KR20080101660A - 프로브 조립체 및 검사장치 - Google Patents

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KR20080101660A
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토모아키 쿠가
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은, 블레이드형 프로브의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있도록 하는 것이다. 블레이드형 프로브를 지지하는 프로브 조립체이다. 상기 프로브 조립체에, 블록 편(片)과, 상기 블레이드형 프로브를 일정 간격을 두고 지지하는 2개의 슬릿 바와, 각 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 가이드 바와, 상기 가이드 바를 지지하는 사이드 커버와, 상기 블레이드형 프로브의 교환 작업 시에 상기 블레이드형 프로브가 상기 슬릿 바로부터 누락되지 않도록 억제하는 교환 샤프트와, 상기 블레이드형 프로브 및 상기 슬릿 바를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트를 지지하는 이너 커버와, 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 결합부와, 상기 각 블레이드형 프로브에 설치되고 상기 결합부에 끼워져 블레이드형 프로브를 상기 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가고정하는 피결합부를 갖춘다.
Figure P1020080032102
블레이드형 프로브, 프로브 조립체, 슬릿 바, 이너 커버, 교환 샤프트

Description

프로브 조립체 및 검사장치{Probe Assembly and Inspection Apparatus}
도1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도2는 종래의 검사장치의 프로브 조립체를 나타낸 사시도이다.
도3은 종래의 검사장치의 프로브 조립체를 나타낸 측면 단면도이다.
도4는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.
도5는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 일부 파단(破斷) 측면도이다.
도6은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 블레이드형 프로브를 나타낸 측면도이다.
도7은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 블록을 그 뒷면에서 나타낸 사시도이다.
도8은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 블레이드형 프로브의 교환 작업을 나타낸 측면도이다.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *
11: 프로브 유닛 12: 액정패널
13: 프로브 베이스 14: 프로브 조립체
16: 서스펜션 베이스 17: 슬라이드 블록
18: 프로브 플레이트 19: FPC 베이스
20: 프로브 블록 22: 볼트구멍
23: 볼트 24: 레일
26: 가이드 27: FPC 케이블
28: 스프링 29: 중계(中繼)기판
33: 블록 편(片) 34: 슬릿 바
34A: 선단쪽 슬릿 바 34B: FPC쪽 슬릿 바
35: 가이드 바 36: 서포트 핀
37: 사이드 커버 38: 블레이드형 프로브
45: 결합부 46: 피결합부
50: 본체판부 51: 선단쪽 암부
52: 각 FPC쪽 암부 53: 가이드 바 구멍
54: 서포트 핀 구멍 56: 접촉자
57: 접촉자 61: 교환 샤프트
62: 이너 커버(inner cover) 63: 가이드 바 구멍
64: 서포트 핀 구멍 65: 교환 샤프트 구멍
발명의 분야
본 발명은, 액정패널, 집적회로 등의 평판상의 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체 및 검사장치에 관한 것이다.
발명의 배경
액정패널 등의 평판상 피검사체는, 일반적으로 프로브 유닛을 이용하여 검사된다. 이러한 종류의 프로브 유닛으로는, 얇은 판상의 블레이드형 프로브를 여러장 나열하여 구성하는 타입의 것이 있다. 이 예로는 특허문헌 1이 있다. 상기 특허문헌 1의 발명을 하기에 대략 설명한다.
프로브 조립체(1)는, 도2 및 도3에 나타낸 바와 같이, 블록(2)과, 블록(2)의 아래쪽에 병렬적으로 배치된 띠 형상의 복수의 프로브(3)와, 프로브(3)를 관통하는 가늘고 긴 한 쌍의 가이드 바(4)와, 프로브(3)의 일부를 받아들이는 한 쌍의 슬릿 바(5)와, 프로브(3)의 후단(後端)쪽에 침선의 위치를 안정화시키는 긴 가이드 부재(6)와, 가이드 바(4)를 블록(2)에 지지시키는 한 쌍의 사이드 커버(7)를 포함하여 구성되어 있다.
각 프로브(3)는, 띠 형상의 중앙영역(3A)과, 상기 중앙영역의 선단 및 후단 으로부터 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하는 한 쌍의 침선영역(3B 및 3C)을 갖춘다. 중앙영역(3A)은, 가이드 바(4)가 관통하는 가이드 구멍(3D)을 각 단부에 갖는다. 각 프로브(3)는, 상기 가이드 구멍(3D)에 가이드 바(4)가 지나고, 각 침선영역(3B 및 3C)이 슬릿 바(5)에 끼워져, 블록(2)의 아래쪽에 배설되어 있다.
이에 의해, 침선영역(3B)의 프로브가 액정패널 위에 설치된 전극에 접촉되어 전기적으로 접속되고, 제어신호 송신 등이 행해진다.
[특허문헌 1] 일본 특개평10-132853호 공보
그런데, 상기 프로브는 소모품으로, 교환할 필요가 있다. 그 교환 작업에 있어서, 일부 프로브만 교환하는 경우가 있다. 예를 들어, 프로브가 한 개 부러져 그 하나의 프로브만을 교환하는 경우가 있다. 이 경우는, 프로브의 교환 작업에 진중을 요한다. 프로브 하나하나는 매우 가벼워 뿔뿔이 흩어지기 쉽기 때문에, 다수 늘어선 프로브 중 일부만을 교환하는 경우, 프로브에 약간 닿는 것만으로도 분해되거나, 파손하는 일이 있다. 이 때문에, 프로브의 교환 작업은 진중하게 행할 필요가 있어, 작업 효율이 나쁜 문제가 있다.
본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 프로브의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
발명의 요약
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 프로브 조립체는, 블레이드형 프로브를 지지하여 피검사체의 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 조립체로서, 복수의 상기 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 블록 편과, 상기 블록 편의 선단쪽과 기단(基端)쪽에 각각 설치되고 복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽과 기단쪽을 일정 간격을 두고 각각 지지하는 2개의 슬릿 바와, 복수의 상기 블레이드형 프로브에 각각 관통하여 각 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 하나 이상의 가이드 바와, 상기 블록 편에 고정되고 상기 가이드 바를 지지하는 사이드 커버와, 복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽을 상기 슬릿 바로 끼우도록 배설되고, 상기 블레이드형 프로브의 교환 작업 시에 상기 슬릿 바에 끼워진 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽이 상기 슬릿 바로부터 누락되지 않도록 억제하는 교환 샤프트와, 상기 블록 편에 설치되어 상기 블레이드형 프로브 및 상기 슬릿 바를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트를 지지하는 이너 커버와, 기단쪽 또는 선단쪽의 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 결합부와, 상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치되고 상기 결합부에 끼워져 상기 블레이드형 프로브를 상기 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가(假)고정하는 피결합부를 갖추어 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 복수의 블레이드형 프로브 중 일부를 교환하는 경우는, 상기 각 블레이드형 프로브를 분해하고, 각 블레이드형 프로브의 한쪽 끝의 피결합부를 상기 슬릿 바의 결합부에 끼워 위치 결정하여 가고정하고, 다른쪽 끝을 상기 교환 샤프트와 상기 슬릿 바로 끼워, 각 블레이드형 프로브가 분해되는 것을 억제한다. 이 상태로, 교환대상인 블레이드형 프로브를 빼내어 새로운 블레이드형 프로브와 교환한다.
상기 결합부는, 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 볼록(凸) 줄(條, line)에 의해 구성하고, 상기 피결합부는 상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치된 오목(凹)형상 홈에 의해 구성하는 것이 바람직하다.
피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 검사장치로서, 상기 측정부의 프로브 유닛에 상기 프로브 조립체를 설치하는 것이 바람직하다.
발명의 상세한 설명
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 조립체 및 검사장치에 대해서, 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 검사장치는, 피검사체의 검사에 이용하는 검사장치로서, 피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반 송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 것이다. 상기 검사장치의 상기 측정부의 프로브 조립체로서, 본 실시형태에 따른 프로브 조립체를 이용한다. 또한, 본 실시형태의 검사장치는, 상기 종래의 검사장치와 거의 동일하기 때문에, 여기에서는 프로브 조립체를 중심으로 설명한다. 또, 본 발명에 따른 검사장치로는, 본 실시형태에 따른 프로브 조립체를 이용할 수 있는 장치 모두에 적용할 수 있다.
본 실시형태의 프로브 유닛(11)은, 도4에 나타낸 바와 같이, 피검사체로서의 액정패널(12)의 검사장치에 이용되는 장치이다. 액정패널(12)은 장방형의 형상을 하고 있고, 또 복수의 전극(도시하지 않음)을 장방형의 서로 이웃하는 2개의 변에 대응하는 가장자리에 소정의 피치로 형성하고 있다.
프로브 유닛(11)은 주로 프로브 베이스(13)와, 프로브 조립체(14)를 갖추어 구성되어 있다.
프로브 베이스(13)는, 검사장치의 본체 프레임 쪽에 고정되는 부재이다. 프로브 베이스(13)는, 본체 프레임 쪽에 고정된 상태로, 프로브 조립체(14)를 지지하고 있다.
프로브 조립체(14)는, 프로브를 지지하여 액정패널(12)의 전극에 전기적으로 접촉시키기 위한 장치이다. 프로브 조립체(14)는 도5에 나타낸 바와 같이 주로, 서스펜션 베이스(16)와, 슬라이드 블록(17)과, 프로브 플레이트(18)와, FPC 베이스(19)와, 프로브 블록(20)을 갖추어 구성되어 있다.
서스펜션 베이스(16)는, 슬라이드 블록(17) 등을 통하여 후술하는 프로브 블 록(20)의 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 서스펜션 베이스(16)는, 전체가 거의 입방체 형상으로 형성되고 프로브 베이스(13)에 고정되어 있다. 서스펜션 베이스(16)의 선단쪽에는 슬라이드 블록(17)을 위쪽에서 힘을 가하기 위한 차양부(16A)가 설치되어 있다. 차양부(16A)에는 볼트구멍(22)이 설치되고, 볼트(23)가 삽입되어 있다. 상기 볼트(23)의 선단쪽이 후술하는 슬라이드 블록(17)의 스프링 구멍(17B)에 삽입되어 있다. 서스펜션 베이스(16)의 선단쪽 면의 상기 차양부(16A)의 아래쪽에는 슬라이드 블록(17)을 상하방향으로 슬라이드 가능하게 안내하는 레일(24)이 설치되어 있다.
슬라이드 블록(17)은, 상하로 슬라이드하여 프로브 블록(20)을 지지하기 위한 부재이다. 슬라이드 블록(17)은 대개 입방체 형상으로 형성되어 있다. 슬라이드 블록(17)의 하부에는, 프로브 플레이트(18)를 덮는 크기의 차양부(17A)가 형성되어 있다. 프로브 플레이트(18)는 상기 차양부(17A)를 포함하는 슬라이드 블록(17)의 아래쪽 면에 접하여 지지된다. 슬라이드 블록(17)의 기단면(基端面)(도5 중의 오른쪽 면)에는, 서스펜션 베이스(16)의 레일(24)에 결합하여 슬라이드 블록(17)의 상하로의 이동을 지지하는 가이드(26)가 설치되어 있다. 슬라이드 블록(17)의 위쪽 면에는 스프링(28)을 삽입하기 위한 스프링 구멍(17B)이 설치되어 있다. 스프링(28)은 볼트(23)에 지지되어 스프링 구멍(17B) 내에 삽입되고, 슬라이드 블록(17)을 아래쪽으로 힘을 가하고 있다. 상기 스프링(28)에 의한 힘에 의해, 후술하는 각 접촉자(56)가 액정패널(12)의 각 전극에 접촉한 상태로 각 접촉자(56)를 각 전극 쪽으로 힘을 가하고 있다.
프로브 플레이트(18)는, 슬라이드 블록(17)에 지지된 상태로, FPC 베이스(19)와 프로브 블록(20)을 지지하기 위한 부재이다. 프로브 플레이트(18)는, 그 위쪽 면이 슬라이드 블록(17)의 아래쪽 면에 고정된 상태로, 아래쪽 면에 FPC 베이스(19)와 프로브 블록(20)이 고정되어 있다.
FPC 베이스(19)는, FPC 케이블(27)을 지지하여 외부장치와 후술하는 블레이드형 프로브(38)를 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. FPC 케이블(27)은, 그 기단부가 프로브 베이스(13)의 아래쪽 면에 설치된 중계기판(29)에 접속되고, 선단부가 FPC 베이스(19)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. FPC 베이스(19)의 선단부에는, 후술하는 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 접촉자(57)에 전기적으로 접촉하는 단자(도시하지 않음), 상기 단자를 보호하는 가이드 필름(도시하지 않음), 구동용 집적회로(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다.
프로브 블록(20)은, 액정패널(12)의 회로(도시하지 않음)에 검사신호 송신 등을 행하기 위해 액정패널(12)의 전극에 전기적으로 접촉하기 위한 부재이다. 프로브 블록(20)은, 도1에 나타낸 바와 같이, 블록 편(33)과, 슬릿 바(34)와, 가이드 바(35)와, 서포트 핀(36)과, 사이드 커버(37)와, 블레이드형 프로브(38)를 갖추어 구성되어 있다.
블록 편(33)은, 그 아래쪽 면에 복수의 블레이드형 프로브(38)를 일정 간격을 두고 일체적으로 지지하기 위한 부재이다. 블록 편(33)은, 그 아래쪽 면이 블레이드형 프로브(38)의 위쪽면 형상에 맞추어 움푹 패여 형성되어 있다. 블록 편(33)의 좌우 양쪽(도1 중의 왼쪽 위 오른쪽 아랫방향의 양쪽)에는, 사이드 커버(37)를 고정하기 위한 나사구멍(도시하지 않음)이 복수개 설치되어 있다. 블록 편(33)의 위쪽 면에는, 프로브 블록(20)을 프로브 플레이트(18)에 고정하기 위한 나사구멍(41)이 복수개 설치되어 있다.
슬릿 바(34)는, 다수 배설되는 블레이드형 프로브(38) 중 후술하는 각 선단쪽 암부(51)와 각 FPC쪽 암부(52)를 각각 정확하게 위치 결정하여 지지하기 위한 부재이다. 상기 슬릿 바(34)는, 세라믹스로 형성되고, 열에 의한 영향을 받지 않고 블레이드형 프로브(38)를 정확하게 지지하도록 되어 있다. 선단쪽 슬릿 바(34A)는 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51)를 지지하고, FPC쪽 슬릿 바(34B)는 블레이드형 프로브(38)의 각 FPC쪽 암부(52)를 지지한다. 각 슬릿 바(34A, 34B)는 다수의 슬릿(43)을 설치하여 구성되어 있다. 각 슬릿(43)은, 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51) 및 각 FPC쪽 암부(52)를 설정 간격을 두고 지지하기 위한 슬릿이다. 선단쪽 슬릿 바(34A)의 각 슬릿(43)의 간격은, 각 슬릿(43)에 끼워지는 선단쪽 암부(51)의 후술하는 접촉자(56)가 액정패널(12)의 각 전극의 간격에 정합하도록 설정되어 있다. FPC쪽 슬릿 바(34B)의 슬릿(43)의 간격은, 각 슬릿(43)에 끼워지는 FPC쪽 암부(52)의 후술하는 접촉자(57)가 FPC 케이블(27)의 단자의 간격에 정합하도록 설정되어 있다.
선단쪽 슬릿 바(34A) 중 블레이드형 프로브(38) 쪽에 면한 위치에는 결합부(45)가 설치되어 있다. 상기 결합부(45)는 블레이드형 프로브(38) 쪽에 면하여 설치된 볼록(凸) 줄에 의해 구성되어 있다. 상기 결합부(45)는, 슬릿 바(34)의 전체 길이에 걸쳐 설치되고, 모든 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 피결합부(46)가 끼워지도록 되어 있다. 상기 결합부(45)에 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)가 끼워짐으로써, 교환 작업 시의 블레이드형 프로브(38)의 상하전후(도6 중의 상하좌우)의 위치 결정과 가고정을 하도록 되어 있다.
가이드 바(35)는, 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 가이 드 바(35)는 대경(大徑) 원주상으로 형성되어 있다. 대경 원주상의 가이드 바(35)의 직경은, 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 가이드 바 구멍(53)의 내경에 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이것은, 가이드 바(35)를 통하여 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정을 하기 때문이다. 즉, 블레이드형 프로브(38)의 가이드 바 구멍(53)에 가이드 바(35)가 끼워진 상태로 상기 가이드 바(35)를 위치 결정하면, 상기 가이드 바(35)의 중심축에 직교하는 방향의 블레이드형 프로브(38)의 위치가 정확하게 정해진다. 이 때문에, 가이드 바(35)의 직경을 블레이드형 프로브(38)의 가이드 바 구멍(53)의 내경에 정합하는 치수로 설정하고, 가이드 바(35)를 위치 결정함으로써, 상기 가이드 바(35)의 중심축에 직교하는 방향의 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정이 정확하게 가능하도록 되어 있다.
서포트 핀(36)은, 가이드 바(35)와 함께 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 서포트 핀(36)은 원형 봉상(棒狀)으로 형성되어 있다. 상기 서포트 핀(36)의 직경은, 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 서포트 핀 구멍(54)의 내경에 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이것은, 가이드 바(35)와 함께 서포트 핀(36)을 통하여 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정을 하기 때문이다.
사이드 커버(37)는, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 지지하기 위한 판재이 다. 사이드 커버(37)는 2매 이용되고, 블록 편(33)의 양쪽에 설치되어 있다. 사이드 커버(37)에는 커버 고정용 나사구멍, 가이드 바 고정용 나사구멍, 서포트 핀 고정용 나사구멍(모두 도시하지 않음) 등이 설치되어 있다. 각 나사구멍은 정확하게 위치 결정하여 설치되고, 블록 편(33)에 대하여 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 정확하게 위치 결정하여 지지하도록 되어 있다.
블레이드형 프로브(38)는, 액정패널(12)의 회로의 전극에 직접 접촉하여 검사신호 송신 등을 행하기 위한 부재이다. 블레이드형 프로브(38)는, 도1, 6에 나타낸 바와 같이, 본체판부(50)와, 선단쪽 암부(51)와, FPC쪽 암부(52)로 구성되어 있다.
본체판부(50)는, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 지나기 위한 가이드 바 구멍(53)과, 서포트 핀 구멍(54)이 설치되어 있다. 가이드 바 구멍(53)은, 그 내경이 가이드 바(35)의 외경 치수와 정합하는 치수로 설정되어 있다. 서포트 핀 구멍(54)은, 그 내경이 서포트 핀(36)의 외경 치수와 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이에 의해, 본체판부(50)는 정확하게 위치 결정되어 지지된다.
선단쪽 암부(51)는, 그 선단부에서 아래쪽을 향한 접촉자(56)를 지지하기 위한 부재이다. 선단쪽 암부(51)에서는, 액정패널(12)의 전극에 정합하는 선단위치에 접촉자(56)가 설치되어 있다.
FPC쪽 암부(52)는, 그 기단부(도6 중의 오른쪽 단부)에서 위쪽을 향한 접촉자(57)를 지지하기 위한 부재이다. FPC쪽 암부(52)에서는, FPC 케이블(27)의 단자에 정합하는 위치에 접촉자(57)가 설치되어 있다.
게다가, 블레이드형 프로브(38) 중 상기 슬릿 바(34)의 결합부(45) 쪽에 면한 위치에는 피결합부(46)가 설치되어 있다. 피결합부(46)는, 결합부(45)에 끼워짐으로써, 블레이드형 프로브(38)를 슬릿 바(34)에 대하여 위치 결정하여 가고정하기 위한 부분이다. 피결합부(46)는, 각 블레이드형 프로브(38) 중 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 면한 위치에 설치된 오목형상 홈에 의해 구성되어 있다. 상기 피결합부(46)가 결합부(45)에 끼워짐으로써, 블레이드형 프로브(38)가 슬릿 바(34)에 대하여 위치 결정되어 가고정되도록 되어 있다.
게다가, 상기 프로브 블록(20)에는, 교환 샤프트(61)와 이너 커버(62)가 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에만 설치된다.
교환 샤프트(61)는, 상기 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에 상기 슬릿 바(34)의 슬릿(43)에 끼워진 블레이드형 프로브(38)의 기단쪽인 FPC쪽 암부(52)가 상기 슬릿(43)으로부터 누락하지 않도록 억제하기 위한 샤프트이다. 교환 샤프트(61)는 도1, 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 상기 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 상기 슬릿 바(34)와 끼우도록, 슬릿 바(34)에 면하는 위치에 배설된다. 교환 샤프트(61)는, 슬릿 바(34)와 접촉시켜, 슬릿(43) 내에 삽입된 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 끼워도 좋고, 슬릿 바(34)와의 사이에 약간 공간을 두고, 슬릿(43) 내에 삽입된 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)가 슬릿(43)으로부터 누락하지 않도록 하여 끼워도 좋다.
이너 커버(62)는, 상기 블록 편(33)에 설치되어 상기 블레이드형 프로브(38) 및 상기 슬릿 바(34)를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트(61)를 지지하기 위한 판재 이다. 이너 커버(62)는, 사이드 커버(37)와 마찬가지로, 블록 편(33)의 양쪽에 나사로 고정되어 슬릿 바(34)와 블레이드형 프로브(38)를 덮도록 되어 있다. 이너 커버(62)에는 가이드 바 구멍(63)과, 서포트 핀 구멍(64)과, 교환 샤프트 구멍(65)이 설치되어 있다.
가이드 바 구멍(63)은, 가이드 바(35)가 지나기 위한 구멍으로, 가이드 바(35)의 직경보다도 크게 형성되어 있다. 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에, 이너 커버(62)가 블록 편(33)에 설치된 후, 가이드 바(35)가 가이드 바 구멍(63)으로부터 빼내어진다.
서포트 핀 구멍(64)은, 서포트 핀(36)이 지나기 위한 구멍으로, 서포트 핀(36)의 직경보다도 크게 형성되어 있다. 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업 시에, 이너 커버(62)가 블록 편(33)에 설치된 후, 서포트 핀(36)이 서포트 핀 구멍(64)으로부터 빼내어진다.
교환 샤프트 구멍(65)은, 교환 샤프트(61)가 지나기 위한 구멍이다. 교환 샤프트 구멍(65)은, 교환 샤프트(61)와 거의 같은 직경으로 설정되고, 교환 샤프트(61)가 삽입된 상태로, 교환 샤프트(61)가 흔들리지 않도록 지지한다. 교환 샤프트(61)는, 교환 샤프트 구멍(65)에 삽입된 상태로, 슬릿 바(34)와 대치하여 배설된다. 이 때, 교환 샤프트(61)는, 상술한 바와 같이, 슬릿 바(34)와 접촉하는 경우와 접촉하지 않는 경우가 있다. 이에 의해, 교환 샤프트(61)와 슬릿 바(34)로, 상기 슬릿 바(34)의 슬릿(43)에 삽입된 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 간격을 두고 끼워 지지하도록 되어 있다. 이에 의해, 각 블레이드형 프로브(38)가 분해 되는 것을 억제하고, 임의의 블레이드형 프로브(38)를 하나씩 빼고 넣을 수 있도록 되어 있다.
이상과 같이 구성된 프로브 유닛(11)은 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기에서는 블레이드형 프로브(38)의 교환 작업을 중심으로 설명한다.
블레이드형 프로브(38)에 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 지나고, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 2개의 사이드 커버(37)에 고정되고, 그리고 각 사이드 커버(37)가 블록 편(33)에 고정되어 프로브 조립체(14)가 구성된다. 그리고, 프로브 조립체(14)가 프로브 베이스(13)에 고정되고, 프로브 조립체(14)의 블레이드형 프로브(38)의 접촉자(56)가 액정패널(12)의 각 전극에 접촉되어, 검사신호 송신 등이 행해진다. 상기 액정패널(12)의 검사에 있어서, 일부 블레이드형 프로브(38)의 접촉자(56)가 부러지는 등의 문제가 생긴 경우는, 그 블레이드형 프로브(38)의 교환을 행한다.
이 경우는 우선 프로브 블록(20)을 분리한다. 그리고 도1, 7, 8에 나타낸 바와 같이, 사이드 커버(37)를 떼어내 이너 커버(62)를 설치하고, 상기 이너 커버(62)의 교환 샤프트 구멍(65)에 교환 샤프트(61)를 삽입한다. 이어서, 이너 커버(62)의 가이드 바 구멍(63) 및 서포트 핀 구멍(64)으로부터 가이드 바(35) 및 서포트 핀(36)을 빼내어 각 블레이드형 프로브(38)를 분해한다. 이 상태로, 각 블레이드형 프로브(38)는, 그 피결합부(46)가 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 끼워지고, 상기 블레이드형 프로브(38)가 슬릿 바(34)를 통하여, 프로브 블록(20)에 대하여 위치 결정하여 가고정되어 있다. 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52) 쪽은 교환 샤프트(61)와 슬릿 바(34)로 끼워 지지되어 있다(도8(a)의 상태).
이 상태로, 교환대상인 블레이드형 프로브(38)를, 그 피결합부(46)를 슬릿 바(34)의 결합부(45)로부터 분리하고(도8(b)의 상태), FPC쪽 암부(52)를 슬릿 바(34)와 교환 샤프트(61)와의 사이에서 빼낸다(도8(c)의 상태). 계속해서, 새로운 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52)를 슬릿 바(34)와 교환 샤프트(61)와의 사이에 삽입하고, 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)를 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 끼우고, 블레이드형 프로브(38)를 위치 결정하여 가고정한다.
이어서, 가이드 바(35)를 각 블레이드형 프로브(38)의 가이드 바 구멍(53)에 관통시키고, 서포트 핀(36)을 서포트 핀 구멍(54)에 관통시켜 각 블레이드형 프로브(38)를 일체적으로 지지하고, 이너 커버(62)를 분리하고 사이드 커버(37)를 설치한다. 그리고 상기 사이드 커버(37)에 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 설치하고, 프로브 블록(20)을 프로브 조립체(14)에 조립하고, 프로브 조립체(14)를 프로브 베이스(13)에 설치한다.
이와 같이, 각 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)를 슬릿 바(34)의 결합부(45)에 끼워 각 블레이드형 프로브(38)를 슬릿 바(34)에 대하여 위치 결정하여 가고정하고, 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 암부(52) 쪽을 슬릿 바(34)와 교환 샤프트(61)와의 사이에 끼워 지지하고, 블레이드형 프로브(38)의 교환을 행하기 때문에, 교환대상인 블레이드형 프로브(38) 이외의 각 블레이드형 프로브(38)가 분해되는 것을 억제하고, 블레이드형 프로브(38)의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있 다.
게다가, 교환 작업 시에, 블록 편(33)의 이너 커버(62)를 설치하여 슬릿 바(34)와 블레이드형 프로브(38)를 덮기 때문에, 물건이 슬릿 바(34)나 블레이드형 프로브(38)에 접촉하여 파손하는 것을 방지할 수 있다.
[변형예]
상기 실시형태에서는, 슬릿 바(34)의 결합부(45)를 볼록(凸)형상으로, 블레이드형 프로브(38)의 피결합부(46)를 오목(凹)형상으로 형성하였으나. 이와 반대로 결합부(45)를 오목형상으로, 피결합부(46)를 볼록 줄로 해도 좋다. 또, 선단쪽 슬릿 바(34A) 쪽에 결합부(45)를, FPC쪽 슬릿 바(34B) 쪽에 교환 샤프트(61)를 설치하였으나, 이와 반대로 선단쪽 슬릿 바(34A) 쪽에 교환 샤프트(61)를, FPC쪽 슬릿 바(34B) 쪽에 결합부(45)를 설치하도록 해도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.
상기 실시형태에서는, 교환 샤프트(61)를 둥근 봉상으로 하였으나, 사각 봉상이나 평판 봉상 등의 다른 형상이어도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.
상기 실시형태에서는, 가이드 바(35)와 함께 서포트 핀(36)을 설치하였지만, 서포트 핀(36)은 설치하지 않는 경우도 있다. 정밀도를 높일 필요가 있는 경우에 서포트 핀(36)을 설치한다.
이상과 같이, 상기 각 블레이드형 프로브의 한쪽 끝의 피결합부를 상기 슬릿 바의 결합부에 끼워 상기 각 블레이드형 프로브를 상기 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가고정하고, 그 단부를 상기 슬릿 바와 교환 샤프트와의 사이에 끼워 지지하고, 각 블레이드형 프로브의 교환을 행하기 때문에, 각 블레이드형 프로브가 분해되는 것을 억제하여, 프로브의 교환을 용이하고 안전하게 행할 수 있다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (4)

  1. 블레이드형 프로브를 지지하여 피검사체의 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 조립체로서,
    복수의 상기 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 블록 편;
    상기 블록 편의 선단쪽과 기단(基端)쪽에 각각 설치되고 복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽과 기단쪽을 일정 간격을 두고 각각 지지하는 2개의 슬릿 바;
    복수의 상기 블레이드형 프로브에 각각 관통하여 각 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 1 이상의 가이드 바;
    상기 블록 편에 고정되고 상기 가이드 바를 지지하는 사이드 커버;
    복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽을 상기 슬릿 바와 끼우도록 배설되고, 상기 블레이드형 프로브의 교환 작업 시에 상기 슬릿 바에 끼워진 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽이 상기 슬릿 바로부터 누락되지 않도록 억제하는 교환 샤프트;
    상기 블록 편에 설치되고 상기 블레이드형 프로브 및 상기 슬릿 바를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트를 지지하는 이너 커버;
    기단쪽 또는 선단쪽의 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 결합부; 및
    상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치되고 상기 결합부에 끼워져 상기 블레이드형 프로브를 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가고정하는 피결합부;
    를 갖추어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 결합부가, 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 볼록 줄에 의해 구성되고,
    상기 피결합부가, 상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치된 오목형상 홈에 의해 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
  3. 피검사체의 검사에 이용하는 검사장치로서,
    피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖추고,
    상기 측정부의 프로브 유닛에,
    복수의 상기 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 블록 편;
    상기 블록 편의 선단쪽과 기단쪽에 각각 설치되고 복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽과 기단쪽을 일정 간격을 두고 각각 지지하는 2개의 슬릿 바;
    복수의 상기 블레이드형 프로브에 각각 관통하여 각 블레이드형 프로브를 일체적으로 지지하는 1 이상의 가이드 바;
    상기 블록 편에 고정되고 상기 가이드 바를 지지하는 사이드 커버;
    복수의 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽을 상기 슬릿 바와 끼우도록 배설되고, 상기 블레이드형 프로브의 교환 작업 시에 상기 슬릿 바에 끼워진 상기 블레이드형 프로브의 선단쪽 또는 기단쪽이 상기 슬릿 바로부터 누락되지 않도록 억제하는 교환 샤프트;
    상기 블록 편에 설치되고 상기 블레이드형 프로브 및 상기 슬릿 바를 덮음과 동시에 상기 교환 샤프트를 지지하는 이너 커버;
    기단쪽 또는 선단쪽의 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 결합부; 및
    상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치되고 상기 결합부에 끼워져 상기 블레이드형 프로브를 상기 슬릿 바에 대하여 위치 결정하여 가고정하는 피결합부;
    를 갖추어 구성된 프로브 조립체를 조립한 것을 특징으로 하는 검사장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 결합부가, 상기 슬릿 바의 상기 블레이드형 프로브 쪽에 면하여 설치된 볼록 줄에 의해 구성되고,
    상기 피결합부가, 상기 각 블레이드형 프로브 중 상기 슬릿 바의 결합부 쪽에 면하여 설치된 오목형상 홈에 의해 구성된 것을 특징으로 하는 검사장치.
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