CN110719972B - 输送夹具及使用该输送夹具的表面处理装置 - Google Patents

Abstract

输送夹具(30、30A)具有输送部(300、320、330)、以及以垂下的方式支承于输送部的工件保持部(500)。工件保持部具有：固定构件(510)；2个可动构件(550)，其以能够沿水平方向滑动的方式支承于固定构件，且从固定构件的两端突出；上部固定夹头构件(600)，其支承于固定构件，且夹住工件(20)的上端部；以及上部可动夹头构件(610)，其分别安装于2个可动构件，且夹住工件(20)的上端部。

Description

输送夹具及使用该输送夹具的表面处理装置

技术领域

本发明涉及在镀覆处理等表面处理中使用的输送夹具及使用该输送夹具的表面处理装置等。

背景技术

提供有一种表面处理装置，该表面处理装置一边连续输送夹住垂直状态的工件的上端及下端的输送夹具，一边对工件进行表面处理(专利文献1)。与工件的尺寸对应地准备该输送夹具，在按照各批次而供给宽度尺寸不同的工件时，也更换输送夹具。

如果对宽度较短的工件使用与最大宽度的工件对应地设计的输送夹具，则在连续输送的工件之间会产生较大的间隙，表面处理的处理效率下降。此外，特别是在电镀等的情况下，当连续输送的工件之间产生较大的间隙时，在工件侧端部产生电场集中，面内均匀性下降。

另一方面，提出了如下的表面处理装置，该表面处理装置一边夹住水平状态的工件的侧缘进行连续输送，一边对工件进行表面处理，能够与工件的尺寸对应地调整夹头间隔(专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5898540号公报

专利文献2：日本特许第5283585号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献2中，能够对第一输送装置、第二输送装置的各输送线的横宽间隔进行调节来输送不同尺寸的工件P，该第一输送装置、第二输送装置对安装有夹头的带进行驱动而使其旋转，该夹头连续输送水平状态的工件P(参照专利文献2的图1、2)，因此，无法应用于夹住工件的上边而以垂直状态输送工件的专利文献1的表面处理装置。

本发明的目的在于，提供一种与以垂直状态输送的工件的宽度尺寸相符地保持工件的输送夹具及使用该输送夹具的表面处理装置。

用于解决问题的手段

(1)本发明的一方式涉及一种输送夹具，具有：

输送部；以及

工件保持部，其以垂下的方式支承于所述输送部，

所述工件保持部具有：

水平延伸的固定构件；

2个可动构件，其以能够滑动的方式支承于所述固定构件，且从所述固定构件的两端突出；

上部固定夹头构件，其支承于所述固定构件，且夹住工件的上端部；以及

上部可动夹头构件，其分别安装于所述2个可动构件，且夹住所述工件的上端部。

根据本发明的一方式，将从固定构件的两端突出的2个可动构件滑动移动到与工件的宽度对应的位置。分别安装于该2个可动构件的上部可动夹头构件在工件的宽度方向的两端部夹住工件的上端部，安装于固定构件的上部固定夹头在工件的宽度方向的中央部夹住工件的上端部。这样，通过与宽度尺寸不同的工件的宽度对应地夹住工件的宽度方向的两端部，能够稳定地对工件进行保持。

(2)在本发明的一方式(1)的基础上，能够为，还具有保持构件，该保持构件将所述2个可动构件在与所述工件的宽度对应的位置处分别保持于所述固定构件。2个可动构件的位置可以通过基于固定构件与可动构件的嵌合公差的嵌合来保持，但优选利用保持构件可靠地进行定位。

(3)在本发明的一方式(1)或(2)的基础上，也可以是，

所述2个可动构件分别包括：

上侧横框可动构件，其以能够滑动的方式支承于所述固定构件；以及

垂直构件，其固定于所述上侧横框可动构件，

所述上部可动夹头构件支承于所述垂直构件。

这样，2个垂直构件也和2个上侧横框可动构件一起与工件的宽度对应地移动，因此，能够利用安装于该2个垂直构件的上部可动夹头构件，在与工件的宽度对应的位置处夹住工件的上端部。

(4)在本发明的一方式(3)的基础上，也可以是，

所述垂直构件包括：

纵框固定构件；

纵框可动构件，其以能够沿垂直方向滑动的方式支承于所述纵框固定构件；以及

下部可动夹头构件，其支承于所述纵框可动构件的下端部，且夹住所述工件的下端部，

所述上部可动夹头构件支承于所述纵框固定构件。

这样，2个纵框固定构件也和2个上侧横框可动构件一起与工件的宽度对应地移动，因此，能够利用安装于该2个纵框固定构件的上部可动夹头构件，在与工件的宽度对应的位置处夹住工件的上端部。此外，2个纵框可动构件也和2个上侧横框可动构件一起与工件的宽度对应地移动，因此，能够利用安装于该2个纵框可动构件的下部可动夹头构件，在与工件的宽度对应的位置处夹住工件的下端部。由此，特别是在将极薄的工件作为表面处理对象的情况下，也能够夹住工件的上下端部，在工件不因表面处理液的压力而挠曲的情况下对工件的垂下状态的姿势进行保持。

(5)在本发明的一方式(3)的基础上，能够为，还具有向所述工件供电的供电部，所述供电部包括：第1供电部，其经由所述固定构件向所述上部固定夹头构件供电；以及第2供电部，其经由所述垂直构件向所述上部可动夹头构件供电。这样，通过分离为从第1供电部向上部固定夹头构件供电的路线与从第2供电部向上部可动夹头构件供电的路线，能够独立地设定各路线的电阻值、电流值，由此，能够提高工件的电流分布的面内均匀性，从而进一步提高工件的表面处理品质。另外，即便固定构件与横框可动构件电导通，由于两者处于相对地滑动移动的关系，因此，两者间的电阻较大，所以上部可动夹头构件实质上被从第2供电部供电。

(6)在本发明的一方式(4)的基础上，能够为，

还具有向所述工件供电的供电部，

所述纵框可动构件与所述上侧横框可动构件电绝缘，

所述供电部包括：

第1供电部，其经由所述固定构件向所述上部固定夹头构件供电；

第2供电部，其经由所述上侧横框可动构件向所述上部可动夹头构件供电；以及

第3供电部，其经由所述纵框可动构件向所述下部可动夹头构件供电。

这样，能够分离为从第1供电部向上部固定夹头构件供电的路线、从第2供电部向上部可动夹头构件供电的路线、以及从第3供电部向下部可动夹头构件供电的路线。由此，能够独立地设定各路线的电阻值、电流值，能够提高工件的电流分布的面内均匀性，从而进一步提高工件的表面处理品质。

(7)在本发明的一方式(5)或(6)的基础上，能够为，

所述供电部包括从外部轨道被供电的被供电部，

所述被供电部进一步具有：

固定部；

2个可动部，其以能够沿水平方向滑动的方式支承于所述固定部，且从所述固定部的两端突出；

2个接触部，其逐个安装于所述2个可动部，且与所述外部轨道接触而被供电；以及

保持部，其将所述2个可动部在与所述工件的宽度对应的位置处分别保持于所述固定部。

这样，从固定部的两端突出的2个可动部在与工件的宽度对应的位置处被保持部保持于固定部。由此，能够将安装于2个可动部的2个接触部设定到与工件的宽度对应的位置。如果2个接触部的位置是固定的，则不得不与最小尺寸的工件对应地进行固定。这样，为了处理大尺寸的工件而向表面处理槽搬入的输送夹具在接触部相比于工件的输送前端较晚地与供电轨道接触的情况下，会产生在工件的输送前端没有电流动的死区时间。或者，2个接触部的宽度与工件的宽度不一致，从而在处理槽分割单元的边界处，2个接触部分别与不同的电流控制对象的供电轨道接触时，工件的电流控制复杂化。通过将2个接触部设定到与工件的宽度对应的位置，即便工件宽度改变，接触部也被设定为位于工件的宽度方向的两端，能够避免上述的死区时间、电流控制的复杂性。

(8)在本发明的一方式(4)或(6)的基础上，能够为，所述纵框可动构件具有将最下端面作为滚动接触面的辊。由于辊与表面处理槽的底部侧滚动接触，因此，能够利用辊对输送夹具的下端部进行输送引导。

(9)在本发明的一方式(3)的基础上，能够为，

所述垂直构件包括：

纵框固定构件；

纵框可动构件，其以能够沿垂直方向滑动的方式支承于所述纵框固定构件；以及

下侧横框可动构件，其从支承于所述纵框可动构件的下端部的基端部朝向自由端部水平地延伸，

在所述纵框固定构件支承有所述上部可动夹头构件，

在所述下侧横框可动构件支承有下部可动夹头构件。这样，能够利用下部可动夹头构件稳定地对工件的下部进行保持。

(10)在本发明的一方式(9)的基础上，能够为，还具有引导部，该引导部对分别设置于所述2个可动构件的2个所述下侧横框可动构件的所述自由端进行引导，使其沿水平方向移动。这样，即便使输送夹具的宽度可变，由于2个下侧横框可动构件的自由端被引导部引导而沿水平方向移动，因此，也能够一边将2个下侧横框可动构件维持在同一直线上，一边顺利地实施宽度可变动作。

(11)在本发明的一方式(4)或(10)的基础上，能够为，所述纵框可动构件进一步具有夹住所述工件的侧部的侧部固定夹头构件。这样，即便例如工件的厚度例如是30μm以下的极薄，也能够通过保持矩形工件的4条边，在不使工件挠曲的状态下对工件进行保持。

(12)在本发明的一方式(4)或(10)或(11)的基础上，能够为，沿纵向延伸的所述纵框可动构件由板状构件形成，该板状构件的与所述工件的主面正交的第2面的宽度比与所述工件的主面平行的第1面的宽度短。这样，即便在与工件的主面平行的方向上使输送夹具输送，作用于纵框可动构件的液压也少。因此，能够稳定地使输送夹具输送。

(13)在本发明的一方式(1)～(12)的基础上，能够为，所述输送部将所述工件保持部支承为绕与所述工件的主面平行延伸的轴转动自如。这样，在输送时，能够通过绕轴的转动来释放作用于输送夹具的摆动的外力。由此，能够缓和对工件造成的冲击。

(14)本发明的另一方式涉及一种输送夹具，该输送夹具具备：

工件保持部，其包括2个夹头构件，该2个夹头构件能够与工件的上端部的宽度对应地改变夹住所述上端部的两端部的位置；以及

供电部，其经由所述2个夹头构件向所述工件供电，

其中，

所述供电部包括从外部被供电的被供电部，

所述被供电部进一步具有：

固定部；

2个可动部，其以能够沿水平方向滑动的方式支承于所述固定部，且从所述固定部的两端突出；

接触部，其分别安装于所述2个可动部，且与外部轨道接触而被供电；以及

保持部，其将所述2个可动部在与所述工件的宽度对应的位置处分别保持于所述固定部。

本发明的另一方式是将(7)中的上述本发明的一方式的发明定义为独立项而得到的，如上述(7)那样，不会产生在工件的输送前端没有电流动的死区时间。

(15)本发明的又一方式涉及一种表面处理装置，具有：

表面处理槽，其收容处理液，且具有上端开口；以及

(1)～(14)中的任意一项所记载的多个输送夹具，其分别保持工件而使所述工件配置在所述表面处理槽的所述处理液中。

根据本发明的又一方式的表面处理装置，能够起到在上述的(1)～(14)中说明的作用、效果。

附图说明

图1是本发明的实施方式的表面处理装置的纵剖视图。

图2是图1的局部放大图。

图3是保持有宽幅的工件的输送夹具的立体图。

图4是保持有窄幅的工件的输送夹具的立体图。

图5是示出输送夹具的被供电部的图。

图6是对垂直长度可变的情况进行说明的输送夹具的侧视图。

图7的(A)～图7的(C)是用于说明夹头构件的构造及动作的图。

图8是示出保持构件的图。

图9是与图3不同的输送夹具的立体图。

图10是示出与工件宽度对应地将2个接触部设为可动的被供电部的图。

图11是示出设定为适合于厚度特别薄的工件的输送夹具的最小宽度的状态的图。

图12是示出将图11所示的输送夹具设定为最大宽度的状态的图。

具体实施方式

以下，对本发明的优选实施方式详细地进行说明。另外，以下说明的本实施方式并非要不当地限定权利要求书所记载的本发明的内容，在本实施方式中说明的全部结构并不一定是作为本发明的解决手段所必需的。

1.表面处理装置的概要

图1是具有镀覆槽(广义上为表面处理槽)200的连续镀覆处理装置(广义上为表面处理装置)10的概要剖视图，该镀覆槽具有上部开口200A。输送夹具30以从具备未图示的阳极的镀覆槽200的上部开口200A向镀覆液Q内垂下的方式保持工件20(图3)。

如将图1的一部分放大示出的图2所示，连续镀覆处理装置10与镀覆槽200相邻地具有供电部260、驱动部270及引导部280。供电部260与输送夹具30接触而向工件20(图3)供电。驱动部270向输送夹具30赋予驱动力，驱动输送夹具30在镀覆槽200内进行连续输送。引导部280与输送夹具30接触而引导输送夹具30进行连续输送。

供电部260在采用由本申请人申请的日本特开2009-132999号及日本特开2013-011009号所示的阴极分割方式的情况下，可以包括多根(例如4根)供电轨道260A～260D。另外，供电部260在不采用阴极分割方式的情况下，可以由1根供电轨道构成。这些供电轨道260A～260D沿着与镀覆槽200的长边方向平行的第1方向A(参照图3)延伸设置。

驱动部270例如可以与由本申请人申请的日本特开2012-046782号同样地，包括旋转驱动构件例如链轮271、由链轮271驱动的链条等环状驱动构件272、以及固定于环状驱动构件272的带齿块273。环状驱动构件272沿着与镀覆槽200的长边方向平行的第1方向A(参照图1)延伸设置。代替此，驱动部270例如也可以如由本申请人申请的日本特许第6117891号公报所示那样包括按照各分割区域而分别配置且被交替驱动的2根推动器，还可以采用其他的连续驱动方式。

引导部280可以由至少顶面平坦的例如剖面为矩形的引导轨道形成。引导轨道280沿着与镀覆槽200的长边方向平行的第1方向A(参照图3)延伸设置。

2.输送夹具

接着，也参照图3～图5对输送夹具30进行说明。如图1～图3所示，输送夹具30具有水平臂部300、以及从该水平臂部300垂下的垂直臂部301。

如图3所示，水平臂部300沿着与第1方向(输送方向)A正交(广义上为交叉)的第2方向B延伸。在该水平臂部300设置有被供电部310、被驱动部320及被引导部330。

被供电部310是从设置于镀覆装置10的供电部260被供电的部分。本实施方式的被供电部310与多个供电轨道260A～260D中的一个供电轨道接触。在本实施方式中，准备相对于水平臂部300在第2方向B上位置不同的多个部位中的各一个部位处安装有被供电部310的多种输送夹具30。多种输送夹具30中的各一个输送夹具与多个供电轨道260A～260D中的各一个供电轨道接触。

在本实施方式中，采用了将输送夹具30的部件通用化而与多个供电轨道260A～260D中的任意一个供电轨道接触的构造。因此，如图3所示，输送夹具30的支承被供电部310的支承部311与水平臂部300正交地配置。水平臂部300具有在第2方向B上设置于不同位置的多个安装部(例如螺纹孔)。在该多个安装部中的一个安装部安装支承部311。或者，支承部311也可以被支承为能够沿着输送夹具30的例如设置于水平臂部300的多个引导轴(未图示)在第2方向B上滑动，并固定于与多个供电轨道260A～260D中的任意一个供电轨道对应的位置。这样，能够更加容易维持2个接触部312、312的水平姿势。

在图3所示的支承部311设置有与图2所示的供电轨道260(供电轨道260A～260D)接触的至少一个(例如2个)接触部312。图5示出接触部312的支承构造。被供电部310具有利用例如2根平行连杆313A、313B将支承部311与接触部312连结而成的四节旋转连锁的平行连杆机构313。2根连杆313A、313B通过作为施力构件的扭转螺旋弹簧314、314而始终被施力以向顺时针方向移动。其结果是，能够使接触部312以适当的接触压力与供电轨道260接触。

被驱动部320从设置于镀覆装置10的驱动部270被赋予驱动力而驱动输送夹具30进行连续输送。如图3所示，被驱动部320具有与固定于链条272的带齿块273(图2)啮合的多个(例如4个)爪构件321～324。为了使4个爪构件321～324中的任意一个爪构件与带齿块273的齿啮合，将4个爪构件321～324的啮合前端位置在A方向上错开地配置。这样，通过4个爪构件321～324中的任意一个爪构件与固定于链条272的带齿块273(图2)卡合，从而驱动输送夹具30进行连续输送。

被引导部330具有与图2所示的引导轨道280的顶面接触的辊331。由此，由驱动部270驱动而连续输送的输送夹具30在减小摩擦阻力的状态下被输送引导。被引导部330为了限制输送夹具30在图3及图4所示的第2方向B上的移动，可以进一步具有与引导轨道280的例如两侧面滚动接触的追加的辊334、335(也参照图2)。输送夹具30在第2方向B上的移动限制也可以在与引导轨道280不同的区域被实施。另外，辊331具有难以受到在具有有限长度的供电轨道间的接缝中产生的间隙的冲击的适当直径。此外，辊331、334、335例如由能够耐受镀覆设备特有的酸或碱等环境的材质例如聚丙烯等形成。

3.输送夹具的工件保持部

如图2、图3及图4所示，输送夹具30具有经由垂直臂部301支承于水平臂部300而垂下的工件保持部500。这里，将水平臂部300和支承于水平臂部300的被驱动部320及被引导部330统称为输送部。工件保持部500被支承为从输送部垂下。工件保持部500适合用于例如工件20的厚度为100μm以下、优选为60μm以下的极薄的工件20。在本实施方式中，工件20的厚度例如为40μm＝0.04mm。但是，工件20的厚度也可以超过100μm。

如图3及图4所示，工件保持部500的整个宽度能够与矩形工件20的宽度对应地改变。因此，工件保持部500包括水平延伸的固定构件510、以及以能够滑动的方式支承于固定构件510且从固定构件510的两端突出的2个可动构件550。在固定构件510支承有夹住工件20的上端部的至少一个(例如2个)上部固定夹头构件600。在2个可动构件550分别支承有夹住工件20的上端部的上部可动夹头构件610。而且，通过调整2个可动构件550的滑动位置，将上部可动夹头构件610、610移动到与工件20的宽度对应的位置，在工件20的宽度方向的两端部，工件20的上端部被上部可动夹头构件610、610夹住。另外，可以设置保持构件530，该保持构件530将2个可动构件550在与工件20的宽度对应的位置处分别保持于固定构件510。之后叙述保持构件530。

这样，从固定构件510的两端突出的2个可动构件550、550设定在与工件20的宽度对应的位置。分别安装于这2个可动构件550、550的上部可动夹头构件610、610在工件20的宽度方向的两端部夹住工件20的上端部，安装于固定构件510的上部固定夹头构件600、600在工件20的宽度方向的中央部夹住工件20的上端部。这样，通过与宽度尺寸不同的工件20的宽度对应地夹住该工件20，能够稳定地保持工件。

这里，固定构件510具有2张固定板520、522。2个可动构件550、550以能够在水平方向上滑动的方式支承于这2张固定板520、522之间。在将一张固定板522向下方延长而得到的延长部524支承有2个上部固定夹头构件600、600。

2张固定板520、522经由连结构件525而固定于垂直臂部301。在连结构件525支承有由轴支承件540、540引导而滑动的水平的2根引导轴541、541。2根引导轴541、541的端部固定于2个可动构件550、550。

在本实施方式中，2个可动构件550、550分别可以包括：以能够滑动的方式支承于固定构件(也称为横框固定构件)510的上侧横框可动构件560；以及固定于上侧横框可动构件560的垂直构件562。在该情况下，可以将上部可动夹头构件610支承于上侧横框可动构件560或垂直构件562。在本实施方式中，上部可动夹头构件610未支承于上侧横框可动构件560，而是支承于垂直构件562。这样，如图4所示，在设定为最小宽度尺寸的情况下，能够不与2个上部可动夹头构件610、610干涉地将2个上侧横框可动构件560收容于固定构件(横框固定构件)510。由此，能够减小最小宽度尺寸。

在本实施方式中，垂直构件562可以包括纵框固定构件570、以能够沿垂直方向滑动的方式支承于纵框固定构件570的纵框可动构件580、以及支承于纵框可动构件580的下端部且夹住工件20的下端部的下部可动夹头构件620。在该情况下，上部可动夹头构件610可以支承于纵框固定构件570。

这样，2个纵框固定构件570也和2个上侧横框可动构件560一起与工件的宽度对应地移动，因此，利用安装于该2个纵框固定构件570的上部可动夹头构件610，能够在与工件的宽度对应的位置处夹住工件20的上端部。此外，2个纵框可动构件580也和2个上侧横框可动构件560一起与工件20的宽度对应地移动，因此，利用安装于该2个纵框可动构件580的下部可动夹头构件620，能够在与工件的宽度对应的位置处也夹住工件20的下端部。由此，特别是在将极薄的工件20作为表面处理对象的情况下，也能够夹住工件20的上下端部，在工件20不因表面处理液的压力而挠曲的情况下对工件20的垂下状态的姿势进行保持。另外，也可以通过未图示的下部横框构件将2个纵框可动构件580、580连结，并且，使该下部横框构件的宽度可变。下部横框构件例如能够与作为上部横框构件的固定构件510及2个横框可动构件560、560同样地形成。关于下部横框构件，保持构件530也不是必须的。

此外，在本实施方式中，纵框可动构件580可以具有将最下端面作为滚动接触面的辊630。由于辊630与表面处理槽200的底部侧滚动接触，因此，能够利用辊630对输送夹具30的下端部进行输送引导。

这里，如图6所示，纵框固定构件570可以包括平行的2张纵框固定板571、572。纵框可动构件580以能够沿垂直方向滑动的方式支承于该2张纵框固定板571、572之间。在纵框可动构件580的上端部设置有止动件581。如图6的点划线所示，在未夹住工件20的情况下，止动件581通过与2张纵框固定板571、572的上端部抵接而作为纵框可动构件580的下限止动件发挥功能。当工件20的上下端部被夹头600～620夹住时，根据工件20的长度，纵框可动构件580的位置自然被确定。因此，在本实施方式中，能够对在图6所示的长度L(例如L＝200mm)的范围内全长不同的工件20进行安装。这样，根据本实施方式，能够提供可兼用于宽度及长度中的一方或双方不同的多个尺寸的工件20的输送夹具30。因此，与按照各工件尺寸而具备专用的多个输送夹具的情况相比，能够大幅降低成本。另外，输送夹具30也可以与工件20的宽度对应地仅使宽度可变，或者与工件20的长度对应地仅使长度可变。

在本实施方式中，可以进一步具有向工件20供电的供电部。图3示出向工件20的上端部供电的供电部。该供电部可以包括经由固定构件510向2个上部固定夹头构件600供电的第1供电部701、以及经由2个垂直构件562的例如2个纵框固定构件570向2个所述上部可动夹头构件供电的第2供电部702、702(图4中，省略了第1供电部701、第2供电部702)。这些第1供电部701、第2供电部702、702例如可以由导电缆线形成。此外，可以从输送夹具30的2个接触部312经由支承部311、水平臂部300、垂直臂部301的导电路径向第1供电部701、第2供电部702、702供电。代替此，也可以从支承部311经由导电缆线向垂直臂部301供电。

这样，通过分离为从第1供电部701向上部固定夹头构件600供电的路线与从第2供电部702向上部可动夹头构件610供电的路线，能够独立地设定各路线的电阻值、电流值，由此，能够提高工件20的电流分布的面内均匀性，从而进一步提高工件20的表面处理品质。另外，即便固定构件510与上侧横框可动构件560电导通，由于两者处于相对地滑动移动的关系，因此，两者间的电阻较大，所以上部可动夹头构件610实质上被从第2供电部702供电。

接着，参照图7的(A)～图7的(C)，对在上部固定夹头构件600、上部可动夹头构件610及下部可动夹头构件620中通用的结构进行说明。另外，图7的(A)～图7的(C)所示的构造与作为上部固定夹头构件600、上部可动夹头构件610及下部可动夹头构件620而图示的形状局部不同，但作为压接构造是相同的。

在图7的(A)～图7的(C)中，在基板700(例如固定板522的延长部524)上固定有支架710。支架710对轴720进行支承。夹头构件800以能够摆动的方式支承于轴720。夹头构件800借助于被轴720贯插的扭转螺旋弹簧730而被赋予作用力。夹头构件800在一端部具有夹头端820，在另一端部侧具有杆830。支架710包括在被安装于工件保持部500时成为垂直状态的垂直面740。该垂直面740可以在与以能够摆动的方式支承于支架710的夹头构件800的夹头端820对置的区域，局部地从支架710向下方或上方延伸设置。夹头构件800相对于垂直面740接触分离。即，在夹头构件800的夹头端820与垂直面740之间夹持工件20的上端部或下端部，借助扭转螺旋弹簧730的作用力来维持该夹持状态。通过克服螺旋弹簧730的作用力而向杆830赋予外力F1，夹头构件800的夹头端820向远离垂直面740的方向移动，工件20的夹持状态被解除。

这样，通过将夹持工件20的上端部或下端部的一对构件中的一方设为垂直面740，该垂直面740设置在将多个夹头构件800支承为摆动自如的支架710上，从而构件个数减少。并且，能够仿效形成在与多个夹头构件800对置的区域的垂直面740来确保工件20的垂直姿势。另外，垂直面740也可以不设置于支架710而设置于基板700，在该情况下也能够起到同样的作用、效果。

接着，参照图8，来说明对上侧横框可动构件560的滑动位置进行定位的保持构件530。另外，针对图8所示的保持构件530的构造中的、具有与图7的(A)～图7的(C)所示的夹头构件的构造相同的功能的构件，标注与图7的(A)～图7的(C)相同的标号。但是，在图8所示的保持构件530未形成面740。如图8所示，在固定构件510上例如配置有4个的保持构件530具有图8所示的通用的构造。在图8中，上侧横框可动构件560在构成固定构件510的2张固定板520、522之间水平地滑动移动，并由保持构件530保持。

保持构件530配置于固定板520。即，支架710固定于固定板520。在固定板520上形成有能够供夹头构件800的夹头端820出入的狭缝孔521。与图7的(B)同样地，通过克服螺旋弹簧730的作用力而向杆830赋予外力F1，从而夹头构件800的夹头端820与上侧横框可动构件560分离。由此，能够使上侧横框可动构件560在固定板520、522之间沿水平方向滑动移动。当解除图7的(B)所示的外力F1后，上侧横框可动构件560被夹持在夹头构件800的夹头端820与固定板522之间，该夹持状态借助扭转螺旋弹簧730的作用力而被维持。由此，上侧横框可动构件560在与工件20的宽度对应地调整的位置处被保持构件530保持。

另外，保持构件530不限于图8所示的构造，可以利用蝶形螺钉等对上侧横框可动构件560进行定位保持。并且，并非必须设置保持构件530，例如也可以根据2张固定板520、522间的间隙与上侧横框可动构件560的厚度的关系，利用通过嵌合而产生的摩擦力来保持上侧横框可动构件560。

4.供电部的变形例

图9示出向工件20的上端部及下端部供电的供电部。该供电部可以包括：向2个上部固定夹头构件600供电的第1供电部701；经由2个垂直构件562的例如2个纵框固定构件570向2个上部可动夹头构件供电的第2供电部702、702；以及经由2个纵框可动构件580向2个下部可动夹头构件620、620供电的第3供电部703、703。这些第1供电部701～第3供电部703例如可以由导电缆线形成。另外，在该情况下，优选纵框固定构件570与纵框可动构件580电绝缘。

这样，通过分离为从第1供电部701向上部固定夹头构件600供电的路线、从第2供电部702向上部可动夹头构件610供电的路线、以及从第3供电部703向下部可动夹头构件620供电的路线，能够独立地设定各路线的电阻值、电流值，由此，能够进一步提高工件20的电流分布的面内均匀性，从而进一步提高工件20的表面处理品质。

5.接触部的宽度可变机构

图10是示意性地示出能够与工件20的宽度对应地调整图3及图4所示的2个接触部312、312的宽度的输送夹具的被供电部的俯视图。在图10中，从固定部311A突出的2个可动部900、900以能够沿着输送方向A滑动的方式支承于固定在水平臂部300上的固定部311A。2个接触部312分别支承于该2个可动部900、900。在固定部311A上设置有保持部910，该保持部910在对2个可动部900、900进行位置调整之后保持这2个可动部900、900，并具有与上述的保持构件530相同的构造。在

图10中示意性地示出保持部910，仅示出经由形成于固定部311A的狭缝孔311B而与可动部900压接的夹头构件800。另外，接触部312、312与供电轨道260按压接触着移动，因此，对接触部312、312的间隔进行保持的保持部910是必需的。但是，保持部910不限于图8所示的构造，例如也可以是蝶形螺钉等。

从固定部311A的两端突出的2个可动部900、900在与工件20的宽度对应的位置处被保持部910保持于固定部311A。由此，能够将安装于2个可动部900、900的2个接触部312、312设定到与工件20的宽度对应的位置。如果2个接触部312、312的位置固定，则与最小尺寸的工件20对应地进行固定。这样，为了处理大尺寸的工件20而向表面处理槽200搬入的输送夹具30还存在接触部312相比于工件20的输送前端较晚地与供电轨道260接触的情况，因此，会产生在工件20的输送前端没有电流动的死区时间。或者，2个接触部312、312的宽度与工件20的宽度不一致，从而在2个处理槽分割单元的边界处，2个接触部312、312分别与不同的电流控制对象的供电轨道260接触时，工件20的电流控制复杂化。当工件20通过2个处理槽分割单元的边界时，在上游的单元中，控制电流逐渐减小，在下游的单元中，控制电流逐渐增大。这是因为，不仅需要考虑工件20的宽度，也需要考虑2个接触部312、312的宽度来实施该控制。通过将2个接触部312、312设定到与工件20的宽度对应的位置，即便工件20的宽度改变，接触部312、312也被设定为位于工件20的宽度方向的两端，能够避免上述的死区时间、电流控制的复杂性。

6.能够对极薄工件进行保持的工件保持部的变形例

图11及图12示出即便是厚度特别薄的工件例如厚度为30μm以下的工件也能够可靠地保持的输送夹具30A。在图11及图12所示的输送夹具30A中，针对具有与图3及图4所示的输送夹具30的构件相同的功能的构件，标注相同的标号并省略其说明。在图11及图12中，针对标注了500～600号段的标号的构件，已经作为在图3及图4中记载的输送夹具30进行了说明。即，图11及图12所示的输送夹具30A与图3及图4所记载的输送夹具30的相同点在于，能够与矩形工件20的宽度及/或长度对应地改变上部可动夹头构件610和下部可动夹头构件620的位置。但是，图11及图12所示的输送夹具30A利用宽幅的夹头构件600、610、620来把持厚度特别薄的工件20的上部及下部。

因此，输送夹具30A具有2个下侧横框可动构件700，该2个下侧横框可动构件700从支承于2个纵框可动构件580的下端部的基端部朝向自由端部水平地延伸。而且，可以在2个下侧横框可动构件700上支承至少一个(优选多个)下部可动夹头构件620。这样，如图12所示，即便输送夹具30A的宽度变宽，也能够在比较长的范围内利用下部可动夹头构件620对工件20的下部进行把持。

此外，可以进一步设置引导部710，该引导部710引导2个下侧横框可动构件700的自由端沿水平方向进行移动。引导部710可以具有分别固定于2个下侧横框可动构件700的轴支承件712、714。轴712A的一端固定于轴支承件712，轴支承件714对轴712A进行引导，使其在轴向上移动自如。同样，轴714A的一端固定于轴支承件714，轴支承件712对轴714A进行引导，使其在轴向上移动自如。这样，即便使输送夹具30A的宽度可变，由于2个下侧横框可动构件700的自由端被引导部710引导而沿水平方向移动，因此，也能够一边将2个下侧横框可动构件700维持在同一直线上，一边顺利地实施宽度可变动作。

输送夹具30A的2个纵框可动构件580分别可以进一步具有夹住矩形工件20的侧部的至少一个(优选多个)侧部固定夹头构件720。侧部固定夹头构件720的夹头部分也优选形成为宽幅。这样，即便例如工件的厚度例如是30μm以下的极薄，也能够利用夹头构件600、610、620、720来保持矩形工件的4条边，从而在不使工件20挠曲的状态下对工件20进行保持。

关于输送夹具30A，在纵框可动构件580沿纵向延伸这一点上与输送夹具30相同，但作为与输送夹具30的不同点，纵框可动构件580可以由板状构件形成，该板状构件的与工件20的主面正交的第2面的宽度W2比与工件20的主面平行的第1面的宽度W1短，且将宽度W2作为厚度(参照图12)。这样，即便沿着与工件20的主面平行的输送方向A使输送夹具30A进行输送，作用于纵框可动构件580的液压也少。因此，能够稳定地使输送夹具30A进行输送。

作为在图3、图4、图11及图12所示的输送夹具30、30A中通用的构造，输送部侧的连结构件525能够将工件保持部500支承为绕与工件20的主面平行延伸的轴541转动自如。这样，在输送时，能够通过绕轴541的转动来释放作用于输送夹具30、30A的摆动的外力。由此，能够缓和对保持于输送夹具30、30A的工件20造成的冲击。

另外，如上所述，对本实施方式详细地进行了说明，但本领域技术人员能够容易理解，可进行实质上不脱离本发明的新事项及效果的多个变形。因此，这样的变形例全部包含在本发明的范围内。例如，在说明书或附图中，与更加广义或同义的不同用语一起记载了至少一次的用语在说明书或附图的任何部位处都能够置换成该不同用语。此外，本实施方式及变形例的全部组合也包含在本发明的范围内。

标号说明

10：表面处理装置，20：工件，30、30A：输送夹具，200：表面处理槽，300、320、330：输送部，310：被供电部，311A：固定部，312：接触部，500：工件保持部，510：固定构件，530：保持构件(保持部)，550：可动构件，560：上侧横框可动构件，562：垂直构件，570：纵框固定构件，580：纵框可动构件，600：上部固定夹头构件，610：上部可动夹头构件，620：下部可动夹头构件，630：辊，700：下侧横框可动构件，701：第1供电部，702：第2供电部，703：第3供电部，710：引导部，712、714：轴支承件，712A、714A：轴，720：侧部夹头构件，900：可动部，910：保持部。

Claims (14)

1.一种输送夹具，其特征在于，

该输送夹具具有：

输送部；以及

工件保持部，其以垂下的方式支承于所述输送部，

所述工件保持部具有：

固定构件；

2个可动构件，其以能够沿水平方向滑动的方式支承于所述固定构件，且从所述固定构件的两端突出；

上部固定夹头构件，其支承于所述固定构件，且夹住工件的上端部；以及

上部可动夹头构件，其分别安装于所述2个可动构件，且夹住所述工件的上端部，

所述2个可动构件分别包括：

上侧横框可动构件，其以能够滑动的方式支承于所述固定构件；以及

垂直构件，其固定于所述上侧横框可动构件，

所述垂直构件包括：

纵框固定构件；

纵框可动构件，其以能够沿垂直方向滑动的方式支承于所述纵框固定构件；以及

下部可动夹头构件，其支承于所述纵框可动构件的下端部，且夹住所述工件的下端部，

所述上部可动夹头构件支承于所述纵框固定构件。

2.根据权利要求1所述的输送夹具，其特征在于，

该输送夹具还具有保持构件，该保持构件将所述2个可动构件在与所述工件的宽度对应的位置处分别保持于所述固定构件。

3.根据权利要求1所述的输送夹具，其特征在于，

该输送夹具还具有向工件供电的供电部，

所述纵框可动构件与所述上侧横框可动构件电绝缘，

所述供电部包括：

第1供电部，其经由所述固定构件向所述上部固定夹头构件供电；

第2供电部，其经由所述上侧横框可动构件向所述上部可动夹头构件供电；以及

第3供电部，其经由所述纵框可动构件向所述下部可动夹头构件供电。

4.根据权利要求3所述的输送夹具，其特征在于，

所述供电部包括从外部轨道被供电的被供电部，

所述被供电部进一步具有：

固定部；

2个可动部，其以能够沿水平方向滑动的方式支承于所述固定部，且从所述固定部的两端突出；

接触部，其分别安装于所述2个可动部，且与外部轨道接触而被供电；以及

保持部，其将所述2个可动部在与所述工件的宽度对应的位置处分别保持于所述固定部。

5.根据权利要求1所述的输送夹具，其特征在于，

所述纵框可动构件具有将最下端面作为滚动接触面的辊。

6.根据权利要求1所述的输送夹具，其特征在于，

所述纵框可动构件进一步具有夹住所述工件的侧部的侧部固定夹头构件。

7.根据权利要求1所述的输送夹具，其特征在于，

沿纵向延伸的所述纵框可动构件由板状构件形成，该板状构件的与所述工件的主面正交的第2面的宽度比与所述工件的主面平行的第1面的宽度短。

8.根据权利要求1至5中的任意一项所述的输送夹具，其特征在于，

所述输送部将所述工件保持部支承为绕与所述工件的主面平行延伸的轴转动自如。

9.一种输送夹具，其特征在于，

该输送夹具具有：

输送部；以及

工件保持部，其以垂下的方式支承于所述输送部，

所述工件保持部具有：

固定构件；

2个可动构件，其以能够沿水平方向滑动的方式支承于所述固定构件，且从所述固定构件的两端突出；

上部固定夹头构件，其支承于所述固定构件，且夹住工件的上端部；以及

上部可动夹头构件，其分别安装于所述2个可动构件，且夹住所述工件的上端部，

所述2个可动构件分别包括：

上侧横框可动构件，其以能够滑动的方式支承于所述固定构件；以及

垂直构件，其固定于所述上侧横框可动构件，

所述垂直构件包括：

纵框固定构件；

纵框可动构件，其以能够沿垂直方向滑动的方式支承于所述纵框固定构件；以及

下侧横框可动构件，其从支承于所述纵框可动构件的下端部的基端部朝向自由端部水平地延伸，

在所述纵框固定构件支承有所述上部可动夹头构件，

在所述下侧横框可动构件支承有下部可动夹头构件。

10.根据权利要求9所述的输送夹具，其特征在于，

该输送夹具还具有引导部，该引导部对分别设置于所述2个可动构件的2个所述下侧横框可动构件的所述自由端进行引导，使其沿水平方向移动。

11.根据权利要求10所述的输送夹具，其特征在于，

所述纵框可动构件进一步具有夹住所述工件的侧部的侧部固定夹头构件。

12.根据权利要求10或11所述的输送夹具，其特征在于，

沿纵向延伸的所述纵框可动构件由板状构件形成，该板状构件的与所述工件的主面正交的第2面的宽度比与所述工件的主面平行的第1面的宽度短。

13.根据权利要求9或10所述的输送夹具，其特征在于，

所述输送部将所述工件保持部支承为绕与所述工件的主面平行延伸的轴转动自如。

14.一种表面处理装置，其特征在于，

该表面处理装置具有：

表面处理槽，其收容处理液，且具有上端开口；以及

多个权利要求1至5、9、10中的任意一项所述的输送夹具，其分别保持工件而使所述工件配置在所述表面处理槽的所述处理液中。

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