CN101044435B - 感光性组合物除去液 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于除去含有颜料的感光性组合物的感光性组合物除去液，其含有从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，和从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物和环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及根据需要含有碳原子数为9以上的芳香族烃类。该感光性组合物除去液对感光性组合物的除去性能优良。

Description

感光性组合物除去液
技术领域
本发明涉及感光性组合物除去液。本发明特别涉及为了除去在玻璃基板、半导体元件等上形成感光性组合物皮膜的工序中，在基板的周围部分、边缘部分、或者背面部分的未固化的感光性组合物皮膜，或者除去付着在装置部件、器具的表面上的未固化的感光性组合物的除去液。
本发明的感光性组合物除去液，特别是在制造用于液晶、有机EL、图像传感器中的滤色器时，在基板上形成感光性组合物皮膜的工序中，对除去残留在基板的周围部分、边缘部分、或者背面部分的含有未固化颜料的感光性组合物皮膜，或者对除去在装置部件、器具的表面上付着的含有未固化颜料的感光性组合物有用。
背景技术
在液晶、有机EL、等离子显示器等的平面显示器或者半导体的制造工序中，通常使用光刻技术来形成感光性组合物的图案。
在制造用于液晶、有机EL、图像传感器等中的滤色器时，作为RGB或者树脂黑色矩阵的图案形成方法可以使用颜料分散法、染色法、印刷法、电沉积法等。颜料分散法是使用含有颜料的感光性组合物通过光刻技术进行各种颜色的构图的方法，由于可以获得稳定的着色皮膜，所以是制造滤色器的合适方法。根据这种方法在基板上形成感光性组合物皮膜的情况下，包含将含有颜料的感光性组合物在基板上涂布的工序，作为其涂布方法，已知旋涂、窄缝涂、金属棒涂、辊涂、浸涂、喷涂、或者这些方法的组合等的方法。
在进行旋涂的情况下，为除去感光性组合物涂覆后在基板的周围部分、边缘部分的感光性组合物膜的溢部分或在背面上付着的感光性组合物，通常要用感光性组合物除去液进行清洗处理，即所谓边缘清洗、背面清洗。进一步，在旋涂中要进行除去飞散在杯上的感光性组合物的工序，即在杯清洗时，利用感光性组合物除去液进行感光性组合物除去处理。
另外，在制造滤色器时作为感光性组合物涂布工序，除了上述旋涂方法以外，还可进行利用窄缝涂布方法的感光性组合物涂布和利用金属棒的涂布、利用锟式涂胶机的涂布，但在这些方法中，在涂布感光性组合物后，也需要分别实施除去付着在窄缝模头、金属棒等，涂布装置的一部分或全部的不需要的感光性组合物。
进一步，除此之外，有需要实施除去付着在用于运送感光性组合物的装置管道等、涂布装置部件上的感光性组合物的情况。通常，除去这样的感光性组合物要使用除去液进行洗净处理。
在任何这样的付着在基板及装置上的感光性组合物的除去工序中，感光性组合物成分的残留成为问题。用于制造滤色器的含有颜料的感光性组合物，即用于形成RGB的彩色抗蚀剂或用于形成树脂黑色矩阵的黑色抗蚀剂，颜料成分在基板、装置的表面上容易残留，这些即使一点点就会形成异物，有可能造成滤色器制造的不良率增加，或者滤色器的颜色纯度变化或分辨率下降。近年来，基板的大画面化、高精细化、以及低成本化的要求提高，用于彩色显示器中的滤色器，在这样的状况下，避免给滤色器的性能、成品率带来影响的感光性组合物成分的残留变得越来越重要。
一直以来，作为感光性组合物除去剂，通常大多使用二醇醚或其酯，或者它们的混合物(例如，参照特公平4-49938号公报)，但是将这些应用于的洗净除去彩色抗蚀剂时，抗蚀剂除去性不充分，必须使用大量除去液，有发生除去后残留的问题。
另外，在除去含有颜料的着色组合物时，也有使用在感光性组合物中使用的溶剂成分或者表面活性剂、分散剂等感光性组合物中含有的成分的方法(例如、参照特开2000-273370号公报)，但是仅仅将在感光性组合物中含有的溶剂成分作为清洗剂使用的情况下，颜料容易沉降，不能获得充分的洗净性能。另外，在洗涤液组合物中含有表面活性剂、分散剂等的感光性组合物中所含有的成分的情况下，存在如下问题，即该成分容易作为蒸发残留成分残留在基板、装置部件上，需要进一步的清洗工序，或者对于不允许蒸发残留成分的基板的端面、背面的感光性组合物的除去实际上不能应用。
发明内容
本发明的目的是提供对感光性组合物除去性能优良的感光性组合物除去液。
特别是提供在液晶、有机EL、图像传感器等的制造工程中在基板上形成感光性组合物皮膜的工序中，对在基板的周围部分、边缘部分或者背面部分残留的含有颜料的感光性组合物皮膜的除去，或者对在装置部件、器具的表面上付着的含有颜料的感光性组合物的除去有效的除去液。
另外，在本说明书中，有时将从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类选出的至少一种溶剂作为成分1，将从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类选出的至少一种溶剂作为成分2，将碳数为9以上的芳香族烃类作为成分3。
本发明者们为了解决上述课题反复进行了深入的研究，结果发现，通过使用由特定组成构成的除去液可以提高对含有颜料的感光性组合物的洗净除去性，从而完成了本发明。
即，本发明，例如，包含以下事项。
1.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的有色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)99～70质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，以及
(2)1～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂。
2.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的有色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)98～40质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂、
(2)1～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及
(3)50质量％以下的碳原子数为9以上的芳香族烃类。
3.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的红色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)99～80质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，以及
(2)1～20质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂。
4.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的红色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)98～50质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂、
(2)1～20质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂溶剂，以及
(3)30质量％以下的碳原子数为9以上的芳香族烃类。
5.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的绿色、蓝色或者黑色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)95～70质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，以及
(2)5～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂。
6.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的绿色、蓝色或者黑色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)94～40质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂、
(2)5～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及
(3)30质量％以下的碳原子数为9以上的芳香族烃类。
7.上述2、4或者6中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，碳原子数为9以上的芳香族烃类是沸点为150～250℃的烷基苯类。
8.上述1～7的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂是从N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、γ-丁内酯组成的组中选出的至少一种。
9.上述1～8的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类是从丙二醇单甲醚乙酸酯及乙酸3-甲氧基丁基酯组成的组中选出的至少一种。
10.上述1～8的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，烷氧基羧酸酯类是从3-甲氧基丙酸甲酯及3-乙氧基丙酸乙酯组成的组中选出的至少一种。
11.上述1～8的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，脂环状酮类是从环己酮、环戊酮、及甲基环己酮组成的组中选出的至少一种。
12.上述1～11的任一项中所述的感光性组合物除去液，用于除去含有有色颜料的丙烯酸类感光性组合物。
13.上述1～12的任一项中所述的感光性组合物除去液，用于除去感光前的含有颜料的感光性组合物。
14.一种装置，是利用上述1～13的任一项中所述的感光性组合物除去液除去含有有色颜料的感光性组合物的装置。
15.一种通过上述14中所述的装置得到的滤色器。
16.一种配备有上述15中所述的滤色器的装置。
17.一种基板，是利用上述1～13的任一项中所述的感光性组合物除去液除去处理含有有色颜料的感光性组合物后的基板。
本发明的感光性组合物除去液，可以有效的应用于，在制造液晶、有机EL、图像传感器时，在基板上形成感光性组合物皮膜的工序中，对残留在基板的周围部分、边缘部分、或者背面部分的含有颜料的感光性组合物皮膜的除去，或者对在装置部件、器具的表面上付着的含有颜料的感光性组合物的除去。
具体实施方式
在下面，对本发明的感光性组合物除去液的优选样态予以说明。
本发明的感光性组合物除去液(以下有时简称“除去液”)是用于除去含有颜料的有色感光性组合物的除去液，并且含有从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂(成分1)，及从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂溶剂(成分2)。
用于本发明的烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类(成分1)，由于对感光性组合物中含有的树脂成分溶解性高，因而适合作为感光性组合物除去液的主要成分被使用。作为成分1的具体例子，作为烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类可以列举，乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯等，作为烷氧基羧酸酯类可以列举，2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯等，作为脂环状酮类可以列举，环己酮、环戊酮、甲基环己酮等，但本发明不仅仅限于这些例子。
从感光性组合物的除去性、获得的容易程度、安全性的观点出发，这其中优选丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、环己酮、环戊酮。本发明的除去液中含有的烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类，可以单独使用，也可两种以上组合应用。
从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂(成分2)，在可进一步提高感光性组合物除去液的除去性能、即提高树脂成分的溶解性及颜料的除去性能这一点上是有效的。作为具体的例子，链状酰胺类可以列举甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲等，环状酰胺可以列举N-甲基-2-吡咯烷酮、N-甲基咪唑啉二酮等，含硫化合物可以列举二甲亚砜、环丁砜等，环状酯类可以列举γ-丁内酯等。但本发明不仅仅限于这些例子。
这其中，从提高感光性组合物的溶解除去性这一点上，优选N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲亚砜、及γ-丁内酯。本发明的除去液中含有的成分2可以单独使用，也可以两种以上组合用。
成分1及成分2的优选比例，成分1为99％～70％，成分2为1～30％。
成分2以进一步提高成分1的感光性组合物的除去性能作为目的，而含在本发明的感光性组合物除去液中，但在含有蒽醌类颜料，例如，C.I.(Color Index，美国颜料索引)颜料红177、二酮基吡咯并吡咯类颜料，例如，C.I.颜料红254等颜料的红色感光性组合物的情况下，本发明的感光性组合物除去液中含有的成分2如果含量在1％以上，则可发挥提高除去性能的效果。在含有颜料的红色感光性组合物的情况下，作为除去液组合物，特别优选含有成分1为99～80％，成分2为1～20％的范围。如果在这个范围，由于对于红色感光性组合物，本发明的感光性组合物除去液的洗净性能高，并且不容易发生红色颜料的凝集沉降，所以更加优选。
在含有如酞菁类颜料，例如，C.I.颜料蓝-15，15:1，15:4，15:6，C.I.颜料绿36，炭黑等颜料的绿色、蓝色、黑色感光性组合物的情况下，本发明的感光性组合物中含有的成分2的含量为5％以上时，可发挥进一步提高除去性能的效果。在绿色、蓝色、黑色的感光性组合物的情况下，在成分1为95％～70％、成分2为5％～30％的范围，本发明的感光性组合物除去液效果变得特别高，颜料难以发生凝集沉淀，所以更加优选。
本发明的除去液，除了从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂(成分1)，及从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂(成分2)以外，通过含有50质量％以下量的碳原子数为9以上的芳香族烃类(成分3)可进一步提高感光性组合物中所含的颜料的除去性。
本发明中所含的碳原子数为9以上的芳香族烃(成分3)，优选被烷基取代的芳香族烃，可以列举烷基苯类、烷基萘类等。烷基，可以是直链状的，也可是支链状的，也可以是2个以上的取代基连接起来成为环状。芳香族烃的碳原子数虽然为9以上，但优选12以下。作为成分3的具体例子，可以列举1，2，3-三甲基苯、1，2，4-三甲基苯、1，3，5-三甲基苯、1-乙基-2-甲基苯、1-乙基-3-甲基苯、1-乙基-4-甲基苯、正丙基苯、异丙基苯、正丁基苯、仲丁基苯、异丁基苯、1，2，3，4-四甲基苯、1，2，3，5-四甲基苯、1，2，4，5-四甲基苯、1，2-二甲基-3-乙基苯、1，2-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-2-乙基苯、1，3-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-5-乙基苯、1，4-二甲基-2-乙基苯、1-甲基-2-丙基苯、1-甲基-3-丙基苯、1-甲基-4-丙基苯、1-甲基-2-异丙基苯、1-甲基-3-异丙基苯、1-甲基-4-异丙基苯、1，2-二乙基苯、1，3-二乙基苯、1，4-二乙基苯、戊基苯、甲基丁基苯、乙基丙基苯、二甲基丙基苯、甲基二乙基苯、三甲基乙基苯、五甲基苯、己基苯、甲基戊基苯、乙基丁基苯、二甲基丁基苯、二丙基苯、甲基乙基丙基苯、三甲基丙基苯、三乙基苯、二甲基二乙基苯、四甲基乙基苯、六甲基苯、1，2-二氢化茚、四氢化萘等的烷基苯类，甲基萘、二甲基萘等的烷基萘类，但本发明不仅局限于这些例子。
这些芳香族烃在感光性组合物除去液中可以单独含有，也可作为两种以上的组合含有。
这其中，沸点在150～250℃的烷基苯类由于感光性组合物的除去性能，特别是含有颜料的感光性组合物的除去性能高，进一步具有适合感光性组合物除去的干燥性，所以优选。
这其中特别优选的烷基苯类，是碳原子数为9或10的烷基苯，作为具体例子可以列举，1，2，3-三甲基苯、1，2，4-三甲基苯、1，3，5-三甲基苯、1-乙基-2-甲基苯、1-乙基-3-甲基苯、1-乙基-4-甲基苯、正丙基苯、异丙基苯、正丁基苯、仲丁基苯、异丁基苯、1，2，3，4-四甲基苯、1，2，3，5-四甲基苯、1，2，4，5-四甲基苯、1，2-二甲基-3-乙基苯、1，2-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-2-乙基苯、1，3-二甲基-4-乙基苯、1，3-二甲基-5-乙基苯、1，4-二甲基-2-乙基苯、1-甲基-2-丙基苯、1-甲基-3-丙基苯、1-甲基-4-丙基苯、1-甲基-2-异丙基苯、1-甲基-3-异丙基苯、1-甲基-4-异丙基苯、1，2-二乙基苯、1，3-二乙基苯、1，4-二乙基苯等。
在实际使用本发明的除去液时，虽然上述芳香族烃可以通过任何方法来调制，但芳香族成分比例高的溶剂石油脑的使用是有效的，在本发明的除去液中可以适当使用芳香族烃的混合物，例如，以碳原子数9为中心的烷基苯类混合溶剂：商品名为シエリソルA(商标：シエル化学社制，初馏点160℃，干点182℃)、ソルベッソ100(商标：エクソン化学社制，初馏点164℃，干点176℃)、スワゾ—ル1000(商标：丸善石油化学社制，初馏点161℃，干点179℃)、イプゾ—ル100(商标：出光石油化学社制，初馏点162℃，干点179℃)、ハイゾ—ル100(商标：日本石油化学社制，初馏点155℃，干点180℃)、ソルファインTM(商标：昭和电工社制，初馏点160℃，干点180℃)；以碳原子数10为中心的烷基苯类混合溶剂：商品名シエルソルAB(商标：シエル化学社制，初馏点187℃，干点213℃)、ソルベッソ150(商标：エクソン化学社制，初馏点188℃，干点209℃)、スワゾ—ル1500(商标丸善石油化学社制，初馏点180.5℃，干点208.5℃)、イプゾ—ル150(商标出光石油化学社制，初馏点186℃，干点205℃)、ハイゾ—ル150(商标：日本石油化学社制，初馏点182℃，干点216℃)、ソル7ァインWZ(商标：昭和电工社制，初馏点195℃，干点250℃)；以碳原子数10以上为中心的烷基苯类-烷基萘类混合溶剂：商品名スワゾ—ル1800(商标：丸善石油化学社制，初馏点195.5℃，干点245℃)等。
成分3是以维持颜料的分散、进一步提高感光性组合物的除去性能为目的，在本发明的感光性组合物除去液的成分1及成分2中追加含有的。
在本发明的感光性组合物除去液含有成分1、成分2及成分3的情况下，成分1、成分2及成分3的优选比例为，成分1为98～40％，成分2为1～30％，成分3为30％以下。
如果含有成分3为30％以下，不会使感光性组合物中所含有的树脂成分的溶解性能降低，可以进一步提高感光性组合物中所含颜料的除去性能，所以是合适的。
含有成分1、成分2及成分3的本发明的感光性组合物除去液，在用于除去含有蒽醌类颜料，例如，C.I.颜料红177、二酮基吡咯并吡咯类颜料，例如，C.I.颜料红254等颜料的红色感光性组合物的情况下，如果本发明的感光性组合物除去液中所含的成分2的含量为1％以上，成分3的含量为30％以下，可发挥除去性能提高的效果。即，在含有颜料的红色感光性组合物的情况下，作为除去液组合物更加优选含有成分1为99～50％，成分2为1～20％，成分3为30％以下的范围。如果在这个范围，本发明的感光性组合物除去液对于红色感光性组合物的洗净性能高，并且难以发生红色颜料的凝集沉降。
含有成分1、成分2及成分3的本发明的感光性组合物除去液，在用于除去含有如酞菁类颜料，例如，C.I.颜料蓝-15，15:1，15:4，15:6，C.I.颜料绿36，炭黑等颜料的绿色、蓝色、黑色感光性组合物的情况下，通过使本发明的感光性组合物除去液中所含的成分2的含有量为5％以上，成分3的含有量为30％以下，可发挥提高除去性能的效果。即，在用于除去绿色、蓝色、黑色感光性组合物的情况下，在成分1为95～40％，成分2为5～30％，成分3为30％以下的范围，本发明的感光性组合物除去液效果特别高，并且难以发生颜料的凝集沉降，所以优选。
以下，对适用本发明除去液的有色感光性树脂组合物予以详细说明。
本发明的除去液可适用的有色感光性组合物，通常是用于液晶、有机EL、图像传感器等的滤色器的形成工序中的含有颜料的有色感光性组合物。这里的有色感光性组合物是通过含有颜料而着色了的感光性组合物，一般含有用碱可显影的皮膜形成物质、感光性物质及颜料等。
作为有色感光性组合物中含有的皮膜形成物质，可以列举丙烯酸类树脂、酚醛清漆树脂、聚酰亚胺类树脂、聚乙烯基酚类树脂等，本发明可特别适合用于将丙烯酸类树脂作为皮膜形成物质而含有的有色感光性组合物的除去。作为皮膜形成物质使用的丙烯酸类树脂，是碱可溶性的、分子量为1,000～500,000程度的高分子聚合物或者共聚物，适合使用含有羧基的烯属不饱和单体及其它的烯属不饱和单体的共聚物。
作为有色感光性组合物中所含有的感光性物质，在丙烯酸类树脂作为皮膜形成物质的情况下，可以列举出，六芳基双咪唑类化合物、三嗪类化合物、氨基苯乙酮类化合物、增敏色素与有机硼盐类化合物的组合、二茂钛类化合物、噁二唑类化合物等。
作为有色感光性组合物中可含有的颜料，只要是用于制造通常滤色器的颜料就可以没问题的使用，可以单独使用或任意使用黑色、黄色、红色、蓝色、绿色等的有机、无机颜料的混合物。作为颜料的具体例，可以列举炭黑、乙炔黑、灯黑、碳纳米管、石墨、黑锑粉、氧化铁类黑色颜料、苯胺黑、花青黑、钛黑、C.I.颜料黄20、24、83、86、93、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154、166、C.I.颜料橙36、43、51、55、59、61、C.I.颜料红9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254、C.I.颜料紫19、23、29、30、37、40、50、C.I.颜料蓝15、15∶4、15∶6、22、27、60、64、C.I.颜料绿7、10、36、37、C.I.颜料棕23、25、26等。
有色感光性组合物中除了上述的皮膜形成物质、感光性物质及颜料以外，可以进一步配合烯属不饱和单体。烯属不饱和单体是在活性光线照射下，用光聚合引发剂产生的自由基可聚合的化合物。
在适用本发明的除去液的有色感光性组合物中，除了上述成分以外，还可以适当配合有机溶剂、颜料分散剂、粘付提高剂、均化剂、显影改良剂、抗氧化剂、热聚合禁止剂等。
本发明的感光性组合物除去液，可适用于除去在被洗净物上涂布或者付着状态的有色感光性组合物，特别是可适合用于除去感光前的有色感光性组合物。有色感光性组合物可以是含有溶剂的状态，也可是溶剂挥发后的状态。
作为除去有色感光性组合物的除去方法，可以列举，将本洗净液从喷嘴等以棒状、液滴状或者雾状吹向涂布了或者付着了有色感光性组合物的被洗净物从而除去的方法；将付着了有色感光性组合物的被洗净物浸渍在本发明的除去液中的方法等。为了有效地进行除去，可以并用利用超声波辐射、刷子等的物理性洗净。
本发明的除去液，可以适合用于除去在用于液晶、有机EL、图像传感器等的滤色器的制造的有色感光性组合物的涂布工序中，在基板的周围部分、边缘部分、或者背面部分付着的、不需要的未固化的有色感光性组合物，或者付着在涂布装置的一部分或者全部的不需要的未固化的有色感光性组合物。
本发明的除去液，也可以适合地用于除去在基板上用旋涂法涂布有色感光性组合物时，基板周围部分、边缘部分、或者背面部分的未固化的有色感光性组合物，即作为所谓的边缘清洗、背部清洗的清洗剂，或者洗净除去旋涂时杯上飞散的有色感光性组合物，即所谓的杯清洗。
作为旋涂以外的在基板上涂布有色感光性组合物的涂布方法，已知窄缝法、金属棒法、或者辊涂法等，在除去付着在窄缝模头和金属棒、印刷板等，涂布装置的部件和器具的表面的未固化的有色感光性组合物时，本发明的除去液也可以被适当使用。
另外，本发明的另一样态，是使用上述除去液通过上述方法被除去未固化的感光性组合物后的基板、或者液晶、有机EL、及图像传感器等的制造用装置、以及通过该装置而得到的滤色器。
以下举出实施例来进一步说明本发明，当然本发明不受这些实施例的任何限定。
另外，洗净性，是在除去液中浸渍3分钟后，通过目视观察感光性着色组合物的溶解状况用下面3个级别来评价的。
○...完全除去
△...部分溶解
×...几乎未溶解
制备例1丙烯酸类共聚物的制备
向配有滴液漏斗、温度计、冷凝管、搅拌器的四口烧瓶中加入12.0质量份甲基丙烯酸(MA)、14.0质量份甲基丙烯酸甲酯(MMA)、43.0质量份甲基丙烯酸正丁基酯(BMA)、6.0质量份丙烯酸2-羟乙基酯(HEMA)和225.0质量份乙酸乙基溶纤剂(EGA)，用氮气置换四口烧瓶内部1小时。进一步，油浴加热到90℃之后，利用1小时滴加12.0质量份MA、14.0质量份MMA、43.0质量份BMA、6.0质量份HEMA、225.0质量份EGA、及3.2质量份2，2’-偶氮二异丁腈(AIBN)的混合液。聚合3小时后，加入1.0质量份AIBN和15.0质量份EGA的混合液，进一步升温至100℃，聚合1.5小时后冷却。如此得到的丙烯酸类共聚物的固体浓度为22.1质量％，酸价为92mgKOH/g，通过GPC测定的经聚苯乙烯换算的质量平均分子量为22,000。
制备例2感光性着色组合物A：黑色感光性着色组合物的制备
将从制备例1中得到的30.0质量份(固体6.6质量份)丙烯酸类共聚物、5.0质量份EGA，3.3质量份フロ—レンDOPA-33(商标：共荣社化学株式会社制，分散剂，固体浓度30质量％)、6.6质量份Special Black4(デグサ社制炭黑)混合后，放置一夜。进一步搅拌1小时后，在三辊轧机(株式会社小平制作所制，型号RIII-1RM-2)中通过4次。通过向得到的黑色墨中加入EGA调整浓度，得到固体浓度为18.0质量％的黑色着色组合物。
向如此得到的100质量份黑色着色组合物中进一步添加4.4质量份二季戊四醇六丙烯酸酯，2.2质量份2-(4-甲氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪以及25质量份EGA，充分搅拌后得到感光性着色组合物A.
制备例3感光性着色组合物B：绿色感光性着色组合物的制备
将从制备例1中得到的30.0质量份(固体6.6质量份)丙烯酸类共聚物、5.0质量份EGA，3.3质量份フロ—レンDOPA-33(商标：共荣社化学株式会社制，分散剂，固体浓度30质量％)、6.6质量份颜料绿-36混合后，放置一夜。进一步搅拌1小时后，在三辊轧机(株式会社小平制作所制，型号RIII-1RM-2)中通过4次。通过向得到的绿色墨中加入EGA调整浓度，得到固体浓度为18.0质量％的绿色着色组合物。
向如此得到的100质量份绿色着色组合物中进一步添加4.4质量份二季戊四醇六丙烯酸酯，0.7质量份的4，4’-双(N，N-二乙基氨基)二苯甲酮，2.3质量份2，2’-双(邻氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-双咪唑，3.8质量份三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯以及42质量份EGA，充分搅拌后得到感光性着色组合物B.
制备例4感光性着色组合物C：红色感光性着色组合物的制备
将从制备例1中得到的30.0质量份(固体6.6质量份)丙烯酸类共聚物、5.0质量份EGA，3.3质量份フロ—レンDOPA-33(商标：共荣社化学株式会社制，分散剂，固体浓度30质量％)、6.6质量份颜料红-177混合后，放置一夜。进一步搅拌1小时后，在三辊轧机(株式会社小平制作所制，型号RIII-1RM-2)中通过4次。通过向得到的红色墨中加入EGA调整浓度，得到18.0质量％固体浓度的红色着色组合物。向100质量份该红色组合物中进一步添加4.4质量份二季戊四醇六丙烯酸酯，3.0质量份イルガキュア369(チバスペシャリテイケミカルズ社制)，3.8质量份三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯以及42质量份EGA，充分搅拌后得到感光性着色组合物C。
实施例1
将在制备例2～4中制备的感光性着色组合物A～C滴加一滴到玻璃板上(28mm×76mm)，在室温干燥24小时。
将其在80g丙二醇单甲醚乙酸酯与20g N，N-二甲基乙酰胺的混合除去液中浸渍3分钟，静置，洗净除去表面上涂布的感光性着色组合物。其结果示于表1。
实施例2～9，比较例1～6
使用表1中所示组成的除去液，与实施例1同样进行感光性着色组合物的除去。其结果示于表1。
Figure S06800164820061023D000161
产业上的可利用性
本发明提供在液晶和有机EL、图像传感器等的制造中在基板上形成感光性组合物皮膜的工序中，对在基板的周围部分、边缘部分或者背面部分残留的含有颜料的感光性组合物皮膜的除去，或者对在装置部件、器具的表面付着的含有颜料的感光性组合物的除去有用的感光性组合物除去液。

Claims (13)

1.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的有色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)99～70质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，以及
(2)1～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，
所述烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类，选自乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯，
所述烷氧基羧酸酯类，选自2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯，
所述链状酰胺类，选自甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲，
所述含硫化合物，选自二甲亚砜、环丁砜。
2.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的有色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)98～40质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂、
(2)1～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及
(3)50质量％以下的碳原子数为9～12的芳香族烃类，
所述烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类，选自乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯，
所述烷氧基羧酸酯类，选自2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯，
所述链状酰胺类，选自甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲，
所述含硫化合物，选自二甲亚砜、环丁砜。
3.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的红色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)99～80质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，以及
(2)1～20质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，
所述烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类，选自乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯，
所述烷氧基羧酸酯类，选自2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯，
所述链状酰胺类，选自甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲，
所述含硫化合物，选自二甲亚砜、环丁砜。
4.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的红色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)98～50质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂、
(2)1～20质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及
(3)30质量％以下的碳原子数为9～12的芳香族烃类，
所述烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类，选自乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯，
所述烷氧基羧酸酯类，选自2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯，
所述链状酰胺类，选自甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲，
所述含硫化合物，选自二甲亚砜、环丁砜。
5.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的绿色、蓝色或者黑色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)95～70质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂，以及
(2)5～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，
所述烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类，选自乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯，
所述烷氧基羧酸酯类，选自2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯，
所述链状酰胺类，选自甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲，
所述含硫化合物，选自二甲亚砜、环丁砜。
6.一种感光性组合物除去液，是含有颜料的绿色、蓝色或者黑色感光性组合物的除去液，其特征在于，含有
(1)94～40质量％的从烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类、烷氧基羧酸酯类及脂环状酮类中选出的至少一种溶剂、
(2)5～30质量％的从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂，以及
(3)30质量％以下的碳原子数为9～12的芳香族烃类，
所述烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类，选自乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、双丙甘醇单甲醚乙酸酯、乙酸-3-甲氧基丁酯、乙酸-3-甲基-3-甲氧基丁酯，
所述烷氧基羧酸酯类，选自2-甲氧基乙酸甲酯、2-乙氧基乙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、β-甲氧基异丁酸甲酯，
所述链状酰胺类，选自甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺，N，N-二甲基乙酰胺，四甲基脲，
所述含硫化合物，选自二甲亚砜、环丁砜。
7.权利要求2、4或者6中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，碳原子数为9～12的芳香族烃类是沸点为150～250℃的烷基苯类。
8.权利要求1～7的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，从链状酰胺类、环状酰胺类、含硫化合物及环状酯类中选出的至少一种溶剂是从N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、γ-丁内酯组成的组中选出的至少一种。
9.权利要求1～8的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，烷撑二醇单烷基醚羧酸酯类是从丙二醇单甲醚乙酸酯及乙酸3-甲氧基丁基酯组成的组中选出的至少一种。
10.权利要求1～8的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，烷氧基羧酸酯类是从3-甲氧基丙酸甲酯及3-乙氧基丙酸乙酯组成的组中选出的至少一种。
11.权利要求1～8的任一项中所述的感光性组合物除去液，其特征在于，脂环状酮类是环己酮、环戊酮、及甲基环己酮组成的组中选出的至少一种。
12.权利要求1～11的任一项中所述的感光性组合物除去液，用于除去含有有色颜料的丙烯酸类感光性组合物。
13.权利要求1～12的任一项中所述的感光性组合物除去液，用于除去感光前的含有颜料的感光性组合物。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI276929B (en) * 2003-12-16 2007-03-21 Showa Denko Kk Photosensitive composition remover
WO2008072193A2 (en) * 2006-12-15 2008-06-19 Liquid Colours (Pty) Ltd Security composition
CN102093918B (zh) * 2009-12-11 2014-07-09 济南开发区星火科学技术研究院 一种汽油辛烷值改进剂及制备方法
CN105143984B (zh) * 2013-03-07 2017-09-05 株式会社Lg化学 用于去除光阻剂的剥离剂组合物及使用其剥离光阻剂的方法
JP6100669B2 (ja) * 2013-10-11 2017-03-22 Ｊｘエネルギー株式会社 洗浄液組成物
KR102414295B1 (ko) * 2016-01-22 2022-06-30 주식회사 이엔에프테크놀로지 포토레지스트 제거용 박리액 조성물
KR102465602B1 (ko) * 2018-08-31 2022-11-11 주식회사 이엔에프테크놀로지 신너 조성물
CN116171404A (zh) * 2020-08-11 2023-05-26 株式会社力森诺科 溶剂组合物
WO2023092278A1 (zh) * 2021-11-23 2023-06-01 才将科技股份有限公司 一种清洗粘结层的组合物及其应用

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1103964A (zh) * 1994-09-14 1995-06-21 山东大学 去胶剂组合物

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3248781B2 (ja) 1993-06-28 2002-01-21 東京応化工業株式会社 レジスト洗浄除去用溶剤及びそれを使用する電子部品製造用基材の製造方法
JPH07160008A (ja) * 1993-12-06 1995-06-23 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd レジスト形成用塗布物あるいはレジストの洗浄除去用溶剤及びそれを使用する電子部品製造用基材の製造方法
KR100234532B1 (ko) * 1996-09-21 1999-12-15 윤종용 반도체 제조공정의 포토레지스트 세정용 시너 조성물 및 그를 이용한 반도체장치의 제조방법
JP3978255B2 (ja) * 1997-06-24 2007-09-19 Ａｚエレクトロニックマテリアルズ株式会社 リソグラフィー用洗浄剤
FR2773813B1 (fr) * 1998-01-21 2001-09-07 Rhodia Chimie Sa Composition pour decaper les peintures a base d'une cetone cyclique
JP2000204302A (ja) * 1998-11-13 2000-07-25 Masao Umemoto 塗料剥離剤
JP2000164671A (ja) * 1998-11-27 2000-06-16 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
JP2001194806A (ja) * 1999-10-25 2001-07-19 Toray Ind Inc レジスト剥離方法
JP4564683B2 (ja) * 2001-05-21 2010-10-20 大日本印刷株式会社 樹脂膜除去装置およびその方法
JP2003167114A (ja) * 2001-11-30 2003-06-13 Toshiba Corp 平面表示装置の製造方法
KR100483846B1 (ko) * 2002-10-15 2005-04-19 삼성전자주식회사 신너 조성물 및 이를 사용한 포토레지스트의 스트립핑 방법
KR101215429B1 (ko) * 2003-10-20 2012-12-26 주식회사 동진쎄미켐 포토레지스트 제거용 씬너 조성물
TWI276929B (en) * 2003-12-16 2007-03-21 Showa Denko Kk Photosensitive composition remover
KR101142868B1 (ko) * 2004-05-25 2012-05-10 주식회사 동진쎄미켐 포토레지스트 제거용 씬너 조성물

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1103964A (zh) * 1994-09-14 1995-06-21 山东大学 去胶剂组合物

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