CN101815679B - 光学元件的制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供光学元件的制造方法及制造装置，在通过液滴成形法制造具有对置的两个光学面的光学元件的情况下，能够确保高的偏心精度。该光学元件的制造方法具有将成形模具加热至规定温度的加热工序、向下模滴下熔融玻璃滴的滴下工序、使上模和下模沿加压方向相对移动来对熔融玻璃滴加压从而使光学元件成形的加压工序。基于通过加压工序而成形的光学元件的两个光学面的位置偏移量，来调整加压工序中的上模和下模的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个。

Description

光学元件的制造方法及制造装置

技术领域

本发明涉及对熔融玻璃滴进行加压成形来制造具有对置的两个光学面的光学元件的光学元件的制造方法及用于实施该制造方法的光学元件的制造装置。 

背景技术

近年来，用成形模具对玻璃原料进行加压成形而制造出的光学元件，作为数码相机用透镜、DVD等光拾取透镜、移动电话用照相机透镜、光通信用耦合透镜、用于将从半导体激光器输出的椭圆形状的输出光束整形成圆形的光束整形元件等而得到广泛应用。 

此外，随着光学产品的小型化、高精度化的要求，针对玻璃制光学元件所要求的性能也越来越高，针对对置的两个光学面的相对位置与设计值的偏移量(以下称为“偏心量”)所要求的性能也越来越严格。在作为DVD用拾取透镜等而使用的高NA透镜中，偏心量的容许公差极小，需要限制在例如0.1μm以下的范围内。 

作为上述玻璃制光学元件的制造方法之一，公知有预先作成具有规定重量及形状的玻璃料滴，将该玻璃料滴与成形模具一起加热到玻璃可变形的温度之后，用成形模具将玻璃料滴加压成形的方法(以下称为“再热式压制法”)(例如参照专利文献1、2)。 

根据专利文献1、2的记载，通过在套筒内对成形模具的倾斜进行调整的方法(专利文献1)、与上下模的按压动作独立地从上下模的侧面上下同时地对模具的外周进行加压的方法(专利文献2)，能够抑制偏心量。但是，在这种再热式压制法中，每次成形都需要反复对模具及玻璃料滴进行加热和冷却，因此存在1次成形所需的时间非常长的问题。 

另外，作为玻璃成形体的另一制造方法，公知有向预先加热到了规定温度的下模上滴下熔融玻璃滴，在所滴下的熔融玻璃滴达到可变形的温度期间，用上模和下模进行加压成形的方法(以下称为“液滴成形法”) (例如参照专利文献3)。该方法无需对成形模具等反复进行加热和冷却，能够从熔融玻璃滴直接制成玻璃成形体，因此1次成形所需的时间非常短，因而受到了关注。 

专利文献1：日本特开2005-306644号公报 

专利文献2：日本特开平10-182173号公报 

专利文献3：日本特开2005-320199号公报 

然而，对于液滴成形法，在使上模从下模的上方退避了的状态下，在向下模上滴下了熔融玻璃滴之后且进行加压成形之前，为了使上模和下模成为规定的上下关系，而需要对上模和下模进行相对移动的工序。而且，滴下了的熔融玻璃滴会随着时间急速冷却，因此必需以相当高的速度使上模和下模相对移动。因此，若为了减小偏心量而减小套筒与成形模具之间的间隙，则向套筒插入成形模具时易发生碰撞，导致难以制造性能稳定的光学元件。 

而且，专利文献1中记载的方法存在无法对应大于套筒与成形模具的间隙量的偏心，而且无法对应两个光学面的平行偏移的问题。 

而且，在成形模具的加工上，难以使成形模具的外径中心轴与成形面的轴完全一致，通常外径中心轴与成形面的轴具有某种程度的偏移的情况较多。专利文献2中记载的方法为从侧面对上下的成形模具进行加压而使外径中心轴一致的方法，因此，在成形模具的外径中心轴与成形面的轴不一致的情况下，原理上无法对其进行补正。 

发明内容

本发明鉴于上述技术课题而做出，本发明的目的在于，提供一种在通过液滴成形法来制造具有对置的两个光学面的光学元件时，能够确保高偏心精度的光学元件的制造方法。此外，本发明的其他目的在于提供一种用于实施该制造方法的光学元件的制造装置。 

为了解决上述课题，本发明具有以下特征。 

1.一种光学元件的制造方法，由具有上模及下模的成形模具对熔融玻璃滴进行加压成形，从而来制造具有对置的两个光学面的光学元件 的，其特征在于，包括：将上述成形模具加热至规定温度的加热工序；向上述下模滴下上述熔融玻璃滴的滴下工序；使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动，对上述熔融玻璃滴加压来成形上述光学元件的加压工序；其中，基于通过上述加压工序而成形的光学元件的上述两个光学面的位置偏移量，来调整上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置及倾斜中的至少一个，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述上模和上述下模的水平方向的相对位置不同，在上述滴下工序与上述加压工序之间，具有使上述上模及上述下模的至少一个沿水平方向移动的移动工序，上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动的上述上模及上述下模的至少一个的停止位置来进行的。 

2.在上述1所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述下模的水平方向的位置不同，在上述滴下工序与上述加压工序之间，具有使上述下模沿水平方向移动的移动工序，上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动了的上述下模的停止位置来进行的。 

3.在上述2所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，在上述加压工序中，通过使上述上模下降来进行加压。 

4.在上述2所述的光学元件的制造方法中，，其特征在于，上述加压工序中的上述上模和上述下模的倾斜的调整是通过改变上述上模的角度来进行的。 

5.在上述1～4中任一项所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述两个光学面的位置偏移量是通过测定上述光学元件的透过波前像 

6.在上述1至4中任一项所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述上模及上述下模的至少一个具有用于转印标记的标记转印部，该标记用于识别相对于上述光学元件的位置。 

7.在上述5所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述上模及上述下模的至少一个，具有用于转印标记的标记转印部，该标记用于识别相对于上述光学元件的位置。 

8.在上述6所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述标记转印部由凹部形成，上述凹部的深度D为0.5μm以上、20μm以下，上述凹部的宽度W为3μm以上、200μm以下。 

9.在上述7所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述标记转印部由凹部形成，且上述凹部的深度D为0.5μm以上、20μm以下，上述凹部的宽度W为3μm以上、200μm以下。 

10.在上述8所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述标记的长度为形成有该标记的光学面的有效径的5％以上、30％以下。 

11.在上述9所述的光学元件的制造方法中，其特征在于，上述标记的长度为形成有该标记的光学面的有效径的5％以上、30％以下。 

附图说明

12.一种光学元件的制造装置，其用于对熔融玻璃滴进行加压成形来制造具有对置的两个光学面的光学元件，其特征在于，具有：具有上模及下模的成形模具；用于将上述成形模具加热至规定温度的加热单元；用于向上述下模滴下上述熔融玻璃滴的滴下单元；加压单元，其用于使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动来对上述熔融玻璃滴加压；水平位置调整单元，其用于调整对上述熔融玻璃滴加压时的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置；倾斜调整单元，其用于调整对上述熔融玻璃滴加压时的上述上模及上述下模的至少一个的倾斜，在上述滴下单元进行熔融玻璃滴的滴下时和上述加压单元对熔融玻璃滴加压时，上述上模和上述下模的水平方向的相对位置不同，在上述滴下时和上述加压时之间，使上述上模及上述下模的至少一个沿水平方向移动，上述水平位置调整单元进行加压时的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整，是通过改变在上述移动的上述上模及上述下模的至少一个的停止位置来进行的。 

根据本发明，基于根据先制造出的光学元件的特性计算出的两个光学面的位置偏移量，对加压工序中的上模和下模的水平方向的相对位置及倾斜中的至少一个进行调整，因此，能够将所制造的光学元件的两个光学面的位置偏移量抑制到最小限度。因此，在通过液滴成形法来制造具有对置的两个光学面的光学元件的情况下，即便在成形模具的外径中心轴与成形面的轴不一致时，也能够确保高的偏心精度。 

图1是示意性地示出本发明的光学元件的制造装置10的图(在滴下工序中的状态)。 

图2是示意性地示出本发明的光学元件的制造装置10的图(在加压工序中的状态)。 

图3是下模12附近的立体图。 

图4是上模基座16的A-A剖视图。 

图5是示出用于制造光学元件的基本工序的流程图。 

图6是示出对上模11和下模12的水平方向的相对位置及倾斜进行调整的工序的流程图。 

图7是示出计算光学元件25的两个光学面的位置偏移量的工序的流程图。 

图8是示出通过本发明的制造方法所制造的光学元件25的示意图。 

图9是示出作为标记转印部而具有凹部18的下模12的图。 

图10是用于说明倾斜量(α)及倾斜方向(θ)的示意图。 

符号说明如下： 

10…光学元件的制造装置；11…上模；12…下模；13…成形模具；14x、14y、14z…滚珠丝杠；15x、15y、15z…伺服马达；16…上模基座；17…下模基座；18…凹部；19…调整螺丝；20…熔融玻璃滴；25…光学元件；26…标记；27a、27b…光学面；31、32…加热器；33a、33b…对称轴；S11…加热工序；S13…滴下工序；S14…移动工序；S15…加压工序。 

具体实施方式

下面，结合图1～图10对本发明的实施方式进行详细说明。 

(光学元件的制造装置) 

首先，结合图1～图4对本发明的光学元件的制造装置10的构成进行说明。图1及图2是示意性地示出本发明的光学元件的制造装置10的图，图1表示在滴下工序中的状态，图2表示在加压工序中的状态。此外，图3是下模12附近的立体图，图4是上模基座16的A-A剖视图。 

用于对熔融玻璃滴20进行加压成形的成形模具13具有上模11及下模12，上模11支承于上模基座16的下表面，下模12支承于下模基座17的上表面。上模基座16构成为，能够通过本发明的加压单元、即伺服马达15z及滚珠丝杠14z沿上下方向(z方向)移动。 

在本实施方式中构成为利用加压单元仅使上模11沿上下方向移动， 但是本发明不局限于该方式，可以构成为仅使下模12移动，也可以构成为使上模11和下模12双方沿上下方向移动。此外，加压单元不局限于伺服马达15z及滚珠丝杠14z，可以适当地选择使用步进式马达、油压汽缸、空压汽缸等公知的单元。 

下模基座17构成为能够由伺服马达15x及滚珠丝杠14x移动，由此，下模12能够在接收滴下来的熔融玻璃滴20的位置(滴下位置P1)和与上模11对置且用于对熔融玻璃滴20加压的位置(加压位置P2)之间移动。移动单元只要能够使上模11和下模12沿水平方向相对移动即可，可以如本实施方式这样是仅使下模12移动的构成，也可以是仅使上模11移动或者使上模11和下模12双方移动的构成。但是，如果在滴下工序和加压工序中使下模移动，从而使滴下位置P1与加压位置P2不同，则可以在某个下模处于加压工序期间利用其他下模来接受熔融玻璃的滴下，因而优选。而且，由于使具有水平方向的移动单元的下模也沿上下方向移动，会导致机构变得复杂，因而优选在加压工序中的上模与下模的上下的相对移动通过使上模移动来进行。 

伺服马达15x及滚珠丝杠14x还作为水平位置调整单元而发挥作用，该水平位置调整单元用于对熔融玻璃滴20加压时来调整上模11与下模12在x方向的相对位置进行调整。此外，同样，作为用于调整y方向的相对位置的水平位置调整单元，具有如图3所示的伺服马达15y及滚珠丝杠14y。 

此外，作为用于对上模11和下模12的倾斜进行调整的倾斜调整单元，在上模基座16具有调整螺丝19。调整螺丝19如图4所示以120°间隔(圆周3等分)配置有3根，通过调整调整螺丝19从上模基座16的突出量，能够对上模11相对于上模基座16的角度进行调整。 

上模11及下模12的材料可以从作为用于对玻璃制光学元件进行加压成形的成形模具而公知的材料中适当选择使用，例如耐热合金(不锈钢等)、以炭化钨为主要成分的超硬材料、各种陶瓷(炭化硅素、氮化硅素、氮化铝等)、含有碳的复合材料等。此外，能够使用在这些材料的表面形成各种金属、陶瓷、碳等保护膜的材料。可以用相同材料构成上模11及下模12，也可以分别用不同的材料构成。 

此外，上模11及下模12构成为，由加热单元即加热器31、32分别加热至规定温度。作为加热单元，能够适当选择使用公知的加热单元。例如能够使用埋入被加热部材的内部来进行使用的筒形加热器、与被加热部材的外侧接触来进行使用的片状加热器、红外线加热装置、高频感应加热装置等。 

光学元件的制造装置10具备存储溶融状态的玻璃22的溶融槽21、和设置于其下部的喷嘴23，以作为用于向下模12滴下熔融玻璃滴20的滴下单元。 

(玻璃成形体的制造方法) 

接下来，结合图5～图10对本发明的光学元件的制造方法进行说明。图5是示出用于制造光学元件的基本工序的流程图。图6是示出对上模11与下模12的水平方向的相对位置及倾斜进行调整的工序的流程图，图7是示出对光学元件25的两个光学面的位置偏移量进行计算的工序的流程图。 

首先，用图5所示的流程图，按顺序对本发明的光学元件的制造方法的各工序进行说明。 

首先，将成形模具13加热至规定温度(加热工序S11)。所谓规定温度，是能够对光学元件25形成良好的两个光学面的温度即可。一般情况下，若上模11、下模12的温度过低，便会难以形成良好的光学面。相反，过度地升高温度，容易发生与玻璃溶合或者会导致上模11及下模12的寿命变短，因而也不优选。通常设定为玻璃的玻璃转移点温度Tg-100℃～Tg+100℃范围内的温度，实际加工时，适合的温度会因玻璃的种类、玻璃成形体的形状或大小、上模11或下模12的材料、保护膜的种类等各种条件的不同而不同，因此优选在实验中求得合适的温度。上模11和下模12的加热温度可以是相同温度，也可以是不同温度。 

在本发明中，由于向被加热至规定温度的成形模具13滴下熔融玻璃滴20并进行加压成形，因此能够使成形模具13的加热温度保持不变来进行一系列的工序。而且，能够使成形模具13的加热温度保持不变来反复制造多个光学元件25。因此，每制造1个光学元件25无需对成 形模具13反复进行升温和冷却，因而能够以极短的时间高效地制造光学元件。 

在这里，使成形模具13的加热温度保持不变，意思是用于对上模11及下模12进行加热的温度制御的目标设定温度保持不变。因此，并不是要防止各工序实施过程中的因与熔融玻璃滴20的接触等而导致的温度变动，而是允许该温度变动。 

接下来，使下模12移动到滴下位置P1(S12)，向下模12滴下熔融玻璃滴20(滴下工序S13)(图1参照)。 

溶融槽21被未图示的加热器加热，在内部存储溶融状态的玻璃22。在溶融槽21的下部设置有喷嘴23，溶融状态的玻璃22因自重而通过喷嘴23的内部设置的流路，并因表面张力而积存于先端部。若在喷嘴23的先端部积存一定重量的熔融玻璃，则自然地与喷嘴23的先端部分离，从而一定重量的熔融玻璃滴20向下方滴下。 

所滴下的熔融玻璃滴20的重量，能够通过喷嘴23的先端部的外径来进行调整，并且其因玻璃的种类等的不同而不同，但能够滴下0.1g～2g左右的熔融玻璃滴20。此外，能够通过喷嘴23的内径、长度、加热温度等对玻璃滴的滴下间隔进行调整。因此，通过适当设定上述条件，能够以规定的间隔滴下规定重量的熔融玻璃滴。 

而且，也可以不从喷嘴23向下模12直接滴下熔融玻璃滴20，而使从喷嘴23滴下的熔融玻璃滴20与设置了贯通细孔的部材碰撞，使碰撞后的熔融玻璃滴20的一部分作为微小滴通过贯通细孔而向下模12滴下。这样，能够制造例如0.001g～0.3g这样的微小光学元件。此外，通过改变贯通细孔的直径，便能够调整熔融玻璃滴的体积而无需更换喷嘴23，能够高效地制造多种玻璃成形体，因而优选。该方法详细地记载在日本特开2002-154834号公报中。 

对于所能使用的玻璃的种类没有特别的限制，能够根据用途来选择使用公知的玻璃。例如可以举出硼硅酸盐玻璃、硅酸盐玻璃、磷酸玻璃、镧系玻璃等光学玻璃。 

接下来，将下模12移动到与上模11对置并用于对熔融玻璃滴20 加压的位置(加压位置P2)(移动工序S14)。基于根据在制造所要制造的光学元件25之前制造出的光学元件25的特性所算出的两个光学面的位置偏移量，来调整加压位置P2处的上模11与下模12的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个。因此，即便在上模11或下模12的外径中心轴与成形面的轴不一致的情况下，也能够将所制造的光学元件25的两个光学面的位置偏移量抑制到最小限度，能够确保高的偏心精度。 

对加压位置P2处的上模11与下模12的水平方向的相对位置的调整，由x方向的调整单元即伺服马达15x及滚珠丝杠14x、和y方向的调整单元即伺服马达15y及滚珠丝杠14y来进行。此外，倾斜的调整由调整螺丝19来进行。另外，关于对水平方向的相对位置及倾斜进行调整的工序的详细内容，将在后面进行说明。 

使下模12移动到加压位置P2之后，由加压单元使上模11向下方移动，从而对熔融玻璃滴20加压(加压工序S15)(图2参照)。 

在加压工序S15期间，熔融玻璃滴20主要由于在与成形模具13接触的接触面上的散热而迅速被冷却，固化后成为光学元件25。优选在冷却到了即便解除加压单元的加压，所形成的光学面的形状也不会变形的温度之后，解除加压。由玻璃的种类、光学元件25的大小或形状、需要的精度等决定，但是通常只要冷却至玻璃的Tg附近的温度即可。此外，所负载的负荷的大小，根据所制造的光学元件25的尺寸等来适当设定即可。 

最后，使上模11向上方移动并退避开，回收得的光学元件25(S16)，光学元件25的制造结束。之后，在继续制造光学元件25的情况下，再次将下模12移动到滴下位置P1(S12)，重复以后的工序即可。 

另外，除了这里所说明的工序之外，本发明的光学元件的制造方法可以包括其他工序。例如可以设置在回收光学元件25之前检查光学元件25的形状的工序、在回收光学元件25之后清洁上模11和下模12的工序等。 

接着，结合图6所示的流程图，针对调整上模11和下模12的水平方向的相对位置及倾斜的工序进行说明。 

在本发明中，基于根据先制造出的光学元件25的特性所计算出的两个光学面的位置偏移量，对加压工序S15中的上模11和下模12的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个进行调整，从而能够制造具有高偏心精度的光学元件25。此外，通过对水平方向的相对位置及倾斜双方进行调整，能够确保更高的偏心精度。在这里，举例说明对水平方向的相对位置及倾斜双方进行调整的情况。 

在对水平方向的相对位置及倾斜双方进行调整的情况下，需调整的参数为加压位置P2的x坐标(x)、y坐标(y)、倾斜量(α)及倾斜方向(θ)4个。 

图10是用于说明倾斜量(α)及倾斜方向(θ)的示意图。图10(a)是从一个光学面27a侧看光学元件25的图，图10(b)是光学元件25的B-B剖视图。 

该光学元件25的两个光学面27a、27b均为旋转对称非球面。光学元件的两面为旋转对称非球面时，两个光学面的位置偏移表现为各旋转对称非球面的对称轴的偏移。 

在这里，如图10所示，一个光学面27a的对称轴33a与另一个光学面27b的对称轴33b所成的角度为倾斜量(α)。需要将该倾斜量(α)抑制在一定的容许范围内。此外，在与光学面27b的对称轴33b垂直的面内，从任意的基准位置34到光学面27a的对称轴33a的方向的旋转角度为倾斜方向(θ)。通常，对倾斜方向(θ)本身没有特别限定，但是其是用于进行使倾斜量(α)降低的调整所必需的参数。 

首先，将上述4个参数设定为任意的初始值(x＝x0、y＝y0、α＝α0、θ＝θ0)(S21)，通过图5所示的S11～S16的工序来制造光学元件25(S22)。 

接着，根据所制造出的光学元件25的特性算出两个光学面的对称轴的偏移量(dx、dy、dα、dθ)(S23)。对于根据光学元件25的特性来求出两个光学面的对称轴偏移量的方法没有特别限制，可以根据光学元件25的透过波前像差来求出对称轴偏移量，也可以根据光学元件25的反射偏心和透过偏心的测定结果来求出对称轴偏移量。此外，可以根 据光学元件25的两个光学面的形状测定结果来求出对称轴偏移量。其中，根据透过波前像差来计算对称轴偏移量的方法无需特殊的测定装置，便能够进行高精度的计算，因而优选。 

之后，判定所计算出的对称轴偏移量当中dx和dy是否在容许范围内(S24)。在偏移出了容许范围的情况下，分别对加压位置P2的x坐标、y坐标加上所计算出的dx、dy，来改变加压位置P2的坐标(S25)。改变后的加压位置P2的坐标的x坐标成为x+dx，y坐标成为y+dy。 

改变了加压位置P2之后，再次进行S22～S24的工序。若dx和dy处于容许范围内，则接着判定dα是否在容许范围内(S26)。在dα偏移出容许范围内的情况下，操作调整螺丝19来改变加压位置P2(S27)，再制造光学元件25。通过这样重复多次，能够使dx、dy、dα全部在容许范围内。 

在这里，在对倾斜量(dα)进行判定(S26)之前，进行了抑制dx和dy的调整，这是由于在dx或dy大的状态下有时难以算出准确的dα。此外，优选在改变了dα、dθ(S27)的情况下再次实施对dx和dy的判定(S24)。这是因为由于改变了dα、dθ，dx、dy的值也发生了变化。 

接下来，结合图7所示的流程图，针对根据光学元件25的透过波前像差来计算对称轴偏移量(dx、dy、dα、dθ)的工序进行说明。 

首先，使用干涉仪来测定光学元件25的透过波前像差(S31)。接着，市售解析软件(例如ザイゴ(zygokk)株式会社制、MetroPro)等，将S31中测定的透过波前像差展开成泽尼克(Zernike)多项式(S32)，取出与两个光学面的对称轴偏移对应的泽尼克系数(S33)。 

另外，根据光学元件25的光学设计值，预先算出产生了一定量的对称轴偏移时的泽尼克系数的变化量(S34)。通过比较在该计算中求出的泽尼克系数的变化量和在S33中取出的泽尼克系数的值，能够计算出光学元件25中存在的两个光学面的对称轴偏移量(S35)。 

在以上的说明中，说明了光学元件的两个光学面为旋转对称非球面的情况。在不是旋转对称非球面的情况、例如是球面或自由曲面的情况下，不具有对称轴，但是测定水平方向的位置偏移能够适用本发明。 

另外，为了通过上述方法计算光学元件25的两个光学面的对称轴偏移量，并根据所计算出的对称轴偏移量确定加压位置P2的坐标，需要准确地把握该光学元件25被上模11及下模12加压时的、光学元件25相对于上模11及下模12的位置关系。因此，优选光学元件25具有表示相对于上模11或下模12的位置关系的标记。为了形成上述标记，优选上模11及下模12的至少一个具有用于转印标记的标记转印部。通过将该标记转印到光学元件25，能够准确且稳定地对光学元件25赋予标记。 

图8是示出通过本发明的制造方法制造出的光学元件25的示意图。对标记的位置没有特别的限制，但优选设置于对光学性能的影响小，且组装时没有障碍的位置。例如，可以如图8(a)所示在位于光学面27a外侧的平面部28设置标记26，也可以如图8(b)所示在光学面27a的、对光学性能影响小的外周部设置标记26。此外，可以在光学元件25的侧面部29设置标记26。 

在通过转印来形成标记26的情况下，从易于对成形模具13(上模11及下模12的至少一个)进行加工的观点出发，优选在成形模具13设置由凹部形成的标记转印部。这种情况下，通过转印而形成于光学元件25的标记26为凸状。 

此外，在上模11、下模12中的曲率半径大的一个上设置标记转印部。这是因为易于通过目视识别或自动检测所形成的标记26。 

图9是示出了作为用于转印标记26的标记转印部而具有凹部18的下模12的图。图9(a)是从上方看下模12的图，图9(b)是A-A剖面的局部放大图。如图9(a)所示，下模12在用于形成光学元件25的成形面12c的外侧设置的平面12s上，具有作为标记转印部的凹部18。 

优选设置于成形模具13的凹部18的深度D为0.5μm以上、20μm以下，宽度W为3μm以上、200μm以下。液滴成形法是用比较低温的成形模具13一边冷却高温的熔融玻璃滴20一边对其进行加压成形的方法，因此，熔融玻璃滴20与成形模具13的接触面附近成为迅速冷却且粘度高的状态。因此，凹部18的深度D小于0.5μm或者宽度W小于3μm时，有时熔融玻璃滴20难以进入凹部18，从而难以通过转印形成标记 26。相反，若深度D大于20μm，通过转印形成的标记26易出现缺口。此外，若宽度W大于200μm，有时会导致旋转方向的检测精度降低。 

而且，为了易于通过图像处理自动识别，并且将外观品质的恶化抑制到最小程度，优选标记26的长度为光学面的有效径(直径)的5％以上、30％以下。 

Claims (12)

1.一种光学元件的制造方法，其通过具有上模及下模的成形模具对熔融玻璃滴进行加压成形，从而来制造具有对置的两个光学面的光学元件，其特征在于，具有：

加热工序，将上述成形模具加热至规定温度；

滴下工序，向上述下模滴下上述熔融玻璃滴；

加压工序，使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动，从而对上述熔融玻璃滴加压来成形上述光学元件；其中，

基于通过上述加压工序成形的光学元件的上述两个光学面的位置偏移量，对上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置及倾斜的至少一个进行调整，

在上述滴下工序和上述加压工序中，上述上模和上述下模的水平方向的相对位置不同，

在上述滴下工序和上述加压工序之间，具有使上述上模及上述下模的至少一个沿水平方向移动的移动工序，

上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动的上述上模及上述下模的至少一个的停止位置来进行的。

2.根据权利要求1所述的光学元件的制造方法，其特征在于，在上述滴下工序和上述加压工序中，上述下模的水平方向的位置不同，

在上述滴下工序和上述加压工序之间，具有使上述下模沿水平方向移动的移动工序；

上述加压工序中的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整是通过改变在上述移动工序中移动的上述下模的停止位置来进行的。

3.根据权利要求2所述的光学元件的制造方法，其特征在于，在上述加压工序中，通过使上述上模下降来进行加压。

4.根据权利要求2所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述加压工序中的上述上模和上述下模的倾斜的调整是通过改变上述上模的角度来进行的。

5.根据权利要求1至权利要求4中任意一项所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述两个光学面的位置偏移量是通过测定上述光学元件的透过波前像差而求得。

6.根据权利要求1至权利要求4中任意一项所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述上模及上述下模的至少一个，具有用于转印标记的标记转印部，该标记用于识别相对于上述光学元件的位置。

7.根据权利要求5所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述上模及上述下模的至少一个，具有用于转印标记的标记转印部，该标记用于识别相对于上述光学元件的位置。

8.根据权利要求6所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述标记转印部由凹部形成，且上述凹部的深度D为0.5μm以上、20μm以下，上述凹部的宽度W为3μm以上、200μm以下。

9.根据权利要求7所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述标记转印部由凹部形成，且上述凹部的深度D为0.5μm以上、20μm以下，上述凹部的宽度W为3μm以上、200μm以下。

10.根据权利要求8所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述标记的长度为形成有该标记的光学面的有效径的5％以上、30％以下。

11.根据权利要求9所述的光学元件的制造方法，其特征在于，上述标记的长度为形成有该标记的光学面的有效径的5％以上、30％以下。

12.一种光学元件的制造装置，其用于对熔融玻璃滴进行加压成形从而制造具有对置的两个光学面的光学元件，其特征在于，具有：

成形模具，其具有上模及下模；

加热单元，其用于将上述成形模具加热至规定温度；

滴下单元，其用于向上述下模滴下上述熔融玻璃滴；

加压单元，其用于使上述上模和上述下模沿上下方向相对移动从而对上述熔融玻璃滴加压；

水平位置调整单元，其用于调整对上述熔融玻璃滴加压时的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置；

倾斜调整单元，其用于调整对上述熔融玻璃滴加压时的上述上模及上述下模的至少一个的倾斜，

在上述滴下单元进行熔融玻璃滴的滴下时和上述加压单元对熔融玻璃滴加压时，上述上模和上述下模的水平方向的相对位置不同，

在上述滴下时和上述加压时之间，使上述上模及上述下模的至少一个沿水平方向移动，

上述水平位置调整单元进行加压时的上述上模和上述下模的水平方向的相对位置的调整，是通过改变在上述移动的上述上模及上述下模的至少一个的停止位置来进行的。

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