

301‧‧‧垂直臂部

310‧‧‧被供電部

311‧‧‧支撐部

312‧‧‧接觸部

321、322、323、324‧‧‧爪構件

331‧‧‧滾筒

335‧‧‧滾筒

500‧‧‧工件保持部

510‧‧‧固定構件

520、522‧‧‧固定板

521‧‧‧狹縫孔

524‧‧‧延長部

525‧‧‧連結構件

530‧‧‧保持構件(保持部)

540‧‧‧軸承

541‧‧‧導軸

550‧‧‧活動構件

560‧‧‧上側橫框活動構件

562‧‧‧垂直構件

570‧‧‧縱框固定構件

580‧‧‧縱框活動構件

581‧‧‧制動器

600‧‧‧上部固定夾持構件

610‧‧‧上部活動夾持構件

620‧‧‧下部活動夾持構件

630‧‧‧滾筒

701‧‧‧第1供電部

702‧‧‧第2供電部

Claims (14)

1. 一種搬運支架，其特徵為，具有：搬運部，及工件保持部，下垂於上述搬運部而支撐，上述工件保持部，具有：固定構件；兩個活動構件，可往水平方向滑動地支撐於上述固定構件，從上述固定構件的兩端突出；上部固定夾持構件，支撐於上述固定構件，夾持工件的上端部；及上部活動夾持構件，分別安裝於上述兩個活動構件，夾持上述工件的上端部，上述兩個活動構件，分別包括：上側橫框滑動構件，可滑動地支撐於上述固定構件，及垂直構件，固定於上述上側橫框滑動構件，上述上部活動夾持構件支撐於上述垂直構件。
2. 如請求項1記載的搬運支架，其中，進一步具有相對於上述固定構件在配合上述工件的寬度的位置分別保持上述兩個活動構件的保持構件。
3. 如請求項1記載的搬運支架，其中，上述垂直構件，包括：縱框固定構件；縱框活動構件，可往垂直方向滑動地支撐於上述縱框 固定構件；及下部活動夾持構件，支撐於上述縱框活動構件的下端部，夾持上述工件的下端部，上述上部活動夾持構件支撐於上述縱框固定構件。
4. 如請求項1記載的搬運支架，其中，進一步具有供電至上述工件的供電部，上述供電部，包括：透過上述固定構件供電至上述上部固定夾持構件的第1供電部，及透過上述垂直構件供電至上述上部活動夾持構件的第2供電部。
5. 如請求項3記載的搬運支架，其中，進一步具有供電至上述工件的供電部，上述縱框活動構件是與上述上側橫框活動構件電絕緣，上述供電部，包括：第1供電部，透過上述固定構件供電至上述上部固定夾持構件；第2供電部，透過上述上側橫框活動構件供電至上述上部活動夾持構件；及第3供電部，透過上述縱框活動構件供電至上述下部活動夾持構件。
6. 如請求項4記載的搬運支架，其中，上述供電部包括從外部軌道供電的被供電部，上述被供電部，進一步具有：固定部； 兩個活動部，可水平方向滑動地支撐於上述固定部，從上述固定部的兩端突出；接觸部，分別安裝於上述兩個活動部，與外部軌道接觸而供電；及保持部，相對於上述固定部在配合上述工件的寬度的位置分別保持上述兩個活動部。
7. 如請求項3記載的搬運支架，其中，上述縱框活動構件具有以最下端面為滾接面的滾筒。
8. 如請求項1記載的搬運支架，其中，上述垂直構件，包括：縱框固定構件；縱框活動構件，可往垂直方向滑動地支撐於上述縱框固定構件；及下側橫框活動構件，從支撐於上述縱框活動構件的下端部的基端部朝自由端部水平地延伸，在上述縱框固定構件支撐上述上部活動夾持構件，在上述下側橫框活動構件支撐下部活動夾持構件。
9. 如請求項8記載的搬運支架，其中，進一步具有引導部，水平方向移動引導分別設置在上述兩個活動構件的兩個上述下側橫框活動構件的上述自由端部。
10. 如請求項3記載的搬運支架，其中，上述縱框活動構件，進一步具有夾持上述工件的側部的側部固定夾持構件。
11. 如請求項3記載的搬運支架，其中，縱 向延伸的上述縱框活動構件是以比起和上述工件的主面平行的第1面的寬度，和上述工件的主面正交的第2面的寬度更短的板狀構件所形成。
12. 如請求項1至11中任一項記載的搬運支架，其中，上述搬運部繞與上述工件的主面平行地延伸的軸，自由轉動地支撐上述工件保持部。
13. 一種搬運支架，具備：工件保持部，包括配合工件的上端部的寬度，夾持上述上端部的兩端部的位置為可變的兩個夾持構件，及供電部，透過上述兩個夾持構件供電至上述工件，上述供電部包括從外部供電的被供電部，上述被供電部，進一步具有：固定部；兩個活動部，可水平方向滑動地支撐於上述固定部，從上述固定部的兩端突出；接觸部，分別安裝於上述兩個活動部，與外部軌道接觸而供電；及保持部，相對於上述固定部在配合上述工件的寬度的位置分別保持上述兩個活動部。
14. 一種表面處理裝置，其特徵為，具有：表面處理槽，收容有處理液，具有上端開口，及請求項1至13中任一項記載複數的搬運支架，配置在上述表面處理槽的上述處理液中分別保持工件。

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