JP5416005B2

JP5416005B2 - 表面処理装置における板状被処理物の搬送装置、この搬送装置の挟持チャック

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Publication number: JP5416005B2
Application number: JP2010065741A
Authority: JP
Inventors: 正次長倉
Original assignee: 丸仲工業株式会社
Priority date: 2009-08-27
Filing date: 2010-03-23
Publication date: 2014-02-12
Anticipated expiration: 2030-03-23
Also published as: JP2011068492A

Description

本発明は、回転駆動される挟持チャックで板状被処理物の両側縁を挟持して被処理物を水平状態で搬送しながら表面処理する装置に関し、特に板状被処理物の両側縁を挟持して水平搬送する挟持チャックの自動開閉制御機構の改良に関する。

この種の処理装置としては、特許文献１の板状物体の電解処理装置が公知である。この電解処理装置は、板状物体が水平状態で電解室に供給され、一定滞留時間該電解室を連続的に通過し、電解処理後に電解室から再び搬出される、板状物体上に金属を電着する装置であり、板状物体を電解室を通して運搬するための搬送装置が、搬送域中で板状物体の側縁を挟持して搬送方向に移動する、エンドレスに回転して駆動される個々のクランプの列として構成され、電解室内にある板状物体の搬送路の始端と終端には、クランプによる板状物体の挟持および開放を惹起する装置が設けられたものである。

この特許文献１では、クランプの開閉制御を、クランプとして、ばね圧下に締付ける２つの屈曲部材１７、１８が使用され、かつクランプの非搬送域にわたって延びる傾斜レール３２の傾斜面３３に一方又は双方の屈曲部材が係合することにより板状物体を開放する、構成にしてある。そして、第２図の実施形態では、前記クランプは、屈曲部材１７、１８ごとに、双方の屈曲部材のリンク継手２０の上方に存在しかつ屈曲部材の上部アーム３４，３９の間で突張る圧縮ばね１９が設けられていて、屈曲部材１７の上部の折曲端３４が傾斜面３３に係合すると、連結点２０を中心にして屈曲部材１７の下端部２１が開く方向に旋回し、屈曲部材１７，１８の下端部２１、２２が相互に離れる、開放状態となるようにしてある。

しかし、この文献のクランプ開閉制御は、連結点２０を中心にして屈曲部材１７の下端部２１が開く方向に旋回し、屈曲部材１７，１８の下端部２１、２２が相互に離れる、開放状態となるようにしてあるため、開放状態において、屈曲部材１７，１８の下端部２１、２２の上下方向の離間幅を広くとれない。このことは、クランプで掴んでいた板状物体を開放する動作を困難にしていると共に、特にクランプで板状物体を掴む動作を困難にしている。すなわち、上下方向の離間幅が狭い開状態のクランプに水平状態の板状物体を的確に供給することが困難である。

しかも、この文献のクランプ開閉制御は、傾斜レール３２の傾斜面３３に屈曲部材の折曲端３４を面接触させて係合させる構成であるため、傾斜面を移動通過する屈曲部材への抵抗が大きく、クランプの円滑な開閉動作を困難にしている。

特公平６−３１４７６号公報

このような実情に鑑み、本発明は、エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段に取付けられて、回転駆動される挟持チャックで板状被処理物の両側縁を挟持して被処理物を水平状態で搬送しながら表面処理する装置において、被処理物の搬送通路の始端部と終端部で挟持チャックによる板状被処理物の挟持及び開放を確実かつ円滑に行なえる、チャック自動開閉制御機構を含む搬送装置を提供することを目的とする。

さらに、本発明は、挟持チャックの開放状態（搬送始端部での被処理物を挟持するための受け入れ開放動作、搬送終端部での被処理物の開放動作）において、チャックの上下挟持部を、被処理物の水平搬送高さレベル面に対して、上下に間隔を空け離間させるようにし、被処理物を挟持する搬送始端部では、上下挟持部間の空け間隔へ被処理物を確実且つ円滑に安定供給できるようにし、挟持していた被処理物を開放する搬送終端部では、被処理物にキズがつかないようにする、チャック自動開閉制御機構を含む搬送装置を提供することを目的とする。

上記した課題を解決するため、本発明（請求項１の発明）は、平行な両側縁をもつ板状の被処理物が水平供給手段によって板面を上下にした水平搬送面高さレベルによる水平状態で表面処理槽に供給され、該表面処理槽を該水平搬送面高さレベルによる水平状態で連続的に搬送させて通過し、表面処理後に被処理物が水平搬出手段によって表面処理槽から搬出される、被処理物に表面処理を施す装置において、被処理物を表面処理槽の通過区間に亘って水平搬送面高さレベルによる水平状態で搬送するための搬送装置が、表面処理槽における被処理物の搬送通路を間にした両側にそれぞれ設けた水平搬送手段によって構成され、各水平搬送手段は、エンドレスに回転駆動される、前記搬送通路に沿う直線搬送駆動部をもつ搬送駆動手段に等間隔を置いて多数の挟持チャックを取付けてそれぞれ構成され、前記挟持チャックは水平搬送面高さレベルによる水平状態の被処理物の側縁部を上下方向において挟持及び開放する下挟持部と上挟持部を備え、各水平搬送手段の挟持チャック群は、同期した速度で回転駆動され、搬送通路側の各直線駆動経路部を互いに平行で且つ前記搬送通路を間にして離間させた横幅間隔を有しており、搬送通路側の各直線駆動経路部にある挟持チャック群で被処理物の両側縁部を同期的に挟持して、表面処理槽の通過区間に亘って被処理物を水平搬送面高さレベルによる水平状態で搬送方向に移動するように構成し、前記水平搬送手段は、被処理物の搬送通路の始端部を通過する挟持チャックを開状態から被処理物の側縁部を挟持可能な閉状態に制御し、被処理物の搬送通路の終端部を通過する挟持チャックを閉状態から被処理物の側縁部を開放可能な開状態に制御する、チャック自動開閉制御機構をそれぞれ備え、このチャック自動開閉制御機構が、前記挟持チャック群の回転駆動経路に沿う、始端部側のコーナー回転駆動経路部から回転駆動方向における搬送通路の始端部の直前位置に至る位置及び搬送通路の終端部から回転駆動方向におけるコーナー回転駆動経路部へ至る位置にそれぞれ配設した、高位ガイド上面部を有するチャック開閉ガイド部材を備え、前記挟持チャックは、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に取付けられた固定チャック杆の下端部に前記下挟持部を形成し、この固定チャック杆に上下動自在に保持される可動チャック杆の下端部に前記上挟持部を形成し、可動チャック杆を圧縮ばねのバネ圧によって下動させ、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、且つ、前記挟持チャックの上部にはチャック開閉ガイド係合部材を付設してあり、このチャック開閉ガイド係合部材は、前記チャック開閉ガイド部材の高位ガイド上面部に係合可能な係合部をもち、この挟持チャックが前記チャック開閉ガイド部材の位置を通過する際に、この係合部が高位ガイド上面部に係合されることによって、前記可動チャック杆が圧縮ばねのバネ圧に抗して上動され、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部が上下方向に離間された開状態に制御されるように構成し、且つ、前記チャック開閉ガイド係合部材が、略Ｌ字型の反転レバーの屈曲部を支点部として固定チャック杆側に支点軸によって反転自在に軸着され、この反転レバーの下方アーム部の先端を可動チャック杆の上部に回動自在に連結し、反転レバーの上方アーム部の先端に前記チャック開閉ガイド部材のガイド上面部に沿って転動自在な回転ローラを取付けて構成し、この回転ローラを前記係合部として構成し、この回転ローラが前記高位ガイド上面部に沿って転動する係合状態において、上方アーム部が前記支点軸を軸心として上方向に反転され、下方アーム部に連結された可動チャック杆を上動させ、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成した、ことを特徴とする表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。本発明（請求項１の発明）によれば、ガイド上面部に沿って転動自在な回転ローラと反転レバーの梃子作用で円滑に可動チャック杆を上下動させることができ、挟持チャックの開閉を円滑にできる。

また、本発明（請求項２の発明）は、前記挟持チャックが、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に上下方向に長い長穴をもつ取付け部材を介して上下に移動自在に取付けられ、該チャックの開状態においては、該チャックの自重によって、該チャックの下挟持部が被処理物の前記水平搬送面高さレベルより隙間間隔を置いた下方の下限位置に移動されるようにし、該挟持チャックが搬送通路の始端部から終端部を通過する閉状態においては、該挟持チャックを搬送通路側の前記直線駆動経路部に沿って配設したチャック案内レールに係合させて上限位置にて搬送方向に移動させ、該チャックの下挟持部が被処理物の水平搬送面高さレベルの下面に位置する上限位置を保持した状態で搬送方向に移動するように構成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

また、本発明（請求項３の発明）は、前記挟持チャックが、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に上下方向に長い長穴をもつ取付け部材を介して上下に移動自在に取付けられ、該チャックの開状態においては、該チャックの自重によって、該チャックの下挟持部が被処理物の前記水平搬送面高さレベルより隙間間隔を置いた下方の下限位置に移動されるようにし、始端部側のコーナー回転駆動経路部から回転駆動方向における搬送通路の始端部に移動される挟持チャックの取付け基部を回転駆動方向に徐々に高位となる傾斜上面を有するチャック上げガイド部材に係合させ、該挟持チャックの下挟持部を前記下限位置から被処理物の水平搬送面高さレベルの下面に位置する上限位置へと徐々に上動するように案内し、且つ、該挟持チャックが搬送通路の始端部から終端部を通過する閉状態においては、該挟持チャックを搬送通路側の前記直線駆動経路部に沿って配設したチャック案内レールに係合させ、該チャックの下挟持部が被処理物の水平搬送面高さレベルの下面に位置する上限位置を保持した状態で搬送方向に移動するように構成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

本発明（請求項２，３の発明）によれば、前記挟持チャックの開放状態では、上挟持部は被処理物を開放できる位置に上動されると共に、下挟持部は被処理物の水平搬送面高さレベルより隙間間隔を置いた下方に位置され、よって、チャックの上挟持部と下挟持部は、被処理物の水平搬送面高さレベルに対して、共に間隔を置いた離れた位置に置かれる。

また、本発明（請求項４の発明）は、前記チャック開閉ガイド部材が、挟持チャックの回転駆動方向における、中間部を高位ガイド上面部とし、この高位ガイド上面部の両側を該高位ガイド上面部から徐々に低位となる傾斜ガイド上面部とした、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

また、本発明（請求項５の発明）は、前記水平供給手段によって水平搬送面高さレベルで表面処理槽に供給された板状被処理物を該水平搬送面高さレベルにて搬送通路の始端部位置まで案内する上下ガイド部を有する被処理物供給ガイド部材を設けた、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

また、本発明（請求項６の発明）は、前記各水平搬送手段に、搬送通路側の前記直線駆動経路部を移動する挟持チャック群を案内するチャック案内レールをそれぞれ備えた、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

また、本発明（請求項７の発明）は、前記チャック案内レールを、前記挟持チャックを介して搬送される被処理物に陰極の電流を給電する給電レールとして機能させた、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

また、本発明（請求項８の発明）は、前記水平搬送手段によって前記表面処理槽の通過区間を水平搬送面高さレベルによる水平状態で搬送される板状被処理物の両側縁部をこの通過区間に亘って上下方向の位置から遮蔽空間となる隙間空間を空けて連続して案内する側縁部用上部案内ガイド部と側縁部用下部案内ガイド部から成るプラスチック等の絶縁材製の側縁部用案内ガイドを搬送通路の両側にそれぞれ設け、前記挟持チャックの可動チャック杆の下部に該可動チャック杆が前記通過区間を水平方向に移動する場合における前記側縁部用上部案内ガイド部との接触干渉を回避できる略Ｃ字形状の回避部を形成し、この回避部の開口内に前記側縁部用上部案内ガイド部が配される構成とし、この回避部の下端部に前記上挟持部を下方向に向けた突起状態に形成し、前記固定チャック杆の下部に略Ｃ字形状又は略Ｌ字形状の支持部を形成し、この支持部内において前記回避部が上下方向に移動可能に保持される構成とし、この支持部の下端部に前記下挟持部を上方向に向けた突起状態に形成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

本発明（請求項８の発明）によれば、側縁部用案内ガイドを設けると共に、挟持チャックを側縁部用案内ガイドの配設に適した構造にしたことによって、表面処理槽の通過区間を水平状態で搬送される板状被処理物の両側縁部が側縁部用案内ガイドによって水平搬送面高さレベルで案内され、しかも電流が集中される板状被処理物の両側縁部が絶縁材製の側縁部用案内ガイドによって上下方向の位置から遮蔽（シールド）されることによって、板状被処理物の両側縁部に電流が集中するのを防止でき、板状被処理物のメッキ厚を均一化できる。よって、この発明を、電気メッキ処理装置などの電解処理装置として用いた場合に効果が大である。

また、本発明（請求項９の発明）は、エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段に取付けられて回転駆動され、この回転駆動経路における直線駆動経路部で板状被処理物の一側縁又は両側縁を挟持して該被処理物を水平状態で一方向に搬送する搬送装置の挟持チャックであり、この挟持チャックは、板面を上下にした被処理物の側縁部を上下方向において挟持及び開放する下挟持部と上挟持部を備え、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に取付けられる固定チャック杆の下端部に前記下挟持部を形成し、この固定チャック杆に上下動自在に保持される可動チャック杆の下端部に前記上挟持部を形成し、可動チャック杆を圧縮ばねのバネ圧によって下動させ、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、且つ、前記挟持チャックの上部にはチャック開閉ガイド係合部材を付設してあり、このチャック開閉ガイド係合部材が、略Ｌ字型の反転レバーの屈曲部を支点部として固定チャック杆側に支点軸によって反転自在に軸着し、この反転レバーの下方アーム部の先端を可動チャック杆の上部に回動自在に連結し、反転レバーの上方アーム部の先端に回転ローラを取付けて構成し、この回転ローラが前記回転駆動経路に沿って設けられるチャック開閉ガイド部材の高位ガイド上面部に沿って転動する係合状態において、上方アーム部が前記支点軸を軸心として上方向に反転し、下方アーム部に連結された可動チャック杆を上動させるようにし、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置の挟持チャックを提供する。

また、本発明（請求項１０の発明）は、前記挟持チャックで挟持されて水平状態で搬送される板状被処理物の両側縁部を上下方向の位置から遮蔽空間となる隙間空間を空けて連続して案内する側縁部用上部案内ガイド部と側縁部用下部案内ガイド部から成るプラスチック等の絶縁材製の側縁部用案内ガイドをそれぞれ設けた表面処理装置における板状被処理物の搬送装置の挟持チャックにおいて、前記可動チャック杆の下部に該可動チャック杆が水平方向に移動する場合における前記側縁部用上部案内ガイド部との接触干渉を回避できる略Ｃ字形状の回避部を形成し、この回避部の開口内に前記側縁部用上部案内ガイド部が配される構成とし、この回避部の下端部に前記上挟持部を下方向に向けた突起状態に形成し、前記固定チャック杆の下部に略Ｃ字形状又は略Ｌ字形状の支持部を形成し、この支持部内において前記回避部が上下方向に移動可能に保持される構成とし、この支持部の下端部に前記下挟持部を上方向に向けた突起状態に形成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置の挟持チャックを提供する。

また、本発明（請求項１１の発明）は、平行な両側縁をもつフレキシブルな板状被処理物を略水平状態で連続的に搬送させ、この搬送過程で被処理物を処理液中に通過させて被処理物に表面処理を施す装置において、板状被処理物の搬送通路を間にした両側に水平搬送手段をそれぞれ設け、各水平搬送手段は、エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段に間隔を置いて多数の挟持チャックを取付けてあり、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の駆動経路にある挟持チャック群で板状被処理物の両側縁部を挟持して該被処理物を板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送する搬送装置であり、前記挟持チャックは、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に上下に長い長穴をもつ取付け部材を介して上下に移動自在に取付けられると共に、前記駆動経路に沿って配置した上下高さ変動レールに該挟持チャックに設けた転動ローラを介して案内されて、該挟持チャックで側縁部を挟持された被処理物が表面処理槽と表面処理槽の間の上方を跨いで通過可能な上限位置と、該挟持チャックで側縁部を挟持された被処理物が各表面処理槽内の処理液中に浸漬可能な下限位置を搬送されるように構成し、前記上下高さ変動レールは上限高さ部と下限高さ部との間を両部に連続する傾斜部とした、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置を提供する。

本発明によれば、回転駆動される挟持チャックで板状被処理物の両側縁を挟持して被処理物を水平状態で搬送しながら表面処理する装置において、被処理物の搬送通路の始端部と終端部で挟持チャックによる板状被処理物の挟持及び開放を確実かつ円滑に行なうことができる。本発明は、特に、表面処理される板状被処理物が薄物板やフレキシブル板の場合に、有用である。

さらに、チャックの開放状態では、上挟持部は被処理物を開放できる位置に上動されると共に、下挟持部は被処理物の水平搬送面高さレベルより隙間間隔を置いた下方に位置され、よって、チャックの上挟持部と下挟持部は、被処理物の水平搬送面高さレベルに対して、共に間隔を置いた離れた位置に置かれるようにした、本発明によれば、挟持チャックの開放状態（搬送始端部での被処理物を挟持するための受け入れ開放動作、搬送終端部での被処理物の開放動作）において、チャックの上下挟持部を、被処理物の水平搬送面高さレベルに対して、上下に間隔を空け離間させているため、被処理物を挟持する搬送始端部では、上下挟持部間の空け間隔へ被処理物をより確実且つ円滑に安定供給でき、挟持していた被処理物を開放する搬送終端部でも、被処理物にキズが付かないようにすることができる。

本発明の概略を示す平面図である。本発明の搬入部の概略を示す正面図である。本発明の概略を示す側面図である。本発明のチャック自動開閉制御機構の概略を示す正面図である。本発明のチャック自動開閉制御機構の概略を示す側面図である。本発明の搬入部の概略を示す平面図である。本発明の他の実施形態を示す概略正面図である。図７の搬入部の概略を示す平面図である。本発明の概略を示す他の実施形態の平面図である。本発明の他の実施形態を示す側面図である。本発明の他の実施形態を示す正面図である。本発明の他の実施形態の概略を示す正面図である。

本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１〜図６は第一の実施形態を、図７及び図８は第二の実施形態を、図９〜図１１は第三の実施形態を示している。なお、特に限定のない説明は、図１〜図６、図７及び図８、図９〜図１１の各実施形態に共通するものである。

図１及び図２（図２では搬入部のみ示してある。）は、図の左側の供給位置から板状被処理物Ｐが板面を上下にした水平搬送面高さレベルＨによる水平状態で水平供給手段２（回転駆動ローラ）によって表面処理槽１に供給され、該表面処理槽１を該水平搬送面高さレベルＨによる水平状態で連続的に矢印Ａの方向に搬送させて通過し、表面処理後に被処理物が該水平搬送面高さレベルによる水平状態で水平搬出手段３（回転駆動ローラ）によって表面処理槽１から右方向へ搬出される、被処理物に表面処理を施す装置の概略を示している。なお、図１及び図２（図２では搬入部のみ示してある。）に示すように、水平状態の板状被処理物Ｐを搬入・搬出する搬入口１ａ・搬出口１ｂには、対応する処理槽内側にシールローラ４（４ａ，４ｂ）を配設し、槽内処理液の流出を防いでいる。このシールローラ４（４ａ，４ｂ）の下段のシールローラ４ａは、水平供給手段２及び水平搬出手段３の回転駆動ローラと同様な回転駆動ローラとしても機能させている。板状被処理物Ｐとしては平行な両側縁をもつことが条件であるが、図示した矩形（プリント基板など）の物の他、平行な両側縁をもつ長尺帯状の物であっても良い。この表面処理槽では板状被処理物にメッキ処理や薬品処理の表面処理が施される。本発明は、電気メッキ処理などの電解処理、無電解処理など、板状被処理物の表面処理装置の搬送装置として広く適用できる。

板状被処理物Ｐを表面処理槽１の通過区間５（図１に矢印５で示した区間）に亘って水平搬送面高さレベルＨによる水平状態で搬送するための搬送装置が、表面処理槽１における被処理物Ｐの搬送通路６を間にした両側に設けた水平搬送手段７，７によって構成されている。各水平搬送手段７，７は、エンドレスに回転駆動される互いに平行な内側の直線駆動部８ａと外側の直線駆動部８ｂをもつ搬送駆動手段８に、等間隔を置いて多数の挟持チャック９・・・を取付けて、構成されている。この挟持チャック９は水平搬送面高さレベルＨによる水平状態の被処理物の側縁部を上下方向において挟持及び開放する下挟持部２５ａと上挟持部２６ａを備えたものであり、その詳細については後述する。被処理物の搬送通路６に沿う内側の直線駆動部８ａは直線搬送駆動部（８ａ）として構成される。各搬送駆動手段８における前記直線搬送駆動部８ａ（内側の直線駆動部８ａ）の搬送方向の長さは前記通過区間５より少し長く構成してある。エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段８は、ローラ１０，１０に巻架されてエンドレスに回転駆動される歯付ベルト１１（チェーン伝動でも良い。）であり、各水平搬送手段７，７に設けた搬送用モータ（図示せず。）によって一方のローラ１０（図１に示す右側のローラ１０）を回転駆動させている。前記ローラ１０には歯付ベルト１１に合う歯が設けられている。

各搬送駆動手段８，８は、同速度で同期回転駆動され、各搬送駆動手段における前記直線搬送駆動部８ａ（内側の直線駆動部）にある挟持チャック群９・・・の各挟持部における各直線駆動経路部１２ａ，１２ａは、互いに平行で且つ互いの挟持チャック群９・・・は搬送通路６を間にした対称位置において回転駆動されるように成っている。各直線駆動経路部１２ａ，１２ａにある挟持チャック群９・・・は、前記搬送通路６を間にして離間させた横幅間隔を有しており、この横幅間隔を表面処理槽１における被処理物Ｐの搬送通路６の横幅間隔として構成している。各水平搬送手段７，７における搬送通路６側の各直線駆動経路部１２ａ，１２ａにある挟持チャック群９・・・で被処理物Ｐの両側縁部を同時に挟持して、表面処理槽１の通過区間５に亘って被処理物を水平搬送面高さレベルＨによる水平状態で搬送方向に移動するように構成してある。水平搬送手段７，７による被処理物の搬送速度は、１分当たり０．５ｍ〜２ｍとしてあり、被処理物Ｐの表面処理条件によって可変としてある。この水平搬送手段７，７による被処理物の搬送速度と、前記水平供給手段２による供給速度及び前記水平搬出手段３による搬出速度は、同速に設定してある。

エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段８（歯付ベルト１１）に等しい間隔を置いて取付けた挟持チャック群９・・・は、矩形の板状被処理物Ｐの場合は、少なくとも側縁の複数箇所を挟持できる間隔に取付けてある。なお、図１では、挟持チャック群９・・・を一点鎖線で示した回転駆動経路１２における一部の範囲のみで表示したが、搬送駆動手段８（歯付ベルト１１）の全範囲に亘り等間隔に取付けてある。

各水平搬送手段７，７には、内側（搬送通路６側）の直線駆動経路部１２ａ，１２ａを移動する挟持チャック群９・・・を案内する断面矩形状のチャック案内レール１５と、外側の直線駆動経路部１２ｂ，１２ｂを移動する挟持チャック群９・・・を案内する断面矩形状のチャック案内レール１６をそれぞれ固定状態に備えている。内側のチャック案内レール１５の搬送方向における長さは表面処理槽１の前記通過区間５より少し長く構成してある。この内側のチャック案内レール１５，１５によって、前記通過区間５の直線駆動経路１２ａを移動する挟持チャック９で挟持された被処理物を水平搬送面高さレベルＨに保持できるようにしている。そして、本発明を、電気メッキ処理装置などの電解処理装置として用いる場合、内側（搬送通路６側）の直線駆動経路部１２ａ，１２ａを移動する挟持チャック群９・・・を案内するチャック案内レール１５，１５を、前記挟持チャック９を介して搬送される被処理物に陰極の電流を給電する給電レールとして機能させている。

前記各水平搬送手段７，７は、被処理物Ｐの搬送通路６（表面処理槽の通過区間５）の始端部５ａを通過する挟持チャック９・・・を開状態から被処理物の側縁部を挟持可能な閉状態に制御し、被処理物Ｐの搬送通路６（表面処理槽の通過区間５）の終端部５ｂを通過する挟持チャック９・・・を閉状態から被処理物の側縁部を開放可能な開状態に制御する、チャック自動開閉制御機構をそれぞれ備えている。

このチャック自動開閉制御機構は、高位ガイド上面部２０ａを有するチャック開閉ガイド部材２０を備えている。このチャック開閉ガイド部材２０の高位ガイド上面部２０ａは、図１及び図６（図６では搬入部のみ示してある。）に示したように、前記挟持チャック群９・・・の回転駆動経路１２に沿う、始端部側のコーナー回転駆動経路部１２ｃから回転駆動方向における搬送通路６の始端部５ａの直前位置に至る位置及び搬送通路６の終端部５ｂから回転駆動方向における終端部側のコーナー回転駆動経路部１２ｃへ至る位置にそれぞれ配設されている。図４に示したように、チャック開閉ガイド部材２０は、挟持チャック９の回転駆動方向における、中間部を高位ガイド上面部２０ａとし、この高位ガイド上面部２０ａの両側を該高位ガイド上面部から徐々に低位となる傾斜ガイド上面部２０ｂとしてある。なお、図６において、符号Ｃで示した一点鎖線は、前記挟持チャック９の係合部３６（回転ローラ４０）の回転駆動経路を示している。

前記挟持チャック９は、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段８（歯付ベルト１１）に取付け部材２３等を介してボルト締結手段で固定状態（なお、後述するが、図７、８の実施形態では、挟持チャック９を歯付きベルト１１に上下に移動自在に取付けてある。）取付けられた略Ｌ字形状の固定チャック杆２５の下端部の略水平の屈曲部に前記下挟持部２５ａを形成し、この固定チャック杆２５に上下動自在に保持されるロッド形状の可動チャック杆２６の下端部に前記上挟持部２６ａを形成し、可動チャック杆２６を圧縮ばね（圧縮コイルばね）２７のバネ圧によって下動するようにしてあり、可動チャック杆２６の上挟持部２６ａと固定チャック杆２５の下挟持部２５ａを常態において上下方向に閉じた閉状態（この閉状態で水平状態の板状被処理物の側縁を上下方向において掴み得る挟持状態にしている。）に制御してある。更に具体的に述べれば、図４，図５に示したように、この固定チャック杆２５の外側面に上下の保持部材２５ｂ，２５ｃを固定的に設け、この上下の保持部材２５ｂ，２５ｃでロッド形状の可動チャック杆２６を上下動自在に保持し、この上下の保持部材２５ｂ，２５ｃの間に可動チャック杆２６に固定したばね係止体２６ｂを配設し、上の保持部材２５ｂとばね係止体２６ｂとの間に圧縮コイルばね２７を可動チャック杆２６のロッド部周りに遊嵌合して介在させ、常態においては、図５（イ）の閉状態のように、圧縮コイルばね２７のばね圧によってばね係止体２６ｂを下の保持部材２５ｃと接する下動位置まで押し下げている。図３，図５に示すように、歯付きベルト１１の外側面（内側面と同様にこの外側面にも上下方向に延びる係合歯を形成してある。）に取付け部材２３を介して略Ｌ字形状の固定チャック杆２５の背面側を固定状態に取り付け、前記下挟持部２５ａが外側に位置されるように取付けてある。

前記固定チャック杆２５の内側面には、前記チャック案内レール１５，１６に挟持チャック９を移動自在に係合するための案内レール用の係合部材３０を固定状態に取付けある。この係合部材３０は、断面矩形状の前記チャック案内レール１５，１６を上下部からスライド自在に保持するもので、案内レール１５のレール上面に面接触してスライドされる上部の係合部材３０ａは移動方向に長く形成（図４参照）されている。前述したように、前記通過区間５の直線駆動経路１２ａを移動する挟持チャック９は、内側のチャック案内レール１５によって、該挟持チャックで挟持された被処理物Ｐを水平搬送面高さレベルＨに保持できるようにしている。

この挟持チャック９の上部にはチャック開閉ガイド係合部材３５を付設してある。このチャック開閉ガイド係合部材３５は、前記チャック開閉ガイド部材２０の高位ガイド上面部２０ａに係合可能な係合部３６をもち、この挟持チャック９が前記チャック開閉ガイド部材２０の位置を通過する際に、この係合部３６が高位ガイド上面部２０ａに係合されることによって、前記可動チャック杆２６を圧縮ばね２７のバネ圧に抗して上動させ、可動チャック杆２６の上挟持部２６ａと固定チャック杆２５の下挟持部２５ａを上下方向に離間させた開状態（この開状態で、挟持する水平状態の板状被処理物の側縁の供給を受ける状態にし、また挟持していた板状被処理物の側縁を開放する状態にしている。）に制御するように構成されている。

このチャック開閉ガイド係合部材３５として、図４、図５の実施形態では、略Ｌ字型の反転レバー３７の屈曲部を支点部として固定チャック杆２５側に支点軸３８によって反転自在に軸着し、この反転レバー３７の下方アーム部３７ｂの先端を可動チャック杆２６の上部にピン軸３９を介して回動自在に連結し、反転レバー３７の上方アーム部３７ａの先端に前記チャック開閉ガイド部材２０のガイド上面部（２０ａ，２０ｂ）に沿って転動自在な回転ローラ４０を取付け、この回転ローラ４０を係合部３６として構成し、この回転ローラ４０が高位ガイド上面部２０ａに沿って転動する係合状態において、図４の一点鎖線で示したように、上方アーム部３７ａが前記支点軸３８を軸心として上方向に反転し、下方アーム部３７ｂの先端に連結された可動チャック杆２６を圧縮コイルばね３７のバネ圧に抗して上動させるように構成してある。図４の矢印は挟持チャック９の移動方向を示している。図４に示したように、前記反転レバー３７は、支点部（支点軸３８）をチャック移動方向における後位置に配設し、上方アーム部３７ａの先端の回転ローラ４０をチャック移動方向における前位置に配設してある。そして、図４から分かるように、挟持チャックの閉状態における回転ローラ４０の高さ位置は、前記チャック開閉ガイド部材２０の傾斜ガイド上面部２０ｂに乗り上げ可能な位置に設定してある。

略Ｌ字型の反転レバー３７の角度Ｄ、チャック閉状態における上方アーム部３７ａの水平搬送面に対する角度、反転レバー３７の各長さ、すなわち支点部（支点軸３８）と下方アーム部３７ｂの連結部（ピン軸３９）間の長さ、支点部（支点軸３８）と上方アーム部３７ａの回転ローラ４０間の長さは、図４に示したように、可動チャック杆２６を被処理物の水平搬送面に直交する垂直方向に上下動できるように設定してある。

この実施例のチャック開閉ガイド係合部材３５によれば、前記チャック開閉ガイド部材２０のガイド上面部（２０ａ，２０ｂ）に沿って転動自在な回転ローラ４０と反転レバー３７の梃子作用で確実且つ円滑に可動チャック杆２６を上下動させることができ、挟持チャック９の開閉を確実且つ円滑に行なうことができる。

図１〜図３に示したように、前記水平供給手段２によって水平搬送面高さレベルＨで表面処理槽１に供給される板状被処理物Ｐを該水平搬送面高さレベルＨにて少なくとも搬送通路６の始端部５ａ位置まで案内する上下水平ガイド部４２ａ，４２ｂを有する被処理物水平供給ガイド部材４２を設けてある。この被処理物水平供給ガイド部材４２は被処理物の側縁部に近い部分をガイドするようにしてある。なお、この被処理物水平供給ガイド部材４２は、図１に示したように、被処理物が搬送通路６を搬送される移動方向の全長さに亘って連続したものであっても良い。この被処理物水平供給ガイド部材４２を配設したことによって、水平供給手段２から供給される被処理物は水平搬送面高さレベルＨを保持した状態で搬送通路６の始端部５ａの挟持位置へと供給されることになる。この被処理物水平供給ガイド部材４２は、被処理物がフリー状態では水平搬送面高さレベルを保持し難い薄物板やフレキシブル板の場合に、特に有用である。

次に、図７、図８の実施形態について説明する。この実施形態での特徴は、前記挟持チャック９を、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段８（歯付ベルト１１）に上下に長い長穴４５ａをもつ取付け部材４５を介して上下に移動自在に取付け、該チャック９の開状態（搬送始端部での被処理物を挟持するための受け入れの開状態、及び搬送終端部での挟持していた被処理物を開放するための開状態）においては、該チャック９の自重によって、該チャックの下挟持部２５ａが被処理物の前記水平搬送面高さレベルＨより隙間間隔Ｆを置いた下方の下限位置に移動されるようにしてある。図７の符号Ｏは、開状態における上下挟持部２５ａ，２６ａの開放間隔を示している。そして、始端部５ａ側のコーナー回転駆動経路部１２ｃから回転駆動方向における搬送通路６の始端部５ａに移動される挟持チャック９の取付け基部３１を回転駆動方向に徐々に高位となる傾斜上面４７ａを有するチャック上げガイド部材４７の該傾斜上面４７ａにスライド係合させ、該挟持チャック９の下挟持部２５ａを前記下限位置から被処理物Ｐの水平搬送面高さレベルＨの下面に位置する上限位置へと徐々に上動するように案内し、且つ、該挟持チャック９が搬送通路６の始端部５ａから終端部５ｂを通過する閉状態においては、該挟持チャック９を搬送通路６側の前記直線駆動経路部１２ａに沿って配設した前記チャック案内レール１５に係合（スライド係合）させ、該チャックの下挟持部２５ａが被処理物の水平搬送面高さレベルＨの下面に位置する上限位置を保持した状態で搬送方向に移動するように構成したことである。

チャックの開放状態では、前記したチャック自動開閉制御機構によって上挟持部２６ａは被処理物Ｐを開放できる位置に上動されると共に、下挟持部２５ａは被処理物Ｐの水平搬送面高さレベルＨより隙間間隔Ｆを置いた下方に位置され、よって、チャック９の上挟持部２６ａと下挟持部２５ａは、被処理物Ｐの水平搬送面高さレベルＨに対して、共に間隔を置いた離れた位置に置かれる。したがって、この実施形態の本発明によれば、既に述べたように、挟持チャック９の開放状態（搬送始端部での被処理物を挟持するための受け入れ開放動作、搬送終端部での被処理物の開放動作）において、チャックの上下挟持部２５ａ，２６ａを、被処理物Ｐの水平搬送面高さレベルＨに対して、上下に間隔を空け離間させているため、被処理物をチャッキングする搬送始端部では、上下挟持部間の空け間隔へ被処理物をより確実且つ円滑に安定供給でき、チャッキングしていた被処理物を開放する搬送終端部でも、被処理物にキズが付かないようにすることができる。

次に、図９〜図１１の実施形態について説明する。この実施形態では、前記水平搬送手段７，７によって表面処理槽１の通過区間５を水平搬送面高さレベルＨによる水平状態で搬送される板状被処理物Ｐの両側縁部をこの通過区間５に亘って上下方向の位置から遮蔽空間となる隙間空間を空けて連続して案内する断面矩形状の側縁部用上部案内ガイド部４３ａと断面矩形状の側縁部用下部案内ガイド部４３ｂから成るプラスチック等の絶縁材製の側縁部用案内ガイド４３を搬送通路６の両側にそれぞれ固定状態に設けてある。

そして、この側縁部用案内ガイド４３を設けたことに起因して、この実施形態では、前記挟持チャック９を以下の構成にしたことを特徴としている。すなわち、挟持チャック９の可動チャック杆２６の下部に該可動チャック杆２６が前記通過区間５を水平方向に移動する場合における前記側縁部用上部案内ガイド部４３ａとの接触干渉を回避できる略Ｃ字形状あるいは略コ字形状（図１０を参照）の回避部２６Ａを形成し、内側の直線駆動経路部１２ａを移動する場合においては前記回避部２６Ａの開口側を前記搬送通路６側に向けて配し、この回避部２６Ａの開口内に前記側縁部用上部案内ガイド部４３ａが配される構成とし、この回避部２６Ａの下端部に前記上挟持部２６ａを下方向に向けた突起状態に形成してある。また、前記固定チャック杆２５の下部に略Ｃ字形状あるいは略コ字形状（図１０を参照）に屈曲形成した支持部２５Ａ（この支持部は図１０に示した略Ｃ字形状のほか略Ｌ字形状に屈曲形成したものでも良い。）を形成し、この支持部２５Ａ内において前記回避部２６Ａが上下方向に移動可能に保持される構成とし、この支持部２５Ａの下端部に前記下挟持部２５ａを上方向に向けた突起状態に形成してある。

なお、処理液Ｓ中に入れられる挟持チャック９の固定チャック杆２５と可動チャック杆２６の各下部は、図１０に二点鎖線で示したように、上下挟持部２５ａ，２５ｂの各接点部を除き絶縁性や耐薬品性がある樹脂材で被覆してある。

図９において、前記側縁部用案内ガイド４３の長手方向の両端部は表面処理槽１の通過区間５を超えて長くしてある。この超えた範囲の案内ガイド４３の両端部は、図１１（図１１は搬出側を示したが、搬入側も同様である。）に示したように、挟持チャック９が開状態となる動作（固定チャック杆２５の下挟持部２５ａに対して可動チャック杆２６の上挟持部２６ａが上方向に移動する動作）の妨げにならないよう、前記側縁部用上部案内ガイド部４３ａの両端部の各下端部の位置を上方に凹ませた拡げ部４４を形成し、この側縁部用上部案内ガイド部４３ａの両端部の各下端部の位置と水平搬送面高さレベルＨの位置との間が拡げ部４４を介して上下方向に広げられている。

なお、図１０における符号１８は、内側（搬送通路６側）のチャック案内レール１５と外側のチャック案内レール１６の下方にそれぞれの案内レールに沿って設けたグリス受け皿であり、案内レールに塗られたグリスが表面処理槽１内の処理液中に落下するのを防いでいる。

図９〜図１１の実施形態では、絶縁材製の側縁部用案内ガイド４３を設け、これに合わせて可動チャック杆２６と固定チャック杆２５の下部を最適な構造に改良したことを特徴としている。その他の構成は、図１〜図６に示した実施形態と実質的に同じであるため、重複する説明は省略する。

図９〜図１１の実施形態に示した発明によれば、側縁部用案内ガイド４３を設けると共に、挟持チャック９を側縁部用案内ガイド４３の配設に適した構造にしたことによって、表面処理槽１の通過区間５を水平状態で搬送される板状被処理物Ｐの両側縁部が側縁部用案内ガイド４３によって水平搬送面高さレベルＨで案内され、しかも電流が集中される板状被処理物Ｐの両側縁部が絶縁材製の側縁部用案内ガイド４３によって上下方向の位置から遮蔽（シールド）されることによって、板状被処理物Ｐの両側縁部に電流が集中するのを防止でき、板状被処理物Ｐのメッキ厚を均一化できる。よって、この実施形態の発明を、電気メッキ処理装置などの電解処理装置として用いる場合に効果が大である。

次に、図１２に示した表面処理装置における板状被処理物の搬送装置について説明する。この実施形態の搬送装置は、平行な両側縁をもつフレキシブルな板状被処理物Ｐを略水平状態で連続的に搬送させ、この搬送過程で被処理物を処理液中に通過させて被処理物に表面処理を施す装置において、板状被処理物の搬送通路を間にした両側に水平搬送手段７（図１２では一方の水平搬送手段のみ示している。）をそれぞれ設け、各水平搬送手段７は、エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段８（図示した実施例では歯付ベルト１１とした。しかしチェーン駆動を除外するものではない。）に等間隔を置いて多数の挟持チャック９を取付けてあり、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の駆動経路１２ａにある挟持チャック群９・・・で板状被処理物の両側縁部を同時に挟持して該被処理物を板面を上下にした略水平状態で一方向（図１２では右方向）に搬送するものである。

図１２に示した搬送装置の特徴は、前記挟持チャック９を、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段８（歯付ベルト１１）に上下に長い長穴４５ａ（この長穴の上下長さは、図７の実施例の長穴の上下長さより長く形成される。）をもつ取付け部材４５を介して上下に移動自在に取付けると共に、前記駆動経路１２ａに沿って固定して配置した上下高さ変動レール５０に案内されて移動するようにしてある。前記上下高さ変動レール５０は上限高さ部５０ａと下限高さ部５０ｂとの間を両部に連続する傾斜部５０ｃとしてある。前記挟持チャック９には、前記上下高さ変動レール５０の上下面に沿って転動される転動ローラ５５を設けてある。前記挟持チャック９が上下高さ変動レール５０の上限高さ部５０ａに係合され移動する際は、該挟持チャックで側縁部を挟持された被処理物Ｐが表面処理槽１と表面処理槽１の間の上方を跨いで通過可能な上限位置で搬送され、前記挟持チャック９が上下高さ変動レール５０の下限高さ部５０ｂに係合され移動する際は、該挟持チャックで側縁部を挟持された被処理物が各表面処理槽１内の処理液中に浸漬可能な下限位置で搬送されるように構成してある。図１２に符号Ｒで示した二点鎖線は挟持チャック９の上下挟持部２５ａ，２６ａの移動経路を示している。

この実施形態は、化学めっきなど薬液による表面処理装置の搬送装置として有用である。

Ｐ板状被処理物
１表面処理槽
２水平供給手段
３水平搬出手段
Ｈ水平搬送面高さレベル
５通過区間
５ａ始端部
５ｂ終端部
６搬送通路
７，７水平搬送手段
８搬送駆動手段（歯付ベルト１１）
９挟持チャック
１２挟持チャックの回転駆動経路
１２ａ内側の直線駆動経路部
１２ｂ外側の直線駆動経路部
１２ｃコーナー回転駆動経路部
１５内側のチャック案内レール
１６外側のチャック案内レール
２０チャック開閉ガイド部材
２０ａ高位ガイド上面部
２０ｂ傾斜ガイド上面部
２５固定チャック杆
２６可動チャック杆
２５ａ下挟持部
２６ａ上挟持部
２６Ａ回避部
２５Ａ支持部
２７圧縮ばね
３５チャック開閉ガイド係合部材
３６係合部
３７反転レバー
３８支点軸
４０回転ローラ
４２被処理物水平供給ガイド部材
４３側縁部用案内ガイド
４３ａ側縁部用上部案内ガイド部
４３ｂ側縁部用下部案内ガイド部
４５取付け部材
４５ａ長穴
４７チャック上げガイド部材
４７ａ傾斜上面
Ｆ隙間間隔
５０上下高さ変動レール
５０ａ上限高さ部
５０ｂ下限高さ部
５０ｃ傾斜部

Claims

平行な両側縁をもつ板状の被処理物が水平供給手段によって板面を上下にした水平搬送面高さレベルによる水平状態で表面処理槽に供給され、該表面処理槽を該水平搬送面高さレベルによる水平状態で連続的に搬送させて通過し、表面処理後に被処理物が水平搬出手段によって表面処理槽から搬出される、被処理物に表面処理を施す装置において、被処理物を表面処理槽の通過区間に亘って水平搬送面高さレベルによる水平状態で搬送するための搬送装置が、表面処理槽における被処理物の搬送通路を間にした両側にそれぞれ設けた水平搬送手段によって構成され、各水平搬送手段は、エンドレスに回転駆動される、前記搬送通路に沿う直線搬送駆動部をもつ搬送駆動手段に等間隔を置いて多数の挟持チャックを取付けてそれぞれ構成され、前記挟持チャックは水平搬送面高さレベルによる水平状態の被処理物の側縁部を上下方向において挟持及び開放する下挟持部と上挟持部を備え、各水平搬送手段の挟持チャック群は、同期した速度で回転駆動され、搬送通路側の各直線駆動経路部を互いに平行で且つ前記搬送通路を間にして離間させた横幅間隔を有しており、搬送通路側の各直線駆動経路部にある挟持チャック群で被処理物の両側縁部を同期的に挟持して、表面処理槽の通過区間に亘って被処理物を水平搬送面高さレベルによる水平状態で搬送方向に移動するように構成し、前記水平搬送手段は、被処理物の搬送通路の始端部を通過する挟持チャックを開状態から被処理物の側縁部を挟持可能な閉状態に制御し、被処理物の搬送通路の終端部を通過する挟持チャックを閉状態から被処理物の側縁部を開放可能な開状態に制御する、チャック自動開閉制御機構をそれぞれ備え、このチャック自動開閉制御機構が、前記挟持チャック群の回転駆動経路に沿う、始端部側のコーナー回転駆動経路部から回転駆動方向における搬送通路の始端部の直前位置に至る位置及び搬送通路の終端部から回転駆動方向におけるコーナー回転駆動経路部へ至る位置にそれぞれ配設した、高位ガイド上面部を有するチャック開閉ガイド部材を備え、前記挟持チャックは、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に取付けられた固定チャック杆の下端部に前記下挟持部を形成し、この固定チャック杆に上下動自在に保持される可動チャック杆の下端部に前記上挟持部を形成し、可動チャック杆を圧縮ばねのバネ圧によって下動させ、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、且つ、前記挟持チャックの上部にはチャック開閉ガイド係合部材を付設してあり、このチャック開閉ガイド係合部材は、前記チャック開閉ガイド部材の高位ガイド上面部に係合可能な係合部をもち、この挟持チャックが前記チャック開閉ガイド部材の位置を通過する際に、この係合部が高位ガイド上面部に係合されることによって、前記可動チャック杆が圧縮ばねのバネ圧に抗して上動され、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部が上下方向に離間された開状態に制御されるように構成し、且つ、前記チャック開閉ガイド係合部材が、略Ｌ字型の反転レバーの屈曲部を支点部として固定チャック杆側に支点軸によって反転自在に軸着され、この反転レバーの下方アーム部の先端を可動チャック杆の上部に回動自在に連結し、反転レバーの上方アーム部の先端に前記チャック開閉ガイド部材のガイド上面部に沿って転動自在な回転ローラを取付けて構成し、この回転ローラを前記係合部として構成し、この回転ローラが前記高位ガイド上面部に沿って転動する係合状態において、上方アーム部が前記支点軸を軸心として上方向に反転され、下方アーム部に連結された可動チャック杆を上動させ、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記挟持チャックが、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に上下方向に長い長穴をもつ取付け部材を介して上下に移動自在に取付けられ、該チャックの開状態においては、該チャックの自重によって、該チャックの下挟持部が被処理物の前記水平搬送面高さレベルより隙間間隔を置いた下方の下限位置に移動されるようにし、該挟持チャックが搬送通路の始端部から終端部を通過する閉状態においては、該挟持チャックを搬送通路側の前記直線駆動経路部に沿って配設したチャック案内レールに係合させて上限位置にて搬送方向に移動させ、該チャックの下挟持部が被処理物の水平搬送面高さレベルの下面に位置する上限位置を保持した状態で搬送方向に移動するように構成した、請求項１に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記挟持チャックが、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に上下方向に長い長穴をもつ取付け部材を介して上下に移動自在に取付けられ、該チャックの開状態においては、該チャックの自重によって、該チャックの下挟持部が被処理物の前記水平搬送面高さレベルより隙間間隔を置いた下方の下限位置に移動されるようにし、始端部側のコーナー回転駆動経路部から回転駆動方向における搬送通路の始端部に移動される挟持チャックの取付け基部を回転駆動方向に徐々に高位となる傾斜上面を有するチャック上げガイド部材に係合させ、該挟持チャックの下挟持部を前記下限位置から被処理物の水平搬送面高さレベルの下面に位置する上限位置へと徐々に上動するように案内し、且つ、該挟持チャックが搬送通路の始端部から終端部を通過する閉状態においては、該挟持チャックを搬送通路側の前記直線駆動経路部に沿って配設したチャック案内レールに係合させ、該チャックの下挟持部が被処理物の水平搬送面高さレベルの下面に位置する上限位置を保持した状態で搬送方向に移動するように構成した、請求項１に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記チャック開閉ガイド部材が、挟持チャックの回転駆動方向における、中間部を高位ガイド上面部とし、この高位ガイド上面部の両側を該高位ガイド上面部から徐々に低位となる傾斜ガイド上面部としてある、請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記水平供給手段によって水平搬送面高さレベルで表面処理槽に供給された板状被処理物を該水平搬送面高さレベルにて搬送通路の始端部位置まで案内する上下ガイド部を有する被処理物供給ガイド部材を設けた、請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記各水平搬送手段は、搬送通路側の前記直線駆動経路部を移動する挟持チャック群を案内するチャック案内レールをそれぞれ備えた請求項１に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記チャック案内レールを、前記挟持チャックを介して搬送される被処理物に陰極の電流を給電する給電レールとして機能させた請求項２、３又は６に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
前記水平搬送手段によって前記表面処理槽の通過区間を水平搬送面高さレベルによる水平状態で搬送される板状被処理物の両側縁部をこの通過区間に亘って上下方向の位置から遮蔽空間となる隙間空間を空けて連続して案内する側縁部用上部案内ガイド部と側縁部用下部案内ガイド部から成るプラスチック等の絶縁材製の側縁部用案内ガイドを搬送通路の両側にそれぞれ設け、前記挟持チャックの可動チャック杆の下部に該可動チャック杆が前記通過区間を水平方向に移動する場合における前記側縁部用上部案内ガイド部との接触干渉を回避できる略Ｃ字形状の回避部を形成し、この回避部の開口内に前記側縁部用上部案内ガイド部が配される構成とし、この回避部の下端部に前記上挟持部を下方向に向けた突起状態に形成し、前記固定チャック杆の下部に略Ｃ字形状又は略Ｌ字形状の支持部を形成し、この支持部内において前記回避部が上下方向に移動可能に保持される構成とし、この支持部の下端部に前記下挟持部を上方向に向けた突起状態に形成した、請求項１に記載の表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。
エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段に取付けられて回転駆動され、この回転駆動経路における直線駆動経路部で板状被処理物の一側縁又は両側縁を挟持して該被処理物を水平状態で一方向に搬送する搬送装置の挟持チャックであり、この挟持チャックは、板面を上下にした被処理物の側縁部を上下方向において挟持及び開放する下挟持部と上挟持部を備え、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に取付けられる固定チャック杆の下端部に前記下挟持部を形成し、この固定チャック杆に上下動自在に保持される可動チャック杆の下端部に前記上挟持部を形成し、可動チャック杆を圧縮ばねのバネ圧によって下動させ、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、且つ、前記挟持チャックの上部にはチャック開閉ガイド係合部材を付設してあり、このチャック開閉ガイド係合部材が、略Ｌ字型の反転レバーの屈曲部を支点部として固定チャック杆側に支点軸によって反転自在に軸着し、この反転レバーの下方アーム部の先端を可動チャック杆の上部に回動自在に連結し、反転レバーの上方アーム部の先端に回転ローラを取付けて構成し、この回転ローラが前記回転駆動経路に沿って設けられるチャック開閉ガイド部材の高位ガイド上面部に沿って転動する係合状態において、上方アーム部が前記支点軸を軸心として上方向に反転し、下方アーム部に連結された可動チャック杆を上動させるようにし、可動チャック杆の上挟持部と固定チャック杆の下挟持部を上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置の挟持チャック。
請求項９に記載の挟持チャックであり、この挟持チャックで挟持されて水平状態で搬送される板状被処理物の両側縁部を上下方向の位置から遮蔽空間となる隙間空間を空けて連続して案内する側縁部用上部案内ガイド部と側縁部用下部案内ガイド部から成るプラスチック等の絶縁材製の側縁部用案内ガイドをそれぞれ設けた表面処理装置における板状被処理物の搬送装置の挟持チャックにおいて、前記可動チャック杆の下部に該可動チャック杆が水平方向に移動する場合における前記側縁部用上部案内ガイド部との接触干渉を回避できる略Ｃ字形状の回避部を形成し、この回避部の開口内に前記側縁部用上部案内ガイド部が配される構成とし、この回避部の下端部に前記上挟持部を下方向に向けた突起状態に形成し、前記固定チャック杆の下部に略Ｃ字形状又は略Ｌ字形状の支持部を形成し、この支持部内において前記回避部が上下方向に移動可能に保持される構成とし、この支持部の下端部に前記下挟持部を上方向に向けた突起状態に形成した、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置の挟持チャック。
平行な両側縁をもつフレキシブルな板状被処理物を略水平状態で連続的に搬送させ、この搬送過程で被処理物を処理液中に通過させて被処理物に表面処理を施す装置において、板状被処理物の搬送通路を間にした両側に水平搬送手段をそれぞれ設け、各水平搬送手段は、エンドレスに回転駆動される搬送駆動手段に間隔を置いて多数の挟持チャックを取付けてあり、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の駆動経路にある挟持チャック群で板状被処理物の両側縁部を挟持して該被処理物を板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送する搬送装置であり、前記挟持チャックは、エンドレスに回転駆動される前記搬送駆動手段に上下に長い長穴をもつ取付け部材を介して上下に移動自在に取付けられると共に、前記駆動経路に沿って配置した上下高さ変動レールに該挟持チャックに設けた転動ローラを介して案内されて、該挟持チャックで側縁部を挟持された被処理物が表面処理槽と表面処理槽の間の上方を跨いで通過可能な上限位置と、該挟持チャックで側縁部を挟持された被処理物が各表面処理槽内の処理液中に浸漬可能な下限位置を搬送されるように構成し、前記上下高さ変動レールは上限高さ部と下限高さ部との間を両部に連続する傾斜部とした、表面処理装置における板状被処理物の搬送装置。