KR20200016233A - 반송 지그 및 그를 이용한 표면처리 장치 - Google Patents

Abstract

반송 지그(30, 30A)는 반송부(300, 320, 330)와, 반송부에 아래로 늘어뜨려져 지지되는 워크 유지부(500)를 가진다. 워크 유지부는 고정 부재(510)와, 고정 부재에 대하여 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고, 고정 부재의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동 부재(550)와, 고정 부재에 지지되고 워크(20)의 상단부를 척킹하는 상부 고정 척 부재(600)와, 2개의 가동 부재 각각에 장착되고 워크(20)의 상단부를 척킹하는 상부 가동 척 부재(610)를 가진다.

Description

반송 지그 및 그를 이용한 표면처리 장치

본 발명은 도금처리 등의 표면처리에 이용되는 반송 지그(jig) 및 그를 이용한 표면처리 장치 등에 관한 것이다.

수직 상태인 워크의 상단(上端) 및 하단(下端)을 척킹한 반송 지그를 연속 반송하면서 워크(work)를 표면처리하는 표면처리 장치가 제공되고 있다(특허문헌 1). 이 반송 지그는 워크의 사이즈에 맞추어 준비되고, 로트(lot)별로 폭 사이즈가 다른 워크가 공급될 때에는 반송 지그도 교환된다.

만일 최대폭의 워크에 맞추어 설계된 반송 지그를 짧은 폭의 워크에 이용하면, 연속 반송되는 워크 사이에 큰 틈새가 생기고, 표면처리의 스루풋(throughput)이 저하된다. 또한, 특히 전해 도금 등의 경우에는 연속 반송되는 워크 사이에 큰 틈새가 생기면, 워크 측 단부(端部)에 전계 집중이 생겨, 면 내 균일성이 저하된다.

한편, 수평 상태인 워크의 옆 가장자리를 척킹하여 연속 반송하면서 워크를 표면처리하고, 워크의 사이즈에 맞추어 척 간격을 조정할 수 있는 표면처리 장치가 제안되어 있다(특허문헌2).

일본 특허공보 특허제5898540호 일본 특허공보 특허제5283585호

그러나 특허문헌 2는 수평 상태인 워크(P)를 연속 반송하는 척을 장착한 벨트를 회전 구동하는 제1, 제2 반송 장치의 각 반송 라인의 가로폭 간격을 조절하여, 다른 사이즈의 워크(P)를 반송 가능하게 했으므로(특허문헌 2의 도 1, 2 참조), 워크의 윗변을 척킹하여 워크를 수직 상태에서 반송하는 특허문헌 1의 표면처리 장치에는 적용할 수 없다.

본 발명의 목적은 수직 상태에서 반송되는 워크의 폭 사이즈에 적합하여 워크를 유지하는 반송 지그 및 그를 이용한 표면처리 장치를 제공하는 것이다.

(1) 본 발명의 한 양태는,

반송부와,

상기 반송부에 아래로 늘어뜨려져 지지되는 워크 유지부를 가지며,

상기 워크 유지부는,

수평으로 연장되는 고정 부재와,

상기 고정 부재에 슬라이딩 가능하게 지지되고 상기 고정 부재의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동 부재와,

상기 고정 부재에 지지되고 워크의 상단부(上端部)를 척킹하는 상부 고정 척 부재와,

상기 2개의 가동 부재 각각에 장착되고 상기 워크의 상단부를 척킹하는 상부 가동 척 부재를 가지는 반송 지그에 관한 것이다.

본 발명의 한 양태에 의하면, 고정 부재의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동 부재는 워크의 폭에 맞춘 위치로 슬라이딩 이동된다. 그 2개의 가동 부재 각각에 장착된 상부 가동 척 부재가 워크의 폭방향의 양 단부에서, 고정 부재에 장착된 상부 고정 척이 워크의 폭방향의 중앙부에서, 각각 워크의 상단부를 척킹한다. 이렇게 하여, 폭 사이즈가 다른 워크를, 그 워크의 폭에 맞추어 워크의 폭방향의 양 단부를 척킹함으로써 안정적으로 워크를 유지하는 것이 가능해진다.

(2) 본 발명의 한 양태(1)에서는 상기 고정 부재에 대하여 상기 2개의 가동 부재를 상기 워크의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지 부재를 더 가질 수 있다. 2개의 가동 부재의 위치는 고정 부재와 가동 부재의 감합 공차에 기초하는 감합에 의해 유지해도 되는데, 유지 부재에 의해 확실하게 위치 결정하는 것이 바람직하다.

(3) 본 발명의 한 양태(1) 또는 (2)에서는,

상기 2개의 가동 부재 각각은,

상기 고정 부재에 슬라이딩 가능하게 지지되는 상측 가로 프레임 가동 부재와,

상기 상측 가로 프레임 가동 부재에 고정되는 수직 부재를 포함하고,

상기 상부 가동 척 부재는 상기 수직 부재에 지지되어도 된다.

이렇게 하면, 2개의 상측 가로 프레임 가동 부재와 함께 2개의 수직 부재도 워크의 폭에 맞추어 이동되므로, 이 2개의 수직 부재에 장착된 상부 가동 척 부재에 의해 워크의 상단부를 워크의 폭에 맞추어진 위치에서 척킹할 수 있다.

(4) 본 발명의 한 양태(3)에서는,

상기 수직 부재는,

세로 프레임 고정 부재와,

상기 세로 프레임 고정 부재에 대하여 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되는 세로 프레임 가동 부재와,

상기 세로 프레임 가동 부재의 하단부(下端部)에 지지되고 상기 워크의 하단부를 척킹하는 하부 가동 척 부재를 포함하며,

상기 상부 가동 척 부재는 상기 세로 프레임 고정 부재에 지지되어도 된다.

이렇게 하면, 2개의 상측 가로 프레임 가동 부재와 함께 2개의 세로 프레임 고정 부재도 워크의 폭에 맞추어 이동되므로, 이 2개의 세로 프레임 고정 부재에 장착된 상부 가동 척 부재에 의해, 워크의 상단부를 워크의 폭에 맞추어진 위치에서 척킹할 수 있다. 또한, 2개의 상측 가로 프레임 가동 부재와 함께 2개의 세로 프레임 가동 부재도 워크의 폭에 맞추어 이동되므로, 이 2개의 세로 프레임 가동 부재에 장착된 하부 가동 척 부재에 의해 워크의 하단부도 워크의 폭에 맞추어진 위치에서 척킹할 수 있다. 그로써, 특히 극히 얇은 워크를 표면처리 대상으로 하는 경우이어도, 워크의 상하 단부를 척킹하여 표면처리액의 압력에 의해 워크가 휘지 않고 워크의 아래로 늘어뜨려진 상태의 자세를 유지할 수 있다.

(5) 본 발명의 한 양태(3)에서는 상기 워크에 급전(給電)하는 급전부를 더 가지며, 상기 급전부는 상기 고정 부재를 통해 상기 상부 고정 척 부재에 급전하는 제1 급전부와, 상기 수직 부재를 통해 상기 상부 가동 척 부재에 급전하는 제2 급전부를 포함할 수 있다. 이렇게 하여, 제1 급전부로부터 상부 고정 척 부재에 급전하는 루트와, 제2 급전부로부터 상부 가동 척 부재에 급전하는 루트로 분리함으로써 각 루트의 저항값이나 전류값을 독립적으로 설정할 수 있고, 그로써 워크의 전류 분포의 면 내 균일성을 향상시켜 워크의 표면처리 품질을 더 높일 수 있다. 한편, 고정 부재와 가로 프레임 연장 부재가 전기적으로 도통되어 있어도, 양자는 상대적으로 슬라이딩 이동하는 관계에 있기 때문에 양자간의 전기저항이 크므로, 상부 가동 척 부재에는 실질적으로 제2 급전부로부터 급전된다.

(6) 본 발명의 한 양태(4)에서는,

상기 워크에 급전하는 급전부를 더 가지며,

상기 세로 프레임 가동 부재는 상기 상측 가로 프레임 가동 부재와는 전기적으로 절연되고,

상기 급전부는,

상기 고정 부재를 통해 상기 상부 고정 척 부재에 급전하는 제1 급전부와,

상기 상측 가로 프레임 가동 부재를 통해 상기 상부 가동 척 부재에 급전하는 제2 급전부와,

상기 세로 프레임 가동 부재를 통해 상기 하부 가동 척 부재에 급전하는 제3 급전부를 포함할 수 있다.

이렇게 하면, 제1 급전부로부터 상부 고정 척 부재에 급전하는 루트와, 제2 급전부로부터 상부 가동 척 부재에 급전하는 루트와, 제3 급전부로부터 하부 가동 척 부재에 급전하는 루트로 분리할 수 있다. 그로써, 각 루트의 저항값이나 전류값을 독립적으로 설정할 수 있고, 워크의 전류 분포의 면 내 균일성을 향상시켜 워크의 표면처리 품질을 더 높일 수 있다.

(7) 본 발명의 한 양태(5) 또는 (6)에서는,

상기 급전부는 외부 레일로부터 급전되는 피급전부를 포함하고,

상기 피급전부는,

고정부와,

상기 고정부에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고 상기 고정부의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동부와,

상기 2개의 가동부에 하나씩 장착되고 상기 외부 레일과 접촉하여 급전되는 2개의 접촉부와,

상기 고정부에 대하여 상기 2개의 가동부를 상기 워크의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지부를 더 가질 수 있다.

이렇게 하면, 고정부의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동부는 워크의 폭에 맞춘 위치에서 유지부에 의해 고정부에 유지된다. 그로써, 2개의 가동부에 장착된 2개의 접촉부를 워크의 폭에 맞춘 위치에 설정할 수 있다. 만일 2개의 접촉부의 위치가 고정이라고 하면, 가장 작은 사이즈의 워크에 맞추어 고정해야만 한다. 그렇게 하면, 큰 사이즈의 워크를 처리하기 위해 표면처리조에 반입되는 반송 지그는 워크의 반송 선단보다도 접촉부가 늦게 급전 레일과 접촉하는 경우에는 워크의 반송 선단에 전기가 흐르지 않는 데드 타임(dead time)이 생긴다. 혹은 2개의 접촉부의 폭과 워크의 폭이 불일치함으로써, 처리조 분할 유닛의 경계에서 2개의 접촉부가 각각 다른 전류 제어 대상인 급전 레일과 접촉하면, 워크의 전류 제어가 복잡화된다. 2개의 접촉부를 워크의 폭에 맞춘 위치에 설정함으로써, 워크폭이 변해도 접촉부는 워크의 폭방향의 양 단에 위치하도록 설정되고, 상술한 데드 타임이나 전류 제어의 복잡성을 회피할 수 있다.

(8) 본 발명의 한 양태(4) 또는 (6)에서는 상기 세로 프레임 가동 부재는 최하 단면을 회전 접촉면으로 하는 롤러를 가질 수 있다. 롤러는 표면처리조의 저부(底部) 측과 회전 접촉하므로, 반송 지그의 하단부를 롤러에 의해 반송 안내할 수 있다.

(9) 본 발명의 한 양태(3)에서는,

상기 수직 부재는,

세로 프레임 고정 부재와,

상기 세로 프레임 고정 부재에 대하여 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되는 세로 프레임 가동 부재와,

상기 세로 프레임 가동 부재의 하단부에 지지되는 기단부(基端部)로부터 자유단부(自由端部)를 향해 수평으로 연장되는 하측 가로 프레임 가동 부재를 포함하고,

상기 세로 프레임 고정 부재에 상기 상부 가동 척 부재가 지지되며,

상기 하측 가로 프레임 가동 부재에 하부 가동 척 부재를 지지할 수 있다. 이렇게 하면, 워크의 하부를 하부 가동 척 부재에 의해 안정적으로 유지할 수 있다.

(10) 본 발명의 한 양태(9)에서는 상기 2개의 가동 부재에 각각 마련된 2개의 상기 하측 가로 프레임 가동 부재의 상기 자유단을 수평방향으로 이동 안내하는 안내부를 더 가질 수 있다. 이렇게 하면, 반송 지그의 폭을 가변해도 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재의 자유단은 안내부에 안내되어 수평방향으로 이동하므로, 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재를 동일 직선 상에 유지하면서 폭 가변 동작을 원활하게 실시할 수 있다.

(11) 본 발명의 한 양태(4) 또는 (10)에서는 상기 세로 프레임 가동 부재는 상기 워크의 측부를 척킹하는 측부 고정 척 부재를 더 가질 수 있다. 이렇게 하면, 예를 들면 워크의 두께가 예를 들면 30㎛ 이하의 극박(極薄)이어도, 직사각형 워크의 4변을 유지하여 워크를 휘게 하지 않고 유지할 수 있다.

(12) 본 발명의 한 양태(4), (10) 또는 (11)에서는 세로방향으로 연장되는 상기 세로 프레임 가동 부재는 상기 워크의 주면(主面)과 평행한 제1 면의 폭보다도 상기 워크의 주면과 직교하는 제2 면의 폭이 짧은 판 형상 부재로 형성할 수 있다. 이렇게 하면, 워크의 주면과 평행한 방향으로 반송 지그를 반송시켜도 세로 프레임 가동 부재에 작용하는 액체 압력이 적어진다. 따라서, 반송 지그를 안정적으로 반송시킬 수 있다.

(13) 본 발명의 한 양태(1) 내지 (12)에서는 상기 반송부는 상기 워크의 주면과 평행으로 연장되는 축의 주변에 상기 워크 유지부를 회동(回動)이 자유롭게 지지할 수 있다. 이렇게 하면, 반송 시에 반송 지그에 작용하는 흔들림의 외력을 축 주변의 회동에 의해 놓아줄 수 있다. 그로써, 워크에 대한 충격을 완화할 수 있다.

(14) 본 발명의 다른 양태는,

워크의 상단부의 폭에 맞추어 상기 상단부의 양 단부를 척킹하는 위치가 가변인 2개의 척 부재를 포함하는 워크 유지부와,

상기 2개의 척 부재를 통해 상기 워크에 급전하는 급전부를 구비한 반송 지그로서,

상기 급전부는 외부로부터 급전되는 피급전부를 포함하고,

상기 피급전부는,

고정부와,

상기 고정부에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고 상기 고정부의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동부와,

상기 2개의 가동부 각각에 장착되고 외부 레일과 접촉하여 급전되는 접촉부와,

상기 고정부에 대하여 상기 2개의 가동부를 상기 워크의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지부를 더 가지는 반송 지그에 관한 것이다.

본 발명의 다른 양태는 (7)에서 상술한 본 발명의 한 양태에 따른 발명을 독립항으로서 정의한 것이며, (7)에서 상술한 바와 같이 워크의 반송 선단에 전기가 흐르지 않는 데드 타임을 발생시키지 않는다.

(15) 본 발명의 또 다른 양태는,

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면처리조와,

상기 표면처리조의 상기 처리액 중에 배치시켜 워크를 각각 유지하는 (1) 내지 (14) 중 어느 하나에 기재된 복수개의 반송 지그를 가지는 표면처리 장치에 관한 것이다.

본 발명의 또 다른 양태에 따른 표면처리 장치에 의하면, 상술한 (1) 내지 (14)에서 설명한 작용·효과를 발휘할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 표면처리 장치의 세로 단면도이다.
도 2는 도 1의 부분 확대도이다.
도 3은 넓은 폭의 워크가 유지된 반송 지그의 사시도이다.
도 4는 좁은 폭의 워크가 유지된 반송 지그의 사시도이다.
도 5는 반송 지그의 피급전부를 나타내는 도면이다.
도 6은 수직 길이가 가변인 것을 설명하는 반송 지그의 측면도이다.
도 7(A)~도 7(C)는 척 부재의 구조 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 유지 부재를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 3과는 다른 반송 지그의 사시도이다.
도 10은 2개의 접촉부를 워크폭에 맞추어 가동으로 한 피급전부를 나타내는 도면이다.
도 11은 특히 두께가 얇은 워크에 적합한 반송 지그의 최소폭으로 설정한 상태를 나타내는 도면이다.
도 12는 도 11에 나타내는 반송 지그를 최대폭으로 설정한 상태를 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 알맞은 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 한편 이하에 설명하는 본 실시형태는 청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하는 것은 아니며, 본 실시형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수라고는 할 수 없다.

1. 표면처리 장치의 개요

도 1은 상부 개구(200A)를 가지는 도금조(광의로는 표면처리조)(200)를 가지는 연속 도금처리 장치(광의로는 표면처리 장치)(10)의 개략 단면도이다. 반송 지그(30)는 도시하지 않은 양극을 구비한 도금조(200)의 상부 개구(200A)보다 도금액(Q) 내에 아래로 늘어지도록 워크(20)(도 3)를 유지한다.

도 1의 일부를 확대하여 나타내는 도 2에 나타내는 바와 같이, 연속 도금처리 장치(10)는 도금조(200)에 인접하여 급전부(260), 구동부(270) 및 안내부(280)를 가진다. 급전부(260)는 반송 지그(30)와 접촉하여 워크(20)(도 3)에 급전한다. 구동부(270)는 반송 지그(30)에 구동력을 부여하여 반송 지그(30)를 도금조(200) 내에서 연속 반송 구동한다. 안내부(280)는 반송 지그(30)와 접촉하여 반송 지그(30)를 연속 반송 안내한다.

급전부(260)는 본 출원인에 의한 일본 공개특허공보 특개2009-132999호 및 일본 공개특허공보 특개2013-011009호에 나타내는 음극 분할 방식이 채용되는 경우, 복수개 예를 들면 4개의 급전 레일(260A~260D)을 포함할 수 있다. 한편, 급전부(260)는 음극 분할 방식이 채용되지 않은 경우에는 1개의 급전 레일로 구성할 수 있다. 이들 급전 레일(260A~260D)은 도금조(200)의 긴 쪽 방향과 평행한 제1 방향(A)(도 3 참조)을 따라 설치된다.

구동부(270)는 예를 들면 본 출원인에 의한 일본 공개특허공보 특개2012-046782호와 마찬가지로, 회전 구동 부재 예를 들면 스프로킷(271)과, 스프로킷(271)에 의해 구동되는 체인 등의 무단(無端) 형상 구동 부재(272)와, 무단 형상 구동 부재(272)에 고정되는 톱니(齒付) 블록(toothed block)(273)을 포함할 수 있다. 무단 형상 구동 부재(272)는 도금조(200)의 긴 쪽 방향과 평행한 제1 방향(A)(도 1 참조)을 따라 설치된다. 이 대신에, 구동부(270)는 예를 들면 본 출원인에 의한 일본 특허공보 특허제6117891호에 나타내는 바와 같이, 분할 영역별로 각각 배치되어 교대 구동되는 2개의 푸셔(pusher)를 포함하는 것이어도 되고, 그 밖의 연속 구동 방식을 채용할 수 있다.

안내부(280)는 적어도 윗면이 평탄한 예를 들면 절단면이 직사각형인 안내 레일로 형성할 수 있다. 안내 레일(280)은 도금조(200)의 긴 쪽 방향과 평행한 제1 방향(A)(도 3 참조)을 따라 설치된다.

2. 반송 지그

다음으로, 반송 지그(30)에 대해 도 3~도 5도 참조하여 설명한다. 반송 지그(30)는 도 1~도 3에 나타내는 바와 같이, 수평 암부(arm part)(300)와, 이 수평 암부(300) 아래로 늘어지는 수직 암부(301)를 가진다.

수평 암부(300)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 방향(반송방향)(A)과 직교(광의로는 교차)하는 제2 방향(B)을 따라 연장된다. 이 수평 암부(300)에는 피급전부(310), 피구동부(320) 및 피안내부(330)가 마련된다.

피급전부(310)는 도금 장치(10)에 마련된 급전부(260)로부터 급전되는 부분이다. 본 실시형태의 피급전부(310)는 복수개의 급전 레일(260A~260D) 중 하나와 접촉한다. 본 실시형태에서는 수평 암부(300)에 대하여 제2 방향(B)에서 위치가 다른 복수 군데의 각 하나에 피급전부(310)가 장착된 복수 종류의 반송 지그(30)가 준비된다. 복수 종류의 반송 지그(30)의 각 하나가 복수개의 급전 레일(260A~260D)의 각 하나와 접촉한다.

본 실시형태에서는 반송 지그(30)의 부품을 공통화하여 복수개의 급전 레일(260A~260D) 중 임의의 하나와 접촉하는 구조를 채용했다. 그 때문에, 반송 지그(30)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 피급전부(310)를 지지하는 지지부(311)가 수평 암부(300)와 직교하여 배치된다. 수평 암부(300)는 제2 방향(B)에서 다른 위치에 마련된 복수개의 장착부(예를 들면 나사 구멍)를 가진다. 이 복수개의 장착부 중 하나에 지지부(311)가 장착된다. 혹은, 지지부(311)는 반송 지그(30)의 예를 들면 수평 암부(300)에 마련된 복수개의 가이드축(도시하지 않음)을 따라 제2 방향(B)에 슬라이딩 가능하게 지지되고, 복수개의 급전 레일(260A~260D) 중 임의의 하나와 대응하는 위치에 고정되어도 된다. 이렇게 하면, 2개의 접촉부(312, 312)의 수평 자세를 보다 유지하기 쉽게 할 수 있다.

도 3에 나타내는 지지부(311)에는 도 2에 나타내는 급전 레일(260)(급전 레일(260A~260D))에 접촉하는 적어도 하나 예를 들면 2개의 접촉부(312)가 마련된다. 도 5는 접촉부(312)의 지지 구조를 나타내고 있다. 피급전부(310)는 지지부(311)와 접촉부(312)를 예를 들면 2개의 평행 링크(313A, 313B)로 연결하는 4절 회전 연쇄의 평행 링크 기구(313)를 가진다. 2개의 링크(313A, 313B)는 압박 부재인 비틀림 코일 스프링(314, 314)에 의해 상시 시계 방향으로 이동하도록 압박되어 있다. 이 결과, 접촉부(312)를 급전 레일(260)에 적절한 접촉 압력으로 접촉시킬 수 있다.

피구동부(320)는 도금 장치(10)에 마련된 구동부(270)로부터 구동력이 부여되어 반송 지그(30)를 연속 반송 구동한다. 피구동부(320)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 체인(272)에 고정된 톱니 블록(273)(도 2)에 치합되는 복수개 예를 들면 4개의 클로(claw) 부재(321~324)를 가지고 있다. 4개의 클로 부재(321~324) 중 어느 하나를 톱니 블록(273)의 치아에 치합시키기 위해, 4개의 클로 부재(321~324)의 치합 선단 위치가 A방향으로 시프트되어 배치된다. 이렇게 하여, 4개의 클로 부재(321~324) 중 어느 하나가 체인(272)에 고정된 톱니 블록(273)(도 2)과 계합됨으로써, 반송 지그(30)는 연속 반송 구동된다.

피안내부(330)는 도 2에 나타내는 안내 레일(280)의 윗면에 접촉하는 롤러(331)를 가진다. 그로써, 구동부(270)에 의해 연속 반송 구동되는 반송 지그(30)는 마찰 저항을 작게 하여 반송 안내된다. 피안내부(330)는 도 3 및 도 4에 나타내는 제2 방향(B)에서의 반송 지그(30)의 이동을 규제하기 위해, 안내 레일(280)의 예를 들면 양 측면에 회전 접촉하는 추가 롤러(334, 335)를 더 가질 수 있다(도 2도 참조). 제2 방향(B)에서의 반송 지그(30)의 이동 규제는 안내 레일(280)과는 다른 영역에서 실시되어도 된다. 한편, 롤러(331)는 유한 길이를 가지는 급전 레일 사이의 이음매에 생기는 틈새의 충격을 받기 어려운 적절한 직경을 가지고 있다. 또한, 롤러(331, 334, 335)는 예를 들면 도금 설비 특유의 산이나 알칼리 등의 환경을 견딜 수 있는 재질 예를 들면 폴리프로필렌 등으로 형성된다.

3. 반송 지그의 워크 유지부

반송 지그(30)는 도 2, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 수평 암부(300)에 수직 암부(301)를 통해 지지되어 아래로 늘어지는 워크 유지부(500)를 가진다. 여기서, 수평 암부(300)와, 그에 지지되는 피구동부(320) 및 피안내부(330)를 반송부라고 총칭한다. 워크 유지부(500)는 반송부에서 아래로 늘어뜨려져 지지된다. 워크 유지부(500)는 예를 들면 워크(20)의 두께가 100㎛ 이하, 바람직하게는 60㎛ 이하와 같이 극박의 워크(20)에 알맞게 이용된다. 본 실시형태에서는 워크(20)의 두께는 예를 들면 40㎛=0.04㎜이다. 단, 워크(20)는 두께가 100㎛를 초과하는 것이어도 된다.

워크 유지부(500)는 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 직사각형 워크(20)의 폭에 맞추어 전체 폭이 가변이다. 이 때문에, 워크 유지부(500)는 수평으로 연장되는 고정 부재(510)와, 고정 부재(510)에 슬라이딩 가능하게 지지되고 고정 부재(510)의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동 부재(550)를 포함한다. 고정 부재(510)에는 워크(20)의 상단부를 척킹하는 적어도 하나 예를 들면 2개의 상부 고정 척 부재(600)가 지지되어 있다. 2개의 가동 부재(550) 각각에는 워크(20)의 상단부를 척킹하는 상부 가동 척 부재(610)가 지지되어 있다. 그리고 2개의 가동 부재(550)의 슬라이딩 위치를 조정함으로써, 워크(20)의 폭에 맞춘 위치에 상부 가동 척 부재(610, 610)가 이동되어, 워크(20)의 폭방향의 양 단부에서 워크(20)의 상단부가 상부 가동 척 부재(610, 610)에 척킹된다. 한편, 고정 부재(510)에 대하여 2개의 가동 부재(550)를 워크(20)의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지 부재(530)를 마련할 수 있다. 유지 부재(530)에 대해서는 후술한다.

이와 같이, 고정 부재(510)의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동 부재(550, 550)는 워크(20)의 폭에 맞춘 위치에 설정된다. 그 2개의 가동 부재(550, 550) 각각에 장착된 상부 가동 척 부재(610, 610)가 워크(20)의 폭방향의 양 단부에서, 고정 부재(510)에 장착된 상부 고정 척 부재(600, 600)가 워크(20)의 폭방향의 중앙부에서, 각각 워크(20)의 상단부를 척킹한다. 이렇게 하여, 폭 사이즈가 다른 워크(20)를 그 워크(20)의 폭에 맞추어 척킹함으로써, 안정적으로 워크를 유지하는 것이 가능해진다.

여기서, 고정 부재(510)는 2매의 고정판(520, 522)을 가진다. 이 2매의 고정판(520, 522) 사이에 2개의 가동 부재(550, 550)가 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지된다. 한쪽의 고정판(522)이 하방(下方)으로 연장된 연장부(524)에 2개의 상부 고정 척 부재(600, 600)가 지지되어 있다.

2매의 고정판(520, 522)은 연결 부재(525)를 통해 수직 암부(301)에 고정되어 있다. 연결 부재(525)에는 베어링(540, 540)에 의해 슬라이딩 안내되는 수평인 2개의 가이드축(541, 541)이 지지된다. 2개의 가이드축(541, 541)의 단부는 2개의 가동 부재(550, 550)에 고정된다.

본 실시형태에서는 2개의 가동 부재(550, 550) 각각은 고정 부재(가로 프레임 고정 부재라고도 함)(510)에 슬라이딩 가능하게 지지되는 상측 가로 프레임 가동 부재(560)와, 상측 가로 프레임 가동 부재(560)에 고정되는 수직 부재(562)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상부 가동 척 부재(610)를 상측 가로 프레임 가동 부재(560) 또는 수직 부재(562)에 지지할 수 있다. 본 실시형태에서는 상부 가동 척 부재(610)는 상측 가로 프레임 가동 부재(560)가 아닌 수직 부재(562)에 지지되어 있다. 이렇게 하면, 도 4에 나타내는 바와 같이, 최소폭 사이즈로 설정되는 경우에 2개의 상부 가동 척 부재(610, 610)와 간섭하지 않고, 2개의 상측 가로 프레임 가동 부재(560)를 고정 부재(가로 프레임 고정 부재)(510)에 수용할 수 있다. 그로써, 최소폭 사이즈를 작게 할 수 있다.

본 실시형태에서는 수직 부재(562)는 세로 프레임 고정 부재(570)와, 세로 프레임 고정 부재(570)에 대하여 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되는 세로 프레임 가동 부재(580)와, 세로 프레임 가동 부재(580)의 하단부에 지지되고 워크(20)의 하단부를 척킹하는 하부 가동 척 부재(620)를 포함할 수 있다. 이 경우, 상부 가동 척 부재(610)는 세로 프레임 고정 부재(570)에 지지될 수 있다.

이렇게 하면, 2개의 상측 가로 프레임 가동 부재(560)와 함께 2개의 세로 프레임 고정 부재(570)도 워크의 폭에 맞추어 이동되므로, 이 2개의 세로 프레임 고정 부재(570)에 장착된 상부 가동 척 부재(610)에 의해 워크(20)의 상단부를 워크의 폭에 맞추어진 위치에서 척킹할 수 있다. 또한, 2개의 상측 가로 프레임 가동 부재(560)와 함께 2개의 세로 프레임 가동 부재(580)도 워크(20)의 폭에 맞추어 이동되므로, 이 2개의 세로 프레임 가동 부재(580)에 장착된 하부 가동 척 부재(620)에 의해, 워크(20)의 하단부도 워크의 폭에 맞추어진 위치에서 척킹할 수 있다. 그로써, 특히 극히 얇은 워크(20)를 표면처리 대상으로 하는 경우이어도, 워크(20)의 상하 단부를 척킹하여 표면처리액의 압력에 의해 워크(20)가 휘지 않고 워크(20)의 아래로 늘어뜨려진 상태의 자세를 유지할 수 있다. 한편, 2개의 세로 프레임 가동 부재(580, 580)를 도시하지 않은 하부 가로 프레임 부재로 연결하면서 이 하부 가로 프레임 부재의 폭을 가변으로 해도 된다. 하부 가로 프레임 부재는 예를 들면 상부 가로 프레임 부재인 고정 부재(510) 및 2개의 가로 프레임 가동 부재(560, 560)와 동일하게 하여 형성할 수 있다. 하부 가로 프레임 부재에 대해서도, 유지 부재(530)는 필수가 아니다.

또한, 본 실시형태에서는 세로 프레임 가동 부재(580)는 최하 단면을 회전 접촉면으로 하는 롤러(630)를 가질 수 있다. 롤러(630)는 표면처리조(200)의 저부 측과 회전 접촉하므로, 반송 지그(30)의 하단부를 롤러(630)에 의해 반송 안내할 수 있다.

여기서, 세로 프레임 고정 부재(570)는 도 6에 나타내는 바와 같이 평행한 2매의 세로 프레임 고정판(571, 572)을 포함할 수 있다. 이 2매의 세로 프레임 고정판(571, 572) 사이에 세로 프레임 가동 부재(580)가 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 지지된다. 세로 프레임 가동 부재(580)의 상단부에는 스톱퍼(581)가 마련되어 있다. 도 6에 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 워크(20)가 척킹되어 있지 않은 경우에는, 스톱퍼(581)는 2매의 세로 프레임 고정판(571, 572)의 상단부에 접촉함으로써, 세로 프레임 가동 부재(580)의 하한 스톱퍼로서 기능한다. 워크(20)의 상하 단부가 척(600~620)에 의해 척킹되면, 워크(20)의 길이에 의해 세로 프레임 가동 부재(580)의 위치가 저절로 정해진다. 따라서, 본 실시형태에서는 도 6에 나타내는 길이(L)(예를 들면 L=200㎜)의 범위에서 전체 길이가 다른 워크(20)를 장착하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 본 실시형태에 의하면, 폭 및 길이의 한쪽 또는 쌍방이 다른 복수 사이즈의 워크(20)에 겸용할 수 있는 반송 지그(30)를 제공할 수 있다. 따라서, 워크 사이즈별로 전용의 복수개 반송 지그를 구비하는 경우에 비해 대폭적인 코스트 다운이 가능해진다. 한편, 반송 지그(30)는 워크(20)의 폭에 맞추어 폭만을 가변으로 하는 것, 혹은 워크(20)의 길이에 맞추어 길이만을 가변으로 하는 것이어도 된다.

본 실시형태에서는 워크(20)에 급전하는 급전부를 더 가질 수 있다. 도 3은 워크(20)의 상단부에 급전하는 급전부를 나타내고 있다. 이 급전부는 고정 부재(510)를 통해 2개의 상부 고정 척 부재(600)에 급전하는 제1 급전부(701)와, 2개의 수직 부재(562)의 예를 들면 2개의 세로 프레임 고정 부재(570)를 통해 2개의 상기 상부 가동 척 부재에 급전하는 제2 급전부(702, 702)를 포함할 수 있다(도 4에서는 제1, 제2 급전부(701, 702)는 생략되어 있음). 이들 제1, 제2 급전부(701, 702, 702)는 예를 들면 도전 케이블로 형성할 수 있다. 또한, 반송 지그(30)의 2개의 접촉부(312)로부터 제1, 제2 급전부(701, 702, 702)에는 지지부(311), 수평 암부(300), 수직 암부(301)의 도전 경로를 통해 급전할 수 있다. 이 대신에, 지지부(311)로부터 수직 암부(301)에 도전 케이블을 통해 급전해도 된다.

이렇게 하여, 제1 급전부(701)로부터 상부 고정 척 부재(600)에 급전하는 루트와, 제2 급전부(702)로부터 상부 가동 척 부재(610)에 급전하는 루트로 분리함으로써, 각 루트의 저항값이나 전류값을 독립적으로 설정할 수 있고, 그로써 워크(20)의 전류 분포의 면 내 균일성을 향상시켜 워크(20)의 표면처리 품질을 더 높일 수 있다. 한편, 고정 부재(510)와 상측 가로 프레임 가동 부재(560)가 전기적으로 도통되어 있어도, 양자는 상대적으로 슬라이딩 이동하는 관계에 있기 때문에 양자간의 전기저항이 크므로, 상부 가동 척 부재(610)에는 실질적으로 제2 급전부(702)로부터 급전된다.

다음으로, 상부 고정 척 부재(600), 상부 가동 척 부재(610) 및 하부 가동 척 부재(620)에 공통되는 구성에 대해, 도 7(A)~도 7(C)를 참조하여 설명한다. 한편, 도 7(A)~도 7(C)에 나타내는 구조는 상부 고정 척 부재(600), 상부 가동 척 부재(610) 및 하부 가동 척 부재(620)로서 도시된 형상과 일부 다르지만, 압접 구조로서는 동일하다.

도 7(A)~도 7(C)에서는 베이스판(700)(예를 들면 고정판(522)의 연장부(524))에는 홀더(710)가 고정된다. 홀더(710)는 축(720)을 지지한다. 축(720)에 척 부재(800)가 요동 가능하게 지지된다. 척 부재(800)는 축(720)에 삽입 통과된 비틀림 코일 스프링(730)에 의해 압박력이 부여된다. 척 부재(800)는 일단(一端)부에 척단(820)을 가지며, 타단(他端)부 측에 레버(830)를 가진다. 홀더(710)는 워크 유지부(500)에 장착되었을 때에 수직이 되는 수직면(740)을 포함한다. 이 수직면(740)은 홀더(710)에 요동 가능하게 지지되는 척 부재(800)의 척단(820)과 대향하는 영역에서 국소적으로, 홀더(710)로부터 하방 또는 상방(上方)으로 연장되어 마련할 수 있다. 척 부재(800)는 수직면(740)에 대하여 접리된다. 즉, 척 부재(800)의 척단(820)과 수직면(740) 사이에서 워크(20)의 상단부 또는 하단부가 협지되고, 그 협지 상태는 비틀림 코일 스프링(730)의 압박력에 의해 유지된다. 코일 스프링(730)의 압박력에 저항하여 레버(830)에 외력(F1)을 부여함으로써, 척 부재(800)의 척단(820)은 수직면(740)으로부터 멀어지는 방향으로 이동하여 워크(20)의 협지 상태가 해제된다.

이와 같이, 워크(20)의 상단부 또는 하단부를 끼우는 한 쌍의 부재의 한쪽을, 복수개의 척 부재(800)를 요동이 자유롭게 지지하는 홀더(710)에 마련한 수직면(740)으로 함으로써, 부재 점수가 감소된다. 더욱이, 복수개의 척 부재(800)와 대향하는 영역에 형성된 수직면(740)을 따라 워크(20)의 수직 자세를 확보할 수 있다. 한편, 수직면(740)은 홀더(710)가 아닌 베이스판(700)에 마련해도 되고, 이 경우에도 동일한 작용·효과를 발휘할 수 있다.

다음으로, 상측 가로 프레임 가동 부재(560)의 슬라이딩 위치를 위치 결정하는 유지 부재(530)에 대해, 도 8을 참조하여 설명한다. 한편, 도 8에 나타내는 유지 부재(530)의 구조 중 도 7(A)~도 7(C)에 나타내는 척 부재의 구조와 동일 기능을 가지는 부재에 대해서는 도 7(A)~도 7(C)와 동일한 부호를 붙이고 있다. 단, 도 8에 나타내는 유지 부재(530)에는 면(740)은 형성되지 않는다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 고정 부재(510)에 예를 들면 4개 배치되어 있는 유지 부재(530)는 도 8에 나타내는 공통의 구조를 가진다. 도 8에서 상측 가로 프레임 가동 부재(560)는 고정 부재(510)를 구성하는 2매의 고정판(520, 522) 사이를 수평으로 슬라이딩 이동되고, 유지 부재(530)에 의해 유지된다.

유지 부재(530)는 고정판(520)에 배치된다. 즉, 홀더(710)는 고정판(520)에 고정된다. 고정판(520)에는 척 부재(800)의 척단(820)이 출입 가능한 슬릿 구멍(521)이 형성된다. 도 7(B)와 마찬가지로, 코일 스프링(730)의 압박력에 저항하여 레버(830)에 외력(F1)을 부여시킴으로써, 척 부재(800)의 척단(820)은 상측 가로 프레임 가동 부재(560)로부터 멀어진다. 그로써, 고정판(520, 522) 사이에서 상측 가로 프레임 가동 부재(560)를 수평방향으로 슬라이딩 이동시킬 수 있다. 도 7(B)에 나타내는 외력(F1)을 해제하면, 척 부재(800)의 척단(820)과 고정판(722) 사이에서 상측 가로 프레임 가동 부재(560)가 협지되고, 그 협지 상태는 비틀림 코일 스프링(730)의 압박력에 의해 유지된다. 그로써, 상측 가로 프레임 가동 부재(560)는 워크(20)의 폭에 맞추어 조정된 위치에서 유지 부재(530)에 의해 유지된다.

한편, 유지 부재(530)는 도 8에 나타내는 구조에 한정되지 않고, 나비 나사 등으로 상측 가로 프레임 가동 부재(560)를 위치 결정하고 유지할 수 있으면 된다. 더욱이, 반드시 유지 부재(530)를 마련할 필요는 없고, 예를 들면 2매의 고정판(520, 522) 사이의 틈새와 상측 가로 프레임 가동 부재(560)의 두께의 관계로부터, 감합에 의한 마찰력으로 상측 가로 프레임 가동 부재(560)를 유지시켜도 된다.

4. 급전부의 변형예

도 9는 워크(20)의 상단부 및 하단부에 급전하는 급전부를 나타내고 있다. 이 급전부는 2개의 상부 고정 척 부재(600)에 급전하는 제1 급전부(701)와, 2개의 수직 부재(562)의 예를 들면 2개의 세로 프레임 고정 부재(570)를 통해 2개의 상부 가동 척 부재에 급전하는 제2 급전부(702, 702)와, 2개의 세로 프레임 가동 부재(580)를 통해 2개의 하부 가동 척 부재(620, 620)에 급전하는 제3 급전부(703, 703)를 포함할 수 있다. 이들 제1~제3 급전부(701~703)는 예를 들면 도전 케이블로 형성할 수 있다. 한편, 이 경우, 세로 프레임 고정 부재(570)와 세로 프레임 가동 부재(580)는 전기적으로 절연되는 것이 바람직하다.

이렇게 하여, 제1 급전부(701)로부터 상부 고정 척 부재(600)에 급전하는 루트와, 제2 급전부(702)로부터 상부 가동 척 부재(610)에 급전하는 루트와, 제3 급전부(703)로부터 하부 가동 척 부재(620)에 급전하는 루트로 분리함으로써, 각 루트의 저항값이나 전류값을 독립적으로 설정할 수 있고, 그로써 워크(20)의 전류 분포의 면 내 균일성을 보다 향상시켜 워크(20)의 표면처리 품질을 더 높일 수 있다.

5. 접촉부의 폭 가변 기구

도 10은 도 3 및 도 4에 나타내는 2개의 접촉부(312, 312)의 폭을 워크(20)의 폭에 맞추어 조정 가능한 반송 지그의 피급전부를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 10에서 수평 암부(300)에 고정되는 고정부(311A)에는 고정부(311A)에서 돌출되는 2개의 가동부(900, 900)가 반송방향(A)을 따라 슬라이딩 가능하게 지지된다. 2개의 접촉부(312)는 이 2개의 가동부(900, 900)에 각각 지지된다. 고정부(311A)에는 2개의 가동부(900, 900)를 위치 조정 후에 유지하는 상술한 유지 부재(530)와 동일한 구조를 가지는 유지부(910)가 마련된다. 도 10에서는 유지부(910)는 모식적으로 나타나고, 고정부(311A)에 형성되는 슬릿 구멍(311B)을 통해 가동부(900)와 압접되는 척 부재(800)만이 도시되어 있다. 한편, 접촉부(312, 312)는 급전 레일(260)에 프레스 접촉하여 이동되기 때문에, 접촉부(312, 312)의 간격을 유지하는 유지부(910)는 필수이다. 단, 유지부(910)는 도 8에 나타내는 구조에 한정되지 않고, 예를 들면 나비 나사 등이어도 된다.

고정부(311A)의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동부(900, 900)는 워크(20)의 폭에 맞춘 위치에서 유지부(910)에 의해 고정부(311A)에 유지된다. 그로써, 2개의 가동부(900, 900)에 장착된 2개의 접촉부(312, 312)를 워크(20)의 폭에 맞춘 위치에 설정할 수 있다. 만일 2개의 접촉부(312, 312)의 위치가 고정이라고 하면, 가장 작은 사이즈의 워크(20)에 맞추어 고정된다. 그렇게 하면, 큰 사이즈의 워크(20)를 처리하기 위해 표면처리조(200)에 반입되는 반송 지그(30)는 워크(20)의 반송 선단보다도 접촉부(312)가 늦게 급전 레일(260)과 접촉하는 경우도 있으므로, 워크(20)의 반송 선단에 전기가 흐르지 않는 데드 타임이 생긴다. 혹은 2개의 접촉부(312, 312)의 폭과 워크(20)의 폭이 불일치함으로써, 2개의 처리조 분할 유닛의 경계에서 2개의 접촉부(312, 312)가 각각 다른 전류 제어 대상인 급전 레일(260)과 접촉하면, 워크(20)의 전류 제어가 복잡화된다. 2개의 처리조 분할 유닛의 경계를 워크(20)가 통과할 때, 상류의 유닛에서는 전류 점감 제어되고, 하류의 유닛에서는 전류 점증 제어된다. 이 제어를 워크(20)의 폭뿐만 아닌 2개의 접촉부(312, 312)의 폭도 고려하여 실시할 필요가 있기 때문이다. 2개의 접촉부(312, 312)를 워크(20)의 폭에 맞춘 위치에 설정함으로써, 워크(20)의 폭이 변해도 접촉부(312, 312)는 워크(20)의 폭방향의 양 단에 위치하도록 설정되고, 상술한 데드 타임이나 전류 제어의 복잡성을 회피할 수 있다.

6. 극박 워크를 유지 가능한 워크 유지부의 변형예

도 11 및 도 12는 특히 두께가 얇은 워크 예를 들면 30㎛ 이하의 두께인 워크이어도 확실하게 유지할 수 있는 반송 지그(30A)를 나타내고 있다. 도 11 및 도 12에 나타내는 반송 지그(30A)에서 도 3 및 도 4에 나타내는 반송 지그(30)의 부재와 동일 기능을 가지는 부재에 대해서는 동일 부호를 붙여 그 설명을 생략한다. 도 11 및 도 12에서 500~600번대의 부호가 붙여진 부재에 대해서는 이미 도 3 및 도 4에 기재된 반송 지그(30)로 설명 완료이다. 즉, 도 11 및 도 12에 나타내는 반송 지그(30A)는 직사각형 워크(20)의 폭 및/또는 길이에 맞추어 상부 가동 척 부재(610)와 하부 가동 척 부재(620)의 위치를 가변할 수 있는 점에서, 도 3 및 도 4에 기재된 반송 지그(30)와 동일하다. 단, 도 11 및 도 12에 나타내는 반송 지그(30A)는 특히 두께가 얇은 워크(20)의 상부 및 하부를 폭이 넓은 척 부재(600, 610, 620)로 파지하도록 하고 있다.

이 때문에, 반송 지그(30A)는 2개의 세로 프레임 가동 부재(580)의 하단부에 지지되는 기단부로부터 자유단부를 향해 수평으로 연장되는 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재(700)를 가지고 있다. 그리고 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재(700)에 적어도 하나 바람직하게는 복수개의 하부 가동 척 부재(620)를 지지할 수 있다. 이렇게 하면, 도 12에 나타내는 바와 같이 반송 지그(30A)의 폭을 넓힐 수 있었다 해도, 워크(20)의 하부를 비교적 긴 범위에 걸쳐 하부 가동 척 부재(620)로 파지할 수 있다.

또한, 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재(700)의 자유단을 수평방향으로 이동 안내하는 안내부(710)를 더 마련할 수 있다. 안내부(710)는 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재(700)에 각각 고정된 베어링(712, 714)을 가질 수 있다. 베어링(712)은 축(712A)의 일단이 고정되고, 베어링(714)은 축(712A)을 축방향으로 이동이 자유롭게 안내한다. 마찬가지로, 베어링(714)은 축(714A)의 일단이 고정되고, 베어링(712)은 축(714A)을 축방향으로 이동이 자유롭게 안내한다. 이렇게 하면, 반송 지그(30A)의 폭을 가변해도, 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재(700)의 자유단은 안내부(710)에 안내되어 수평방향으로 이동하므로, 2개의 하측 가로 프레임 가동 부재(700)를 동일 직선 상에 유지시키면서 폭 가변 동작을 원활하게 실시할 수 있다.

반송 지그(30A)의 2개의 세로 프레임 가동 부재(580) 각각은 직사각형 워크(20)의 측부를 척킹하는 적어도 하나 바람직하게는 복수개의 측부 고정 척 부재(720)를 더 가질 수 있다. 측부 고정 척 부재(720)의 척 부분도 폭이 넓게 형성되는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 예를 들면 워크의 두께가 예를 들면 30㎛ 이하의 극박이어도, 직사각형 워크의 4변을 척 부재(600, 610, 620, 720)에 의해 유지하여 워크(20)를 휘게 하지 않고 유지할 수 있다.

반송 지그(30A)에서는 세로 프레임 가동 부재(580)가 세로방향으로 연장되는 점에서는 반송 지그(30)와 동일하지만, 반송 지그(30)와는 다른 점으로서 세로 프레임 가동 부재(580)는 워크(20)의 주면과 평행한 제1 면의 폭(W1)보다도 워크(20)의 주면과 직교하는 제2 면의 폭(W2)이 짧은, 폭(W2)을 두께로 하는 판 형상 부재로 형성할 수 있다(도 12 참조). 이렇게 하면, 워크(20)의 주면과 평행한 반송방향(A)을 따라 반송 지그(30A)를 반송시켜도, 세로 프레임 가동 부재(580)에 작용하는 액체 압력이 적어진다. 따라서, 반송 지그(30A)를 안정적으로 반송시킬 수 있다.

도 3, 도 4, 도 11 및 도 12에 나타내는 반송 지그(30, 30A)에 공통되는 구조로서, 반송부 측의 연결부(525)는 워크(20)의 주면과 평행으로 연장되는 축(541)의 주변에 워크 유지부(500)를 회동이 자유롭게 지지할 수 있다. 이렇게 하면, 반송 시에 반송 지그(30, 30A)에 작용하는 흔들림의 외력을 축(541)의 주변 회동에 의해 놓아줄 수 있다. 그로써, 반송 지그(30, 30A)에 유지되는 워크(20)에 대한 충격을 완화시킬 수 있다.

한편, 상기한 바와 같이 본 실시형태에 대해 상세하게 설명했는데, 본 발명의 신규 사항 및 효과로부터 실체적으로 일탈하지 않는 많은 변형이 가능한 것은 당업자에게는 용이하게 이해될 수 있을 것이다. 따라서, 이와 같은 변형예는 모두 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 한다. 예를 들면, 명세서 또는 도면에서 적어도 한번, 보다 광의 또는 동의인 다른 용어와 함께 기재된 용어는 명세서 또는 도면의 어떠한 부분에서도 그 다른 용어로 치환할 수 있다. 또한 본 실시형태 및 변형예의 모든 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

10: 표면처리 장치 20: 워크
30, 30A: 반송 지그 200: 표면처리조
300, 320, 330: 반송부 310: 피급전부
311A: 고정부 312: 접촉부
500: 워크 유지부 510: 고정 부재
530: 유지 부재(유지부) 550: 가동 부재
560: 상측 가로 프레임 가동 부재 562: 수직 부재
570: 세로 프레임 고정 부재 580: 세로 프레임 가동 부재
600: 상부 고정 척 부재 610: 상부 가동 척 부재
620: 하부 가동 척 부재 630: 롤러
700: 하측 가로 프레임 가동 부재 701: 제1 급전부
702: 제2 급전부 703: 제3 급전부
710: 안내부 712, 714: 베어링
712A, 714A: 축 720: 측부 척 부재
900: 가동부 910: 유지부

Claims (15)

1. 반송부와,
   상기 반송부에 아래로 늘어뜨려져 지지되는 워크(work) 유지부를 가지며,
   상기 워크 유지부는,
   고정 부재와,
   상기 고정 부재에 대하여 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고 상기 고정 부재의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동 부재와,
   상기 고정 부재에 지지되고 워크의 상단부(上端部)를 척킹하는 상부 고정 척 부재와,
   상기 2개의 가동 부재 각각에 장착되고 상기 워크의 상단부를 척킹하는 상부 가동 척 부재를 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그(jig).
2. 제1항에 있어서,
   상기 고정 부재에 대하여 상기 2개의 가동 부재를 상기 워크의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지 부재를 더 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 2개의 가동 부재 각각은,
   상기 고정 부재에 슬라이딩 가능하게 지지되는 상측 가로 프레임 가동 부재와,
   상기 상측 가로 프레임 가동 부재에 고정되는 수직 부재를 포함하고,
   상기 상부 가동 척 부재는 상기 수직 부재에 지지되는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
4. 제3항에 있어서,
   상기 수직 부재는,
   세로 프레임 고정 부재와,
   상기 세로 프레임 고정 부재에 대하여 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되는 세로 프레임 가동 부재와,
   상기 세로 프레임 가동 부재의 하단부(下端部)에 지지되고 상기 워크의 하단부를 척킹하는 하부 가동 척 부재를 포함하며,
   상기 상부 가동 척 부재는 상기 세로 프레임 고정 부재에 지지되는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
5. 제3항에 있어서,
   상기 워크에 급전(給電)하는 급전부를 더 가지며,
   상기 급전부는 상기 고정 부재를 통해 상기 상부 고정 척 부재에 급전하는 제1 급전부와, 상기 수직 부재를 통해 상기 상부 가동 척 부재에 급전하는 제2 급전부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
6. 제4항에 있어서,
   상기 워크에 급전하는 급전부를 더 가지며,
   상기 세로 프레임 가동 부재는 상기 상측 가로 프레임 가동 부재와는 전기적으로 절연되고,
   상기 급전부는,
   상기 고정 부재를 통해 상기 상부 고정 척 부재에 급전하는 제1 급전부와,
   상기 상측 가로 프레임 가동 부재를 통해 상기 상부 가동 척 부재에 급전하는 제2 급전부와,
   상기 세로 프레임 가동 부재를 통해 상기 하부 가동 척 부재에 급전하는 제3 급전부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
   상기 급전부는 외부 레일로부터 급전되는 피급전부를 포함하고,
   상기 피급전부는,
   고정부와,
   상기 고정부에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고 상기 고정부의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동부와,
   상기 2개의 가동부 각각에 장착되고 외부 레일과 접촉하여 급전되는 접촉부와,
   상기 고정부에 대하여 상기 2개의 가동부를 상기 워크의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지부를 더 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
8. 제4항 또는 제6항에 있어서,
   상기 세로 프레임 가동 부재는 최하 단면을 회전 접촉면으로 하는 롤러를 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
9. 제3항에 있어서,
   상기 수직 부재는,
   세로 프레임 고정 부재와,
   상기 세로 프레임 고정 부재에 대하여 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되는 세로 프레임 가동 부재와,
   상기 세로 프레임 가동 부재의 하단부에 지지되는 기단부(基端部)로부터 자유단부(自由端部)를 향해 수평으로 연장되는 하측 가로 프레임 가동 부재를 포함하고,
   상기 세로 프레임 고정 부재에 상기 상부 가동 척 부재가 지지되며,
   상기 하측 가로 프레임 가동 부재에 하부 가동 척 부재가 지지되는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
10. 제9항에 있어서,
    상기 2개의 가동 부재에 각각 마련된 2개의 상기 하측 가로 프레임 가동 부재의 상기 자유단을 수평방향으로 이동 안내하는 안내부를 더 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
11. 제4항 또는 제10항에 있어서,
    상기 세로 프레임 가동 부재는 상기 워크의 측부를 척킹하는 측부 고정 척 부재를 더 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
12. 제4항, 제10항 또는 제11항에 있어서,
    세로방향으로 연장되는 상기 세로 프레임 가동 부재는 상기 워크의 주면(主面)과 평행한 제1 면의 폭보다도 상기 워크의 주면과 직교하는 제2 면의 폭이 짧은 판 형상 부재로 형성되는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송부는 상기 워크의 주면과 평행으로 연장되는 축의 주변에 상기 워크 유지부를 회동(回動)이 자유롭게 지지하는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
14. 워크의 상단부의 폭에 맞추어 상기 상단부의 양 단부를 척킹하는 위치가 가변인 2개의 척 부재를 포함하는 워크 유지부와,
    상기 2개의 척 부재를 통해 상기 워크에 급전하는 급전부를 구비한 반송 지그로서,
    상기 급전부는 외부로부터 급전되는 피급전부를 포함하며,
    상기 피급전부는,
    고정부와,
    상기 고정부에 수평방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고 상기 고정부의 양 단에서 돌출되는 2개의 가동부와,
    상기 2개의 가동부 각각에 장착되고 외부 레일과 접촉하여 급전되는 접촉부와,
    상기 고정부에 대하여 상기 2개의 가동부를 상기 워크의 폭에 맞춘 위치에서 각각 유지하는 유지부를 더 가지는 것을 특징으로 하는, 반송 지그.
15. 처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면처리조와,
    상기 표면처리조의 상기 처리액 중에 배치시켜 워크를 각각 유지하는 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 복수개의 반송 지그를 가지는 것을 특징으로 하는, 표면처리 장치.
    

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