CN201707423U - 一种手动芯片测试机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种手动芯片测试机，其包括：对位装置、监视装置和硬件固定装置，所述对位装置、监视装置和硬件固定装置成“品”字形固定在同一底板上，所述硬件固定装置位于底板上端，所述监视装置和所述对位装置位于底板下端。本实用新型提供的手动芯片测试机的结构简单，使用方便，测试准确，能在短距离的测试条件下可监视对位状况。

Description

一种手动芯片测试机

技术领域

本实用新型涉及一种用于芯片测试的机械设备技术领域，具体涉及一种可以测试晶圆切割后的单片芯片的好坏的手动芯片测试机。

背景技术

芯片在封装之前都有一道测试工序，以辩识其好坏，节省资源。随着电子产品的不断更新，芯片的制程越来越小、功能越来越多、工作频率越来越高，致使测试装置无法适应。在测试过程中，路线距离短才能测试准确，最好在20mm以下，短距离状况下既可测试又可监视是主要瓶颈。比如现内存条的DDR3芯片，工作频率1600MHZ，制程30nm，就是这种状况。现市面上的芯片测试机L型结构居多，监视装置与对位装置于一直线上，芯片测试硬件于对位装置右边。在监视装置能监视状况下又能测试芯片，测试硬件与探针卡的距离很长，芯片测试硬件上有很多不规则的象显示卡一样的插件，探针与测试硬件的距离必须大于插件加上监视装置的长度，至少长120mm，距离长无法测试准确；若改短测试距离但就无法放置监视设备。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种手动芯片测试机，使测试距离短、测试状态能监视、精准度高、结构简单、方便操作。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种手动芯片测试机，其包括：对位装置、监视装置和硬件固定装置，所述对位装置、监视装置和硬件固定装置成“品”字形固定在同一底板上，所述硬件固定装置位于底板上端，所述监视装置和所述对位装置位于底板下端。

其中，优选的，所述监视装置位于所述对位装置的右边；或者，

所述监视装置位于所述对位装置的左边。

其中，优选的，所述监视装置包括显微镜，所述显微镜上方装设有电子目镜。

其中，优选的，所述显微镜通过支撑杆固定在所述底板上，反射镜装设在显微的物镜下方。

其中，优选的，所述手动芯片测试机还包括：防撞卡装置，所述防撞卡装置包括：限高装置和平行挡块，所述限高装置包括上铁板、下铁板和插入所述上铁板的中心孔的手拧螺丝，所述上铁板固定在探针卡架支撑板正前方，所述下铁板固定于由芯片固定平台、十字平台、手柄、调整螺杆和凸轮组成的载物平台的左侧；

所述平行挡块固定在探针卡架支撑板上，且位于所述载物平台上的定位柱的正上方，且所述平行挡块上设置有定位孔，所述定位孔位于所述定位柱的正上方。

实施本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：本实用新型提供的手动芯片测试机的结构简单，使用方便，测试准确，能在短距离的测试条件下可监视对位状况。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1为本实用新型提供的手动芯片测试机的整体结构图；

图2为本实用新型提供的手动芯片测试机的立体图；

图3为本实用新型提供的手动芯片测试机的主视图；

图4为本实用新型提供的手动芯片测试机的另一立体图；

图5为本实用新型提供的手动芯片测试机的又一立体图；

图6为本实用新型提供的手动芯片测试机的部分结构图；

图7为本实用新型提供的手动芯片测试机的部分结构放大图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型提供一种手动芯片测试机，如图1所示，该手动芯片测试机包括：用于将芯片与探针卡进行对位的对位装置300、监视装置200和硬件固定装置100，所述对位装置300、监视装置200和硬件固定装置100成“品”字形固定在同一底板110上，所述硬件固定装置100位于底板110上端，所述监视装置200和所述对位装置300位于底板110下端。所述监视装置200位于所述对位装置300的左边。监视装置200是用来监视芯片与探针卡对位状况的。芯片测试硬件与探针卡通过接口相连接，探针与测试硬件距离小于20mm，当放入一片芯片于载物平台上，推入探针卡下，升上载物平台，此时芯片上测试点与探针卡上的探针的针尖一一对应，对位图像经反射镜转入监视装置200的显微镜再由电子目镜传给显示器显示出来，启动测试软件，就可以测试此芯片好坏。

上述实施例提供的手动芯片测试机有益效果是：结构简单，使用方便，测试准确，能在短距离的测试条件下可监视对位状况。

进一步的实施例中，如图2和图6所示，所述监视装置200包括显微镜102，所述显微镜102上方装设有电子目镜101，以用于对位图像经反射镜转入监视装置200的显微镜102再由电子目镜101传给显示器显示出来，启动测试软件，就可以测试此芯片好坏。

或者，其他实施例中，将电子目镜101换为红外线电子目镜，对应用于不可见光芯片的测试。

具体的实施例中，所述显微镜102通过支撑杆120固定在所述底板110上，，反射镜103装设在显微镜102的物镜下方。

进一步的实施例中，所述手动芯片测试机还包括：防撞卡装置，如图2和图7所示，所述防撞卡装置包括：限高装置112和平行挡块116，所述限高装置112包括上铁板126、下铁板127和插入所述上铁板126的中心孔的手拧螺丝125，所述上铁板126固定在探针卡架支撑板124正前方，所述下铁板127固定于由芯片固定平台105、十字平台106、手柄108、调整螺杆109、调整螺杆支撑板132、直线滚动导轨副130和凸轮111组成的载物平台的左侧；

所述平行挡块116固定在探针卡架支撑板124上，且位于所述载物平台上的定位柱129的正上方，且所述平行挡块116上设置有定位孔128，所述定位孔128位于所述定位柱129的正上方。

品字形的上端为：由电木板119、手拧螺丝117、手拧螺丝121、磁力座107、底部支撑装置122组成的固定装置100，如图2和图3所示，该固定装置100用来装载芯片测试硬件，底部支撑装置122通过磁力座107固定于底板110上，底部支撑装置122位置可随意调整，电木板119通过L型夹具固定于底部支撑装置122上，手拧螺丝117、121分别可调电木板119和底部支撑装置122的上下左右距离，电木板119用来装载芯片测试硬件使其与探针卡架密切配合。品字右口部分由载物平台和探针卡架两部分组成，探针卡板104、探针卡架支撑板124、平行挡块116、限高装置112、限位装置123组成探针卡架，芯片固定平台105、十字平台106、手柄108、调整螺杆109、调整螺杆支撑板132、凸轮111组成载物平台。载物平台由调整螺杆支撑板132通过两条竖直安装的直线滚动导轨副130竖直连接于探针卡架上。此载物平台的X、Y、Z、R轴向均可调整，手柄108带动凸轮111可做120度旋转，凸轮111在旋转时带动载物平台上下直线运动，用于调整载物平台高度的调整螺杆109与凸轮111相接触，十字平台106是X、Y轴向调整十字平台，通过调整手拧螺丝就可调整其前后左右距离，该十字平台106通过直线滚动导轨副131与调整螺杆支撑板132水平相连，直线滚动导轨副131的功能是方便放、取芯片，当把十字平台106和芯片固定平台105拉出探针卡架后把已测试过的芯片取下，放上待测试芯片；当推入探针卡架下就可测试芯片。芯片固定平台105通过调整手拧螺丝可R轴向旋转，中间有一小孔，工作时通真空，用来吸住芯片，芯片固定平台105上有一L型固定片，当放入一片芯片时，芯片上边与左边紧靠此固定片的L内腔，以此来固定芯片位置，芯片固定平台105通过平面轴承连接于十字平台106上，探针卡板104用来固定探针卡，由上下两张压板叠加而成，用四颗螺丝连接，内装弹簧，上面两块压板用来固定探针卡的，探针卡架水平面可调，使探针卡针尖与芯片测试点水平接触。

如图7所示，防撞卡装置由限高装置112和平行挡块116组成，当误操作或外力碰撞时，限高装置112由上下两张铁板和一手拧螺丝125组成，上铁板126固定于探针卡架支撑板124正前方，下铁板127固定于调整螺杆支撑板132左侧，随载物平台上下移动，手拧螺丝125穿过上铁板126中螺丝孔，调整此手拧螺丝125可限制芯片固定平台105的Z轴向上升的最高高度；平行挡板116上定位孔128与载物平台的定位柱129配合限制了Y轴向运行过程中突然上升的动作，使载物平台只有在限定位置才能上升，其它任何位置都升不上，起保护探针卡作用，限位装置123确定载物平台行程，平行挡块116中间孔与定位柱129配合确定载物平台位置，定位方法是：载物平台推到限位位置后凸轮111旋转载物平台上升，定位柱129穿过平行挡板116的定位孔128定位。品字形左边部分是监视装置200，由手柄113、调整装置114、手柄115、手柄118、支撑杆120、电子目镜101、显微镜102、反射镜103组成，X、Y轴向调整的调整装置114固定于底板110上，X轴向调整的调整手柄115和Y轴向调整的手柄113确定显微镜102的位置，用于焦距调整的手柄118确定显微镜102的清晰度，支撑杆120用来固定显微镜102，反射镜103由两片角度45度的平行镜面和一外框构成，图像经反射镜103转入显微镜102经放大后传入电子目镜101再送至显示器显示出来，在使用时，显微镜102主要是用来调试探针卡与芯片测试点对准或维修、清洁探针卡用的，当装上电子目镜101是在整机调试好后生产人员操作时方便监视对位状况用的。反射镜103的应用是解决了狭窄空间放不下监视装置200的难题，把监视装置200与监测物之间的垂直距离改变成了水平距离。

本实用新型另一优选方案中，品字形左右两边装置镜像互换，在另一实施例中，所述监视装置200位于所述对位装置300的右边；即：用于芯片测试硬件固定的固定装置100位于上端，监视装置200位于右边，对位装置300位于左边，此三大部件呈品字形布局在同一底板110上。芯片硬件固定装置100反向运用，如图4和图5所示，固定装置100的固定板202中间去空为去空处204，芯片硬件反面安装，与探针卡连接接口从硬件板背面接入，从固定板202中间去空处露出。监视装置200的电子目镜101改用红外线电子目镜，对应用于不可见光芯片的测试。即：在该优选的实施例中，上口部分芯片硬件固定装置反向运用，固定板202中间去空，电木板119反面安装，L型夹具203反向固定，与探针卡连接接口从电木板119背面接入，从固定板202中间去空处204露出，其它零部件结构不变。此结构可以更大改善使用空间。使用时，监视装置200不会与芯片测试硬件的零部件相碰撞，两者装配方向相反，反射镜103长度可减短。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种手动芯片测试机，其特征在于，包括：对位装置(300)、监视装置(200)和硬件固定装置(100)，所述对位装置(300)、监视装置(200)和硬件固定装置(100)成“品”字形固定在同一底板(110)上，所述硬件固定装置(100)位于底板(110)上端，所述监视装置(200)和所述对位装置(300)位于底板(110)下端。

2.如权利要求1所述手动芯片测试机，其特征在于，所述监视装置(200)位于所述对位装置(300)的右边；或者，

所述监视装置(200)位于所述对位装置(300)的左边。

3.如权利要求2所述手动芯片测试机，其特征在于，所述监视装置(200)包括显微镜(102)，所述显微镜(102)上方装设有电子目镜(101)。

4.如权利要求3所述手动芯片测试机，其特征在于，所述显微镜(102)通过支撑杆(120)固定在所述底板(110)上，反射镜(103)装设在显微镜(102)的物镜下方。

5.如权利要求4所述手动芯片测试机，其特征在于，还包括：防撞卡装置，所述防撞卡装置包括：限高装置(112)和平行挡块(116)，所述限高装置(112)包括上铁板(126)、下铁板(127)和插入所述上铁板(126)的中心孔的手拧螺丝(125)，所述上铁板(126)固定在探针卡架支撑板(124)正前方，所述下铁板(127)固定于由芯片固定平台(105)、十字平台(106)、手柄(108)、调整螺杆(109)和凸轮(111)组成的载物平台的左侧；

所述平行挡块(116)固定在探针卡架支撑板(124)上，且位于所述载物平台上的定位柱(129)的正上方，且所述平行挡块(116)上设置有定位孔(128)，所述定位孔(128)位于所述定位柱(129)的正上方。

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