KR20110021304A

KR20110021304A - 스크래치 검사장치 및 방법

Info

Publication number: KR20110021304A
Application number: KR1020090079016A
Authority: KR
Inventors: 남인창
Original assignee: 주식회사 케이엔제이
Priority date: 2009-08-26
Filing date: 2009-08-26
Publication date: 2011-03-04
Also published as: KR101123638B1

Abstract

본 발명은 스크래치 검사장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피검사체의 표면에 반사되는 광을 재반사시켜 검사에 이용할 수 있는 광량을 증폭시키는 스크래치 검사장치 및 방법에 관한 것이다.

본 발명에 의한 스크래치 검사장치는 피검사체에 광을 조사하는 조명; 상기 피검사체의 표면에 있는 스크래치에 부딪혀 산란되는 광을 인식하는 카메라; 및 상기 피검사체의 표면에 부딪혀 반사되는 광을 재반사하는 반사미러;를 포함한다.

패널. 스크래치. 광량. 미러. 반사.

Description

스크래치 검사장치 및 방법{APPARATUS FOR DETECTING SCRATCH AND METHOD ADOPTING THE SAME}

평판디스플레이 패널의 제조공정 중 패널의 표면상에 스크래치가 있는지를 검사하는 공정이 있다.

일반적으로 스크래치 불량특성상 다크필드 조명법을 사용하는데, 도 1을 참조하여 종래 스크래치 검사장치(100)를 설명한다. 도시된 바와 같이, 패널(P)을 이송하는 롤러컨베이어(110)와, 상기 패널(P)에 광을 출사하는 조명(130)과, 상기 패널의 표면에 있는 스크래치에 의해 산란되는 광을 인식하는 카메라(120)로 구성된다.

도 2를 참조하면, 상기 조명(130)에서 출사되는 출사광(L0)의 광축은 수직선으로부터 소정 각도로 경사진 상태로 패널(P)의 표면에 조사된다. 또한 상기 카메라(120)는 패널(P)의 수직선 방향에 설치되어 반사광(L2)을 인식할 수 없다. 따라 서 패널(P)의 표면에 스크래치가 없다면 출사광(L0)은 패널에 의해 반사되어 반사광(L2)으로 나가기 때문에 카메라(120)는 어떠한 광도 인식하지 않게 된다.

이와 달리 패널(P)에 스크래치가 있다면 출사광(L0)은 패널(P)의 스크래치(S)에 부딪혀 산란하게 되고, 이러한 산란광(L1)을 카메라(120)가 인식하게 되는 것이다. 즉, 카메라(120)가 어떠한 광도 인식하지 못한다면, 그것은 스크래치(S)가 없다는 의미이고, 반대로 카메라(120)가 광(L1)을 인식한다면, 그것은 패널(P)에 스크래치(S)가 존재한다는 의미이다.

이와 같은 방법으로 패널의 스크래치 유무를 식별하는 경우, 광량이 클수록 스크래치 검사 성능이 좋아지지만, 현실적으로 광량을 늘리는 것은 한계가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 피검사체의 표면에 반사되는 광을 재반사시켜 검사에 이용할 수 있는 광량을 증폭시키는 스크래치 검사장치 및 방법을 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 스크래치 검사장치는 피검사체에 광을 조사하는 조명; 상기 피검사체의 표면에 있는 스크래치에 부딪혀 산란되는 광을 인식하는 카메라; 및 상기 피검사체의 표면에 부딪혀 반사되는 광을 재반사하는 반사미러;를 포함한다.

또한 상기 반사미러는 상기 피검사체의 표면에 부딪혀 반사되는 광의 광축에 대하여 수직으로 설치되는 것이 바람직하다.

또한 상기 조명, 카메라 및 반사미러는 상기 피검사체의 상부 및 하부에 각각 구비되는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 스크래치 검사방법은 피검사체의 표면에 광을 조사한 후, 스크래치에 부딪혀 산란되는 광을 인식함으로써 스크래치 유무를 식별하는 스크래치 검사방법에 있어서, 상기 광이 피검사체의 표면에 부딪혀 반사되는 광을 재반사하여 광량을 증폭시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 피검사체의 표면에 반사되는 광을 재반사시켜 검사에 이 용하기 때문에 상대적으로 더 높은 광량을 얻을 수 있다.

따라서 스크래치가 더 잘 보이는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 스크래치 검사장치(1)는 패널을 이송하는 롤러컨베이어(10)와, 조명(30a, 30b)과, 카메라(20a, 20b)와, 반사미러(40a, 40b)를 포함한다.

상기 조명(30a, 30b)은 출사광(L0)의 출사각이 수직선으로부터 소정각도로 경사지게 설치된다.

상기 카메라(20a, 20b)는 출사광(L0)이 패널(P)에 반사되는 반사광(L2)이 입사되지 않는 위치에 설치된다.

상기 반사미러(40a, 40b)는 상기 패널(P)의 표면에서 반사되는 광의 광축에 대하여 수직으로 설치된다.

또한 상기 조명(30a, 30b), 카메라(20a, 20b) 및 반사미러(40a, 40b)는 상기 패널(P)의 상부 및 하부에 각각 1 세트씩 구비된다.

이하에서는 본 발명에 의한 스크래치 검사장치(1)의 작동상태 및 검사방법을 설명한다.

먼저, 롤러컨베이어(10)에 패널(P)을 로딩하여 이송하면서, 조명(30a, 30b)에서 광을 출사한다. 출사광(L0)은 패널(P)의 표면을 통해 반사되는데, 만약 패널(P)의 표면에 스크래치가 있다면 산란된다.

이 때 산란되는 산란광(L1)을 카메라(20a, 20b)가 인식하여 스크래치를 식별하여 검사하는 것이다. 특히, 본 발명에 의하면 반사미러(40a, 40b)를 구비하여 반사광을 재반사시켜 재반사광(L3)이 다시 패널(P)로 출사하기 때문에 광량이 증폭되게 된다. 따라서 스크래치를 보다 확실하게 식별할 수 있게 되는 것이다.

도 1은 종래 스크래치 검사장치를 나타낸 것이다.

도 2는 도 1에 도시된 장치의 작동상태를 나타낸 것이다.

도 3은 본 발명에 의한 스크래치 검사장치를 나타낸 것이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

1: 검사장치 10: 롤러컨베이어

20a, 20b: 카메라 30a,30b: 조명

40a,40b: 반사미러

Claims

피검사체에 광을 조사하는 조명;

상기 피검사체의 표면에 있는 스크래치에 부딪혀 산란되는 광을 인식하는 카메라; 및

상기 피검사체의 표면에서 반사되는 광을 재반사하는 반사미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크래치 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 반사미러는 상기 피검사체의 표면에서 반사되는 광의 광축에 대하여 수직으로 설치되는 것을 특징으로 하는 스크래치 검사장치.
제2항에 있어서,

상기 조명, 카메라 및 반사미러는 상기 피검사체의 상부 및 하부에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 스크래치 검사장치.
피검사체의 표면에 광을 조사한 후, 스크래치에 부딪혀 산란되는 광을 인식 함으로써 스크래치 유무를 식별하는 스크래치 검사방법에 있어서,

상기 광이 피검사체의 표면에 부딪혀 반사되는 광을 재반사하여 광량을 증폭시키는 것을 특징으로 하는 스크래치 검사방법.
제4항에 있어서,

상기 피검사체의 상부표면 및 하부표면을 동시에 검사하는 것을 특징으로 하는 스크래치 검사방법.