CN101308164A - 探针组合体及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针组合体及检查装置，该探针组合体用于支承刀片型探针，能容易且安全地更换刀片型探针。上述探针组合体包括块状片、空开恒定间隔地支承上述刀片型探针的两个槽杆、一体地支承各刀片型探针的导杆、支承该导杆的侧盖、防止上述刀片型探针在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落的更换轴、覆盖上述刀片型探针及上述槽杆并支承上述更换轴的内盖、上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的嵌合部，设于上述各刀片型探针上的通过与该嵌合部相嵌合来定位并临时固定该刀片型探针的被嵌合部。

Description

探针组合体及检查装置

技术领域

本发明涉及一种用于检查液晶面板、集成电路等平板状的被检查体的探针组合体及检查装置。

背景技术

液晶面板等平板状的被检查体通常要用探针单元进行检查。这种探针单元有一种排列多个薄板状的刀片型探针而构成的类型的探针单元。这种探针单元的例子有专利文献1。下面简要说明该专利文献1的发明。

如图2及图3所示，探针组合体1包括：块状体2、并列地配置在块状体2的下侧的带状的多个探针3、穿过探针3的一对细长的导杆4、收容探针3的一部分的一对槽杆5、使针尖的位置稳定在探针3的后端侧的较长的引导构件6、使导杆4支承在块状体2上的一对侧罩7。

各探针3具有带状的中央区域3A、从该中央区域的前端和后端向前方和后方伸出的一对针尖区域3B和3C。中央区域3A在各端部具有供导杆4穿过的引导孔3D。将导杆4穿入到引导孔3D中，并使各针尖区域3B及3C与槽杆5相嵌合，从而将各探针3配置在块状体2的下侧。

由此，针尖区域3B的探针与设于液晶面板上的电极进行接触而电连接，从而进行控制信号的发送等。

专利文献1：日本特开平10-132853号公报

但是，上述探针是易耗品，需要进行更换。在该更换作业中，有时只更换一部分探针。例如，有时一片探针折断则只更换该一片探针。此时，探针更换作业需要慎重。由于一片一片的探针非常轻而容易散乱，因此，在更换排列在一起的多个探针中的一部分探针时，有时即使只是稍稍碰一下探针也会导致探针散乱、破损。因此，探针更换作业需要慎重地进行，存在作业效率差这样的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作成的，其目的在于，提供一种能容易且安全地更换探针的探针单元及检查装置。

为了解决上述课题，本发明的探针组合体支承刀片型探针使刀片型探针与被检查体的电极电接触，其包括：块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上。

采用上述结构，在更换多个刀片型探针中的一部分时，将上述各刀片型探针弄散，使各刀片型探针的一端的被嵌合部与上述槽杆的嵌合部相嵌合而对各刀片型探针进行定位及临时固定，并用上述更换轴和上述槽杆夹着探针的另一端，从而抑制了各刀片型探针散乱。在该状态下，将要更换的刀片型探针抽出，更换成新的刀片型探针。

优选是，上述嵌合部由上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的凸条构成；上述被嵌合部由上述各刀片型探针中的面向上述槽杆的嵌合部侧而设的凹状缺口构成。

检查装置包括从外部搬入被检查体并在检查结束后将被检查体搬往外部的放置(set)部，和支承从该放置部接过来的被检查体并对其进行测试的测定部；上述测定部的探针单元优选组装有上述探针组合体。

如上所述，通过将上述各刀片型探针的一端的被嵌合部与上述槽杆的嵌合部相嵌合而将该各刀片型探针定位并临时固定在该槽杆上，并将各刀片型探针的另一端部夹在上述槽杆和更换轴之间而进行支承，更换各刀片型探针，因此，抑制了各刀片型探针散乱，可以容易且安全地更换探针。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的探针单元的探针组合体的分解立体图。

图2是表示以往的检查装置的探针组合体的立体图。

图3是表示以往的检查装置的探针组合体的侧视剖视图。

图4是表示本发明实施方式的探针单元的立体图。

图5是表示本发明实施方式的探针单元的局部剖切侧视图。

图6是表示本发明实施方式的探针单元的刀片型探针的侧视图。

图7是表示从本发明实施方式的探针单元的探针组件的背面看该探针组件时的立体图。

图8是表示本发明实施方式的探针单元的刀片型探针的更换作业的侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明实施方式的探针组合体及检查装置。本实施方式的检查装置用于检查被检查体，其具有从外部搬入被检查体并且在检查结束后将被检查体搬往外部的放置(set)部，和支承从该放置部接过来的被检查体并对其进行测试的测定部。该检查装置的上述测定部的探针组合体使用本实施方式的探针组合体。另外，由于本实施方式的检查装置与上述以往的检查装置大致相同，因此，在此主要对探针组合体进行说明。此外，本发明的检查装置能适用于所有可使用本实施方式的探针组合体的装置。

如图4所示，本实施方式的探针单元11用于被检查体、即液晶面板12的检查装置上。液晶面板12呈长方形的形状，在与长方形的相邻两边相对应的缘部以规定的间距形成多个电极(未图示)。

探针单元11主要具有探针基座13和探针组合体14。

探针基座13固定在检查装置的主体框架例。探针基座13在被固定于主体框架侧的状态下支承探针组合体14。

探针组合体14用于支承探针并使探针与液晶面板12的电极电接触。如图5所示，探针组合体14主要具有悬挂基座16、滑块17、探针板18、FPC基座19以及探针组件(probe block)20。

悬挂基座16用于借助滑块17等来支承后述探针组件20的刀片型探针38。悬挂基座16整体形成为大致立方体状并被固定在探针基座13上。在悬挂基座16的前端侧设有从上侧对滑块17施力的檐部16A。在檐部16A上设有螺栓孔22，螺栓23旋入到该螺栓孔22中。该螺栓23的前端侧插入到后述滑块17的弹簧孔17B中。在悬挂基座16的前端侧表面的上述檐部16A的下侧，设有可引导滑块17沿上下方向滑动的导轨24。

滑块17用于上下滑动地支承探针组件20。滑块17形成为大致立方体形状。在滑块17的下部形成有可覆盖探针板18那样大小的檐部17A。探针板18与包括该檐部17A的滑块17的下侧面抵接而被支承。在滑块17的基端面(图5中的右侧面)上，设有与悬挂基座16的导轨24嵌合而支承滑块17作上下移动的引导件26。在滑块17的上侧面上，设有用于插入弹簧28的弹簧孔17B。弹簧28被螺栓23支承，并插入到弹簧孔17B内，从而向下方对滑块17施力。在后述各触头56与液晶面板12的各电极接触的状态下，利用弹簧28产生的作用力向各电极侧对各触头56施力。

探针板18用于在被支承于滑块17上的状态下支承FPC基座19和探针组件20。探针板18的上侧面被固定在滑块17的下侧面，在这样的状态下，在探针板18的下侧面固定FPC基座19和探针组件20。

FPC基座19用于支承FPC电缆27而将外部装置与后述刀片型探针38电连接。FPC电缆27的基端部与安装在探针基座13的下侧面上的中继基板29相连接，FPC电缆27的前端部安装在FPC基座19的下侧面上。在FPC基座19的前端部设有与后述刀片型探针38的FPC侧的触头57电接触的端子(未图示)、保护该端子的保护膜、驱动用集成电路(未图示)等。

探针组件20为了向液晶面板12的电路(未图示)发送检查信号等而与液晶面板12的电极电接触。如图1所示，探针组件20由块状(block)片33、槽杆(slot bar)34、导杆35、支承销36、侧盖37以及刀片型探针38构成。

块状片33用于在其下侧面上空开恒定间隔且一体地支承多个刀片型探针38。块状片33的下侧面形成凹陷，以与刀片型探针38的上侧面形状相吻合。在块状片33的左右两侧(图1的左上右下方向的两侧)，设有多个用于固定侧盖37的螺孔(未图示)。在块状片33的上侧面，设有多个用于将探针组件20固定在探针板18上的螺孔41。

槽杆34用于分别准确定位并支承所设的多个刀片型探针38中的后述各前端侧臂部51和各FPC侧臂部52。该槽杆34用陶瓷形成，从而可不受热影响地准确支承刀片型探针38。前端侧槽杆34A支承刀片型探针38的各前端侧臂部51，FPC侧槽杆34B支承刀片型探针38的各FPC侧臂部52。各槽杆34A、34B设有多条槽43。各槽43用于空开设定间隔地支承刀片型探针38的各前端侧臂部51及各FPC侧臂部52。将前端侧槽杆34A的各槽43的间隔设定为，使嵌合在各槽43中的前端侧臂部51的后述触头56与液晶面板12的各电极的间隔相匹配。将FPC侧槽杆34B的槽43的间隔设定为，使嵌合在各槽43中的FPC侧臂部52的后述触头57与FPC电缆27的端子的间隔相匹配。

在前端侧槽杆34A中的面向刀片型探针38侧的位置上设有嵌合部45。该嵌合部45由面向刀片型探针38侧而设的凸条构成。该嵌合部45设于槽杆34全长范围上，从而与所有刀片型探针38的后述被嵌合部46相嵌合。通过使刀片型探针38的被嵌合部46与该嵌合部45相嵌合，而在进行更换作业时在上下前后(图6中的上下左右)定位并临时固定刀片型探针38。

导杆35用于支承刀片型探针38。导杆35形成为大直径的圆柱形。大直径圆柱形的导杆35的直径被设定为与刀片型探针38的后述导杆孔53的内径相匹配的尺寸。这是为了借助导杆35对刀片型探针38进行定位。即，若在导杆35嵌合于刀片型探针38的导杆孔53中的状态下定位该导杆35，则准确确定了刀片型探针38的与该导杆35的中心轴线垂直的方向上的位置。因此，通过将导杆35的直径设定为与刀片型探针38的导杆孔53的内径相匹配的尺寸来定位导杆35，便可在与该导杆35的中心轴线垂直的方向上准确定位刀片型探针38。

支承销36用于与导杆35一起支承刀片型探针38。支承销36形成为圆形棒状。该支承销36的直径被设定为与刀片型探针38的后述支承销孔54的内径相匹配的尺寸。这是为了借助导杆35和支承销36一同对刀片型探针38进行定位。

侧盖37是用于支承导杆35和支承销36的支承板材。两片侧盖37分别安装在块状片33的两侧。在侧盖37上设有盖固定用螺孔、导杆固定用螺孔和支承销固定用螺孔(均未图示)等。各螺孔是经准确定位而设置的，可准确地相对于块状片33定位导杆35和支承销36，并对它们进行支承。

刀片型探针38用于与液晶面板12的电路的电极直接接触来发送检查信号等。如图1、图6所示，刀片型探针38由主体板部50、前端侧臂部51和FPC侧臂部52构成。

主体板部50设有供导杆35和支承销36穿过的导杆孔53和支承销孔54。将导杆孔53的内径设定为与导杆35的外径尺寸相匹配的尺寸。支承销孔54的内径被设定为与支承销36的外径尺寸相匹配的尺寸。由此，可准确地定位并支承主体板部50。

前端侧臂部51用于以其前端部支承朝向下侧的触头56。在前端侧臂部51上的与液晶面板12的电极对准的前端位置上设有触头56。

FPC侧臂部52用于以其基端部(图6中的右侧端部)支承朝向上侧的触头57。在FPC侧臂部52的与FPC电缆27的端子对准的位置上设有触头57。

此外，在刀片型探针38中的面向上述槽杆34的嵌合部45侧的位置上设有被嵌合部46。被嵌合部46是通过与嵌合部45相嵌合而将刀片型探针38定位并临时固定在槽杆34上的部分。被嵌合部46由设于各刀片型探针38中的面向槽杆34的嵌合部45的位置上的凹状缺口构成。通过使被嵌合部46与嵌合部45相嵌合而将刀片型探针38定位并临时固定在槽杆34上。

另外，更换轴61和内盖62只在进行更换刀片型探针的作业时设于上述探针组件20上。

更换轴61用于在进行更换上述刀片型探针38的作业时，防止与上述槽杆34的槽43相嵌合的刀片型探针38基端侧、即FPC侧臂部52从该槽43中脱落。如图1、图7所示，更换轴61设于面向槽杆34的位置上，以便和上述槽杆34一起夹着多个上述刀片型探针38的FPC侧臂部52。更换轴61可以与槽杆34相接触地夹着插入到槽43内的刀片型探针38的FPC侧臂部52，也可以与槽杆34之间稍稍留出空间地夹着插入到槽43内的刀片型探针38的FPC侧臂部52，来防止该FPC侧臂部52从槽43中脱落。

内盖62是板状构件，其安装于上述块状片33上，用于覆盖上述刀片型探针38及上述槽杆34，并支承上述更换轴61。内盖62和侧盖37一样，用螺丝固定在块状片33的两侧，从而覆盖槽杆34和刀片型探针38。在内盖62上设有导杆孔63、支承销孔64和更换轴孔65。

导杆孔63用于供导杆35通过，其直径大于导杆35的直径。在进行刀片型探针38的更换作业时，当将内盖62安装于块状片33上之后，可从导杆孔63中抽出导杆35。

支承销孔64用于供支承销36穿过，其直径大于支承销36的直径。在进行更换刀片型探针38的作业时，当将内盖62安装于块状片33上之后，可从支承销孔64中抽出支承销36。

更换轴孔65用于供更换轴61穿过。更换轴孔65的直径与更换轴61的直径大致相同，在穿入了更换轴61状态下，更换轴孔65稳定地支承更换轴61。更换轴61在穿入到更换轴孔65中的状态下，与槽杆34相对峙地配置。此时，更换轴61如上述那样有时与槽杆34相接触，有时不与槽杆34接触。由此，用更换轴61和槽杆34以空开间隔地夹着插入到该槽杆34的槽43中的刀片型探针38的FPC侧臂部52的方式支承该FPC侧臂部52。由此，抑制了各刀片型探针38散乱，从而可以一片一片地抽出或放入任意的刀片型探针38。

如上述那样构成的探针单元11如下这样发挥作用。另外，由于检查装置整体的作用与以往的检查装置相同，因此，在此只对更换刀片型探针38的作业进行说明。

使导杆35和支承销36穿过刀片型探针38，将导杆35和支承销36固定在两片侧盖37上，然后，将各侧盖37固定在块状片33上而构成探针组合体14。接着，将探针组合体14固定到探针基座13上，探针组合体14的刀片型探针38的触头56与液晶面板12的各电极相接触，发送检查信号等。在该液晶面板12的检查中，当发生部分刀片型探针38的触头56折断等问题时，对该刀片型探针38进行更换。

此时，首先拆下探针组件20。然后，如图1、图7、图8所示，拆下侧盖37之后安装内盖62，将更换轴61穿入到该内盖62的更换轴孔65中。接着，从内盖62的导杆孔63及支承销孔64中抽出导杆35及支承销36，从而将各刀片型探针38弄散。在该状态下，各刀片型探针38的被嵌合部46与槽杆34的嵌合部45相嵌合，该刀片型探针38借助槽杆34而被定位并临时固定在探针组件20上。刀片型探针38的FPC侧臂部52侧由更换轴61和槽杆34夹着而被支承(图8(a)的状态)。

在该状态下，使要更换的刀片型探针38的被嵌合部46从槽杆34的嵌合部45中脱离(图8(b)的状态)，将FPC侧臂部52从槽杆34和更换轴61之间抽出(图8(c)的状态)。接着，将新的刀片型探针38的FPC侧臂部52插入到槽杆34和更换轴61之间，然后使刀片型探针38的被嵌合部46与槽杆34的嵌合部45相嵌合，从而定位并临时固定刀片型探针38。

接着，使导杆35从各刀片型探针38的导杆孔35中穿过，并使支承销36从支承销孔54中穿过而一体地支承各刀片型探针38，卸下内盖62之后安装侧盖37。然后，将导杆35和支承销36安装到该侧盖37上，将探针组件20安装到探针组合体14上，再将探针组合体14安装到探针基座13上。

这样，使各刀片型探针38的被嵌合部46与槽杆34的嵌合部45相嵌合而将各刀片型探针38定位并临时固定在槽杆34上，将刀片型探针38的FPC侧臂部52侧夹在槽杆34和更换轴61之间而对其进行支承，从而对刀片型探针38进行更换，因此，能抑制除了要更换的刀片型探针38以外的各刀片型探针38散乱，从而能容易且安全地更换刀片型探针38。

此外，在进行更换作业时，由于安装块状片33的内盖62而覆盖槽杆34和刀片型探针38，因此能防止槽杆34、刀片型探针38与物体接触而破损。

变型例

在上述实施方式中，将槽杆34的嵌合部45形成为凸状，将刀片型探针38的被嵌合部46形成为凹状，但也可以与此相反，使嵌合部45为凹状，使被嵌合部46为凸状。另外，将嵌合部45设在了前端侧槽杆34A侧，将更换轴61设在了FPC侧槽杆34B上，但也可以与此相反，将更换轴61设在前端侧槽杆34A侧，将嵌合部45设在FPC侧槽杆34B上。此时，也能发挥与上述相同的作用、效果。

在上述实施方式中，将更换轴61制成圆棒状，但也可以是四方棒状、平板棒状等其他形状。此时，也能发挥与上述相同的作用、效果。

在上述实施方式中，同时设有导杆35和支承销36，但有时也可以不设支承销36。在需要提高精度的情况下设置支承销36。

Claims (4)

1.一种探针组合体，其支承刀片型探针使刀片型探针与被检查体的电极电接触，其特征在于，该探针组合体包括：

块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；

两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；

一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；

侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；

更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；

内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；

嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；

被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上。

2.根据权利要求1所述的探针组合体，其特征在于，

上述嵌合部由上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的凸条构成；

上述被嵌合部由上述各刀片型探针中的面向上述槽杆的嵌合部侧而设的凹状缺口构成。

3.一种用于检查被检查体的检查装置，其特征在于，

该检查装置包括从外部搬入被检查体并在检查结束后将被检查体搬往外部的放置(set)部，和支承从该放置部接过来的被检查体并对其进行测试的测定部；

上述测定部的探针单元上组装有探针组合体，该探针组合体包括：

块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；

两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；

一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；

侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；

更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；

内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；

嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；

被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

上述嵌合部由上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的凸条构成；

上述被嵌合部由上述各刀片型探针中的面向上述槽杆的嵌合部侧而设的凹状缺口构成。

Images