CN100521100C - 清洗除去用溶剂 - Google Patents

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Abstract

本发明提供在清洗用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型感光性树脂组合物时性能特别优异的清洗除去用溶剂。该清洗除去用溶剂是汉森(Hansen)溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10的溶剂。

Description

清洗除去用溶剂
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物的清洗除去用溶剂。
本申请基于2004年8月20日在日本国提出的特愿2004-241617号及2005年4月28日在日本国提出的特愿2005-132036号要求优选权，并在此引用它们的全部内容。
背景技术
在半导体元件及液晶显示元件的制造中使用的是照相平版印刷技术，而其中要采用正性或负性感光性树脂组合物。
当感光性树脂组合物以涂布液的形式涂布于半导体基板、玻璃基板等基板上时，施以适宜的干燥处理来形成被膜，对其进行选择性曝光，然后进行显影处理，从而就形成了图案化的感光性树脂被膜。
作为向基板上涂布感光性树脂组合物的方法，通常是旋转涂布方法，但是，特别是在趋于大型化的液晶显示元件的制造领域中，已提出了涂布和旋转方式、非旋转方式等涂布方法。
在涂布工序中，排出感光性树脂组合物的喷嘴、涂布装置内壁、基板周边、基板背面、其它配管系统等会被感光性树脂组合物污染，因此需要定期或随时地进行清洗处理。
特别是分散有颜料的材料，例如用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型感光性树脂组合物的清洗除去困难，需要得到清洗性优异的清洗除去液。
还有，作为针对于颜料分散型感光性树脂组合物的清洗除去液，例如已知有专利文献1、2中记载的材料。
[专利文献1]特开2001-188364号公报
[专利文献2]特开2000-273370号公报
但是，由于基板的大型化、新提出的涂布方法等，清洗领域有扩大的趋势，需要进一步提高清洗性能。
发明内容
本发明的目的是提供适用于这种感光性树脂组合物的清洗、特别是在用于形成滤色器或黑矩阵的颜料分散型感光性树脂组合物的清洗方面性能优异的清洗除去用溶剂。
为了达到上述目的，本发明采用以下方案。
本发明提供用于清洗除去感光性树脂组合物的溶剂，其特征在于汉森
(Hansen)溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10。
根据本发明，可以提供清洗性优异的清洗除去用溶剂。
具体实施方式
以下，对本发明进行更详细地说明。
《感光性树脂组合物》
作为本发明中的清洗对象的感光性树脂组合物，没有特别的限定，可以使用目前为止半导体用、液晶用、滤色器用等用途中使用的所有正性、负性、化学放大型、非化学放大型的感光性树脂组合物。
感光性树脂组合物中含有基本树脂成分及光聚合引发剂等感光成分作为必需成分。此外，还可能含有单体成分、表面活性剂、酸成分、含氮的有机化合物、颜料、溶剂等。
特别能发挥清洗效果的感光性树脂组合物是分散有颜料的感光性树脂组合物，更优选是用于形成红(R)、绿(G)、蓝(B)滤色器的感光性树脂组合物、用于形成黑矩阵图案的感光性树脂组合物。
作为上述树脂成分，例如可以列举丙烯酸、甲基丙烯酸等含羧基单体中的至少一种与丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸2-羟丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苯氧酯、甲基丙烯酸苯氧酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、苯乙烯、丙烯酰胺、丙烯腈等中的一种以上形成的共聚物，以及线型酚醛清漆型环氧丙烯酸酯聚合物、线型酚醛清漆型环氧甲基丙烯酸酯聚合物、甲酚线型酚醛型环氧丙烯酸酯聚合物、甲酚线型酚醛型环氧甲基丙烯酸酯聚合物、双酚A型环氧丙烯酸酯聚合物、双酚S型环氧丙烯酸酯聚合物等树脂。
作为上述光聚合引发剂，可以列举1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、双(4-二甲氨基苯基)酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉苯基)-丁烷-1-酮、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、4-苯甲酰基-4’-甲基二甲基硫醚、4-二甲氨基安息香酸、4-二甲氨基安息香酸甲酯、4-二甲氨基安息香酸乙酯、4-二甲氨基安息香酸丁酯、4-二甲氨基-2-乙基己基安息香酸、4-二甲氨基-2-异戊基安息香酸、苄基-β-甲氧基乙基乙缩醛、苄基二甲基酮缩醇、1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-(邻乙氧羰基)肟、邻苄基安息香酸甲酯、2，4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、噻吨、2-氯噻吨、2，4-二乙基噻吨、2-甲基噻吨、2-异丙基噻吨、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰、过氧化异丙苯、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并噻唑、2-(邻氯苯基)-4，5-二(间甲氧基苯基)-咪唑二聚物、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、p，p’-双二甲氨基二苯甲酮、4，4’-双二乙氨基二苯甲酮、4，4’-二氯二苯甲酮、3，3’-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、联苯酰、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻正丁基醚、苯偶姻异丁基醚、苯偶姻丁基醚、苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、对叔丁基苯乙酮、对二甲氨基苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、α，α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮、戊基-4-二甲氨基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、1，7-双-(9-吖啶基)庚烷、1，5-双-(9-吖啶基)戊烷、1，3-双-(9-吖啶基)丙烷、对甲氧基三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-双-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2，4-双-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2，4-双-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2，4-双-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪等。
作为上述颜料，例如可以列举C.I.颜料黄11、24、31、53、83、99、108、109、139、150、154、167、180、185、193；C.I.颜料橙36、38、43；C.I.颜料红105、122、149、150、155、171、175、176、177、209、224、254、264；C.I.颜料紫19、23、32、39；C.I.颜料蓝1、2、15:1、15:2、15:3、16、22、60、66；C.I.颜料绿7、36、37；C.I.颜料棕25、28；C.I.颜料黑1、7碳黑等。
针对这种用于形成滤色器或黑矩阵图案的感光性树脂组合物，已提出了许多方案，例如可优选使用特开2004-69754号公报、特开平11-231523号公报、特开11-84125号公报、特开平10-221843号公报、特开平9-269410号公报、特开平10-90516号公报等中记载的感光性材料等。
<清洗除去用溶剂>
本发明提供特征在于汉森(Hansen)溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10的清洗除去用溶剂。
汉森溶解参数是对溶剂的溶解参数进行定义的方法中的一种，是在例如“INDUSTRIAL SOLVENTS HANDBOOK”(pp.35-68，Marcel Dekker，Inc.，1996年发行)及“DIRECTORY OF SOLVENT”(pp.22-29，BlackieAcademic & Professional，1996年发行)等中记载和定义的参数。
通过选择汉森溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10，优选为6～8的溶剂，或使用将多种溶剂进行组合并适当地调节混合比例使该氢键力参数为5～10，优选为6～8而得到的混合溶剂，可以形成清洗性优异的清洗除去用溶剂。
如果氢键力参数小于上述范围的下限值，则对感光性树脂组合物中的树脂成分、单体成分及光聚合引发剂等有机成分的除去性差，另外，如果超过上述范围的上限值，则易于引起颜料等在感光性树脂组合物中以不溶解方式分散的成分的凝集等，清洗后可能会残留下来。
清洗除去用溶剂可以选择上述氢键力参数(δH)处于5～10，更优选6～8的范围内的一种溶剂进行使用，或者也可以使用由多种溶剂组合形成的混合溶剂。从清洗性方面来看，优选混合溶剂。
在混合溶剂的情况下，只要使混合后的氢键力参数处于上述范围内即可。例如，可以将氢键力参数(δH)处于上述范围内的溶剂进行相互混合，也可以将该范围内的溶剂与该范围外的溶剂进行混合。
混合溶剂的氢键力参数(δH)是通过下式理论性地求出的值。
氢键力参数(δH)＝A×a+B×b+C×c……(式中，A、B、C表示混合中使用的各溶剂的氢键力参数，a、b、c表示以混合溶剂的总质量为“1”时各溶剂的含有比例(基于重量)。)
例如，丙二醇单甲基醚醋酸酯的氢键力参数为6.6，丙二醇单甲基醚为13.6，二甲苯为2.5，因此它们以6：2：2的质量比进行混合而形成的混合溶剂的氢键力参数＝6.6×0.6+13.6×0.2+2.5×0.2＝7.18。
还有，各溶剂的氢键力参数可以使用“INDUSTRIAL SOLVENTSHANDBOOK”(pp.35-68，Marcel Dekker，Inc.，1996年发行)中记载的值。
其中含有丙二醇单甲基醚醋酸酯的清洗除去用溶剂具有除去感光性树脂组合物中的有机成分的作用，是优选的。
作为丙二醇单烷基醚醋酸酯，例如可以列举具有碳数为1～3的直链状或支链状烷基的品种，丙二醇单甲基醚醋酸酯(PGMEA)(氢键力参数＝6.6)是最优选的。
另外，为了获得速干性，也优选丙二醇单烷基醚，其中优选烷基碳数为1～5的品种。特别地，由于丙二醇单甲基醚(PGME)(氢键力参数＝13.6)是优选的溶剂，因此优选将其与上述的丙二醇单烷基醚醋酸酯，特别是PGMEA进行混合，并将混合溶剂的氢键力参数调节到5～10的范围内进行使用。
另外，对于颜料分散型感光性树脂组合物，特别是用于形成黑矩阵图案的黑色颜料(碳)分散型的感光性树脂组合物，如果配合芳香族类溶剂进行使用，则可以获得抑制碳凝集现象的效果。
为了不使碳粒子凝集，从而达到良好地分散，使用具有烷基的芳香族类溶剂是有利的，例如优选单烷基苯、二烷基苯、三烷基苯等。上述芳香族类溶剂中所具有的烷基优选碳原子数为1～5。另外，上述芳香族类溶剂在上述清洗除去用溶剂中的含有比例优选为至少5质量％。
这些物质可以列举，例如甲苯(氢键力参数＝2.0)、二甲苯(氢键力参数＝2.5)、乙苯(氢键力参数＝1.4)、丙苯、1-甲基丙基苯、2-甲基丙基苯、二甲基苯、二乙基苯、乙基甲基苯、三甲基苯、乙基二甲基苯等。这些物质具有1.4～3.1的氢键力参数。
特别优选同时含有二烷基苯和三烷基苯的芳香族类溶剂。优选将这些物质与上述的丙二醇单烷基醚醋酸酯和/或丙二醇单烷基醚进行适当组合，并将混合溶剂的氢键力参数调节至5～10进行使用。
作为同时含有二烷基苯和三烷基苯的芳香族类溶剂，可以采用市售的ソルベッソ100、ソルベッソ150、ソルベッソ200(以上为商品名，エクソン化学社制造)。由于这些商品是石油馏分，因此对这些物质中所含的芳香族化合物进行定量表示是困难的。例如，ソルベッソ100含有乙基甲基苯、甲基丙基苯、二乙基苯、三甲基苯、乙基二甲基苯。
还有，作为芳香族类溶剂，还可以使用茴香醚(甲氧基苯)(氢键力参数＝6.7)等。
如上所述，最优选将丙二醇单烷基醚醋酸酯、丙二醇单烷基醚及芳香族类溶剂三种物质的混合溶剂用于颜料分散型感光性树脂组合物的清洗除去。它们的混合比例没有特别的既定，只要适当地调节使混合溶剂的氢键力参数达到5～10即可。上述混合比例优选为丙二醇单烷基醚醋酸酯：丙二醇单烷基醚：芳香族类溶剂＝1～9：0.1～3：1(质量比)，更优选为2～4：0.5～1.5：1(质量比)。
另外，在本发明的清洗除去用溶剂中，优选含有感光性树脂组合物的树脂成分的良溶剂。该良溶剂可列举感光性树脂组合物中使用的溶剂。
此处所述的树脂成分是指，作为用于形成滤色器的感光性树脂组合物及用于形成黑矩阵图案的感光性树脂组合物的构成成分而已知的上述列举的树脂成分。特别是在作为清洗对象的感光性树脂组合物中所含的树脂成分为预先知悉的情况下，优选含有该感光性树脂组合物中所含的溶剂。
作为感光性树脂组合物的树脂成分的良溶剂的例子，可以列举乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单丙基醚、乙二醇单丁基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇二丙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、丙二醇二甲基醚、丙二醇二乙基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单苯基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、乙二醇单甲基醚醋酸酯、乙二醇单乙基醚醋酸酯、乙二醇单丙基醚醋酸酯、乙二醇单丁基醚醋酸酯、乙二醇单苯基醚醋酸酯、二甘醇单甲基醚醋酸酯、二甘醇单乙基醚醋酸酯、二甘醇单丙基醚醋酸酯、二甘醇单丁基醚醋酸酯、二甘醇单苯基醚醋酸酯、丙二醇单甲基醚醋酸酯、丙二醇单乙基醚醋酸酯、丙二醇单丙基醚醋酸酯、2-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲氧基丁基醋酸酯、4-甲氧基丁基醋酸酯、2-甲基-3-甲氧基丁基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基醋酸酯、3-乙基-3-甲氧基丁基醋酸酯、2-乙氧基丁基醋酸酯、4-乙氧基丁基醋酸酯、4-丙氧基丁基醋酸酯、2-甲氧基戊基醋酸酯、3-甲氧基戊基醋酸酯、4-甲氧基戊基醋酸酯、2-甲基-3-甲氧基戊基醋酸酯、3-甲基-3-甲氧基戊基醋酸酯、3-甲基-4-甲氧基戊基醋酸酯、4-甲基-4-甲氧基戊基醋酸酯、丙酮、甲乙酮、二乙基酮、甲基异丁基酮、乙基异丁基酮、四氢呋喃、环己烷、丙酸甲酯、丙酸乙酯、丙酸丙酯、丙酸异丙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、乙基-3-丙氧基丙酸酯、丙基-3-甲氧基丙酸酯、异丙基-3-甲氧基丙酸酯、乙氧基醋酸乙酯、羟基醋酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、醋酸丙酯、醋酸丁酯、醋酸异戊酯、碳酸乙酯、碳酸丙酯、碳酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、丙酮酸丁酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乳酸乙基己酯、苄基甲基醚、苄基乙基醚、二己基醚、醋酸苄基酯、安息香酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、苯、甲苯、二甲苯、环己酮、丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、二甘醇、甘油等。其中优选的品种可以列举上述的丙二醇单烷基醚醋酸酯、丙二醇单烷基醚。
<表面活性剂>
在本发明的清洗除去用溶剂中，优选配入表面活性剂。还有，本发明的清洗除去用溶剂解释为除所述的溶剂(单种物质溶剂或混合溶剂)外，还包括含有溶剂和除此之外的成分的清洗除去用组合物。
作为上述表面活性剂，可以使用作为用于形成滤色器的感光性树脂组合物及用于形成黑矩阵图案的感光性树脂组合物的构成成分而已知的表面活性剂，但是在作为清洗对象的感光性树脂组合物中所含的表面活性剂为预先知悉的情况下，优选与其同类的表面活性剂。
作为表面活性剂的例子，可以列举氟-硅类表面活性剂。其中优选键合有全氟烷基酯基、烷基硅氧烷基、乙烯氧基和丙烯氧基的非离子性氟-硅类表面活性剂(E-1)。作为具体的例子，例如可以列举メガファックR-08、R-60(制品名，大日本油墨化学工业社制)等。
另外，还优选氟含量为10～25质量％且硅含量为3～10质量％的表面活性剂成分(E-2)。作为具体例子，可以列举X-70-090、X-70-091、X-70-092、X-70-093(制品名，信越化学工业社制)等。
另外，还优选具有特定的硅氧烷骨架的聚酯改性聚二烷基硅氧烷类表面活性剂(E-3)。作为具体例子，可以列举BYK-310、BYK-315(制品名，ビックケミ—社制)等。
作为上述(E-1)～(E-3)之外的表面活性剂的具体例子，可以列举フロラ—ドFC-430、FC431(制品名，住友3M社制)、エフトップEF122A、EF122B、EF122C、EF126(制品名，ト—ケムプロダクツ社制)等氟类表面活性剂。
表面活性剂可以单独使用一种，也可以同时使用两种以上。
本发明的清洗除去用溶剂中的表面活性剂的含量优选为，在该组合物中表面活性剂的浓度为0.0001～1.0质量％，更优选为0.001～1.0质量％。
如果表面活性剂的配合量在上述范围的下限值以上，则可以获得添加表面活性剂的效果。另外，通过使其处于上述范围的上限值以下，可以防止清洗后残留的清洗液与感光性树脂组合物进行接触时，使感光性树脂组合物中的表面活性剂的浓度增大到所需水平以上。如果感光性树脂组合物中的表面活性剂的浓度过高，则易产生泡沫，反而易于产生涂布不均，而且可能使涂膜中出现针孔。
另外，在作为清洗对象的感光性树脂组合物中所含的表面活性剂的浓度为预先知悉的情况下，使清洗除去用溶剂中的表面活性剂浓度与该浓度为同等程度，这从表面自由能的均衡性角度来看是优选的。
本发明的清洗除去用溶剂除了用于在基板上涂布感光性树脂组合物后，除去基板上所不需要的感光性树脂组合物外，还适合用于清洗涂布工序中所使用的涂布装置的喷嘴、辊子、配管等上附着的感光性树脂组合物。
根据本发明，可以提供清洗感光性树脂组合物时清洗性优异的清洗除去用溶剂。
本发明的清洗除去用溶剂特别是对用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型感光性树脂组合物具有优异的清洗性。
本发明的清洗除去用溶剂可以仅由一种溶剂构成，但是为了满足清洗性、干燥性、防止所清洗的颜料的沉降等各种特性，使用了多种溶剂的混合溶剂可以容易地设计出达到性能均衡的清洗液，是优选的。
如果采用本发明的氢键力参数(δH)为上述范围的清洗除去用溶剂，则如上所述，不但对感光性树脂组合物中的树脂成分、单体成分及光聚合引发剂等成分有良好的除去性，还可以抑制颜料等的凝集，从而获得良好的清洗性。
另一方面，通过采用含有感光性树脂组合物中的树脂成分的良溶剂的清洗除去用溶剂，可以抑制分散在用该溶剂清除的感光性树脂组合物中的碳等颜料粒子的凝集，使颜料在清洗除去用溶剂中得到有效和良好地分散。即，如果清洗除去用溶剂中的颜料的分散性差，则已清洗除去的颜料粒子易于发生凝集而沉降到被清洗面上，但是本发明可以防止这种情况，不会在清洗后产生残留。
特别是使用芳香族类溶剂时，可以抑制碳的凝集、沉降，因此是优选的。特别是如果使其含有带烷基和/或烷氧基的芳香族类溶剂，则可以使碳得到有效和良好地分散，因而是优选的。
一般认为这是因为芳香环的π电子有助于对碳的亲和性，烷基和/或烷氧基有助于对感光性树脂组合物的树脂成分的良溶剂的亲和性，结果使得清洗除去用溶剂和碳具有了良好的亲和性。
因此，其对用于形成黑矩阵图案的黑色颜料(特别是碳)分散型的感光性树脂组合物特别有效。
另外，在对喷出喷嘴前端部分进行清洗的情况下，如果处于清洗液附着于喷嘴等上的状态，则清洗后再喷出感光性树脂组合物时，喷嘴上附着的清洗液会溶入感光性树脂组合物中，使感光性树脂组合物的组成发生变化。这种情况可能会导致感光性树脂组合物的涂布性等变差，例如有时会成为发生涂布不均的起因。特别是在感光性树脂组合物中配入了表面活性剂的情况下，与清洗液的接触导致该表面活性剂浓度的下降，易于产生涂布不均。
根据本发明，可以提供干燥性(速干性)优异的清洗除去用溶剂，由此就可以抑制清洗液向感光性树脂组合物的溶入。特别是含有丙二醇单烷基醚时，可有效地提高干燥性。
而且，如果使用含有表面活性剂的清洗除去用溶剂，则即使感光性树脂组合物中溶入了残留的清洗液，也可以抑制感光性树脂组合物中的表面活性剂活性剂的浓度下降，从而防止涂布不均的发生。
实施例
以下对本发明的实施例进行说明，但本发明的范围并不局限于这些实施例。
在下述的实施例及比较例中，采用以下评价方法评价各种特性。
(干燥性评价)
用相对于PGMEA的比较时间表示。具体来说表示以下值，即，在施加空调达到气温为23±1℃，湿度为45±5％，760±10mmHg的室内，用聚乙烯制滴管将1g试样(清洗液)滴落到3英寸硅片的表面中心部位，用旋涂机进行每分钟2000次的旋转，目视观察直至试样(清洗液)干燥，将用该方法得到的干燥时间(X秒)用使用PGMEA作为试样时的干燥时间(Y秒)除之后得到的值。
(清洗性评价)
将用于形成黑矩阵图案的感光性树脂组合物“CFRP BK-5005SL”(商品名，东京应化工业株式会社制)附着在玻璃制的1毫升吸液管内。然后用1毫升的清洗除去用溶剂对该吸液管内部进行10次清洗处理，之后目视确认清洗情况。完全无清洗残留物时评价为A，出现少许清洗残留物但在实用上不出现问题时评价为B，清洗残留物多、实用上有问题时评价为C。
(颜料沉降性的评价)
在直径12mm、长度1000mm的管状玻璃容器中，注入CFRPBK-5005SL/清洗液＝1/9(质量比)的混合液，竖直静置时分别抽取10ml的上层部分和下层部分，将其涂布于玻璃基板上，通过目视和显微镜观察是否有颜料凝集。确认有大量凝集或沉降、在实用上有问题时评价为C，确认有少许凝集或沉降、而实用上不出现问题时评价为B，确认没有凝集或沉降时评价为A。
(涂布不均的评价)
采用与上述颜料沉降性的评价相同的方法分别抽取10ml的上层部分和下层部分试样，旋转涂布到基板上，目视确认涂布不均。无涂布不均时评价为A，确认稍有涂布不均但在实用上不出现问题时评价为B，确认有涂布不均、实用上有问题时评价为C。
[实施例1]
配制由PGMEA(氢键力参数＝6.6)构成的清洗液。
[实施例2]
配制PGMEA：PGME＝7：3(质量比)(氢键力参数＝8.7)的混合清洗液。
[实施例3]
配制PGMEA：PGME：ソルベッソ100＝6：2：2(质量比)(氢键力参数＝7.1)的混合清洗液。
[实施例4]
在实施例3的清洗液中配入50ppm表面活性剂(商品名：Additol XL121；ソム—シア社制)，制成清洗液。
[实施例5]
配制茴香醚：甲苯：PGMEA：PGME＝＝2：1：5：2(质量比)(氢键力参数＝7.56)的混合清洗液。
[实施例6]
在实施例5的清洗液中配入50ppm表面活性剂(商品名：Additol XL121；ソム—シア社制)，制成清洗液。
[比较例1]
将ソルベッソ100(氢键力参数＝2)作为清洗液使用。
[比较例2]
将N，N-二甲基乙酰胺(氢键力参数＝10.2)作为清洗液使用。
[比较例3]
将PGME(氢键力参数＝13.6)作为清洗液使用。
使用上述各实施例及比较例的清洗液，进行干燥性、清洗性、颜料凝集沉降性及涂布不均的各种评价。结果示于下述表1中。
表1
 
氢键力参数       表面活性剂       干燥性 清洗性 颜料的凝集沉降性 涂布不均
实施例1 6.6 无 1 B B B
实施例2 8.7 无 0.9 B B B
实施例3 7.1 无 1 A A B
实施例4 7.1 有 1 A A A
实施例5 7.56 无 1 A A B
实施例6 7.56 有 1 A A A
比较例1 2.0 无 1.2 C C C
比较例2 10.2 无 >6 C C C
比较例3 13.6 无 0.9 B C C
上述结果表明，实施例1～6的清洗除去用溶剂(清洗液)的干燥性及清洗性在实用上没有问题，是良好的。
特别是含有芳香族类溶剂的实施例3～6，不发生颜料的凝集沉降，是良好的。
另外，配入了表面活性剂的实施例4、6未产生涂布不均，是良好的。

Claims (6)

1、一种颜料分散型感光性树脂组合物的清洗除去用溶剂，其特征在于含有丙二醇单烷基醚醋酸酯、丙二醇单烷基醚及芳香族类溶剂，且丙二醇单烷基醚醋酸酯：丙二醇单烷基醚：芳香族类溶剂＝1～9：0.1～3：1(质量比)，所述溶剂的汉森(Hansen)溶解参数中的氢键力参数(δH)为5～10。
2、根据权利要求1所述的清洗除去用溶剂，其中芳香族类溶剂含有选自单烷基苯、二烷基苯及三烷基苯中的至少一种。
3、根据权利要求2所述的清洗除去用溶剂，其中芳香族类溶剂同时含有二烷基苯及三烷基苯。
4、根据权利要求1所述的清洗除去用溶剂，其中感光性树脂组合物是用于形成红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意一种滤色器的感光性树脂组合物。
5、根据权利要求1所述的清洗除去用溶剂，其中感光性树脂组合物是黑矩阵图案形成用感光性树脂组合物。
6、根据权利要求1所述的清洗除去用溶剂，其中含有表面活性剂。
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