CN110709538B - 表面处理装置和搬送治具 - Google Patents

Abstract

表面处理装置(10)具有：表面处理槽(200)，其收纳处理液(Q)，具有上部开口(200A)；搬送治具(30)，其包含将工件(20)保持为从表面处理槽的上部开口向处理液内垂下的工件保持部(340)，并且该搬送治具(30)沿着搬送方向(A)对工件(20)进行搬送；供电部(260)，其与搬送治具接触，向工件供电；驱动部(270)，其向搬送治具赋予驱动力，对搬送治具进行搬送驱动；以及引导部(280)，其与搬送治具接触，对搬送治具进行搬送引导，在俯视观察时，引导部与工件保持部的距离(L1)比驱动部与工件保持部的距离(L2)短，并且比供电部与工件保持部的距离(L3)短。

Description

表面处理装置和搬送治具

技术领域

本发明涉及对工件的表面实施镀覆处理等的表面处理装置和搬送工件的搬送治具。

背景技术

专利文献1公开了对工件的表面实施镀覆处理等的表面处理装置和搬送工件的搬送治具。该表面处理装置兼作经由搬送治具向工件供电的供电轨道和对搬送治具进行搬送引导的导轨，搬送治具的一部分与供电/搬送轨道面接触。

另一方面，专利文献2公开了能够对每个设定为阴极的工件进行电流控制的、所谓的阴极分割方式的表面处理装置，专利文献3公开了阴极分割方式的表面处理装置和搬送治具的构造。

如专利文献1所公开的那样，表面处理装置包含对保持着工件的搬送治具进行连续搬送的区域和间歇搬送的区域。间歇搬送如专利文献1所公开的那样例如采用通过推杆从后方推动搬送治具的方式等。另一方面，关于连续搬送，如专利文献1所公开的那样使固定有与设置于搬送治具的爪卡合的齿块的链条连续移动。此外，如专利文献4所公开的那样，将直线搬送路分割为多个区间，通过交替驱动设置于每个区间的2个推杆，能够从后方推动搬送治具而对搬送治具进行连续搬送。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-046782号公报

专利文献2：日本特开2009-132999号公报

专利文献3：日本特开2013-011009号公报

专利文献4：日本特许第6117891号公报

发明内容

发明要解决的课题

例如如上述的阴极分割方式等那样，有时像专利文献3所示的那样设置经由搬送治具向工件供电的供电轨道和对搬送治具进行搬送引导的导轨，而不是像专利文献1那样使用供电/搬送轨道。

在该情况下，如专利文献3所示，表面处理装置在俯视观察时在表面处理槽的两侧具有导轨，搬送治具的水平臂部的两端部在俯视观察时在工件保持部的两侧被导轨支承。因此，搬送治具的宽度尺寸较大，治具大型化。表面处理装置的宽度尺寸也会变大，装置大型化。

另外，如专利文献3那样，不具有供电功能的导轨的顶面与设置于搬送治具的辊滚动接触，减小了如专利文献1那样随着面接触而增大的摩擦力。虽然搬送治具被连续搬送或间歇搬送，但需要保持这些搬送驱动结束后的停止位置的精度。这是为了不对下一个工序的搬送产生妨碍。

本发明的几个方式的目的在于，提供能够减小宽度尺寸而实现小型化，并且能够稳定地对搬送治具进行搬送的表面处理装置和搬送治具。

本发明的其他的几个方式的目的在于，提供能够使不具有供电功能的导轨的顶面与设置于搬送治具的辊滚动接触而减小摩擦力，并且能够确保连续搬送或间歇搬送结束后的搬送治具的停止位置精度的表面处理装置和搬送治具。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及表面处理装置，其具有：

表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；

搬送治具，其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部，并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送；

供电部，其与所述搬送治具接触，向所述工件供电；

驱动部，其向所述搬送治具赋予驱动力，对所述搬送治具进行搬送驱动；以及

引导部，其与所述搬送治具接触，对所述搬送治具进行搬送引导，

在俯视观察时，所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。

根据本发明的一个方式，能够稳定地对保持工件的搬送治具进行连续或间歇地搬送。这里，在搬送治具中，工件保持部的重量比与供电部接触的被供电部和被驱动部驱动的被驱动部大。由于大重量的工件保持部与引导部的距离变短，作用于工件保持部的无用的力矩减小，因此能够稳定地对搬送治具进行搬送。此外，由于作用于工件保持部的无用的力矩减小，因此能够减小从驱动部赋予搬送治具的驱动力。另外，相比于像专利文献3那样对搬送治具的两端部的被引导部进行引导的结构，搬送治具的宽度尺寸变短，因此表面处理装置的宽度尺寸也变短，实现装置的小型化。

这里，在本发明的一个方式中，在俯视观察时，可以像专利文献3的构造那样在工件保持部的两侧设置引导部(双支撑梁构造)，或者也可以像专利文献1的构造那样仅在工件保持部的一侧设置引导部(悬臂梁构造)。根据双支撑梁构造，进一步减小作用于工件保持部的无用的力矩。即使采用悬臂梁构造，由于工件保持部与引导部的距离较短，因此作用于工件保持部的无用的力矩减小。此时，在俯视观察时，可以将引导部、驱动部以及供电部设置于工件保持部的一侧，或者也可以在工件保持部的一侧设置驱动部和供电部，在工件保持部的另一侧设置引导部。前者是悬臂梁构造，关于后者，在俯视观察时工件保持部的一侧被驱动部和供电部支承，另一侧被引导部支承，因此是双支撑梁构造。这样，能够更稳定地对搬送治具进行搬送引导，并且减小作用于工件保持部的无用的力矩，从而能够减小从驱动部赋予搬送治具的驱动力。

(2)在本发明的一个方式中，可以为，

所述搬送治具包含水平臂部，该水平臂部以所述工件保持部垂下的方式对所述工件保持部进行支承，

所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被所述引导部引导；

被驱动部，其被所述驱动部驱动；以及

被供电部，其与所述供电部接触。

这样，工件保持部包含将工件的至少上端部(必要时为工件的上端部和下端部)卡住的卡盘部，并且工件保持部的重量比被引导部、被驱动部或被供电部重，但通过上述的引导部的作用，稳定地对搬送治具进行搬送引导。

(3)在本发明的一个方式中，可以为，

所述引导部配置于所述表面处理槽的所述上部开口的上方，

所述驱动部和所述供电部配置于从所述表面处理槽的所述上部开口的上方偏离的位置。

与引导部和被引导部的接触能够采用辊的滚动接触，因此几乎不产生由滑动引起的灰尘。由此，即使将引导部配置在表面处理槽的上部开口的上方而使滑动产生的灰尘落入到处理液中，也不会将处理液污染成表面处理的品质恶化的程度。由此，相比于引导部配置在从表面处理槽的上部开口的上方偏离的位置的情况，能够进一步缩短引导部与工件保持部的距离。另外，在像专利文献1那样使搬送治具的被供电部与供电/引导轨道面接触的情况下，为了减小摩擦阻力等，在供电/引导轨道上涂布润滑油。由此，从该供电/引导轨道飞溅的润滑油落入到表面处理槽内，因此供电/引导轨道不得不配置于从表面处理槽的上部开口的上方偏离的位置。供辊滚动接触的引导部不需要润滑油。

(4)在本发明的一个方式中，可以为，所述表面处理槽具有减小所述上部开口的面积的罩。通过设置罩，利用罩来防止由于辊的滚动接触而万一产生的灰尘等落入到处理液中。

(5)本发明的其他方式涉及搬送治具，其对提供给表面处理装置的工件进行保持，并沿着搬送方向搬送所述工件，其中，

该搬送治具包含水平臂部和从所述水平臂部垂下的工件保持部，

所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被设置于所述表面处理装置的引导部引导；

被驱动部，其被设置于所述表面处理装置的驱动部驱动；以及

被供电部，其与设置于所述表面处理装置的供电部接触，

在俯视观察时，所述被引导部与所述工件保持部的距离比所述被驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述被供电部与所述工件保持部的距离短。

根据本发明的其他方式的搬送治具，与本发明的一个方式相同，能够稳定地对搬送治具进行搬送引导。

(6)本发明的另一个方式涉及表面处理装置，其具有：

表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；

搬送治具，其对由所述表面处理槽处理的工件进行搬送；

连续驱动部，其向对配置在所述表面处理槽内的所述工件进行保持的所述搬送治具赋予连续搬送力，对所述搬送治具进行连续搬送驱动；

间歇驱动部，其向对配置在所述表面处理槽外的所述工件进行保持的所述搬送治具赋予间歇搬送力，对所述搬送治具进行间歇搬送驱动；以及

引导部，其对所述搬送治具进行搬送引导，

所述搬送治具包含被所述引导部引导的被引导部，

所述被引导部具有：

辊，其与所述引导部的顶面滚动接触；以及

制动机构，其至少在间歇搬送驱动后和连续搬送驱动后的所述搬送治具的停止时对所述辊进行制动。

根据本发明的另一个方式的表面处理装置，搬送治具至少在间歇搬送驱动后和连续搬送驱动后的搬送治具的停止时通过制动机构的制动力而停止，防止由于惯性力而继续前进从而停止在规定的停止位置以外的位置的情况。在通过驱动部件(例如齿块)与被驱动部件(例如爪部件)卡合来实现连续搬送驱动时，为了解除驱动部件与被驱动部件的卡合，例如在利用推杆将搬送治具向前推动之后使搬送治具停止。或者，例如在像专利文献4那样没有卡合而通过2个推杆的交替驱动来进行连续搬送驱动的情况下，在利用推杆向前方推动后使搬送治具停止。由此，在连续搬送驱动结束后，与间歇搬送驱动结束后相同，惯性力作用于搬送治具。因此，至少在间歇搬送驱动后和连续搬送驱动后的所述搬送治具的停止时，利用制动机构的制动力使搬送治具停止。由此，防止由于惯性力而继续前进从而使搬送治具停止在规定的停止位置以外的位置的情况。

(7)在本发明的另一个其他的方式中，可以为，

所述制动机构始终通过制动力对所述辊进行制动，该制动力减小由于所述间歇搬送驱动或所述连续搬送驱动而作用于所述辊的惯性力。

这样，能够进行搬送治具的连续搬送驱动和间歇搬送驱动，并且能够在连续搬送驱动和间歇搬送驱动结束时利用制动机构的制动力使搬送治具停止在规定的停止位置。

(8)在本发明的另一个方式中，可以为，

所述辊在固定于所述搬送治具的轴上经由滚动轴承而被支承为能够旋转，

滚动轴承包含：

内圈，其固定于所述轴；

外圈，其固定于所述辊；以及

转动体，其保持在所述内圈和所述外圈之间，

所述制动机构弹性按压所述外圈。

这样，制动机构通过弹性按压滚动轴承的外圈，能够始终对辊进行制动。

(9)本发明的另一个方式涉及搬送治具，其对提供给表面处理装置的工件进行保持，并沿着搬送方向搬送所述工件，其中，

该搬送治具包含水平臂部和从所述水平臂部垂下的工件保持部，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被设置于所述表面处理装置的引导部引导；

被驱动部，其被设置于所述表面处理装置的驱动部驱动；以及

被供电部，其与设置于所述表面处理装置的供电部接触，

所述被引导部具有：

辊，其与所述引导部的顶面滚动接触；以及

制动机构，其对所述辊进行制动。

本发明的另一个方式的搬送治具搭载对辊进行制动的制动机构，因此能够在搬送治具的停止时利用制动机构使搬送治具停止在规定的停止位置。而且，也不需要在存在于表面处理装置的多个部位的全部停止位置设置制动机构。

附图说明

图1是应用本发明的连续镀覆装置的概略俯视图。

图2是本发明的实施方式的表面处理装置的纵剖视图。

图3是图2的局部放大图。

图4是搬送治具的立体图。

图5是示出搬送治具的被供电部的图。

图6是示出搬送治具的工件保持部与其他部件的位置关系的图。

图7是示出搬送治具的工件保持部与其他部件的位置关系的变形例的图。

图8是示出搬送治具的工件保持部与其他部件的位置关系的另一个变形例的图。

图9是示出辊的制动机构的一例的图。

具体实施方式

以下，对本发明的优选的实施方式进行详细说明。另外，以下说明的本实施方式不是对权利要求书所记载的本发明的内容进行不当限定，本实施方式所说明的全部结构并不是本发明的解决手段所必须的。

1.表面处理装置的概要

首先，使用专利文献1的图1对表面处理装置的整体进行说明。图1是表面处理装置(例如连续镀覆处理装置)的俯视图。另外，本发明也能够应用于对间歇搬送的工件进行镀覆的情况，而不是必须为连续搬送的工件。连续镀覆处理装置10具有循环搬送路100，该循环搬送路100使分别对电路基板等工件20进行保持的多个搬送治具30例如沿图1的顺时针的循环搬送方向A进行循环搬送。另外，在图1中，省略了一部分工件20和一部分搬送治具30的图示。

在循环搬送路100中设置有镀覆槽(广义来说是表面处理槽)200、搬入部210以及搬出部220，该镀覆槽200对多个搬送治具30各自所保持的工件20进行表面处理、例如镀覆处理，该搬入部210设置于比镀覆槽200靠循环搬送路100的上游的位置，将未处理的工件20向多个搬送治具30搬入，该搬出部220设置于比镀覆槽200靠循环搬送路100的下游的位置，将处理完的工件20从多个搬送治具30搬出。

循环搬送路100具有：相互平行的第1直线搬送路110和第2直线搬送路120；第1旋转装置130，其使多个搬送治具30中的至少一个从第1直线搬送路110向第2直线搬送路120水平旋转而进行交接；以及第2旋转装置140，其使多个搬送治具30中的至少一个从第2直线搬送路120向第1直线搬送路110水平旋转而进行交接。

在本实施方式中，镀覆槽200沿第2直线搬送路120设置，搬入部210和搬出部220设置于第1直线搬送路110。在循环搬送路100中还可以设置有前处理槽组230和后处理槽组240，该前处理槽组230配置于镀覆槽200的上游侧，该后处理槽组240配置于镀覆槽200的下游侧。

前处理槽组230例如通过从上游侧起依次配置脱脂槽230A、热水洗槽230B、水洗槽230C、喷淋槽230D以及酸洗槽230E而构成。后处理槽240例如通过从上游侧起依次配置喷淋槽240A和水洗槽240B而构成。另外，前处理槽组230和后处理槽组240的数量和种类能够适当变更。

在前处理槽组230和后处理槽组240中的除喷淋槽230D、240A以外的部分，搬送治具30被间歇搬送。因此，在前处理槽组230和后处理槽组240中设置有对搬送治具30进行搬送引导的2种导轨。一种是用于在同一处理槽内对搬送治具30进行间歇搬送的固定轨道232、234、235、242、243。另一种是能够在不同的处理槽之间跨越间隔壁而对搬送治具30进行间歇搬送的升降轨道231、233、236、241。

在前处理槽组230和后处理槽组240的除喷淋槽230D、240A以外的第1、第2直线搬送路110、120中，通过这2种导轨和使1个或多个搬送治具30沿导轨移动单位距离的推杆(间歇驱动部)，对搬送治具30进行间歇搬送。

在前处理槽组230和后处理槽组240中的喷淋槽230D、240A，通过第1、第2旋转装置130、140对搬送治具30进行间歇搬送。因此，第1旋转装置130具有一体地进行旋转驱动的2个旋转轨道131、132，第2旋转装置140具有一体地进行旋转驱动的2个旋转轨道141、142。

在镀覆槽200中，在从镀覆槽200的上方偏离的位置设置有在图1的俯视图中与镀覆槽200的长度方向平行地延伸设置的供电/引导轨道201。但是，在本实施例装置中，如后述那样，供电轨道与导轨不同。被该轨道201支承的多个搬送治具30配置在镀覆槽200内，分别对工件20进行保持。另外，对多个搬送治具30沿轨道201进行连续搬送的连续搬送单元400沿轨道201设置。另外，与专利文献1同样地实施连续搬送动作。

循环搬送路100在第1直线搬送路110的从搬出部220到搬入部210的范围内还具有治具返回搬送路150。治具返回搬送路150例如具有2个环状链条151、152。治具返回搬送路150具有使空状态的搬送治具30从搬出部222返回并搬送至搬入部210的功能和使空状态的搬送治具30在搬入部210的上游侧待机的功能。

2.表面处理槽所附带的构造

图2是包含具有上部开口200A的镀覆槽200在内的区域中的图1的概略剖视图。搬送治具30将工件20保持为从镀覆槽200的上部开口200A向镀覆液Q内垂下。

如将图2的一部分放大而示出的图3所示的那样，连续镀覆处理装置10与镀覆槽200相邻，具有供电部260、驱动部270以及引导部280。供电部260与搬送治具30接触而向工件20供电。驱动部270向搬送治具30赋予驱动力，在镀覆槽200内对搬送治具30进行连续搬送驱动。引导部280与搬送治具30接触，对搬送治具30进行连续搬送引导。

供电部260在采用专利文献2、3所示的阴极分割方式的情况下，能够包含多个例如4个供电轨道260A～260D。另外，供电部260在没有采用阴极分割方式的情况下，能够由1个供电轨道构成。该供电轨道260A～260D沿与镀覆槽200的长度方向平行的第1方向A(参照图1)延伸设置。

驱动部270例如与专利文献1相同，旋转驱动部件例如能够包含链轮271、被链轮271驱动的链条等环状驱动部件272以及固定于环状驱动部件272的齿块273。环状驱动部件272沿与镀覆槽200的长度方向平行的第1方向A(参照图1)延伸设置。取而代之，驱动部270也可以像专利文献4所示的那样，包含分别配置于每个分割区域并被交替驱动的2个推杆，还可以采用其他的连续驱动方式。

引导部280能够由至少顶面平坦的例如截面矩形的导轨形成。导轨280沿与镀覆槽200的长度方向平行的第1方向A(参照图1)延伸设置。

3.搬送治具

接下来，参照图4对搬送治具30进行说明。如图2～图4所示，搬送治具30具有水平臂部300和从该水平臂部300经由垂直臂部301被支承而垂下的工件保持部340。工件保持部340具有将工件20的上端部卡住的上部卡盘部341。工件保持部340还可以具有根据需要将工件20的下端部卡住的下部卡盘部342。另外，图4所示的搬送治具30的宽度和长度可以根据工件20的尺寸而改变，但不限定于此。

如图4所示，水平臂部300沿与第1方向(搬送方向)A垂直(广义上是交叉)的第2方向B延伸。在该水平臂部300设置有被供电部310、被驱动部320以及被引导部330。

被供电部310是被从设置于镀覆装置10的供电部260供电的部分。本实施方式的被供电部310与多个供电轨道260A～260D中的一个接触。在本实施方式中，准备相对于水平臂部300在第2方向B上位置不同的多个部位的各一个部位安装有被供电部310的多种搬送治具30。多种搬送治具30的各一种搬送治具与多个供电轨道260A～260D的各一个供电轨道接触。

在本实施方式中，采用使搬送治具30的部件通用化而与多个供电轨道260A～260D中的任意一个接触的构造。因此，如图4所示，在搬送治具30中，对被供电部310进行支承的支承部311与水平臂部300垂直配置。水平臂部300具有在第2方向B上设置于不同位置的多个安装部(例如螺纹孔)。在该多个安装部的一个安装部处安装有支承部311。

如图4所示，在支承部311设置有与供电轨道260(供电轨道260A～260D)接触的至少一个(例如2个)接触部312。图5示出接触部312的支承构造。被供电部310具有四节旋转连锁的平行连杆机构313，该平行连杆机构313例如通过2个平行连杆313A、313B使支承部311与接触部312连结。2个连杆313A、313B始终被作为施力部件的扭转螺旋弹簧314、314向顺时针方向移动施力。其结果为，能够使接触部312与供电轨道260以适度的接触压力接触。

被驱动部320被从设置于镀覆装置10的驱动部270赋予驱动力，对搬送治具30进行连续搬送驱动。如图4所示，被驱动部320具有与固定于链条272的齿块273(图3)啮合的多个(例如4个)爪部件321～324。为了使4个爪部件321～324中的任意一个与齿块273的齿啮合，4个爪部件321～324的啮合前端位置在A方向上错开配置。这样，4个爪部件321～324中的任意一个与固定于链条272的齿块273卡合，从而对搬送治具30进行连续搬送驱动。

被引导部330具有与图3所示的导轨280的顶面接触的辊331。由此，被驱动部270连续搬送驱动的搬送治具30以摩擦阻力减小的方式被搬送引导。被引导部330为了限制图3和图4所示的第2方向B的搬送治具30的移动，还能够具有例如与导轨280的两侧面滚动接触的追加的辊334、335。第2方向B的搬送治具30的移动限制也可以在与导轨280不同的区域实施。另外，辊331具有不容易受到在具有有限长度的供电轨道之间的接缝产生的间隙的冲击的适当的直径。另外，辊331例如由能够承受镀覆设施特有的酸或碱等环境的材料例如聚丙烯等形成。

4.搬送治具的工件保持部与其他部件的位置关系

在图3和作为从上方观察图3所示的区域的俯视图的图6中，示出搬送治具30的工件保持部340与其他部件的位置关系。如图3和图6所示，引导部280与工件保持部340的距离(中心间距离，以下相同)L1比驱动部270与工件保持部340的距离L2短，并且比供电部260(在图3的例子中为供电轨道260A)与工件保持部340的距离L3短。同样，被引导部330(331)与工件保持部340的距离L1比被驱动部320与工件保持部340的距离L2短，并且比被供电部310与工件保持部340的距离L3短。

根据这样的L1＜L2且L1＜L3的位置关系，能够稳定地搬送对工件20进行保持的搬送治具30。从图4可知，搬送治具30的工件保持部340的重量最大。作为最重部的工件保持部340与引导部280距离变短，这是为了减小作用于工件保持部340的无用的力矩。由此，能够更稳定地对搬送治具30进行搬送引导，并且能够减小从驱动部270向搬送治具30赋予的驱动力。另外，相比于如专利文献3那样对搬送治具30的两端部的被引导部进行引导的结构，搬送治具30的宽度尺寸变短，因此镀覆装置10的宽度尺寸也变短，实现装置的小型化。

在作为采用悬臂梁构造的图3和图6的变形例的图7中，如专利文献3的构造那样在工件保持部340的第2方向B的两侧各设置1组共计2组的引导部280和被引导部330。在该情况下，L1＜L2且L1＜L3的位置关系也成立。这样，工件保持部340采用被其两侧的引导部280和被引导部330支承的双支撑梁构造。如果采用双支撑梁构造，则作用于工件保持部340的无用的力矩进一步减小。

此外，在作为其他变形例的图8中，在第2方向B上，在工件保持部340的一侧设置供电部260和驱动部270，在工件保持部340的另一侧设置引导部280。在图8中，在第2方向B上，工件保持部340的一侧被供电部260和驱动部270支承，另一侧被引导部280支承，因此是双支撑梁构造。即使是这样的双支撑梁构造，作用于工件保持部340的无用的力矩也进一步减小。

在图6～图8中，为了使工件保持部340与引导部280或与被引导部330的距离L1变短，引导部280和被引导部330也可以配置于图2所示的镀覆槽200的上部开口200A的上方。但是，供电部260和驱动部270配置为从图2所示的镀覆槽200的上部开口200A的上方偏离。这是因为，需要防止特别是由驱动部270与被驱动部320的卡合产生的灰尘经由镀覆槽200的上部开口200A落入到镀覆液Q中。

与引导部280和被引导部330的接触是辊331的滚动接触，因此不会产生由滑动引起的灰尘。但是，在本实施方式中，在引导部280和被引导部330配置于图2所示的镀覆槽200的上部开口200A的上方的情况下，能够将设置于图2的右侧所示的前处理槽230A的上部并使上部开口的面积减小的罩202、203设置于镀覆槽200的上部(在图2中省略了镀覆槽200的上部的罩202、203)。这样，能够缩短工件保持部340与引导部280的距离L1，并且利用罩202、203来防止因引导部280与辊331的滚动接触而万一产生的灰尘等落入到镀覆液Q中。

在图6～图8中，距离L2与距离L3的关系为L2＜L3。从驱动部270或被驱动部320到工件保持部340的距离L2越短，驱动效率越高。但是，也可以使L2＞L3或者L2＝L3。例如，如果在水平臂部300的下侧设置驱动部270，在水平臂部300的上侧设置供电部260，则也可以为，对于多个供电轨道260A～260D，L2＜L3、L2＝L3或L2＞L3中的某个关系成立。

5.辊331的制动机构

如图1的说明那样，镀覆装置10具有：驱动部(连续驱动部)270，其向对配置在镀覆槽200内的工件20进行保持的搬送治具30赋予连续搬送力而进行连续搬送驱动；以及间歇驱动部(推杆等)，其赋予将对配置在镀覆槽200外的工件20进行保持的搬送治具30向前方推动的间歇搬送力而对搬送治具30进行间歇搬送驱动。在该情况下，优选搬送治具30具有对与引导部280的顶面滚动接触的辊331进行制动的制动机构。

图9示出例如内置在辊331中的制动机构350。如图9所示，辊331在固定于搬送治具30的垂直臂部301的轴332上经由滚动轴承333而被支承为能够旋转。滚动轴承333包含：内圈333A，其固定于轴332；外圈333B，其固定于辊331；以及转动体333C，其保持在内圈333A和外圈333B之间。制动机构350具有弹性部件(例如扭转螺旋弹簧351)。扭转螺旋弹簧351绕轴332配置于套环334与套环335之间，经由套环334来弹性按压外圈333B，其中，该套环334配置于滚动轴承333侧，该套环335配置于垂直臂部301侧。这样，制动机构350通过弹性按压滚动轴承333的外圈333B，能够始终对辊331进行制动。另外，制动机构350可以设置于其他的辊334、335，也可以设置于辊331、334、335中的任意一个。

始终赋予制动力的制动机构350能够在连续搬送驱动或间歇搬送驱动结束后通过制动力对辊331进行制动，该制动力减少作用于辊331的惯性力。这样，能够进行搬送治具30的连续搬送驱动或间歇搬送驱动，并且能够在间歇搬送驱动后和连续搬送驱动后的搬送治具30的停止时通过制动机构350的制动力使搬送治具30停止在规定的停止位置。

这样，防止搬送治具30在间歇搬送驱动结束后由于惯性力而继续前进从而停止在规定的停止位置以外的位置的情况。另一方面，在通过驱动部位(齿块)273与被驱动部位(爪部件)321～324的卡合来实现驱动部270的连续搬送驱动时，为了解除驱动部件与被驱动部件的卡合，例如在通过推杆将搬送治具向前方推动之后使搬送治具停止。或者，例如在如专利文献4那样不进行卡合而利用2个推杆的交替驱动进行连续搬送驱动的情况下，也在利用推杆向前方推动之后使搬送治具停止。由此，在连续搬送驱动结束后，与间歇搬送驱动结束后同样，惯性力作用于搬送治具30。因此，至少在间歇搬送驱动后和连续搬送驱动后的搬送治具30的停止时，通过制动机构350的制动力使搬送治具30停止。由此，防止搬送治具30由于惯性力而继续前进从而停止在规定的停止位置以外的位置的情况。

另外，如上述那样对本实施方式进行了详细说明，但本领域技术人员能够容易地理解到，根据本发明的新事项和效果能够得到不脱离实体的多个变形。因此，这样的变形例全部包含在本发明的范围内。例如，在说明书或附图中，能够至少一次将与更广义或同义的术语一同记载的术语在说明书或附图的任意部位置换为与其不同的术语。另外，本实施方式和变形例的全部组合也包含在本发明的范围内。

例如，制动机构350始终向辊331等赋予制动力，但不限定于此。例如，也可以采用仅在间歇搬送驱动后和连续搬送驱动后的搬送治具30的停止时向辊331等赋予制动力的制动机构。因此，只要检测出搬送治具30即将到达停止位置的情况并以机械式或电气式的方式使制动机构进行动作即可。或者，也可以为，在搬送治具30的停止位置设置制动机构，向到达停止位置的搬送治具30的辊331等赋予制动力。

标号说明

10：表面处理装置(连续镀覆处理装置)；20：工件；30：搬送治具；200：表面处理槽(镀覆槽)；200A：上部开口；202、203：罩；260：供电部；260A～260B：供电轨道；270：驱动部(连续驱动部)；271：链轮；272：链条；273：齿块；280：引导部(导轨)；300：水平臂部；301：垂直臂部；310：被供电部；320：被驱动部；321～324：爪部件；330：被引导部；331：辊；333：滚动轴承；333C：外圈；350：制动机构；351：扭转螺旋弹簧；A：第1方向(搬送方向)；B：第2方向；Q：处理液(镀覆液)。

Claims (5)

1.一种表面处理装置，其特征在于，

该表面处理装置具有：

表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；

搬送治具，其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部，并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送；

供电部，其与所述搬送治具接触，向所述工件供电；

驱动部，其向所述搬送治具赋予驱动力，对所述搬送治具进行搬送驱动；以及

引导部，其设置于所述表面处理槽的外部，与所述搬送治具接触，对所述搬送治具进行搬送引导，

在俯视观察时，所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。

2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

所述搬送治具包含水平臂部，该水平臂部以所述工件保持部垂下的方式对所述工件保持部进行支承，

所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被所述引导部引导；

被驱动部，其被所述驱动部驱动；以及

被供电部，其与所述供电部接触。

3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，

所述引导部配置于所述表面处理槽的所述上部开口的上方，

所述驱动部和所述供电部配置于从所述表面处理槽的所述上部开口的上方偏离的位置。

4.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，

所述表面处理槽具有减小所述上部开口的面积的罩。

5.一种搬送治具，其对提供给表面处理装置的表面处理槽的工件进行保持，并沿着搬送方向搬送所述工件，其特征在于，

该搬送治具包含水平臂部和从所述水平臂部垂下的工件保持部，

所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，

所述水平臂部包含：

被引导部，其被设置于所述表面处理槽的外部的引导部引导；

被驱动部，其被设置于所述表面处理装置的驱动部驱动；以及

被供电部，其与设置于所述表面处理装置的供电部接触，

在俯视观察时，所述被引导部与所述工件保持部的距离比所述被驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述被供电部与所述工件保持部的距离短。

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