KR20070098471A - 가동식 프로브 유닛 및 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 가동식 프로브 유닛 및 검사장치는, 치수가 다른 액정패널(5)에 대한 접촉자로서의 프로브 침(13)의 조정 작업의 작업성을 향상하기 위한 것이다. 액정패널(5)에 프로브 블록(12)의 프로브 침(13)을 접촉시켜서 시험을 행하는 검사장치이다. 프로브 블록(12)을 지지하는 가동식 프로브 유닛(21)이 메인 베이스(22)와, 프로브 블록(12)을 지지하는 데이터 신호측 베이스(23)와, 데이터 신호측 베이스(23)를 임의의 위치에서 지지하는 복합 크로스 링크(24)와, 메인 베이스(22)에 슬라이드 가능하도록 지지되어 프로브 블록(12)을 지지하는 게이트 신호측 베이스(25)와, 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정지그(27)와, 다수개의 프로브 블록(12)을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 구비한다.

가동식 프로브 유닛, 검사장치, 액정패널, 프로브 블록, 프로브 침

Description

가동식 프로브 유닛 및 검사장치 {Movable Probe Unit and Inspecting Apparatus}

도1은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.

도2는 종래의 검사장치를 나타낸 정면도 및 측면도이다.

도3은 종래의 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 정면도이다.

도4는 종래의 검사장치의 프로브 블록의 지지 프레임체를 나타낸 정면도이다.

도5는 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 나타낸 정면도이다.

도6은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 작은 치수의 액정패널에 맞춘 상태를 나타낸 사시도이다.

도7은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 작은 치수의 액정패널에 맞춘 상태를 나타낸 평면도이다.

도8은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 그 아래쪽에서 나타낸 사시도이다.

도9는 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 프로브 블록용 위치결정 고정 지그를 그 위쪽에서 나타낸 사시도이다.

도10은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 데이터 신호측 베이스 측의 프로브 블록용 위치결정 고정지그 및 게이트 신호측 베이스 측의 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 나타낸 측면도이다.

도11은 본 발명의 변형예에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.

도12는 본 발명의 변형예에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 나타낸 정면도이다.

도13은 본 발명의 변형예에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 작은 치수의 액정패널에 맞춘 상태를 나타낸 사시도이다.

도14는 본 발명의 변형예에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 작은 치수의 액정패널에 맞춘 상태를 나타낸 평면도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

1: 검사장치 2: 패널 세트부

3: 측정부 5: 액정패널

21: 가동식 프로브 유닛 22: 메인 베이스

22A: 긴 구멍(長孔) 23: 데이터 신호측 베이스

23A: 긴 구멍 24: 복합 크로스 링크

24A: 판형 봉(棒) 24B, 24C: 연결핀

25: 게이트 신호측 베이스 25A: 긴 판(長板)

25B: 긴 구멍 26: 리니어 가이드

26A: 끼움홈 27: 위치결정 고정지그

28: 위치결정 고정링크 29: 프로브 블록용 위치결정 고정 지그

31: 고정 나사 34: 슬라이더

36: 클립 36A: 클립판부

37: 끼움핀 38: 연결판

38A: 세로판부 38B: 가로판부

38C: 위치결정 핀 구멍 38D: 나사 구멍

40: 핀 구멍 41: 나사 구멍

42: 위치결정 핀 43: 고정나사

발명의 분야

본 발명은 검사대상판에 접촉자를 접촉시켜서 시험하는 가동식 프로브 유닛 및 검사장치에 관한 것이며, 특히 프로브 블록의 지지(支持) 방식의 개량에 관한 것이다.

발명의 배경

액정기판 등의 검사대상판에 프로브 블록의 프로브 침을 접촉시켜서 점등 시험 등을 행하는 검사장치는 일반적으로 알려져 있다. 이러한 검사장치는 장치 본체 측의 프로브 베이스에 각 프로브 블록이 고정되고, 각 프로브 블록의 프로브 침이 워크 테이블에 올려져 설치된 검사대상판을 향하여 설치된다. 그리고 프로브 침과 검사대상판의 전극과의 위치맞춤은 검사대상판을 지지한 워크 테이블에 의해 행해진다.

이러한 검사장치의 일례를 도2에 나타낸다. 도시하는 검사장치(1)는 주로 패널 세트부(2)와 측정부(3)로 구성되어 있다.

패널 세트부(2)는 외부로부터 삽입된 액정패널(5)을 측정부(3)로 반송하고, 검사 종료 후의 액정패널(5)을 외부로 반송하기 위한 장치이다. 패널 세트부(2)는 개구부(6) 내에 패널 세트 스테이지(7)를 구비하며, 이 패널 세트 스테이지(7)로 액정패널(5)을 지지하여 측정부(3)로 반송한다. 또한, 패널 세트 스테이지(7)는 측정부(3)에서 검사 종료 후의 액정패널(5)을 수용하여 외부로 반송한다.

측정부(3)는 패널 세트부(2)로부터 전달받은 액정패널(5)을 지지하여 시험하기 위한 장치이다. 측정부(3)는 척톱(8)이나 프로버(9) 등을 구비하여 구성되어 있다.

척톱(8)은 액정패널(5)을 지지하기 위한 부재이다. 이 척톱(8)은 XYZθ스테이지(도시 생략)에 지지되고 XYZ축 방향으로의 이동 및 회전이 제어되어, 액정패널(5)의 위치가 조정된다. 프로버(9)는 주로 베이스 플레이트(10), 프로브 유 닛(11), 프로브 블록(12)을 구비하여 구성된다. 이들 부재의 배치 예를 도3에 나타낸다. 장치 본체 측에 베이스 플레이트(10)가 지지되고, 이 베이스 플레이트(10)에 프로브 유닛(11)이 지지되며, 이 프로브 유닛(11)의 선단부(先端部)에 프로브 블록(12)이 설치되어 있다. 이 프로브 블록(12)의 선단부에 접촉자(13)가 설치되어 있다. 그리고 척톱(8)에 지지된 액정패널(5)이 XYZθ스테이지에 의해 위치조정되어, 액정패널(5)의 전극과 접촉자(13)가 정밀하게 결합되어 서로 접촉되고, 검사가 행해진다.

그런데, 상술한 검사장치는 접촉자(13)와 액정패널(5)의 전극과의 위치맞춤을 XYZθ스테이지에 의해 행하고 있으나, 위치맞춤이 가능한 거리는 약간에 불과하다. 따라서 액정패널(5)의 치수가 변하면 전극의 위치도 대폭 변하기 때문에, XYZθ스테이지로는 대응할 수 없고, 프로브 유닛(11)이나 프로브 블록(12)을 액정패널(5)의 치수에 대응한 것으로 교체할 필요가 있었다. 그리고 이 프로브 유닛(11)이나 프로브 블록(12)의 교체 작업에는 시간이 걸리며, 작업성이 좋지 않다.

이 때문에, 프로브 블록(12)을 지지하는 지지 프레임체를 개량하여, 액정패널(5)의 치수에 용이하게 맞출 수 있는 프로브 블록의 지지 프레임체가 특허문헌 1에 제안되어 있다.

이 지지 프레임체(14)는 도4에 나타낸 바와 같이 4개의 프레임판(15)으로 구성되며, 상기 프레임판을 도4(A)의 상태에서 (B)의 상태로 적절하게 위치를 옮겨서, 프로브 블록(12)을 액정패널(5)의 치수에 맞추는 것이다.

[특허문헌1] 일본특허공개 제2001-74599호 공보

그런데, 상기 구성의 지지 프레임체(14)에서는, 4개의 프레임판(15)을 서로 접근시켜서 도4(B)와 같은 상태로 한 경우, 주위에 4개의 프레임판(15)이 4방향으로 각각 이동함과 동시에 각 프레임판(15)의 기단측(基端側)(15A)이 비어져 나와 버린다. 이 때문에, 베이스 플레이트(10)에 설치할 때, 4방향으로 각각 이동하는 각 프레임판(15)을, 상기 비어져 나온 기단측을 허용한 상태로 베이스 플레이트(10)에 고정 지지하는 것이 용이하지 않으며, 결국 접촉자(13)의 위치맞춤 작업성이 좋지 않다는 문제점이 있었다.

본 발명은 이러한 문제점에 비추어 보아 이루어진 것으로, 치수가 다른 액정패널 등의 검사대상판의 변경에 대해 프로브 침의 위치맞춤을 용이하게 행할 수 있는 가동식 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 가동식 프로브 유닛은 상기 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 검사대상판에 접촉시키는 접촉자를 구비한 프로브 블록을 지지하는 가동식 프로브 유닛으로서, 상기 프로브 블록을 임의의 위치에 위치결정하여 지지하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 가동식 프로브 유닛이 프로브 블록을 지지하여 임의의 위치로 옮겨서 위치결정하고 지지한다.

상기 가동식 프로브 유닛은 상기 검사대상판의 양측 위치에 각각 설치되어 전체를 지지하는 메인 베이스와, 상기 프로브 블록을 지지하는 데이터 신호측 베이스와,

상기 메인 베이스에 지지된 상태로 상기 데이터 신호측 베이스를 임의의 위치에서 지지하는 복합 크로스 링크와, 상기 데이터 신호측 베이스와 직교 방향으로 설치되어 2개의 상기 메인 베이스에 슬라이드 가능하도록 지지된 상태로 상기 프로브 블록을 지지하는 게이트 신호측 베이스와, 해당 게이트 신호측 베이스 및 상기 데이터 신호측 베이스에 각각 설치되어 상기 프로브 블록을 슬라이드 가능하도록 지지하는 리니어 가이드와, 상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정지그와, 다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 구비하여 구성하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 데이터 신호측 베이스는 상기 복합 크로스 링크에 의해 상기 메인 베이스에 지지된 상태로 설정값으로 이동된다. 상기 게이트 신호측 베이스는 2개의 상기 메인 베이스에 대해 슬라이드하여 설정값으로 이동된다. 그리고 위치결정 고정지그가 상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정한다. 또한, 프로브 블록용 위치결정 고정지그는 상기 리니어 가이드에서 슬라이드 가능하도록 지지된 다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지한다.

상기 데이터 신호측 베이스를 설정 위치에 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정링크를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 위치결정 고정링크가 상기 위치결정 고정지그와 함께 상기 데이터 신호측 베이스를 상기 메인 베이스에 대해 설정 위치에 위치결정하여 고정한다.

상기 프로브 블록용 위치결정 고정지그는, 상기 프로브 블록에 설치된 클립 또는 끼움핀에 끼워 맞춰지는(嵌合) 다수개의 끼움핀 또는 클립과, 각 끼움핀 또는 클립을 설정 위치에서 일체적으로 지지하는 연결판을 구비하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 프로브 블록용 위치결정 지그의 상기 연결판의 각 끼움핀 또는 클립을 상기 프로브 블록의 클립 또는 끼움핀에 각각 끼워 맞춰서, 각 프로브 블록을 각각 설정 위치에서 일체적으로 지지한다.

본 발명에 따른 검사장치는 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 검사대상판에 프로브 블록의 접촉자를 접촉시켜서 시험을 행하는 검사장치로서, 상기 프로브 블록을 임의의 위치에 위치결정하여 지지하는 가동식 프로브 유닛을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 의해, 가동식 프로브 유닛은 프로브 블록을 지지하여 임의의 위치로 옮겨서 위치결정하고 지지한다.

상기 검사장치의 가동식 프로브 유닛은, 상기 검사대상판의 양측 위치에 각각 설치되어 전체를 지지하는 메인 베이스와, 상기 프로브 블록을 지지하는 데이터 신호측 베이스와, 상기 메인 베이스에 지지된 상태로 상기 데이터 신호측 베이스를 임의의 위치에서 지지하는 복합 크로스 링크와, 상기 데이터 신호측 베이스와 직교 방향으로 설치되어 2개의 상기 메인 베이스에 슬라이드 가능하도록 지지된 상태로 상기 프로브 블록을 지지하는 게이트 신호측 베이스와, 해당 게이트 신호측 베이스 및 상기 데이터 신호측 베이스에 각각 설치되어 상기 프로브 블록을 슬라이드 가능하도록 지지하는 리니어 가이드와, 상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정지그와, 다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 구비하여 구성하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 데이터 신호측 베이스는 상기 복합 크로스 링크에 의해 상기 메인 베이스에 지지된 상태로 설정값으로 이동된다. 상기 게이트 신호측 베이스는 2개의 상기 메인 베이스에 대해 슬라이드하여 설정값으로 이동된다. 그리고 위치결정 고정지그가 상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정한다. 또한, 프로브 블록용 위치결정 고정지그는 상기 리니어 가이드로 슬라이드 가능하도록 지지된 다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지한다.

상기 검사장치의 데이터 신호측 베이스를 설정위치에 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정링크를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 위치결정 고정링크가 상기 위치결정 고정지그와 함께, 상기 데이터 신호측 베이스를 상기 메인 베이스에 대해 설정 위치에 위치결정하여 고정한다.

상기 검사장치의 프로브 블록용 위치결정 고정지그는 상기 프로브 블록에 설치된 클립 또는 끼움핀에 끼워 맞춰지는 다수개의 끼움핀 또는 클립과, 각 끼움핀 또는 클립을 설정 위치에서 일체적으로 지지하는 연결판을 구비하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해 상기 프로브 블록용 위치결정 지그의 상기 연결판의 각 끼움핀 또는 클립을 상기 프로브 블록의 클립 또는 끼움핀에 각각 끼워 맞춰서 각 프로브 블록을 각각 설정 위치에서 일체적으로 지지한다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 가동식 프로브 유닛을 구비한 검사장치에 대해, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 나타낸 사시도, 도5는 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 나타낸 평면도, 도6은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 작은 치수의 액정패널에 맞춘 상태를 나타낸 사시도, 도7은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 가동식 프로브 유닛을 작은 치수의 액정패널에 맞춘 상태를 나타낸 평면도, 도8은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 그 아래쪽에서 나타낸 사시도, 도9는 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 그 위쪽에서 나타낸 사시도, 도10은 본 발명의 실시 형태에 따른 검사장치의 데이터 신호측 베이스 측의 프로브 블록용 위치결정 고정지그 및 게이트 신호측 베이스 측의 프로브 블록용 위치결정 고정지그를 나타낸 측면도이다. 아울러 여기서는, 검사대상판으로서 액정패널을 예로 들어 설명한다. 또한, 점등 검사를 행하는 검사장치 의 전체 구성은 상술한 종래의 검사장치와 거의 동일하기 때문에, 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다. 그리고 본 발명의 특징 부분인 가동식 프로브 유닛에 대해서만 설명한다.

본 실시 형태에 따른 가동식 프로브 유닛(21)은 상기 프로브 블록(12)을 임의의 위치에 위치결정하여 지지하기 위한 부재이다. 이 가동식 프로브 유닛(21)은 주로 메인 베이스(22), 데이터 신호측 베이스(23), 복합 크로스 링크(24), 게이트 신호측 베이스(25), 리니어 가이드(26), 프로브 블록(12), 위치결정 고정지그(27), 위치결정 고정링크(28), 및 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)로 구성된다.

메인 베이스(22)는 가동식 프로브 유닛(21) 전체를 지지하기 위한 부재이다. 이 메인 베이스(22)는 직사각형 판형으로 형성되어 있다. 메인 베이스(22)는 액정패널(5)을 사이에 두고 상하 양측 위치(도1의 오른쪽 위, 왼쪽 아래의 양측 위치)에 설치된 각각의 베이스 플레이트(10)에 각각 고정되어 있다. 각 메인 베이스(22)는 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)를 지지하고 있다. 메인 베이스(22)의 기단측(바깥쪽 끝부분)에는 3부분의 위치에 고정나사(31)가 설치되고, 이 고정나사(31)에 의해 메인 베이스(22)가 베이스 플레이트(10)에 고정되어 있다.

데이터 신호측 베이스(23)는 복합 크로스 링크(24)를 통해 메인 베이스(22)에 지지된 상태로 프로브 블록(12)을 지지하기 위한 부재이다. 이 데이터 신호측 베이스(23)는 직사각형 판형으로 형성되어 있다. 데이터 신호측 베이스(23)는 액정패널(5)의 한쪽 변(도1의 오른쪽 윗변)의 전극(도시 생략)에 접촉하는 프로브 블 록(12)을 지지하고 있다. 데이터 신호측 베이스(23)의 이면에는 후술하는 리니어 가이드(26)가 설치되어 있다. 데이터 신호측 베이스(23)의 표면에는 후술하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)가 설치되어 있다.

복합 크로스 링크(24)는 메인 베이스(22)에 지지된 상태로 데이터 신호측 베이스(23)를 임의의 위치에서 지지하기 위한 부재이다. 상기 복합 크로스 링크(24)는 2개의 판형 봉(棒)(24A)을 그 중앙 위치에서 회전 가능하도록 연결하고, 게다가 이들 4쌍을 서로 회전 가능하도록 연결하여 구성되어 있다. 4쌍의 각 판형 봉(24A)의 중앙 위치를 연결한 2개의 연결핀(24B)이 메인 베이스(22)와 데이터 신호측 베이스(23)에 각각 회전 가능하도록 설치되어, 이 연결핀(24B)이 링크 지지점(supporting point)이 되어 있다. 게다가, 다른 연결핀(24C)은 메인 베이스(22)의 2개의 긴 구멍(22A)(도6 참조)과, 데이터 신호측 베이스(23)의 2개의 긴 구멍(23A)(도6 참조)에 각각 슬라이드 가능하도록 설치되어 있다. 각 긴 구멍(22A, 23A)은 링크 지지점인 연결핀(24B)의 양측에 각각 설치되고, 복합 크로스 링크(24)가 링크 지지점을 중심으로 하여 그 양측으로 연장하도록 되어 있다. 그리고 상기 복합 크로스 링크(24)가 링크 지지점을 중심으로 양측으로 연장함으로써(도5의 상태), 데이터 신호측 베이스(23)가 메인 베이스(22)에 접근하고, 복합 크로스 링크(24)가 수축함으로써(도6의 상태), 데이터 신호측 베이스(23)가 메인 베이스(22)로부터 이격되도록 형성되어 있다.

게이트 신호측 베이스(25)는 데이터 신호측 베이스(23)와 직교 방향으로 설치된 상태로 프로브 블록(12)을 지지하기 위한 부재이다. 아울러, 데이터 신호측 베이스(23) 측의 프로브 블록(12)과, 게이트 신호측 베이스(25) 측의 프로브 블록(12)은 액정패널(5)의 각 전극에 맞춰진 개수만 설치된다. 여기서는, 데이터 신호측 베이스(23) 측에 8개의 프로브 블록(12)이 게이트 신호측 베이스(25) 측에 4개의 프로브 블록(12)이 각각 설치되어 있다.

게이트 신호측 베이스(25)는 2개의 메인 베이스(22)에 걸쳐진 상태로, 각 메인 베이스(22)에 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다. 게이트 신호측 베이스(25)는 직사각형 판형으로 형성되어 있다. 게이트 신호측 베이스(25)는 액정패널(5)의 다른 쪽 변(도1의 왼쪽 윗변)의 전극(도시 생략)에 접촉하는 프로브 블록(12)을 지지하고 있다. 데이터 신호측 베이스(23)의 이면에는 리니어 가이드(26)가 설치되어 있다. 데이터 신호측 베이스(23)의 표면에는 후술하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)가 설치되어 있다.

게이트 신호측 베이스(25)의 길이방향의 양쪽 끝 부분에는 긴 판(25A)이 각각 설치되어 있다. 이 긴 판(25A)은 양측 메인 베이스(22)의 길이방향을 따라 설치되어 있다. 이 긴 판(25A)에는 긴 구멍(25B)이 각각 설치되어 있다. 각각의 긴 구멍(25B)은 각각의 복합 크로스 링크(24)의 끝 부분의 연결핀(24C)에 슬라이드 가능하도록 설치되어 있다. 게이트 신호측 베이스(25)는 이 2개의 긴 구멍(25B) 및 연결핀(24C)에 의해, 각 메인 베이스(22)의 길이방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성되어 있다.

리니어 가이드(26)는 프로브 블록(12)을 슬라이드 가능하도록 지지하기 위한 부재이다. 리니어 가이드(26)는 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이 스(25)의 이면에 그 전체 길이에 걸쳐서 각각 설치되어 있다. 이 리니어 가이드(26)는 도8에 나타낸 바와 같이 평판 봉형으로 형성되고, 그 양측에 프로브 블록(12)의 후술하는 슬라이더(34)가 슬라이드 가능하도록 끼워 맞춰지는 끼움홈(26A)이 설치되어 있다. 이 끼움홈(26A)에 슬라이더(34)가 끼워져서, 프로브 블록(12)이 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)의 길이방향으로 자유롭게 슬라이드 할 수 있도록 형성되어 있다.

프로브 블록(12)은 접촉자로서의 다수개의 프로브 침(13)을 지지하기 위한 부재이다. 프로브 침(13)은 프로브 블록(12)의 아래쪽 선단부에 지지되어, 액정패널(5)의 전극에 접촉한다. 프로브 블록(12)의 아래쪽 면에는 리니어 가이드(26)에 슬라이드 가능하도록 끼워지는 슬라이더(34)가 설치되어 있다. 이 슬라이더(34)에 의해 프로브 블록(12)이 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)의 길이방향으로 자유롭게 슬라이드 가능하도록 형성된다. 프로브 블록(12)의 위쪽 면에는 후술하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)의 클립(36)이 설치되어 있다.

위치결정 고정지그(27)는 데이터 신호측 베이스(23)와 게이트 신호측 베이스(25)를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하기 위한 부재이다. 위치결정 고정지그(27)는 도1, 5~7에 나타낸 바와 같이, T자형으로 형성되어, 메인 베이스(22)에 복합 크로스 링크(24)를 통해 지지된 데이터 신호측 베이스(23)를, 메인 베이스(22)와의 사이에서 설정 간격으로 유지하여 지지함과 동시에, 게이트 신호측 베이스(25)를 데이터 신호측 베이스(23)와의 사이에서 설정 간격으로 유지하여 지지하도록 설정되어 있다. 이에 따라, 데이터 신호측 베이스(23)에 지지된 프로브 블 록(12)과, 게이트 신호측 베이스(25)에 지지된 프로브 블록(12)이 검사대상인 액정패널(5)의 각 전극 위치에 꼭 들어맞도록, 위치결정되고 지지된다. 위치결정 고정지그(27)의 치수는 액정패널(5)의 크기에 따라 다르며, 도1, 5와 같이 액정패널(5)의 치수가 큰 경우는 가로 봉의 치수(메인 베이스(22)와 데이터 신호측 베이스(23)와의 간격)가 짧고, 세로 봉의 치수가 길게 설정된다. 또한, 도6, 7과 같이 액정패널(5)의 치수가 작은 경우는 가로 봉의 치수가 길고, 세로 봉의 치수가 짧게 설정된다. 위치결정 고정지그(27)의 세로 봉과 게이트 신호측 베이스(25)는 나사(도시 생략)등으로 고정된다.

위치결정 고정링크(28)는 데이터 신호측 베이스(23)를 설정 위치에 위치결정하여 고정하기 위한 부재이다. 위치결정 고정링크(28)는 평판 봉형으로 형성되어, 메인 베이스(22)에 복합 크로스 링크(24)를 통해 지지된 데이터 신호측 베이스(23)를 메인 베이스(22)와의 사이에서 설정 간격으로 유지하여 지지하도록 설정되어 있다. 이 위치결정 고정링크(28)는 위치결정 고정지그(27)의 가로 봉의 치수와 같은 치수로 설정되어, 위치결정 고정지그(27)와 함께 메인 베이스(22)와 데이터 신호측 베이스(23)와의 사이를 설정 간격으로 유지하여 지지하도록 되어 있다.

위치결정 고정링크(28)의 치수는 액정패널(5)의 크기에 따라 다르며, 도1, 5와 같이 액정패널(5)의 치수가 큰 경우는 짧고, 도6, 7과 같이 액정패널(5)의 치수가 작은 경우는 길게 설정된다.

프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)는 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)에 각각 설치된 다수개의 프로브 블록(12)을 모두 동시에 각 각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하기 위한 부재이다. 이 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)는 설치되는 프로브 블록(12)의 개수에 따른 길이로 설정되어 있다.

프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)는 도8~10에 나타낸 바와 같이, 클립(36), 끼움핀(37), 및 연결판(38)으로 구성되어 있다.

클립(36)은 끼움핀(37)에 끼워 맞추기 위한 부재이다. 클립(36)은 상기 프로브 블록(12)의 위쪽 면에 설치되어 있다. 클립(36)은 탄성을 갖는 2장의 클립판부(36A)를 구비하고 있다. 이 클립판부(36A)의 안쪽 면에는 끼움핀(37)에 끼워 맞추는 원호형의 홈이 형성되어 있다. 이에 따라, 2장의 클립판부(36A)로 끼움핀(37)을 탄성적으로 끼움으로써, 서로 끼워 맞춰지도록 형성되어 있다. 그리고 끼움핀(37)이 2장의 클립판부(36A)의 사이에 그 위쪽으로부터 삽입되어 서로 끼워 맞춰짐으로써, 프로브 블록(12)이 끼움핀(37)의 위치에 위치결정되도록 형성되어 있다.

끼움핀(37)은 클립(36)의 2장의 클립판부(36A)에 끼우기 위한 부재이다. 끼움핀(37)은 원주형으로 형성되며, 클립판부(36A)의 안쪽 면의 원호형 홈에 정밀하게 결합되도록 형성되어 있다. 끼움핀(37)은 프로브 블록(12)의 설치 수에 따른 수만큼 각 프로브 블록(12)의 설정 위치에 맞춰서 설치된다.

연결판(38)은 다수개의 끼움핀(37)을 각각의 설정 위치에서 일체적으로 지지하기 위한 부재이다. 연결판(38)은 세로판부(38A)와 가로판부(38B)로 구성되어 있다. 끼움핀(37)은 세로판부(38A)에 설치되며, 수평방향으로 설치되어 있다. 가로판부(38B)에는 2개의 위치결정 핀 구멍(38C)과, 2개의 나사 구멍(38D)이 각각 형성되 어 있다. 또한, 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)에도 위치결정 핀 구멍(38C) 및 나사 구멍(38D)에 정밀하게 결합하는 위치에 핀 구멍(40)과, 나사 구멍(41)이 각각 형성되어 있다. 이에 따라, 위치결정 핀 구멍(38C) 및 핀 구멍(40)에 위치결정 핀(42)이 삽입되어 연결판(38)이 위치결정되고, 나사 구멍(38D) 및 나사 구멍(41)에 고정나사(43)가 삽입되어, 연결판(38)이 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)에 위치결정하여 고정되도록 형성되어 있다.

[동작]

이상과 같이 구성된 검사장치는 다음과 같이 동작한다.

외부로부터 패널 세트부(2)에 액정패널(5)이 삽입되면, 패널 세트부(2)가 상기 액정패널(5)을 측정부(3)로 반송한다. 측정부(3)는 패널 세트부(2)로부터 전달받은 액정패널(5)을 척톱(8)으로 지지하여 시험한다.

이 때, 가동식 프로브 유닛(21)에 지지된 각 프로브 블록(12)의 프로브 침(13)이 액정패널(5)의 각 전극에 각각 접촉하여 시험이 행해진다.

한편, 검사대상인 액정패널(5)의 치수가 변경된 경우는 그것에 따라 프로브 블록(12)의 설치 위치를 조정한다.

이 경우는 우선, 위치결정 고정지그(27), 위치결정 고정링크(28) 및 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)가 액정패널(5)에 따른 것으로 변경된다. 예를 들어, 도1, 5에 나타낸 대형 액정패널(5)에서 도6, 7에 나타낸 소형 액정패널(5)로 변경될 경우는 위치결정 고정지그(27)와 위치결정 고정링크(28)를 제거하여, 가로 봉의 치수가 길고, 세로 봉의 치수가 짧은 위치결정 고정지그(27)와, 위치결정 고정지그(27)의 가로 봉과 같은 치수의 위치결정 고정링크(28)로 변경한다. 이 경우, 복합 크로스 링크(24)를 수축하여 데이터 신호측 베이스(23)를 메인 베이스(22)로부터 이격하여 액정패널(5) 측에 접근시켜서, 위치결정 고정지그(27)의 가로 봉의 치수에 맞춘다. 이어서, 위치결정 고정지그(27) 및 위치결정 고정링크(28)를 설치하여 고정한다.

게다가, 게이트 신호측 베이스(25)를 위치결정 고정지그(27)의 세로 봉 치수에 맞춰서 이동하고, 나사 등으로 서로 고정한다.

또한, 프로브 블록(12)은 액정패널(5)의 전극에 맞춘 개수로 변경된다. 여기서는 데이터 신호측 베이스(23) 측을 5개로, 게이트 신호측 베이스(25) 측을 3개로 변경한다. 이 경우는 먼저, 2개의 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 제거하여, 데이터 신호측 베이스(23) 측의 프로브 블록(12)을 3개, 게이트 신호측 베이스(25) 측의 프로브 블록(12)을 1개 제거하여, 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 소형의 액정패널(5)에 맞춘 치수의 것으로 변경한다.

데이터 신호측 베이스(23) 측의 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)의 5개의 끼움핀(37)을 5개의 프로브 블록(12)의 클립(36)에 각각 끼워서 프로브 블록(12)을 설정 위치에 맞춘다. 이어서, 위치결정 핀(42)을 연결판(38)의 위치결정 핀 구멍(38C)과 핀 구멍(40)에 삽입하여 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 데이터 신호측 베이스(23)에 대해 위치결정 한다. 이에 따라, 각 프로브 블록(12)이 정확하게 위치결정되어 지지된다. 이 상태에서, 연결판(38)의 나사 구멍(38D) 및 나사 구멍(41)에 고정나사(43)를 통해, 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 데이터 신호측 베이스(23)에 고정한다.

또한, 게이트 신호측 베이스(25) 측의 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)의 3개의 끼움핀(37)을 3개의 프로브 블록(12)의 클립(36)에 각각 끼워서 프로브 블록(12)을 설정 위치에 맞춘다. 이어서, 위치결정 핀(42)을 연결판(38)의 위치결정 핀 구멍(38C)과 핀 구멍(40)에 삽입하여 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 게이트 신호측 베이스(25)에 대해 위치결정한다. 이에 따라, 각 프로브 블록(12)이 정확하게 위치결정되어 지지된다. 이 상태에서 연결판(38)의 나사 구멍(38D) 및 나사 구멍(41)에 고정나사(43)를 통해, 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)를 게이트 신호측 베이스(25)에 고정한다.

아울러, 위치결정 고정지그(27) 및 위치결정 고정링크(28)의 교체와, 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)의 교체는 모두 먼저 행해도 좋다.

[효과]

이상과 같이, 본 실시 형태의 검사장치에 의하면, 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.

가동식 프로브 유닛(21)이 프로브 블록(12)을 지지하여, 임의의 위치로 옮겨서 위치결정하고 지지하기 때문에, 프로브 블록을 설정 위치에 용이하게 위치맞춤 할 수 있으며, 치수가 다른 액정패널(5)에 맞춰서, 프로브 침(13)의 위치맞춤을 단시간에 용이하게 행할 수 있다. 이 결과, 치수가 다른 액정패널(5)에 대한 조정 작 업의 작업성이 대폭 향상된다.

복합 크로스 링크(24)로 데이터 신호측 베이스(23)를 설정값으로 이동하고, 게이트 신호측 베이스(25)를 각 메인 베이스(22)에 대해 슬라이드 시켜서 설정값으로 이동하고, 위치결정 고정지그(27)로 상기 데이터 신호측 베이스(23) 및 게이트 신호측 베이스(25)를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하고, 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)로 다수개의 프로브 블록(12)을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하기 때문에, 프로브 블록(12)을 설정 위치에 용이하게 위치맞춤 할 수 있으며, 치수가 다른 액정패널(5)에 맞춰서 프로브 침(13)의 위치맞춤을 단시간에 용이하게 행할 수 있고, 작업성이 향상된다.

위치결정 고정링크(28)로 상기 위치결정 고정지그와 함께, 데이터 신호측 베이스(23)를 메인 베이스(22)에 대해 설정 위치에 위치결정하여 고정하기 때문에, 데이터 신호측 베이스(23)가 메인 베이스(22)에 대해 다수 부분(본 실시형태에서는 2개 부분)에 의해 지지되어, 설정 위치에 위치결정하여 확실하게 지지할 수 있다.

프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)의 연결판(38)의 각 끼움핀(37)을 프로브 블록(12)의 클립(36)에 각각 끼워서, 각 프로브 블록(12)을 각각 설정 위치에서 일체적으로 지지하기 때문에, 각 프로브 블록(12)을 개별적으로 위치결정 할 필요가 없어지고, 각 프로브 블록(12)의 위치결정 작업성이 대폭 향상된다.

게다가, 가동식 프로브 유닛(21)을 설치함으로써, 액정패널(5)의 사이즈의 차이에 대해 1개의 가동식 프로브 유닛(12)으로 대응할 수 있으며, 액정패널(5)의 사이즈 마다, 개별의 프로브 유닛을 설계·제조할 필요가 없어진다. 이 결과, 대폭 적인 비용 절감을 달성할 수 있다.

[변형예]

상기 실시 형태에서는 게이트 신호측 베이스(25)의 양 끝에 긴 판(25A) 및 긴 구멍(25B)을 설치하여, 게이트 신호측 베이스(25)를 슬라이드 가능하도록 설치했으나, 도11~14에 나타낸 바와 같이, 게이트 신호측 베이스(25)의 양 끝에 긴 판(45)만을 설치하여, 연결핀(24C)에 회전 가능하도록 연결하는 것도 바람직하다. 이에 따라, 게이트 신호측 베이스(25)는 복합 크로스 링크(24)의 연장 및 수축(伸縮)에 연동하여 데이터 신호측 베이스(23)의 길이방향으로 슬라이드 한다. 이 경우, 게이트 신호측 베이스(25)는 복합 크로스 링크(24)에 연동하여 일의적으로 슬라이드 하기 때문에, 다른 사이즈의 액정패널(5)의 데이터 신호측 베이스(23) 측의 치수 및 게이트 신호측 베이스(25) 측의 치수 변화에 따라 게이트 신호측 베이스(25)가 슬라이드 하도록, 복합 크로스 링크(24)의 각 판형 봉재(24A)의 치수를 설정한다. 이에 따라, 데이터 신호측 베이스(23)의 프로브 블록(12)을 액정패널(5)에 맞춰서 이동시키면, 복합 크로스 링크(24)의 연장과 수축에 의해 데이터 신호측 베이스(23)에 연동하여 게이트 신호측 베이스(25)가 이동하고, 액정패널(5)의 전극에 정밀하게 결합한다. 이 경우, 위치결정 고정지그(27)는 설치해도 좋고, 설치하지 않아도 좋다.

상기 실시 형태에서는, 프로브 블록용 위치결정 고정지그(29)는 프로브 블록(12)에 클립(36)을 설치하고, 연결판(38) 측에 끼움핀(37)을 설치했으나, 이와 반대로 프로브 블록(12)에 끼움핀(37)을 설치하고, 연결판(38) 측에 클립(36)을 설치하는 것도 바람직하다. 이 경우도, 상기 실시 형태와 같은 작용 및 효과를 달성할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태는 검사대상판으로서 액정패널(5)을 예로 설명했으나, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다. 예를 들어, 액정패널(5)이나 액정 셀(기판의 주위에만 전극이 존재) 뿐만 아니라, 액정 어레이(기판의 주위 이외에도 전극이 존재)에도 적용할 수 있다.

게다가, 상기 실시 형태는 종래 기술과 같은 액정패널(5)의 점등 검사를 행하는 검사장치(1)에 가동식 프로브 유닛(21)을 설치한 경우를 예로 들어 설명했으나, 이 가동식 프로브 유닛(21)이 설치되는 검사장치(1)는 상기 실시 형태의 구성에 한정되는 것은 아니다. 상기 구성의 가동식 프로브 유닛(21)을 구비한 검사장치(1)가 바람직하고, 이 검사장치(1)로서는 여러 가지를 이용할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태는 접촉자로서 프로브 침(13)을 예로 설명했으나, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를 들어 블레이드나 범프, 포고 핀 등도 바람직하다. 이 경우도, 상기 실시 형태와 동일한 작용 및 효과를 달성할 수 있다.

상기와 같이, 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과를 이룰 수 있다.

가동식 프로브 유닛이 프로브 블록을 지지하여 임의의 위치로 옮겨서 위치결 정하고 지지하기 때문에, 프로브 블록을 설정 위치에 용이하게 위치맞춤 할 수 있으며, 치수가 다른 상기 검사대상판에 맞춰서, 접촉자의 위치맞춤을 단시간에 용이하게 행할 수 있고, 작업성이 향상된다.

상기 복합 크로스 링크로 상기 데이터 신호측 베이스를 설정값으로 이동하고, 상기 게이트 신호측 베이스를 상기 각 메인 베이스에 대해 슬라이드 시켜서 설정값으로 이동하고, 상기 위치결정 고정지그로 상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하고, 상기 프로브 블록용 위치결정 고정지그로 다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하기 때문에, 프로브 블록을 설정 위치에 용이하게 위치맞춤 할 수 있으며, 치수가 다른 상기 검사대상판에 맞춰서 접촉자의 위치맞춤을 단시간에 용이하게 행할 수 있고, 작업성이 향상된다.

상기 위치결정 고정링크로 상기 위치결정 고정지그와 함께, 상기 데이터 신호측 베이스를 상기 메인 베이스에 대해 설정 위치에 위치결정하여 고정하기 때문에, 상기 데이터 신호측 베이스가 상기 메인 베이스에 대해 다수 부분에서 지지되어, 설정 위치에 위치결정하여 확실하게 지지할 수 있다.

상기 프로브 블록용 위치결정 고정지그의 상기 연결판의 각 끼움핀 또는 클립을 상기 프로브 블록의 클립 또는 끼움핀에 각각 끼워서, 각 프로브 블록을 각각 설정 위치에서 일체적으로 지지하기 때문에, 각 프로브 블록을 개별적으로 위치결정할 필요가 없어지며, 각 프로브 블록의 위치결정 작업성이 대폭 향상된다.

게다가, 가동식 프로브 유닛을 설치함으로써, 검사대상판의 사이즈의 차이에 대해 1개의 가동식 프로브 유닛으로 대응할 수 있으며, 검사대상판의 사이즈 마다, 개별 프로브 유닛을 설계·제조할 필요가 없어진다. 이 결과, 대폭적인 비용 절감을 달성할 수 있다.

Claims (8)

1. 검사대상판에 접촉시키는 접촉자를 구비한 프로브 블록을 지지하는 가동식 프로브 유닛으로서,

   상기 프로브 블록을 임의의 위치에 위치결정하여 지지하는 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛.
2. 제1항에 있어서,

   상기 검사대상판의 양측 위치에 각각 설치되어 전체를 지지하는 메인 베이스;

   상기 프로브 블록을 지지하는 데이터 신호측 베이스;

   상기 메인 베이스에 지지된 상태로 상기 데이터 신호측 베이스를 임의의 위치에서 지지하는 복합 크로스 링크;

   상기 데이터 신호측 베이스와 직교 방향으로 설치되어 2개의 상기 메인 베이스에 슬라이드 가능하도록 지지된 상태로 상기 프로브 블록을 지지하는 게이트 신호측 베이스;

   해당 게이트 신호측 베이스 및 상기 데이터 신호측 베이스에 각각 설치되어 상기 프로브 블록을 슬라이드 가능하도록 지지하는 리니어 가이드;

   상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각 각 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정지그; 및

   다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그;

   를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛.
3. 제2항에 있어서,

   상기 데이터 신호측 베이스를 설정 위치에 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정 링크를 구비하는 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛.
4. 제2항에 있어서,

   상기 프로브 블록용 위치결정 고정지그가 상기 프로브 블록에 설치된 클립 또는 끼움핀에 끼워 맞춰지는 다수개의 끼움핀 또는 클립과, 각 끼움핀 또는 클립을 설정 위치에서 일체적로 지지하는 연결판을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가동식 프로브 유닛.
5. 검사대상판에 프로브 블록의 접촉자를 접촉시켜서 시험을 행하는 검사장치로서,

   상기 프로브 블록을 임의의 위치에 위치결정하여 지지하는 가동식 프로브 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 가동식 프로브 유닛이,

   상기 검사대상판의 양측 위치에 각각 설치되어 전체를 지지하는 메인 베이스;

   상기 프로브 블록을 지지하는 데이터 신호측 베이스;

   상기 메인 베이스에 지지된 상태로 상기 데이터 신호측 베이스를 임의의 위치에서 지지하는 복합 크로스 링크;

   상기 데이터 신호측 베이스와 직교 방향으로 설치되어 2개의 상기 메인 베이스에 슬라이드 가능하도록 지지된 상태로 상기 프로브 블록을 지지하는 게이트 신호측 베이스;

   해당 게이트 신호측 베이스 및 상기 데이터 신호측 베이스에 각각 설치되어 상기 프로브 블록을 슬라이드 가능하도록 지지하는 리니어 가이드;

   상기 데이터 신호측 베이스 및 상기 게이트 신호측 베이스를 설정 위치에 각각 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정지그; 및

   다수개의 상기 프로브 블록을 모두 동시에 각각의 설정 위치에 위치결정하여 지지하는 프로브 블록용 위치결정 고정지그;

   를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 데이터 신호측 베이스를 설정 위치에 위치결정하여 고정하는 위치결정 고정링크를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
8. 제6항에 있어서,

   상기 프로브 블록용 위치결정 고정지그가 상기 프로브 블록에 설치된 클립 또는 끼움핀에 끼워 맞춰지는 다수개의 끼움핀 또는 클립과, 각 끼움핀 또는 클립을 설정 위치에서 일체적으로 지지하는 연결판을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 검사장치.

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