CN112210814A - 夹子水平循环连续移动式镀敷装置 - Google Patents

夹子水平循环连续移动式镀敷装置 Download PDF

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CN112210814A CN201911201884.6A CN201911201884A CN112210814A CN 112210814 A CN112210814 A CN 112210814A CN 201911201884 A CN201911201884 A CN 201911201884A CN 112210814 A CN112210814 A CN 112210814A
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Abstract

本发明提供能够使夹子的把持部顺畅地开闭,能够准确地夹紧板状被镀敷物的夹子水平循环连续移动式镀敷装置。提供能够在进给路径移动的进给行程(A)一边由沿着具有水平的环绕路径的环状轨道(3)循环移动的多个夹子(4)以垂直姿势在水平方向上搬运板状被镀敷物(P)一边进行镀敷处理的夹子水平循环连续移动式镀敷装置。设置于夹子(4)的下端部的把持部(6)具备内侧固定把持部(6A)和在开闭方向上反转移动的外侧可动把持部(6B),外侧可动把持部(6B)反转移动到超过以垂直姿势在水平方向上搬入进给行程(A)的起始端部及从进给行程(A)的终端部以垂直姿势在水平方向上搬出的板状被镀敷物(P)的上端部的上方位置。

Description

夹子水平循环连续移动式镀敷装置
技术领域
本发明涉及一种基于夹子供电的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,沿着具有水平的环绕路径的环状轨道循环移动的夹子能够在进给路径移动的进给行程,一边以垂直姿势在水平方向上搬运板状被镀敷物,一边进行镀敷处理。
背景技术
本申请人提出如下的水平搬运式电解镀敷装置,即,利用沿着环状的轨道在环绕路径上移动的多个供电夹子保持印刷布线基板等板状被镀敷物的两侧端部,一边以使该板状被镀敷物的板面朝向上下的水平姿势在镀敷液中(电解镀敷液中)连续地水平搬运该板状被镀敷物,一边进行电解镀敷处理(例如,专利文献1)。
而且,本申请人提出了在该水平搬运式的电解镀敷装置中使用的夹子(例如,专利文献2)。该夹子的供电触点部在上下方向上开闭,从上下方向开闭自如地把持板状被镀敷物的侧端部。
但是,在一边以使板状被镀敷物的板面朝向上下的水平姿势在镀敷液中连续地水平搬运板状被镀敷物,一边进行电解镀敷处理的水平搬运式电解镀敷装置中,在技术方面,均匀地对板状被镀敷物的两面(上下表面)进行镀敷处理是困难的。
另外,本申请人在大约20年前开发提出了如下的镀敷处理系统,即,利用沿着轨道移动的架子夹具(供电夹子)保持印刷基板等板状被镀敷物的上端部,一边在镀敷液中水平搬运由该架子夹具保持为悬垂状态的板状被镀敷物,一边进行镀敷处理(专利文献3)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特许第5805055号公报
专利文献2:日本实用新型登录第3176980号公报
专利文献3:日本特许第2943070号公报
发明内容
发明要解决的课题
本申请人在大约20年前开发提出的专利文献3的镀敷处理系统是能够实现镀敷处理均匀化的划时代的装置,但将板状被镀敷物保持为悬垂状态的大的架子夹具在镀敷行程和架子夹具的返回行程中通过不同的轨道和夹具移动单元而移动,因此使装置紧凑化是困难的。
因此,本发明人应用在专利文献1等中提出的沿着环状的轨道在环绕路径上移动的供电夹子的想法,重新构思一边使板状被镀敷物以垂直姿势在处理液中连续地水平搬运一边进行电解镀敷处理的装置,完成了本发明。
在本发明中提供的镀敷装置的解决课题为,提供能够使装置紧凑化,能够使夹子的把持部(供电触点部)顺畅地开闭,在夹子开闭时夹子不横向摆动而能够准确地夹紧板状被镀敷物的夹子水平循环连续移动式镀敷装置。而且,在包括夹子的开闭时在内的夹子移动中不晃动,能够实现向夹子供电的稳定化。而且,本发明在一边以垂直姿势在处理液中在水平方向上搬运板状被镀敷物一边进行电解镀敷处理的电解镀敷装置中,能够将在镀敷工序中附着于夹子的把持部(供电触点部)的金属在同一槽内的夹子返回行程电解剥离。
用于解决课题的手段
为了解决上述的课题,本发明(技术方案1的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,具备:环状轨道3,具有固定配设的水平的环绕路径;多个夹子4,该多个夹子4的上部移动自如地保持于该环状轨道3,在下部具有也作为供电触点部发挥功能的能够开闭的把持部6,能够利用该把持部6把持板状被镀敷物P的上端部而将该被镀敷物P保持为垂直姿势的悬吊状态;环形的夹子移动单元5,与这些夹子4连结,使这些夹子4在所述环状轨道3的水平的环绕路径上连续地循环移动,所述环状轨道3的水平的环绕路径是在进给行程A移动之后经由返回行程B而再次进入所述进给行程A的路径,其中,所述进给行程A是在所述环状轨道3的直线的进给路径上移动,所述返回行程B是在该环状轨道3的返回路径上移动;及夹子开闭机构,在所述进给行程A的起始端部,将所述把持部6从打开状态控制为关闭状态,从而在所述环状轨道3的水平的环绕路径上连续地循环移动的所述夹子4把持所述板状被镀敷物P,被所述夹子4把持的所述板状被镀敷物P以该被镀敷物P的板面与搬运方向平行的垂直姿势在镀敷槽(电解镀敷槽)2内的镀敷液(电解镀敷液)W中搬运,在所述进给行程A的终端部,将所述把持部6从关闭状态控制为打开状态,从而从所述把持部6放开把持状态的所述板状被镀敷物P。
另外,本发明(技术方案2的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,所述夹子4的把持部(供电触点部)6构成为在水平的环绕路径中连续地移动,该水平的环绕路径为在镀敷槽(电解镀敷槽)2内的镀敷液(电解镀敷液)W中的所述进给行程A移动之后经由该镀敷槽(电解镀敷槽)2内的镀敷液(电解镀敷液)W中的与所述进给行程A平行的所述返回行程B而再次进入所述进给行程A的路径,向所述环状轨道3的构成直线的进给路径的轨道部分供给阴极的电流,使该轨道部分作为镀敷用供电轨道3A发挥功能,从该镀敷用供电轨道3A向镀敷液(电解镀敷液)W中的把持部(供电触点部)6供给阴极的电流,被该把持部(供电触点部)6把持且被供给阴极的电流的板状被镀敷物P在镀敷液(电解镀敷液)W中的镀敷用阳极7之间搬运的过程中被电解镀敷。
根据本发明(技术方案1、2的发明),夹子沿着环状轨道在环绕路径上循环移动,从在该循环移动中的所述进给行程A移动的夹子供给阴极的电流,对利用在该进给行程A移动的夹子以垂直姿势在电解液中在水平方向上搬运的板状被镀敷物的表面进行镀敷处理,所以能够使镀敷装置紧凑化。
另外,本发明(技术方案3的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,在所述进给行程A中,所述夹子4使悬吊保持于所述夹子4而被搬运的所述板状被镀敷物P在前处理部1A、镀敷处理部1B、后处理部1C的各处理槽内的处理液中依次通过,由所述夹子4保持为悬吊状态而在所述进给行程A被搬运的所述板状被镀敷物P在前处理部1A中进行前处理(脱脂、水洗、酸洗、水洗等),在镀敷处理部1B中进行镀敷处理,在后处理部1C中进行后处理(水洗、干燥等)。而且,在本发明中,能够在所述返回行程B配设剥离处理部1D,以使所述夹子的所述把持部(供电触点部)6在所述返回行程B在剥离处理槽内的处理液中通过,能够在该通过过程中,将在所述进给行程A的所述镀敷处理部1B中附着于所述把持部(供电触点部)6的金属剥离。而且,在本发明中,向所述环状轨道3的直线的进给路径的与镀敷处理部1B对应的轨道部分供给阴极的电流,将该轨道部分设为作为镀敷用供电轨道3A发挥功能的阴极轨道,能够进行与技术方案2的发明同样的电解镀敷。
根据本发明(技术方案3的发明),要通过一系列的搬运单元在前处理部1A、镀敷处理部1B、后处理部1C的各处理工序中搬运板状被镀敷物,没有由每个处理工序的搬运单元进行的板状被镀敷物的转换,所以能够在前处理部1A、镀敷处理部1B、后处理部1C的一系列的各处理工序中顺畅地搬运板状被镀敷物。
另外,本发明(技术方案4的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,所述夹子4构成为具备:在上下方向上长的形状的板状固定部件12,具有导电性且固定保持于轨道滑动部10的外侧,该轨道滑动部10具有导电性且滑移自如地保持于所述环状轨道3;及截面为弯曲形状的开闭部件16,具有导电性且具有经由支点轴15能够反转地支撑于该板状固定部件12的外侧的开闭侧面部16a,在常态下,所述开闭侧面部16a借助弹簧体18的作用力而关闭,通过与对应于所述进给行程A的起始端部和终端部而固定配置的阻力引导体20的卡合,所述开闭侧面部16a被施加克服所述弹簧体18的作用力的按压作用(向下方的按压作用、向横向的按压作用)而打开,所述把持部(供电触点部)6由突出形成于所述板状固定部件12的外侧的下端部的内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A和以与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A对置的方式突出形成于所述开闭部件16的所述开闭侧面部16a的下端部的外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B构成,在所述把持部(供电触点部)6打开的状态下,所述开闭部件16的开闭侧面部16a的下端部及形成于该下端部的所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B反转移动到上方位置,该上方位置是,超过以垂直姿势在水平方向上搬入所述进给行程A的起始端部位置的板状被镀敷物P的上端部及从所述进给行程A的终端部位置以垂直姿势在水平方向上搬出的板状被镀敷物P的上端部的位置。
根据该发明(技术方案4的发明)的夹子,在所述进给行程A的起始端部和终端部,能够使夹子的把持部(供电触点部)顺畅地开闭。
另外,本发明(技术方案5的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,所述夹子4具备:在上下方向上长的形状的板状固定部件12,具有导电性且固定保持于轨道滑动部10的外侧,该轨道滑动部10具有导电性且滑移自如地保持于所述环状轨道3;在上下方向上长的形状的(具有导电性)上下动作杆13,能够上下移动地保持于该板状固定部件12的外侧的上部位置,被压缩弹簧18施加朝向上移方向的弹簧压力;及截面为弯曲形状的开闭部件16,具有导电性且具有经由支点轴15能够反转地支撑于安装配件14的开闭侧面部16a,该安装配件14设置于所述板状固定部件12的外侧的下部位置,在被所述压缩弹簧18施加朝向上移方向的弹簧压力的所述上下动作杆13的下端部连结有作为所述开闭部件16的隔着所述支点轴15的另一部分的连结用部件16b,所述把持部(供电触点部)6由突出形成于所述板状固定部件12的外侧的下端部的内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A和以与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A对置的方式突出形成于所述开闭部件16的所述开闭侧面部16a的下端部的外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B构成,所述把持部(供电触点部)6构成为能够开闭,在常态下,使所述开闭部件16的所述连结用部件16b与借助所述压缩弹簧18的朝向上移方向的作用力而向上移动的所述上下动作杆13连动地向上移动,由此所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B以所述支点轴15为中心从动性地反转移动到与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A压力接触的关闭位置,由此关闭所述把持部(供电触点部)6,使设置于该夹子4的上部的卡合体21与对应于所述进给行程A的起始端部和终端部而固定配置的具有高低差的阻力引导体20卡合,使所述上下动作杆13克服所述压缩弹簧18的朝向上移方向的作用力而向下移动,使所述开闭部件16的所述连结用部件16b与向下移动的所述上下动作杆13连动地向下移动,由此形成于所述开闭部件16的开闭侧面部16a的下端部的外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B以所述支点轴15为中心从动地反转移动到与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A分离的倾斜放开位置,由此打开所述把持部(供电触点部)6,在所述把持部(供电触点部)6打开的状态下,所述开闭部件16的开闭侧面部16a的下端部及形成于该下端部的所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B反转移动到上方位置,该上方位置是,超过以垂直姿势在水平方向上搬入所述进给行程A的起始端部位置的板状被镀敷物P的上端部及从所述进给行程A的终端部位置以垂直姿势在水平方向上搬出的板状被镀敷物P的上端部的位置。
根据该发明(技术方案5的发明)的夹子,在所述进给行程A的起始端部和终端部,能够顺畅地开闭夹子的把持部(供电触点部)。并且,该发明的夹子构成为通过向下方的按压来打开夹子。因此,与通过向横向的按压来打开夹子的机构的夹子不同,在开闭时,夹子不会横向摆动,能够准确地夹紧板状被镀敷物。
另外,为了解决上述的课题,本发明(技术方案8的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,所述夹子移动单元5是沿着所述环状轨道3的环绕路径呈环形地被环绕驱动的环状的辊链带5A,该辊链带5A的环形的环绕驱动路径形成为比所述环状轨道3的环绕路径小,该辊链带5A和所述夹子4经由以垂下状态安装于该辊链带5A的夹子安装用连结板28和所述轨道滑动部10而连结,使从所述轨道滑动部10的上部向内侧方向突出的螺栓轴部30贯通而连结于该夹子安装用连结板28上形成的贯通孔29,将所述夹子安装用连结板28连结为能够在所述螺栓轴部30的轴向上移动且能够在围绕轴的方向上转动,以便能够吸收辊链带5A相对于固定地配设的所述环状轨道3的位移(向与环绕驱动方向相交的方向的位移和向上下方向的位移)。
根据该发明(技术方案8的发明),由于能够吸收辊链带相对于固定配设的环状轨道的位移(向与环绕驱动方向相交的方向的位移和向上下方向的位移),所以滑移自如地保持于环状轨道的夹子在包括夹子开闭时的夹子移动中不会晃动,能够实现向夹子供电的稳定化。
另外,为了解决上述的课题,本发明(技术方案9的发明)提供一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,向所述环状轨道3的配设于直线的返回路径的轨道部分供给阳极的电流,使被供给阳极的电流的直线的返回路径的轨道部分作为剥离用供电轨道3B发挥功能,在所述返回行程B上移动的夹子4一边使该夹子4的上部在空中与该剥离用供电轨道3B接触而被引导一边移动,从所述剥离用供电轨道3B向镀敷液(电解镀敷液)W中的所述把持部(供电触点部)6供给阳极的电流,能够在所述返回行程(电解剥离行程)B中将在所述进给行程(镀敷行程)A中附着于所述把持部(供电触点部)6的析出金属溶解剥离,将镀敷用整流器40的正极与由不溶性阳极构成的所述镀敷用阳极7电连接,将该镀敷用整流器40的负极与所述镀敷用供电轨道3A电连接,向一边与该镀敷用供电轨道3A接触一边在所述进给行程(镀敷行程)A上移动的所述夹子4供给阴极的电流,将剥离用整流器41的正极与所述剥离用供电轨道3B电连接,将该剥离用整流器41的负极与所述镀敷用供电轨道3A电连接,向一边与该剥离用供电轨道3B接触一边在所述返回行程(电解剥离行程)B上移动的所述夹子4供给阳极的电流,被供给阳极的电流的在所述返回行程(电解剥离行程)B上移动的所述夹子4将从被供给相反极性的电流的在所述进给行程(镀敷行程)A上移动的所述夹子4供电的阴极的所述板状被镀敷物P作为对电极,,能够通过电解将在构成阳极的所述夹子4的所述把持部(供电触点部)6上附着的金属溶解剥离。
根据该发明(技术方案9的发明),在以垂直姿势在处理液中水平搬运板状被镀敷物的电解镀敷装置中,能够将在所述进给行程(镀敷行程)A附着于夹子4的把持部(供电触点部)6的析出金属在同一槽内的所述返回行程(电解剥离行程)B电解剥离。
发明效果
根据本发明的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,能够使镀敷装置小型化。而且,根据本发明的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,在前处理部、镀敷处理部、后处理部的各处理工序中由一系列的夹子搬运单元搬运板状被镀敷物,所以没有由每个处理工序的搬运单元进行的板状被镀敷物的转换,在前处理部、镀敷处理部、后处理部的一系列的各处理工序中够能够顺畅地搬运板状被镀敷物。而且,根据本发明,夹子的把持部(供电触点部)能够顺畅地开闭。而且,根据本发明,在夹子开闭时,夹子不会横向摆动,能够准确地夹紧板状被镀敷物。而且,根据本发明,在包括夹子开闭时的夹子移动中不晃动,能够实现向夹子供电的稳定化。而且,根据本发明,在以垂直姿势在处理液中水平搬运板状被镀敷物的电解镀敷装置中,能够将在进给行程(镀敷行程)附着于夹子的供电触点部的金属在同一槽内的夹子的返回行程电解剥离。
本发明的夹子水平循环连续移动式镀敷装置适合作为对方形或长条带状的柔性的板状被镀敷物进行镀敷处理的装置,尤其是,适合作为对由设置于本装置的外侧的支撑辊和驱动辊支撑为垂直姿势的柔性的长条带状的圈状板状被镀敷物、或由设置于本装置的外侧的供给辊和卷绕驱动辊支撑为垂直姿势的柔性的长条带状的板状被镀敷物进行镀敷处理的装置。
附图说明
图1是本发明的概略俯视图。
图2是本发明的概略俯视图。
图3是图1、图2所示的本发明的纵剖侧视图。
图4是示出本发明的其他实施例的概略俯视图。
图5是示出本发明的夹子的侧视图。
图6是示出本发明的夹子的主视图。
图7是示出本发明的夹子的其他实施例的侧视图。
图8是在图7中示出的夹子的主视图。
图9是示出本发明的夹子的其他实施例的图,(A)是侧视图,(B)是主视图。
图10是示出本发明的其他实施例的纵剖侧视图。
标号说明
1 镀敷装置
1A 镀敷装置的前处理部
1B 镀敷装置的镀敷处理部
1C 镀敷装置的后处理部
2 镀敷槽(电解镀敷槽)
3 环状轨道
3A 镀敷用供电轨道
3B 剥离用供电轨道
4 夹子
5 夹子移动单元
5A 辊链带
6 把持部(供电触点部)
6A 内侧固定把持部(内侧供电触点部)
6B 外侧可动把持部(外侧供电触点部)
P 板状被镀敷物
W 镀敷液(电解镀敷液)
A 进给行程
B 返回行程
7 镀敷用阳极
10 轨道滑动部
12 板状固定部件
13 上下动作杆
14 安装配件
15 支点轴
16 开闭部件
16a 开闭部件的开闭侧面部
16b 开闭部件的连结用部件
16c 长孔
17 连结轴
18 弹簧体
20 阻力引导体
21 卡合体
22 反转杆
23 支撑轴
24 轴
25 旋转辊
27 橡胶帽
28 夹子安装用连结板
29 贯通孔
30 螺栓轴部
32 螺栓卡合孔
33固定用螺栓
35、36 板状把持部件
38 引出线
40 镀敷用整流器
41 剥离用整流器
具体实施方式
基于附图说明本发明的夹子水平循环连续移动式镀敷装置的实施方式。图1是示出薄且柔性的板状被镀敷物P为长条带状物的例子的电解镀敷装置的概略俯视图,图2是示出薄且柔性的板状被镀敷物P为印刷基板等的方形物的例子的电解镀敷装置的概略俯视图,图3是图1、图2所示的电解镀敷装置的纵剖侧视图。另外,图4是其他例子的镀敷装置的概略俯视图。
图1~图4所示的夹子水平循环连续移动式镀敷装置(以下,有时略称为镀敷装置。)1具备:环状轨道3,具有固定地(固定于未图示的架座等)配设的水平的环绕路径;多个夹子4(该夹子4在环状轨道3的环绕路径的全部范围内设置有多个。),上部滑移自如地保持于该环状轨道3,下部具有也作为供电触点部发挥功能的能够开闭的把持部6,利用该把持部6把持板状被镀敷物P的上端部,能够将该被镀敷物P保持为垂直姿势的悬吊状态;环形的夹子移动单元5(沿着环状轨道3的环绕路径呈环形地被环绕驱动的环状的辊链带5A),与上述的这些夹子4连结,使这些夹子4在所述环状轨道3的水平的环绕路径上连续地循环移动,所述环状轨道3的水平的环绕路径是在所述环状轨道3的直线的进给路径上移动的进给行程A移动之后,经由在该环状轨道3的返回路径上移动的返回行程B的移动再次进入所述进给行程A的路径;及夹子开闭机构,在所述进给行程A的起始端部,将所述把持部6从打开状态控制为关闭状态,从而在所述环状轨道3的水平的环绕路径上连续地循环移动的所述夹子4把持所述板状被镀敷物P,被所述夹子4把持的所述板状被镀敷物P以该被镀敷物P的板面与搬运方向平行的垂直姿势在镀敷槽(电解镀敷槽)2内的镀敷液(电解镀敷液)W中搬运,在所述进给行程A的终端部,将所述把持部6从关闭状态控制为打开状态,从所述把持部6放开把持状态的所述板状被镀敷物P。
所述夹子移动单元5形成为,由搬运驱动用马达(未图示)环绕驱动链轮或呈环形地卷绕架设于带有槽的滑轮上的环状的辊链带5A。
此外,在示出板状被镀敷物P为方形物的例子的图2的电解镀敷装置中,夹子4的安装间隔比图1的电解镀敷装置窄,夹子4的安装个数多。在图1、图2、图4中,为了避免复杂,仅示出了一部分的夹子4。但是,夹子4以相同的安装间隔设置在呈环形地被环绕驱动的夹子移动单元5(辊链带5A)的整个范围内。
图1~图3所示的夹子水平循环连续移动式镀敷装置(以下,有时略称为镀敷装置。)1构成为,所述夹子4的把持部(供电触点部)6在水平的环绕路径上连续地移动,该水平的环绕路径为,在镀敷槽(电解镀敷槽)2内的镀敷液(电解镀敷液)W中的所述进给行程A移动之后,经由该镀敷槽(电解镀敷槽)2内的镀敷液(电解镀敷液)W中的与所述进给行程A平行的所述返回行程B再次进入所述进给行程A的路径,向所述环状轨道3的构成直线的进给路径的轨道部分供给阴极的电流,使该轨道部分作为镀敷用供电轨道3A发挥功能,从该镀敷用供电轨道3A向镀敷液(电解镀敷液)W中的把持部(供电触点部)6供给阴极的电流,被该把持部(供电触点部)6把持且被供给了阴极的电流的板状被镀敷物P在镀敷液(电解镀敷液)W中的不溶性的镀敷用阳极7(图3所示的)之间搬运的过程中被电解镀敷。此外,在图1、2中,标号2a表示将板状被镀敷物P向电解槽2内搬入的搬入口,标号2b表示将板状被镀敷物P搬出到电解槽2外的搬出口。在该搬入口2a和搬出口2b上可以配设公知的密封辊。
在图4所示的夹子水平循环连续移动式镀敷装置(以下,有时略称为镀敷装置)1,在所述进给行程A,所述夹子4使悬吊保持于该夹子4而被搬运的所述板状被镀敷物P在前处理部1A、镀敷处理部1B、后处理部1C的各处理槽内的处理液中依次通过,由所述夹子4保持为悬吊状态而在所述进给行程A被搬运的所述板状被镀敷物P在前处理部1A中进行前处理(脱脂、水洗、酸洗、水洗等),在镀敷处理部1B中进行镀敷处理,在后处理部1C中进行后处理(水洗、干燥等)。该镀敷装置1也向所述环状轨道3的直线的进给路径的与镀敷处理部1B对应的轨道部分供给阴极的电流,将该轨道部分设为作为镀敷用供电轨道3A发挥功能的阴极轨道。
另外,图4所示的镀敷装置1,在所述返回行程B配设有剥离处理部1D,以使所述夹子4的所述把持部(供电触点部)6在所述返回行程B在剥离处理槽内的处理液中通过,能够在该通过过程中将在所述进给行程A的所述镀敷处理部1B附着于所述把持部(供电触点部)6的金属剥离。
以下,进一步参照图5~图9详细地说明所述夹子4。图5是夹子的侧视图,图6是图5的夹子的主视图,图7是示出夹子的其他实施方式的侧视图,图8是图7的夹子的主视图。另外,图9是示出夹子的其他实施方式的图,(A)是侧视图,(B)是主视图。
图5~图8所示的夹子4和图9所示的夹子4具备:在上下方向上长的形状的板状固定部件12,具有导电性且经由间隔部件11固定保持于轨道滑动部10的外侧,该轨道滑动部10具有导电性且滑移自如地保持于所述环状轨道3;及截面为弯曲形状的开闭部件16,具有导电性且具有经由支点轴15能够反转地支撑于该板状固定部件12的外侧的开闭侧面部16a,在常态下,所述开闭侧面部16a借助弹簧体18(在图5~图8的夹子4中为压缩螺旋弹簧,在图9的夹子4中为扭力螺旋弹簧)的作用力关闭,开闭侧面部16a通过与对应于所述进给行程A的起始端部和终端部而固定配置的阻力引导体20(在图9中省略。)的卡合,被施加克服所述弹簧体18的作用力的按压作用(在图5~图8的夹子4中为向下方的按压,在图9的夹子4中为向横向的按压)而使所述开闭侧面部16a打开,所述把持部(供电触点部)6由突出形成于所述板状固定部件12的外侧的下端部的内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A和以与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A对置的方式突出形成于所述开闭部件16的所述开闭侧面部16a的下端部的外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B构成。而且,在所述把持部(供电触点部)6打开的状态下,所述开闭部件16的开闭侧面部16a的下端部及形成于该下端部的所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B反转移动到上方位置,该上方位置是超过以垂直姿势在水平方向上搬入所述进给行程A的起始端部位置的板状被镀敷物P的上端部及从所述进给行程A的终端部位置以垂直姿势在水平方向搬出的板状被镀敷物P的上端部的位置。所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A相对于以垂直姿势水平地搬入的板状被镀敷物P的搬入线而位于内侧,使进行开闭的外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B在隔着该搬入线的外侧关闭。
图3及图5~图8所示的夹子4具备:所述板状固定部件12;在上下方向上长的形状的上下动作杆13,具有导电性,贯通上部保持部12a和下部保持部12b且能够上下移动地保持于该上部保持部12a和下部保持部12b,该上部保持部12a和下部保持部12b固定于该板状固定部件12的上部外侧面,被压缩弹簧(压缩螺旋弹簧)18施加朝向上移方向的弹簧压力;及开闭部件16,截面为弯曲形状(在图5的实施例中,截面为上下颠倒的L字形状),具有导电性且具有经由支点轴15能够反转地支撑于安装配件14的开闭侧面部16a,该安装配件14设置于所述板状固定部件12的外侧的下部位置,在被所述压缩弹簧(压缩螺旋弹簧)18施加朝向上移方向的弹簧压力的所述上下动作杆13的下端部连结有作为所述开闭部件16的隔着所述支点轴15的另一部分的连结用部件16b(利用插通在开闭部件16的连结用部件16b所形成的长孔16c的连结轴17连结)。
在常态下,通过使所述开闭部件16的所述连结用部件16b与借助所述压缩弹簧18的朝向上移方向的作用力而向上移动的所述上下动作杆13连动地向上方移动,由此所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B以所述支点轴15为中心从动性地反转移动到与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A压力接触的关闭位置,由此使所述把持部(供电触点部)6关闭。
使设置于该夹子4的上部的卡合体21和对应于所述进给行程A的起始端部和终端部而固定配置的具有高低差的阻力引导体20(图1、图2、图4、图6、图8所示。)卡合,使所述上下动作杆13克服所述压缩弹簧(压缩螺旋弹簧)18的朝向上移方向的作用力而向下移动,使所述开闭部件16的所述连结用部件16b与向下移动的所述上下动作杆13连动地向下移动,由此在所述开闭部件16的开闭侧面部16a的下端部所形成的外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B从动地以所述支点轴15为中心反转移动至与所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A分离的倾斜放开位置(在图3、图5、图7中用单点划线表示。),由此打开所述把持部(供电触点部)6,由此所述把持部(供电触点部)6构成为能够开闭。图3及图5~图8所示的夹子4构成为通过向下方的按压而打开夹子4。因此,与通过向横向的按压而打开夹子的机构的夹子(例如,图9所示的夹子4)不同,在开闭时夹子不会横向摆动,具有能够准确地夹紧板状被镀敷物的优点。
在所述把持部(供电触点部)6打开的状态下,所述开闭部件16的开闭侧面部16a的下端部及形成于该下端部的所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B反转移动到上方位置,该上方位置是超过以垂直姿势在水平方向上搬入所述进给行程A的起始端部位置的板状被镀敷物P的上端部及从所述进给行程A的终端部位置以垂直姿势在水平方向上搬出的板状被镀敷物P的上端部的位置。此外,图5、图7所示的标号T表示板状被镀敷物P的上端水平面。
此外,将所述阻力引导体20延长设置于返回行程B的全部区域,夹子4的把持部(供电触点部)6也能够在返回行程B的全部区域都为打开状态。
作为所述卡合体21,在图5~图8中,以大致三角形状(也可以是大致L字状。)的板状的反转杆22的弯曲部为支点部而在所述板状固定部件12的上端部通过支撑轴23反转自如地轴接,将该反转杆22的下方端部经由轴24连结于所述上下动作杆13的上端部,将旋转辊25旋转自如地安装于所述反转杆22的上方端部,将该旋转辊25作为卡合体。在该旋转辊(卡合体)25沿着设置于夹子4的环绕移动路径的打开位置的具有高低差的阻力引导体20的低位下表面部20a滚动的卡合状态下,反转杆22以所述支撑轴23为中心向下方反转(在图6、图8中用单点划线表示),能够使与向下方反转的反转杆22的下方端部连结的所述上下动作杆13克服压缩弹簧(压缩螺旋弹簧)18的弹簧压力而向下移动。
如图6、图8所示,对所述阻力引导体20的下表面部而言,将夹子4的移动方向上的中间部设为低位下表面部20a,将该低位下表面部20a的两侧设为从该低位下表面部逐渐变为高位的倾斜下表面部20b。
此外,虽然未图示,但是作为所述卡合体21,可以将所述上下动作杆13的上端部延伸到上方,在延伸的上端部旋转自如地设置所述旋转辊25,将该旋转辊25设为卡合体。
进入电解液W中的夹子4的下方部分,除了把持部(供电触点部)6以外,都由在图5~图8中用单点划线表示的耐酸性的橡胶帽27绝缘覆盖。
如图5、图7所示,所述夹子移动单元5是沿着所述环状轨道3的环绕路径呈环形地被环绕驱动的环状的辊链带5A,该辊链带5A的环形的环绕驱动路径形成为比所述环状轨道3的环绕路径小,该辊链带5A和夹子4经由以垂下状态安装于该辊链带5A的夹子安装用连结板28和所述轨道滑动部10而连结,使从所述轨道滑动部10的上部向内侧方向突出的螺栓轴部30贯通而连结于该夹子安装用连结板28上形成的贯通孔29,将所述夹子安装用连结板28连结为能够在所述螺栓轴部30的轴向上移动且能够在围绕轴的方向上转动,以便能够吸收链带5A相对于固定地配设的所述环状轨道3的位移(向与环绕驱动方向相交的方向的位移和向上下方向的位移)。
如图5~图8所示,在所述板状固定部件12上贯穿设置有左右一对螺栓卡合孔32。将用于固定保持该板状固定部件12的固定用螺栓33穿过所述螺栓卡合孔32与固定于所述轨道滑动部10的外侧面的所述间隔部件11的外侧侧面螺接。所述螺栓卡合孔32的下方孔部形成为允许所述固定用螺栓33的螺栓头部通过的宽度,将与该下方孔部连续的上方孔部形成为允许所述固定用螺栓33的螺栓轴部通过但不允许螺栓头部通过的窄的宽度。在图6、图8所示的实施例中,将下方孔部形成为圆形,将与该下方孔部连续的上方孔部形成为纵长。
在固定安装夹子4时,使以暂时固定状态螺接于所述间隔部件11的左右一对固定用螺栓33插通螺栓卡合孔32的下方孔部,如果使夹子4下降,则上方孔部与固定用螺栓33卡止,如果以该卡止状态将固定用螺栓33紧固,则能够可靠地保持固定状态。在从固定安装状态拆下夹子4时,将紧固的固定用螺栓33松缓为暂时固定状态,如果将夹子4上升,则能够从下方孔部拆下。由此,能够简单且可靠地相对于装置主体装拆在上下方向上长的构造的夹子4,所以能够提高夹子的检查操作和镀敷装置主体的检查操作的效率性。
如前所述,作为供电夹子发挥功能的夹子4由具有导电性的金属(不锈钢等)形成。在图7、图8所示的夹子的实施方式中,所述板状固定部件12的包括所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A的下方部分和所述开闭部件16的所述开闭侧面部16a的包括所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B的下方部分由左右对称的板状把持部件35、36形成,该左右对称的板状把持部件35、36由钛材料构成。
另外,在图7、图8所示的夹子的实施方式中,利用引出线38将所述板状固定部件12侧(具体地说,固定于板状固定部件12的外侧面的不锈钢制的上部保持部12a)和所述开闭部件16的开闭侧面部16a(具体地说,开闭侧面部16a的上方部分)以能够进行供电的方式连接。如图8所示,基于该引出线38的连接利用左右一对引出线38、38分别进行连接。该引出线38的连接方法能够通过利用螺栓将安装于引出线38的端部的压接端子螺纹固定的通常的连接方法来进行。通过该引出线38的布线,能够使电流易于流入供电容易变得不稳定的所述开闭部件16的开闭侧面部16a,能够大幅提高向设置于该开闭侧面部16a的下端的所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B的供电效率。此外,在图5、图6所示的夹子的实施方式中,没有布线所述引出线38,但是在图5、图6所示的夹子中,也优选布线与图7、图8的实施例同样的引出线38。
图9所示的夹子4具备截面为弯曲形状且具有导电性的开闭部件16,该开闭部件16具有开闭侧面部16a,该开闭侧面部16a经由支点轴15能够反转地支撑于安装配件14,该安装配件14设置于所述板状固定部件12的外侧的大致中间位置,在常态下,利用安装于支点轴15的扭力螺旋弹簧18,开闭部件16的上方部分被向扩开方向施力,开闭部件16的下方部分的开闭侧面部16a被向关闭方向施力,使把持部(供电触点部)6关闭。在所述开闭部件16的上端部安装有作为卡合体21发挥功能的旋转辊25。并且,通过对应于所述进给行程A的起始端部和终端部而固定配置的阻力引导体20(在图9中省略图。)与所述卡合体21(旋转辊25)的卡合,施加克服所述扭力螺旋弹簧18的作用力的向横向(在图9中用标号G表示。)的按压作用而使所述开闭侧面部16a打开。
此外,图9所示的夹子4与前述的图7、图8所示的夹子同样,所述板状固定部件12的包括所述内侧固定把持部(内侧供电触点部)6A的下方部分和所述开闭部件16的所述开闭侧面部16a的包括所述外侧可动把持部(外侧供电触点部)6B的下方部分由左右对称的板状把持部件35、36形成,该左右对称的板状把持部件35、36由钛材料构成。另外,图9所示的夹子4也与前述的图7、图8所示的夹子同样,夹子4的下方部分除了把持部(供电触点部)6以外,都由在图9中用单点划线表示的耐酸性的橡胶帽27绝缘覆盖。
如在图10的实施例中所示的,图1~图3所示的电解镀敷装置1向所述环状轨道3的配设于直线的返回路径的轨道部分供给阳极的电流,使被供给阳极的电流的直线的返回路径的轨道部分作为剥离用供电轨道3B发挥功能,一边使在所述返回行程B移动的所述夹子4的上部在空中与该剥离用供电轨道3B接触而被引导,一边使所述夹子4移动,从所述剥离用供电轨道3B向镀敷液(电解镀敷液)W中的所述把持部(供电触点部)6供给阳极的电流,在所述返回行程B,能够将在所述进给行程(镀敷行程)A附着于所述把持部(供电触点部)6的析出金属溶解剥离。
如在图10所示,将镀敷用整流器(供给电源)40的正极(正电极)与由不溶性阳极构成的所述镀敷用阳极7电连接,将该镀敷用整流器(供给电源)40的负极(负电极)与所述镀敷用供电轨道3A电连接,向一边与该镀敷用供电轨道3A接触一边在所述进给行程(镀敷行程)A移动的夹子4供给阴极的电流,将剥离用整流器(供给电源)41的正极(正电极)与所述剥离用供电轨道3B电连接,将该剥离用整流器(供给电源)41的负极(负电极)与所述镀敷用供电轨道3A电连接,向一边与该剥离用供电轨道3B接触一边在所述返回行程B移动的夹子4供给阳极的电流,被供给了阳极的电流的在所述返回行程B移动的夹子4将阴极的板状被镀敷物P作为对电极,其中,从被供给相反极性的电流的在所述进给行程(镀敷行程)A移动的夹子4向该阴极的板状被镀敷物P供电,由此能够通过电解将在构成阳极的夹子4的把持部(供电触点部)6上附着的金属溶解剥离。此外,镀敷用供电轨道3A和剥离用供电轨道3B隔着塑料材料等的绝缘轨道。
这样,由于在所述进给行程(镀敷行程)A和所述返回行程(电解剥离行程)B所述夹子4共有(兼用)作为对电极的阴极,所以在所述返回行程(电解剥离行程)B从夹子4的把持部(供电触点部)6溶解剥离的溶解金属(例如,溶解Cu)如箭头F那样在电解液中朝向在所述进给行程(镀敷行程)A移动的板状被镀敷物P移动,电沉积于在所述进给行程(镀敷行程)A移动的板状被镀敷物P。由此,能够有效利用在返回行程(电解剥离行程)B从夹子4的把持部(供电触点部)6剥离的溶解金属(例如,溶解Cu),能够提高电解镀敷及电解剥离的效率。这是由在同一电解槽1内进行进给行程(镀敷行程)A和返回行程(电解剥离行程)B产生的较大的好处。

Claims (10)

1.一种夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其中,
所述夹子水平循环连续移动式镀敷装置具备:
环状轨道(3),具有固定配设的水平的环绕路径;
多个夹子(4),该多个夹子(4)的上部移动自如地保持于该环状轨道(3),在下部具有也作为供电触点部发挥功能的能够开闭的把持部(6),能够利用该把持部(6)把持板状被镀敷物(P)的上端部而将该被镀敷物(P)保持为垂直姿势的悬吊状态;
环形的夹子移动单元(5),与这些夹子(4)连结,使这些夹子(4)在所述环状轨道(3)的水平的环绕路径上连续地循环移动,所述环状轨道(3)的水平的环绕路径是在进给行程(A)移动之后经由返回行程(B)而再次进入所述进给行程(A)的路径,其中,所述进给行程(A)是在所述环状轨道(3)的直线的进给路径上移动,所述返回行程(B)是在该环状轨道(3)的返回路径上移动;及
夹子开闭机构,在所述进给行程(A)的起始端部,将所述把持部(6)从打开状态控制为关闭状态,从而在所述环状轨道(3)的水平的环绕路径上连续地循环移动的所述夹子(4)把持所述板状被镀敷物(P),被所述夹子(4)把持的所述板状被镀敷物(P)以该被镀敷物(P)的板面与搬运方向平行的垂直姿势在镀敷槽(2)内的镀敷液(W)中搬运,在所述进给行程(A)的终端部,将所述把持部(6)从关闭状态控制为打开状态,从而从所述把持部(6)放开把持状态的所述板状被镀敷物(P)。
2.根据权利要求1所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,
所述夹子(4)的把持部(6)构成为在水平的环绕路径上连续地移动,该水平的环绕路径为在镀敷槽(2)内的镀敷液(W)中的所述进给行程(A)移动之后经由该镀敷槽(2)内的镀敷液(W)中的与所述进给行程(A)平行的所述返回行程(B)而再次进入所述进给行程(A)的路径,
向所述环状轨道(3)的构成直线的进给路径的轨道部分供给阴极的电流,使该轨道部分作为镀敷用供电轨道(3A)发挥功能,从该镀敷用供电轨道(3A)向镀敷液(W)中的把持部(6)供给阴极的电流,被该把持部(6)把持且被供给阴极的电流的板状被镀敷物(P)在镀敷液(W)中的镀敷用阳极(7)之间搬运的过程中被电解镀敷。
3.根据权利要求1所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,
在所述进给行程(A)中,所述夹子(4)使悬吊保持于所述夹子(4)而被搬运的所述板状被镀敷物(P)在前处理部(1A)、镀敷处理部(1B)、后处理部(1C)的各处理槽内的处理液中依次通过,由所述夹子(4)保持为悬吊状态而在所述进给行程(A)被搬运的所述板状被镀敷物(P)在前处理部(1A)中进行前处理,在镀敷处理部(1B)中进行镀敷处理,在后处理部(1C)中进行后处理。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,
所述夹子(4)构成为具备:
在上下方向上长的形状的板状固定部件(12),具有导电性且固定保持于轨道滑动部(10)的外侧,该轨道滑动部(10)具有导电性且滑移自如地保持于所述环状轨道(3);及
截面为弯曲形状的开闭部件(16),具有导电性且具有经由支点轴(15)能够反转地支撑于该板状固定部件(12)的外侧的开闭侧面部(16a),在常态下,所述开闭侧面部(16a)借助弹簧体(18)的作用力而关闭,通过与对应于所述进给行程(A)的起始端部和终端部而固定配置的阻力引导体(20)的卡合,所述开闭侧面部(16a)被施加克服所述弹簧体(18)的作用力的按压作用而打开,
所述把持部(6)由突出形成于所述板状固定部件(12)的外侧的下端部的内侧固定把持部(6A)和以与所述内侧固定把持部(6A)对置的方式突出形成于所述开闭部件(16)的所述开闭侧面部(16a)的下端部的外侧可动把持部(6B)构成,
在所述把持部(6)打开的状态下,所述开闭部件(16)的开闭侧面部(16a)的下端部及形成于该下端部的所述外侧可动把持部(6B)反转移动到上方位置,该上方位置是超过以垂直姿势在水平方向上搬入所述进给行程(A)的起始端部位置的板状被镀敷物(P)的上端部及从所述进给行程(A)的终端部位置以垂直姿势在水平方向上搬出的板状被镀敷物(P)的上端部的位置。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,
所述夹子(4)具备:
在上下方向上长的形状的板状固定部件(12),具有导电性且固定保持于轨道滑动部(10)的外侧,该轨道滑动部(10)具有导电性且滑移自如地保持于所述环状轨道(3);
在上下方向上长的形状的上下动作杆(13),能够上下移动地保持于该板状固定部件(12)的外侧的上部位置,被压缩弹簧(18)施加朝向上移方向的弹簧压力;及
截面为弯曲形状的开闭部件(16),具有导电性且具有经由支点轴(15)能够反转地支撑于安装配件(14)的开闭侧面部(16a),该安装配件(14)设置于所述板状固定部件(12)的外侧的下部位置,
在被所述压缩弹簧(18)施加朝向上移方向的弹簧压力的所述上下动作杆(13)的下端部连结有作为所述开闭部件(16)的隔着所述支点轴(15)的另一部分的连结用部件(16b),
所述把持部(6)由突出形成于所述板状固定部件(12)的外侧的下端部的内侧固定把持部(6A)和以与所述内侧固定把持部(6A)对置的方式突出形成于所述开闭部件(16)的所述开闭侧面部(16a)的下端部的外侧可动把持部(6B)构成,
所述把持部(6)构成为能够开闭,在常态下,使所述开闭部件(16)的所述连结用部件(16b)与借助所述压缩弹簧(18)的朝向上移方向的作用力而向上移动的所述上下动作杆(13)连动地向上移动,由此所述外侧可动把持部(6B)以所述支点轴(15)为中心从动性地反转移动到与所述内侧固定把持部(6A)压力接触的关闭位置,由此关闭所述把持部(6),使设置于该夹子(4)的上部的卡合体(21)与对应于所述进给行程(A)的起始端部和终端部而固定配置的具有高低差的阻力引导体(20)卡合,使所述上下动作杆(13)克服所述压缩弹簧(18)的朝向上移方向的作用力而向下移动,使所述开闭部件(16)的所述连结用部件(16b)与向下移动的所述上下动作杆(13)连动地向下移动,由此形成于所述开闭部件(16)的开闭侧面部(16a)的下端部的外侧可动把持部(6B)以所述支点轴(15)为中心从动地反转移动到与所述内侧固定把持部(6A)分离的倾斜放开位置,由此打开所述把持部(6),
在所述把持部(6)打开的状态下,所述开闭部件(16)的开闭侧面部(16a)的下端部及形成于该下端部的所述外侧可动把持部(6B)反转移动到上方位置,该上方位置是超过以垂直姿势在水平方向上搬入所述进给行程(A)的起始端部位置的板状被镀敷物(P)的上端部及从所述进给行程(A)的终端部位置以垂直姿势在水平方向上搬出的板状被镀敷物(P)的上端部的位置。
6.根据权利要求4或5所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,
包括所述内侧固定把持部(6A)在内的所述板状固定部件(12)的下方部分和包括所述开闭部件(16)在内的所述开闭侧面部(16a)的所述外侧可动把持部(6B)的下方部分由钛材料制的左右对称的板状把持部件(35、36)形成。
7.根据权利要求4或5所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,
所述夹子(4)的所述板状固定部件(12)侧和所述开闭部件(16)的所述开闭侧面部(16a)利用引出线(38)以能够进行供电的方式连接。
8.根据权利要求4或5所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,其特征在于,
所述夹子移动单元(5)是沿着所述环状轨道(3)的环绕路径呈环形地被环绕驱动的环状的辊链带(5A),该辊链带(5A)的环形的环绕驱动路径形成为比所述环状轨道(3)的环绕路径小,该辊链带(5A)和所述夹子(4)经由以垂下状态安装于该辊链带(5A)的夹子安装用连结板(28)和所述轨道滑动部(10)而连结,使从所述轨道滑动部(10)的上部向内侧方向突出的螺栓轴部(30)贯通而连结于该夹子安装用连结板(28)上形成的贯通孔(29),将所述夹子安装用连结板(28)连结为能够在所述螺栓轴部(30)的轴向上移动且能够在围绕轴的方向上转动,以便能够吸收辊链带(5A)相对于固定地配设的所述环状轨道(3)的位移。
9.根据权利要求2所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,
向所述环状轨道(3)的配设于直线的返回路径的轨道部分供给阳极的电流,使被供给阳极的电流的直线的返回路径的轨道部分作为剥离用供电轨道(3B)发挥功能,
在所述返回行程(B)上移动的夹子(4)一边使该夹子(4)的上部在空中与该剥离用供电轨道(3B)接触而被引导一边移动,从所述剥离用供电轨道(3B)向镀敷液(W)中的所述把持部(6)供给阳极的电流,能够在所述返回行程(B)中将在所述进给行程(A)中附着于所述把持部(6)的析出金属溶解剥离,
将镀敷用整流器(40)的正极与由不溶性阳极构成的所述镀敷用阳极(7)电连接,将该镀敷用整流器(40)的负极与所述镀敷用供电轨道(3A)电连接,向一边与该镀敷用供电轨道(3A)接触一边在所述进给行程(A)上移动的所述夹子(4)供给阴极的电流,将剥离用整流器(41)的正极与所述剥离用供电轨道(3B)电连接,将该剥离用整流器(41)的负极与所述镀敷用供电轨道(3A)电连接,向一边与该剥离用供电轨道(3B)接触一边在所述返回行程(B)上移动的所述夹子(4)供给阳极的电流,被供给阳极的电流的在所述返回行程(B)上移动的所述夹子(4)将从被供给相反极性的电流的在所述进给行程(A)上移动的所述夹子(4)供电的阴极的所述板状被镀敷物(P)作为对电极,能够通过电解将在构成阳极的所述夹子(4)的所述把持部(6)上附着的金属溶解剥离。
10.根据权利要求3所述的夹子水平循环连续移动式镀敷装置,
在所述返回行程(B)设置有剥离处理部(1D),以使所述夹子(4)的所述把持部(6)在所述返回行程(B)在剥离处理槽内的处理液中通过,能够在该通过过程中将在所述进给行程(A)的所述镀敷处理部(1B)附着于所述把持部(6)的金属剥离。
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