KR100285606B1

KR100285606B1 - 웨이퍼 프로버의 카드체인저

Info

Publication number: KR100285606B1
Application number: KR1019990008347A
Authority: KR
Inventors: 이기하
Original assignee: 이건환
Priority date: 1999-03-12
Filing date: 1999-03-12
Publication date: 2001-03-15
Also published as: KR20000060216A

Abstract

본 발명은 웨이퍼 프로버의 카드체인저에 관한 것으로, 종래의 카드체인저는 카드캐리어를 서랍식으로 열고 닫음으로서 반복작업시에 프로브카드의 프로빙정밀도를 저하시키는 요인이 되었으나, 본 발명에서는 프로브카드(24)가 고정되는 카드홀더(25)에 설치된 안착볼(61)이 카드업홀더(23)에 설치된 브이블럭(51)에 안착되도록 구성된 것으로, 프로브카드(24)가 고정되는 카드홀더(25)의 장착시 카드홀더(25)의 안착볼(61)이 카드업홀더(23)의 브이블럭(51)에서 2점접촉을 이루는 상태로 안착되게 됨으로써, 결국은 프로브카드가 정확하게 장착되게 되어 정확한 프로빙이 가능해지는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 프로버의 카드체인저{CARD CHANGER FOR WAFER PROBER}

본 발명은 웨이퍼 프로버의 카드체인저에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 측정시 프로빙 정밀도를 향상시키도록 하는데 적합한 웨이퍼 프로버의 카드체인저에 관한 것이다.

웨이퍼 프로버는 웨이퍼의 제조공정중에 웨이퍼의 결함여부를 측정할 수 있는 장치로서, 이와 같은 웨이퍼 프로버의 개략적인 구성이 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 일반적인 웨이퍼 프로버는 웨이퍼(1)가 장착되는 핫척(2)의 하측에는 X,Y,Z,θ- 스테이지(3)(4)(5)(6)가 설치되어 있고, 그 일측에는 카세트(7)에서 웨이퍼(1)를 핫척(2)의 상면으로 이송하기 위한 로더(8)가 설치되어 있으며, 상측에는 프로버 카드(9)가 장착되는 카드체인저(10)가 설치되어 있고, 그 카드체인저(10)는 테스터(11)에 착,탈가능하게 설치되어 있다.

상기 카드체인저(10)는 업플레인(12)에 카드 캐리어(13)가 서랍식으로 개,폐가능토록 되어 있고, 그 카드캐리어(13)에 설치되어 있는 카드홀더(14)에는 프로브 카드(미도시)를 고정할 수 있도록 되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 웨이퍼 프로버에서 웨이퍼(1)를 검사하는 순서를 설명하면 다음과 같다.

검사하고자 하는 웨이퍼(1)들이 수납되어 있는 카세트(7)가 장비의 일측으로 이송되면 테스터(11)를 카드체인저(10)에서 분리시킨다.

그런 다음, 카드체인저(10)의 카드캐리어(13)를 업플레인(12)에서 끌어내고, 카드홀더(14)에 장착되어 있는 프로브카드(15)를 떼어낸 다음, 검사하고자 하는 프로브 카드(15)를 장착하고, 카드캐리어(13)를 다시 밀어서 프로브 카드(15)가 정위치가 위치하도록 한다.

그런 다음, 테스터(11)를 다시 카드체인저(10)에 밀착시켜서 전기적으로 연결되도록 한다음, 로더(8)를 이용하여 카세트(7)에서 1장의 웨이퍼(1)를 인출하여 핫척(2)의 상면에 올려놓고 고정시킨 상태에서, X,Y,Z,θ- 스테이지(3)(4)(5)(6)를 움직여서 웨이퍼(1)의 패드에 프로브 카드(15)의 탐침(15a)들을 접촉시키고, 웨이퍼(1)의 전기적인 특성검사를 실시하게 된다.

그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 웨이퍼 프로버의 카드체인저는 카드캐리어(13)가 서랍식으로 이동하여 카드홀더(14)에 장착되는 프로브카드(15)를 정위치시키게 되는데, 이와 같은 동작을 반복하는 경우에 마모에 의한 정밀도가 저하되어 프로빙의 반복정밀도가 저하되고, 정확한 프로빙이 곤란해지는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 장기간 반복사용하여도 프로빙의 반복정밀도가 저하되지 않도록 하는데 적합한 웨이퍼 프로버의 카드체인저를 제공함에 있다.

도 1은 일반적으로 웨이퍼의 전기적인 특성검사가 이루어지는 상태를 보인 정면도.

도 2는 종래 카드체인저의 구성을 보인 분해사시도.

도 3은 본 발명 웨이퍼 프로버의 카드체인저 구성을 보인 분해사시도.

도 4는 본 발명에 따른 카드홀더의 구성을 보인 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 카드업홀더의 구성을 보인 사시도.

도 6은 본 발명에 따른 상부고정판의 구성을 보인 사시도.

도 7은 본 발명에 따른 하부고정판의 구성을 보인 사시도.

도 8은 본 발명에 따른 카드업홀더에 설치된 브이블럭에 안착볼이 얹혀진 상태를 보인 상태도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 테스터 21 : 상부고정판

22 : 하부고정판 22a : 절개홈

23 : 카드업홀더 23a : 확장홈

24 : 프로브카드 25 : 카드홀더

31 : 고정핀 41 : 받침레일

51 : 브이블럭 51a : 경사안내면

52 : 플랜지 61 : 안착볼

71 : 실린더로드

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 테스터의 하면에 탄력적으로 고정되며, 하면에 수개의 고정핀이 일정간격으로 설치되어 있는 도우넛 형상의 상부고정판과; 그 상부고정판의 하측에 동일형상으로 고정설치되어 있고, 내주면에 일정간격을두고 수개의 받침레일들이 설치되어 있으며, 일측에 절개홈이 형성되어 있는 하부고정판과; 상기 받침레일들의 상면에 얹혀지는 롤링볼들이 하면에 설치되어 있고, 내주면에는 일정간격을 두고 브이블럭들이 설치되어 있는 링형상의 카드업홀더와; 그 카드업홀더의 상측에 위치되어 프로브카드를 고정할 수 있도록 되어 있고, 상기 브이블럭들의 상측에 얹혀지는 안착볼들이 외주면에 일정간격을 두고 설치되어 있으며, 상면에는 일정간격을 두고 고정홀들이 형성되어 있는 카드홀더와; 상기 하부고정판의 일측에 후단부가 고정되고, 실린더 로드의 전단부는 하부고정판의 절개홈으로 돌출됨과 아울러 상기 카드업홀더의 측면에 고정된 플랜지에 고정되어 있는 에어실린더를 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버의 카드체인저가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 웨이퍼 프로버의 카드체인저를 실시예를 들어 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명 웨이퍼 프로버의 카드체인저 구성을 보인 분해사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 카드홀더의 구성을 보인 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 카드업홀더의 구성을 보인 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 상부고정판의 구성을 보인 사시도이며, 도 7은 본 발명에 따른 하부고정판의 구성을 보인 사시도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명 웨이퍼 프로버의 카드체인저는 테스터(11)에 고정되는 도우넛 형상의 상부고정판(21) 하측에 동일형상의 하부고정판(22)이 고정되어 있고, 그 하부고정판(22)의 내측에는 링형상의 카드업홀더(23)가 일정각도로 회전가능토록 결합되어 있고, 그 카드업홀더(23)의 상측에는 카드업홀더(23)에 위치결정됨과 아울러 프로브카드(24)가 고정되는 카드홀더(25)가 위치되어 있으며, 상기 하부고정판(22)의 일측에는 상기 카드업홀더(23)를 일정각도로 회전시키기 위한 에어실린더(26)가 고정 설치되어 있다.

상기 상부고정판(21)의 하면에는 상기 카드홀더(25)의 상면에 일정간격으로 형성되어 있는 고정홀(25a)에 삽입될 수 있도록 일정간격으로 고정핀(31)이 설치되어 있다.

상기 하부고정판(22)은 내주면에 일정 길이의 받침레일(41)들이 일정간격을 두고 수개 설치되어 있고, 일측 하면에 형성되어 있는 절개홈(22a)이 형성되어 있다.

상기 카드업홀더(23)는 하면에 상기 받침레일(41)들에 얹혀질 수 있도록 롤링볼(53)들이 설치되어 있고, 내주면에는 일정부분 제거되어 형성된 확장홈(23a)이 수개 형성되어 있으며, 그 확장홈(23a)들의 내측에는 상면에 경사안내면(51a)이 형성된 브이블럭(51)들이 설치되어 있고, 일측에는 플랜지(52)가 돌출되도록 고정설치되어 있다.

상기 카드홀더(25)는 외주면에 상기 카드업홀더(23)에 설치된 브이블럭(51)들에 얹혀지는 안착볼(61)들이 설치되어 있다.

상기 에어실린더(26)의 실린더로드(71) 단부는 상기 하부고정판(22)의 절개홈(22a)를 통하여 돌출된 플랜지(52)에 연결핀(72)으로 연결되어 있다.

도면부호중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일부호를 부여하였다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 웨이퍼 프로버의 카드체인저에서 프로브 카드가 착,탈되는 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 프로브카드(24)를 장착하는 동작을 설명한다.

카드홀더(25)가 해체된 상태에서 프로브카드(24)를 카드홀더(25)의 중앙에 고정부착하고, 프로브 카드(24)가 부착된 카드홀더(25)를 카드업홀더(23)의 내측을 통하여 하측에서 상측으로 이송하게 되는데, 이때 카드홀더(25)의 측면에 부착된 안착볼(61)들이 카드업홀더(23)의 확장홈(23a)을 통하여 브이블럭(51)의 장애를 받지 않도록 이송한다.

그런 다음, 상기 에어실린더(26)가 동작하여 실린더로드(71)를 전진시키면, 카드업홀더(23)가 시계반대방향으로 일정각도 회전하게 되는데, 이때 카드홀더(25)의 외측에 설치된 안착볼(61)이 카드업홀더(23)에 설치된 브이블럭(51)의 경사안내면(51a)을 따라 롤링되어 브이블럭(51)의 브이자(V)홈(51b)에 안착되게 되며, 브이자 홈(51b)에 안착된 안착볼(61)들은 도 8에 도시된 바와 같이 각각 2점접촉을 이루는 상태로 안착되어 결국은 카드홀더(25)에 설치된 프로브카드(24)를 검사하기 위한 정확한 위치에 위치시키게 된다.

프로브카드(24)를 해체하는 동작을 상기의 역순으로 진행하면 된다.

즉, 에어실린더(26)를 동작시켜서 실린더로드(71)을 후진시키면, 카드업홀더(23)가 시계방향으로 일정각도 회전하게 되고, 카드홀더(25)에 설치된 안착볼(61)이 카드업홀더(23)에 설치된 브이블럭(51)의 브이자 홈(51b)에서 빠져나와서 경사안내면(51a)을 따라 롤링되어 브이블럭(51)에서 이탈하게 되는데, 이와 같은 상태는 카드홀더(25)에 설치된 안착볼(61)이 카드업홀더(23)의 안착홈(23a)에 위치한 상태로서 카드홀더(25)를 하측으로 이동할 수 있으며, 이와 같이 하측으로 이동된 카드홀더(25)에서 프로브카드(24)를 해체하게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명 웨이퍼 프로버의 카드체인저는 프로브카드가 고정되는 카드홀더에 설치된 안착볼이 카드업홀더에 설치된 브이블럭에 안착되도록 구성된 것으로, 프로브카드가 고정되는 카드홀더의 장착시 카드홀더의 안착볼이 카드업홀더의 브이블럭에서 2점접촉을 이루는 상태로 안착되도록 함으로서, 결국은 프로브카드가 정확하게 장착되게 되어 정확한 프로빙이 가능해지는 효과가 있다.

Claims

테스터의 하면에 탄력적으로 고정되며, 하면에 수개의 고정핀이 일정간격으로 설치되어 있는 도우넛 형상의 상부고정판과; 그 상부고정판의 하측에 동일형상으로 고정설치되어 있고, 내주면에 일정간격을두고 수개의 받침레일들이 설치되어 있으며, 일측에 절개홈이 형성되어 있는 하부고정판과; 상기 받침레일들의 상면에 얹혀지는 롤링볼들이 하면에 설치되어 있고, 내주면에는 일정간격을 두고 브이블럭들이 설치되어 있는 링형상의 카드업홀더와; 그 카드업홀더의 상측에 위치되어 프로브카드를 고정할 수 있도록 되어 있고, 상기 브이블럭들의 상측에 얹혀지는 안착볼들이 외주면에 일정간격을 두고 설치되어 있으며, 상면에는 일정간격을 두고 고정홀들이 형성되어 있는 카드홀더와; 상기 하부고정판의 일측에 후단부가 고정되고, 실린더 로드의 전단부는 하부고정판의 절개홈으로 돌출됨과 아울러 상기 카드업홀더의 측면에 고정된 플랜지에 연결되어 있는 에어실린더를 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버의 카드체인저.
제 1항에 있어서, 상기 브이블럭에는 롤링볼을 안내할 수 있도록 경사안내면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버의 카드체인저.