CN103374745A - 水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具。本发明提供一种提高下夹紧接点部和上下动的上夹紧接点部的一致精度，能够进行由上下夹紧接点部夹紧的薄板状被处理物的稳定运送和稳定供电的水平运送电镀处理装置的夹紧夹具。本发明中，做成由上下部保持导向构件将下端部具备上夹紧接点部（10a）的可动夹紧杆（12）可上下动地保持在下部具备下夹紧接点部（10b）的固定夹紧杆（11），下部保持导向构件（14B）通过与插通于平行地贯穿设置在固定夹紧杆上的长孔导向器（15）的连接螺栓（16）将可动夹紧杆经垫片（17）以平行状态与固定夹紧杆螺栓螺母连接，该连接做成与垫片固定化的可动夹紧杆经插通于长孔导向器（15）的螺栓轴部被固定夹紧杆可上下动地保持的结构。

Description

水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具

技术领域

本技术方案涉及将印刷配线基板等薄板状被处理物的侧缘部从上下方向夹紧，并水平运送，在该水平运送过程中，对薄板状被处理物进行电镀处理的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具。

背景技术

作为印刷配线基板等薄板状被处理物的电镀处理装置，已知水平运送电镀处理装置，该水平运送电镀处理装置安装在被设置在薄板状被处理物的运送通路的单侧或者两侧的被环状地旋转驱动的运送驱动构件上并被旋转驱动，由在该旋转驱动路径中的前述运送通路侧的直线驱动路径部移动的夹紧夹具群将薄板状被处理物的单侧或者两侧的侧缘部从上下方向夹紧，以使该薄板状被处理物的板面为上下的水平状态向一方向连续地水平运送，在该水平运送过程中，使被前述夹紧夹具保持且被水平运送的薄板状被处理物在处理槽内的处理液中通过，对薄板状被处理物进行电镀处理（例如，专利文献1、2）。

作为该水平运送电镀处理装置的夹紧夹具，本申请人已经开发并提出了专利文献2的夹紧夹具。该夹紧夹具（在专利文献2中，称为夹持卡盘。）是以夹紧的自动开闭控制机构为主要的特征提出的夹紧夹具，在固定夹紧杆（在专利文献2中称为固定卡盘杆。）可上下动地保持的可动夹紧杆（在专利文献2中称为可动卡盘杆。）的保持构件在固定夹紧杆（固定卡盘杆25）的外侧面固定地设置上下两个保持部材25b、25c，由该上下的保持部材25b、25c上下动自由地保持棒形状的可动夹紧杆（可动卡盘杆26）。即、如专利文献2的图4、5所示，将棒形状的可动夹紧杆（可动卡盘杆）插通上下的保持部材25b、25c的上下方向的插通孔，可上下动地保持。

该夹紧夹具由于被前述固定夹紧杆可上下动地保持的前述可动夹紧杆的保持导向构件是棒形状的可动夹紧杆（可动卡盘杆）插通在上下的保持部材25b、25c的插通孔，可上下动地保持的结构，所以，难以将固定夹紧杆和可动夹紧杆的间隔宽度保持为稳定的状态，而且，存在棒状（圆棒）的可动夹紧杆在周方向摇晃的可能性。

其结果为，存在在夹紧夹具的固定夹紧杆的下夹紧接点部和上下动的可动夹紧杆的上夹紧接点部关闭的状态下，产生偏差，不能进行薄板状被处理物的稳定地运送的可能性，存在不能向薄板状被处理物进行稳定地供电的可能性。

尤其是，如图3所示，在为了缩窄薄板状被处理物的侧缘和夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成使夹紧接点部在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状的情况下，相对于固定侧的下夹紧接点部上下动的上夹紧接点部在距离间隙（图3中符号L所示。）方向产生摇晃，另外，产生图3单点划线所示那样的摇晃，上下接点部偏差不一致的弊端明显。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公平6-31476号公报

专利文献2：日本特开2011-68492号公报

基于这样的实际情况，本技术方案以提供一种提高夹紧夹具的固定夹紧杆的下夹紧接点部和上下动的可动夹紧杆的上夹紧接点部的一致精度，能够进行薄板状被处理物的稳定地运送，且能够向薄板状被处理物进行稳定地供电的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具为主要目的。

尤其是，以提供一种即使在为了缩窄薄板状被处理物的侧缘和夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成使夹紧接点部在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状的情况下，也不存在相对于固定侧的下夹紧接点部上下动的上夹紧接点部在距离间隙（图3中符号L所示。）方向摇晃，另外，也不存在图3中单点划线所示那样的摇晃，能够提高上下接点部的一致精度的夹紧夹具为主要目的。

发明内容

为了解决上述课题，本技术方案（技术方案1的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，是安装在被设置在薄板状被处理物的运送通路的单侧或者两侧的被环状地旋转驱动的运送驱动构件上，并被旋转驱动，由在该旋转驱动路径中的前述运送通路侧的直线驱动路径部移动的夹紧夹具群从上下方向将薄板状被处理物的单侧或者两侧的侧缘部夹紧，在以该薄板状被处理物的板面为上下的水平状态向一方向连续地水平运送，在该水平运送过程中，使由前述夹紧夹具保持并被水平运送的薄板状被处理物在处理槽内的处理液中通过，对薄板状被处理物进行电镀处理的水平运送电镀处理装置的夹紧夹具，其中，前述夹紧夹具包括被安装在前述运送驱动构件，且被外嵌成沿在顺着前述直线驱动路径部的水平方向配置的固定导轨一面滑动接触一面移动的由导电材料构成的夹紧安装体、被该夹紧安装体保持的夹紧主体，该夹紧主体被配置在该夹紧主体的下方部分能够在前述处理槽的处理液中移动的位置，被形成为前述夹紧主体的上方部分为空心，被前述夹紧安装体保持的在上下方向长的形状，在该夹紧主体的下端部具备能够将薄板状被处理物的侧缘部从上下方向夹紧的上夹紧接点部和下夹紧接点部，前述夹紧主体包括固定夹紧杆和可动夹紧杆，所述固定夹紧杆具有上方部被固定保持在前述夹紧安装体，将下端部向运送通路侧呈L字状折曲的弯曲部，由在上下方向长的板状的导电材料构成，所述可动夹紧杆可上下动地被保持在该固定夹紧杆上，至少将下方杆部形成为板状，由在上下方向长的形状的导电材料构成，在该可动夹紧杆的下端部具备前述上夹紧接点部，在前述固定夹紧杆的弯曲部具备承受前述上夹紧接点部的前述下夹紧接点部，通过压缩弹簧的弹簧压，使前述可动夹紧杆向下动，在常态下，将该可动夹紧杆的前述上夹紧接点部和前述固定夹紧杆的下夹紧接点部控制成在上下方向关闭的闭状态，在前述夹紧主体的上部附设使前述可动夹紧杆抵抗前述压缩弹簧的弹簧压向上移动，使上下夹紧接点部在上下方向打开的夹紧开闭控制构件，被前述固定夹紧杆可上下动地保持的前述可动夹紧杆的保持导向构件，由设置在前述固定夹紧杆的上部的上部保持导向构件和设置在与该上部保持导向构件相比为下方的下部保持导向构件构成，该下部保持导向构件做成在板状的固定夹紧杆的上下方向的大致中间部平行地贯穿设置在上下方向长的多个长孔导向器，由插通于各长孔导向器的连接螺栓将板状的固定夹紧杆和前述可动夹紧杆的板状的下方杆部的上部以经由导电材料构成的垫片保持一定的间隔的平行状态地进行螺栓螺母紧固连接的构造，且做成在前述垫片形成在水平方向插通的阴螺纹部，将前述连接螺栓的螺纹部拧入插通在该阴螺纹部的构造，前述螺栓螺母连接成为下述的连接状态，即、将前述可动夹紧杆和垫片固定一体化，且被一体化的前述可动夹紧杆和垫片经插通于各长孔导向器的螺栓轴部由各长孔导向器可上下动地导向，且前述垫片的与固定夹紧杆的对应面以面接触状态相对于固定夹紧杆可上下动地被保持。

另外，本技术方案（技术方案2的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，将前述可动夹紧杆做成棒状的上方杆部和板状的下方杆部经前述垫片在上下方向连结的可动夹紧杆，前述垫片做成包括夹在板状的前述固定夹紧杆和前述可动夹紧杆的板状的下方杆部的上部之间的垫片部、和一体形成在该垫片部之上的将前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部的下端部以螺纹连接状态紧固的连结部的结构。

另外，本技术方案（技术方案3的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，将前述上夹紧接点部和下夹紧接点部做成相对形状，将该相对形状的上下夹紧接点部做成与板状的固定夹紧杆以及可动夹紧杆的板状的下方杆部的各横向宽度相比，在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状。

另外，本技术方案（技术方案4的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，前述上部保持导向构件是以固定状态设置在前述固定夹紧杆的上部的保持导向部，做成在该保持导向部形成上下方向的插通孔，将前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部可上下动地插通并保持在该保持导向部的插通孔的结构。

另外，本技术方案（技术方案5的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，前述上部保持导向构件是以固定状态设置在前述固定夹紧杆的上部的保持导向部，做成在该保持导向部形成上下方向的插通孔，将前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部可上下动地插通并保持在该保持导向部的插通孔的结构，做成在该保持导向部和在与该保持导向部相比为下方的位置，固定地设置在前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部的棒周围的弹簧卡定体之间夹装前述压缩弹簧，使该压缩弹簧的弹簧压作用于弹簧卡定体，使前述可动夹紧杆向下动的结构。

另外，本技术方案（技术方案6的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，放入处理液中的夹紧杆主体的下方部分除前述上下夹紧接点部外，包覆绝缘包覆处理层。

另外，本技术方案（技术方案7的技术方案）提供一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，前述夹紧开闭控制构件被构成为，由支点轴以大致L字型的反转手柄的弯曲部为支点部反转自由地铰接在由前述夹紧安装体或者前述固定夹紧杆构成的固定侧，将该反转手柄的下方臂部的前端经销轴转动自由地连结在前述可动夹紧杆的上部，在前述反转手柄的上方臂部的前端安装旋转辊，做成在该旋转辊沿着被设置在顺着夹紧夹具的旋转驱动路径的夹紧开位置上的具有高低差的夹紧开闭导向器的上面部滚动的卡合状态下，前述上方臂部以前述支点轴为轴心向上方向反转，使与前述下方臂部连结的可动夹紧杆抵抗压缩弹簧的弹簧压向上动，控制成使前述可动夹紧杆的上夹紧接点部和前述固定夹紧杆的下夹紧接点部在上下方向离开的开状态的结构。

发明效果

根据本技术方案的夹紧夹具，能够提高固定夹紧杆的下夹紧接点部和上下动的可动夹紧杆的上夹紧接点部的一致精度，能够进行薄板状被处理物的稳定的运送，且能够向薄板状被处理物进行稳定地供电。

尤其是，根据本技术方案的夹紧夹具，即使在为了缩窄薄板状被处理物的侧缘和夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成使夹紧接点部在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状的情况下，也不存在相对于固定侧的下夹紧接点部上下动的上夹紧接点部在距离间隙（图3中符号L所示。）方向摇晃，另外，也不存在图3中单点划线所示那样的摇晃，能够提高上下接点部的一致精度。

附图说明

图1是表示本技术方案的夹紧夹具，（A）是侧视图，（B）是主视图。

图2是以图1（B）的A-A向视线为基础的放大纵剖侧视图。

图3是以图1（B）的B-B向视线为基础的横剖俯视图。

图4是使用本技术方案的夹紧夹具的水平运送电镀处理装置的概略俯视图。

具体实施方式

根据附图，对本技术方案的实施方式进行说明。首先，根据图4，说明使用本技术方案的夹紧夹具的水平运送电镀处理装置的概略。在图4中，表示由夹紧夹具从上下方向将薄板状被处理物P的两侧的侧缘部夹紧并水平运送的水平运送电镀处理装置。但是，本技术方案的夹紧夹具也可以在由夹紧夹具从上下方向将薄板状被处理物P的单侧的侧缘部夹紧并水平运送的水平运送电镀处理装置中使用。

图4所示的水平运送电镀处理装置是在将印刷配线基板等薄板状被处理物（下面有称为薄物基板P的情况。）P的运送通路1置于其间的两侧分别配设具备被环状地旋转驱动的辊链、正时皮带等运送驱动构件（在该实施例中为辊链，但也可以是正时皮带等。）2、2的运送构件，在该运送驱动构件2隔开等间隔安装多个夹紧夹具3…，由在这些夹紧夹具3的旋转驱动路径4中的运送通路1侧的直线驱动路径部4a移动的多个夹紧夹具3从上下方向夹紧具有平行的两侧缘部的柔性薄板状被处理物P的两侧缘部，以将该薄板状被处理物P的板面为上下的水平状态在处理槽5（在该实施例中做成电解电镀处理槽。）的电镀处理液F中向一方向（图1的箭头A方向）连续地水平运送，在该水平运送过程中，对该薄板状被处理物P的表面实施电解电镀处理的装置。

辊链、正时皮带等前述运送驱动构件2被缠挂在链轮、带槽的皮带轮上，构成为由运送驱动用马达（未图示出。）使一方的链轮、带槽的皮带轮辊旋转驱动而被环状地旋转驱动。隔开相等的间隔安装在被环状地旋转驱动的运送驱动构件2上的夹紧夹具3…如图1所示，以能够由多个夹紧夹具3夹持矩形的薄板状被处理物P的侧缘部的间隔安装。另外，在图1中，仅在环状的运送驱动构件2的一部分的范围表示了夹紧夹具3…，但是，是遍及该运送驱动构件2的整个范围等间隔地安装。设置在将运送通路1置于其间的两侧的运送驱动构件2、2被构成为以等速度被同步旋转驱动。另外，前述运送驱动构件2、2中的至少一方的运送驱动构件2做成相对于将运送通路1置于其间的另一方的运送驱动构件2，能够使运送通路1的横向宽度可变的能够在横向宽度方向移动的结构，做成能够调节在旋转驱动路径4中的运送通路1侧的直线驱动路径部4a、4a移动的夹紧夹具3…的横向宽度间隔的结构。据此，即使是横向宽度尺寸不同的薄物基板P也能够对应。

根据图1～图3，详细地说明前述夹紧夹具3的构造。该夹紧夹具3包括被安装在运送驱动构件2上，且被外嵌成沿着配置在顺着前述直线驱动路径部4a的水平方向的截面矩形状的固定导轨7一面滑动接触一面被导向并移动的不锈钢等金属制的夹紧安装体8和被该夹紧安装体8保持的不锈钢等金属制的夹紧主体10。由于夹紧夹具3的夹紧安装体8在薄板状被处理物P的运送过程中，一面沿前述固定导轨7被导向一面移动，所以，能够以由该夹紧夹具3稳定地保持薄板状被处理物P的状态进行水平运送。

前述夹紧主体10被配置在该夹紧主体10的下方部分能够在前述处理槽（电解电镀处理槽）5的电镀处理液F中移动的位置，具有该夹紧主体10的上方部分为空心，被前述夹紧安装体8保持的在上下方向长的构造，在该夹紧主体10的下端部具备能够在上下方向将薄板状被处理物P的侧缘部夹紧（夹持）、释放的上夹紧接点部10a和下夹紧接点部10b。

在本技术方案中，使前述固定导轨7作为供电轨道发挥功能，从该固定导轨（供电轨道）7通过夹紧夹具3向薄板状被处理物P供电阴极电流。另外，虽未图示出，但在前述处理槽（电解电镀处理槽）5的电镀处理液中配设将金属离子析出的阳极（例如，在被在电镀处理液中水平运送的薄板状被处理物P的上下位置配设板条状板的阳极。），通过夹紧夹具3被供电了阴极电流的簿板状被处理物P在被在电镀处理液中水平运送的过程中，其表面被实施电气电镀处理。

前述夹紧主体10包括具有上方部被固定保持在前述夹紧安装体8，将下端部向运送通路侧L字状折曲的弯曲部11A的由板状的导电材料构成的固定夹紧杆11、被该固定夹紧杆11上下动自由地保持，至少将下方杆部12B形成为板状的由导电材料构成的可动夹紧杆12。在前述可动夹紧杆12的下端部形成前述上夹紧接点部10a，在前述固定夹紧杆11的下端的弯曲部11A形成承受前述上夹紧接点部10a的前述下夹紧接点部10b。前述固定夹紧杆11将其板面固定保持在前述夹紧安装体8的外侧（运送通路侧）的垂直面。

由前述固定夹紧杆11上下动自由地保持的前述可动夹紧杆12的保持导向构件由设置在前述固定夹紧杆的上部的上部保持导向构件14A和设置在与该上部保持导向构件14A相比为下方的下部保持导向构件14B构成，该下部保持导向构件14B做成在板状的固定夹紧杆的上下方向的大致中间部平行地贯穿设置在上下方向长的多个（两个）长孔导向器15、15，由被插通于各长孔导向器15、15的连接螺栓16、16，将板状的固定夹紧杆11和前述可动夹紧杆12的板状的下方杆部12B的上部以经由导电材料构成的垫片17保持一定的间隔的平行状态螺栓螺母连接，该螺栓螺母连接是将前述可动夹紧杆12（板状的下方杆部12B）和垫片17固定并一体化，且被一体化的前述可动夹紧杆12（板状的下方杆部12B）和垫片17经被插通于各长孔导向器15的螺栓16的轴部由各长孔导向器15、15可上下动地导向，且前述垫片17的与固定夹紧杆11的对应面以面接触状态相对于固定夹紧杆11可上下动地被保持的结构。垫片17的接触面上下动，以便相对于前述固定夹紧杆11的接触面滑动接触。

在前述垫片17形成在水平方向插通的阴螺纹部18，做成将前述连接螺栓16的螺纹部拧入插通该阴螺纹部18的构造。在图1、2的实施例中，连接螺栓16为了能够在长孔导向器15内上下动而比较松地拧入插通垫片17的阴螺纹部18，经板状的下方杆部12B的安装孔插通从垫片17的相反侧突出的螺栓螺纹部，板状的下方杆部12B为与垫片固定一体化而被强地螺母19拧紧。另外，并不排除连接螺栓16从与图1、2的实施例相反的方向拧入插通垫片17的阴螺纹部18进行螺栓螺母连接的结构。

前述可动夹紧杆12的棒状的上方杆部12A和板状的下方杆部12B做成经前述垫片17在上下方向连结的构造。前述垫片17做成具有夹在板状的固定夹紧杆11和可动夹紧杆12的板状的下方杆部12B的上部之间的垫片部17A和一体地形成在该垫片部17A之上，且将可动夹紧杆12的棒状的上方杆部12A的下端部以螺纹连接状态紧固的连结部17B的构造。

前述上部保持导向构件14A是以固定状态设置在前述固定夹紧杆11的上部的保持导向部20，做成在该保持导向部20形成上下方向的插通孔21，将可动夹紧杆12的棒状的上方杆部12A可上下动地插通并保持在该保持导向部20的插通孔21的结构。

上夹紧接点部10a和下夹紧接点部10b由能够通过夹紧夹具3向前述薄板状被处理物P供电阴极电流的通电材形成。将上夹紧接点部10a和下夹紧接点部10b做成相对形状，该相对形状的上下夹紧接点部10a、10b为了缩窄薄板状被处理物P的侧缘和夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成与板状的固定夹紧杆11以及可动夹紧杆12的板状的下方杆部12B的各横向宽度相比在夹紧夹具3的移动方向延长得长的形状。由于将上下夹紧接点部10a、10b做成在夹紧夹具3的移动方向延长得长的形状，所以，即使是薄的柔性的薄物基板，也能够遍及延长得长的范围将该薄物基板P的侧缘部夹紧，尤其是，能够解决在薄物基板的先头侧的端部因由处理液产生的液阻力、从喷流管喷出的液流而从水平水准向上下方向弯曲的状态被运送的弊端。

根据本技术方案的夹紧夹具，通过由上部保持导向构件14A和下部保持导向构件14B构成被前述固定夹紧杆11上下动自由地保持的前述可动夹紧杆12的保持导向构件，尤其是将下部保持导向构件14B做成前述那样的特殊的结构，即使是在为了缩窄薄板状被处理物P的侧缘和夹紧接点部10a、10b的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部10a、10b的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成使夹紧接点部10a、10b在夹紧夹具3的移动方向延长得长的形状的情况下，也不存在相对于固定侧的下夹紧接点部10b上下动的上夹紧接点部10a在距离间隙（图3中符号L所示。）方向摇晃，另外，也不存在图3中单点划线所示那样的摇晃，能够提高上下接点部的一致精度。

虽未图示出，除上下夹紧接点部10a、10b以外的由通电材构成的夹紧治具3在液中的液接触部分被实施绝缘包覆处理。该绝缘包覆处理例如通过实施氯乙烯涂层处理来进行。

在以固定状态设置在固定夹紧杆11的上部的前述保持导向部20（上部保持导向构件14A）和与该保持导向部20相比的下方位置固定地设置在前述可动夹紧杆12的棒状的上方杆部12A的棒周围的弹簧卡定体24之间夹装压缩弹簧（压缩螺旋弹簧）25。压缩弹簧（压缩螺旋弹簧）25以在该压缩弹簧（压缩螺旋弹簧）25之中插通棒状的上方杆部12A的状态被夹装在保持导向部20（上部保持导向构件14A）和弹簧卡定体24之间。做成使该压缩弹簧25的弹簧压作用于弹簧卡定体24，使前述可动夹紧杆12向下动的结构。据此，能够在常态下将可动夹紧杆12的上夹紧接点部10a和固定夹紧杆11的下夹紧接点部10b控制成在上下方向关闭的状态。

在前述夹紧主体10的上部附设使可动夹紧杆12抵抗前述压缩弹簧25的弹簧压上移动，将上下夹紧接点部10a、10b在上下方向打开的夹紧开闭控制构件30。该夹紧开闭控制构件30构成为，由支点轴33以大致L字型的反转手柄32的弯曲部为支点部反转自由地铰接在固定侧（该实施例中，为前述夹紧安装体8的外侧面），将该反转手柄32的下方臂部32b的前端经销轴34转动自由地连结在可动夹紧杆12的上部，在反转手柄32的上方臂部32a的前端安装旋转辊35，构成为，在该旋转辊35沿设置在顺着夹紧夹具的旋转驱动路径4的夹紧开位置的具有高低差的夹紧开闭导向器31的上面部31a滚动的卡合状态下，控制成上方臂部32a以前述支点轴33为轴心向上方向反转，使与下方臂部32b连结的可动夹紧杆12抵抗压缩弹簧25的弹簧压向上动，使可动夹紧杆12的上夹紧接点部10a和固定夹紧杆11的下夹紧接点部10b在上下方向离开的开状态。

在图1中单点划线所示的夹紧开闭导向器31分别被配设在顺着图4的装置的夹紧夹具3的旋转驱动路径4的运送通路1的始端部侧和终端部侧的夹紧开位置。该夹紧开闭导向器31的上面部31a将夹紧夹具3的移动方向上的中间部作为高位上面部，将该高位上面部的两侧作为从该高位上面部逐渐成为低位的倾斜上面部。将该夹紧开闭导向器31的下面作为水平下面部31b。

构成为，在夹紧夹具3在前述夹紧开闭导向器31的位置通过时，夹紧夹具3的夹紧开闭控制构件30的旋转辊35与夹紧开闭导向器31的上面部31a（高位上面部）卡合，同时，夹紧夹具3的夹紧安装体8的形成在运送通路侧的板的上端部的水平上面部8a与夹紧开闭导向器31的水平下面部31b卡合，据此，使前述可动夹紧杆12抵抗压缩弹簧25的弹簧压向上动，控制成使可动夹紧杆12的上夹紧接点部10a和固定夹紧杆11的下夹紧接点部10b在上下方向离开的开状态。据此，能够将在被处理物P的运送通路1的始端部通过的夹紧夹具3…从开状态控制成能够将被处理物的侧缘部夹紧的闭状态，将在被处理物P的运送通路1的终端部通过的夹紧夹具3…从闭状态控制成能够将被处理物的侧缘部释放的开状态。

符号说明

P：薄板状被处理物；1：运送通路；2、2：运送驱动构件（辊链）；3：夹紧夹具；4：旋转驱动路径；4a:直线驱动路径部；5:处理槽（电解电镀处理槽）；F：处理液（电镀处理液）；7：固定导轨（供电轨道）；8：夹紧安装体；10：夹紧主体；10a：上夹紧接点部；10b：下夹紧接点部；11：固定夹紧杆；11A：固定夹紧杆的弯曲部；12：可动夹紧杆；12A：可动夹紧杆的上方杆部；12B：可动夹紧杆的下方杆部；14A：上部保持导向构件（保持导向部20）；14B：下部保持导向构件；15、15：长孔导向器；16、16：连接螺栓；17：垫片；17A：垫片的垫片部；17B：垫片的连结部；18：垫片的阴螺纹部；19：螺母；24：弹簧卡定体；25:压缩弹簧（压缩螺旋弹簧）；30：夹紧开闭控制构件；31：夹紧开闭导向器；32：反转手柄；35：旋转辊。

Claims (7)

1.一种水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，是安装在被设置在薄板状被处理物的运送通路的单侧或者两侧的被环状地旋转驱动的运送驱动构件上，并被旋转驱动，由在该旋转驱动路径中的前述运送通路侧的直线驱动路径部移动的夹紧夹具群从上下方向将薄板状被处理物的单侧或者两侧的侧缘部夹紧，在以该薄板状被处理物的板面为上下的水平状态向一方向连续地水平运送，在该水平运送过程中，使由前述夹紧夹具保持并被水平运送的薄板状被处理物在处理槽内的处理液中通过，对薄板状被处理物进行电镀处理的水平运送电镀处理装置的夹紧夹具，其特征在于，

前述夹紧夹具包括被安装在前述运送驱动构件，且被外嵌成沿在顺着前述直线驱动路径部的水平方向配置的固定导轨一面滑动接触一面移动的由导电材料构成的夹紧安装体、被该夹紧安装体保持的夹紧主体，该夹紧主体被配置在该夹紧主体的下方部分能够在前述处理槽的处理液中移动的位置，被形成为前述夹紧主体的上方部分为空心，被前述夹紧安装体保持的在上下方向长的形状，在该夹紧主体的下端部具备能够将薄板状被处理物的侧缘部从上下方向夹紧的上夹紧接点部和下夹紧接点部，前述夹紧主体包括固定夹紧杆和可动夹紧杆，所述固定夹紧杆具有上方部被固定保持在前述夹紧安装体，将下端部向运送通路侧呈L字状折曲的弯曲部，由在上下方向长的板状的导电材料构成，所述可动夹紧杆可上下动地被保持在该固定夹紧杆上，至少将下方杆部形成为板状，由在上下方向长的形状的导电材料构成，在该可动夹紧杆的下端部具备前述上夹紧接点部，在前述固定夹紧杆的弯曲部具备承受前述上夹紧接点部的前述下夹紧接点部，通过压缩弹簧的弹簧压，使前述可动夹紧杆向下动，在常态下，将该可动夹紧杆的前述上夹紧接点部和前述固定夹紧杆的下夹紧接点部控制成在上下方向关闭的闭状态，在前述夹紧主体的上部附设使前述可动夹紧杆抵抗前述压缩弹簧的弹簧压向上移动，使上下夹紧接点部在上下方向打开的夹紧开闭控制构件，

被前述固定夹紧杆可上下动地保持的前述可动夹紧杆的保持导向构件，由设置在前述固定夹紧杆的上部的上部保持导向构件和设置在与该上部保持导向构件相比为下方的下部保持导向构件构成，该下部保持导向构件做成在板状的固定夹紧杆的上下方向的大致中间部平行地贯穿设置在上下方向长的多个长孔导向器，由插通于各长孔导向器的连接螺栓将板状的固定夹紧杆和前述可动夹紧杆的板状的下方杆部的上部以经由导电材料构成的垫片保持一定的间隔的平行状态地进行螺栓螺母紧固连接的构造，且做成在前述垫片形成在水平方向插通的阴螺纹部，将前述连接螺栓的螺纹部拧入插通在该阴螺纹部的构造，前述螺栓螺母连接成为下述的连接状态，即、将前述可动夹紧杆和垫片固定一体化，且被一体化的前述可动夹紧杆和垫片经插通于各长孔导向器的螺栓轴部由各长孔导向器可上下动地导向，且前述垫片的与固定夹紧杆的对应面以面接触状态相对于固定夹紧杆可上下动地被保持。

2.如权利要求1所述的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，其特征在于，将前述可动夹紧杆做成棒状的上方杆部和板状的下方杆部经前述垫片在上下方向连结的可动夹紧杆，前述垫片做成包括夹在板状的前述固定夹紧杆和前述可动夹紧杆的板状的下方杆部的上部之间的垫片部、和一体形成在该垫片部之上的将前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部的下端部以螺纹连接状态紧固的连结部的结构。

3.如权利要求1所述的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，其特征在于，将前述上夹紧接点部和下夹紧接点部做成相对形状，将该相对形状的上下夹紧接点部做成与板状的固定夹紧杆以及可动夹紧杆的板状的下方杆部的各横向宽度相比，在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状。

4.如权利要求1所述的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，其特征在于，前述上部保持导向构件是以固定状态设置在前述固定夹紧杆的上部的保持导向部，做成在该保持导向部形成上下方向的插通孔，将前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部可上下动地插通并保持在该保持导向部的插通孔的结构。

5.如权利要求1所述的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，其特征在于，前述上部保持导向构件是以固定状态设置在前述固定夹紧杆的上部的保持导向部，做成在该保持导向部形成上下方向的插通孔，将前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部可上下动地插通并保持在该保持导向部的插通孔的结构，做成在该保持导向部和在与该保持导向部相比为下方的位置，固定地设置在前述可动夹紧杆的棒状的上方杆部的棒周围的弹簧卡定体之间夹装前述压缩弹簧，使该压缩弹簧的弹簧压作用于弹簧卡定体，使前述可动夹紧杆向下动的结构。

6.如权利要求1所述的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，其特征在于，放入处理液中的夹紧杆主体的下方部分除前述上下夹紧接点部外，包覆绝缘包覆处理层。

7.如权利要求1所述的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具，其特征在于，前述夹紧开闭控制构件被构成为，由支点轴以大致L字型的反转手柄的弯曲部为支点部反转自由地铰接在由前述夹紧安装体或者前述固定夹紧杆构成的固定侧，将该反转手柄的下方臂部的前端经销轴转动自由地连结在前述可动夹紧杆的上部，在前述反转手柄的上方臂部的前端安装旋转辊，做成在该旋转辊沿着被设置在顺着夹紧夹具的旋转驱动路径的夹紧开位置上的具有高低差的夹紧开闭导向器的上面部滚动的卡合状态下，前述上方臂部以前述支点轴为轴心向上方向反转，使与前述下方臂部连结的可动夹紧杆抵抗压缩弹簧的弹簧压向上动，控制成使前述可动夹紧杆的上夹紧接点部和前述固定夹紧杆的下夹紧接点部在上下方向离开的开状态的结构。

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