CN114791518A - 探针夹具、探针架及具有该探针架的测试平台 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种探针夹具、探针架及具有该探针架的测试平台，属于芯片测试领域，其中，探针夹具包括基座、滑动柱、滑动件及弹性件，滑动柱的第一端连接在基座上，滑动柱的第二端上形成有用于穿过探针的夹持孔，滑动件滑动连接在滑动柱上，弹性件与滑动件连接，弹性件具有驱动滑动件朝向滑动柱的第二端方向滑动的弹性力。本发明提供的探针夹具，能够便于更换弹性件，从而有利于灵活调整弹性件的弹性夹持力，减少生产成本。

Description

探针夹具、探针架及具有该探针架的测试平台

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种探针夹具、探针架及具有该探针架的测试平台。

背景技术

在光通信的芯片生产中不会将晶圆直接切割成单个芯片，而是会先切割成若干条状，我们称之为bar条。Bar条中存在多个芯片，在生产中，需要对其中的芯片参数进行测试，现有的测试芯片的方式一般是利用测试平台进行，测试平台上的探针接触芯片后，通电模拟实际工作情况检测。

目前的测试平台上，一般通过探针架夹持固定探针，探针的与芯片接触的一端如出现磨损需要更换，可通过手动松开夹持架，以对探针进行更换。然而，对于不同的芯片，需要采用不同的探针，针对不同的探针需要采用不同的夹持力，现有的探针夹具结构较为复杂，不便于调整夹持力，因此针对不同的探针只能更换不同的探针夹具，如此，在生产中，需要准备多种不同的探针夹具，给生产增加成本。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的测试平台中，用于固定探针的探针夹具为了适应不同的探针，需要对应进行整体更换的缺陷，从而提供一种探针夹具、探针架及具有该探针架的测试平台。

为了解决上述问题，本发明提供了一种探针夹具，包括：

基座；

滑动柱，所述滑动柱的第一端连接在所述基座上，所述滑动柱的第二端上形成有用于穿过探针的夹持孔；

滑动件，可拆卸地滑动连接在所述滑动柱上；

弹性件，套设于滑动柱上，所述弹性件与所述滑动件连接，所述弹性件具有驱动所述滑动件朝向所述滑动柱的第二端方向滑动的弹性力。

进一步地，所述夹持孔为相对于所述滑动柱的轴线非垂直设置的斜孔。

进一步地，所述滑动件的朝向所述滑动柱的第二端的端面上，形成有用于嵌入所述探针的凹槽。

进一步地，所述凹槽的槽底面具有斜度，所述凹槽的槽底面与所述斜孔的斜度相同。

进一步地，所述滑动柱的外侧壁上具有平切面，所述滑动件配合所述滑动柱的外侧壁设置。

进一步地，所述滑动柱的第二端设有适于阻挡件插入的穿过孔。

进一步地，所述滑动柱上设有调节件，所述调节件在所述滑动柱上的位置可调，所述弹性件的一端与所述调节件抵接，所述弹性件的另一端与所述滑动件抵接。

此外，本发明还提供了一种探针架，包括框架和如上任一项所述的探针夹具，所述探针夹具的基座安装在框架上。

进一步地，所述框架上具有压力弹片，所述探针夹具的基座通过延伸板连接在所述压力弹片上。

另外，本发明还提供了一种测试平台，包括如上所述的探针架。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的探针夹具，在基座上连接滑动柱，滑动柱上形成有用于穿过探针的夹持孔，滑动柱上可拆卸的滑动连接有滑动件，弹性件套设于滑动柱上，并与滑动件连接，将滑动件拆离滑动柱后，能够将弹性件脱离滑动柱，从而便于更换弹性件，有利于选用并装配不同弹性力的弹性件；当探针穿设夹持孔中时，会因弹性件的弹性力被夹紧于夹持孔中，由于弹性件和滑动件连接，根据实际测试探针的尺寸不同，可以选用不同的弹性件以调节弹性力，从而可以保证探针在夹持孔中被固定，并可避免因弹性力过小无法夹紧或弹性力过大损伤探针。

2.本发明提供的探针夹具，将夹持孔设置为相对滑动柱的周向非垂直设置的斜孔，有利于探针朝向待测bar条倾斜，从而便于探针对bar条进行检测工作。

3.本发明提供的探针夹具，滑动件上设置有用于嵌入探针的凹槽，可以进一步和探针进行嵌合效果，从而保证滑动件和探针的固定状态。

4.本发明提供的探针架，由于具有如上所述的探针夹具，因此具有探针夹具所有的优点。

5.本发明提供的探针架，设置有压力弹片，通过压力弹片本身材料弹性形变实现探针的运动，压力弹片只会发生弹性变形，在损坏后只需更换弹片即可，不会与其他零件配合接触而产生破坏性损耗，有效提升使用寿命。

6.本发明所述的测试平台，由于具有如上所述的探针架，因此具有探针架所有的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中探针夹具与探针的装配示意图；

图2为本发明的实施例中滑动柱的结构示意图；

图3为本发明的实施例中滑动件的结构示意图；

图4为本发明的实施例中探针夹具的爆炸图；

图5为本发明的实施例中探针架的立体图。

附图标记说明：

1、基座；2、滑动柱；3、滑动件；4、弹性件；5、框架；6、探针；7、调节件；

21、夹持孔；22、穿过孔；23、阻挡件；24、平切面；25、螺纹段；

31、凹槽；32、槽底面；

51、压力弹片；52、延伸板。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供了一种探针夹具，其用于固定测试平台上的探针6，以使探针夹具上的探针6能够对待测芯片进行检测工作，在此，该探针夹具可以应用在芯片检测设备上，使探针6检测芯片，也可以应用于bar条检测设备上，使探针6检测bar条。

如图1所示，本实施例所述的探针夹具包括基座1、滑动柱2、滑动件3及弹性件4，其中，滑动柱2的第一端连接在基座1上，滑动柱2的第二段上形成有用于穿过探针6的夹持孔21，滑动件3滑动连接在滑动柱2上，弹性件4与滑动件3连接，弹性件4具有驱动滑动件3朝向滑动柱2的第二端方向滑动的弹性力。

当探针6穿设夹持孔21中时，会因弹性件4的弹性力被夹紧于夹持孔21中，由于弹性件4套设于滑动柱2上，滑动件3可拆卸的滑动连接在滑动柱上，通过拆卸滑动件3即可拆下弹性件4，从而便于更换不同的弹性件；根据实际测试探针6的尺寸不同，可以选用不同的弹性件4以调节弹性力，从而保证探针6在夹持孔21中固定的弹性力，并可避免因弹性力过大损伤探针6，同时，无需更换整体探针夹具，仅通过更换弹性件4即可保证探针固定状态，有效减小生产成本。

如图2所示，本实施例中的滑动柱2为相对基座1水平设置的圆柱，滑动柱2的第一端即为与基座1固定连接的连接端，滑动柱2的第二端即为远离基座1的自由端，夹持孔21为相对滑动柱2的轴线非垂直设置的斜孔，在此，该斜孔可以根据探针6的实际检测位置设置为与滑动柱2的轴线呈锐角或钝角。

在此，夹持孔21优选采用圆柱形孔，作为一种可替换的实施方式，夹持孔21的截面也可以是长条形，以进一步便于适配不同规格的探针6。

本实施例中的滑动柱2的外侧壁上具有平切面24，滑动件3配合滑动柱2的外侧壁设置，设置平切面24能够便于滑动件穿设滑动柱2上，并对滑动件3起到导向作用，避免滑动件3上的凹槽31发生周向偏转无法对准探针。作为一种可替换的实施方式，滑动柱2也可以设置为棱柱形，或是其他能够对滑动件3起到周向转动约束的导向结构。

本示例中的滑动柱2的第二端设有适于阻挡件23插入的穿过孔22，该穿过孔22为水平通孔，阻挡件23能够可拆的插装于穿过孔22中，阻挡件23的两端分别伸出穿过孔22，从而起到阻挡滑动件3脱离滑动柱2的作用，由于阻挡件23和穿过孔22分离设置，当针对不同规格探针6需要采用不同的弹性件4时，可以拆下阻挡件23后脱出滑动件3，以更换弹性件4，整个拆卸工序简单便捷。

在此，阻挡件23与穿过孔22之间采用螺接连接，阻挡件23经穿过孔22相对滑动柱2水平设置，能增强阻挡件23与滑动件3的限位效果。作为一种可替换的实施方式，阻挡件23和穿过孔22之间也可以通过卡接配合固定。

如图4所示，本实施例中弹性件4套设于滑动柱2上，弹性件4的一端抵接于基座1上，另一端与滑动件3抵接，从而使滑动件3具有远离基座1的弹性作用力。

本实施例中，如图1和图3所示，滑动件3穿设于滑动柱2上进行滑动，滑动件3的朝向滑动柱2的第二端的端面上，形成有用于嵌入探针6的凹槽31。由于本实施例中夹持孔21为斜孔，该凹槽31的槽底面32具有斜度，且槽底面32与斜孔的的斜度相同。滑动件3受弹性件4的弹性抵推使凹槽31与探针6卡紧配合，从而保持探针6在夹持孔21中的固定状态。作为一种可替换的实施方式，滑动柱2上设置有滑轨，滑动件3卡接至滑轨中以实现与滑动柱2的滑动配合。

仍如图3所示，本实施例中凹槽31为贯穿滑动件3的侧端设置，在弹性件4的弹性力下凹槽31的槽底面32与探针6完全接触压紧于夹持孔21中，作为一种可替换的实施方式，凹槽31也可仅设置于滑动件3位于滑动柱2的上半部分或下半部分。作为第一种可替换的实施方式，凹槽31的槽底面32为铺设橡胶材料的粗糙面，以进一步提升滑动件3与探针6的固定效果。

如图2和图4所示，滑动柱2上设有调节件7，调节件7在滑动柱2上的位置可调，具体的，滑动柱2上设置有一段螺纹段25，调节件7通过螺纹段25螺接连接在调节件7上，弹性件4的两端分别抵接于调节件7和滑动件3上，探针6尺寸较大时，将调节件7朝向探针6的方向旋进，弹性件4受压缩弹性势能增大；探针6的直径较小时，将调节件7朝向基座1的方向旋进，弹性件4弹性势能减小，此设置能够进一步便于调节弹性件3在滑动柱2上的弹性势能，调节简单，便并降低弹性件3的更换频率。

作为一种可替换的实施方式，调节件7也可以通过卡接于滑动柱2上，或是可伸缩的滑动设于滑动柱2上，只要能够顶推弹性件4使其弹性势能变化即可。

装配工序：

在基座1上将调节件7螺接在滑动柱2的螺纹段25上；

拆下阻挡件23，滑动件3和弹性件4依次滑动脱离滑动柱2后，将适配的弹性件4重新穿设于滑动柱2上；

穿设滑动件3，并将阻挡件23插装于穿过孔22中；

拨动滑动件3使弹性件4压缩，在此过程中滑动件3避让出夹持孔21，将探针6穿设于夹持孔21中；

松开滑动件3，在弹性件4的弹性力下滑动件3的凹槽31与探针6嵌合，并将探针6固定于滑动柱2上。

实施例2

本实施例提供了一种探针架，如图5所示，包括框架5及如实施例1中所述的探针夹具，探针夹具的基座1安装在框架5上。

本实施例中的探针6的框架5上具有压力弹片51，探针夹具的基座1通过延伸板52连接在压力弹片51上，通过压力弹片51本身材料弹性形变实现探针6的运动，压力弹片51只会发生弹性变形，在损坏后只需更换弹片即可，不会与其他零件配合接触而产生破坏性损耗，有效提升使用寿命。

实施例3

本实施例提供了一种测试平台，包括如实施例2中所述的探针架。由于具有如上所述的探针架，因此具有探针架所有的优点。在此，该测试平台可以是用于检测芯片的测试平台，也可以是用于检测bar条的测试平台。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.探针夹具，其特征在于，包括：

基座(1)；

滑动柱(2)，所述滑动柱(2)的第一端连接在所述基座(1)上，所述滑动柱(2)的第二端上形成有用于穿过探针(6)的夹持孔(21)；

滑动件(3)，可拆卸地滑动连接在所述滑动柱(2)上；

弹性件(4)，套设于滑动柱(2)上，所述弹性件(4)与所述滑动件(3)连接，所述弹性件(4)具有驱动所述滑动件(3)朝向所述滑动柱(2)的第二端方向滑动的弹性力。

2.根据权利要求1所述的探针夹具，其特征在于，所述夹持孔(21)为相对于所述滑动柱(2)的轴线非垂直设置的斜孔。

3.根据权利要求2所述的探针夹具，其特征在于，所述滑动件(3)的朝向所述滑动柱(2)的第二端的端面上，形成有用于嵌入所述探针(6)的凹槽(31)。

4.根据权利要求3所述的探针夹具，其特征在于，所述凹槽(31)的槽底面(32)具有斜度，所述凹槽(31)的槽底面(32)与所述斜孔的斜度相同。

5.根据权利要求1、2或4中任一项所述的探针夹具，其特征在于，所述滑动柱(2)的外侧壁上具有平切面(24)，所述滑动件配合所述滑动柱的外侧壁设置。

6.根据权利要求1、2或4中任一项所述的探针夹具，其特征在于，所述滑动柱(2)的第二端设有适于阻挡件(23)插入的穿过孔(22)。

7.根据权利要求1、2、或4中任一项所述的探针夹具，其特征在于，所述滑动柱(2)上设有调节件(7)，所述调节件(7)在所述滑动柱(2)上的位置可调，所述弹性件(4)的一端与所述调节件(7)抵接，所述弹性件(4)的另一端与所述滑动件(3)抵接。

8.探针架，其特征在于，包括：框架(5)和权利要求1-7中任一项所述的探针夹具，所述探针夹具的基座(1)安装在所述框架(5)上。

9.根据权利要求8所述的探针架，其特征在于，所述框架(5)上具有压力弹片(51)，所述探针夹具的基座(1)通过延伸板(52)连接在所述压力弹片(51)上。

10.测试平台，其特征在于，包括：权利要求8或9所述的探针架。

Images