KR101300325B1

KR101300325B1 - 기판 도금 장치 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR101300325B1
Application number: KR1020110139323A
Authority: KR
Inventors: 이재찬
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2011-12-21
Filing date: 2011-12-21
Publication date: 2013-08-28
Also published as: CN103173825A; JP2013129911A; KR20130071861A; JP5524313B2; TW201331426A; US20130161197A1

Abstract

본 발명의 기판 도금 장치는 전원을 공급하는 정전류기, 기판을 잡아 주는 다수의 클램프, 상기 클램프 각각에 장착되어 전류 정보를 검출하는 홀전류 센서, 및 상기 홀전류 센서에 연결되어 상기 전류 정보를 외부로 무선 송신하는 무선통신모듈을 포함한 음극 행거, 도금조 위에서 상기 음극 행거가 다수 장착되고, 상기 정전류기와 연결된 전류 레일, 및 상기 정전류기로부터 연장 연결되고, 상기 도금조의 도금액에 침전된 양극부를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법은 홀전류 센서에 연결된 무선통신모듈에 의해 근거리 무선통신으로 전류 정보를 실시간으로 수신하고 디스플레이하므로, 도금 불량을 예방하고, 도금막 두께 산포의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 도금 장치 및 그 제어 방법{APPARATUS FOR PLATING SUBSTRATE AND CONTROL METHOD THEREOF}

본 발명은 기판 도금 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

종래에 인쇄회로기판의 금속 배선을 형성하기 위해서, 기판 상에 금속막을 패터닝(patterning)하여 배선을 형성하게 된다. 이때, 기판의 전면에 형성되는 금속막은 알루미늄 또는 구리를 이용하여 형성된다. 여기서, 구리의 경우 녹는점이 높아서 전기 이동도에 대한 큰 저항력을 가질 수 있으며, 반도체 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 비저항이 낮아 신호 전달 속도를 증가시킬 수 있는 이점이 있기 때문에 구리 금속막을 주로 사용한다.

금속막을 형성하는 방법으로는 물리적인 충돌을 이용하는 물리기상증착법(physical vapor deposition, PVD)과 화학반응을 이용하는 화학기상증착법(chemical vapor deposition, CVD)으로 나누어 진다. PVD는 스퍼터링(sputtering) 등이 있고, CVD는 열을 이용한 열 화학기상증착법(thermal CVD)과 플라즈마를 이용한 플라즈마 화학기상증착법(plasma enhanced CVD, PECVD) 등이 있다.

그러나, 기판 상에 금속막을 패터닝 하기 위해서는 증착 방법에 비해 전기 이동도에 대한 내성이 우수하고 제조 비용이 더 저렴한 전기도금방법이 선호된다.

종래에 전기도금의 원리는 국내공개특허공보 제 2010-0034318호(2010년 4월 1일 공개)에 기재된 바와 같이, 전해액이 수용된 도금조 내에 양극(anode)를 형성하는 구리판과 음극(cathode)를 형성하는 기판을 침지시킴으로써, 구리판에서 분리된 구리 이온(Cu2+)이 기판으로 이동하여 금속막이 형성된다.

이러한 전기도금방법에 관한 일반적인 예로서, 위크 행거를 이용한 전기 도금 방법은 도금하고자 하는 대상을 위크 행거에 장착하여 수직 또는 수평 레일에 장착되어 기동하면서 도금조 안에 담겨져 있는 도금액에 침전시킨 후, 도금 대상을 음극으로 하고 도금하려고 하는 금속 또는 불용해성 금속을 양극으로 한다.

이후, 정류기를 통해 전극에 전류를 인가하면, 도금액이 전기분해되면서 도금액 속에 포함된 금속 이온이 분리되면서 음극인 도금 대상의 표면에 부착되며, 어느 정도 시간이 지나면 얇은 금속막을 형성하면서 도금되는 원리를 채택한 것이다.

이러한 전기도금방법은 향후 인쇄회로기판의 박막화 추세에 따라, 금속막의 두께를 균일하게 형성하기 위한 전류 밀도, 도금 두께의 산포 등을 제어하는 것이 필요로 되고 있다.

구체적으로, 종래에 이슈화되고 있는 균일 전착성(Throwing Power) 방법을 예로 들 수 있다. 이러한 균일 전착성 방법은 한 대의 정류기에 다수의 음극 행거(cathode hangar)가 연결되고, 음극 행거에 클램프가 몇 개의 가지로 나누어져 집게 행태로 기판을 잡아 전류가 흐르는 형태이다.

그러나, 이러한 균일 전착성 방법은 기판에 구리 금속막을 균일하게 형성하기 어렵다는 문제점이 있다. 즉, 기판의 도금 면적이 대면적이고 행거에서의 전류 기동이 달라지며, 클램프 오염, 클램프 집계의 강도 차이 등에 의해 기판에 도금 전류의 산포가 발생한다.

이러한 도금 전류의 차이에 의해 기판의 전류 밀도가 달라져 도금 두께의 산포가 불균일하게 된다.

이에 따라, 인쇄회로기판의 구리 금속막이 전체적으로 불균일한 도금 두께의 산포를 가지므로, 표면 품질이 저하되어 인쇄회로기판의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해소하기 위해 실시간으로 도금을 위한 전류 정보를 검출하고 제어하는 기판 도금 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 상기 목적을 달성할 수 있는 기판 도금 장치의 제어 방법을 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 도금 장치는 전원을 공급하는 정전류기; 기판을 잡아 주는 다수의 클램프, 상기 클램프 각각에 장착되어 전류 정보를 검출하는 홀전류 센서, 및 상기 홀전류 센서에 연결되어 상기 전류 정보를 외부로 무선 송신하는 무선통신모듈을 포함한 음극 행거(cathode hangar); 도금조 위에서 상기 음극 행거가 다수 장착되고, 상기 정전류기와 연결된 전류 레일; 및 상기 정전류기로부터 연장 연결되고, 상기 도금조의 도금액에 침전된 양극부;를 포함한다.

본 발명의 기판 도금 장치에서 상기 음극 행거는 상기 전류 레일에 슬라이드 이동식으로 지지할 수 있는 수평 지지대와 현수 지지대; 상기 수평 지지대 상부에 구비된 급전부; 상기 급전부와 결합된 통전 베이스; 상기 현수 지지대의 하부에 구비된 레일 가이드; 및 상기 레일 가이드에 위치하는 가변 슬라이드;를 더 포함하고, 상기 기판을 고정하는 다수의 클램프가 상기 가변 슬라이드에 장착된다.

본 발명의 기판 도금 장치에서 상기 무선통신모듈은 지그비(zigbee), 블루투스(blue tooth), RFID(Radio Frequency Identification), 및 와이파이(Wifi) 중 어느 하나의 근거리 무선통신방식을 이용한다.

본 발명의 기판 도금 장치에서 상기 홀전류 센서는 상기 클램프의 일측을 둘러싸는 링 타입의 홀 소자를 이용하여 구비된다.

또한, 본 발명의 기판 도금 장치를 이용한 기판 도금 제어 방법은 행거에 구비된 다수의 클램프를 이용하여 도금하고자하는 기판을 장착하는 단계; 상기 행거에 장착된 무선통신모듈과 상기 클램프 각각에 구비된 홀전류 센서를 이용하여, 상기 클램프 각각에 흐르는 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계; 외부의 제어부가 상기 무선통신모듈로부터 실시간으로 무선 수신한 상기 전류 정보를 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보와 비교하여 만족하는지를 판단하는 단계; 및 상기 전류 정보가 상기 전류 기준 정보를 만족함에 따라, 상기 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 기판 도금 장치를 이용한 기판 도금 제어 방법에서 상기 기판을 장착하는 단계는 상기 클램프의 통전 접점 사이에 상기 기판을 맞물리게 장착하는 단계; 및 상기 기판을 도금액에 침전한 상태에서 상기 클램프를 통해 전류를 인가하는 단계;를 더 포함한다.

본 발명의 기판 도금 장치를 이용한 기판 도금 제어 방법에서 상기 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계는 상기 홀전류 센서가 상기 클램프 각각에 인가되는 전류를 실시간으로 검출하여 상기 무선통신모듈로 전달하는 단계; 상기 무선통신모듈은 상기 전류 정보를 상기 제어부로 무선 송신하는 단계; 및 상기 제어부는 상기 전류 정보를 상기 행거 또는 상기 클램프 각각에 대한 실시간 전류값, 또는 평균 전류값을 합산한 누적 평균 전류값으로 디스플레이하는 단계;를 더 포함한다.

본 발명의 기판 도금 장치를 이용한 기판 도금 제어 방법은 상기 판단하는 단계에서 상기 전류 기준 정보로서 인가 전류 범위, 전류 편차 범위, 및 전류 밀도 범위를 포함한다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고, 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법은 전기도금과정에서 홀전류 센서를 이용하여 클램프에 인가되는 전류에 관한 정보를 실시간으로 검출할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법은 홀전류 센서에 연결된 무선통신모듈에 의해 근거리 무선통신으로 전류 정보를 실시간으로 수신하고 디스플레이하므로, 도금 불량을 예방하고, 도금막 두께 산포의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 나타낸 예시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치의 행거를 나타낸 예시도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 센서가 장착된 클램프를 나타낸 예시도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치의 블록도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치의 전류 센서를 나타낸 회로도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법을 나타낸 순서도.
도 7은 본 발명의 도금 제어방법에 따라 실시간으로 전류 정보를 검출하는 과정을 설명하기 위한 예시도.
도 8은 본 발명의 도금 제어방법에 따라 도금 불량 여부를 판단하는 과정을 설명하기 위한 예시도.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 나타낸 예시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치의 행거를 나타낸 예시도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 센서가 장착된 클램프를 나타낸 예시도이ㅁ며, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치의 블록도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치의 전류 센서를 나타낸 회로도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 전원을 공급하는 정전류기(10); 기판(100)을 잡아 주는 다수의 클램프(210), 각 클램프(210)에 장착된 홀전류 센서(212), 및 홀전류 센서(212)에 연결된 무선통신모듈(220)을 구비한 음극 행거(cathode hangar: 200); 도금조(50) 위에서 음극 행거(200)를 슬라이드 방식으로 장착하고, 정전류기(10)와 연결된 전류 레일(20); 및 정전류기(10)로부터 연장 연결되고 도금조(50)의 도금액(55)에 침전된 양극부(30)를 포함한다.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치는 도금액에 침전된 양극부(30)와 전류 레일(20)를 통해 전류 경로를 이루고, 도금액(55)을 매체로 양극부(30)의 금속 양이온이 음극 행거(200)의 기판(100)을 향해 이동하여 도금을 수행하는 구조이다.

정전류기(10)는 양극선과 음극선을 다수 구비하여, 양극선은 양극부(30)에 연결되고, 음극선은 전류 레일(20)에 연결된다.

전류 레일(20)은 도금조(50) 위에 구비되고, 도금하고자 하는 기판(100)을 장착한 다수의 음극 행거(200)가 슬라이드 방식으로 체결되어 장착된다.

음극 행거(200)는 도 2에 도시된 바와 같이, 전류 레일(20)에 슬라이드 이동식으로 지지할 수 있도록 하는 수평 지지대(201)와 현수 지지대(202); 수평 지지대(201) 상부에 급전부(203)와 결합되는 통전 베이스(204); 현수 지지대(202)의 하부에 구비된 레일 가이드(205); 레일 가이드(205)에 위치하는 가변 슬라이드(206)에 장착되어, 기판(100)을 고정하는 다수의 클램프(210); 각 클램프(210)의 일측에 장착된 홀전류 센서(212, 212'); 및 홀전류 센서(212)에 유선 연결된 무선통신모듈(220)을 포함한다.

이러한 음극 행거(200)는 수평 지지대(201)와 현수 지지대(202)를 이용하여 전류 레일(20)에서 슬라이드 이동하여, 장착된 기판(100)이 일정한 방향과 속도로 이동하도록 한다. 이러한 음극 행거(200)는 전류 레일(20)에 일정한 간격으로 배치하여 기판(100)에 동일한 전류가 인가될 수 있다.

클램프(210)는 기판(100)의 면적 또는 길이에 비례하여 설정된 개수로 일정한 간격으로 일렬로 다수 배치되고, 도금하려고 하는 기판(100)을 고정함과 동시에 음극 통전을 위한 부재로 사용된다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 클램프(210)의 통전 접점(211)은 도금액에 침전되어 기판(100)에 대한 음극 통전을 이룬다. 　

이때, 클램프(210)의 일측에 장착된 홀전류 센서(212)는 클램프(210)를 통해 기판(100)에 흐르는 전류의 정보를 실시간으로 검출하여 현수 지지대(202)에 구비된 무선통신모듈(220)로 전달한다.

홀전류 센서(212)는 클램프(210)의 일측을 둘러싸는 링 타입의 홀 소자를 이용하여 형성될 수 있다. 이러한 홀전류 센서(212)는 도 5에 도시된 바와 같이 홀전류 센서(212)에 대해 관통하여 직각으로 흐르는 전류(+로 도시함)에 대한 자계를 측정하여 클램프(210)에 인가되는 전류를 실시간으로 검출할 수 있고, 이를 현수 지지대(202)에 구비된 무선통신모듈(220)로 유선 전달한다.

무선통신모듈(220)은 지그비(zigbee), 블루투스(blue tooth), RFID(Radio Frequency Identification), 와이파이(Wifi) 등의 근거리 무선통신방식이 적용된 모듈로서, 도 4에 도시된 바와 같이 근거리 무선통신 처리부(221)와 근거리 무선 송수신부(222)를 포함하여 구성된다.

근거리 무선통신 처리부(221)는 홀전류 센서(212) 각각에 연결된 유선(도시하지 않음)을 통해 전달된 전류 정보를 근거리 무선통신방식의 정보로 변환 처리하고, 근거리 무선 송수신부(222)는 이렇게 변환처리된 전류 정보를 외부에 구비된 제어부(도시하지 않음)로 무선 전달한다. 여기서, 제어부는 PC, PDA, 노트북, 스마트폰 등에 구성된 컴퓨터 프로세서부로 대표될 수 있다.

외부의 제어부는 무선 수신한 전류 정보를 분석하여, 각 클램프(5)에 흐르는 전류량, 전류밀도 및 누적 전류량 등의 클램프(210) 각각에 인가된 전류 정보로서 모니터 등과 같은 디스플레이 장치(도시하지 않음)에 표시할 수 있다.

또한, 제어부는 이러한 전류 정보를 전류 기준 정보와 비교하여, 각 클램프(210)에 장착된 기판(100)에 대해 이루어지는 도금막의 도금 불량 여부를 판단하고, 판단 결과를 디스플레이 장치에 디스플레이할 수 있다.

따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치는 홀전류 센서(212)를 이용하여 각 클램프(210)에 흐르는 전류를 실시간으로 검출하여, 각 클램프(210)에 흐르는 전류의 정보를 알 수 있고, 단락 등의 문제가 생긴 클램프의 위치를 알 수 있게 한다.

이하, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법에 대해 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법을 나타낸 순서도이고, 도 7은 본 발명의 도금 제어방법에 따라 실시간으로 전류 정보를 검출하는 과정을 설명하기 위한 예시도이며, 도 8은 본 발명의 도금 제어방법에 따라 도금 불량 여부를 판단하는 과정을 설명하기 위한 예시도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법은 먼저 음극 행거(200)에 도금하고자하는 기판(100)을 장착한다(S610).

구체적으로, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법은 도 2에 도시된 일정 간격으로 이격된 다수의 음극 행거(200)에 기판(100)을 장착하는데, 특히 클램프(210)의 통전 접점(211) 사이에 기판(100)을 맞물리도록 장착한다.

다수의 클램프(210)에 기판(100)을 장착한 후, 클램프(210)에 장착된 기판(100)을 도금액이 담겨진 도금조(50)의 직상부에서 직하부로 하강시켜 도금액(55)에 침전시킨 상태에서, 정전류기(10)에 외부 전원을 인가한다.

정전류기(10)에 외부 전원을 인가하게 되면, 도금 전류는 음극 행거(200)와 양극부(30)를 통해 기판(100)과 도금액(55)에 각각 음극 전류와 양극 전류가 공급됨과 동시에 음극 행거(200)는 전류 레일(20)을 따라 일 방향으로 이동되면서 기판(100)에 전기 도금이 이루어진다.

이때, 음극 행거(200)에 장착된 무선통신모듈(220)과 각 클램프(210)에 장착된 홀전류 센서(212)를 이용하여, 각 클램프(210)에 흐르는 전류에 관한 정보를 실시간으로 검출한다(S620).

즉, 홀전류 센서(212)는 클램프(210)에 인가되는 전류를 실시간으로 검출하고, 이 검출된 전류 정보를 현수 지지대(202)에 구비된 무선통신모듈(220)로 유선 전달한다. 무선통신모듈(220)은 수신한 전류 정보를 근거리 무선통신 처리부(221)에서 근거리 무선통신방식의 신호 패턴으로 변환 처리하고, 근거리 무선 송수신부(222)에서 이렇게 변환처리된 전류 정보를 외부로 무선 전달한다.

이렇게 무선 전달된 전류 정보가 외부에 구비된 제어부에 수신되면, 제어부는 도 7에 도시된 바와 같이 전류 정보를 디스플레이 장치를 통해 디스플레이할 수 있다. 즉, 제어부는 무선 전달된 전류 정보에 따라 도 7에 도시된 그래프처럼 검출된 전류값을 실시간으로 표시할 수 있다.

또한, 제어부는 도 7에 도시된 바와 같이 각 클램프에 대한 평균 전류값을 합산한 누적 평균 전류값을 표시할 수 있다. 즉, 도 7에 도시된 96번 행거의 1번부터 4번까지 각 클램프에 대해 소정 시간 동안 검출된 전류값에 관한 평균 전류값을 합산한 누적 평균 전류가 73.5A이고, 67번 행거의 1번부터 4번까지 각 클램프에 대해 소정 시간 동안 검출된 평균 전류값을 합산한 누적 평균 전류가 94.5A라는 정보를 실시간으로 표시할 수 있다.

그리고, 제어부는 도 8에 도시된 바와 같이 선택적으로 1번 행거에 구비된 5개의 클램프를 CT1 부터 CT5로 표시하고, 실시간으로 검출된 전류값과 그 그래프를 디스플레이할 수 있다. 여기서, 도 8에는 1번 행거에 대해서만 도시하지만, 이에 한정되지 않고 기판을 장착한 다수의 행거 각각에 대해 클램프를 표시하고, 실시간으로 검출된 전류값과 그 그래프를 디스플레이할 수 있다.

이때, 제어부는 실시간으로 무선 전달된 전류 정보가 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보와 비교하여 만족하는지를 판단한다(S630).

여기서, 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보는 인가 전류 범위, 전류 편차 범위, 전류 밀도 범위 등을 포함할 수 있다. 예를 들어, 판정 기준으로 60㎛ ± 5㎛의 도금 두께를 형성하기 위한 기준 입력 전류가 100A로 설정된 경우, 100A 값에 대한 ±10%의 오차 범위인 90A ~ 110A의 인가 전류 범위가 양호한 도금을 위한 전류 기준 정보로서 이용될 수 있다.

따라서, 도 7에 도시된 96번 행거의 누적 평균 전류가 73.5A로서 인가 전류 범위를 만족하지 않으므로, 제어부는 96번 행거를 불량 행거로 판단하고 96번 행거에 장착된 기판을 불량 기판으로 표시할 수 있다.

반면에, 67번 행거의 누적 평균 전류가 94.5A로서 인가 전류 범위를 만족하므로, 제어부는 67번 행거를 양품 행거로 판단하고 67번 행거에 장착된 기판을 양품 기판으로 표시할 수 있다.

또한, 도 8에서 실시간으로 검출된 전류값과 그 그래프에 대해, 제어부는 전류값이 갑자기 하락한 "A"의 그래프 부분과 다른 클램프들보다 전류 편차가 심한 "B"와 "C"의 부분을 근거로 하여 행거 또는 클램프가 불량이며, 장착된 기판을 불량으로 표시할 수 있다.

이와 같은 판단 단계(S630)의 판단 결과, 무선 전달된 전류 정보가 기설정된 전류 기준 정보를 만족하면, 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리한다(S640).

이에 따라, 사용자는 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리된 기판에 대한 도금 과정을 종료하고, 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 분리하여 마무리할 수 있다.

반면에, 판단 단계(S630)의 판단 결과, 무선 전달된 전류 정보가 기설정된 전류 기준 정보를 만족하지 못하면, 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 불량 기판으로 판정하고 폐기처리한다(S650).

이와 같은 과정을 포함하는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 도금 장치를 이용한 도금 제어방법은 전기도금과정에서 홀전류 센서(212)를 이용하여 클램프에 인가되는 전류에 관한 정보를 실시간으로 검출하는 특징이 있다.

또한, 본 발명의 도금 제어방법은 홀전류 센서(212)에 연결된 무선통신모듈(220)에 의해 근거리 무선통신으로 전류 정보를 실시간으로 수신하여 디스플레이하므로, 전류 미인가 또는 전류 편차에 따른 미도금 불량을 예방하고, 도금막 두께 산포의 신뢰도를 향상할 수 있다.

본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 전술한 실시예들은 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다.

또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 실시가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

100: 기판 200: 음극 행거
201: 수평 지지대 202: 현수 지지대
203: 급전부 204: 통전 베이스
205: 레일 가이드 206: 가변 슬라이드
210: 클램프 211: 통전 접전
212: 홀전류 센서 220: 무선통신모듈
221: 무선통신 처리부 222: 무선 송수신부

Claims

삭제
전원을 공급하는 정전류기;
기판을 잡아 주는 다수의 클램프, 상기 클램프 각각에 장착되어 전류 정보를 검출하는 홀전류 센서, 및 상기 홀전류 센서에 연결되어 상기 전류 정보를 외부로 무선 송신하는 무선통신모듈을 포함한 음극 행거(cathode hangar);
도금조 위에서 상기 음극 행거가 다수 장착되고, 상기 정전류기와 연결된 전류 레일; 및
상기 정전류기로부터 연장 연결되고, 상기 도금조의 도금액에 침전된 양극부를 포함하며,
상기 음극 행거는
상기 전류 레일에 슬라이드 이동식으로 지지할 수 있는 수평 지지대와 현수 지지대;
상기 수평 지지대 상부에 구비된 급전부;
상기 급전부와 결합된 통전 베이스;
상기 현수 지지대의 하부에 구비된 레일 가이드; 및
상기 레일 가이드에 위치하는 가변 슬라이드;
를 더 포함하고,
상기 기판을 고정하는 다수의 클램프가 상기 가변 슬라이드에 장착되는 기판 도금 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 무선통신모듈은 상기 현수 지지대의 일측에 장착되는 기판 도금 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 무선통신모듈은
지그비(zigbee), 블루투스(blue tooth), RFID(Radio Frequency Identification), 및 와이파이(Wifi) 중 어느 하나의 근거리 무선통신방식을 이용하는 기판 도금 장치.
전원을 공급하는 정전류기;
기판을 잡아 주는 다수의 클램프, 상기 클램프 각각에 장착되어 전류 정보를 검출하는 홀전류 센서, 및 상기 홀전류 센서에 연결되어 상기 전류 정보를 외부로 무선 송신하는 무선통신모듈을 포함한 음극 행거(cathode hangar);
도금조 위에서 상기 음극 행거가 다수 장착되고, 상기 정전류기와 연결된 전류 레일; 및
상기 정전류기로부터 연장 연결되고, 상기 도금조의 도금액에 침전된 양극부를 포함하며,
상기 무선통신모듈은
상기 홀전류 센서에 연결되어 상기 클램프 각각에 대한 전류 정보를 수신하고, 상기 전류 정보를 근거리 무선통신방식의 정보로 변환 처리하는 무선통신 처리부; 및
상기 변환처리된 전류 정보를 외부로 무선 송신하는 근거리 무선 송수신부;
를 포함하는 기판 도금 장치.
전원을 공급하는 정전류기;
기판을 잡아 주는 다수의 클램프, 상기 클램프 각각에 장착되어 전류 정보를 검출하는 홀전류 센서, 및 상기 홀전류 센서에 연결되어 상기 전류 정보를 외부로 무선 송신하는 무선통신모듈을 포함한 음극 행거(cathode hangar);
도금조 위에서 상기 음극 행거가 다수 장착되고, 상기 정전류기와 연결된 전류 레일; 및
상기 정전류기로부터 연장 연결되고, 상기 도금조의 도금액에 침전된 양극부를 포함하며,
상기 홀전류 센서는 상기 클램프의 일측을 둘러싸는 링 타입의 홀 소자를 이용하여 구비되는 기판 도금 장치.
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행거에 구비된 다수의 클램프를 이용하여 도금하고자하는 기판을 장착하는 단계;
상기 행거에 장착된 무선통신모듈과 상기 클램프 각각에 구비된 홀전류 센서를 이용하여, 상기 클램프 각각에 흐르는 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계;
외부의 제어부가 상기 무선통신모듈로부터 실시간으로 무선 수신한 상기 전류 정보를 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보와 비교하여 만족하는지를 판단하는 단계; 및
상기 전류 정보가 상기 전류 기준 정보를 만족함에 따라, 상기 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리하는 단계를 포함하며,
상기 기판을 장착하는 단계는
상기 클램프의 통전 접점 사이에 상기 기판을 맞물리게 장착하는 단계; 및
상기 기판을 도금액에 침전한 상태에서 상기 클램프를 통해 전류를 인가하는 단계;
를 포함하는 기판 도금 제어 방법.
행거에 구비된 다수의 클램프를 이용하여 도금하고자하는 기판을 장착하는 단계;
상기 행거에 장착된 무선통신모듈과 상기 클램프 각각에 구비된 홀전류 센서를 이용하여, 상기 클램프 각각에 흐르는 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계;
외부의 제어부가 상기 무선통신모듈로부터 실시간으로 무선 수신한 상기 전류 정보를 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보와 비교하여 만족하는지를 판단하는 단계; 및
상기 전류 정보가 상기 전류 기준 정보를 만족함에 따라, 상기 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리하는 단계를 포함하며,
상기 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계는
상기 홀전류 센서가 상기 클램프 각각에 인가되는 전류를 실시간으로 검출하여 상기 무선통신모듈로 전달하는 단계;
상기 무선통신모듈은 상기 전류 정보를 상기 제어부로 무선 송신하는 단계; 및
상기 제어부는 상기 전류 정보를 상기 행거 또는 상기 클램프 각각에 대한 실시간 전류값, 또는 평균 전류값을 합산한 누적 평균 전류값으로 디스플레이하는 단계;
를 포함하는 기판 도금 제어 방법.
행거에 구비된 다수의 클램프를 이용하여 도금하고자하는 기판을 장착하는 단계;
상기 행거에 장착된 무선통신모듈과 상기 클램프 각각에 구비된 홀전류 센서를 이용하여, 상기 클램프 각각에 흐르는 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계;
외부의 제어부가 상기 무선통신모듈로부터 실시간으로 무선 수신한 상기 전류 정보를 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보와 비교하여 만족하는지를 판단하는 단계; 및
상기 전류 정보가 상기 전류 기준 정보를 만족함에 따라, 상기 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리하는 단계를 포함하며,
상기 판단하는 단계에서 상기 전류 기준 정보는 인가 전류 범위, 전류 편차 범위, 및 전류 밀도 범위를 포함하는 기판 도금 제어 방법.
제 8 항에 있어서,
상기 무선통신모듈은 지그비, 블루투스, RFID, 및 와이파이 중 어느 하나의 근거리 무선통신방식으로 상기 전류 정보를 무선 송신하는 기판 도금 제어 방법.
행거에 구비된 다수의 클램프를 이용하여 도금하고자하는 기판을 장착하는 단계;
상기 행거에 장착된 무선통신모듈과 상기 클램프 각각에 구비된 홀전류 센서를 이용하여, 상기 클램프 각각에 흐르는 전류 정보를 실시간으로 검출하는 단계;
외부의 제어부가 상기 무선통신모듈로부터 실시간으로 무선 수신한 상기 전류 정보를 양호한 도금에 관해 기설정된 전류 기준 정보와 비교하여 만족하는지를 판단하는 단계; 및
상기 전류 정보가 상기 전류 기준 정보를 만족함에 따라, 상기 제어부는 해당 행거 또는 클램프에 장착된 기판을 양호한 도금막을 갖는 기판으로 처리하는 단계를 포함하며,
상기 홀전류 센서는 상기 클램프의 일측을 둘러싸는 링 타입의 홀 소자를 이용하여 상기 클램프에 인가되는 전류를 실시간으로 검출하는 기판 도금 제어 방법.