CN100480545C - 螺杆装置 - Google Patents

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Abstract

一种能够在循环滚动体之际遮断从螺杆装置内部发出的声音的螺杆装置。螺杆装置包括：螺杆轴(1)，其外周面形成有螺旋状的滚动体滚道槽(1a)；螺母主体(2)，其内周面形成有与螺杆轴(1)的滚动体滚道槽(1a)对置的螺旋状的负载滚动体滚道槽(2a)，并且内部设置有使在螺杆轴(1)的滚动体滚道槽(1a)和负载滚动体滚道槽(2a)之间的负载滚动体滚道路(10)上滚动的滚动体(3)返回的滚动体返回通路(6)；循环构件(9)，其安装在螺母主体(2)的端面的沿内周的一部分形成的凹部(8)，形成连接负载滚动体滚道路(10)和滚动体返回通路(6)的方向转换路(5)；遮音构件(11)，其安装在装有螺母主体(2)的端面，覆盖循环构件(9)，并且内周面与螺杆轴(1)接触。

Description

螺杆装置
技术领域
本发明涉及一种在螺杆轴和螺母之间能够滚动运动地夹有滚动体的螺杆装置。
背景技术
在螺杆轴和螺母之间能够滚动运动地夹有滚珠的滚珠螺杆，与滑动接触的螺杆相比，能够降低使螺杆轴相对于螺母旋转时的摩擦系数，因此，能够实用于工作机械的定位机构、进给机构或汽车的转向齿轮等各种领域。
滚珠螺杆的螺母，按照滚珠的循环方式，可分类为回管(return pipe)式、偏转(deflector)式、端盖(end cap)式。回管式螺母是最常用的螺母，在滚珠的循环中使用回管。利用回管将滚珠从螺杆轴抬起，通过回管中返回到原来的位置进行循环。偏转式螺母为紧凑型螺母。利用偏转器使滚珠改变行进方向，越过螺杆轴外周面返回到原来的位置进行循环。端盖方式的螺母为适于高速进给的螺母。利用端盖将滚珠从螺杆轴抬起，通过螺母的贯通孔返回到原来的位置进行循环。关于端盖式滚珠螺杆，在专利文献1中公开。
专利文献1：国际公开第WO2003/021133号小册子
不过，这些滚珠螺杆的螺母中，存在着当滚珠在螺母内部循环之际发出声音的问题。作为现有的滚珠螺杆的遮音技术，已知例如在滚珠间夹有隔离环、防止滚珠彼此接触的技术。
在用以使滚珠循环的滚珠循环路径中，设有使滚珠转换方向的转弯部。滚珠与转弯部的壁面接触而发出声音。仅在滚珠间夹有隔离环，能够防止滚珠彼此接触，却不能降低由于滚珠与转弯部接触而发出的声音，这是一种不够彻底的遮音措施。特别是在回管式螺母中，形成转弯部的回管露出于外部，因此，容易从露出的回管发出声音。另外，在偏转式螺母中，形成转弯部的偏转器也露出于外部，因此，存在同样的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够遮断从螺杆装置内部发出的声音的螺杆装置。
以下，关于本发明进行说明。为了容易理解本发明，以加括弧形式标注附图的参照符号，不过，并不是由此将本发明限定于图示的方式。
用以解决上述课题的第1项发明，其特征在于，包括：螺杆轴(1)，其外周面形成有螺旋状的滚动体滚道槽(1a)；螺母主体(2)，其内周面形成有与所述螺杆轴(1)的所述滚动体滚道槽(1a)对置的螺旋状的负载滚动体滚道槽(2a)，并且内部设置有使在所述负载滚动体滚道槽(2a)和所述螺杆轴(1)的所述滚动体滚道槽(1a)之间的负载滚动体滚道路(10)上滚动的滚动体(3)返回的滚动体返回通路(6)；循环构件(9)，其安装在所述螺母主体(2)的端面的沿内周的一部分形成的凹部，形成连接所述负载滚动体滚道路(10)和所述滚动体返回通路(6)的方向转换路(5)；遮音构件(11)，其安装在装有所述螺母主体(2)的端面，以所述循环构件(9)不会露出到外部的方式覆盖所述循环构件(9)以降低从所述循环构件(9)发出的声音，并且内周面与所述螺杆轴(1)接触。
第2项发明，根据第1项发明所述的螺杆装置，其特征在于，所述遮音构件(11)由浸渍润滑剂的自润滑材料构成。
第3项发明，根据第1项或第2项发明所述的螺杆装置，其特征在于，所述遮音构件(11)与所述循环构件(9)接触。
第4项发明，根据第1～3项中任一项发明所述的螺杆装置，其特征在于，包括盖构件(13)，所述盖构件(13)介由所述遮音构件(11)安装在装有所述循环构件(9)的所述螺母主体(2)上，且具有贯通所述螺杆轴(1)的贯通孔(13a)，所述盖构件(13)由混合有弹性体的树脂构成。
第5项发明，根据第1～4项中任一项发明所述的螺杆装置，其特征在于，所述循环构件(9)由混合有弹性体的树脂构成。
第6项发明，根据第1～5项中任一项发明所述的螺杆装置，其特征在于，所述滚动体(3)间夹有隔离环(4)，所述滚动体(3)为陶瓷制，在所述螺杆轴(1)上形成有沿轴线方向延伸的中空部，在该中空部填充有陶瓷材料作为振动吸收体(15)。
第7项发明的螺杆装置，其特征在于，包括：螺杆轴(1)，其外周面形成有螺旋状的滚动体滚道槽(1a)；螺母主体(2)，其内周面形成有与所述螺杆轴(1)的所述滚动体滚道槽(1a)对置的螺旋状的负载滚动体滚道槽(2a)，并且设置有使在所述负载滚动体滚道槽(2a)和所述螺杆轴(1)的所述滚动体滚道槽(1a)之间的负载滚动体滚道路(10)上滚动的滚动体(3)返回的滚动体返回通路(6)；循环构件(9)，其安装在所述螺母主体(2)的端面，形成连接所述负载滚动体滚道路(10)和所述滚动体返回通路(6)的方向转换路(5)；和盖构件(13)，其安装在所述螺母主体(2)或所述循环构件(9)上，以所述循环构件(9)不会露出到外部的方式覆盖所述循环构件(9)以降低从所述循环构件(9)发出的声音，且具有贯通所述螺杆轴(1)的贯通孔(13a)，所述盖构件(13)由混合有弹性体的树脂构成。
第8项发明的螺杆装置，根据第7项发明所述的螺杆装置，其特征在于，所述循环构件(9)由混合有弹性体的树脂构成。
(发明的效果)
根据第1项发明，由于采用循环构件及滚动体返回通路不易露出到外部的所谓端盖式螺母，而且用遮音构件覆盖循环构件，因此，能够有效地将在循环构件的方向转换路(转弯部)发出的声音进行遮音，获得低噪音的螺杆装置。另外，由于遮音构件与螺杆轴接触，因此，也不会从遮音构件和螺杆轴之间产生的间隙向外部漏出声音。
根据第2项发明，即使遮音构件与螺杆轴接触，由自润滑材料构成的遮音构件也能够相对于螺杆轴顺畅滑动。
根据第3项发明，通过使遮音构件与循环构件接触，能够进一步降低从循环构件发出的声音。
根据第4项发明，由混合有弹性体的树脂构成的盖构件吸收声音，因此能够进一步降低从螺杆装置发出的声音。
根据第5项发明，用混合有弹性体的树脂制造接触滚动体的循环构件，从而，能够降低滚动体与循环构件接触之际从循环构件发出的声音。
根据第6项发明，通过使滚动体为陶瓷制，能够降低从滚动体发出的声音，通过在滚动体间夹有隔离环，能够防止滚动体彼此的接触，另外，通过在螺杆轴中填充陶瓷材料，能够降低从螺杆轴发出的声音。因而获得更低噪音的螺杆装置。
根据第7项发明，由混合有弹性体的树脂构成的盖构件降低从螺杆装置发出的声音。
根据第8项发明，用混合有弹性体的树脂制造接触滚动体的循环构件，从而能够降低接触滚动体之际从循环构件发出的声音。
附图说明
图1是本发明的一实施方式的滚珠螺杆的立体图。
图2是螺杆轴的立体图。
图3是表示螺母主体的图(图(A)表示沿螺母主体的轴线方向的剖视图，图(B)表示从螺母主体的轴线方向看的螺母主体的主视图)。
图4是螺母主体及循环构件的立体图。
图5是循环构件的详细图(分开内周侧和外周侧的状态)。
图6是循环构件的详细图(结合内周侧和外周侧的状态)。
图7是表示在负载滚珠滚道路、圆弧状的方向转换路及直线状的滚珠返回通路上循环的滚珠的轨道的图(图(A)表示在负载滚珠滚道路上移动的滚珠的轨道(从螺杆轴的轴线方向看的状态)，图(B)表示在整个无限循环路上循环的滚珠的轨道(从螺杆轴侧方看的状态))。
图8是表示滚珠的抬起方向的图，(图(A)表示从螺杆轴的轴线方向看的状态，图(B)表示从螺杆轴侧方看的状态)。
图9是表示遮音构件的主视图。
图10是表示盖构件的图(图(A)表示主视图，图(B)表示图(A)的X—X线剖视图)。
图11是在设置遮音构件的情况(有板)和不设置遮音构件的情况(无板)下比较噪音水平的图表。
图12是在盖构件使用了标准件(トレカ)的情况下和使用了低噪音材料(混合有弹性体的树脂)的情况下比较噪音水平的图表。
图中，1a—滚珠滚道槽(滚动体滚道槽)，1—螺杆轴，2—螺母主体，2b—端面，2a—负载滚珠滚道槽(负载滚动体滚道槽)，3—滚珠(滚动体)，4—隔离环，5—方向转换路，6—滚珠返回通路，8—凹部，9—循环构件，10—负载滚珠滚道路(负载滚动体滚道路)，11—遮音构件，13—盖构件，13a—贯通孔，14—螺杆轴主体，15—振动吸收体。
具体实施方式
图1是表示作为本发明一实施方式的螺杆装置的滚珠螺杆的立体图。滚珠螺杆具备螺杆轴1和螺母主体2，螺杆轴1外周面形成有螺旋状的作为滚动体滚道槽的滚珠滚道槽1a，螺母主体2内周面形成与滚珠滚道槽1a对置的螺旋状的作为负载滚动体滚道槽的负载滚珠滚道槽2a。在螺杆轴1的滚珠滚道槽1a和螺母主体2的负载滚珠滚道槽2a之间，作为滚动体配置有多个滚珠3。在滚珠3之间夹有防止滚珠3彼此接触的隔离环4。
若使螺母主体2与螺杆轴1相对旋转，则多个滚珠3在滚珠滚道槽1a和负载滚珠滚道槽2a之间的负载滚珠滚道路10上滚动。滚动到了负载滚珠滚道路10一端的滚珠3在方向转换路5处被抬起，经由作为滚动体返回通路的滚珠返回通路6返回到原来的位置。
在螺母主体2内部，形成与螺母主体2的轴线平行延伸的贯通孔17。在该贯通孔17中插入管体(没有图示)，在管体内部形成沿轴线方向延伸的滚珠返回通路6。
在螺母主体2的轴线方向两端面，形成凹部8(还参照图3)，在该凹部8安装构成方向转换路5的循环构件9。方向转换路5具有连接负载滚珠滚道路和滚珠返回通路6的圆弧状轨道。循环构件9将在螺杆轴1的滚珠滚道槽1a上滚动的滚珠3抬起，使其通过方向转换路5后，引导向滚珠返回通路6。循环构件9通过螺栓等紧固机构与螺母主体2的端面结合。
在螺母主体2的端面，安装有覆盖循环构件9并且整个内周面与螺杆轴1接触的遮音构件11。遮音构件11与螺母主体2的端面2b及循环构件9密接。遮音构件11的外形与螺母主体2的外形大致相同。
盖构件13以之间夹着遮音构件11的状态安装在螺母主体2上。盖构件13具有贯通螺杆轴1的孔，不会与螺杆轴1接触。在盖构件13和遮音构件11间的空隙部13c中，装入迷宫式密封或清洁环(环状密封构件)，用以去除异物以及防止从螺母主体2内部泄漏润滑剂。
该实施方式中，由于采用了循环构件9及滚动体返回通路6不露出于外部的所谓端盖式螺母，因此，与回管式螺母和偏转式螺母相比，不易从螺母自身发出声音。而且，用遮音构件11覆盖循环构件9，因此，能够有效地将在循环构件9的方向转换路5发出的声音进行遮音。另外，由于遮音构件11与螺杆轴1接触，因此，也不会从遮音构件11和螺杆轴1之间产生的间隙向外部漏出声音。
以下，关于螺杆轴1、螺母主体2、循环构件9、遮音构件11、盖构件13，按照顺序进行详细叙述。
图2表示螺杆轴1。在螺杆轴1的外周形成具有规定螺纹导程的螺旋状滚珠滚道槽1a。该实施方式中，为了增加额定载重且缩短螺母主体2的全长，而将滚珠滚道槽1a的条数设定为2条。另外，与2条滚珠滚道槽相应地设有2个上述循环构件9及管体。当然，滚珠滚道槽1a的条数也能够分别设定为一条、二条、三条等。
螺杆轴1由具备中空部的金属制螺杆轴主体14和无间隙地填满该中空部的作为振动吸收体15的陶瓷材料构成。振动吸收体15以粉体、粉状体或流动体的状态填充在螺杆轴主体14的中空部内，在该中空部内成形为与中空部契合的形状。
本实施方式中，将以水硬性粉体及非水硬性粉体为主成分的水硬性组成物(商品名：ジ—マ、住友セメント制)加压填充在螺杆轴主体14的中空部内，对其进行水热合成，从而将由陶瓷材料构成的振动吸收体15与螺杆轴主体14一体化。在此，所谓水硬性粉体意思是遇水硬化的粉体，可例示出例如硅酸钙化合物粉体、钙铝酸盐化合物粉体、氟化钙铝酸盐化合物粉体、硫化钙铝酸盐化合物粉体、钙铝铁酸盐化合物粉体、磷酸钙化合物粉体、半水或无水石膏粉体、具有自硬性的生石灰粉体、2种以上的这些粉体的混合物粉体，作为它的代表例，能够举出例如硅酸盐水泥这样的粉体。
另外，所谓非水硬性粉体，意思是单体即使与水接触也不会硬化的粉体，不过，也包括在碱性或酸性状态、或者高压蒸气气氛中，其成分析出、并与其他已析出成分反应形成生成物的粉体。通过添加这种非水硬性粉体，能够提高成形体成形时的填充率，能够减少所获取的成形体的空隙率，从而能够提高成形体的尺寸稳定系数。作为非水硬性粉体的代表例，能够举出例如氢氧化钙粉体、二水石膏粉末、碳酸钙粉体、炉渣粉末、烟灰、硅石粉末、粘土粉末、硅粉(silica fume)等。
通过这样向螺杆轴1中填充陶瓷材料，能够降低从螺杆轴1发出的声音。
图3表示螺母主体2。图3(A)表示沿螺母主体2的轴线方向的剖视图，图3(B)表示从螺母主体2的轴线方向看的螺母主体2的主视图。在螺母主体2的内周面形成与螺杆轴1的滚珠滚道槽1a对置的螺旋状负载滚珠滚道槽2a。另外，在螺母主体2上，形成沿螺母主体2的轴线方向延伸的贯通孔17。对于贯通孔17而言，中央部17a形成小径，中央部两侧的两端部17b其直径比中央部17a形成得稍大。在贯通孔17的中央部17a插入管体，在两端部17b插入循环构件9。在螺母主体2的轴线方向的端面，形成用以将循环构件9安装在螺母主体2上的凹部8。管体及循环构件9设置为与滚珠滚道槽1a的条数相等的数目(该实施方式为2组)，使分别在2条滚珠滚道槽1a中滚动的滚珠3循环。
图4表示螺母主体2及循环构件9的立体图。如上所述，在螺母主体2的端面2b形成凹部8，循环构件9安装在凹部8。
图5及图6表示循环构件9的详细图。循环构件9在方向转换路5的中心两分成内周侧20和外周侧24。循环构件9的内周侧20具有：形成截面半圆状的方向转换路5的主体部22、和安装在螺母主体2端面的凸缘部21。在主体部22，形成从负载滚珠滚道路10抬起滚珠3的抬起部23。抬起部23向螺杆轴1的滚珠滚道槽1a突出，从而确保抬起部23的强度。抬起部23将在螺旋状的负载滚珠滚道路10上滚动的滚珠3沿其切线方向抬起。
循环构件9的外周侧24具有：形成截面半圆状的方向转换路5的主体部25和凸缘部26。通过组合循环构件9的内周侧20和外周侧24，形成截面圆形的方向转换路5。方向转换路5具有圆弧状轨道。由抬起部23沿负载滚珠滚道路10的切线方向抬起的滚珠3，经由方向转换路5转换方向，沿着圆弧状的起伏而移动。方向转换路5的一端5a与构成无负载滚珠返回通路6的管体连接。
图7表示在螺旋状负载滚珠滚道路10、圆弧状的方向转换路5及直线状的滚珠返回通路6上循环的滚珠3的轨道。图(A)表示在负载滚珠滚道路10上移动的滚珠3的轨道(从螺杆轴1的轴线方向看的状态)，图(B)表示在整个无限循环路上循环的滚珠3的轨道(从螺杆轴1侧方看的状态)。在负载滚珠滚道路10上的滚珠3的轨道，呈半径BCD/2的螺旋状。在滚珠返回通路6上的滚珠3的轨道，呈平行于螺杆轴1的轴线1c的直线。在方向转换路5上的滚珠3的轨道，呈曲率半径R的圆弧。在这些负载滚珠滚道路10、方向转换路5及无负载返回通路6的连接点，滚珠3的轨道的切线方向是连续的。从而，使它们的连接顺畅。
循环构件9由混合有弹性体的树脂构成。循环构件9通过配合弹性体颗粒和树脂例如尼龙颗粒，将它们熔融后注射成形而制造。
循环构件9抬起滚珠3、或使滚珠3转换方向，从而循环构件9和滚珠3的接触声音容易增大。用混合有弹性体的树脂制造接触滚珠3的循环构件9，从而能够降低滚珠3与循环构件9接触之际从循环构件9发出的声音。
图8是表示滚珠3的抬起方向。如图8(A)所示，在从螺杆轴1的轴线方向看的状态下，滚珠3沿负载滚珠滚道路10的圆形状轨道的切线方向被抬起。另外，如图8(B)所示，在从螺杆轴1侧方看的状态下，滚珠3沿与螺纹导程角一致的方向被抬起。
图9表示遮音构件11。遮音构件11形成薄的圆盘状。与螺杆轴1的轴线方向正交的截面，形成不是正圆的异形的圆形状。尽管螺杆轴的轴线方向的位置不同，也具有相同的截面形状。在遮音构件11上，在中心部分形成与正交于螺杆轴1轴线方向的截面形状相符、不是正圆的异形的圆形状孔。从而，能够使遮音构件11的内周和螺杆轴1的外周接触。若使遮音构件11沿螺杆轴1的轴线方向移动，则遮音构件11相对于螺杆轴1旋转。在遮音构件11上形成沿周方向延伸的长孔12，使得能够将遮音构件11可靠地与螺母主体2密接。在该长孔12中贯通有用以将盖构件13安装在螺母主体2上的安装螺栓。
还有，该实施方式中，形成一种使遮音构件11的内径与螺杆轴1的直角截面形状一致、无间隙的状态，不过，只要能够实现遮音的目的，从加工上的公差方面而言，在遮音构件11和螺杆轴1之间有少许间隙也没关系。
遮音构件11由浸渍了润滑剂的自润滑材料构成。自润滑材料能够举出在纤维状构件中浸渍了润滑剂的LaCS(THK公司的注册商标)、将橡胶硫化时浸入润滑剂而使润滑剂和橡胶同时成形的含油橡胶(例如，含油HNBR)、在毡(felt)中浸渍了润滑剂的含油毡等。对遮音构件11和螺杆轴1的接触面，供给遮音构件11自身所有的润滑剂。另外，遮音构件11为了吸收声音而使用柔软的材料。遮音构件11的厚度，由于安装空间的制约而设定为例如1.5mm以下。另外，从刚性观点而言，遮音构件11的厚度，在LaCS及含油毡的情况下设定为1mm以上，在含油橡胶的情况下设定为0.3mm以上。
图10表示盖构件13。在盖构件13上形成贯通螺杆轴1的贯通孔13a。贯通孔13a的内径Φd比螺杆轴1的外形大，在盖构件13和螺杆轴1之间，空出少许间隙。盖构件13具有与遮音构件11密接的密接部13b和密封收容部13c。若利用螺栓等结合机构将盖构件13与螺母主体2结合，则遮音构件11被夹在盖构件13和螺母主体2之间。
盖构件13由混合有弹性体的树脂构成。盖构件13通过配合弹性体颗粒和树脂例如尼龙颗粒，将它们熔融后注射成形而制造。
由混合有弹性体的树脂构成的盖构件13吸收声音，因此能够降低从滚珠螺杆发出的声音。
另外，由于滚珠3为陶瓷制，从而能够降低从滚珠3发出的声音，通过在滚珠3间夹有隔离环4，能够防止滚珠3彼此接触。
还有，本发明并不限定于上述实施方式，在不变更本发明宗旨的范围内能够进行各种变更。只要遮音构件、盖构件、循环构件任意一个采用上述实施方式的构成，就具有降低声音的效果，因此，也可以使其余部分采用现有那样的构成。滚动体也可以代替滚珠而使用辊。
实施例
图11是在设置遮音构件11的情况(有板)和不设置遮音构件11的情况(无板)下比较噪音水平的图表。遮音构件11采用含油橡胶制的结构。对滚珠螺杆从试验装置离开1m时，使滚珠螺杆工作时的噪音和不使滚珠螺杆工作时的暗噪音进行测定，根据这些测定值求得噪音水平。可知：通过设定遮音构件11，能够减少1.6dBA。
图12是在盖构件13使用了标准品(トレカ)的情况和使用了低噪音材料(混合有弹性体的树脂)的情况下比较噪音水平的图表。该图表中，两种情况均没有设置遮音构件。可知：通过使盖构件13使用低噪音材料，能够使噪音水平减少3.1dBA。
本说明书以2004年10月29日申请的特愿2004—316586为基础。其内容全部包含于此。

Claims (12)

1.一种螺杆装置，其特征在于，包括：
螺杆轴，其外周面形成有螺旋状的滚动体滚道槽；
螺母主体，其内周面形成有与所述螺杆轴的所述滚动体滚道槽对置的螺旋状的负载滚动体滚道槽，并且内部设置有使在所述负载滚动体滚道槽和所述螺杆轴的所述滚动体滚道槽之间的负载滚动体滚道路上滚动的滚动体返回的滚动体返回通路；
循环构件，其安装在所述螺母主体的端面的沿内周的一部分形成的凹部，形成连接所述负载滚动体滚道路和所述滚动体返回通路的方向转换路；
遮音构件，其安装在所述螺母主体的端面，以所述循环构件不会露出到外部的方式覆盖所述循环构件以降低从所述循环构件发出的声音，并且内周面与所述螺杆轴接触。
2.根据权利要求1所述的螺杆装置，其特征在于，
所述遮音构件由浸渍润滑剂的自润滑材料构成。
3.根据权利要求1或2所述的螺杆装置，其特征在于，
所述遮音构件与所述循环构件接触。
4.根据权利要求1或2所述的螺杆装置，其特征在于，
包括盖构件，所述盖构件介由所述遮音构件安装在装有所述循环构件的所述螺母主体上，且具有贯通所述螺杆轴的贯通孔，
所述盖构件由混合有弹性体的树脂构成。
5.根据权利要求3所述的螺杆装置，其特征在于，
包括盖构件，所述盖构件介由所述遮音构件安装在装有所述循环构件的所述螺母主体上，且具有贯通所述螺杆轴的贯通孔，
所述盖构件由混合有弹性体的树脂构成。
6.根据权利要求1或2所述的螺杆装置，其特征在于，
所述循环构件由混合有弹性体的树脂构成。
7.根据权利要求3所述的螺杆装置，其特征在于，
所述循环构件由混合有弹性体的树脂构成。
8.根据权利要求4所述的螺杆装置，其特征在于，
所述循环构件由混合有弹性体的树脂构成。
9.根据权利要求1或2所述的螺杆装置，其特征在于，
所述滚动体间夹有隔离环，
所述滚动体为陶瓷制，
在所述螺杆轴上形成有沿轴线方向延伸的中空部，在该中空部填充有陶瓷材料作为振动吸收体。
10.根据权利要求3所述的螺杆装置，其特征在于，
所述滚动体间夹有隔离环，
所述滚动体为陶瓷制，
在所述螺杆轴上形成有沿轴线方向延伸的中空部，在该中空部填充有陶瓷材料作为振动吸收体。
11.根据权利要求4所述的螺杆装置，其特征在于，
所述滚动体间夹有隔离环，
所述滚动体为陶瓷制，
在所述螺杆轴上形成有沿轴线方向延伸的中空部，在该中空部填充有陶瓷材料作为振动吸收体。
12.根据权利要求6所述的螺杆装置，其特征在于，
所述滚动体间夹有隔离环，
所述滚动体为陶瓷制，
在所述螺杆轴上形成有沿轴线方向延伸的中空部，在该中空部填充有陶瓷材料作为振动吸收体。
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