CN109989100A - 保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供作业人员从处理槽外侧容易进行电镀处理槽内部的保养检查作业的水平搬运式的电解电镀装置。作业人员从槽外通过在电镀处理槽(1)及辅助槽(20)的各侧面部切缺形成的检查口(10、22)容易地进行电镀处理槽内部的保养检查作业。能够通过按压构件(14)简单可靠地将侧面盖板(11)安装于电镀处理槽的检查口(10)并拆除。在辅助槽的检查口(22)安装有上下滑动式的装拆构造的侧面盖板(23)，能够简单可靠地装拆。夹持基板制品(P)的两侧缘部来搬运的夹紧卡具(5)形成为能够通过固定用螺栓(41)和螺栓卡合孔(40)简单地装拆的构造，通过拆除该夹紧卡具，更容易进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

Description

保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置

技术领域

本发明涉及水平搬运式的电解电镀装置，尤其涉及形成为容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业的电解电镀装置。

背景技术

已知如下的水平搬运式的电解电镀装置，即，在电镀处理槽内的电镀液中将被供给阴极电流的基板制品以板面位于上下的状态，在被供给阳极电流的上电极与下电极之间向一个方向水平地搬运，在该水平搬运过程中对基板制品进行电解电镀处理。另外，作为向一个方向水平地搬运所述基板制品的装置，还已知如下的水平搬运式的电解电镀装置，即，具备：搬运驱动装置，设置于隔着基板制品的搬运通路的两侧，被呈环状地环绕驱动；及多个夹紧卡具，上部在空中安装于该搬运驱动装置从而环绕移动，在该夹紧卡具的下部具有夹持触点部，在利用在隔着所述搬运通路且相互平行的内侧的直线移动路径上移动的多个夹紧卡具的夹持触点部从上下方向夹持基板制品的两侧缘部而使该基板制品的板面处于上下的状态下，在处理槽内的电镀液中向一个方向水平地搬运所述基板制品(专利文献1、2)。

在该水平搬运式的电解电镀装置中，虽然电镀处理槽的内部的保养检查作业在将电镀液排出后进行，但是电镀处理槽的内部被该处理槽的侧壁面包围，并且复杂地配备有槽内备用品，因此作业人员难以进入处理槽的内部进行操作，保养检查作业不容易进行。

另外，在水平搬运式的电解电镀装置中，在使用环绕移动的多个夹紧卡具作为向一个方水平地搬运基板制品的装置的电解电镀装置中，配设于处理槽的内部的多个夹紧卡具的存在成为障碍，不容易进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实用新型登录第3176980号公报

专利文献2：日本特开2014-105339号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题在于，在水平搬运式的电解电镀装置中，对于该电解电镀装置的电镀处理槽的内部的保养检查作业，使作业人员从该电镀处理槽的外侧容易地进行，使作业人员容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

另外，在水平搬运式的电解电镀装置中，即使是在使用环绕移动的多个夹紧卡具作为向一个方向水平地搬运基板制品的装置的电解电镀装置中，作业人员也能够从电镀处理槽的外侧容易地进行该电镀处理槽的内部的保养检查作业，作业人员容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

用于解决技术问题的技术手段

为了解决上述技术问题，本发明提供一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，在电镀处理槽内的电镀液中将被供给阴极电流的基板制品以板面处于上下的状态在被供给阳极电流的上电极与下电极之间向一个方向水平地搬运，在该水平搬运过程中对基板制品进行电解电镀处理，所述电解电镀装置的特征在于，在塑料制的所述电镀处理槽的沿着制品搬运方向的两个侧面部切缺形成有能够从外侧对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的内侧检查口，该内侧检查口的切缺开口下缘部以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该内侧检查口以能够装拆的方式安装有从外侧将该内侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的塑料制的内侧的侧面盖板，而且在所述电镀处理槽的两个侧面部分别设置有从外侧包围所述内侧检查口且具有底面部和侧面部的辅助槽，在该辅助槽的与所述内侧检查口对应的侧面部的位置切缺形成有能够从外侧通过所述内侧检查口对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的外侧检查口，该外侧检查口的切缺开口下缘部也以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该外侧检查口以能够装拆的方式安装有将该外侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的外侧的侧面盖板。

根据本发明，由于在电镀处理槽及辅助槽的各侧面部切缺形成有检查口，所以作业人员能够排出电镀处理槽内的电镀液并通过拆除了内侧及外侧的侧面盖板的检查口而从槽外容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

并且，本发明的水平搬运式的电解电镀装置是在电镀处理槽内的电镀液中水平地搬运基板制品的过程中进行电镀处理的电解电镀装置，所以与一边在电镀液中以垂直姿势搬运基板制品一边对基板制品进行电镀处理的方式的电镀装置相比，能够形成电镀处理槽的高度低的构造。由此，根据本发明，能够在作业人员能够从装置外简单地安装拆除侧面盖板的适当的高度位置将电镀处理槽载置配置于台架上，槽内备用品的保养检查作业容易。

另外，本发明是如下的构造，即，在电镀处理槽的侧面部设置有检查口，在该检查口的外侧设置有包围该检查口的辅助槽，在该辅助槽的侧面部也设置有检查口，在这些检查口以能够装拆的方式安装有侧面盖板，所以对于来自处理槽的液体泄漏措施也足够充分。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，在电镀处理槽内的电镀液中将被供给阴极电流的基板制品以板面位于上下的状态在被供给阳极电流的上电极与下电极之间向一个方向水平地搬运，在该水平搬运过程中对基板制品进行电解电镀处理，向一个方向水平地搬运所述基板制品的装置具备：搬运驱动装置，设置于隔着基板制品的搬运通路的两侧，被呈环状地环绕驱动；及呈在上下方向上长的形状的多个夹紧卡具，上部在空中安装于该搬运驱动装置从而环绕移动，在该夹紧卡具的下部具有夹持触点部，在利用在隔着所述搬运通路且相互平行的内侧的直线移动路径上移动的多个夹紧卡具的夹持触点部从上下方向夹持基板制品的两侧缘部而使该基板制品的板面处于上下的状态下，在处理槽内的电镀液中向一个方向水平地搬运所述基板制品，所述电解电镀装置的特征在于，在塑料制的所述电镀处理槽的沿着制品搬运方向的两个侧面部切缺形成有能够从外侧对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的内侧检查口，该内侧检查口的切缺开口下缘部以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该内侧检查口以能够装拆的方式安装有从外侧将该内侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的塑料制的内侧的侧面盖板，而且在所述电镀处理槽的两个侧面部分别设置有从外侧包围所述内侧检查口且具有底面部和侧面部的辅助槽，在该辅助槽的与所述内侧检查口对应的侧面部的位置切缺形成有能够从外侧通过所述内侧检查口对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的外侧检查口，该外侧检查口的切缺开口下缘部也以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该外侧检查口以能够装拆的方式安装有将该外侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的外侧的侧面盖板，而且，所述夹紧卡具经由具有导电性的夹紧卡具安装体安装于所述搬运驱动装置，所述夹紧卡具安装体与所述搬运驱动装置连结，以一边与沿着该夹紧夹具的移动路径固定配置的固定导轨滑动接触一边移动的方式从外侧与该导轨嵌合，所述夹紧卡具具备：具有导电性的固定夹紧部，其上方部在空中固定保持于所述夹紧卡具安装体，呈在上下方向上长的形状；及具有导电性的可动夹紧部，被该固定夹紧部保持为能够上下移动，呈在上下方向上长的形状，所述夹紧卡具具备如下的开闭机构，即，相对于在所述固定夹紧部的下端部形成的夹持触点部，利用压缩弹簧的作用力使形成于所述可动夹紧部的下端部的夹持触点部向下移动或向上移动而关闭，使设置于该夹紧卡具的上部的卡合体与在环绕移动的该夹紧卡具的打开位置固定配置的具有高低差的卡合引导件卡合，从而克服所述压缩弹簧的作用力而将所述可动夹紧部的夹持触点部相对于所述固定夹紧部的夹持触点部打开，所述夹紧卡具是从该夹紧卡具的夹持触点部经由所述固定导轨、所述夹紧卡具安装体及该夹紧卡具向所述基板制品供给阴极电流的夹紧卡具，在所述固定夹紧部的上方部贯穿设置有左右一对螺栓卡合孔，在所述夹紧卡具安装体的所述搬运通路侧的安装壁面上的与所述螺栓卡合孔对应的位置，以螺栓头部突出的状态螺合安装有左右一对固定用螺栓，所述螺栓卡合孔的下方孔部形成为允许所述固定用螺栓的螺栓头部通过的宽度，所述螺栓卡合孔的与该下方孔部连续的上方孔部形成为允许所述固定用螺栓的螺栓轴部通过但不允许螺栓头部通过的窄的宽度，由此，所述夹紧卡具形成为能够通过形成于该夹紧卡具的固定夹紧部的螺栓卡合孔和螺合安装于所述夹紧卡具安装体的固定用螺栓将所述夹紧夹具以能够装拆的方式固定安装于所述夹紧卡具安装体的构造。

根据本发明，作业人员能够从槽外通过拆除了内外的侧面盖板的内外的检查口容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。并且，所述夹紧卡具的结构如下：与固定导轨卡合为滑动移动自如，并且能够安装于通过搬运驱动装置(链驱动装置)环绕移动的夹紧卡具安装体并且能够从该夹紧卡具安装体拆除，能够通过固定用螺栓和螺栓卡合孔简单且可靠地装拆，所以已拆除的夹紧卡具的保养检查容易，并且通过在槽内的保养检查作业时将多个夹紧卡具从夹紧卡具安装体拆除，能够更容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

另外，本发明提供一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，其特征在于，能够将所述内侧的侧面盖板安装于所述内侧检查口以及从所述内侧检查口拆除的安装单元在所述侧面部的外侧面突出形成有沿着所述内侧检查口的切缺开口缘部的上方开口的阶梯状的卡定框体，该卡定框体突出形成为在将内侧的侧面盖板从外侧嵌合安装于该卡定框体的内侧卡定部内时，在该卡定框体的内侧卡定部与所述内侧检查口的切缺开口缘部之间的外侧面残留有间隙面，该间隙面发挥作为用面挡住该侧面盖板的两侧缘部和下侧缘部而卡定的卡定面部的功能，所述安装单元在该卡定框体的内侧卡定部内将内侧的侧面盖板从外侧装拆自如地嵌合安装为由所述卡定面部卡定的的状态，具备多个按压构件，该多个按压构件以使作用端侧能够在按压固定位置与按压解除位置之间转动的方式利用螺栓和螺母将另一端部侧以能够转动的方式支撑于所述卡定框体的顶面部，所述按压固定位置是能够从外侧对所嵌合安装的内侧的侧面盖板向所述卡定面部侧按压并紧固固定的位置，所述按压解除位置是将该侧面盖板拆除的位置，通过从电镀处理槽的内侧插入为螺合安装状态的螺栓和从电镀处理槽的外侧与该螺栓轴部螺合的翼形螺母，将上述的按压构件以能够转动的方式支撑于所述卡定框体的顶面部。

本发明的构造为，通过用人手松缓转动电镀处理槽的外侧的翼形螺母(旋钮螺母)，使按压构件旋转移动到按压解除位置，从而将由所述卡定框体和卡定面部卡定的内侧的侧面盖板从电镀处理槽的内侧检查口容易地拆除。另外，通过用人手向紧固方向反向转动电镀处理槽的外侧的翼形螺母(旋钮螺母)，使按压构件转动移动到按压固定位置，从而将通过所述卡定框体和卡定面部卡定的内侧的侧面盖板容易地安装于电镀处理槽的内侧检查口而形成密闭状态。

另外，本发明提供一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，其特征在于，能够将所述外侧的侧面盖板安装于所述外侧检查口以及从所述外侧检查口拆除的安装单元在所述外侧检查口的切缺开口缘部的左右侧缘部设置有供外侧的侧面盖板的两侧边部以能够上下滑动的状态嵌合的引导槽部，在所述外侧检查口的切缺开口缘部的底缘部设置有卡定侧面盖板的底边部的卡定槽部，从而将外侧的侧面盖板安装为沿着所述引导槽部上下滑动自如。

本发明形成为，通过左右的引导槽部引导外侧的侧面盖板的上下滑动式的装拆构造。由此，能够容易地将外侧的侧面盖板安装于辅助槽的外侧检查口并且容易地从辅助槽的外侧检查口拆除。

发明的效果

根据本发明，由于在电镀处理槽及辅助槽的各侧面部切缺形成有检查口，所以作业人员能够排出电镀处理槽内的电镀液并通过拆除了内侧及外侧的侧面盖板的检查口而从槽外容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

并且，本发明的水平搬运式的电解电镀装置是在电镀处理槽内的电镀液中水平地搬运基板制品的过程中对基板制品进行电镀处理的电解电镀装置，所以与一边以垂直姿势在电镀液中搬运基板制品一边对基板制品进电镀处理的方式的电镀装置相比，能够形成为电镀处理槽的高度低的构造。由此，根据本发明，能够在作业人员能够从装置外简单地安装拆除侧面盖板的适当的高度位置将电镀处理槽载置配置于台架上，槽内备用品的保养检查作业容易。

并且，本发明的构造为，在电镀处理槽的侧面部设置有检查口，在该检查口的外侧设置有包围该检查口的辅助槽，在该辅助槽的侧面部也设置有检查口，在这些检查口以能够装拆的方式安装有侧面盖板，所以对于来自处理槽的液体泄漏措施也足够充分。

并且，根据本发明，所述夹紧卡具是通过与固定导轨卡合为滑动移动自如且能够安装于通过搬运驱动装置(链驱动装置)环绕移动的夹紧夹具安装体并且能够从该夹紧夹具安装体拆除，能够通过固定用螺栓和螺栓卡合孔简单且可靠地安装拆除的构造，所以已拆除的夹紧卡具的保养检查容易，并且在槽内的保养检查作业时将多个夹紧卡具从夹紧卡具安装体拆除，从而能够更容易地进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

而且，根据本发明，能够利用按压构件将由卡定框体和卡定面部卡定的内侧的侧面盖板简单且可靠地安装于电镀处理槽的内侧检查口以及将由卡定框体和卡定面部卡定的内侧的侧面盖板拆除。另外，由于外侧的侧面盖板也是上下滑动式的装拆构造，所以能够简单且可靠地安装于辅助槽的外侧检查口以及从辅助槽的外侧检查口拆除。

附图说明

图1是本发明的概略纵剖主视图。

图2是本发明的概略俯视图。

图3是本发明的主要部分的侧视图，(A)是示出内侧检查口的图，(B)是示出外侧检查口的图。

图4是本发明的主要部分的纵剖主视图。

图5是本发明的主要部分的横剖俯视图。

图6是本发明的装拆式的夹紧夹具的一例的图，(A)是主视图，(B)是侧视图。

标号说明

1 电镀处理槽

W 电镀液

P 基板制品

L 基板制品的水平的搬运水平线

2、2 上下阳极

3 搬运通路

4、4 搬运驱动装置

5 夹紧卡具

6 夹持触点部

10 内侧检查口

11 内侧的侧面盖板

12 卡定框体

13 卡定面部

14 按压构件

15 螺栓

16 翼形螺母(旋钮螺母)

20 辅助槽

22 外侧检查口

23 外侧的侧面盖板

24 引导槽部

25 卡定槽部

28 台架

29 电镀液的管理槽

30 固定导轨

31 夹紧卡具安装体

32 固定夹紧部

33 可动夹紧部

34 压缩弹簧

35 卡合引导件

36 卡合体

40 螺栓卡合孔

40a 下方孔部

40b 上方孔部

41 固定用螺栓

具体实施方式

基于附图说明本发明的实施方式。图1及图2是概略地示出本发明的水平搬运式的电解电镀装置的整体的图。该水平搬运式的电解电镀装置在电镀处理槽1内的电镀液W中将被供给阴极电流的矩形基板制品P(印刷线路板等薄的板状制品)以板面处于上下的状态在被供给阳极电流的上电极与下电极之间(2、2)向一个方向(图2的箭头F方向)水平地搬运，在该水平搬运过程中，对基板制品P进行电解电镀处理。并且，在图示的实施方式中，作为向一个方向(图2的箭头F方向)水平地搬运基板制品P的装置由如下的装置构成，即，具备：滚链等搬运驱动装置4、4，设置于隔着基板制品P的搬运通路3的两侧，被驱动为呈环地沿周向转动；及呈在上下方向上长的形状的多个夹紧卡具5，上部在空中安装于该搬运驱动装置4从而环绕移动，在下部具有夹持触点部6，在利用在隔着所述搬运通路3且相互平行的内侧直线移动路径上移动的多个夹紧卡具5的夹持触点部6从上下方向夹持基板制品P的两侧缘部而使该基板制品P的板面处于上下的状态下，在处理槽1内的电镀液W中向一个方向水平地搬运基板制品P。滚链等所述搬运驱动装置4形成为，卷架在链轮、带有槽的带轮上，被搬运驱动用马达(未图示)驱动旋转，从而被呈环状地环绕驱动。此外，在图2中，仅在一部分范围表示驱动夹紧卡具5呈环地沿周向转动的搬运驱动装置(滚链)4，但是在全部范围内该搬运驱动装置4等间隔地安装。

在本发明中，其特征在于，在塑料制的所述电镀处理槽1的沿着制品搬运方向的两个侧面部以大致U字状的方式切缺形成有能够从外侧对处理槽1内进行保养检查的上方开口的内侧检查口10，该内侧检查口10的切缺开口下缘部以至少处于基板制品P的水平的搬运水平线(在图2及图3中用标号L表示)的下方的高度位置的方式切缺形成，在该内侧检查口10以能够装拆的方式安装有能够拆除的横向长的长方形的塑料制的内侧的侧面盖板11，该塑料制的内侧的侧面盖板11从外侧将该内侧检查口10堵塞为密闭状态。所述内侧检查口10在两个侧面部分别形成有多个。此外，内侧检查口10的数量根据电镀处理槽1的侧面部的长度决定。

而且，本发明的特征在于，在所述电镀处理槽1的两个侧面部分别设置有从外侧包围所述内侧检查口10且具有底面部和侧面部的塑料制的辅助槽20，在该辅助槽20的侧面部的与所述内侧检查口10对应的位置以大致U字状的方式切缺形成有能够从外侧通过所述内侧检查口10对处理槽1内进行保养检查的上方开口的外侧检查口22，该外侧检查口22的切缺开口下缘部也至少位于比基板制品P的水平的搬运水平线(在图1及图3用标号L表示)的下方的高度位置的方式切缺形成，在该外侧检查口22以能够装拆的方式安装有能够拆除的横向长的长方形的塑料制的外侧的侧面盖板23，该侧面盖板23将该外侧检查口22堵塞为密闭状态。

如图1所示，本发明是能够在电镀处理槽1内的电镀液W中水平地搬运基板制品P的过程中进行电镀处理的水平搬运式的电解电镀装置，所以与一边在电镀液中以垂直姿势搬运基板制品一边对基板制品进行电镀处理的方式的电镀装置相比，能够形成为电镀处理槽1的高度低的构造(图1的实施例所示的电镀处理槽1的高度约为32cm)。因此，如图1所示，能够在作业人员能够从装置外简单地装拆侧面盖板11、23的适宜的高度位置将电镀处理槽1载置配置于台架28上。此外，在图1中，标号20A是设置于辅助槽20的底面部的电镀液的排出管，标号29是设置于电镀处理槽1的下方的电镀液的管理槽，排出管20A和电镀液的管理槽29经由管连通。另外，在图1中，标号1A是设置于电镀处理槽1的底面部的电镀液的排出管，该排出管1A也经由管与电镀液的管理槽29连通。管理槽29暂时性地贮存从电镀处理槽1和辅助槽20排出的电镀液，在电镀处理时，使电镀液从管理槽29返回电镀处理槽1。

如图3～图5所示，在本发明中，能够将所述内侧的侧面盖板11安装于所述内侧检查口10以及从所述内侧检查口10拆除的安装单元的结构为，在所述侧面部的外侧面突出形成有沿着所述内侧检查口10的切缺开口缘部的上方开口的阶梯状的卡定框体12，该卡定框体12突出形成为，在从外侧向该卡定框体的内侧卡定部内嵌合安装内侧的侧面盖板11时，在该卡定框体12的内侧卡定部与所述内侧检查口10的切缺开口缘部之间的外侧面残留有发挥卡定面部13的功能的间隙面，该卡定面部13用面挡住该侧面盖板11的两侧缘部和下侧缘部而将该侧面盖板11的两侧缘部和下侧缘部卡定，从外侧将内侧的侧面盖板11装拆自由地嵌合安装于该卡定框体12的内侧卡定部内而呈由所述卡定面部13卡定的状态，具备多个(在图3的实施例中合计8个)按压构件14，该多个按压构件14以使作用端侧能够在按压固定位置与按压解除位置之间转动的方式利用螺栓和螺母将另一端部侧以能够转动的方式支撑于所述卡定框体12的顶面部，所述按压固定位置是能够从外侧对嵌合安装的内侧的侧面盖板11向所述卡定面部13按压并紧固固定的位置，所述按压解除位置是将该侧面盖板11拆除的位置，通过从电镀处理槽的内侧插入为螺合安装状态的螺栓15和从电镀处理槽的外侧与该螺栓轴部螺合的翼形螺母(旋钮螺母)16，将这些按压构件14以能够转动的方式支撑于所述卡定框体12的顶面部。

这样，如图3～图5所示的本发明形成为如下的构造，即，通过人手松缓转动电镀处理槽的外侧的翼形螺母(旋钮螺母)16，使按压构件14转动移动至按压解除位置，从而使由所述卡定框体12和卡定面部13卡定的内侧的侧面盖板11从电镀处理槽1的内侧检查口10容易地拆除。另外，利用人手向紧固方向反向旋转电镀处理槽1的外侧的翼形螺母(旋钮螺母)16，使按压构件14旋转移动至按压固定位置，从而能够将通过所述卡定框体12和卡定面部13卡定的内侧的侧面盖板11容易地安装于电镀处理槽1的内侧检查口10而形成密闭状态。

此外，如图3～图4所示，在内侧的侧面盖板11形成有从该侧面盖板的上端部向外侧呈大致L字状延伸的顶板部11a，通过该顶板部11a从上方覆盖辅助槽20。而且，在内侧的侧面盖板11的外侧面安装有容易从外侧抓住该板的把手11b。

而且，如图3～图5所示，在本发明中，能够将所述外侧的侧面盖板23安装于所述外侧检查口22以及从所述外侧检查口22拆除的安装单元的结构为，在所述外侧检查口22的切缺开口缘部的左右侧缘部设置有引导槽部24，外侧的侧面盖板23的两侧边部以能够上下滑动的状态与引导槽部24嵌合，在所述外侧检查口22的切缺开口缘部的底缘部设置有与侧面盖板23的底边部卡定的卡定槽部25，从而将外侧的侧面盖板23安装为沿着所述引导槽部24上下滑动自如。在本发明中，形成为通过左右的引导槽部24引导外侧的侧面盖板23的上下滑动式的装拆构造。由此，能够使外侧的侧面盖板23容易地安装于辅助槽20的外侧检查口22并且能够容易地从辅助槽20的外侧检查口22拆除外侧的侧面盖板23。

此外，如图3～图5所示，在外侧的侧面盖板23形成有从该侧面盖板的上端部向内侧大致L字状延伸的顶板部23a，通过该顶板部23a从上方覆盖辅助槽20。而且，在外侧的侧面盖板23的外侧面安装有容易从外侧抓住该板的把手23b。该把手23b兼有对该板进行加强的肋功能。

如图3的(A)及图6所示，本发明的夹紧卡具5的特征在于形成为能够装拆的构造。所述夹紧卡具5经由具有导电性的夹紧卡具安装体31安装于所述搬运驱动装置3，该夹紧卡具安装体31与滚链等搬运驱动装置4连结，以一边与沿着该夹紧卡具的移动路径固定配置的固定导轨30滑动接触一边移动的方式从外侧与该导轨30嵌合。所述夹紧卡具5具备：具有导电性的固定夹紧部32，其上方部在空中固定保持于所述夹紧卡具安装体31，呈在上下方向上长的形状；及具有导电性的可动夹紧部33，被该固定夹紧部32保持为能够上下移动，呈在上下方向上长的形状，所述夹紧卡具5具备如下的开闭机构，即，相对于在所述固定夹紧部32的下端部形成的夹持触点部6，利用压缩弹簧34的作用力使形成于所述可动夹紧部33的下端部的夹持触点部6向下移动或向上移动而关闭(在图6中示出了向下移动而关闭的实施例)，使设置于该夹紧卡具的上部的卡合体36与在环绕移动的该夹紧卡具5的打开位置固定配置的具有高低差的卡合引导件35卡合，从而克服所述压缩弹簧34的作用力而使所述可动夹紧部33的夹持触点部6相对于所述固定夹紧部32的夹持触点部6打开。

在图6的实施例中，采用如下的开闭机构，即，所述卡合体36构成为，以大致L字型的反转杆36a的弯曲部作为支点部反转自如地安装于所述固定夹紧部32的上端部，该反转杆36a的下方臂部的顶端经由销轴转动自如地与所述可动夹紧部33的上端部连结，在所述反转杆36a的上方臂部的顶端安装有旋转辊36b，在该旋转辊36b沿着所述卡合引导件35的上表面部转动的卡合状态下，所述上方臂部向上方反转，使与所述下方臂部连结的所述可动夹紧部33克服压缩弹簧34的作用力向上移动，所述可动夹紧部33的夹持触点部6相对于所述固定夹紧部32的夹持触点部6打开。

能够从该夹紧卡具的夹持触点部6经由所述固定导轨30、所述夹紧卡具安装体31及该夹紧卡具5向所述基板制品P供给阴极电流。

如图6所示，在所述固定夹紧部32的上方部贯穿设置有左右一对螺栓卡合孔40，在所述夹紧卡具安装体31的所述搬运通路侧的安装壁面上的与所述螺栓卡合孔40对应的位置以螺栓头部突出的状态螺合安装有左右一对固定用螺栓41，所述螺栓卡合孔40的下方孔部40a形成为允许所述固定用螺栓41的螺栓头部通过的宽度，将与该下方孔部40a连续的上方孔部40b形成为允许所述固定用螺栓41的螺栓轴部通过但不允许螺栓头部通过的窄的宽度。在图6的(B)所示的实施例中，将下方孔部40a形成为宽的圆形，将与该下方孔部40a连续的上方孔部40b形成为窄的纵长形状。

在对从所述夹紧夹具安装体31拆除的夹紧卡具5进行安装时，如图6所示，以螺栓头部突出的状态螺合安装于夹紧卡具安装体31的左右一对固定用螺栓41在穿过夹紧夹具5的螺栓卡合孔40的宽的下方孔部40a之后，使夹紧卡具5向下，窄的纵长的上方孔部40b与固定用螺栓41卡定，夹紧夹具5被夹紧卡具安装体31保持为固定状态。然后，如果紧固固定用螺栓41则能够更可靠地保持固定状态。在从夹紧卡具安装体31拆除夹紧卡具5时，稍微松缓紧固的固定用螺栓41，使夹紧卡具5向上，从而能够容易地将夹紧卡具5从宽的下方孔部40a拆除。由此，能够简单且可靠地装拆在上下方向上长的构造的夹紧卡具6。

根据本发明，作业人员能够通过拆除了内外的侧面盖板11、23的内外的检查口10、22，从槽外容易地进行电镀处理槽1的内部的保养检查作业。并且，所述夹紧卡具5滑动移动自如地卡合于固定导轨30，并且能够向通过搬运驱动装置(链驱动装置)4而环绕移动的夹紧卡具安装体31安装以及从夹紧卡具安装体31拆除，是能够通过固定用螺栓41和螺栓卡合孔40简单且可靠地装拆的结构，因此，对拆除的夹紧卡具5的保养检查容易，并且如图3的(A)所示，在对槽l内进行保养检查作业时，能够通过从夹紧卡具安装体31拆除多个夹紧卡具5而更容易地进行电镀处理槽1的内部的保养检查作业。

Claims (4)

1.一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，在电镀处理槽内的电镀液中将被供给阴极电流的基板制品以板面处于上下的状态在被供给阳极电流的上电极与下电极之间向一个方向水平地搬运，在该水平搬运过程中对基板制品进行电解电镀处理，

所述电解电镀装置的特征在于，

在塑料制的所述电镀处理槽的沿着制品搬运方向的两个侧面部切缺形成有能够从外侧对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的内侧检查口，该内侧检查口的切缺开口下缘部以至少处于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该内侧检查口以能够装拆的方式安装有从外侧将该内侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的塑料制的内侧的侧面盖板，而且在所述电镀处理槽的两个侧面部分别设置有从外侧包围所述内侧检查口且具有底面部和侧面部的辅助槽，在该辅助槽的与所述内侧检查口对应的侧面部的位置切缺形成有能够从外侧通过所述内侧检查口对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的外侧检查口，该外侧检查口的切缺开口下缘部也以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该外侧检查口以能够装拆的方式安装有将该外侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的外侧的侧面盖板。

2.一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，在电镀处理槽内的电镀液中将被供给阴极电流的基板制品以板面位于上下的状态在被供给阳极电流的上电极与下电极之间向一个方向水平地搬运，在该水平搬运过程中对基板制品进行电解电镀处理，

所述电解电镀装置的特征在于，

向一个方向水平地搬运所述基板制品的装置具备：搬运驱动装置，设置于隔着基板制品的搬运通路的两侧，被呈环状地环绕驱动；及呈在上下方向上长的形状的多个夹紧卡具，上部在空中安装于该搬运驱动装置从而环绕移动，在该夹紧卡具的下部具有夹持触点部，在利用在隔着所述搬运通路且相互平行的内侧的直线移动路径上移动的多个夹紧卡具的夹持触点部从上下方向夹持基板制品的两侧缘部而使该基板制品的板面处于上下的状态下，在处理槽内的电镀液中向一个方向水平地搬运所述基板制品，

在塑料制的所述电镀处理槽的沿着制品搬运方向的两个侧面部切缺形成有能够从外侧对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的内侧检查口，该内侧检查口的切缺开口下缘部以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该内侧检查口以能够装拆的方式安装有从外侧将该内侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的塑料制的内侧的侧面盖板，而且在所述电镀处理槽的两个侧面部分别设置有从外侧包围所述内侧检查口且具有底面部和侧面部的辅助槽，在该辅助槽的与所述内侧检查口对应的侧面部的位置切缺形成有能够从外侧通过所述内侧检查口对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的外侧检查口，该外侧检查口的切缺开口下缘部也以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该外侧检查口以能够装拆的方式安装有将该外侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的外侧的侧面盖板，

而且，所述夹紧卡具经由具有导电性的夹紧卡具安装体安装于所述搬运驱动装置，所述夹紧卡具安装体与所述搬运驱动装置连结，以一边与沿着该夹紧夹具的移动路径固定配置的固定导轨滑动接触一边移动的方式从外侧与该导轨嵌合，所述夹紧卡具具备：具有导电性的固定夹紧部，其上方部在空中固定保持于所述夹紧卡具安装体，呈在上下方向上长的形状；及具有导电性的可动夹紧部，被该固定夹紧部保持为能够上下移动，呈在上下方向上长的形状，

所述夹紧卡具具备如下的开闭机构，即，相对于在所述固定夹紧部的下端部形成的夹持触点部，利用压缩弹簧的作用力使形成于所述可动夹紧部的下端部的夹持触点部向下移动或向上移动而关闭，使设置于该夹紧卡具的上部的卡合体与在环绕移动的该夹紧卡具的打开位置固定配置的具有高低差的卡合引导件卡合，从而克服所述压缩弹簧的作用力而将所述可动夹紧部的夹持触点部相对于所述固定夹紧部的夹持触点部打开，

所述夹紧卡具是从该夹紧卡具的夹持触点部经由所述固定导轨、所述夹紧卡具安装体及该夹紧卡具向所述基板制品供给阴极电流的夹紧卡具，

在所述固定夹紧部的上方部贯穿设置有左右一对螺栓卡合孔，在所述夹紧卡具安装体的所述搬运通路侧的安装壁面上的与所述螺栓卡合孔对应的位置，以螺栓头部突出的状态螺合安装有左右一对固定用螺栓，所述螺栓卡合孔的下方孔部形成为允许所述固定用螺栓的螺栓头部通过的宽度，所述螺栓卡合孔的与该下方孔部连续的上方孔部形成为允许所述固定用螺栓的螺栓轴部通过但不允许螺栓头部通过的窄的宽度，由此，所述夹紧卡具形成为能够通过形成于该夹紧卡具的固定夹紧部的螺栓卡合孔和螺合安装于所述夹紧卡具安装体的固定用螺栓将所述夹紧夹具以能够装拆的方式固定安装于所述夹紧卡具安装体的构造。

3.根据权利要求1或2所述的保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，其特征在于，

能够将所述内侧的侧面盖板安装于所述内侧检查口以及从所述内侧检查口拆除的安装单元在所述侧面部的外侧面突出形成有沿着所述内侧检查口的切缺开口缘部的上方开口的阶梯状的卡定框体，

该卡定框体突出形成为在将内侧的侧面盖板从外侧嵌合安装于该卡定框体的内侧卡定部内时，在该卡定框体的内侧卡定部与所述内侧检查口的切缺开口缘部之间的外侧面残留有间隙面，该间隙面发挥作为用面挡住该侧面盖板的两侧缘部和下侧缘部而卡定的卡定面部的功能，

所述安装单元在该卡定框体的内侧卡定部内将内侧的侧面盖板从外侧装拆自如地嵌合安装为由所述卡定面部卡定的状态，具备多个按压构件，该多个按压构件以使作用端侧能够在按压固定位置与按压解除位置之间转动的方式利用螺栓和螺母将另一端部侧以能够转动的方式支撑于所述卡定框体的顶面部，所述按压固定位置是能够从外侧对嵌合安装的内侧的侧面盖板向所述卡定面部侧按压并紧固固定的位置，所述按压解除位置是将该侧面盖板拆除的位置，

通过从电镀处理槽的内侧插入为螺合安装状态的螺栓和从电镀处理槽的外侧与该螺栓轴部螺合的翼形螺母，将上述的按压构件以能够转动的方式支撑于所述卡定框体的顶面部。

4.根据权利要求1或2所述的保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，其特征在于，

能够将所述外侧的侧面盖板安装于所述外侧检查口以及从所述外侧检查口拆除的安装单元在所述外侧检查口的切缺开口缘部的左右侧缘部设置有供外侧的侧面盖板的两侧边部以能够上下滑动的状态嵌合的引导槽部，在所述外侧检查口的切缺开口缘部的底缘部设置有卡定侧面盖板的底边部的卡定槽部，从而将外侧的侧面盖板安装为沿着所述引导槽部上下滑动自如。