CN100451599C - 液晶面板的外观检查装置 - Google Patents

Abstract

一种液晶面板的外观检查装置，通过将照明条件改变成各式各样，能够可靠地拍摄到液晶面板的伤痕或其上的灰尘。利用运送装置(16)将液晶面板(36)从预先定位部(12)运送到检查装置(14)。从照明装置对处于检查位置的液晶面板(36)照射光，用摄像装置(98)拍摄。作为照明装置，具有从与拍摄方向平行的方向照射光的同轴照明装置(88)、从相对于拍摄方向倾斜的方向照射光的斜光照明装置(90)和从液晶面板的背面照射光的背照光装置(84)。液晶面板的四个侧面的图像，可以经由反射镜(62)拍摄到。利用相对于运送装置独立的翻转装置(60)，能够使液晶面板(36)翻转，从而能够拍摄到液晶面板(36)的两面。

Description

液晶面板的外观检查装置

技术领域

本发明涉及一种检查液晶面板外观的外观检查装置。

背景技术

在对液晶面板的检查中，除了检查面板是否正常工作的一般点亮检查外，还有检查面板上是否有伤痕、面板上是否附着有灰尘这之类的外观检查。作为外观检查装置，想到的有对点亮状态或非点亮状态的液晶面板表面上照射照明光，操作员以目视来检查该液晶面板这样的目视外观检查装置，以及用电视摄像机拍摄液晶面板，并将其电视摄像机的输出信号用电脑处理这样的自动外观检查装置，这些都在下面的专利文献1中有记载。(专利文献1：日本专利公开公报特开平10-227721号)

所述专利文献1中所公开的外观检查装置，是从斜向对液晶面板表面照射照明光，用配置在液晶面板的正上方的摄像装置拍摄液晶面板的图像。因为这种外观检查装置只是利用沿斜向对液晶面板照射光的照明装置来进行外观检查，会因为液晶面板的伤痕或异物存在的位置的状态不同，而有可能漏检。

因此，为解决上述问题，本申请的申请人，在与其他公司的共同申请中，提出了改进了照明状态、并且使多个液晶面板的外观检查自动化的发明专利申请(日本专利申请2003-166551号，以下称“在先申请”)。虽然该在先申请在本申请时尚未被公知，但因为与本申请的发明关系密切，在此对其构成进行简单说明。在先申请的外观检查装置，作为外观检查用的照明装置，包括从液晶面板上方照射光的同轴照明装置、沿斜向对液晶面板表面照射光的斜光照明装置、以及背照光装置。通过这些，可以将液晶面板的照明状态改变成各式各样，能够准确拍摄到液晶面板上的伤痕和灰尘等。另外，还设有液晶面板的翻转装置，在液晶面板的第一面外观检查结束后，可以自动地对其相反侧的第二面进行检查。该翻转装置是由将液晶面板从预先定位部运送到检查部的两个运送装置构成。即，先由一个运送装置吸附位于检查位置的液晶面板，然后将该液晶面板传到另一个运送装置后再由其将液晶面板送回检查位置，由此实现液晶面板的翻转。

发明内容

本发明基本上是解决上述专利文献1中的外观检查装置的问题点的发明，本发明的目的是提供一种通过将液晶面板的照明条件改变成各式各样而能够确实拍摄到液晶面板的伤痕和液晶面板上的灰尘的外观检查装置。本发明另外的目的，是提供一种通过采用与在先申请的外观检查装置不同的面板翻转装置，用一台运送装置即可，同时在翻转作业中也可以利用运送装置的外观检查装置。

本发明涉及的液晶面板的外观检查装置，具有：在检查前定位矩形液晶面板的预先定位装置；在检查位置支撑所述液晶面板的检查台；将所述液晶面板从所述预先定位装置运送到所述检查台的运送装置；从与所述液晶面板的法线平行的方向对位于所述检查位置上的液晶面板进行摄像的摄像装置；从与所述摄像装置的摄像方向平行的方向对位于所述检查位置上的液晶面板照射光的同轴照明装置；从相对于所述摄像方向倾斜的四个方向对位于所述检查位置的液晶面板照射光的斜光照明装置，而且所述四个方向是与所述液晶面板的四个边对应的四个方向；从液晶面板的背面对位于所述检查位置上的该液晶面板照射光的背照光装置；与位于所述检查位置上的液晶面板的四个侧面相对配置的四个反射镜、即将来自所述侧面的光向所述摄像装置方向反射的反射镜；设置了一个相对于所述运送装置独立的、在所述检查位置的上方可以接收所述液晶面板并可使该液晶面板翻转的翻转装置。

这种外观检查装置因为具有同轴照明装置、斜光照明装置和背照光装置，可以在各种照明条件下对液晶面板照射照明光，从而能够确实拍摄到液晶面板的伤痕和液晶面板上的灰尘。另外，因为可以用运送装置将液晶面板从预先定位装置运送到检查台，并且，因为可以利用相对于运送装置独立的翻转装置使位于检查位置上的液晶面板翻转，所以可以自动对多个液晶面板的两面进行外观检查，而且，可以在液晶面板做翻转动作的期间，用运送装置将下一个液晶面板运送到预先定位装置的位置。

作为优选方式，该外观检查装置可做成为在检查位置水平支撑液晶面板的构造，在这种场合下，所述翻转装置可具有：在所述检查位置的上方，可以用朝下的吸附面吸住水平状态的所述液晶面板的吸盘；使所述吸盘绕水平的旋转轴线旋转而使所述吸附面朝上的旋转装置；以及面板升降装置，该面板升降装置可以使位于所述检查位置上的液晶面板上升到朝下的所述吸附面的位置，而且，可以从用朝上的所述吸附面吸住所述液晶面板的状态下的所述吸盘与上述吸盘不干涉地接收所述液晶面板，然后可使液晶面板下降到所述检查位置。

作为另一优选方式，所述面板升降装置具有开设有用于吸附保持所述液晶面板的吸附孔的升降吸附面，该升降吸附面上具有为了不与所述吸盘干涉的切槽。在面板升降装置从所述翻转装置上的朝上的吸盘接收液晶面板的时候，朝上的吸盘进入所述切槽中，从而使得面板升降装置不与该吸盘相干涉。

作为另一优选方式，所述运送装置具有可分别吸附保持两张所述液晶面板的多个吸盘。在检查台检查一张液晶面板外观的期间，运送装置可在吸附保持着预先定位好的下一个液晶面板的状态下，在检查台附近待机。将外观检查完毕的液晶面板从检查台交付到运送装置中一个吸盘(空着的吸盘)后，马上将另外的吸盘上保持的下一个液晶面板放置到检查台上，由此可以缩短作业时间。

作为另一优选方式，背照光装置可以是有围绕面板升降装置的环状光源。

本发明因为具备同轴照明装置、斜光照明装置和背照光装置，可以在各样照明条件下对液晶面板照射照明光，从而可以确实拍摄到液晶面板的伤痕和其上的灰尘。另外，因为可以用运送装置将液晶面板从预先定位装置运送到检查台，并且，可以用相对于运送装置独立的翻转装置使位于检查位置上的液晶面板翻转，所以可以自动对多个液晶面板的两面进行外观检查，而且，在液晶面板做翻转动作的期间，可以用运送装置将下一个液晶面板运送到预先定位装置的位置。

附图说明

图1是表示本发明的外观检查装置的一个实施方式的全体构造的立体图。

图2是图1所示的外观检查装置的俯视图。

图3是运送装置的立体图。

图4是盒式载物台的立体图。

图5是预先定位部的立体图。

图6是表示预先定位部和运送装置的侧视图。

图7是检查部的立体图。

图8是吸附翻转机构的立体图。

图9是表示吸附翻转机构和面板支撑部二者状态的侧视图。

图10是沿图2A-A线所取的面板支撑部的剖面图。

图11是沿图2A-A线所取剖面的一部分，表示吸附翻转装置和面板升降装置一系列动作的剖面图。

图12是表示检查部的工作台上的构造及斜光照明装置的立体图。

图13是表示同轴照明装置和挡板的立体图。

图14是沿图2B-B线所取的检查部的侧面剖面图。

图15是表示图14所示的检查部的其他照明状态的侧视剖面图。

图16是表示用摄像装置拍摄到的图像的外形的图像图。

图17是放大表示摄像装置的拍摄例的一部分的图。

图18是表示将液晶面板从吸附翻转机构向运送装置交付的侧视图。

具体实施方式

下面，参照附图，详细说明本发明的实施方式。图1是表示本发明的外观检查装置的一个实施方式的整体构造的立体图，图2是其俯视图。在图1和图2中，该外观检查装置是由盒式载物台10、预先定位部12、检查装置14、以及在它们之间运送液晶面板的运送装置16构成。另外，在图2的俯视图中，所显示的是除去了位于检查装部14上部的摄像及照明用的仪器后的部分。

首先，简单说明该外观检查装置的整体动作。在图1中，盒式载物台10上设置了可收容多个液晶面板36的盒子40。盒子40中的第一个液晶面板36由运送装置16的两个吸盘中的一个取出后，被运送到预先定位部12处，进行检查前的定位。然后，液晶面板36由运送装置16从预先定位部12被运送到检查部14，被放置在检查部14的检查台上面，并保持在其检查位置上。对处于检查位置上的液晶面板36的表面(将此面称为第一面)照射照明光，用摄像装置98来拍摄液晶面板36的图像。接下来，由吸附翻转机构60将液晶面板36翻转并返回到检查位置，用摄像装置98来拍摄液晶面板的与上述第一面相反侧的面(第二面)。将摄像装置98拍摄到的图像传入测试器(未图示)，来判断液晶面板是否合格。

另一方面，在对第一个液晶面板拍摄第一面和第二面的期间，运送装置16从盒子40中取出第二个液晶面板，运送到预先定位部12处，完成预先定位作业。然后，运送装置16保持已完成预先定位作业的第二个液晶面板，在检查部14的跟前待机。当第一个液晶面板的第一面和第二面的摄像及合格与否判定结束之后，由吸附翻转机构60将第一个液晶面板36返回到原来的姿势(第一面朝上的姿势)，然后将其液晶面板36交付到运送装置16的两个吸盘中空着的一个吸盘(没有吸附液晶面板的吸盘)。然后，从运送装置16的其他吸盘(吸附保持第二个液晶面板的吸盘)将第二个液晶面板送到检查部14的检查台处。然后，开始对第二个液晶面板的第一面和第二面进行摄像作业。这期间，保持着检查结束的第一个液晶面板的运送装置返回到盒式载物台10，将第一个液晶面板放回盒子40，同时，又将第三个液晶面板从盒子40中取出。如此往复，自动进行多个液晶面板的外观检查。由此，因为可以在对液晶面板两面进行外观检查的期间，完成下一个液晶面板的预先定位作业和向检查装置附近的运送，所以可以使对多个液晶面板进行外观检查的作业时间(对多个液晶面板进行外观检查时的检查周期)缩短。

接下来，详细说明各部位的构造及其功能。图3是运送装置16的立体图。该运送装置16具有水平移动体18和升降体20。水平移动体18上固定有一个水平移动引导部件22，该水平移动引导部件22可以沿水平运送导轨24进行水平方向移动。在水平移动体18的前表面上固定有沿上下方向延伸的升降导轨28。升降体20上固定有升降引导部件26，该升降引导部件26可以沿所述升降导轨28进行上下方向移动。在这里，定义移动方向，运送导轨24的延伸方向为X方向，在水平面内与X方向相垂直的方向为Y方向，上下方向为Z方向。

沿X方向延伸的臂支持体30的中央部固定在升降体20上，在该臂支持体30的两端分别固定一个沿Y方向延伸的运送臂32的一端。两个运送臂32的前端分别固定有一个吸盘34。吸盘34是真空吸附式，具有朝下的吸附面。在此实施方式中，处理的是像手机上液晶面板等那样比较小型的液晶面板，用一个吸盘34能够保持吸附一个液晶面板36。因此，该运送装置16利用两个吸盘34，就能够吸附保持两个液晶面板36。

图4是盒式载物台10的立体图。在矩形的盒子支撑台38的上表面上可以载放矩形的盒子40。在盒子40上形成有用于收容液晶面板36的多个凹部42，各凹部42能够各收容一个液晶面板36。矩形盒子40的四个角部被四个盒子夹持件夹住。盒子夹持件44可以在沿盒子40对角线方向延伸的槽46移动。在将盒子40放置到盒子支撑台38上之前，如虚线44a所示，盒子夹持件处于打开状态。在盒子支撑台38上放置盒子40之后，使盒子夹持件44向盒子支撑台38的中心移动至规定位置，这样就可以将盒子40保持在规定位置。如图2所示，盒子支撑台38可以沿箭头39的方向(即Y方向)移动，通过该移动和运送装置16在X方向上的移动，能够用运送装置16上的吸盘34吸附收容于盒子40的任意位置的液晶面板36。

图5是预先定位部12的立体图。在预先定位台48上表面上固定有矩形的面板支撑台50，在其周围还配置了四个面板夹持件52。面板支撑台50的外形尺寸比液晶面板36的外形尺寸小，当液晶面板36放置在面板支撑台50上时，液晶面板36的四个边会突出到面板支撑台50的四个边的外侧。四个导轨54与面板支撑台50的四个边相垂直地被固定在预先定位台48上。面板夹持件52的底面上固定有引导部件56，该引导部件可以沿导轨54移动。在四个面板夹持件52处于打开状态时，将液晶面板36放置在面板支撑台50上，然后，使面板夹持件52向中央的面板支持台50移动至规定位置，于是液晶面板36的四边在突出状态下，通过任两个面板夹持件52都可以推压面板至规定位置，最终液晶面板36在面板支撑台50上被定位在规定位置。由包括于预先定位部12中的上述各种部件所构成的装置，即为本发明的预先定位装置。

图6是表示预先定位部12和运送装置16的侧视图。被运送装置16的吸盘34吸着的液晶面板36，通过升降体20在缸(例如：气缸、液压缸、电动缸)的驱动下下降而被放置在预先定位部12的面板支撑台50上，然后由四个面板夹持件52对该液晶面板36定位。

图7是检查部的立体图。该检查部分为上部构造和下部构造。下部构造主要是为在检查位置支持液晶面板的部分，上部构造主要是为对液晶面板进行摄像的部分。首先，从下部构造进行说明。下部构造具有面板支撑部58和吸附翻转机构60。面板支撑部58具有在检查位置支撑液晶面板36的结构，还具有为拍摄液晶面板36的侧面而设的反射镜，其详细情况将后面叙述。

图8是吸附翻转机构60的立体图。该吸附翻转机构60具有导轨64、移动体66、旋转促动器68、翻转臂70和吸盘72。导轨64固定在面板支撑部58的基板74上，引导部件76可以沿该导轨64移动，引导部件76上固定有移动体66，该移动体66上固定有旋转促动器68，在该旋转促动器68的驱动下，翻转臂70绕其轴线(水平延伸)旋转。翻转臂70向Y方向延伸，在其前端固定有真空吸附式的吸盘72。翻转臂70可绕其轴线正反旋转180度，通过其旋转，可以将吸盘72的吸附面从朝下转换到朝上或从朝上转换到朝下。

图9是吸附翻转机构60和面板支撑部58的侧视图。吸附翻转机构60的移动体66可以沿导轨64在Y方向(图的左右方向)上移动。图9(A)表示的是吸附翻转机构60处于退避位置的状态，图9(B)表示的是吸附翻转机构60处于动作位置(进行液晶面板翻转动作的位置)的状态。在该动作位置上，吸盘72位于后面所述面板升降机82的正上方。

图10是面板支撑部58的剖面图，是图2的A-A剖面图。面板支撑部58具有基板74，在基板74的中央固定有不透光的矩形工作台78，在工作台78的中央固定有透光的矩形扩散板80。在扩散板80的中央形成有通孔，面板升降机82贯穿该通孔。该面板升降机82相当于本发明的面板升降装置。在扩散板80的下方配置有圆环状的背照光装置84，背照光装置84收纳在壳体85内部。壳体85底壁的中央也形成了通孔，面板升降机82贯穿该通孔。面板升降机82的上表面是检查台86(可参照图12)，该检查台86可作为升降吸附面。该升降吸附面开有吸附孔87(参照图12)，利用该吸附孔87可以吸附保持液晶面板36。面板升降机82的上部附近形成有切槽83(参照图12)，该切槽83露出于升降吸附面，关于该切槽83的作用在后面叙述。面板升降机82通过未图示的在气缸或液压缸的驱动下而能够升降。工作台78的上表面上固定有四个反射镜62。在图10中，在检查台86的上方可以看见吸附翻转机构60的旋转促动器68、翻转臂70和吸盘72。

图11是沿图2A-A线所取剖面的一部分，表示吸附翻转机构60和面板升降机82的动作的剖面图。图11(A)中，液晶面板36放置在检查台86上，处于检查位置的状态。液晶面板36的第一面的外观检查一结束，如图11(B)所示，面板升降机82上升，使液晶面板36与朝下的吸盘72的吸附面接触。吸盘72真空吸附液晶面板36的第一面(外观检查完成的一面)。然后，如图11(C)所示，面板升降机82下降，接着，翻转臂70绕其轴线顺时针旋转180度。通过此次旋转，朝下的吸盘72在吸附保持着液晶面板36的状态下变为朝上，从而液晶面板36的第二面(与第一面相反侧的一面)变为朝上。接下来，如图11(D)所示，面板升降机82上升，其上表面的检查台86接触液晶面板36的第一面。然后，使面板升降机82上升，液晶面板36就从吸盘72转移到面板升降机82的上表面的检查台86。这时，因为面板升降机82的切槽83中可以穿过吸盘72和翻转臂70，所以面板升降机82不会与吸盘72、翻转臂70碰撞。液晶面板36一移到面板升降机82上，吸附翻转机构将会返回到如图9所示的退避位置。然后，面板升降机82下降，翻转后的液晶面板36回到图11(A)的检查位置。然后开始进行对液晶面板36的第二面的外观检查。面板升降机82相当于本发明的面板升降装置。

第二面的外观检查也结束的液晶面板36，将按照图11(A)～(C)的顺序再次被翻转，变为第一面朝上。然后，如图18所示，保持于朝上的吸盘72上的液晶面板36被交付到运送臂32的朝下的吸盘34上，然后，将检查完毕的液晶面板36送回到盒式载物台。

接下来，说明检查装置的摄像系统和照明系统。返回图7，检查部的下部构造中设置了三种照明装置中的背照光装置84(参照图10)。检查部的上部构造中设置了三种照明装置中的同轴照明装置88和斜光照明装置90。照明箱92的水平截面是矩形的筒状，其上端和下端是开放的。在照明箱92的内部设置有同轴照明装置88和挡板94和半透半反镜96。在照明箱92的下端附近处固定有斜光照明装置90。在照明箱92的上方设置有摄像装置98。摄像装置98是CCD照相机，具有调焦用的机构。将摄像装置98的图像传送到图像处理装置(测试器)，从而利用该图像来判断液晶面板是否合格。摄像装置98的摄像方向(上下方向)与液晶面板36的表面的法线方向(它也是沿上下方向延伸)平行。

图13是表示同轴照明装置88和挡板94的立体图。图13(A)是挡板94关闭的状态，图13(B)是打开挡板94的状态。在图13(A)中，同轴照明装置88由多个荧光灯构成。挡板94是直立的矩形平板，设置在同轴照明装置88与半透半反镜96之间。该挡板94通过在驱动缸(例如气缸、液压缸、电动缸)的驱动下(未图示)进行上下移动，从而可以实现挡板94的开闭。

图12是表示检查部的工作台78上的构造及斜光照明装置90的立体图。在工作台78上设置有四个反射镜62。这些反射镜62的反射面相对水平面倾斜45度。四个反射镜62被设置成对应于矩形的液晶面板36的四个边。面板升降机82的上部从扩散板80的中央部的通孔突出，在其上表面的检查台86上形成两个吸附孔87。另外，也可以看见面板升降机82上部的切槽83。液晶面板36被吸附孔87吸附保持。在图12中显示的就是液晶面板36被保持在检查位置的状态。

照明箱92的下端附近固定有斜光照明装置90。斜光照明装置90具有四个LED(发光二极管)制的斜光灯104。这些斜光灯104被设置成对应于液晶面板36的四边，从四个斜方向照射液晶面板36的表面。

图14是沿图2B-B线所取的检查装置的侧视剖面图。并省略了吸附翻转装置。该图14显示的是只利用同轴照明装置88发出的照明光来观察液晶面板36的状况。挡板94打开，从同轴照明装置88发出的光106的一部分由半透半反镜96反射而射向下方。半透半反镜96相对水平面倾斜45度。由半透半反镜96中央附近反射的光到达液晶面板36的表面，照射液晶面板36的表面。另外，由矩形的半透半反镜96的四个边附近反射的光，射向四个反射镜62，由该四个反射镜62反射而照射液晶面板36的四个侧面。

从液晶面板36表面发出的光(这里指照明光由面板表面反射，成为表面的映像光)向正上方前进，其中一部分透过半透半反镜96到达摄像装置98。另外，从液晶面板36四个侧面发出的光(这里指照明光从面板侧面反射的，和从相对的侧面的方向透过的照明光的合计，成为侧面的映像光)由反射镜62反射后射向上方，其中一部分透过半透半反镜96到达摄像装置98。由此，对于从同轴照明装置88发出的照明光照射着的液晶面板36，其表面图像和四个侧面图像都由摄像装置98拍摄。从同轴照明装置88发出的照明光射向面板36前进的方向、和从液晶面板36发出的映像光向摄像装置98前进的方向，实际上是平行的，几乎互相重合。因此，将这样的照明光称为同轴照明，为此而设的照明装置称为同轴照明装置。

图16是表示用摄像装置拍摄到的图像的外形的图。中央是液晶面板的表面的图像108，围绕着其表面图像108的是液晶面板的四个侧面的图像110。侧面图像110是通过反射镜反射后被摄像装置拍摄到的图像。

图15是表示图14所示的检查部的其他照明状态的侧视剖面图。该图面中显示的是只用斜光照明装置90发出的照明光来观察液晶面板36的状况。虽然同轴照明装置88处于点亮状态，但由于挡板94关闭着，所以同轴照明光照射不到液晶面板36上。在不使用同轴照明时，如果将同轴照明装置88熄灭，可以不要挡板94，但是在实际中，都是保持同轴照明装置88点亮的状态不变，通过控制挡板94的开闭来切换同轴照明的开关。其理由是同轴照明装置88是由荧光灯构成，其亮度达到稳定需要时间。

从斜光照明装置90的四个斜光灯104对液晶面板36从四个斜方向(即从相对于液晶面板36的表面的法线倾斜的四个方向)照射照明光112。四个方向对应于液晶面板36的四个边。斜光灯104的表面法线相对于液晶面板36的表面法线，在30～60度的范围内倾斜。因为一使用斜光照明装置，就有从与同轴照明不同的方向的光射到液晶面板36上，于是液晶面板36上存在的伤痕等图像就会作为与同轴照明不同的图像被拍摄。在这种场合下，仍然可以通过摄像装置98来取得如图16所示的图像。

在图15中，作为第三种照明方法有使用背照光装置84的方法。在仅使用背照光装置84的照明光的场合下，关闭挡板94，而且熄灭斜光照明装置90。通过使由背照光装置84发出的照明光由扩散板80扩散的同时通过该扩散板80而成为均质的光后照射液晶面板36的背面。透过液晶面板36的光被摄像装置98拍摄。一使用该背照光装置84，液晶面板36内部的伤痕等将变得明显。另外，扩散板80为防止反射而制成黑色。即，同轴照明光不会由扩散板80反射。背照光装置84是LED制的，可以仅在必要的时候点亮。

所述的同轴照明装置88、四个斜光灯104及背照光装置84的总计六个照明器具，可以各自独立点亮、熄灭(但是，同轴照明装置88是由挡板控制)，根据这些照明器具的点亮、熄灭的组合，可以在各式各样的照明条件下，鲜明的反映出液晶面板的缺陷。由此提高通过自动检查判断外光合格与否的可靠性。该外观检查中发现的项目，例如有：玻璃缺陷(如裂纹、缺损等)，偏光板的缺陷(如翻卷(めくれ))，液晶密封材料的缺陷、电极部的缺陷，保护层的缺陷等。

图17是放大表示的摄像装置拍摄到的一部分的图。液晶面板的玻璃板有伤痕，而且该伤痕伤及到玻璃板内部的场合时，拍摄到如图17所示的伤痕的图像。通过面板表面的图像108，可以把握伤痕112的大小。通过右侧的侧面图像110a和里侧的侧面图像110b，可以把握伤痕的深度d。

在上述的实施方式中，虽然图示的液晶面板是正方形的形状，但也可以是长方形的。在是长方形的液晶面板的场合，最好根据液晶面板36的短边或者长边的长度改变反射镜62或斜光灯104的长度。

Claims (5)

1.一种液晶面板的外观检查装置，包括：预先定位装置，该预先定位装置在检查前定位矩形的液晶面板；检查台，该检查台在检查位置支撑所述液晶面板；运送装置，该运送装置从所述预先定位装置向所述检查台运送所述液晶面板；摄像装置，该摄像装置从与所述液晶面板的法线平行的方向对位于所述检查位置上的液晶面板进行拍摄；同轴照明装置，该同轴照明装置从实质上与所述摄像装置的拍摄方向平行的方向对位于所述检查位置上的液晶面板照射光；斜光照明装置，该斜光照明装置在相对于所述拍摄方向的四个倾斜方向对位于所述检查位置上的液晶面板照射光，而且该四个倾斜方向是与所述液晶面板的四个边对应的四个方向；背照光装置，该背照光装置从位于所述检查位置上的液晶面板的背面对该液晶面板照射光；反射镜，该反射镜配置成与位于所述检查位置上的液晶面板的四个侧面相对，可以将来自所述侧面的光沿所述摄像装置方向反射；翻转装置，该翻转装置相对于所述运送装置独立，并在所述检查位置的上方可以接收所述液晶面板、可使液晶面板翻转。

2.根据权利要求1所述的液晶面板的外观检查装置，其特征在于：所述液晶面板在所述检查位置被水平支撑，所述翻转装置具有：在所述检查位置的上方，可以用朝下的吸附面吸附水平状态的所述液晶面板的吸盘；能够使所述吸盘绕水平的旋转轴线旋转以使所述吸附面朝上的旋转装置；以及一种面板升降装置，该面板升降装置可以使位于所述检查位置上的液晶面板上升到朝下的所述吸附面的位置，而且，可从由朝上的所述吸附面吸附着所述液晶面板的状态下的所述吸盘上、不与该吸短干涉地接受所述液晶面板，其后可使液晶面板下降到所述检查位置的升降装置。

3.根据权利要求2所述的液晶面板的外观检查装置，其特征在于：所述面板升降装置具有开设有用于吸附保持所述液晶面板的吸附孔的升降吸附面，该升降吸附面具有用于不与所述吸盘干涉的切槽。

4.根据权利要求1所述的液晶面板的外观检查装置，其特征在于：所述运送装置具有可以分别保持吸附两个所述液晶面板的多个吸盘。

5.根据权利要求1所述的液晶面板的外观检查装置，其特征在于：所述翻转装置具有使液晶面板升降用的面板升降装置，所述背照光装置具有围绕所述面板升降装置的环状光源。

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