CN211122311U - 一种点压力测试台 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于压力测试设备技术领域，公开了一种用于半导体芯片的点压力测试台，包括底座仓、底座仓上端的支撑台架和支撑台架上端的夹具组件，底座仓上端与所述支撑台架通过螺丝固定连接，夹具组件滑动连接在支撑台架上端，夹具组件沿支撑台架中部对称设置，支撑台架上端固定有骨架，骨架呈门字型，骨架远离支撑台架端固定有点压力测试组件；该点压力测试台通过调节两个夹具之间的距离，便于摆放不同尺寸的半导体芯片，适用性广，同时在测试时，将压头与工件接触，可通过杠杆结构上的旋转螺母控制杠杆的水平，进而精确的控制压头与工件处于接触状态，测试精确，便于控制与读数；且支撑台架底部为锥形真空部，可有效避免应力集中，延长试验台的使用寿命。

Description

一种点压力测试台

技术领域

本实用新型属于压力测试设备技术领域，尤其涉及一种用于半导体芯片的点压力测试台。

背景技术

压力测试机一般由上位机和下位机两级控制系统组成，上位机主要完成，发送试验指令，接收原始数据，图形处理，数据处理，数据管理等工作，可确保长时间试验的连续性。试验前上位机软件可分别设定每一路的试验参数，试验过程中可分别显示每一路的试验曲线和试验结果。在生产过程中，常常需要对产品的物理特性如抗拉力性、抗压力性进行测试，有时同一产品还需要测试多个局部区域的物理特性，一般抗压测试中包括角测试与面测试与点测试，但是在现有的压力测试机中，对于关于精确进行点压力测试的测试台未有公开技术。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种用于半导体芯片的点压力测试台。本实用新型是这样实现的，一种点压力测试台包括底座仓、底座仓上端的支撑台架和支撑台架上端的夹具组件，所述底座仓上端与所述支撑台架通过螺丝固定连接，所述夹具组件滑动连接在所述支撑台架上端，所述夹具组件沿支撑台架中部对称设置，所述支撑台架上端固定有骨架，所述骨架呈门字型，骨架远离支撑台架端固定有点压力测试组件。

作为本实用新型一种点压力测试台优选的技术方案，所述夹具组件包括滑动连接在所述支撑台架两侧的夹具，所述夹具远离支撑台架端固定有推杆，所述推杆远离所述夹具端固定有旋进套筒，还包括固定在支撑台架两侧的套管，所述推杆螺纹连接在所述套管内部。

作为本实用新型一种点压力测试台优选的技术方案，所述点压力测试组件包括滑动连接在所述骨架内部的重力杆，所述重力杆下端固定有压头，所述重力杆上端固定有支撑板，所述支撑板上端设有固定在重力杆上端的秤盘，所述秤盘与所述支撑板之间固定有杠杆结构。

作为本实用新型一种点压力测试台优选的技术方案，所述杠杆结构包括铰接连接在重力杆上端靠近秤盘处的杠杆，所述杠杆远离秤盘端螺纹连接有旋转螺母，所述旋转螺母前端固定有秤砣，所述秤砣滑动连接在杠杆上，所述秤砣与所述支撑板之间点连接。

作为本实用新型一种点压力测试台优选的技术方案，所述重力杆上设有减重孔，所述减重孔沿所述重力杆长度方向设有若干。

作为本实用新型一种点压力测试台优选的技术方案，所述支撑台架中部设有锥形真空部，所述锥形真空部上端开设有间隙，所述间隙延伸至所述夹具组件处。

本实用新型的优点及积极效果为：该点压力测试台通过将待测试的工件放置于两个夹具之间，进行测试，在放置过程中，可通过旋转旋进套筒，驱动推杆在套管内部进行转动，进而驱动夹具向两侧不同方向进行移动，进而调节两个夹具之间的距离，便于摆放不同尺寸的工件，适用性广，同时在测试时，将压头与工件接触，可通过杠杆结构上的旋转螺母控制杠杆的水平，进而精确的控制压头与工件处于接触状态，进而通过在重力杆上端的秤盘中添加砝码至工件被压头试压断裂，从而测试出工件的点压力，测试精确，便于控制与读数；且支撑台架底部为锥形真空部，可有效避免应力集中，延长试验台的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的压力测试台剖视结构示意图；

图中：1、底座仓；2、支撑台架；3、夹具组件；31、夹具；32、推杆；33、旋进套筒；34、套管；4、骨架；5、点压力测试组件；51、重力杆；52、支撑板；53、秤盘；54、杠杆结构；541、杠杆；542、旋转螺母；543、秤砣；55、压头；6、减重孔；7、锥形真空部；8、间隙。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1所示，本实用新型实施例提供的点压力测试台包括底座仓1、底座仓1上端的支撑台架2和支撑台架2上端的夹具组件3，所述底座仓1上端与所述支撑台架2通过螺丝固定连接，所述夹具组件3滑动连接在所述支撑台架2上端，所述夹具组件3沿支撑台架2中部对称设置，所述支撑台架2上端固定有骨架4，所述骨架4呈门字型，骨架4远离支撑台架2端固定有点压力测试组件5。

具体的，夹具组件3包括滑动连接在所述支撑台架2两侧的夹具31，所述夹具31远离支撑台架2端固定有推杆32，所述推杆32远离所述夹具31端固定有旋进套筒33，还包括固定在支撑台架2两侧的套管34，所述推杆32螺纹连接在所述套管34内部，在放置过程中，可通过旋转旋进套筒33，驱动推杆32在套管34内部进行转动，进而驱动夹具31向两侧不同方向进行移动，进而调节两个夹具31之间的距离。

具体的，点压力测试组件5包括滑动连接在所述骨架4内部的重力杆51，所述重力杆51下端固定有压头55，所述重力杆51上端固定有支撑板52，所述支撑板52上端设有固定在重力杆51上端的秤盘53，所述秤盘53与所述支撑板52之间固定有杠杆结构54。

具体的，杠杆结构54包括铰接连接在重力杆51上端靠近秤盘53处的杠杆541，所述杠杆541远离秤盘53端螺纹连接有旋转螺母532，所述旋转螺母532前端固定有秤砣543，所述秤砣543滑动连接在杠杆541上，所述秤砣543与所述支撑板52之间点连接，在测试时，将压头55与工件接触，可通过杠杆结构54上的旋转螺母542控制杠杆541的水平，进而精确的控制压头55与工件处于接触状态。

具体的，所述重力杆51上设有减重孔6，所述减重孔6沿所述重力杆51长度方向设有若干。

具体的，支撑台架2中部设有锥形真空部7，所述锥形真空部7上端开设有间隙8，所述间隙8延伸至所述夹具组件3处。

本实用新型的工作原理：在使用时，通过将待测试的工件放置于两个夹具31之间，进行测试，在放置过程中，可通过旋转旋进套筒33，驱动推杆32在套管34内部进行转动，进而驱动夹具31向两侧不同方向进行移动，进而调节两个夹具31之间的距离，同时在测试时，将压头55与工件接触，可通过杠杆结构54上的旋转螺母542控制杠杆541的水平，进而精确的控制压头55与工件处于接触状态，进而通过在重力杆51上端的秤盘53中添加砝码至工件被压头55试压断裂，从而测试出工件的点压力。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种点压力测试台，其特征在于，所述点压力测试台包括底座仓（1）、底座仓（1）上端的支撑台架（2）和支撑台架（2）上端的夹具组件（3），所述底座仓（1）上端与所述支撑台架（2）通过螺丝固定连接，所述夹具组件（3）滑动连接在所述支撑台架（2）上端，所述夹具组件（3）沿支撑台架（2）中部对称设置，所述支撑台架（2）上端固定有骨架（4），所述骨架（4）呈门字型，骨架（4）远离支撑台架（2）端固定有点压力测试组件（5）。

2.如权利要求1所述点压力测试台，其特征在于，所述夹具组件（3）包括滑动连接在所述支撑台架（2）两侧的夹具（31），所述夹具（31）远离支撑台架（2）端固定有推杆（32），所述推杆（32）远离所述夹具（31）端固定有旋进套筒（33），还包括固定在支撑台架（2）两侧的套管（34），所述推杆（32）螺纹连接在所述套管（34）内部。

3.如权利要求1所述点压力测试台，其特征在于，所述点压力测试组件（5）包括滑动连接在所述骨架（4）内部的重力杆（51），所述重力杆（51）下端固定有压头（55），所述重力杆（51）上端固定有支撑板（52），所述支撑板（52）上端设有固定在重力杆（51）上端的秤盘（53），所述秤盘（53）与所述支撑板（52）之间固定有杠杆结构（54）。

4.如权利要求3所述点压力测试台，其特征在于，所述杠杆结构（54）包括铰接连接在重力杆（51）上端靠近秤盘（53）处的杠杆（541），所述杠杆（541）远离秤盘（53）端螺纹连接有旋转螺母（532），所述旋转螺母（532）前端固定有秤砣（543），所述秤砣（543）滑动连接在杠杆（541）上，所述秤砣（543）与所述支撑板（52）之间点连接。

5.如权利要求3所述点压力测试台，其特征在于，所述重力杆（51）上设有减重孔（6），所述减重孔（6）沿所述重力杆（51）长度方向设有若干。

6.如权利要求1所述点压力测试台，其特征在于，所述支撑台架（2）中部设有锥形真空部（7），所述锥形真空部（7）上端开设有间隙（8），所述间隙（8）延伸至所述夹具组件（3）处。

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