CH618289A5 - Cathode arrangement for an atomising device - Google Patents

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CH618289A5
CH618289A5 CH820677A CH820677A CH618289A5 CH 618289 A5 CH618289 A5 CH 618289A5 CH 820677 A CH820677 A CH 820677A CH 820677 A CH820677 A CH 820677A CH 618289 A5 CH618289 A5 CH 618289A5
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CH
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cathode
tubular
cathode arrangement
arrangement
magnets
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Application number
CH820677A
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German (de)
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Inventor
Jan Visser
Cornelis Willem Berghout
Original Assignee
Philips Nv
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405—Magnetron sputtering

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CH820677A 1976-07-07 1977-07-04 Cathode arrangement for an atomising device CH618289A5 (en)

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ES (1) ES460405A1 (xx)
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GB (1) GB1587566A (xx)
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