TW201907768A - 表面處理裝置及搬運支架 - Google Patents

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渡邉重幸
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Abstract

本發明的表面處理裝置(10)，具備：收容有處理液(Q)，具有上部開口(200A)的表面處理槽(200)；包括從表面處理槽的上部開口下垂至處理液內地保持工件(20)的工件保持部(340)，沿著搬運方向(A)搬運工件(20)的搬運支架(30)；與搬運支架接觸供電至工件的供電部(260)；對搬運支架賦予驅動力以搬運驅動搬運支架的驅動部(270)；及與搬運支架接觸以搬運引導搬運支架的引導部(280)，在平面顯示，引導部與工件保持部的距離(L1)是比驅動部與工件保持部的距離(L2)短，並且，也比供電部與工件保持部的距離(L3)短。

Description

表面處理裝置及搬運支架
本發明是關於對工件的表面施以電鍍處理等的表面處理裝置及搬運工件的搬運支架。
專利文獻1揭示對工件的表面施以電鍍處理等的表面處理裝置及搬運工件的搬運支架。此表面處理裝置兼用作為透過搬運支架供電至工件的供電軌道，及搬運引導搬運支架的引導軌道，搬運支架的一部份與供電/搬運軌道形成面接觸。
另一方面，專利文獻2是揭示可對設定在陰極的各工件進行電流控制之所謂陰極分割方式的表面處理裝置，專利文獻3是揭示陰極分割方式的表面處理裝置及搬運支架的構造。
如專利文獻1所揭示，表面處理裝置包括與連續搬運保持著工件之搬運支架的區域間歇搬運的區域。間歇搬運是如專利文獻1所揭示例如採用藉推桿從後方推出搬運支架的方式。另一方面，連續搬運是如專利文獻1所揭示連續移動固定與設置在搬運支架的爪卡合的齒形塊的鏈條。除此之外，如專利文獻4所揭示，也可以藉設置在將直線搬運路分割成複數的各區間的兩支推桿的交替驅動，從後方推出搬運支架進行搬運支架的連續搬運。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2012-046782號公報 　　[專利文獻2]日本特開2009-132999號公報 　　[專利文獻3]日本特開2013-011009號公報 　　[專利文獻4]日本特許第6117891號公報
[發明所欲解決之課題]
例如有上述陰極分割方式等，如專利文獻1不使用供電/搬運軌道，如專利文獻3表示，設置透過搬運支架供電至工件的供電軌道，及搬運引導搬運支架的引導軌道。
此時，如專利文獻3表示，表面處理裝置在平面顯示表面處理槽的兩側具有引導軌道，搬運支架在平面顯示工件保持部的兩側將水平臂部的兩端部支撐於引導軌道。因此，搬運支架的寬度尺寸大而使得支架大型化。表面處理裝置的寬度尺寸也變大使得裝置大型化。
並且，如專利文獻3，不具供電功能的引導軌道其頂面是與設置在搬運支架的滾筒轉接，如專利文獻1使得伴隨面接觸增大的摩擦力降低。搬運支架雖進行連續搬運或間歇搬運，但有保持該等搬運驅動結束後的停止位置之精度的必要。而在接下來的步驟的搬運產生阻礙。
本發明的數個樣態是以提供一邊可使寬度尺寸小以謀求小型化，一邊穩定進行搬運支架搬運的表面處理裝置及搬運支架為目的。 　　本發明的其他數個樣態是以提供一邊使得不具供電功能的引導軌道的頂面與設置在搬運支架的滾筒轉接以降低摩擦力，並可一邊確保連續搬運或間歇搬運結束後之搬運支架的停止位置精度的表面處理裝置及搬運支架為目的。 [用於解決課題的手段]
(1) 本發明之一樣態有關的表面處理裝置，具備： 　　表面處理槽，收容有處理液，具有上部開口； 　　搬運支架，包括從上述表面處理槽的上述上部開口下垂至上述處理液內地保持工件的工件保持部，沿著搬運方向搬運上述工件； 　　供電部，與上述搬運支架接觸供電至上述工件； 　　驅動部，對上述搬運支架賦予驅動力以搬運驅動上述搬運支架；及 　　引導部，與上述搬運支架接觸以搬運引導上述搬運支架， 　　在平面顯示，上述引導部與上述工件保持部的距離是比上述驅動部與上述工件保持部的距離短，並且，比上述供電部與上述工件保持部的距離短。
根據本發明之一樣態，可穩定保持工件的搬運支架，連續性或間歇性進行搬運。在此，搬運支架中，工件保持部的重量比和供電部接觸的被供電部，或驅動部所驅動的被驅動部大。使大重量的工件保持部與引導部的距離縮短，可減小作用於工件保持部之耗損的力矩，因此可穩定搬運支架進行搬運。此外，由於作用於工件保持部之耗損的力矩減少，可降低從驅動部賦予搬運支架的驅動力。並且，如專利文獻3與引導搬運支架之兩端部的被引導部的比較時，由於使搬運支架的寬度尺寸縮短，也使得表面處理裝置的寬度尺寸變短，謀求裝置的小型化。
在此，本發明之一樣態是在平面顯示中，如專利文獻3的構造也可在工件保持部的兩側設置引導部(雙懸臂樑構造)，或者也可如專利文獻1的構造僅在工件保持部的單側設置引導部(單懸臂樑構造)。設雙懸臂樑構造時，作用於工件保持部之耗損的力矩明顯變小。單懸臂樑構造，也使工件保持部與引導部的距離縮短，使得作用於工件保持部之耗損的力矩變小。此時，在平面顯示，也可將引導部、驅動部及供電部設置在工件保持部的單側，或者，也可在工件保持部的一方的單側設置驅動部及供電部，在工件保持部的另一方的單側設置引導部。前者雖成為單懸臂樑構造，但針對後者，在平面顯示，由於工件保持部的一方的單側是被驅動部及供電部所支撐，另一方的單側被支撐於引導部，因此成為雙懸臂樑構造。如此一來，可更穩定地搬運引導搬運支架，並減小作用於工件保持部的耗損的力矩，可降低從驅動部賦予搬運支架的驅動力。
(2) 本發明之一樣態中， 　　上述搬運支架，包括使上述工件保持部下垂並支撐的水平臂部， 　　上述工件保持部，包括夾持上述工件的至少上端部的夾持部， 　　上述水平臂部，包括： 　　被引導部，被上述引導部所引導； 　　被驅動部，被上述驅動部所驅動；及 　　被供電部，與上述供電部接觸。
如上述，工件保持部包括至少夾持工件的上端部，並依需要夾持工件的上端部及下端部的夾持部，重量雖比被引導部、被驅動部或被供電部重，但藉由上述引導部的作用可穩定搬運支架進行搬運引導。
(3) 本發明之一樣態中，上述引導部是配置在上述表面處理槽的上述上部開口的上方，可將上述驅動部及上述供電部配置在從上述表面處理槽的上述上部開口的上方偏離的位置。
引導部與被引導部的接觸是設可與滾筒的滾接，滑動的塵埃幾乎不會產生。藉此，將引導部配置在表面處理槽的上部開口的上方，即使滑動的塵埃落下至處理液中，也不致污染處理液至使表面處理的品質惡化的程度。藉此，與引導部配置在從表面處理槽的上部開口的上方偏離的位置的場合比較，可進一步縮短引導部與工件保持部的距離。並且，如專利文獻1在搬運支架的被供電部與供電/引導軌道成面接觸的場合，在供電/引導軌道塗抹潤滑油以用於降低摩擦阻力等。因此，由於從此供電/引導軌道飛濺的潤滑油落下至表面處理槽內，因此不得不將供電/引導軌道配置在從表面處理槽的上部開口的上方偏離的位置。在滾筒滾接的引導部不需要潤滑劑。
(4) 本發明之一樣態中，上述表面處理槽，可具有使上述上部開口的面積小的蓋子。設置蓋子，因滾筒的滾接萬一產生的塵埃等藉著蓋子防止落下至處理液中。
(5) 本發明的其他的樣態是關於搬運支架， 　　保持供應至表面處理裝置的工件，沿著搬運方向搬運上述工件的搬運支架中， 　　包括：水平臂部，及從上述水平臂部下垂的工件保持部， 　　上述工件保持部包括夾持上述工件的至少上端部的夾持部， 　　上述水平臂部，包括： 　　被引導部，被設置在上述表面處理裝置的引導部所引導； 　　被驅動部，被設置在上述表面處理裝置的驅動部所驅動；及 　　被供電部，與設置在上述表面處理裝置的供電部接觸， 　　在平面顯示，將上述被引導部配置在比上述被驅動部及上述被供電部更接近上述工件保持部的位置。
根據本發明之其他樣態有關的搬運支架，與本發明之一樣態同樣可穩定進行搬運支架的搬運引導。
(6) 本發明的另外其他的樣態是關於表面處理裝置， 　　表面處理槽，收容有處理液，具有上部開口； 　　搬運支架，搬運藉上述表面處理槽處理的工件； 　　連續驅動部，對保持著配置在上述表面處理槽內的上述工件的上述搬運支架賦予連續搬運力以連續搬運驅動上述搬運支架； 　　間歇驅動部，對保持著配置在上述表面處理槽外的上述工件的上述搬運支架賦予向前方推出的間歇搬運力以間歇搬運驅動上述搬運支架；及 　　引導部，搬運引導上述搬運支架， 　　上述搬運支架包括被上述引導部所引導的被引導部， 　　上述被引導部，具備： 　　滾筒，與上述引導部的頂面滾接，及 　　制動機構，至少在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的上述搬運支架的停止時進行上述滾筒制動。
根據本發明另外之其他樣態相關的表面處理裝置，搬運支架是至少在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的搬運支架的停止時被制動機構的制動力所停止，防止因慣性力持續地前進而停止在預定之停止位置以外的位置。即使在藉驅動構件(例如齒形塊)與被驅動構件(例如爪構件)的卡合實現連續搬運驅動時，因驅動構件與被驅動構件的卡合解除而使得搬運支架例如以推桿向前方推出之後停止搬運支架。或者，例如專利文獻4即使無卡合地藉兩支推桿的交替驅動進行連續搬運驅動的場合，仍可以推桿向前方推壓之後停止搬運支架。因此，即使在連續搬運驅動結束後，與間歇搬運驅動結束後同樣地，對搬運支架有慣性力作用。為此，至少在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的上述搬運支架的停止時，藉制動機構的制動力停止搬運支架。藉此，防止因慣性力持續前進而使得搬運支架停止在預定的停止位置以外的位置。
(7) 本發明的另外其他的樣態中，上述制動機構可藉著上述間歇搬運驅動或上述連續搬運驅動來降低作用於上述滾筒之慣性力的制動力以經常地制動上述滾筒。如此一來，可一邊進行搬運支架的連續搬運驅動及間歇搬運驅動，並可在連續搬運驅動及間歇搬運驅動結束時藉制動機構的制動力將搬運支架停止在預定的停止位置。
(8) 本發明的另外其他的樣態中， 　　上述滾筒是透過滾動軸承可旋轉地被支撐於固定在上述搬運支架的軸上， 　　滾動軸承，包括：固定於上述軸的內圈；固定於上述滾筒的外圈；及保持在上述內圈及上述外圈之間的滾動體， 　　上述制動機構彈性地推壓上述外圈。
如此一來，藉制動機構彈性地推壓滾動軸承的外圈，可經常制動滾筒。
(9) 本發明的另外其他的樣態是關於搬運支架， 　　保持供應至表面處理裝置的工件，沿著搬運方向搬運上述工件的搬運支架中， 　　包括：水平臂部，及從上述水平臂部下垂的工件保持部， 　　上述水平臂部，包括： 　　被引導部，被設置在上述表面處理裝置的引導部所引導； 　　被驅動部，被設置在上述表面處理裝置的驅動部所驅動；及 　　被供電部，與設置在上述表面處理裝置的供電部接觸， 　　上述被引導部，具備： 　　滾筒，與上述引導部的頂面滾接，及 　　制動機構，進行上述滾筒制動。
本發明的另外其他的樣態相關的搬運支架搭載著滾筒制動用的制動機構，因此在搬運支架的停止時可藉制動機構使搬運支架停止在預定的停止位置。並且，也無需對存在於表面處理裝置之複數處的所有停止位置設置制動機構。
以下，針對本發明的較佳實施形態詳細說明。並且以下說明的本實施形態，並非僅為限定記載於申請專利範圍的本發明的內容，且本實施形態說明的所有構成亦不限於本發明之解決手段所必需。
1. 表面處理裝置的概要 　　首先，針對表面處理裝置的整體，使用專利文獻1的第1圖說明。第1圖為表面處理裝置例如連續電鍍處理裝置的上視圖。並且，本發明並非一定為連續搬運的工件，也可運用於對間歇搬運的工件進行電鍍。連續電鍍處理裝置10為分別保持著電路基板等的工件20的複數的搬運支架30具有第1圖的例如沿著右旋轉的循環搬運方向A循環搬運的循環搬運路100。並且，第1圖中省略一部份的工件20或一部份的搬運支架30的圖示。
在循環搬運路100，設有：對保持於分別之複數搬運支架30的工件20進行表面處理，例如電鍍處理的電鍍槽(廣義為表面處理槽)200；較電鍍槽200設置於循環搬運路100的上游將未處理的工件20搬入至複數搬運支架30的搬入部210；及較電鍍槽200設置於循環搬運路100的下游將處理後的工件20從複數搬運支架30搬出的搬出部220。
循環搬運路100，具有：彼此平行的第1直線搬運路110及第2直線搬運路120；將複數的搬運支架30的至少其中之一水平迴轉從第1直線搬運路110傳遞至第2直線搬運路120的第1迴轉裝置130；及將複數的搬運支架30的至少其中之一水平迴轉從第2直線搬運路120傳遞至第1直線搬運路110的第2迴轉裝置140。
本實施形態中，電鍍槽200是沿著第2直線搬運路120設置，搬入部210及搬出部220是設置在第1直線搬運路110。在循環搬運路100，可進一步設置：配置在電鍍槽200的上游側的前處理槽群230，及配置在電鍍槽200的下游側的後處理槽群240。
前處理槽群230是從上游側依序，例如配置脫脂槽230A、熱水洗槽230B、水洗槽230C、噴淋槽230D及酸洗槽230E所構成。後處理槽群240是從上游側依序，例如配置噴淋槽240A及水洗槽240B所構成。並且，前處理槽群230及後處理槽群240的數量或種類為可適當變更。
除前處理槽群230及後處理槽群240中的噴淋槽230D、240A以外，搬運支架30為間歇搬運。因此，前處理槽群230及後處理槽群240中，設有搬運引導搬運支架30的兩種類的引導軌道。其中之一是在同一處理槽內進行搬運支架30間歇搬運用的固定軌道232、234、235、242、243。另外之一是在不同的處理槽間，跨過間隔壁可進行搬運支架30間歇搬運的升降軌道231、233、236、241。
前處理槽群230及後處理槽群240的噴淋槽230D、240A以外的第1、第2直線搬運路110、120是藉著此兩種類的引導軌道，及沿著引導軌道使得1或複數的搬運支架30僅單位距離移動的推桿(間歇驅動部)，進行搬運支架30間歇搬運。
前處理槽群230及後處理槽群240中的噴淋槽230D、240A是藉第1、第2迴轉裝置130、140，進行搬運支架30間歇搬運。為此，第1迴轉裝置130具有一體迴轉驅動的兩條的迴轉軌道131、132，第2迴轉裝置140具有一體迴轉驅動的兩條的迴轉軌道141、142。
電鍍槽200內，在從電鍍槽200的上方偏離的位置，於第1圖的上視圖設有與電鍍槽200的長方向平行延設的供電/引導軌道201。但是，本實施例裝置是如後述供電軌道與引導軌道不同。支撐在此軌道201的複數搬運支架30是配置在電鍍槽200內分別保持著工件20。又，沿著軌道201連續搬運複數的搬運支架30的連續搬運手段400是沿著軌道201設置。並且，針對連續搬運動作，也是與專利文獻1同樣地實施。
循環搬運路100從第1直線搬運路110的搬出部220跨搬入部210，進一步具有支架返回搬運路150。支架返回搬運路150，例如具有兩條的環狀鏈條151、152。支架返回搬運路150具有：將空狀態的搬運支架30從搬出部222搬運回到搬入部210的功能，及在搬入部210的上游側使空狀態的搬運支架30待機的功能。
2. 附帶於表面處理槽的構造 　　第2圖為具備有上部開口200A的電鍍槽200的區域之第1圖的概略剖視圖。搬運支架30是保持使工件20從電鍍槽200的上部開口200A下垂至電鍍液Q內。
如將第2圖的一部份放大表示的第3圖表示，連續電鍍處理裝置10是與電鍍槽200鄰接，具有：供電部260、驅動部270及引導部280。供電部260是與搬運支架30接觸供電於工件20。驅動部270是對搬運支架30賦予驅動力並在電鍍槽200內連續搬運驅動搬運支架30。引導部280是與搬運支架30接觸連續搬運引導搬運支架30。
供電部260採用專利文獻2、3表示之陰極分割方式的場合，可包括複數例如4條的供電軌道260A～260D。並且，供電部260在未採用陰極分割方式的場合，可以1條的供電軌道構成。該等供電軌道260A～260D是沿著與電鍍槽200的長方向平行的第1方向A(參閱第1圖)延設。
驅動部270是例如與專利文獻1同樣，可包括：旋轉驅動構件例如鏈輪271；藉鏈輪271驅動的鏈條等的環狀驅動構件272；及固定於環狀驅動構件272的齒形塊273。環狀驅動構件272是沿著與電鍍槽200的長方向平行的第1方向A(參閱第1圖)延設。也可取代此，驅動部270如專利文獻4表示，也可包括分別配置在各分割區域並交替驅動的兩支推桿，採用其他的連續驅動方式。
引導部280是至少可以頂面平坦的例如剖面矩形的引導軌道形成。引導軌道280是沿著與電鍍槽200的長方向平行的第1方向A(參閱第1圖)延設。
3. 搬運支架 　　接著，針對搬運支架30，也參閱第4圖說明。搬運支架30是如第2圖～第4圖表示，具有：水平臂部300，及從此水平臂部300透過垂直臂部301所支撐而下垂的工件保持部340。工件保持部340具有夾持工件20的上端部的上部夾持部341。工件保持部340根據需要，可進一步具有夾持工件20之下端部的下部夾持部342。並且，第4圖表示的搬運支架30雖是配合工件20的尺寸，寬度及長度為可變，但不限於此。
水平臂部300是如第4圖表示，沿著與第1方向(搬運方向)A正交(廣義為交叉)的第2方向B延伸。在該水平臂部300設有被供電部310、被驅動部320及被引導部330。
被供電部310是從設置在電鍍裝置10的供電部260供電的部份。本實施形態的被供電部310是與複數的供電軌道260A～260D的一條接觸。本實施形態準備有相對於水平臂部300在第2方向B位置不同之複數處的各一處安裝有被供電部310的複數種類的搬運支架30。複數種類的搬運支架30的各一支架是與複數的供電軌道260A～260D的各一條接觸。
本實施形態是將搬運支架30的零組件共通化，採用與複數的供電軌道260A～260D的任意其中之一接觸的構造。為此，搬運支架30是如第4圖表示，與水平臂部300正交配置有支撐被供電部310的支撐部311。水平臂部300具有在第2方向B設置於不同的位置的複數的安裝部(例如螺孔)。此複數的安裝部之一安裝有支撐部311。
如第4圖表示，在支撐部311設有與供電軌道260(供電軌道260A～260D)接觸之至少一個的例如兩個接觸部312。第5圖表示接觸部312的支撐構造。被供電部310具有例如以兩支平行連桿313A、313B連結支撐部311與接觸部312的四節旋轉連鎖的平行連桿機構313。2支的連桿313A、313B是藉彈推構件的扭力盤簧314、314，經常朝順時鐘方向移動彈推。其結果，可以使接觸部312以適度的接觸壓接觸於供電軌道260。
被驅動部320是從設置在電鍍裝置10的驅動部270賦予驅動力以連續搬運驅動搬運支架30。被驅動部320是如第4圖表示，具有咬合於固定在鏈條272的齒形塊273(第3圖)的複數例如4個爪構件321～324。為了使4個爪構件321～324的其中任一個咬合於齒形塊273的齒，將4個爪構件321～324的咬合前端位置朝A方向偏離配置。如此一來，藉4個爪構件321～324的其中任一個與固定於鏈條272的齒形塊273卡合，連續搬運驅動搬運支架30。
被引導部330具有接觸於第3圖表示之引導軌道280的頂面的滾筒331。藉此，藉驅動部270連續搬運驅動的搬運支架30減小摩擦阻力進行搬運引導。被引導部330為限制如第3圖及第4圖表示在第2方向B的搬運支架30的移動，可進一步具有與引導軌道280的例如兩側面滾接之追加的滾筒334、335。在第2方向B的搬運支架30的移動限制也可以在與引導軌道280不同的區域實施。並且，滾筒331具有不易受到在具備有限長度的供電軌道間的接頭產生間隙之衝擊的適當的直徑。並且，滾筒331是例如以可耐電鍍設備特有的酸或鹼等環境的材質例如聚丙烯等所形成。
4. 搬運支架的工件保持部與其他構件的位置關係 　　在第3圖，及從上方顯示第3圖表示之區域的上視圖的第6(A)圖，表示搬運支架30的工件保持部340與其他構件的位置關係。如第3圖及第6圖表示，引導部280與工件保持部340的距離(中心間距離，以下相同)L1是較驅動部270與工件保持部340的距離L2短，並且，較供電部260(第3圖的例為供電軌道260A)與工件保持部340的距離L3短。同樣地，被引導部330(331)與工件保持部340的距離L1是較被驅動部320與工件保持部340的距離L2短，並且，較被供電部310與工件保持部340的距離L3短。
根據如上述L1＜L2且L1＜L3的位置關係，可穩定保持工件20的搬運支架30進行搬運。從第4圖得知，搬運支架30為工件保持部340的重量最大。使得最重量部的工件保持部340與引導部280的距離縮短，可減少作用於工件保持部340的耗損力矩。因此，可更穩定搬運支架30進行搬運引導，並可降低從驅動部270賦予搬運支架30的驅動力。並且，與如專利文獻3引導搬運支架30之兩端部的被引導部的比較時，由於搬運支架30的寬度尺寸變短，因此也縮短了電鍍裝置10的寬度尺寸，可謀求裝置的小型化。
設成單懸臂樑構造的第3圖及第6圖之變形例的第7圖是如專利文獻3的構造在工件保持部340的第2方向B的兩側各設置一組計兩組的引導部280及被引導部330。此時L1＜L2且L1＜L3的位置關係也成立。如此一來，工件保持部340成為藉其兩側的引導部280及被引導部330所支撐的雙懸臂樑構造。設雙懸臂樑構造時，作用於工件保持部340的耗損力矩變得格外的小。
此外其他變形例的第8圖是第2方向B中，在工件保持部340一方的單側設置供電部260及驅動部270，在工件保持部340的另一方的單側設置引導部280。第8圖是在第2方向B中藉供電部260及驅動部270支撐工件保持部340一方的單側，另一方的單側為引導部280所支撐，因此成為雙懸臂樑構造。即使是如上述的雙懸臂樑構造，仍可以使作用於工件保持部340的耗損力矩變得格外的小。
第6圖～第8圖中，為縮短工件保持部340與引導部280或被引導部330的距離L1，引導部280及被引導部330也可配置在第2圖表示之電鍍槽200的上部開口200A的上方。但是，供電部260及驅動部270是從第2圖表示之電鍍槽200的上部開口200A的上方偏移地配置。尤其是有防止因驅動部270與被驅動部320的卡合產生的塵埃透過電鍍槽200的上部開口200A落下至電鍍液Q中的必要。
由於與引導部280及被引導部330的接觸為滾筒331的滾接，因此不會因滑動而產生塵埃。但是，本實施形態中，將引導部280及被引導部330配置在第2圖表示的電鍍槽200的上部開口200A的上方的場合，設置在表示於第2圖的右側之前處理槽230A的上部，可將使得上部開口的面積小的蓋子202，203設置在電鍍槽200的上部(第2圖中省略電鍍槽200的上部的蓋子202、203)。如此一來，可一邊縮短工件保持部340與引導部280的距離L1，一邊藉著蓋子202、203防止因引導部280與滾筒331的滾接萬一產生的塵埃等，落下至電鍍液Q中。
第6圖～第8圖中，距離L2與距離L3的關係為L2＜L3。這是由於從驅動部270或被驅動部320到工件保持部340為止的距離L2越短則驅動效率變得越高。但是，也可以L2＞L3或L2=L3。例如在水平臂部300的下側設置驅動部270，在水平臂部300的上側設置供電部260時，對於複數的供電軌道260A～260D，L2＜L3、L2=L3或L2＞L3的其中之一的關係也可成立。
5. 滾筒331的制動機構 　　如以第1圖已說明，電鍍裝置10具有：對保持配置在電鍍槽200內的工件20的搬運支架30賦予連續搬運力進行連續搬運驅動的驅動部(連續驅動部)270，及賦予將保持著配置在電鍍槽200外的工件20的搬運支架30向前方推出的間歇搬運力進行搬運支架30間歇搬運驅動的間歇驅動部(推桿等)。此時，搬運支架30是以具有使得與引導部280之頂面滾接的滾筒331制動的制動機構為佳。
第9圖表示在滾筒331例如內置著制動機構350。如第9圖表示，滾筒331是透過滾動軸承333可旋轉地被支撐於固定在搬運支架30的垂直臂部301的軸332上。滾動軸承333包括：固定於軸332的內圈333A；固定於滾筒331的外圈333B；及保持在內圈333A及外圈333B之間的滾動體333C。制動機構350具有彈性構件例如扭力盤簧351。扭力盤簧351是在軸332的周圍，配置於配置在滾動軸承333側的軸環334，及配置在垂直臂部301側的軸環335之間，透過軸環334彈性地推壓外圈333B。如此一來，由於制動機構350彈性地推壓滾動軸承333的外圈333B，可使滾筒331經常制動。並且，制動機構350也可設置於其他的滾筒334、335，也可設置在滾筒331、334、335的其中任一個。
經常賦予制動力的制動機構350在連續搬運驅動或間歇搬運驅動結束後藉著減少作用於滾筒331的慣性力的制動力可進行滾筒331制動。如此一來，可一邊進行搬運支架30的連續搬運驅動或間歇搬運驅動，一邊在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的搬運支架30的停止時藉著制動機構350的制動力將搬運支架30停止在預定的停止位置。
如此一來，防止搬運支架30即使在間歇搬運驅動結束後仍以慣性力持續地前進而停止在預定的停止位置以外的位置。另一方面，即使藉著驅動部位(齒形塊)273與被驅動部位(爪構件)321～324的卡合來實現藉驅動部270的連續搬運驅動時，為解除驅動構件與被驅動構件的卡合將搬運支架例如以推桿向前方推出之後停止搬運支架。或者，例如專利文獻4不卡合而是藉2支的推桿的交替驅動進行連續搬運驅動的場合，以推桿向前方推出之後停止搬運支架。為此，即使在連續搬運驅動結束後，與間歇搬運驅動結束後同樣地，對搬運支架30有慣性力作用。因此，至少在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的搬運支架30的停止時，藉制動機構350的制動力停止搬運支架30。藉此，防止以慣性力持續地前進而使得搬運支架30停止在預定的停止位置以外的位置。
並且，如上述針對本實施形態已詳細說明，但從本發明的新穎事項及效果可進行不脫離實體之多數的變形可為該業者所容易理解。因此，如此的變形例皆包含於本發明的範圍內。例如，在說明書或圖示中，至少一度與較廣義或同義而不同用語一起記載的用語在說明書或圖示的任意處中，皆可置換與其不同的用語。並且本實施形態及變形例的所有組合也包含於本發明的範圍內。
例如，制動機構350雖經常將制動力賦予滾筒331等，但不限於此。例如也可以僅在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的搬運支架30的停止時將制動力賦予滾筒331等的制動機構。為此，檢測搬運支架30到達停止位置的瞬間前，以機械式或電氣式使制動機構動作即可。或者可以在搬運支架30的停止位置設置制動機構，對到達停止位置的搬運支架30的滾筒331等賦予制動力。
10‧‧‧表面處理裝置(連續電鍍處理裝置)
20‧‧‧工件
30‧‧‧搬運支架
200‧‧‧表面處理槽(電鍍槽)
200A‧‧‧上部開口
202、203‧‧‧蓋子
260‧‧‧供電部
260A～260B‧‧‧供電軌道
270‧‧‧驅動部(連續驅動部)
271‧‧‧鏈輪
272‧‧‧鏈條
273‧‧‧齒形塊
280‧‧‧引導部(引導軌道)
300‧‧‧水平臂部
301‧‧‧垂直臂部
310‧‧‧被供電部
320‧‧‧被驅動部
321～324‧‧‧爪構件
330‧‧‧被引導部
331‧‧‧滾筒
333‧‧‧滾動軸承
333C‧‧‧外圈
350‧‧‧制動機構
351‧‧‧扭力盤簧
A‧‧‧第1方向(搬運方向)
B‧‧‧第2方向
Q‧‧‧處理液(電鍍液)
第1圖為運用本發明之連續電鍍裝置的概略上視圖。 　　第2圖為本發明實施形態相關之表面處理裝置的縱剖視圖。 　　第3圖為第2圖的部份放大圖。 　　第4圖為搬運支架的透視圖。 　　第5圖是表示搬運支架的被供電部的圖。 　　第6圖是表示搬運支架的工件保持部與其他構件之位置關係的圖。 　　第7圖是表示搬運支架的工件保持部與其他構件之位置關係的變形例的圖。 　　第8圖是表示搬運支架的工件保持部與其他構件之位置關係的另外其他變形例的圖。 　　第9圖是表示滾筒的制動機構之一例的圖。

Claims (9)

  1. 一種表面處理裝置，具備： 　　表面處理槽，收容有處理液，具有上部開口； 　　搬運支架，包括從上述表面處理槽的上述上部開口下垂至上述處理液內地保持工件的工件保持部，沿著搬運方向搬運上述工件； 　　供電部，與上述搬運支架接觸供電至上述工件； 　　驅動部，對上述搬運支架賦予驅動力以搬運驅動上述搬運支架；及 　　引導部，與上述搬運支架接觸以搬運引導上述搬運支架， 　　在平面顯示，上述引導部與上述工件保持部的距離是比上述驅動部與上述工件保持部的距離短，並且，比上述供電部與上述工件保持部的距離短。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的表面處理裝置，其中， 　　上述搬運支架，包括使上述工件保持部下垂並支撐的水平臂部， 　　上述工件保持部，包括夾持上述工件的至少上端部的夾持部， 　　上述水平臂部，包括： 　　被引導部，被上述引導部所引導； 　　被驅動部，被上述驅動部所驅動；及 　　被供電部，與上述供電部接觸。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的表面處理裝置，其中，上述引導部是配置在上述表面處理槽的上述上部開口的上方， 　　上述驅動部及上述供電部是配置在從上述表面處理槽的上述上部開口的上方偏離的位置。
  4. 如申請專利範圍第3項記載的表面處理裝置，其中，上述表面處理槽具有使上述上部開口的面積小的蓋子。
  5. 一種搬運支架，係保持供應至表面處理裝置的工件，沿著搬運方向搬運上述工件的搬運支架，其特徵為，包括： 　　水平臂部，及從上述水平臂部下垂的工件保持部， 　　上述工件保持部包括夾持上述工件的至少上端部的夾持部， 　　上述水平臂部，包括： 　　被引導部，被設置在上述表面處理裝置的引導部所引導； 　　被驅動部，被設置在上述表面處理裝置的驅動部所驅動；及 　　被供電部，與設置在上述表面處理裝置的供電部接觸， 　　在平面顯示，上述被引導部與上述工件保持部的距離是比上述被驅動部與上述工件保持部的距離短，並且，比上述被供電部與上述工件保持部的距離短。
  6. 一種表面處理裝置，具備： 　　表面處理槽，收容有處理液，具有上部開口； 　　搬運支架，搬運藉上述表面處理槽處理的工件； 　　連續驅動部，對保持著配置在上述表面處理槽內的上述工件的上述搬運支架賦予連續搬運力以連續搬運驅動上述搬運支架； 　　間歇驅動部，對保持著配置在上述表面處理槽外的上述工件的上述搬運支架賦予間歇搬運力以間歇搬運驅動上述搬運支架；及 　　引導部，搬運引導上述搬運支架， 　　上述搬運支架包括被上述引導部所引導的被引導部， 　　上述被引導部，具備： 　　滾筒，與上述引導部的頂面滾接，及 　　制動機構，至少在間歇搬運驅動後及連續搬運驅動後的上述搬運支架的停止時進行上述滾筒制動。
  7. 如申請專利範圍第6項記載的表面處理裝置，其中，上述制動機構藉著上述間歇搬運驅動或上述連續搬運驅動來降低作用於上述滾筒之慣性力的制動力以經常地制動上述滾筒。
  8. 如申請專利範圍第7項記載的表面處理裝置，其中，上述滾筒是透過滾動軸承可旋轉地被支撐於固定在上述搬運支架的軸上， 　　滾動軸承，包括：固定於上述軸的內圈；固定於上述滾筒的外圈；及保持在上述內圈及上述外圈之間的滾動體， 　　上述制動機構彈性地推壓上述外圈。
  9. 一種搬運支架，係保持供應至表面處理裝置的工件，沿著搬運方向搬運上述工件的搬運支架，其特徵為，包括： 　　水平臂部，及從上述水平臂部下垂的工件保持部， 　　上述水平臂部，包括： 　　被引導部，被設置在上述表面處理裝置的引導部所引導； 　　被驅動部，被設置在上述表面處理裝置的驅動部所驅動；及 　　被供電部，與設置在上述表面處理裝置的供電部接觸， 　　上述被引導部，具備： 　　滾筒，與上述引導部的頂面滾接，及 　　制動機構，進行上述滾筒制動。
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